KR100901818B1 - 기판 절단시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- 원기판을 다수의 단위기판으로 절단하는 절단 작업이 진행되는 작업라인을 형성하며, 상기 원기판을 이송하는 기판이송 유닛; 및상기 기판이송 유닛의 어느 일 영역에 마련되어 상기 원기판 상에 스크라이브 라인(scribe line)을 형성하는 스크라이브 유닛(scribe unit)을 포함하며,상기 기판이송 유닛은,상기 원기판이 접촉되어 이송되는 폐루프 형상의 벨트를 구비한 벨트 컨베이어 유닛(Belt Conveyor Type);상기 기판이송 유닛의 하부 구조를 형성하되 상기 벨트 컨베이어 유닛이 착탈 가능하게 결합되는 컨베이어 프레임 구조체; 및상기 컨베이어 프레임 구조체에 마련되며, 상기 벨트를 일방향으로 회전시키는 동력을 발생시키는 구동 모터와, 상기 구동 모터의 모터축에 연결되고 상기 벨트와 접촉되어 상기 벨트를 회전시키되 상기 벨트가 상기 벨트의 하부 영역에서 외접되는 구동 롤러를 갖는 동력발생부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.
- 제1항에 있어서,상기 구동롤러에 인접하게 마련되어 상기 구동 롤러와 함께 상기 벨트를 회전 가능하게 지지하는 적어도 하나의 아이들 롤러를 더 포함하며,상기 아이들 롤러는 상기 벨트의 일 영역에서 상기 벨트와 내접되는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.
- 제2항에 있어서,상기 아이들 롤러는 상기 구동 롤러를 사이에 두고 한 쌍으로 마련되어 상기 벨트를 회전 가능하게 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.
- 제1항에 있어서,상기 벨트 컨베이어 유닛은, 상기 컨베이어 프레임 구조체 상에서 상기 작업라인 및 상기 작업라인에 가로 방향을 따라 상호 이격 간격을 가지고 다수 개 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.
- 제4항에 있어서,상기 다수의 벨트 컨베이어 유닛에 의해 상기 작업라인에 가로 방향을 따라 형성되는 결합선은 직선 형상인 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.
- 제4항에 있어서,상기 원기판이 이송되는 방향을 따라 상기 스크라이브 유닛의 후방에 마련되며, 상기 스크라이브 라인을 따라 상기 스크라이브 라인이 형성된 원기판이 상기 단위기판으로 절단하는 브레이크 유닛(break unit)을 더 포함하며,상기 스크라이브 유닛과 상기 브레이크 유닛 사이에 위치되고, 상기 다수의 벨트 컨베이어 유닛에 의해 상기 작업라인에 가로 방향을 따라 형성되는 결합선은 상호 엇갈리는 지그재그(zigzag) 형상인 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.
- 제1항에 있어서,상기 벨트 컨베이어 유닛은,일 영역에서 상기 컨베이어 프레임 구조체와 부분적으로 착탈 가능하게 결합되는 유닛 중앙몸체; 및상기 유닛 중앙몸체의 양 단부 영역에서 상기 유닛 중앙몸체와 분리 가능하게 결합되는 분할 단위몸체를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.
- 제7항에 있어서,상기 분할 단위몸체는,상기 벨트가 폐루프 형상으로 지지될 수 있도록 상기 벨트의 내부에서 상기 벨트를 회전 가능하게 지지하는 다수의 텐션 롤러; 및상기 다수의 텐션 롤러를 지지하는 롤러 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단시스템.
- 제1항에 있어서,상기 벨트의 적어도 어느 일 영역에 접촉되도록 마련되며, 상기 원기판이 상 기 복수의 단위기판으로 절단되는 과정에서 발생되는 파티클(particle)을 제거하는 청소유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 시스템.
- 제9항에 있어서,상기 청소 유닛은,상기 기판이송 유닛의 하부 영역에서 상기 작업라인에 가로로 배치되며, 상호 이격된 한 쌍의 측벽부를 갖는 본체 프레임;상기 한 쌍의 측벽부 사이에서 회전 가능하게 결합되어 상기 벨트의 일 영역에 접촉되는 적어도 하나의 청소 롤러; 및상기 청소 롤러를 회전구동시키는 회전구동부를 포함하며,상기 파티클이 상기 본체 프레임의 외부로 이탈되는 것이 저지되도록, 상기 한 쌍의 측벽부의 상단은 상기 청소 롤러의 회전축보다 높고 상기 청소 롤러의 상부 표면보다 낮게 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 시스템.
- 제10항에 있어서,상기 청소 롤러는,상기 본체 프레임 상에서 상기 작업라인을 따라 배치되어 상기 회전구동부에 의해 구동되는 구동 롤러; 및상기 구동 롤러와 나란하게 배치되어 상기 구동 롤러에 의해 일방향으로 회전하며, 상기 구동 롤러와의 사이에 상기 파티클이 낙하하는 이격공간을 형성하는 종동 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 시스템.
- 제11항에 있어서,상기 회전구동부는,인가된 전원에 의해 온/오프(on/off) 동작되는 모터의 회전축에 연결되어 있는 모터 기어;상기 구동 롤러의 일단에 연결되고 상기 모터 기어와 상호 치형 맞물림되는 구동 기어; 및상기 종동 롤러의 일단에 연결되고 상기 구동 기어와 치형 맞물림되는 종동 기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 시스템.
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