KR100972390B1 - cold cathode manufacturing method using jet printing method - Google Patents

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Abstract

젯 프린팅을 이용한 냉음극 제조방법이 개시된다. 본 발명에 따른 냉음극 제조방법은 탄소나노튜브를 물에 분산시켜 탄소나노튜브 용액을 제조하고, 기판의 표면에 금속층, 금속산화물층 또는 무기물층 중 어느 하나의 접착층을 형성한 후, 제조된 탄소나노튜브 용액을 접착층이 형성된 기판 상에 젯 프린팅 한다. 본 발명에 따르면 냉음극의 아웃 개싱(out-gassing), 탄소나노튜브 에미터와 기판의 접착, 냉음극의 전계방출 수명 등의 문제점을 효과적으로 해결할 수 있는 동시에 냉음극 제조공정을 단순화할 수 있다.Disclosed is a cold cathode manufacturing method using jet printing. In the cold cathode manufacturing method according to the present invention, a carbon nanotube solution is prepared by dispersing carbon nanotubes in water, and after forming an adhesive layer of any one of a metal layer, a metal oxide layer, and an inorganic layer on the surface of the substrate, the prepared carbon The nanotube solution is jet printed onto the substrate on which the adhesive layer is formed. According to the present invention, problems such as out-gassing of cold cathodes, adhesion of carbon nanotube emitters and substrates, and field emission lifetimes of cold cathodes can be effectively solved, and the cold cathode manufacturing process can be simplified.

Description

젯 프린팅을 이용한 냉음극 제조방법{cold cathode manufacturing method using jet printing method}Cold cathode manufacturing method using jet printing method

본 발명은 젯 프린팅을 이용한 냉음극 제조방법에 대한 것으로서, 보다 상세하게는 아웃개싱(out gassing)을 최소화 할 수 있고, 이를 통해 냉음극의 전계방출 수명을 확보할 수 있는 젯 프린팅을 이용한 냉음극 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a cold cathode manufacturing method using jet printing, and more specifically to outgassing (out gassing) can be minimized, and through this cold cathode using jet printing that can secure the field emission life of the cold cathode It relates to a manufacturing method.

탄소나노튜브는 큰 종횡비, 높은 전기 및 열적 전도도, 높은 화학적 안정성, 높은 역학강도등 전계방출재료가 가져야 할 물리적 화학적 성질을 고루 갖춘 우수한 물질이다. 이 같은 탄소나노튜브를 이용하여 전계방출 소자(예컨대, 에미터)를 제작하는 방법으로는 화학 기상법, 전기 영동법, 스프레이(spray), 딥 코팅(dip coating), 스크린 프린팅(screen-printing) 등 다양한 방법이 제시되었다. 하지만 대부분의 방법들이 높은 공정단가 혹은 스케일업(scale-up) 등에 한계가 있어 대형 전계방출 표시소자(field emission devices)를 제작하는데 어려움이 있다. 예를 들면 화학기상법은 성장온도가 디스플레이 공정에서 사용하는 소다 석회(sodalime) 유리의 용융점 보다 높아 유리 기판 위에 저온 성장시켜야 하는 문제점이 있으며 또한 대면적 성장이 어렵다. 전기영동법의 경우 전기장을 이용하여 기판에 에미터(emitter) 재료를 붙이는 방법으로, 에미터(emitter)가 전기장이 강한 뾰족한 달라붙으면, 같은 부위에 계속 하여 증착되기 때문에 에미터(emitter) 분포가 균일하지 않으며 대면적 적용이 용이하지 않다. 또한, 딥코팅(dip-coating) 방법은 탄소나노튜브의 위치제어와 밀도제어가 어렵다.Carbon nanotubes are excellent materials with physical and chemical properties such as large aspect ratio, high electrical and thermal conductivity, high chemical stability, and high mechanical strength. Methods of fabricating field emission devices (eg, emitters) using such carbon nanotubes include various methods such as chemical vapor deposition, electrophoresis, spray, dip coating, screen printing, and the like. The method was presented. However, since most methods have limitations such as high process cost or scale-up, it is difficult to manufacture large field emission devices. For example, the chemical vapor deposition method has a problem that the growth temperature is higher than the melting point of the soda lime glass used in the display process, so that the growth temperature is low temperature on the glass substrate, and the large area growth is difficult. In the case of electrophoresis, an emitter material is attached to a substrate by using an electric field.If an emitter sticks to a strong electric field, the emitter is uniformly deposited on the same site, so the emitter distribution is uniform. And large area application is not easy. In addition, the dip-coating method is difficult to control the position and density of the carbon nanotubes.

기존에 가장 흔히 사용되는 스크린 프린팅(screen printing) 방법은 탄소나노튜브와 유기 바인더(organic binder) 및 전색제(vehicle) 등을 섞어 탄소나노튜브 페이스트를 만들어 준비된 기판에 스크린 프린팅(screen-printing) 방법을 이용하여 탄소나노튜브를 기판에 밀착시킨다. 이렇게 준비된 기판은 버닝(burning) 과정을 통하여 전색제(vehicle)를 제거한다. 버닝(burning) 과정은 약 400~450℃ 에서 이루어지는데, 이 과정 중에 탄소나노튜브에 많은 결함(defect)이 형성되며, 또한 희석제 및 유기 용매(organic solvent)가 증발하면서 많은 기공을 형성한다. The most commonly used screen printing method is a screen-printing method on a substrate prepared by mixing carbon nanotubes, organic binders, and vehicles with carbon nanotube pastes. To adhere the carbon nanotubes to the substrate. The prepared substrate removes a vehicle through a burning process. The burning process is performed at about 400-450 ° C. During this process, many defects are formed in the carbon nanotubes, and the diluent and the organic solvent evaporate to form many pores.

이와같은 스크린 프린팅에 의해 냉음극을 제조하는 경우, 전계방출 소자가 작동하는데 있어 산소를 포함하는 가스나 메탄 등이 방출되는 아웃 개싱(out-gassing)의 원인이 되어 소자의 수명을 단축시키는 요인으로 지적되고 있다.When cold cathodes are manufactured by such screen printing, the field emission device may cause out-gassing in which oxygen-containing gas or methane is released. It is pointed out.

또한, 스크린 프린팅에 의해 제작된 냉음극의 경우, 탄소나노튜브와 기판과의 결합력이 약하여 전계방출 도중에 탄소나노튜브 에미터가 기판에서 떨어져 진공 파손(vacuum breakdown)이 일어나는데, 이는 장치를 크게 훼손하는 결과를 낳기도 한다.In addition, in the case of cold cathode fabricated by screen printing, the bonding force between the carbon nanotubes and the substrate is weak, so that the carbon nanotube emitter is dropped from the substrate during the field emission, which causes vacuum breakdown. It also produces results.

본 발명의 목적은 전술한 스크린 프린팅에 의한 냉음극제조에 따른 문제점을 개선하기 위하여 안출된 것으로서, 냉음극의 아웃 개싱(out-gassing), 탄소나노튜브 에미터와 기판의 접착 안정성을 통한 전계방출 수명 등의 문제점을 효과적으로 해결할 수 있는 동시에 공정이 간단한 냉음극 제조방법을 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to solve the problems caused by the cold cathode manufacturing by the screen printing described above, the field emission through the out-gassing of the cold cathode, the adhesion stability of the carbon nanotube emitter and the substrate The present invention can effectively solve problems such as lifespan and at the same time provide a cold cathode manufacturing method having a simple process.

본 발명의 다른 목적은 젯 프린팅이 용이한 탄소나노튜브 용액의 제조방법을 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a method for preparing a carbon nanotube solution that is easy to jet printing.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일면에 따른 젯 프린팅을 이용한 냉음극 제조방법은 탄소나노튜브를 물 또는 물과 알코올의 혼합용액에 분산시켜 탄소나노튜브 용액을 제조하는 탄소나노튜브 용액 제조단계와, 기판의 표면에 금속층, 금속산화물층 또는 무기물층 중 어느 하나의 접착층을 코팅하는 접착층 형성단계 및 제조된 탄소나노튜브 용액을 접착층이 형성된 기판 상에 젯 프린팅 하는 프린팅 단계를 포함한다.Cold cathode manufacturing method using jet printing according to an aspect of the present invention for achieving the above object is a carbon nanotube solution manufacturing step of preparing a carbon nanotube solution by dispersing carbon nanotubes in water or a mixed solution of water and alcohol And an adhesive layer forming step of coating an adhesive layer of any one of a metal layer, a metal oxide layer, and an inorganic layer on the surface of the substrate, and a printing step of jet printing the prepared carbon nanotube solution on the substrate on which the adhesive layer is formed.

젯 프린팅은 잉크젯 프린팅 또는 에러로 젯 프린팅 방법을 사용할 수 있다.Jet printing may use inkjet printing or a jet printing method by error.

금속층은 600도 이하에서 용융될 수 있는 텅스텐(W), 금(Au), 니켈(Ni), 코발트(Co), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 티타늄(Ti), 망간(Mn), 철(Fe), 크롬(Cr), 지르코늄(Zr), 니오브(Nb), 몰리브덴(Mo), 탄탈(Ta), 주석(Sn), 실리콘(Si) 중 적어도 1종 이상의 50nm 미만의 입도크기를 갖는 나노크기의 금속 또는 이들의 합금 또는 이들 금속을 포함하는 금속전구체가 사용될 수 있고, 금속산화물층은 텅스텐(W), 금(Au), 니켈(Ni), 코발트(Co), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 티타늄(Ti), 망간(Mn), 철(Fe), 크롬(Cr), 지르코늄(Zr), 니오브(Nb), 몰리브덴(Mo), 탄탈(Ta), 주석(Sn), 실리콘(Si) 중 적어도 1종 이상의 산화물계 나노분말이 사용될 수 있으며, 무기물층은 글래스 프릿 또는 물유리가 사용될 수 있다.The metal layer is made of tungsten (W), gold (Au), nickel (Ni), cobalt (Co), palladium (Pd), platinum (Pt), titanium (Ti), manganese (Mn), A particle size of less than 50 nm of at least one of iron (Fe), chromium (Cr), zirconium (Zr), niobium (Nb), molybdenum (Mo), tantalum (Ta), tin (Sn), and silicon (Si) Nano-sized metals or alloys thereof or metal precursors containing these metals may be used, and the metal oxide layer may be tungsten (W), gold (Au), nickel (Ni), cobalt (Co), or palladium (Pd). , Platinum (Pt), titanium (Ti), manganese (Mn), iron (Fe), chromium (Cr), zirconium (Zr), niobium (Nb), molybdenum (Mo), tantalum (Ta), tin (Sn) At least one oxide-based nanopowder of silicon (Si) may be used, and the inorganic layer may be glass frit or water glass.

접착층의 두께는 100nm일 수 있다.The thickness of the adhesive layer may be 100 nm.

본 발명에 따른 젯 프린팅을 이용한 냉음극 제조방법은 프린팅 단계 이후에 열처리 단계를 더 포함할 수 있다.The cold cathode manufacturing method using jet printing according to the present invention may further include a heat treatment step after the printing step.

탄소나노튜브 용액은 점도가 2~20 cp이고, 표면 장력이 20~40 mN/m2일 수 있다.The carbon nanotube solution may have a viscosity of 2 to 20 cp and a surface tension of 20 to 40 mN / m 2 .

탄소나노튜브 용액 제조단계는 탄소나노튜브의 분산을 촉진시키는 계면활성제를 혼합할 수 있으며, 탄소나노튜브와 계면활성제의 혼합비는 1:5 일 수 있다.Carbon nanotube solution manufacturing step may be mixed with a surfactant to promote the dispersion of carbon nanotubes, the mixing ratio of the carbon nanotubes and the surfactant may be 1: 5.

계면활성제는 SDS(sodium dodecyl sulfonate) 또는 NaDDBS(sodium dodecylbenzene sulfonate) 중 어느 하나를 사용할 수 있다.The surfactant may use either sodium dodecyl sulfonate (SDS) or sodium dodecylbenzene sulfonate (NaDDBS).

탄소나노튜브 용엑에 살생물제(biocie) 및 습윤제를 포함하는 첨가제를 첨가할 수 있다.Additives including biocies and wetting agents may be added to the carbon nanotube solution.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings.

본 발명에 따르면 스크린 프린팅 방법과 비교하여 유기물의 사용을 최소화하면서 탄소나노튜브를 기판에 접착하여 냉음극을 제조함에 따라 아웃개싱(out-gassing)에 의한 소자의 수명이 단축되는 것을 방지할 수 있다.According to the present invention, the life of the device due to out-gassing can be prevented from being shortened by adhering carbon nanotubes to the substrate while manufacturing cold cathodes while minimizing the use of organic materials compared to the screen printing method. .

또한, 탄소나노튜브의 접착력을 향상시키기 위하여 종래의 유기물을 사용하지 않고, 기판 표면에 금속층, 금속산화물층 또는 무기물층 중 어느 하나의 접착층을 사용함으로써 아웃개싱을 제거하는 동시에 탄소나노튜브의 접착력을 향상시킬 수 있다.In addition, by using an adhesive layer of any one of a metal layer, a metal oxide layer, and an inorganic layer on the surface of the substrate without using conventional organic materials to improve the adhesion of the carbon nanotubes, the outgassing can be eliminated and the adhesion of the carbon nanotubes can be improved. Can be improved.

또한, 본 발명에 따라 제조된 탄소나노튜브 용액을 젯 프린팅에 의해 기판에 프린팅함으로써, 탄소나노튜브의 밀도를 효율적으로 제어하여 전계방출 소자로서의 특성을 향상시킬 수 있다.In addition, by printing the carbon nanotube solution prepared according to the present invention on a substrate by jet printing, it is possible to efficiently control the density of the carbon nanotubes to improve the characteristics as a field emission device.

또한, 스크린 프린팅(screen printing) 방법보다 공정이 단순하며 냉음극 제조기간이 짧기 때문에 냉음극 제조원가를 크게 낮출 수 있는 이점이 있다. In addition, since the process is simpler than the screen printing method and the cold cathode manufacturing period is short, there is an advantage that the cold cathode manufacturing cost can be significantly lowered.

또한, 전계방출 소자 제작을 위해 제조되는 탄소나노튜브 용액을 포함하는 잉크는 다양한 응용 예컨대, 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT), 인쇄 전극(printable electrode), 투명 전도막(transparent conducting film), 투명 플렉서블 히터(transparent flexible heater), 터치 패널(touch panel)등과 같은 분야에 응용될 수 있다. In addition, the ink containing the carbon nanotube solution prepared for the field emission device is a variety of applications, such as thin film transistor (TFT), printable electrode (printable electrode), transparent conducting film (transparent conducting film), transparent It may be applied to fields such as a flexible flexible heater, a touch panel, and the like.

또한, 본 발명에 따른 냉음극 제조방법은 있어서 에미터(emitter) 제작만이 아니라, 냉음극을 구성하는 산화층(oxides), 전극(electrodes), 게터(getter), 포커싱 전극(focusing electrode), 형광 스크린(phosphor screen) 같은 핵심적인 부분을 구성에 또한 응용될 수 있다.In addition, in the cold cathode manufacturing method according to the present invention, not only an emitter is manufactured, but also oxides, electrodes, getters, focusing electrodes, and fluorescence constituting the cold cathode. Key parts such as phosphor screens can also be applied in construction.

도 1(a)는 본 발명의 탄소나노튜브의 젯 프린팅 방법을 이용하여 인듐 기판 위에 분사된 탄소나노튜브의 사진,
도 1(b)는 본 발명에 따른 탄소나노튜브의 젯 프린팅 방법을 이용하여 형성된 냉음극의 측면 사진(삽입도는 활성화된 도트의 평면 사진),
도 2(a)는 본 발명에 따른 탄소나노튜브의 젯 프린팅 방법을 이용하여 600dpi와 1800dpi의 해상도로 프린터한 도트 어레이의 전류-전압 특성 곡선,
도 2(b)는 본 발명에 따른 탄소나노튜브의 젯 프린팅 방법을 이용하여 600dpi와 1800dpi의 해상도로 프린터한 도트 어레이의 Fowler-Nordheim(F-N) 그래프(삽입도는 1800dpi로 프린터한 도트 어레이의 방출 패턴),
도 3(a)는 직접 묘화에 의한 도트 어레이 패턴 사진,
도 3(b)는 직접 묘화에 의한 도트 어레이 패턴의 확대 사진,
도 4는 3극 구조,
도 5은 상온 23.5℃에서 측정한 나피온을 이용하여 제조한 잉크의 점도표,
도 6은 인듐 표면에서 측정한 각 잉크의 접촉각을 보여주는 도면이다.Figure 1 (a) is a photograph of the carbon nanotubes sprayed on the indium substrate by using the jet printing method of the carbon nanotubes of the present invention,
Figure 1 (b) is a side view of the cold cathode formed by using the jet printing method of carbon nanotubes according to the present invention (insertion is a planar picture of the activated dot),
2 (a) is a current-voltage characteristic curve of a dot array printed at a resolution of 600 dpi and 1800 dpi using a jet printing method of carbon nanotubes according to the present invention;
Figure 2 (b) is a Fowler-Nordheim (FN) graph of the dot array printed at a resolution of 600dpi and 1800dpi using the jet printing method of carbon nanotubes according to the present invention (insertion of the dot array printed at 1800dpi) pattern),
3 (a) is a dot array pattern photograph by direct drawing;
3 (b) is an enlarged photograph of a dot array pattern by direct drawing;
4 is a three-pole structure,
5 is a viscosity table of the ink prepared using Nafion measured at room temperature 23.5 ℃,
6 shows the contact angle of each ink measured on the indium surface.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various forms, and only the present embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention, and the general knowledge in the art to which the present invention pertains. It is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the present invention is defined only by the scope of the claims.

본 발명에서 제시하는 냉음극 제조 방법은 탄소나노튜브를 물 또는 알코올과 같은 유기 용매 속에서 기능화 및 분산한 후 용액에 다양한 기능의 물질을 첨가하여 젯 프린팅이 가능한 특성을 가진 용액을 준비하고, 이 용액을 젯 프린팅 방법을 이용하여 전계방출 물질을 기판에 인쇄하여 냉음극을 제조하는 것이다. 본 발명에서 제시하는 냉음극 제조 방법은 잉크젯 프린팅 방법이나 에어로 젯 프린팅 방법과 같은 젯 프린팅을 사용하기 때문에 공정이 간단하고, 프린팅되는 냉음극에 대해 스케일업(scale-up)이 가능하며, 물 또는 유기용매는 프린팅 후 곧바로 날아가기 때문에 아웃 개싱(out-gassing)의 우려가 전혀 없다. 에어로 젯 프린팅 방법은 특히 탄소나노튜브 용액에 캐리어 가스를 통과시키고 그 가스에 의해 발생된 버블을 노즐을 통해 분사하는 방식이다. In the cold cathode manufacturing method of the present invention, after preparing and dispersing carbon nanotubes in an organic solvent such as water or alcohol, a solution having a property of jet printing is prepared by adding various functional substances to the solution, and The solution is printed on a substrate using a jet printing method to produce a cold cathode. The cold cathode manufacturing method proposed in the present invention uses a jet printing method such as an ink jet printing method or an aero jet printing method, and thus the process is simple, and scale-up is possible for the cold cathode to be printed. Since the organic solvent flies immediately after printing, there is no fear of out-gassing. The aero jet printing method is a method in which a carrier gas is passed through a carbon nanotube solution, and a bubble generated by the gas is injected through a nozzle.

탄소나노튜브가 프린트될 기판에는 탄소나노튜브를 기판에 붙잡아 줄 수 있는 접착층을 코팅하는 것이 바람직하다. 접착층은 열처리 과정을 통하여 탄소나노튜브를 기판에 강하게 잡아주기 때문에 냉음극의 특성을 향상시킬 수 있다. 접착층에 사용되는 물질에는 상기 금속층의 경우 600도 이하에서 용융될 수 있는 텅스텐(W), 금(Au), 니켈(Ni), 코발트(Co), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 티타늄(Ti), 망간(Mn), 철(Fe), 크롬(Cr), 지르코늄(Zr), 니오브(Nb), 몰리브덴(Mo), 탄탈(Ta), 주석(Sn), 실리콘(Si) 중 적어도 1종 이상의 50nm 미만의 입도크기를 갖는 나노크기의 금속 또는 이들의 합금 또는 이들의 산화물계 나노분말 혹은 이들 금속을 포함하는 금속전구체가 사용될 수 있고, 무기물층의 경우 글래스 프릿, 물유리가 사용될 수 있다. 이러한 접착층용 물질은 스퍼터링, 증발, 화학 기상 증착(CVD), 전기 도금법 등의 방법으로 기판 상에 코팅된다. 이때 코팅 두께는 약 100 nm인 것이 바람직하다. 접착층이 코팅된 기판에 탄소나노튜브 용액을 젯 프린팅한 경우 젯 프린팅 후 진공 열처리 공정을 수행하여 탄소나노튜브와 기판 사이의 접촉을 강화시킨다. 이때 바람직한 열처리 온도는 약 350℃이다.It is preferable to coat an adhesive layer on the substrate on which the carbon nanotubes are to be printed to hold the carbon nanotubes on the substrate. Since the adhesive layer strongly holds the carbon nanotubes on the substrate through the heat treatment, the characteristics of the cold cathode may be improved. The material used for the adhesive layer includes tungsten (W), gold (Au), nickel (Ni), cobalt (Co), palladium (Pd), platinum (Pt), and titanium (which can be melted at 600 degrees or less in the case of the metal layer). At least one of Ti, manganese (Mn), iron (Fe), chromium (Cr), zirconium (Zr), niobium (Nb), molybdenum (Mo), tantalum (Ta), tin (Sn), and silicon (Si) Nano-sized metals or alloys thereof or oxide-based nanopowders thereof or metal precursors containing these metals having a particle size of less than 50 nm or more may be used, and in the case of the inorganic layer, glass frit and water glass may be used. The adhesive layer material is coated on the substrate by a method such as sputtering, evaporation, chemical vapor deposition (CVD), electroplating, or the like. In this case, the coating thickness is preferably about 100 nm. In the case of jet printing a carbon nanotube solution on a substrate coated with an adhesive layer, a vacuum heat treatment process is performed after jet printing to enhance contact between the carbon nanotubes and the substrate. At this time, a preferable heat treatment temperature is about 350 degreeC.

도 1(a)는 젯 프린팅 방법을 이용하여 인듐(In)이 코팅된 기판에 탄소나노튜브를 분사하여 제작한 냉음극 사진이다. 도 1(a)에서 냉음극은 저 용융점 금속층과 그 위에 젯 프린팅 방법에 의하여 뿌려진 탄소나노튜브만으로 이루어져 있다. 도 1(a)에서 보듯이 모든 탄소나노튜브가 기판에 잘 접착되어 있음을 알 수 있다. 도 1(b)는 테이프를 이용하여 활성화된 냉음극의 측면사진으로 많은 탄소나노튜브들이 기판에 수직하게 배열되어 있다.Figure 1 (a) is a cold cathode photograph produced by spraying carbon nanotubes on an indium (In) coated substrate using a jet printing method. In FIG. 1 (a), the cold cathode consists of only a low melting point metal layer and carbon nanotubes sprayed thereon by a jet printing method. As shown in Figure 1 (a) it can be seen that all the carbon nanotubes are well adhered to the substrate. Figure 1 (b) is a side view of the cold cathode activated by the tape is a large number of carbon nanotubes are arranged perpendicular to the substrate.

젯 프린팅에 의한 탄소나노튜브 프린팅 방법은 기존의 방법에 비하여 탄소나노튜브의 밀도제어가 매우 쉽다. 젯 프린팅 방법은 dpi(dots per inch) 및 오버라이팅(overwriting) 횟수를 쉽게 조절할 수 있어 탄소나노튜브 밀도를 쉽게 제어할 수 있다. 탄소나노튜브 밀도는 전계방출디스플레이(field emission display, FED)의 성능을 좌우하는 매우 중요한 인자이다. 왜냐하면, 턴온 전압(turn-on voltage), 전계 증식 요소(field enhancement factor), 전류감소율(current degradation rate) 등이 단위 면적당 에미터(emitter)의 개수에 매우 밀접한 영향을 받기 때문이다.Carbon nanotube printing method by jet printing is very easy to control the density of carbon nanotubes compared to the conventional method. The jet printing method can easily control the dots per inch (dpi) and the number of overwriting, thereby easily controlling the carbon nanotube density. Carbon nanotube density is a very important factor that determines the performance of field emission displays (FEDs). This is because the turn-on voltage, field enhancement factor, current degradation rate and the like are closely influenced by the number of emitters per unit area.

탄소나노튜브의 밀도에 따른 전계방출 특성변화는 다음 실험예에서 자세히 알 수 있다. 사진석판(Photo-lithography) 공정을 이용하여 도트 어레이(dot array, dot diameter: 20 μm, dot-dot distance 400 μm)를 제작하였다. 이때 도트 어레이(dot array) 면적은 약 2 x 2 cm2 이다. 이 도트 어레이(dot array)위에 젯 프린팅 방법을 이용하여 600 dpi 와 1800 dpi 의 해상도로 탄소나노튜브를 프린팅하였다. 도 2(a)는 미리 패턴(pre-pattern)될 도트 어레이(dot array)를 600 dpi 와 1800 dpi의 해상도로 프린트한 도트 어레이(dot array)의 전계방출특성 곡선이다. 도 2(a)에서 보듯이 1800 dpi에서 보다 많은 전류가 방출됨을 알 수 있다. 특히 도 2(b)의 Fowler-Nordheim(F-N) 그래프에서 전압이 높아져 전계방출 전류가 증가함에 따라 600 dpi의 경우 전류 포화(current saturation)가 일어나는 반면, 1800 dpi에서는 이러한 현상이 일어나지 않음을 알 수 있다. 이와 같은 이유는 전압이 상승함에 따라 전계방출 전류가 증가하여 탄소나노튜브끝의 온도가 올라가기 때문이다. 600 dpi의 경우 탄소나노튜브 한 개당 전계방출 전류가 많아 고전압에서 탄소나노튜브끝의 온도가 올라가 탄소나노튜브 끝의 기체분자들이 떨어져, 공명 상태(resonant state)가 사라져 전계방출 전류가 감소하였다. 하지만 1800 dpi의 경우 탄소나노튜브개수가 많아 탄소나노튜브끝에서의 온도가 올라가지 않았다. 도 2의 삽입도에서 1800 dpi의 방출 패턴(emission pattern)으로 전체 도트(dot)의 약 85%가 발광하고 있다. 이때 인가 전압은 86 kV/cm 이고 전계방출전류는 약 350μA이다. The change in field emission characteristics according to the density of carbon nanotubes can be seen in detail in the following experimental example. A dot array (dot diameter: 20 μm, dot-dot distance 400 μm) was manufactured using a photo-lithography process. In this case, the dot array area is about 2 x 2 cm 2 . Carbon nanotubes were printed on the dot array using a jet printing method at a resolution of 600 dpi and 1800 dpi. FIG. 2A is a field emission characteristic curve of a dot array in which a dot array to be pre-patterned is printed at a resolution of 600 dpi and 1800 dpi. As shown in FIG. 2 (a), it can be seen that more current is emitted at 1800 dpi. In particular, in the Fowler-Nordheim (FN) graph of FIG. 2 (b), as the field emission current increases, current saturation occurs at 600 dpi, whereas this phenomenon does not occur at 1800 dpi. have. The reason for this is that as the voltage increases, the field emission current increases and the temperature of the carbon nanotube ends increases. In the case of 600 dpi, the field emission current per carbon nanotube was high, so the temperature at the end of the carbon nanotube was increased at high voltage, the gas molecules at the end of the carbon nanotube were dropped, and the resonant state disappeared, thereby reducing the field emission current. However, in the case of 1800 dpi, the number of carbon nanotubes was large, and the temperature at the end of the carbon nanotubes did not increase. In the inset of FIG. 2, about 85% of all dots emit light with an emission pattern of 1800 dpi. At this time, the applied voltage is 86 kV / cm and the field emission current is about 350μA.

튜브의 밀도를 자유롭게 제어하는 것 이외에 젯 프린팅 방법은 또한 냉음극을 자유롭게 패터닝(patterning)할 수 있다. 도 3(a)는 인듐(In) 기판위에 젯 프린터를 이용하여 2 x 2 cm2 의 도트 어레이(dot array)를 제작 하였다. 도트 크기는 400 μm 이고 도트간 거리는 1000 μm 이다. 이 도트 어레이(dot array)는 1200 dpi의 해상도로 제작되었다. 도 3(a)에 도시된 바와 같이 젯 프린팅 방법은 도트 어레이 패턴을 자유롭게 변경할 수 있으며, 도 3(b)에서 개개의 도트에서의 탄소나노튜브밀도는 dpi을 이용하여 마음대로 제어할 수 있음을 알 수 있다. 그러므로 젯 프린팅 방법을 이용한 냉음극 제작은 증착 마스크(deposition mask)나 포토 마스크(photo-mask) 등이 필요하지 않아 디스플레이 제작 공정을 크게 간소화할 수 있다. In addition to freely controlling the density of the tubes, the jet printing method can also freely pattern the cold cathode. 3 (a) shows a dot array of 2 × 2 cm 2 using a jet printer on an indium (In) substrate. The dot size is 400 μm and the distance between dots is 1000 μm. This dot array was produced at a resolution of 1200 dpi. As shown in FIG. 3 (a), the jet printing method can freely change the dot array pattern, and in FIG. 3 (b), the carbon nanotube density in each dot can be arbitrarily controlled using dpi. Can be. Therefore, the cold cathode fabrication using the jet printing method does not require a deposition mask or a photo-mask, thereby greatly simplifying the display fabrication process.

또한 본 발명에서는 젯 프린팅 방법을 이용하여 전계방출 재료를 프린팅하여 냉음극을 만드는 방법을 제시하였지만, 본 발명에서 제시한 젯 프린팅 방법은 냉음극(cold cathode)을 구성하는 다른 부분(도 4, 3극(triode) 구조) 즉 산화층(oxide layer), 전극(electrodes), 스페이서(spacer), 게터(getter) 등과 같은 부분을 구성하는 데에도 젯 프린팅 방법이 쉽게 적용이 될 수 있다. In addition, the present invention has been proposed a method of making a cold cathode by printing a field emission material using the jet printing method, the jet printing method proposed in the present invention is another part constituting a cold cathode (Fig. 4, 3 The jet printing method can be easily applied to construct a triode structure, that is, an oxide layer, an electrode, a spacer, a getter, and the like.

전계방출 소자를 제작하기 위한 탄소나노튜브 용액의 제조방법은 다음과 같다. A method of preparing a carbon nanotube solution for fabricating a field emission device is as follows.

먼저 탄소나노튜브(단일벽 혹은 다층벽 탄소나노튜브) 성장 중에 형성되는 불순물(비정질 탄소, 촉매 금속, 흑연 파티클(graphite particle) 등)을 열처리 및 산처리와 같은 방법을 이용하여 제거한다. 이렇게 정제된 탄소나노튜브를 물 또는 유기용매에 분산한다.First, impurities (amorphous carbon, catalytic metal, graphite particles, etc.) formed during the growth of carbon nanotubes (single-wall or multi-walled carbon nanotubes) are removed using methods such as heat treatment and acid treatment. The carbon nanotubes thus purified are dispersed in water or an organic solvent.

물에 탄소나노튜브를 분산할 경우 탄소나노튜브가 물에 잘 섞이지 않으므로 SDS(sodium dodecyl sulfonate)와 NaDDBS(sodium dodecylbenzene sulfonate) 같은 계면 활성제를 사용하여 분산을 촉진시킨다. 또는 탄소나노튜브 표면으 산처리, 마이크로파 플라즈마 처리, 산화 등과 같은 방법을 이용하여 표면에 결함을 만들고 여기에 친수성 기능기 등 다양한 기능기를 붙여 탄소나노튜브가 물에 잘 섞이도록 한다. 탄소나노튜브의 분산은 초음파 처리 등과 같은 물리적 교반방법을 이용하여 탄소나노튜브 번들 속의 튜브를 인위적으로 벌린 후 계면활성제 및 상기 기능기를 튜브 표면에 부착시켜 튜브와 튜브 사이의 상호작용을 약화시키는 것이 기본적인 분산 방법이다. 초음파에 처리에 의한 물리적 교반 후에도 남아있는 번들은 원심분리를 이용하여 제거한다.When carbon nanotubes are dispersed in water, carbon nanotubes do not mix well with water, and surfactants such as sodium dodecyl sulfonate (SDS) and sodium dodecylbenzene sulfonate (NaDDBS) are used to promote dispersion. Alternatively, the surface of the carbon nanotubes may be treated with acid, microwave plasma, or oxidation to form defects on the surface, and various functional groups such as hydrophilic functional groups may be attached to the carbon nanotubes to mix well with water. Dispersion of carbon nanotubes is to artificially open a tube in a carbon nanotube bundle using a physical stirring method such as ultrasonication, and then attach a surfactant and the functional group to the surface of the tube to weaken the interaction between the tube and the tube. It is a dispersion method. Bundles remaining after physical agitation by sonication are removed by centrifugation.

유기용매에 탄소나노튜브를 분산할 경우 유기용매는 물과 이소프로판올(isopropanol) 혼합용액을 사용하며, 준비된 물과 이소프로판올(isopropanol)의 혼합용액(bi-solvent)에 나피온(Nafion)과 탄소나노튜브를 일정한 비율로 섞어 초음파 처리방법(sonication)과 같은 물리적 교반방법을 이용하여 탄소나노튜브를 분산한다. 도 5는 탄소나노튜브의 분산을 위해 사용된 물과 이소프로판올(isopropanol) 혼합물의 비율이다. 물과 이소프로판올(isopropanol)은 물이 10~90wt.%의 비율인 것이 바람직하다. 초음파 처리 후 남은 번들(bundle)은 같은 방법으로 원심분리기를 이용하여 제거한다.When dispersing carbon nanotubes in an organic solvent, an organic solvent is a mixture of water and isopropanol, and Nafion and carbon nanotubes are prepared in a bi-solvent of water and isopropanol. Mix the carbon nanotubes in a constant ratio and disperse the carbon nanotubes using a physical stirring method such as sonication. 5 is a ratio of water and isopropanol mixture used for dispersion of carbon nanotubes. Water and isopropanol (isopropanol) is preferably in the ratio of 10 to 90wt.% Of water. The remaining bundle after sonication is removed using a centrifuge in the same manner.

위 방법을 이용하여 만든 잉크는 프린팅에 적합한 특성을 가지도록 하기 위하여 여러 가지 다양한 첨가물의 첨가가 필요하다. 우선 잉크를 장시간 보관하기 위하여 수용성 잉크의 경우 잉크에 생명체가 성장하는 것을 방지하기 위하여 살생물제(biocide) 첨가한다. 탄소나노튜브가 분산된 수용액을 장시간 사용하지 않을 경우 잉크가 말라 노즐(nozzle)이 막히는데 이렇게 잉크가 쉽게 마르는 것을 방지하기 위하여 습윤제를 첨가하는 것이 바람직하다. 또한 분사된 잉크 속의 탄소나노튜브와 기판과의 접착력을 향상시키기 위하여 폴리머 첨가물(polymer additives) 및 바인더(binder)를 첨가할 수 있다. 이러한 첨가물 및 구성성분들은 요구되어지는 점도 표면장력, 잉크분사 특성을 유지하기 위하여 적절한 교반비율이 요구되어진다. Inks made using the above methods require the addition of various additives in order to have suitable properties for printing. First of all, in order to keep the ink for a long time, biocide is added in the case of water-soluble ink to prevent the growth of life in the ink. When the aqueous solution in which the carbon nanotubes are dispersed is not used for a long time, the nozzle dries the ink, and it is preferable to add a humectant to prevent the ink from drying easily. In addition, polymer additives and binders may be added to improve adhesion between the carbon nanotubes in the sprayed ink and the substrate. These additives and components are required to have a proper stirring ratio in order to maintain the required viscosity surface tension and ink spraying properties.

이렇게 준비된 탄소나노튜브 용액은 젯 프리팅시 젯팅이 원활하게 이루어 질 수 있도록 점도가 2~20 cP인 것이 바람직하며, 아울러 표면 장력이 20~40 mN/m2인 것이 바람직하다.The carbon nanotube solution thus prepared has a viscosity of 2 to 20 cP, and preferably a surface tension of 20 to 40 mN / m 2 so that jetting may be performed smoothly during jet fritting.

<실험예>Experimental Example

NaDDBS 나 SDS를 사용하는 경우, 30 g의 DI water에 탄소나노튜브와 계면 활성제를 1:5의 비율로 섞어 만들었다. 이때 사용된 탄소나노튜브와 계면활성제의 비율은 3:15, 6:30, 9:45, 12:60, 15 mg:75 mg 등이다. 또한 Nafion의 경우, 각기 다른 물과 iso-propanol의 비율로 섞어진 30 g bi-solvent에 2 mg의 탄소나노튜브와 10 mg 의 Nafion을 섞었다.In the case of using NaDDBS or SDS, carbon nanotube and surfactant were mixed in a ratio of 1: 5 in 30 g of DI water. At this time, the ratio of the carbon nanotube and the surfactant used is 3:15, 6:30, 9:45, 12:60, 15 mg: 75 mg and the like. In the case of Nafion, 2 mg of carbon nanotubes and 10 mg of Nafion were mixed in 30 g bi-solvent mixed in different water and iso-propanol ratios.

이렇게 준비된 용액들의 점도, 표면장력 및 접촉각(contact angle)등을 분석하였다. 일반적으로 SDS는 탄소나노튜브의 분산에 있어서 많이 사용되는 분산제이다. 하지만 SDS를 이용하여 분산한 탄소나노튜브 잉크의 경우 측정온도 23.5 ℃에서 점도가 크게 낮아 젯팅이 잘 되지 않았다. 같은 온도에서, NaDDBS의 경우도 점도는 낮은 편이었으나 NaDDBS를 이용하여 분산한 용액은 젯 프린팅 과정에서 큰 어려움이 나타나지 않았다. Nafion을 이용해 만든 잉크의 경우 탄소나노튜브의 분산은 물과 iso-propanol의 비율이 약 80:20에서 가장 뛰어났다. 물과 iso-propanol 비율이 증가하면서 점도가 증가하고 잉크의 분산 특성이 점도가 가장 높은 50:50에서 가장 우수하였다. 하지만 튜브분산은 iso-propanol 비율이 증가 하면서 감소하였다. jet-printing에 적합한 점도 및 튜브의 분산성을 유지하기 위해서는 탄소나노튜브 용액을 구성하는 성분들 사이에 적절한 배합비율이 필요한 것으로 관측되었다(도 5).The viscosity, surface tension and contact angle of the solutions thus prepared were analyzed. In general, SDS is a widely used dispersant in the dispersion of carbon nanotubes. However, in the case of carbon nanotube inks dispersed using SDS, jetting was not very good due to the low viscosity at the measurement temperature of 23.5 ° C. At the same temperature, NaDDBS also had a low viscosity, but the solution dispersed with NaDDBS did not show any difficulty during the jet printing process. In the case of inks made with Nafion, the dispersion of carbon nanotubes was the best in water and iso-propanol at about 80:20. As the ratio of water and iso-propanol was increased, the viscosity was increased and the dispersing property of the ink was the highest at 50:50. However, tube dispersion decreased with increasing iso-propanol ratio. In order to maintain the viscosity and tube dispersibility suitable for jet-printing, it was observed that an appropriate blending ratio is required between the components constituting the carbon nanotube solution (Fig. 5).

또한 이들 잉크들의 젖음성(wettability)을 인듐(In)이 코팅이 된 Si 및 ITO galss 기판 위에서 측정하였다. 도 6은 SDS, NaDDBS, 및 Nafion 등을 이용하여 제작한 잉크들의 인듐이 코팅된 기판 위에서 측정한 접촉각(contact angle)이다. 도 6(a)에서 물의 경우 In 기판에서 접촉각이 약 117°로 In 기판이 강한 소수성을 가지고 있음을 알 수 있다. Di-water에 SDS를 이용하여 탄소나노튜브 잉크를 만들었을 때 SDS잉크의 경우 표면장력이 약 50 mN/m2 로 도 7(b)에서와 같이 접촉각이 약 90°를 유지하며 여전히 젖음성(wettability)이 좋지 않았다. 하지만 NaDDBS의 경우 표면장력이 약 30~34 mN/m2로 SDS 보다 낮았으며, 접촉각은 약 22°이다. Nafion의 경우 물대 iso-propanol의 비율이 약 70:20 까지는 비교적 29° 정도의 접촉각을 보였지만, iso-propanol의 비율이 커지면서 접촉각이 현저히 떨어져, spreading 이 일어남을 관측하였다. 이 경우 표면장력은 iso-propanol의 농도가 증가해도 크게 작아지지 않았지만, 접촉각의 경우에는 큰 변화를 보였다. Nafion 잉크의 경우 모든 혼합율에서 비교적 약 30~35 mN/m2의 표면장력을 유지하였지만, 인듐(In) 기판에서 접촉각은 물과 iso-propanol 비율에 따라서 상당한 차이를 보였다. 이처럼 기판 위에서의 젖음성(wettability)은 표면장력이나 점도가 아닌 다른 특성에 의존함을 알 수 있다. 이는 잉크와 기판 사이의 상호 에너지(interaction energy)에 의하여 영향을 받는 것으로 사료된다. 즉 NaDDBS 와 SDS가 표면장력에서는 큰 차이를 보이지 않지만, 접촉각에서 큰 차이를 보이는 이유는 NaDDBS에 있는 소수성의 벤젠링(benzene ring)에 의한 기여로 사료된다. 즉 인듐 표면과 같이 소수성 표면이 벤젠링(benzene ring)과 같은 소수성 특성을 가지는 잉크와 더 큰 상호작용 에너지가 작용하는 것이다. 잉크를 이용한 패터닝에서 표면장력과 잉크와 기판과의 상호 작용은 패턴 사이즈를 제어하는데 중요한 인자이다.The wettability of these inks was also measured on indium (In) coated Si and ITO galss substrates. 6 is a contact angle measured on an indium-coated substrate of inks prepared using SDS, NaDDBS, Nafion, and the like. In FIG. 6 (a), in the case of water, the contact angle of the In substrate is about 117 °, indicating that the In substrate has strong hydrophobicity. When carbon nanotube inks were made using SDS in di-water, the surface tension of SDS ink was about 50 mN / m 2 , and the contact angle was maintained at about 90 ° as shown in FIG. 7 (b) and still wettability was obtained. ) Was not good. However, NaDDBS has a surface tension of about 30 to 34 mN / m 2 , which is lower than that of SDS, and its contact angle is about 22 °. Nafion showed a contact angle of 29 ° until the ratio of iso-propanol to water was about 70:20, but the contact angle dropped significantly as the ratio of iso-propanol increased, resulting in spreading. In this case, the surface tension did not decrease significantly with increasing iso-propanol concentration, but showed a large change in the contact angle. Nafion inks retained a surface tension of approximately 30-35 mN / m 2 at all mixing rates, but the contact angles on indium (In) substrates varied significantly with water and iso-propanol ratios. Thus wettability on the substrate can be seen that depends on other properties than the surface tension or viscosity. This is believed to be affected by the interaction energy between the ink and the substrate. In other words, NaDDBS and SDS do not show a big difference in surface tension, but the difference in contact angle is thought to be due to the hydrophobic benzene ring in NaDDBS. That is, the greater the interaction energy with the ink that the hydrophobic surface such as the indium surface has a hydrophobic characteristic such as benzene ring. In patterning with ink, the surface tension and the interaction between the ink and the substrate are important factors in controlling the pattern size.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Those skilled in the art will appreciate that the present invention can be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is indicated by the scope of the following claims rather than the above description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are included in the scope of the present invention. Should be interpreted.

Claims (6)

탄소나노튜브를 물 또는 물과 알코올의 혼합용액에 분산시켜 탄소나노튜브 용액을 제조하는 탄소나노튜브 용액 제조단계;
기판의 표면에 금속층, 금속산화물층 또는 무기물층 중 어느 하나의 접착층을 코팅하는 접착층 형성단계; 및
상기 탄소나노튜브 용액을 상기 접착층이 형성된 기판 상에 젯 프린팅 하는 프린팅 단계를 포함하되,
상기 금속층은 600도 이하에서 용융될 수 있는 텅스텐(W), 금(Au), 니켈(Ni), 코발트(Co), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 티타늄(Ti), 망간(Mn), 철(Fe), 크롬(Cr), 지르코늄(Zr), 니오브(Nb), 몰리브덴(Mo), 탄탈(Ta), 주석(Sn), 실리콘(Si) 중 적어도 1종 이상의 50nm 미만의 입도크기를 갖는 나노크기의 금속 또는 이들의 합금 또는 이들 금속을 포함하는 금속전구체이고,
상기 금속산화물층은 텅스텐(W), 금(Au), 니켈(Ni), 코발트(Co), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 티타늄(Ti), 망간(Mn), 철(Fe), 크롬(Cr), 지르코늄(Zr), 니오브(Nb), 몰리브덴(Mo), 탄탈(Ta), 주석(Sn), 실리콘(Si) 중 적어도 1종 이상의 산화물계 나노분말이며,
상기 무기물층은 글래스 프릿 또는 물유리인 것을 특징으로 하는 젯 프린팅을 이용한 냉음극 제조방법.Preparing a carbon nanotube solution by dispersing the carbon nanotubes in water or a mixed solution of water and alcohol;
An adhesive layer forming step of coating an adhesive layer of any one of a metal layer, a metal oxide layer, and an inorganic layer on a surface of the substrate; And
Including a printing step of jet-printing the carbon nanotube solution on the substrate on which the adhesive layer is formed,
The metal layer is tungsten (W), gold (Au), nickel (Ni), cobalt (Co), palladium (Pd), platinum (Pt), titanium (Ti), manganese (Mn) that can be melted at 600 degrees or less At least one particle size of less than 50 nm of at least one of iron (Fe), chromium (Cr), zirconium (Zr), niobium (Nb), molybdenum (Mo), tantalum (Ta), tin (Sn), and silicon (Si) Nano-sized metals or alloys thereof or metal precursors containing these metals,
The metal oxide layer may include tungsten (W), gold (Au), nickel (Ni), cobalt (Co), palladium (Pd), platinum (Pt), titanium (Ti), manganese (Mn), iron (Fe), Oxide-based nanopowder of at least one of chromium (Cr), zirconium (Zr), niobium (Nb), molybdenum (Mo), tantalum (Ta), tin (Sn), and silicon (Si),
The inorganic layer is a cold cathode manufacturing method using jet printing, characterized in that the glass frit or water glass. 제1항에 있어서, 상기 젯 프린팅은
잉크젯 프린팅 방법 또는 에어로 젯 프린팅 방법을 사용하는 젯 프린팅을 이용한 냉음극 제조방법.The method of claim 1, wherein the jet printing
A cold cathode manufacturing method using jet printing using an ink jet printing method or an aero jet printing method. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 프린팅 단계 이후에 열처리 단계를 더 포함하는 젯 프린팅을 이용한 냉음극 제조방법.The method of claim 1,
Cold cathode manufacturing method using jet printing further comprising a heat treatment step after the printing step. 제1항에 있어서,
상기 탄소나노튜브 용액은 점도가 2~20 cp이고, 표면 장력이 20~40 mN/m2인 것을 특징으로 하는 젯 프린팅을 이용한 냉음극 제조방법.The method of claim 1,
The carbon nanotube solution has a viscosity of 2 ~ 20 cp, the surface tension is 20 ~ 40 mN / m 2 Cold cathode manufacturing method using jet printing, characterized in that. 제1항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 용액 제조단계는
상기 탄소나노튜브 용엑에 살생물제(biocie) 및 습윤제를 포함하는 첨가제를 첨가하는 단계
를 더 포함하는 것인 젯 프린팅을 이용한 냉음극 제조방법.
According to claim 1, wherein the carbon nanotube solution manufacturing step
Adding an additive including a biocie and a humectant to the carbon nanotube solution
Cold cathode manufacturing method using jet printing that further comprises.
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KR20070021757A (en) * 2005-08-19 2007-02-23 삼성에스디아이 주식회사 Process for preparing carbon nanotube electron field emitter

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