KR20070012869A - Ceramic insulator and cylindrical electric furnace - Google Patents

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Abstract

A refractory insulator and a cylindrical electric furnace using the same are provided to prevent deformation of an electric heating member and increase a heating area, thereby improving an annealing performance. A refractory insulator includes a sintered insulator body(12), a lower heating member receiving groove(13) and a lower engaging member(14) formed on a lower surface of the insulator body and spaced apart from each other at a certain interval, and an upper heating member receiving groove(15) and an upper engaging member(16) formed on an upper surface of the insulator body at positioned corresponding to the lower heating member receiving groove and lower engaging member. A front hole(17) and a rear hole(18) are formed to penetrate the insulator body.

Description

절연내화 애자 및 이를 이용한 원통형 전기가열로{Ceramic insulator and cylindrical electric furnace}Insulation refractory insulator and cylindrical electric furnace using same

본 명세서에서 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술하는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어서 해석되어서는 아니된다.The following drawings, which are attached in this specification, illustrate preferred embodiments of the present invention, and together with the detailed description of the present invention, serve to further understand the technical spirit of the present invention. It should not be construed as limited to.

도 1은 본 발명에 따른 절연내화 애자의 사시도.1 is a perspective view of an insulated refractory insulator according to the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 절연내화 애자와 전기발열체의 조립상태도.Figure 2 is an assembled state of the insulating refractory insulator and the electric heating element according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 절연내화 애자를 이용한 원통형 전기가열로의 평면도.3 is a plan view of a cylindrical electric heating furnace using an insulated refractory insulator according to the present invention.

도 4는 도 3의 A-A선에서 본 단면도.4 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

12: 애자몸체12: insulator

13: 하부 발열체 삽입홈13: Lower heating element insertion groove

14: 하부결합요소14: lower coupling element

14a: 걸림턱14a: jaw

16: 상부결합요소16: upper coupling element

16a: 걸림홈16a: hanging groove

17: 프론트 홀17: front hall

18: 리어 홀18: rear hall

20: 전기발열체20: electric heating element

30: 프론트 지지봉30: front support rod

32: 리어 지지봉32: rear support rod

50: 원통 외벽50: cylindrical outer wall

60: 단열부재60: insulation member

본 발명은 절연내화 애자 및 이를 이용한 원통형 전기가열로에 관한 것으로, 특히 가느다라고 긴 평각선 형태의 전기발열체를 지지할 수 있도록 한 절연내화 애자 및 이를 이용하여 급열 급냉 성능이 우수하고 균일한 열처리가 가능한 원통형 전기가열로에 관한 것이다.The present invention relates to an insulated refractory insulator and a cylindrical electric heating furnace using the same, in particular, an insulated refractory insulator capable of supporting an elongated flat heating element, and an excellent rapid quenching performance and uniform heat treatment using the same. Relates to a possible cylindrical electric heating furnace.

일반적으로 반도체 웨이퍼를 열처리하기 위해 통상 고온용 열처리장치가 요구된다. 고온용 열처리장치에는 전기로가 포함된다.Generally, a high temperature heat treatment apparatus is generally required to heat treat a semiconductor wafer. The high temperature heat treatment apparatus includes an electric furnace.

종래 전기로는 주로 코일형 히터가 나선 형태로 노체에 배치되는 구조로서 그 설치 구조가 복잡해 진다.Conventional electric furnaces mainly have a coil heater arranged in a furnace body in a spiral form, and the installation structure thereof becomes complicated.

이러한 코일형 히터가 아닌 가느다라고 긴 편각선 형태의 전기발열체를 적용 할 경우 전기로의 구조가 간단해지고, 히터의 수명 및 보수 유지가 용이해질 것이다.When the electric heating element in the form of a long declination line rather than the coil-type heater is applied, the structure of the electric furnace will be simple, and the life and maintenance of the heater will be easy.

또한 평각선 전기발열체는 코일 히터에 비해 발열면적이 증대되어 열처리 성능을 증대시킬 수 있다.In addition, the flat electric heating element can increase the heat generating area compared to the coil heater can increase the heat treatment performance.

따라서 본 발명은 상기와 같은 제반적인 사정을 감안하여 창출된 것으로, 평각선 형태의 전기발열체를 전기로에 적용할 수 있도록 한 절연내화 애자를 제공함에 있다.Accordingly, the present invention has been made in view of the above-mentioned general circumstances, and provides an insulation refractory insulator in which a flat electric heating element can be applied to an electric furnace.

또한 상기 절연내화 애자를 이용하여 구조가 간단하고 유지 보수가 용이한 원통형 전기가열로를 제공함에 그 목적이 있다.It is also an object of the present invention to provide a cylindrical electric heating furnace having a simple structure and easy maintenance by using the insulation fire insulator.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구체적인 수단은,Specific means of the present invention for achieving the above object,

전기가열로에 사용되는 절연내화 애자에 있어서,In the insulation fire insulator used in the electric heating furnace,

소결된 애자 몸체로서,Sintered insulator body,

상기 애자 몸체의 하면에 각기 일정 간격을 가지고 구비된 하부 발열체 삽입홈 및 하부 결합요소와;A lower heating element inserting groove and a lower coupling element provided on the lower surface of the insulator body at predetermined intervals;

상기 애자 몸체의 상면에 상기 하부 발열체 삽입홈 및 하부 결합요소와 상방 동일 위치에 대응하는 상부 발열체 삽입홈 및 상부결합요소와;An upper heating element insertion groove and an upper coupling element corresponding to an upper position of the lower heating element insertion groove and the lower coupling element on an upper surface of the insulator body;

상기 애자 몸체에 동일 수평 위치에 관통되어 있는 지지봉 삽입용 프론트 홀과 리어 홀이 구비되어 구성된 것을 특징으로 한다.It characterized in that the front body and the rear hole for supporting rod insertion penetrates in the same horizontal position on the insulator body.

또한 본 발명에 따르면,Also according to the invention,

상기 하부결합요소와 상부결합요소는 동일한 형태로 상호 대응되는 걸림턱과 걸림홈을 갖는 것을 특징으로 한다.The lower coupling element and the upper coupling element is characterized in that it has a locking jaw and a locking groove corresponding to each other in the same form.

또한 본 발명에 따른 절연내화 애자를 이용한 전기가열로는,In addition, the electric heating furnace using the insulated refractory insulator according to the present invention,

일정 간격마다 방사상으로 원주상에 배치되어 일직선상으로 결합된 상기 절연내화 애자들과;The insulating refractory insulators radially disposed circumferentially at regular intervals and coupled in a straight line;

상하로 이웃하게 결합된 상기 절연내화 애자간의 상,하부 발열체 삽입홈에 끼워넣어진 전기발열체와;An electric heating element inserted into upper and lower heating element insertion grooves between the insulating refractory insulators coupled up and down;

상기 절연내화 애자의 프론트 홀과 리어 홀에 각기 끼움된 프론트 지지봉 및 리어 지지봉과;A front support rod and a rear support rod respectively fitted to the front and rear holes of the insulated refractory insulator;

상기 프론트 지지봉과 리어 지지봉과의 사이에 개재된 내화단열벽과;A fireproof insulating wall interposed between the front support rod and the rear support rod;

상기 내화단열벽의 둘레에 배치된 원통 외벽과;A cylindrical outer wall disposed around the fire resistant insulating wall;

상기 내화단열벽과 원통 외벽과의 사이에 개재된 단열부재가 구비된 것을 특징으로 한다.Characterized in that the insulating member is interposed between the fire-resistant insulating wall and the cylindrical outer wall.

이때, 상기 전기발열체는 길이재로서 사각 단면으로 구성될 수 있다.In this case, the electric heating element may be formed of a rectangular cross section as a length material.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 절연내화 애자의 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 절연내화 애자와 전기발열체의 조립상태도이고, 도 3은 본 발명에 따른 절연내화 애자를 이용한 원통형 전기가열로의 평면도이고, 도 4는 도 3의 A-A선에서 본 단면 도이다.1 is a perspective view of an insulated refractory insulator according to the present invention, FIG. 2 is an assembled state diagram of an insulated refractory insulator and an electric heating element according to the present invention, and FIG. 3 is a plan view of a cylindrical electric heating furnace using the insulated refractory insulator according to the present invention. 4 is a cross-sectional view seen from the line AA of FIG. 3.

도 1은 본 발명에 따라 전기가열로에 사용되는 절연내화 애자(10)의 사시도로서, 상기 절연내화 애자(10)는 소결된 애자 몸체(12)로서 본 실시예에서는 세라믹으로 소결 제작된 것이다.1 is a perspective view of an insulated refractory insulator 10 used in an electric heating furnace according to the present invention, wherein the insulated refractory insulator 10 is a sintered insulator body 12 that is sintered and manufactured in ceramic in this embodiment.

상기 애자 몸체(12)는 그 하면에 각기 일정 간격을 가지고 구비된 하부 발열체 삽입홈(13) 및 하부 결합요소(14)가 구비되어 있다.The insulator body 12 is provided with a lower heating element insertion groove 13 and a lower coupling element 14 provided at predetermined intervals on the lower surface thereof.

상기 애자 몸체(12)는 그 상면에 상기 하부 발열체 삽입홈(13) 및 하부 결합요소(14)의 상방으로 동일 위치에 대응하는 상부 발열체 삽입홈(15) 및 상부결합요소(16)가 구비되어 있다.The insulator body 12 has an upper heating element insertion groove 15 and an upper coupling element 16 corresponding to the same position above the lower heating element insertion groove 13 and the lower coupling element 14. have.

또한 상기 애자 몸체(12)에는 중앙을 지나는 동일 수평면상에 위치하여 관통되어 있는 지지봉 삽입용 프론트 홀(17)과 리어 홀(18)이 구비되어 있다.In addition, the insulator body 12 is provided with a support hole insertion front hole 17 and a rear hole 18 which are located on the same horizontal surface passing through the center.

이때 본 발명은 상기 하부결합요소(14)와 상부결합요소(16)는 동일한 형상으로 상호 대응되는 걸림턱(14a)과 걸림홈(16a)을 갖고 있다.In this case, the lower coupling element 14 and the upper coupling element 16 have locking jaws 14a and locking grooves 16a corresponding to each other in the same shape.

또한 하부 발열체 삽입홈(13)과 상부 발열체 삽입홈(15)은 동일한 크기와 형상으로서 형성되어 있다.In addition, the lower heating element inserting groove 13 and the upper heating element inserting groove 15 are formed in the same size and shape.

이와 같이 구성된 절연내화 애자(10)는 도 2와 같이 상하로 이웃하게 적층 결합된다.The insulated refractory insulator 10 configured as described above is laminated and coupled to each other vertically as shown in FIG. 2.

이때 절연내화 애자(10)의 하부결합요소(14)는 그 하방측에 위치한 상부결합요소(16)에 결합되게 되어 있다. 따라서 상하로 이웃한 절연내화 애자(10)(10)들은 각기 하부결합요소(14)와 상부결합요소(16)가 끼움되므로서 걸림턱(14a)과 걸림 홈(16a)으로 서로 구속 조립된다.At this time, the lower coupling element 14 of the insulated refractory insulator 10 is to be coupled to the upper coupling element 16 located below. Therefore, the insulation fire insulators 10 and 10 adjacent to each other up and down are fitted to each other by the locking jaw 14a and the locking groove 16a as the lower coupling element 14 and the upper coupling element 16 are fitted.

본 실시예에서 하부결합요소(14)와 상부결합요소(16)는 더브테일 형태로 구성하였으나 본 발명은 이러한 형태에 한정되지 아니한다.In the present embodiment, the lower coupling element 14 and the upper coupling element 16 are configured in the shape of a dovetail, but the present invention is not limited thereto.

한편, 상기 하부발열체 삽입홈(13)과 상부발열체 삽입홈(15)은 그 폭(H)이 전기발열체(20)의 두께(T)보다 크게 형성되어 있고, 그 깊이는 전기발열체(20)의 너비(L)의 1/2보다 약간 크게 형성되어 있다.On the other hand, the lower heating element insertion groove 13 and the upper heating element insertion groove 15 is the width (H) is formed larger than the thickness (T) of the electric heating element 20, the depth of the electric heating element 20 It is formed slightly larger than 1/2 of the width L.

본 실시예에서 상기 하부발열체 삽입홈(13)과 상부발열체 삽입홈(15)은 사각 형태이나 이는 전기발열체(20)의 단면 형태에 따른 것으로 본 발명은 이러한 형태에 한정되는 것은 아니다.In the present embodiment, the lower heating element insertion groove 13 and the upper heating element insertion groove 15 is a square shape, but this is according to the cross-sectional shape of the electric heating element 20 is not limited to this form.

또한 프론트 홀(17)과 리어 홀(18)은 도 3과 같이 단열벽 지지봉(30,32)이 삽입되기 위한 수단이다. 이때 프론트 홀(17)과 리어 홀(18)의 간격은 단열벽 지지봉(30,32) 사이에 배치되는 내화단열벽(40)의 두께에 따라 증감될 수 있다.In addition, the front hole 17 and the rear hole 18 are means for inserting the insulating wall support rods 30 and 32, as shown in FIG. At this time, the distance between the front hole 17 and the rear hole 18 may be increased or decreased according to the thickness of the fire resistant heat insulating wall 40 disposed between the heat insulating wall support bars 30 and 32.

이와 같이 구성된 절연내화 애자(10)를 이용한 전기가열로(100)의 구성을 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다.The configuration of the electric heating furnace 100 using the insulation fire insulator 10 configured as described above will be described with reference to FIGS. 3 and 4.

먼저, 도 3 및 도 4와 같이 일정 간격마다 방사상으로 원주상에 절연내화 애자(10)들이 배치되어 상하로 적층되어 결합된다.First, as shown in FIGS. 3 and 4, the insulation fire insulators 10 are radially disposed on a circumference at regular intervals and stacked and coupled up and down.

그리고, 상하로 이웃하게 결합된 상기 절연내화 애자(10)간의 상,하부 발열체 삽입홈(15,14)에는 전기발열체(20)가 끼워진다.In addition, the electric heating element 20 is fitted into the upper and lower heating element insertion grooves 15 and 14 between the insulation fire insulators 10 coupled to the upper and lower neighbors.

따라서 전기발열체(20)는 절연내화 애자(10)를 원둘레로 따라가면서 나선형태로 감아 올라가게 된다. 이같이 전기발열체(20)가 나선 형태로 감길 수 있는 것 은 전기발열체(20)의 단면둘레를 에워싸서 지지하는 하부 발열체 삽입홈(13)과 상부 발열체 삽입홈(15)에 틈새가 존재하거나 조립된 하부결합요소(14)와 상부결합요소(16)간에 틈새가 존재하므로서 가능하다.Accordingly, the electric heating element 20 is wound up in a spiral shape while following the circumferential insulation insulator 10. In this way, the electric heating element 20 can be wound in a spiral form in which a gap exists or is assembled in the lower heating element insertion groove 13 and the upper heating element insertion groove 15 which surround and support the circumferential edge of the electric heating element 20. This is possible due to the presence of a gap between the lower coupling element 14 and the upper coupling element 16.

이같이 전기발열체(20)는 방사상으로 배치된 절연내화 애자(10)에 지지되어 나선형으로 배치된다. 따라서 전기발열체(20)의 일단과 타단에 전류가 인가되면 발열이 일어나게 된다.In this way, the electric heating element 20 is supported in a radially arranged insulating refractory insulator 10 is arranged in a spiral. Therefore, when current is applied to one end and the other end of the electric heating element 20, heat generation occurs.

다음, 상기 절연내화 애자(10)의 프론트 홀(17)과 리어 홀(18)에 프론트 지지봉(30) 및 리어 지지봉(32)이 각기 끼움된다.Next, the front support rods 30 and the rear support rods 32 are respectively inserted into the front hole 17 and the rear hole 18 of the insulation fire insulator 10.

그 다음, 상기 프론트 지지봉(30)와 리어 지지봉(32)과의 사이에 내화단열벽(40)이 삽입된다. 따라서 내화단열벽(40)은 프론트 지지봉(30)과 리어 지지봉(32)과의 사이에 안정적으로 설치되어 원통 형태를 갖추게 된다.Next, a fireproof insulating wall 40 is inserted between the front support rod 30 and the rear support rod 32. Therefore, the fire resistant heat insulating wall 40 is stably installed between the front support rod 30 and the rear support rod 32 to have a cylindrical shape.

이렇게 되면, 전기발열체(20)는 절연내화 애자(10)를 매개로 내화단열벽(40)의 내면에서 이격되어 배치되므로 발열 상태가 좋게 된다.In this case, since the electric heating element 20 is disposed to be spaced apart from the inner surface of the refractory insulation wall 40 via the insulated refractory insulator 10, the heat generating state is good.

또한 전기발열체(20)가 발열시 전기발열체(20)는 절연내화 애자(10)를 통하여 구속되어 있고, 절연내화 애자(10)는 지지봉(30,32)을 통하여 내화단열벽(40)에 구속되어 있으므로 전기발열체(20)가 열변형으로 앞으로 튀어나오는 현상을 방지할 수 있다.In addition, when the heat generating element 20 generates heat, the heat generating element 20 is constrained through the insulated refractory insulator 10, and the insulated fire insulator 10 is constrained to the fire resistant insulating wall 40 through the supporting rods 30 and 32. Since the electric heating element 20 can be prevented from popping forward due to thermal deformation.

상기 내화단열벽(40)의 둘레에는 원통 외벽(50)이 배치되어 있고, 상기 내화단열벽(40)과 원통 외벽(50)과의 사이에는 단열부재(60)가 삽입되어 있다.A cylindrical outer wall 50 is disposed around the fireproof insulating wall 40, and a heat insulating member 60 is inserted between the fireproof insulating wall 40 and the cylindrical outer wall 50.

본 실시예에서는 지지봉(30,32)을 프론트 홀(17) 및 리어홀(18)과 함께 원형 으로 구성하였으나 본 발명은 이러한 단면 형태에 한정되지 않는다.In the present embodiment, the support rods 30 and 32 are formed in a circular shape together with the front hole 17 and the rear hole 18, but the present invention is not limited to this cross-sectional shape.

이와 같이 구성된 전기가열로(100)는 전기발열체(20)에 전류가 인가되므로써 고온의 발열이 발생되고, 발생된 고온 발열을 이용하여 피발열체(예로, 반도체 웨이퍼)를 열처리하게 된다.The electric heating furnace 100 configured as described above generates high temperature heat by applying current to the electric heating element 20, and heat-treats the heating element (eg, semiconductor wafer) by using the generated high temperature heat.

이같이 구성되고 동작하는 전기가열로(100)는 전기발열체(20)가 평각선 형태이므로 내구성과 수명이 향상되고, 절연내화 애자(10)에 의해 뒤 틀림 현상 및 앞으로 튀어나오는 변형 현상을 방지할 수 있다. 따라서 발열 성능이 우수하고 이로 인해 열처리 효율이 향상된다. 또한 전기가열로(100)의 구조가 간단해진다.The electric heating furnace 100 configured and operated in this way has improved durability and lifespan since the electric heating element 20 is in a flat line shape, and prevents a flaw and a phenomenon of jumping out by the insulation fire insulator 10. have. Therefore, the exothermic performance is excellent, thereby improving the heat treatment efficiency. In addition, the structure of the electric heating furnace 100 is simplified.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.As described above, although the present invention has been described by way of limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto, and the technical idea of the present invention and the following by those skilled in the art to which the present invention pertains. Of course, various modifications and variations are possible within the scope of equivalents of the claims to be described.

상술한 바와 같이 본 발명의 절연내화 애자 및 이를 이용한 원통형 전기가열로에 따르면, 평각선 형태의 전기발열체가 변형되는 것을 방지하여 안정적으로 지지할 수 있고, 발열 면적이 증대되어 열분포가 고르고 열처리 성능이 향상된다.As described above, according to the insulation fire insulator of the present invention and the cylindrical electric heating furnace using the same, it is possible to stably support the deformation of the electric heating element in the form of a flat line, and to increase the heat generation area so that the heat distribution is even and the heat treatment performance is improved. Is improved.

또한 코일히터 방식에 비해 구조가 간단해져 전기가열로의 제작 및 유지 보수가 용이한 이점을 갖는다.In addition, the structure is simpler compared to the coil heater method has the advantage of easy manufacturing and maintenance of the electric heating furnace.

Claims (4)

전기가열로에 사용되는 절연내화 애자에 있어서,In the insulation fire insulator used in the electric heating furnace, 소결된 애자 몸체(12)로서,As a sintered insulator body 12, 상기 애자 몸체(12)의 하면에 각기 일정 간격을 가지고 구비된 하부 발열체 삽입홈(13) 및 하부 결합요소(14)와;A lower heating element insertion groove 13 and a lower coupling element 14 provided on the lower surface of the insulator body 12 at predetermined intervals; 상기 애자 몸체(12)의 상면에 상기 하부 발열체 삽입홈(13) 및 하부 결합요소(14)와 상방 동일 위치에 대응하는 상부 발열체 삽입홈(15) 및 상부결합요소(16)와;An upper heating element insertion groove 15 and an upper coupling element 16 corresponding to the same position above the lower heating element insertion groove 13 and the lower coupling element 14 on the upper surface of the insulator body 12; 상기 애자 몸체(12)에 동일 수평 위치에 관통되어 있는 지지봉 삽입용 프론트 홀(17)과 리어 홀(18)이 구비되어 구성된 것을 특징으로 하는 절연내화 애자.Insulation refractory insulator, characterized in that the insulator body 12 is provided with a support rod insertion front hole (17) and a rear hole (18) penetrating at the same horizontal position. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 하부결합요소(14)와 상부결합요소(16)는 동일한 형태로 상호 대응되는 걸림턱(14a)과 걸림홈(16a)을 갖는 것을 특징으로 하는 절연내화 애자.The lower coupling element 14 and the upper coupling element 16 have insulation jaw (14a) and the engaging groove (16a) corresponding to each other in the same form. 일정 간격마다 방사상으로 원주상에 배치되어 일직선상으로 결합된 청구항 제1항 또는 제2항 중 어느 한 항에서 선택된 절연내화 애자(10)들과;Insulating refractory insulators (10) selected from any one of claims 1 and 2 radially arranged circumferentially and linearly coupled at regular intervals; 상하로 이웃하게 결합된 상기 절연내화 애자(10)간의 상,하부 발열체 삽입홈(15,14)에 끼워넣어진 전기발열체(20)와;An electric heating element (20) inserted into upper and lower heating element insertion grooves (15, 14) between the insulating fire insulators (10) coupled up and down; 상기 절연내화 애자(10)의 프론트 홀(17)와 리어 홀(18)에 각기 끼움된 프론트 지지봉(30) 및 리어 지지봉(32)과;A front support rod 30 and a rear support rod 32 respectively fitted to the front hole 17 and the rear hole 18 of the insulated refractory insulator 10; 상기 프론트 지지봉(30)와 리어 지지봉(32)과의 사이에 개재된 내화단열벽(40)과;A fireproof insulation wall 40 interposed between the front support rod 30 and the rear support rod 32; 상기 내화단열벽(40)의 둘레에 배치된 원통 외벽(50)과;A cylindrical outer wall (50) disposed around the fireproof insulating wall (40); 상기 내화단열벽(40)과 원통 외벽(50)과의 사이에 개재된 단열부재(60)가 구비된 것을 특징으로 하는 절연내화 애자를 이용한 원통형 전기가열로.Cylindrical electric heating furnace using an insulated refractory insulator, characterized in that the insulating member 60 is interposed between the refractory insulating wall 40 and the cylindrical outer wall (50). 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 전기발열체(20)는 길이재로서 사각 단면으로 구성된 것을 특징으로 하는 절연내화 애자를 이용한 원통형 전기가열로.The electric heating element 20 is a cylindrical electric heating furnace using an insulated refractory insulator, characterized in that consisting of a rectangular cross section as a length material.
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