KR100972500B1 - Heating structure for electric furnace - Google Patents

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KR100972500B1 KR1020100013160A KR20100013160A KR100972500B1 KR 100972500 B1 KR100972500 B1 KR 100972500B1 KR 1020100013160 A KR1020100013160 A KR 1020100013160A KR 20100013160 A KR20100013160 A KR 20100013160A KR 100972500 B1 KR100972500 B1 KR 100972500B1
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Abstract

PURPOSE: A heating structure for an electric heating furnace is provided to increase surface load density and a heating area of a resistance heating element by forming the resistance heating element with a strip shape. CONSTITUTION: A base(100) is made of insulating fire-resistant materials. A plurality of insulating fire-resistant supporters(200) is fixed to the base. A first resistance heating element insertion groove and a combination protrusion are formed on one side of the insulating fire-resistant supporters. A second resistance heating element insertion groove is formed on the other side of the insulating fire-resistant supporter. A plurality of resistance heating element(300) is connected in parallel or series. The resistance heating element has a rectangular strip shape. The resistance heating element is inserted into the first and second resistance heating element insertion groove of the adjacent insulating fire-resistant supporters.

Description

전기가열로용 발열구조체{Heating structure for electric furnace}Heating structure for electric furnace {Heating structure for electric furnace}

본 발명은 전기 가열로에 관한 것으로, 보다 상세하게는 직사각의 수직단면을 갖는 띠 형태의 저항 발열체와, 절연내화 지지체를 이용하여 평면형 혹은 곡면형으로 제작되고 단순한 조립구조로 다양한 형태의 노체를 구성할 수 있는 전기가열로용 발열구조체에 관한 것이다.
The present invention relates to an electric heating furnace, and more particularly, a strip-shaped resistive heating element having a vertical vertical section with a rectangular shape, and an insulated refractory support fabricated in a planar or curved shape and composed of various types of furnace bodies in a simple assembly structure. The present invention relates to a heating structure for an electric heating furnace.

일반적으로 LCD 제조공정을 포함한 각종 반도체 제조공정에 있어서 피처리제인 웨이퍼 등의 표면에 박막 또는 산화막을 증착하거나 불순물을 확산시키는 공정이 도입된다. 이들 공정에서는 CVD장치, 산화막 형성장치, 확산장치 등과 같이 반응챔버(혹은 공정튜브)의 온도를 공정조건에 맞게 조성해주기 위한 열처리 장치가 요구된다. 이러한 열처리 장치는 정밀한 온도제어가 가능한 전기 가열로(加熱爐)가 통상적으로 사용되고 있다.Generally, in various semiconductor manufacturing processes including the LCD manufacturing process, a process of depositing a thin film or an oxide film or diffusing impurities on a surface of a wafer, which is a processing target, is introduced. In these processes, a heat treatment apparatus for forming a temperature of a reaction chamber (or process tube) in accordance with process conditions is required, such as a CVD apparatus, an oxide film forming apparatus, and a diffusion apparatus. In such a heat treatment apparatus, an electric heating furnace capable of precise temperature control is commonly used.

종래기술에 따른 전기 가열로는 통상적으로 반응챔버의 외측 둘레에 원형 단면을 갖는 와이어 형태의 열선이나 코일 형태로 감겨진 열선이 나선 형태로 감겨진 원통 형상의 발열 구조체가 구비된다. 구체적으로 반응챔버의 외측 둘레를 따라 원통형으로 형성된 단열부재와, 단열부재의 내주면에 일정 간격으로 배치된 지지체와, 지지체에 나선 형태로 설치되는 열선으로 구성된다.Electric heating furnace according to the prior art is typically provided with a heat generating structure of a cylindrical shape wound around the outer periphery of the reaction chamber in the form of a wire wound in the form of a wire or a wire wound in the form of a spiral. Specifically, it is composed of a heat insulating member formed in a cylindrical shape along the outer periphery of the reaction chamber, a support disposed at regular intervals on the inner circumferential surface of the heat insulating member, and a hot wire provided in a spiral form on the support.

그러나, 종래기술에 따른 전기 가열로에 사용되는 열선은 원형 단면을 갖기 때문에 단위 면적당 에너지에 해당하는 표면부하밀도(surface loading)가 상대적으로 낮고, 이로 인해 챔버 내측 방향으로의 발열면적이 작게 되어 발열효율이 크게 떨어지는 문제점이 있었다. 더불어 급속 가열 및 급속 냉각과 같은 전기 가열로의 열처리 능력이 저하되고, 열효율 대비 열선의 수명이 단축되는 결과를 가져온다. 또한, 종래기술에 따른 전기 가열로용 발열 구조체는 열선을 지지하는 지지체의 구조적인 문제점으로 인해 열선의 열적 변형에 취약하고, 이로 인해 열선이 뒤틀리거나 심한 경우 단선을 유발하는 문제점을 안고 있다.However, since the heating wire used in the electric heating furnace according to the prior art has a circular cross section, the surface loading density corresponding to the energy per unit area is relatively low, which causes the heat generation area toward the inside of the chamber to be small, thereby generating heat. There was a problem that the efficiency is greatly reduced. In addition, the heat treatment ability of the electric heating furnace such as rapid heating and rapid cooling is reduced, resulting in a shortening of the life of the hot wire compared to the thermal efficiency. In addition, the heating structure for the electric heating apparatus according to the prior art is vulnerable to the thermal deformation of the heating wire due to the structural problems of the support for supporting the heating wire, thereby causing a problem that causes the wire to be twisted or severely disconnected.

이와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 본 출원인은 대한민국 등록특허 제0808766호(발명의 명칭 : 절연내화 애자 및 이를 이용한 원통형 전기 가열로)를 등록받은 바 있다. 이 등록특허에 의하면 직사각 형태의 단면을 갖는 평각선(平角線) 형태(strip type)의 저항 발열체를 이용한다. 이와 같은 저항 발열체는 와이어형 또는 코일형 열선에 비해 표면부하밀도 및 발열면적이 커서 발열 구조체의 발열효율 및 열처리 능력이 크게 향상되는 장점이 있다.In order to solve the problems of the prior art, the applicant has been registered with the Republic of Korea Patent No. 0,87,666 (Invention: Insulation Refractory and Cylindrical Electric Heating Furnace Using the Same). According to this patent, a resistive heating element of a strip type having a rectangular cross section is used. Such a resistance heating element has an advantage in that the heat generating efficiency and heat treatment ability of the heat generating structure are greatly improved compared to the wire type or coil type heating wire, because the surface load density and the heat generating area are large.

그러나, 등록특허에 따른 발열 구조체는 원통 형태로 제작되기 때문에 원통형 전기 가열로를 구성하는 데에만 한정된다. 즉, 다양한 형태(예를 들면 사각통과 같은 다각을 갖는 통, 반원통 등)의 노(爐)체를 구성할 수 없는 문제점이 있었다. 또한, 저항 발열체를 단열부재 및 지지체에 나선 형태로 연속 설치하기 때문에 전기 가열로의 구성이 다소 복잡해지고 제작기간이 길어지는 구조적인 문제점을 갖는다.
However, since the heat generating structure according to the patent is manufactured in a cylindrical form, it is limited only to constructing a cylindrical electric heating furnace. That is, there was a problem in that a furnace body of various forms (for example, a cylinder having a polygonal angle such as a square cylinder, a semi-cylinder, etc.) cannot be constructed. In addition, since the resistive heating element is continuously installed in the heat insulating member and the support in the form of a spiral, the configuration of the electric heating furnace is somewhat complicated and the manufacturing period is long.

본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로 본 발명의 목적은 직사각의 수직단면을 갖는 띠 형태의 저항 발열체를 이용하여 각형, 원통형, 반원통형 등 다양한 형태의 노체를 구성할 수 있고, 단순한 조립구조를 제공하여 노체의 제작효율을 향상시킬 수 있는 전기가열로용 발열구조체를 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the problems of the prior art as described above is an object of the present invention by using a strip-shaped resistance heating element having a vertical vertical section of a rectangular, cylindrical, semi-cylindrical, etc. It can be, to provide a simple assembly structure to provide a heating structure for the electric heating furnace that can improve the production efficiency of the furnace body.

본 발명의 다른 목적은 균일한 온도 영역을 형성하여 향상된 열처리 능력을 갖는 발열구조체 및 이를 이용한 전기 가열로를 제공하는 것이다.
Another object of the present invention is to provide a heat generating structure having an improved heat treatment capability by forming a uniform temperature range and an electric heating furnace using the same.

상기와 같은 본 발명의 목적은,The object of the present invention as described above,

직사각의 평면형 패널 형태를 가지고, 내화 단열소재로 이루어진 베이스(100); 좌우 일측면의 상부와 하부에 각각 형성된 제1 저항 발열체 삽입홈(212) 및 결합돌기(214)와, 제1 저항 발열체 삽입홈(212) 및 결합돌기(214)와 각각 대응되도록 타측면에 형성된 제2 저항 발열체 삽입홈(222)과 결합홈(224)이 구비되고, 결합돌기(214)와 결합홈(224)의 형상맞춤을 통해 일직선상으로 배열되고, 동시에 다수의 열을 이루어 베이스(100)에 고정 설치된 복수의 절연내화 지지체(200); 및 소정의 폭(W)과 두께(T)로 직사각의 수직단면을 갖는 띠 형태를 갖고, 베이스(100) 상에 다수의 행을 이루도록 서로 이웃한 절연내화 지지체(200)의 제1 및 제2 발열체 삽입홈(212, 222)에 삽입 지지되는 복수의 저항 발열체(300);를 포함하고, 그리고 복수의 저항 발열체(300)는 직렬 또는 병렬 연결되고, 양 말단에 각각 구비된 단자(322, 324)를 통해 전류를 공급받는 것을 특징으로 하는 전기가열로용 발열구조체에 의해 달성될 수 있다.Base 100 having a rectangular flat panel form, made of a refractory insulating material; First resistance heating element insertion grooves 212 and coupling protrusions 214 formed on the upper and lower sides of the left and right sides, respectively, and formed on the other side to correspond to the first resistance heating element insertion grooves 212 and coupling protrusions 214, respectively. The second resistance heating element insertion groove 222 and the coupling groove 224 is provided, arranged in a straight line through the shape matching of the coupling projection 214 and the coupling groove 224, and at the same time a plurality of rows to form the base 100 A plurality of insulation refractory supports 200 fixedly installed on the back panel; And first and second strips of insulating refractory support 200 adjacent to each other to form a plurality of rows on the base 100 having a stripe shape having a rectangular vertical section with a predetermined width W and thickness T. And a plurality of resistance heating elements 300 inserted into and supported by the heating element insertion grooves 212 and 222, and the plurality of resistance heating elements 300 are connected in series or in parallel, and are provided at terminals 322 and 324, respectively. It can be achieved by the heating structure for the electric heating furnace, characterized in that the current is supplied through).

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또한, 일 방향을 따라 일정한 곡률로 만곡된 곡면형 패널 형태를 가지고, 내화 단열소재로 이루어진 베이스(100); 좌우 일측면의 상부와 하부에 각각 형성된 제1 저항 발열체 삽입홈(212) 및 결합돌기(214)와, 제1 저항 발열체 삽입홈(212) 및 결합돌기(214)와 각각 대응되도록 타측면에 형성된 제2 저항 발열체 삽입홈(222)과 결합홈(224)이 구비되고, 결합돌기(214)와 결합홈(224)의 형상맞춤을 통해 일직선상으로 배열되고, 동시에 다수의 열을 이루어 상기 베이스(100)에 고정 설치된 복수의 절연내화 지지체(200); 및 소정의 폭(W)과 두께(T)로 직사각의 수직단면을 갖는 띠 형태를 갖고, 베이스(100) 상에 다수의 행을 이루도록 서로 이웃한 절연내화 지지체(200)의 제1 및 제2 발열체 삽입홈(212, 222)에 삽입 지지되는 복수의 저항 발열체(300);를 포함하고, 그리고 복수의 저항 발열체(300)는 직렬 또는 병렬 연결되고, 양 말단에 각각 구비된 단자(322, 324)를 통해 전류를 공급받는 것을 특징으로 하는 전기가열로용 발열구조체에 의해서도 달성될 수 있다.In addition, the base has a curved panel shape curved in a certain curvature along one direction, the base 100 made of a refractory insulating material; First resistance heating element insertion grooves 212 and coupling protrusions 214 formed on the upper and lower sides of the left and right sides, respectively, and formed on the other side to correspond to the first resistance heating element insertion grooves 212 and coupling protrusions 214, respectively. The second resistance heating element insertion groove 222 and the coupling groove 224 is provided, are arranged in a straight line through the shape of the coupling projection 214 and the coupling groove 224, at the same time a plurality of rows to form the base ( A plurality of insulation refractory supports 200 fixedly installed at 100; And first and second strips of insulating refractory support 200 adjacent to each other to form a plurality of rows on the base 100 having a stripe shape having a rectangular vertical section with a predetermined width W and thickness T. And a plurality of resistance heating elements 300 inserted into and supported by the heating element insertion grooves 212 and 222, and the plurality of resistance heating elements 300 are connected in series or in parallel, and are provided at terminals 322 and 324, respectively. It can also be achieved by a heating structure for an electric heating furnace characterized in that the current is supplied through).

그리고, 베이스(100)는 일직선상으로 배열된 절연내화 지지체(200)들이 일측면에 결합된 다수의 내화 단열패널(110)과, 내화 단열패널(110)들의 하측에 형성된 단열부재(120)로 이루어지며, 절연내화 지지체(200)는 상기 제1 및 제2 발열체 삽입홈(212, 222)의 하측에 제1 및 제2 관통홀(232, 234)이 상하로 이격되어 형성되고, 그리고 제1 및 제2 관통홀(232, 234)에 각각 끼움결합되는 제1 및 제2 지지봉(410, 420) 사이에 상기 내화 단열패널(110)이 개재됨으로써 절연내화 지지체(200)가 내화 단열패널(110)에 고정되는 것을 특징으로 한다.In addition, the base 100 includes a plurality of fireproof heat insulation panels 110 in which insulation fireproof supports 200 arranged in a straight line are coupled to one side, and heat insulation members 120 formed under the fireproof heat insulation panels 110. The insulating fireproof support 200 is formed by first and second through holes 232 and 234 spaced apart from each other up and down in the lower side of the first and second heating element insertion grooves 212 and 222, and a first And the fireproof insulation panel 110 is interposed between the first and second support rods 410 and 420 respectively fitted to the second through holes 232 and 234, so that the insulation fireproof support 200 is fireproof insulation panel 110. It is characterized in that fixed to).

그리고, 저항 발열체(300)는 폭(W)이 두께(T)보다 3 ~ 10배 크게 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the resistance heating element 300 is preferably formed such that the width W is 3 to 10 times larger than the thickness T.

그리고, 서로 이웃한 절연내화 지지체(200)의 제1 및 제2 저항 발열체 삽입홈(212, 222)은 저항 발열체(300)의 수직단면보다 크게 형성된다.The first and second resistance heating element insertion grooves 212 and 222 of the insulating fireproof support 200 adjacent to each other are formed to be larger than the vertical section of the resistance heating element 300.

그리고, 저항 발열체(300)는 FeCrAl 또는 NiCr으로 이루어진다.
The resistance heating element 300 is made of FeCrAl or NiCr.

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이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 전기가열로용 발열구조체의 저항 발열체는 직사각의 단면을 갖는 판형의 띠 형태(strip type)를 갖고 있어서, 종래의 와이어형 혹은 코일형의 열선에 비해 표면부하밀도 및 발열면적이 증대되고 이로 인해 우수한 발열효율과 상대적으로 오랜 수명을 갖게 된다. 그리고, 급속 가열 및 급속 냉각이 가능하여 열처리 능력이 향상되는 이점이 있다. 또한, 본 발명의 발열구조체는 다수의 저항 발열체가 평면 또는 곡면상에서 직렬 혹은 병렬연결되는 구조를 갖는다. 이는 열선이 나선형태로 연속설치되는 종래의 발열구조체에 비해 그 조립구조를 단순화시킬 수 있고, 더불어 가열로의 구성을 정형화하여 효율적인 제작이 가능한 이점이 있다.As described above, the resistance heating element of the heating structure for an electric heating furnace according to the present invention has a plate-shaped strip type having a rectangular cross section, and thus has a surface load density as compared with a conventional wire type or coil type heating wire. And the heat generating area is increased, thereby resulting in an excellent heat generating efficiency and a relatively long service life. In addition, there is an advantage in that the rapid heating and rapid cooling are possible, thereby improving heat treatment ability. In addition, the heating structure of the present invention has a structure in which a plurality of resistance heating elements are connected in series or in parallel on a flat or curved surface. This has the advantage that the assembly structure can be simplified compared to the conventional heating structure in which the heating wire is continuously installed in a spiral form, and in addition, the structure of the heating furnace can be formulated to efficiently manufacture.

또한, 본 발명에 따른 절연내화 지지체에 의한 지지구조는 가열 및 냉각이 반복됨에 따라 발생하는 저항 발열체의 변형 및 단선을 최소화함으로써 본 발명의 내구성이 크게 향상되는 이점이 있다. In addition, the support structure by the insulating refractory support according to the present invention has the advantage that the durability of the present invention is greatly improved by minimizing deformation and disconnection of the resistance heating element generated by repeated heating and cooling.

또한, 본 발명에 따른 전기가열로용 발열구조체는 발열면 전체에 걸쳐 균일한 온도 영역을 형성하고, 이로 인해 각종 피처리제에 대한 균일한 열처리가 가능하다.In addition, the heat generating structure for the electric heating furnace according to the present invention forms a uniform temperature range over the entire heating surface, thereby enabling a uniform heat treatment for the various treatment agents.

또한, 본 발명의 발열구조체는 평면형 또는 곡면형으로 제작된다. 이를 이용하여 사각통과 같은 각종 각형의 가열로를 구성할 수 있으며, 반원통 또는 원통과 같은 각종 곡형의 전기가열로를 구성할 수 있다. 이렇게 구성된 전기가열로는 내측의 반응챔버 방향으로 균일한 온도 영역을 형성하여 각종 피처리제에 대한 균일한 열처리가 가능하다. 이와 같은 발열구조체는 LCD, LED 등의 제조와 같은 반도체 제조공정뿐만 아니라 산업 전반에 걸친 각종 열처리장치에 활용될 수 있다.
In addition, the heat generating structure of the present invention is produced in a flat or curved shape. By using this, it is possible to configure various types of heating furnaces such as square cylinders, and to configure various curved electric heating furnaces such as semi-cylinders or cylinders. The electric heating furnace configured as described above forms a uniform temperature range in the direction of the reaction chamber of the inner side, thereby enabling uniform heat treatment of various treatment agents. Such a heat generating structure may be utilized in various heat treatment devices throughout the industry as well as semiconductor manufacturing processes such as LCD, LED, and the like.

비록 본 발명이 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 본 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다른 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 특허청구의 범위에 속함은 자명하다.
Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, it will be readily apparent to those skilled in the art that various other modifications and variations are possible without departing from the spirit and scope of the invention. Are all within the scope of the appended claims.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 전기가열로용 발열구조체의 사시도.
도 2는 도 1의 A-A선을 자른 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 절연내화 지지체를 나타내는 사시도.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 전기가열로용 발열구조체를 이용하여 수직형 전기 가열로를 구성한 일례를 나타내는 단면도.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 전기가열로용 발열구조체를 이용하여 수평형 전기 가열로를 구성한 일례를 나타내는 단면도.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 곡면형 발열구조체의 단면도.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 곡면형 발열구조체를 이용하여 수직형 전기 가열로를 구성한 일례를 나타내는 단면도.1 is a perspective view of a heating structure for an electric heating furnace according to a first embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 1.
Figure 3 is a perspective view of the insulating fireproof support according to the present invention.
Figure 4 is a cross-sectional view showing an example of configuring a vertical electric heating furnace using a heating structure for an electric heating furnace according to a first embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view showing an example in which a horizontal electric heating furnace is configured by using a heating structure for an electric heating furnace according to a first embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view of the curved heating structure according to the second embodiment of the present invention.
7 is a cross-sectional view showing an example of configuring a vertical electric heating furnace using a curved heating structure according to a second embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 사용한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In adding reference numerals to components of each drawing, the same reference numerals are used for the same components as much as possible even though they are shown in different drawings.

[제1 [First 실시예Example ]]

먼저, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 전기가열로용 발열구조체에 대하여 설명한다.First, a heat generating structure for an electric heating furnace according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 전기가열로용 발열구조체의 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A선을 자른 단면도이다. 본 발명의 제1 실시예에 따른 전기가열로용 발열구조체(10)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 크게 베이스(100), 절연내화 지지체(200), 저항 발열체(300), 제1 및 제2 지지봉(410, 420)을 포함하여 구성되고, 평판 형태로 제작된다.1 is a perspective view of a heating structure for an electric heating furnace according to a first embodiment of the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. As shown in FIGS. 1 and 2, the heating structure 10 for the electric heating furnace according to the first embodiment of the present invention has a base 100, an insulation refractory support 200, a resistance heating element 300, and a first structure. And second supporting rods 410 and 420, and are manufactured in a flat plate shape.

베이스(100)는 내화(耐火) 단열소재로 이루어져 절연내화 지지체(200)를 지지하는 역할을 한다. 본 실시예에 의하면 베이스(100)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 절연내화 지지체(200)가 고정설치되는 다수의 내화 단열패널(110)과, 그 하측에 형성된 단열부재(120)로 이루어진다. 이때, 내화 단열패널(110)과 단열부재(120)는 직사각 형태의 평면형 패널로 제작된다.Base 100 is made of a refractory insulation material serves to support the insulation refractory support 200. According to the present embodiment, the base 100 includes a plurality of fire insulation panels 110 to which the insulation fireproof support 200 is fixed and installed as shown in FIGS. 1 and 2, and a heat insulation member 120 formed on the lower side thereof. Is done. At this time, the fireproof heat insulation panel 110 and the heat insulation member 120 are manufactured as a rectangular flat panel.

한편, 내화 단열패널(110)은 절연내화 지지체(200)의 지지를 위하여 석고재, 세라믹 등과 같이 소정의 강도를 구비한 내화 단열소재가 사용된다. 그리고, 단열부재(120)는 유리섬유와 같은 섬유류, 각종 탄소질, 유리질, 금속질 등과 같은 다양한 단열소재가 사용될 수 있다. 한편, 본 발명에 따른 전기가열로용 발열구조체(10)의 내구성을 증진시키기 위하여 다수의 내화 단열패널(110)의 상면에 내화 단열소재의 물질(미도시)이 추가적으로 도포될 수 있다.On the other hand, the refractory heat insulating panel 110 is a refractory heat insulating material having a predetermined strength, such as gypsum material, ceramics, etc. are used to support the insulating refractory support 200. In addition, the heat insulating member 120 may be a variety of heat insulating materials such as fibers, such as glass fibers, various carbonaceous, glassy, metal, and the like. On the other hand, in order to enhance the durability of the heating structure 10 for the electric heating furnace according to the present invention a material (not shown) of the refractory insulation material may be additionally applied to the upper surface of the plurality of refractory insulation panels (110).

도 3은 본 발명에 따른 절연내화 지지체를 나타내는 사시도이다. 절연내화 지지체(200)는 저항 발열체(300)를 베이스(100)로부터 소정거리 이격시키고 지지하는 역할을 한다. 본 실시예에 의하면 절연내화 지지체(200)는 세라믹을 소결하여 제작한 것으로, 구체적으로는 알루미나(alumina) 소재로 이루어진다. 본 실시예에 의하면 절연내화 지지체(200)는 도 3에서와 같이 약 14mm의 길이(L)와 약 6mm의 폭(W)을 갖는 직사각 형태의 수평 단면을 갖고, 약 30mm의 높이(H)를 갖음으로써 전체적으로 직육면체 형상을 갖는다. 그리고, 제1 저항 발열체 삽입홈(212), 결합돌기(214), 제2 저항 발열체 삽입홈(222), 결합홈(224), 제1 관통홀(232) 및 제2 관통홀(234)이 형성되어 있다. 3 is a perspective view showing an insulating fireproof support according to the present invention. The insulation refractory support 200 spaces and supports the resistance heating element 300 at a predetermined distance from the base 100. According to the present embodiment, the insulation refractory support 200 is manufactured by sintering ceramic, and specifically, made of an alumina material. According to the present embodiment, the insulating fireproof support 200 has a horizontal cross section having a rectangular shape having a length L of about 14 mm and a width W of about 6 mm, as shown in FIG. 3, and has a height H of about 30 mm. It has a rectangular parallelepiped shape as a whole. The first resistance heating element insertion groove 212, the coupling protrusion 214, the second resistance heating element insertion groove 222, the coupling groove 224, the first through hole 232, and the second through hole 234 are provided. Formed.

제1 저항 발열체 삽입홈(212)와 결합돌기(214)는 도 3에서와 같이 절연내화 지지체(200)의 좌측면 상부와 하부에 각각 형성되어 있다. 그리고, 제2 저항 발열체 삽입홈(222)과 결합홈(224)은 절연내화 지지체(200)의 우측면 상부와 하부에 각각 형성되어 있다.As shown in FIG. 3, the first resistance heating element insertion groove 212 and the coupling protrusion 214 are formed on the upper and lower left surfaces of the insulating refractory support 200, respectively. In addition, the second resistance heating element insertion groove 222 and the coupling groove 224 are formed on the upper and lower right sides of the insulation refractory support 200, respectively.

결합돌기(214)와 결합홈(224)은 서로 대응되게 형성되어 이웃한 절연내화 지지체(200)와 형상맞춤되는 구조를 갖는다. 본 실시예에 의하면 도 3에서와 같이 결합돌기(214)와 결합홈(224)이 도브테일(dovetail) 형태로 형성된다. 그리고, 제1 및 제2 저항 발열체 삽입홈(212, 222)은 좌우측면의 서로 대응되는 위치에 형성됨으로써 도 1에 도시된 바와 같이 2개의 절연내화 지지체(200)가 형상맞춤될 때 후술하게 될 저항 발열체(300)가 삽입 지지되는 슬롯(S)을 형성한다. 이때, 제1 및 제2 저항 발열체 삽입홈(212, 222)에 의해 형성되는 슬롯(S)은 저항 발열체(300)의 수직단면보다 크게 형성되는 것이 바람직하다. 이는 저항 발열체(300)의 열적 변형에 대처하기 위한 것으로 저항 발열체(300)의 뒤틀림 현상 또는 단선을 방지할 수 있다.The coupling protrusion 214 and the coupling groove 224 are formed to correspond to each other to have a structure that is conformed to the neighboring insulating refractory support 200. According to the present embodiment, as shown in FIG. 3, the coupling protrusion 214 and the coupling groove 224 are formed in a dovetail shape. In addition, the first and second resistance heating element insertion grooves 212 and 222 are formed at positions corresponding to each other on the left and right sides, so that the two insulation refractory supports 200 will be described later as shown in FIG. 1. The resistance heating element 300 forms a slot S inserted therein. In this case, the slot S formed by the first and second resistance heating element insertion grooves 212 and 222 may be formed to be larger than the vertical cross section of the resistance heating element 300. This is to cope with the thermal deformation of the resistance heating element 300 and can prevent distortion or disconnection of the resistance heating element 300.

한편, 제1 관통홀(232)과 제2 관통홀(234)은 제1 및 제2 발열체 삽입홈(212, 222)의 하측에 상술된 내화 단열패널(110)의 두께만큼 상하로 이격되어 형성된다. 제1 및 제2 관통홀(232, 234)은 후술하게 될 제1 및 제2 지지봉(410, 420)이 각각 삽입된다.On the other hand, the first through hole 232 and the second through hole 234 is formed spaced apart up and down by the thickness of the above-described fire-resistant insulation panel 110 on the lower side of the first and second heating element insertion grooves (212, 222). do. In the first and second through holes 232 and 234, first and second supporting rods 410 and 420, which will be described later, are inserted.

저항 발열체(300)는 인가된 전류량에 따라 소정 온도로 가열되어 발열작용을 수행하게 된다. 저항 발열체(300)는 FeCrAl, NiCr 등과 같은 합금으로 이루어지고, 대략 500 ~ 1250℃까지 승온된다. 본 발명에 따른 저항 발열체(300)는 종래의 와이어 혹은 코일 형태의 열선과 달리 도 1에 도시된 바와 같이 소정의 폭(W)과 두께(T)로 직사각의 수직단면을 갖는 판형의 띠 형태, 즉 평각선과 같은 형태(strip type)를 갖고, 소정 길이로 길게 형성된다. 이때, 저항 발열체(300)는 표면부하밀도 및 발열면적의 증대를 위해 폭(W)이 두께(T)보다 3 ~ 10배 크게 형성되는 것이 바람직하다. 이와 같은 직사각의 수직단면을 갖는 저항 발열체(300)는 와이어 혹은 코일 형태의 열선에 비해 본 발명에 따른 발열 구조체(10)의 발열효율 및 열처리 능력을 크게 향상시킬 수 있다.The resistance heating element 300 is heated to a predetermined temperature according to the amount of current applied to perform the heating operation. The resistance heating element 300 is made of an alloy such as FeCrAl, NiCr, and the temperature is raised to approximately 500 to 1250 ° C. The resistive heating element 300 according to the present invention has a strip-like band shape having a vertical vertical cross section with a predetermined width W and a thickness T, as shown in FIG. 1, unlike a conventional wire or coil type hot wire. That is, it has a strip type and has a long length. At this time, the resistance heating element 300 is preferably formed in the width (W) 3 to 10 times larger than the thickness (T) to increase the surface load density and the heat generating area. Such a resistance heating element 300 having a vertical vertical cross section can greatly improve the heat generating efficiency and heat treatment ability of the heat generating structure 10 according to the present invention as compared to the wire or coil-shaped heating wire.

제1 및 제2 지지봉(410, 420)은 절연내화 지지체(200)의 제1 및 제2 관통홀(232, 234)에 끼움결합되는 봉체이다.
The first and second supporting rods 410 and 420 are rods fitted into the first and second through holes 232 and 234 of the insulating fireproof support 200.

위와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 전기가열로용 발열구조체(10)는 다음과 같은 조립구조를 갖는다. 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 절연내화 지지체(200)의 제1 및 제2 관통홀(232, 234)에 제1 및 제2 지지봉(410, 420)이 끼움결합되고, 결합돌기(214)와 결합홈(224)의 형상맞춤을 통해 다수의 절연내화 지지체(200)가 일직선상으로 배열된다. 그리고, 1열로 배열된 다수의 절연내화 지지체(200)들이 다수의 열을 이루도록 배치하고, 내화 단열패널(110)의 일 측부를 제1 및 제2 지지봉(410, 420) 사이에 끼움 결합시킴으로써 다수의 열을 이룬 절연내화 지지체(200)들과 다수의 내화 단열패널(110)들이 고정되도록 한다. 그리고, 내화 단열패널(100)들의 하측에는 단열부재(120)를 형성시키게 된다. The heating structure 10 for an electric heating furnace according to the present invention having the configuration as described above has an assembly structure as follows. As shown in FIGS. 1 and 2, the first and second support bars 410 and 420 are fitted into the first and second through holes 232 and 234 of the insulating refractory support 200, and the coupling protrusion 214 is coupled thereto. ) And a plurality of insulating refractory supports 200 are arranged in a straight line through the shape matching of the coupling groove 224. In addition, the plurality of insulation refractory supports 200 arranged in one row are disposed to form a plurality of rows, and a plurality of insulation refractory panels 110 are fitted by fitting one side portion between the first and second support rods 410 and 420. Insulated refractory supports 200 and a plurality of refractory insulating panels 110 are formed to be fixed. Then, the heat insulating member 120 is formed on the lower sides of the fire resistant heat insulating panels 100.

한편, 본 발명에 따른 발열구조체(10)는 상술된 것처럼 1열로 배열된 다수의 절연내화 지지체(200)들이 일체형으로 형성되는 것도 가능하다.On the other hand, the heat generating structure 10 according to the present invention may be formed integrally with a plurality of insulating refractory support 200 arranged in a row as described above.

다음으로, 다수의 저항 발열체(300)를 서로 이웃한 절연내화 지지체(200)의 제1 및 제2 발열체 삽입홈(212, 222)에 의해 형성된 슬롯(S)에 삽입함으로써 도 1에 도시된 바와 같이 베이스(100) 상에 다수의 행을 이루도록 설치한다. 그리고, 보조 저항 발열체(310)를 용접하여 다수의 저항 발열체(300)들을 직렬연결시키게 된다. 이때, 보조 저항 발열체(310)를 이용하여 다수의 저항 발열체(300)들을 병렬연결시키는 것도 가능하다.Next, as shown in FIG. 1 by inserting the plurality of resistance heating elements 300 into the slots S formed by the first and second heating element insertion grooves 212 and 222 of the insulating refractory support 200 adjacent to each other. Likewise, the base 100 is installed to form a plurality of rows. The auxiliary resistance heating element 310 is welded to connect the plurality of resistance heating elements 300 in series. In this case, it is also possible to connect the plurality of resistance heating elements 300 in parallel by using the auxiliary resistance heating element 310.

마지막으로, 직렬 또는 병렬연결된 저항 발열체(300)들의 양 말단에 전류공급을 위한 제1 단자(322)와 제2 단자(324)를 형성시키게 된다.
Finally, the first terminal 322 and the second terminal 324 for supplying current are formed at both ends of the resistance heating elements 300 connected in series or in parallel.

[제1 [First 실시예의Example 적용예Application example ]]

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 전기가열로용 발열구조체를 이용하여 수직형 전기 가열로를 구성한 일례를 나타내는 수평 단면도이다. 본 발명에 따른 전기가열로용 발열구조체(10)는 도 4에 도시된 바와 같이 사각 형태의 수평 단면을 갖는 수직형 노체의 일 측면부를 형성함으로써 각형의 수직형 전기 가열로(1)를 구성할 수 있다. 그리고, 전기가열로용 발열구조체(10)의 외측 둘레에는 단열소재의 외벽(2)이 형성된다. 이와 같은 수직형 전기 가열로(1)의 내부에는 점선으로 표시된 각형의 반응챔버(3)가 구비되고, 반응챔버(3)에 대하여 균일한 온도로 가열할 수 있다.4 is a horizontal cross-sectional view showing an example in which a vertical electric heating furnace is configured by using a heating structure for an electric heating furnace according to a first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 4, the heating structure 10 for the electric heating furnace according to the present invention forms one side portion of a vertical furnace having a horizontal cross section having a square shape to form a rectangular vertical electric heating furnace 1. Can be. The outer wall 2 of the heat insulating material is formed on the outer circumference of the heating structure 10 for the electric heating furnace. The inside of the vertical electric heating furnace 1 is provided with a square reaction chamber 3 indicated by a dotted line, and can be heated to a uniform temperature with respect to the reaction chamber 3.

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 전기가열로용 발열구조체를 이용하여 수평형 전기 가열로를 구성한 일례를 나타내는 수직 단면도이다. 본 발명에 따른 전기가열로용 발열구조체(10)는 도 5에 도시된 바와 같이 사각 형태의 수직 단면을 갖는 튜브형 노체의 양 측면부와 상면부를 형성함으로써 각형의 수평형 전기 가열로(1')를 구성할 수 있다. 그리고, 전기가열로용 발열구조체(10)의 외측 둘레에는 단열소재의 외벽(2)이 형성된다. 수평형 전기 가열로(1')의 내부에는, 예를 들어 다수의 이송롤러(4)가 구비되고 패널형 소재(5)를 가열로(1')의 길이방향으로 이송하면서 열처리를 수행할 수 있다. 이와 같은 수평형 전기 가열로(1')는 LCD, PDP, LED 등과 같은 패널 형태의 전기소자의 제조에 활용될 수 있다.5 is a vertical cross-sectional view showing an example in which a horizontal electric heating furnace is configured by using a heating structure for an electric heating furnace according to a first embodiment of the present invention. The heating structure 10 for an electric heating furnace according to the present invention forms a rectangular horizontal electric heating furnace 1 'by forming both side portions and an upper surface portion of a tubular furnace body having a rectangular vertical cross section as shown in FIG. Can be configured. The outer wall 2 of the heat insulating material is formed on the outer circumference of the heating structure 10 for the electric heating furnace. Inside the horizontal electric heating furnace 1 ', for example, a plurality of feed rollers 4 are provided, and the heat treatment can be performed while transferring the panel-like material 5 in the longitudinal direction of the heating furnace 1'. have. Such a horizontal type electric heating furnace 1 'can be utilized for the manufacture of electric elements in the form of panels, such as LCD, PDP, LED.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 수직형 및 수평형 전기 가열로(1, 1')는 내측 방향으로 균일한 온도 영역을 형성하여 피처리제에 대한 균일한 열처리가 가능하다.As described above, the vertical type and horizontal type electric heating furnaces 1 and 1 'according to the present invention form a uniform temperature region in the inward direction to enable uniform heat treatment of the processing target.

한편, 본 발명에 따른 전기로용 발열구조체(10)은 상술된 형태의 가열로에 한정되지 않고, 본 발명의 범위 내에서 여러 형태로 변형되어 사용될 수 있다. 또한, 반도체 제조공정뿐만 아니라 산업 전반의 각종 열처리 장치로서 그 활용 폭을 넓힐 수 있다.
On the other hand, the heat generating structure 10 for an electric furnace according to the present invention is not limited to the heating furnace of the above-described form, it can be used in various forms within the scope of the present invention. In addition, not only the semiconductor manufacturing process but also various industrial heat treatment devices can be used for a wide range of applications.

[제2 [Second 실시예Example ]]

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 전기가열로용 발열구조체에 대해 설명한다.Hereinafter, a heat generating structure for an electric heating furnace according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 곡면형 발열구조체의 단면도이다. 도 6에 도시된 바와 같이 제2 실시예에 따른 발열구조체(10")는 베이스(100")가 길이방향을 따라 일정한 곡률로 만곡된 형태를 갖는다. 즉, 다수의 내화 단열패널(110")과 단열부재(120")는 일정한 곡률 갖는 직사각 형태의 곡면형 패널로 이루어진다. 이때, 절연내화 지지체(200)의 설치 및 지지구조는 제1 실시예와 동일하다. 그리고, 저항 발열체(300)는 만곡된 상태로 제조되거나 탄성적으로 휘어져서 절연내화 지지체(200)에 설치된다.6 is a cross-sectional view of the curved heating structure according to the second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 6, the heating structure 10 ″ according to the second embodiment has a shape in which the base 100 ″ is curved at a constant curvature along the longitudinal direction. That is, the plurality of fireproof insulation panels 110 ″ and the insulation member 120 ″ are formed of rectangular panels having a constant curvature. At this time, the installation and support structure of the insulating refractory support 200 is the same as the first embodiment. In addition, the resistance heating element 300 is manufactured in a curved state or elastically bent to be installed on the insulating refractory support 200.

도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 곡면형 발열구조체를 이용하여 수직형 전기 가열로를 구성한 일례를 나타내는 단면도이다. 본 실시예의 곡면형 발열구조체(10")는 도 7에서와 같이 원통 형상을 갖는 수직형 노체의 일측을 형성함으로써 수직형 전기 가열로(1")를 구성할 수 있다. 이때, 발열구조체(10")의 외측 둘레를 따라 단열소재의 외벽(2")이 형성된다. 그리고, 가열로(1")의 내부에는 점선으로 표시된 원형 단면을 갖는 곡형의 반응챔버(3")가 구비된다.7 is a cross-sectional view showing an example of configuring a vertical electric heating furnace using a curved heating structure according to a second embodiment of the present invention. The curved heating structure 10 ″ of the present embodiment may form a vertical electric heating furnace 1 ″ by forming one side of a vertical furnace body having a cylindrical shape as shown in FIG. 7. At this time, the outer wall 2 "of the heat insulating material is formed along the outer circumference of the heat generating structure 10". In addition, a curved reaction chamber 3 "having a circular cross section indicated by a dotted line is provided inside the heating furnace 1".

본 실시예에 의하면 3개의 곡면형 발열구조체(10")를 이용하여 원통형 전기 가열로(1")를 구성하였지만, 곡률에 따라 2개 또는 4개 이상의 곡면형 발열구조체(10")를 연속설치하여 원통형 전기 가열로(1")를 구성할 수도 있다.According to this embodiment, although the cylindrical electric heating furnace 1 "is formed using three curved heating structures 10", two or four or more curved heating structures 10 "are continuously installed according to the curvature. To constitute a cylindrical electric heating furnace 1 ".

한편, 제2 실시예에 따른 발열구조체(10")는 도면에는 도시되어 있지 않지만, 제1 실시예와 같은 방식으로 반원통 형상의 수평형 전기 가열로를 구성할 수 있으며 제1 실시예에 따른 발열구조체(10)와의 조합으로 이루어진 전기 가열로를 구성할 수도 있다.
On the other hand, although the heat generating structure 10 "according to the second embodiment is not shown in the figure, it is possible to configure a semi-cylindrical horizontal electric heating furnace in the same manner as in the first embodiment, and according to the first embodiment It is also possible to configure an electric heating furnace composed of a combination with the heat generating structure (10).

1, 1" : 수직형 전기 가열로
1' : 수평형 전기 가열로
2, 2" : 외벽
3, 3" : 반응챔버
4 : 이송롤러
5 : 패널형 소재
10, 10" : 발열구조체
100, 100" : 베이스
110, 110" : 내화 단열패널
120, 120" : 단열부재
200 : 절연내화 지지체
212 : 제1 저항 발열체 삽입홈
214 : 결합돌기
222 : 제2 저항 발열체 삽입홈
224 : 결합홈
232 : 제1 관통홀
234 : 제2 관통홀
300 : 저항 발열체
310 : 보조 저항 발열체
322 : 제1 단자
324 : 제2 단자
410 : 제1 지지봉
420 : 제2 지지봉1, 1 ": vertical electric furnace
1 ': horizontal electric furnace
2, 2 ": outer wall
3, 3 ": reaction chamber
4: feed roller
5: panel material
10, 10 ": heating structure
100, 100 "Base
110, 110 ": fireproof insulation panel
120, 120 ": Insulation member
200: insulation refractory support
212: first resistance heating element insertion groove
214: engaging projection
222: second resistance heating element insertion groove
224: coupling groove
232: first through hole
234: second through hole
300: resistance heating element
310: auxiliary resistance heating element
322: first terminal
324: second terminal
410: first support rod
420: second support rod

Claims (9)

삭제delete 삭제delete 직사각의 평면형 패널 형태를 가지고, 내화 단열소재로 이루어진 베이스(100);
좌우 일측면의 상부와 하부에 각각 형성된 제1 저항 발열체 삽입홈(212) 및 결합돌기(214)와, 상기 제1 저항 발열체 삽입홈(212) 및 결합돌기(214)와 각각 대응되도록 타측면에 형성된 제2 저항 발열체 삽입홈(222)과 결합홈(224)이 구비되고,
상기 결합돌기(214)와 상기 결합홈(224)의 형상맞춤을 통해 일직선상으로 배열되고, 동시에 다수의 열을 이루어 상기 베이스(100)에 고정 설치된 복수의 절연내화 지지체(200); 및
소정의 폭(W)과 두께(T)로 직사각의 수직단면을 갖는 띠 형태를 갖고, 상기 베이스(100) 상에 다수의 행을 이루도록 서로 이웃한 상기 절연내화 지지체(200)의 제1 및 제2 발열체 삽입홈(212, 222)에 삽입 지지되는 복수의 저항 발열체(300);를 포함하고, 그리고
상기 복수의 저항 발열체(300)는 직렬 또는 병렬 연결되고, 양 말단에 각각 구비된 단자(322, 324)를 통해 전류를 공급받는 것을 특징으로 하는 전기가열로용 발열구조체.Base 100 having a rectangular flat panel form, made of a refractory insulating material;
The first resistance heating element insertion groove 212 and the coupling protrusion 214 and the first resistance heating element insertion groove 212 and the coupling protrusion 214 respectively formed on the upper and lower sides of the left and right sides, respectively, so as to correspond to each other The formed second resistance heating element insertion groove 222 and the coupling groove 224 is provided,
A plurality of insulating refractory supports 200 arranged in a straight line through shape matching of the coupling protrusion 214 and the coupling groove 224 and fixed to the base 100 by forming a plurality of rows at the same time; And
First and first of the insulating refractory support 200 adjacent to each other to form a plurality of rows on the base 100 in the form of a strip having a rectangular vertical cross-section at a predetermined width (W) and thickness (T) And a plurality of resistance heating elements 300 inserted into and supported by the heating element insertion grooves 212 and 222, and
The plurality of resistance heating elements 300 are connected in series or in parallel, the heating structure for an electric heating furnace, characterized in that the current is supplied through the terminals (322, 324) provided at each end. 일 방향을 따라 일정한 곡률로 만곡된 곡면형 패널 형태를 가지고, 내화 단열소재로 이루어진 베이스(100);
좌우 일측면의 상부와 하부에 각각 형성된 제1 저항 발열체 삽입홈(212) 및 결합돌기(214)와, 상기 제1 저항 발열체 삽입홈(212) 및 결합돌기(214)와 각각 대응되도록 타측면에 형성된 제2 저항 발열체 삽입홈(222)과 결합홈(224)이 구비되고,
상기 결합돌기(214)와 상기 결합홈(224)의 형상맞춤을 통해 일직선상으로 배열되고, 동시에 다수의 열을 이루어 상기 베이스(100)에 고정 설치된 복수의 절연내화 지지체(200); 및
소정의 폭(W)과 두께(T)로 직사각의 수직단면을 갖는 띠 형태를 갖고, 상기 베이스(100) 상에 다수의 행을 이루도록 서로 이웃한 상기 절연내화 지지체(200)의 제1 및 제2 발열체 삽입홈(212, 222)에 삽입 지지되는 복수의 저항 발열체(300);를 포함하고, 그리고
상기 복수의 저항 발열체(300)는 직렬 또는 병렬 연결되고, 양 말단에 각각 구비된 단자(322, 324)를 통해 전류를 공급받는 것을 특징으로 하는 전기가열로용 발열구조체.A base 100 having a curved panel shape curved at a predetermined curvature along one direction and made of a refractory insulating material;
The first resistance heating element insertion groove 212 and the coupling protrusion 214 and the first resistance heating element insertion groove 212 and the coupling protrusion 214 respectively formed on the upper and lower sides of the left and right sides, respectively, so as to correspond to each other The formed second resistance heating element insertion groove 222 and the coupling groove 224 is provided,
A plurality of insulating refractory supports 200 arranged in a straight line through shape matching of the coupling protrusion 214 and the coupling groove 224 and fixed to the base 100 by forming a plurality of rows at the same time; And
First and first of the insulating refractory support 200 adjacent to each other to form a plurality of rows on the base 100 in the form of a strip having a rectangular vertical cross-section at a predetermined width (W) and thickness (T) And a plurality of resistance heating elements 300 inserted into and supported by the heating element insertion grooves 212 and 222, and
The plurality of resistance heating elements 300 are connected in series or in parallel, the heating structure for an electric heating furnace, characterized in that the current is supplied through the terminals (322, 324) provided at each end. 제3항 또는 제4항에 있어서,
상기 베이스(100)는 상기 일직선상으로 배열된 절연내화 지지체(200)들이 일측면에 결합된 다수의 내화 단열패널(110)과, 상기 내화 단열패널(110)들의 하측에 형성된 단열부재(120)로 이루어지며,
상기 절연내화 지지체(200)는 상기 제1 및 제2 발열체 삽입홈(212, 222)의 하측에 제1 및 제2 관통홀(232, 234)이 상하로 이격되어 형성되고, 그리고
상기 제1 및 제2 관통홀(232, 234)에 각각 끼움결합되는 제1 및 제2 지지봉(410, 420) 사이에 상기 내화 단열패널(110)이 개재됨으로써 상기 절연내화 지지체(200)가 상기 내화 단열패널(110)에 고정되는 것을 특징으로 하는 전기가열로용 발열구조체.The method according to claim 3 or 4,
The base 100 includes a plurality of fireproof insulation panels 110 having the insulation refractory supports 200 arranged in a straight line coupled to one side, and a heat insulation member 120 formed under the fireproof insulation panels 110. It consists of
The insulating refractory support 200 is formed with the first and second through holes 232 and 234 spaced apart from each other up and down under the first and second heating element insertion grooves 212 and 222, and
The fire resistant insulation panel 110 is interposed between the first and second support rods 410 and 420 that are fitted to the first and second through holes 232 and 234, respectively. Heating structure for an electric heating furnace, characterized in that fixed to the fire-resistant insulation panel (110). 제3항 또는 제4항에 있어서,
상기 저항 발열체(300)는 상기 폭(W)이 상기 두께(T)보다 3 ~ 10배 크게 형성된 것을 특징으로 하는 전기가열로용 발열구조체.The method according to claim 3 or 4,
The resistance heating element 300 is a heating structure for an electric heating furnace, characterized in that the width (W) is formed 3 to 10 times larger than the thickness (T). 제3항 또는 제4항에 있어서,
상기 서로 이웃한 절연내화 지지체(200)의 제1 및 제2 저항 발열체 삽입홈(212, 222)은 상기 저항 발열체(300)의 수직단면보다 크게 형성된 것을 특징으로 하는 전기가열로용 발열구조체.The method according to claim 3 or 4,
First and second resistance heating element insertion grooves (212, 222) of the neighboring insulating refractory support 200 is a heating structure for the electric heating furnace, characterized in that formed larger than the vertical section of the resistance heating element (300). 제3항 또는 제4항에 있어서,
상기 저항 발열체(300)는 FeCrAl 또는 NiCr으로 이루어진 것을 특징으로 하는 전기가열로용 발열구조체.The method according to claim 3 or 4,
The resistance heating element 300 is a heating structure for an electric heating furnace, characterized in that consisting of FeCrAl or NiCr. 삭제delete
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