KR100899114B1 - 이물질 감지 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 슬릿 코터를 이용하여 기판 상에 포토레지스트를 도포할 때 상기 기판 상에 존재하는 이물질의 크기가 작더라도 이를 정확히 측정할 수 있는 민감도가 향상된 이물질 감지 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 이물질 감지 장치는 슬릿 코터의 기판 상부 또는 하부에 존재하는 이물질을 검출하기 위한 이물질 감지 장치로서, 상기 기판의 양 대향측에 각각 대면 배치된 발광부 및 수광부로 구성된 광센서와, 상기 수광부에 입사되는 광의 일부를 차단하는 조리개 유닛을 포함한다.
슬릿 코터, 포토레지스트, 이물질, 발광부, 수광부, 조리개

Description

이물질 감지 장치 및 방법 {APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING FOREIGN SUBSTANCE}
도 1은 일반적인 이물질 감지 장치가 설치된 슬릿 코터의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 슬릿 코터에 의해 포토레지스트가 기판에 도포되는 상태를 도시한 측단면도이다.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 슬릿 코터에서 기판 상의 이물질을 감지하는 상태를 설명하기 위한 정면도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 이물질 감지 장치 및 그가 설치된 슬릿 코터의 구조를 나타내는 사시도 및 측단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 이물질 감지 장치가 기판 상의 이물질을 감지하는 상태를 설명하기 위한 정면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
102: 기판 척 104: 이물질
110: 슬릿 노즐 120: 노즐 이송 유닛
200: 슬릿 코터 210: 조리개 유닛
212: 조리개 프레임 214: 차광판
230: 광센서 232: 발광부
233: 광 234: 수광부
GS: 기판 PR: 포토레지스트
본 발명은 슬릿 코터에 로딩된 기판 상에 존재하는 이물질을 감지하는 이물질 감지 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 슬릿 코터를 이용하여 기판 상에 포토레지스트를 도포할 때 상기 기판 상에 존재하는 이물질의 크기가 작더라도 이를 정확히 측정할 수 있는 민감도가 향상된 이물질 감지 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시소자를 제조할 때, 공정 오차는 주로 포토레지스트를 사용하는 포토 공정에서 발생한다. 상기 포토레지스트가 균일하게 도포되지 않으면 후공정에서 해상도, 회로선폭의 차이가 발생하고, 또한 반사율의 차이가 발생하여 화면에 그대로 나타나는 불량을 유발한다.
최근에는 포토레지스트를 기판 상에 코팅하는 데 필요한 공정 시간을 줄이려는 요구가 있다. 상기 포토레지스트를 짧은 시간 내에 균일하게 도포하고 건조시키는 방법에 대한 연구가 필요하다.
포토레지스트를 균일하게 도포하는 방법으로 포토레지스트를 둥근 롤의 외부에 적재한 후 상기 롤을 기판 상에서 일정 방향으로 구름 이동시켜 포토레지스트를 도포하는 롤 코팅 방법과, 원판의 지지체 위에 기판을 올려놓고 상기 기판의 중앙에 포토레지스트를 떨어뜨린 후 회전시켜 원심력에 의해 포토레지스트를 기판에 도포하는 스핀 코팅방법과, 슬릿 형태의 노즐을 통해 포토레지스트를 기판에 토출하면서 일정 방향으로 스캔하여 도포해가는 슬릿 코팅방법이 있다.
상기 코팅 방법들 중에서, 롤 코팅 방법은 포토레지스트 막의 균일성 및 막 두께 조정을 정밀하게 수행하기 어려워, 고정밀 패턴 형성용으로는 스핀 코팅 방법이 사용된다. 그러나, 스핀 코팅 방법은 웨이퍼와 같이 크기가 작은 기판에 감광물질을 코팅하는 데 적합하며, 액정 표시 패널용 유리 기판과 같이 크기가 크고 중량이 무거운 평판 표시장치용 기판에는 적합하지 않다. 이는 기판이 크고 무거울수록 기판을 고속으로 회전시키기 어려우며, 고속 회전 시 기판의 파손이나 에너지 소모가 큰 문제점이 있다. 이러한 이유로, 대형 유리 기판 상에 포토레지스트를 코팅하는 방법으로 슬릿 코팅 방법이 주로 사용되고 있다.
도 1은 일반적인 이물질 감지 장치가 설치된 슬릿 코터의 구조를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 슬릿 코터에 의해 포토레지스트가 기판에 도포되는 상태를 도시한 측단면도이고, 도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 슬릿 코터에서 기판 상의 이물질을 감지하는 상태를 설명하기 위한 정면도이다.
도 1을 참조하면, 일반적인 슬릿 코터(100)는 기판(GS)이 고정 안착되는 기판 척(102)과, 포토레지스트(PR)를 기판(GS) 상에 도포하는 슬릿 노즐(110)과, 상기 슬릿 노즐(110)의 양측을 지지하면서 그를 종방향으로 전진시키는 한 쌍의 노즐 이송 유닛(120)과, 상기 노즐 이송 유닛(120) 각각의 전방에 설치된 발광부(132)와 수광부(134)로 이루어진 이물질 감지 장치(130)와, 상기 노즐 이송 유닛의 일 측에 부착되는 포토레지스트 공급부(115)와, 상기 포토레지스트 공급부(115)로부터 상기 슬릿 노즐(110)로 포토레지스트(PR)를 이송하는 제1 포토레지스트 공급 라인(116)과, 상기 포토레지스트 공급부(115)에 포토레지스트(PR)를 공급하는 제2 포토레지스트 공급 라인(117)을 포함한다.
상기 슬릿 노즐(110)은 긴 바(bar) 형상의 노즐로, 기판(GS)과 대면하는 슬릿 노즐의 하단 중앙에는 미세한 슬릿 형상의 토출구(112)가 형성되며 상기 토출구(112)를 통해 일정 양의 포토레지스트(PR)가 기판에 토출되도록 한다. 상기 포토레지스트 공급부(115)는 상기 슬릿 노즐(110)에 포토레지스트(PR)를 공급하며, 공급되는 포토레지스트(PR)에 소정의 압력을 가하여 포토레지스트(PR)를 토출시키는 수단이다. 통상, 상기 포토레지스트 공급부(115)는 펌프가 포함되어 일정한 압력을 슬릿 노즐(110)에 가하고 그 압력에 의해 슬릿 노즐에 저장된 포토레지스트(PR)가 기판 상에 토출된다.
도 2를 참조하면, 이와 같이 구성된 슬릿 코터는 상기 슬릿 노즐(110)이 기판의 일 단에서 일정한 속도를 갖고 종방향으로 전진하면서 포토레지스트(PR)를 기판(GS) 상에 토출시킴으로써 포토레지스트(PR)를 기판(GS) 상에 균일하게 도포하게 된다.
이와 같이 슬릿 노즐(110)이 전진하면서 기판(GS) 상에 포토레지스트(PR)를 도포할 때, 상기 슬릿 노즐(110) 전방에 설치된 이물질 감지 장치(130)는 기판(GS)의 상부 또는 하부에 이물질이 존재하는가를 감지한다. 즉, 기판 상의 이물질을 감지하는 상태를 정면도로 보여주는 도 3을 참조하면, 이물질 감지 장치(130)의 발광부(132)에서 출사된 레이저와 같은 광(133)을 수광부(134)가 수광하여 광량을 측정한다. 상기 발광부(132)와 수광부(134) 사이에 이물질이 존재하지 않는다면 발광부(132)에서 출사된 광(133)은 모두 수광부(134)에 입사하게 되며, 상기 수광부(134)에 입사된 광량은 도 3에서 AC로 표시되는 영역에 대응한다. 이와 달리, 만일 상기 발광부(132)와 수광부(134) 사이에 이물질(104)이 존재하는 경우라면 발광부(132)에서 출사된 광(133)의 일부가 이물질(104)에 가려져 나머지 일부만이 수광부(134)에 입사하게 되며, 상기 수광부(134)에 입사된 광량은 도 3에서 AC1로 표시되는 영역에 대응한다.
이와 같이, 수광부(134)에서 측정된 광량이 정상 상태보다 감소하면 발광부(132)와 수광부(134) 사이에 이물질(104)이 존재하는 것으로 판단한다. 이를 위하여, (도시되지 않은) 이물질 감지 장치의 연산부에서는 AC와 AC1의 차이를 비교하여, 즉 (AC-AC1)/AC의 값을 계산하여 상기 연산 값이 영(0)이면 이물질(104)이 존재하지 않는 것으로 판단하고, 상기 연산 값이 영(0)보다 크면 이물질(104)의 존재하는 것으로 판단한다. 그러나, 실제 장치에 있어서, 상기 수광부(134)에서 측정된 신호에는 노이즈가 존재하기 때문에, 상기 연산 값은 영(0)이 될 수 없다. 따라서, 신호대 잡음비(S/N비)를 고려하여 상기 연산 값이 이물질 존재 여부 판단 값인 소정 값보다 작으면 이물질이 존재하지 않는 것으로 판단하고, 상기 연산 값이 소정 값보다 크면 이물질의 존재하는 것으로 판단한다.
이러한 이유로, 현재 상기와 같이 레이저를 이용한 이물질 감지 장치에서 감 지가 가능한 이물질의 크기는 대략 0.5mm 정도가 한계이다. 즉, 이보다 작은 크기의 이물질이 기판 상에 존재할 때에는, 이물질이 존재할 때의 수광된 광량과 이물질이 존재하지 않을 때 수광된 광량의 차이가 작기 때문에 이물질의 측정 감도가 감소하게 되어 이물질을 감지하지 못하게 되는 문제점이 발생하게 된다.
본 발명의 목적은 전술된 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 슬릿 코터를 이용하여 기판 상에 포토레지스트를 도포할 때 상기 기판 상에 존재하는 이물질의 크기가 작더라도 이를 측정할 수 있는 민감도가 향상된 이물질 감지 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
전술된 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 태양에 따른 이물질 감지 장치는 슬릿 코터의 기판 상부 또는 하부에 존재하는 이물질을 검출하기 위한 이물질 감지 장치로서, 상기 기판의 양 대향측에 각각 대면 배치된 발광부 및 수광부로 구성된 광센서와, 상기 수광부에 입사되는 광의 일부를 차단하는 조리개 유닛을 포함한다.
상기 조리개 유닛은 상기 수광부에 설치된 것이 바람직하다.
상기 조리개 유닛은 그에 의해 차단되는 광량을 조절할 수 있도록 구성될 수 있다. 이때, 상기 조리개 유닛은 중심에 관통 개구가 형성된 조리개 프레임과, 상기 조리개 프레임의 관통 개구 내에 이동 가능하게 설치된 차광판을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 조리개 유닛은 상기 수광부에 입사되는 광의 상부를 가리는 것이 바람 직하다.
상기 광센서는 2개가 전후로 배열되고, 상기 조리개 유닛은 하나의 수광부에 설치된 것이 바람직하다.
본 발명의 다른 일 태양에 따른 이물질 감지 방법은 슬릿 코터의 기판 상부 또는 하부에 존재하는 이물질을 검출하기 위한 이물질 감지 방법으로서, 상기 기판의 일측에서 이물질을 향하여 광을 출사하고 상기 기판의 타측에서 상기 광을 수광하여 수광된 광량을 측량할 때 상기 수광되는 광의 일부를 차단한다.
이때, 상기 차단되는 광량은 슬릿 코터에서 검출을 요구하는 이물질의 크기에 따라서 제어되는 것이 바람직하다.
이하 도면을 참조하여 본 발명에 따른 이물질 감지 장치 및 방법의 바람직한 실시예를 설명하고자 한다.
도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 이물질 감지 장치 및 그가 설치된 슬릿 코터의 구조를 나타내는 사시도 및 측단면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 이물질 감지 장치가 기판 상의 이물질을 감지하는 상태를 설명하기 위한 정면도이다.
도면을 참조하면, 본 발명에 따른 이물질 감지 장치가 설치된 슬릿 코터(200)는 기판(GS)이 고정 안착되는 기판 척(102)과, 포토레지스트(PR)를 기판(GS) 상에 도포하는 슬릿 노즐(110)과, 상기 슬릿 노즐(110)의 양측을 지지하면서 그를 종방향으로 전진시키는 한 쌍의 노즐 이송 유닛(120)과, 상기 노즐 이송 유닛(120)에 설치된 본 발명에 따른 이물질 감지 장치와, 포토레지스트 공급부(115)와, 제1 및 제2 포토레지스트 공급 라인(116, 117)을 포함하는 것으로서, 상기 구성이 종래 기술에서 설명된 슬릿 코터(100)와 동일하고, 다만 그에 장착되는 이물질 감지 장치의 구성이 상이할 뿐이다. 더욱이, 기판 상에 포토레지스트(PR)를 도포하는 슬릿 코터(200) 자체의 작동 역시 종래 기술에서 설명된 슬릿 코터(100)와 동일하다. 따라서, 이하에서는 본 발명에 따른 이물질 감지 장치의 구성 및 그에 대한 작동을 위주로 설명하고자 한다.
본 발명에 따른 이물질 감지 장치는 상호 대면하여 배치된 발광부(232) 및 수광부(234)로 구성된 광센서(230)와, 상기 광센서(230)의 수광부(234)의 전방에 설치되어 상기 수광부에 입사되는 광의 일부를 차단하는 조리개 유닛(210)을 포함한다.
상기 발광부(232) 및 수광부(234)는 슬릿 노즐(110)의 전방에 위치되어 상기 슬릿 노즐(110)과 함께 이동한다. 이를 위하여, 도시된 실시예에서는 상기 발광부(232) 및 수광부(234)가 모두 상기 슬릿 노즐(110)을 기판(GS)의 종방향으로 전진시키는 한 쌍의 노즐 이송 유닛(120)에 고정 설치되어 있으나, 이와 달리 별도의 이동 수단에 구비되어 상기 슬릿 노즐(110)의 전방에서 이들 발광부(232) 및 수광부(234)를 상기 종방향으로 전진시킬 수도 있다.
상기 수광부(234)의 전방에 설치된 조리개 유닛(210)은 중심에 관통 개구가 형성된 조리개 프레임(212)과, 상기 조리개 프레임(212)의 관통 개구 내에 상하로 이동 가능하게 설치된 차광판(214)을 포함한다. 상기 조리개 프레임(212)은 상기 수광부(234)에 고정 설치되고, 상기 조리개 프레임(212)에 형성된 관통 개구는 상기 수광부(234)에 형성된 수광창보다 크게 형성된다. 상기 차광판(214)은 상기 조 리개 프레임(212)의 상부에 이동 가능하게 설치되어, 상기 차광판(214)이 하강함에 따라 상기 관통 개구의 상부를 가릴 수 있도록, 즉 상기 수광부(234)에 형성된 수광창의 상단을 포함하는 일부를 가릴 수 있도록 구성된다. 이때, 상기 조리개 유닛(210)의 차광판(214)은 차단되는 수광량을 조절하기가 용이하도록 상기 수광부(134)의 수광창에 인접하게 설치하는 것이 바람직하다.
상기 조리개 유닛은 전술된 구성과 달리 상기 수광부에 입사되는 광의 일부를 고정식으로 차단하도록, 수광창보다 작은 크기의 관통 개구가 형성된 조리개 프레임으로만 구성될 수도 있다. 이 경우, 상기 수광부(234)의 전방에서 탈착 가능하게 형성되고 서로 다른 크기의 관통 개구를 갖는 다수개의 조리개 유닛을 구비하여, 슬릿코터에서 검출을 요구하는 이물질의 크기에 따라서 적절한 크기의 관통 개구가 형성된 조리개 유닛을 설치할 수도 있다.
한편, 상기 조리개 유닛(210)은 상기 차광판(214)을 수동으로 조작하도록 구성될 수 있다. 그러나, 상기 수광창의 차단 정도를 보다 정밀하게 제어하기 위하여 상기 차광판(214)을 상하로 이동시키기 위한 랙-피니언 및 모터와 같은 전동 장치가 사용될 수도 있다.
다음은 도 6을 참조하여, 본 발명에 따른 이물질 감지 장치의 작동에 대해 설명하고자 한다.
먼저, 상기 슬릿 코터(200)의 기판 척(102) 상에 기판(GS)이 안착된 후, 상기 포토레지스트 공급부(115)가 작동하여 슬릿 노즐(110)을 통하여 포토레지스트(PR)가 기판 상에 토출된다. 이와 동시에, 상기 노즐 이송 유닛(120)이 종방향 으로 전진하면서 기판(GS) 상에는 포토레지스트(PR)가 도포된다. 이때, 상기 이동하는 노즐 이송 유닛(120)에 설치된 발광부 및 수광부(232, 234)가 상기 이물질(104)을 감지한다. 즉, 기판의 횡방향 일측에 배치된 하나의 노즐 이송 유닛(120)에 설치된 발광부(232)에서 출사된 광(233)은 이물질(104)을 지나면서 일부가 상기 이물질(104)에 가려져 광의 나머지 일부만이 상기 수광부(234)의 수광창을 통하여 입사하게 된다.
이때, 상기 수광부(234)의 전방에 설치된 상기 조리개 유닛(210)의 차광판(214)이 상기 수광부(234)의 수광창 상측 일부를 가려, 이물질이 존재하지 않는 경우에도 발광부(232)에서 출사된 광(233)은 일부만이 상기 수광부(234)에 입사하게 된다. 이때, 입사된 광량은 도 6에서 AP로 표시되는 영역에 대응하며, 이는 차광판(214)이 완전히 개방되어 수광부(234)의 수광창이 가려지지 않았을 때보다 적은 양의 광을 수광한다. 따라서, 상기 기판 상에 이물질(104)이 존재하는 경우에, 발광부(132)에서 출사된 광(133)의 하측 일부는 이물질(104)에 가려지고 상측 일부는 차광판(214)에 가려져 나머지 일부의 광만이 수광부(134)에 입사하게 된다. 이때 입사된 광량은 도 6에서 AP1로 표시되는 영역에 대응하며, 이 역시 차광판(214)이 완전히 개방되어 수광부(234)의 수광창이 가려지지 않았을 때보다 적은 양의 광을 수광한다.
이와 같이, 차광판(214)이 수광부(234)의 수광창 상부를 가린 상태에서, 이물질이 없을 때 상기 수광부(234)에 입사하는 (도 6의 AP에 대응하는) 광량과 이물질(104)이 존재할 때 상기 수광부(234)에 입사하는 (도 6의 AP1에 대응하는) 광량 의 차이는 이물질의 크기가 작은 경우에도 크게 나타나게 된다. 즉, 동일한 크기의 이물질에 대하여, 차광판(214)이 존재하는 본 발명에서 도 6에 도시된 광량의 차이에 대한 연산 값((AP-AP1)/AP)은, 차광판(214)이 존재하지 않는 종래 기술에서 도 3에 도시된 광량의 차이에 대한 연산 값((AC-AC1)/AC)보다 크게 나타나게 된다. 따라서, 이물질(104)의 크기가 작기 때문에, 차광판(214)이 존재하지 않는 종래 기술에서 얻어지는 광량의 차이에 대한 연산 값((AC-AC1)/AC)이 (종래 기술에서 언급된 바와 같이 신호대 잡음비(S/N비)를 고려하여 설정된) 이물질 존재 여부 판단 값보다 작은 경우가 있을 수 있다. 이때에는, 비록 이물질(104)이 존재하더라고 상기 연산 값((AC-AC1)/AC)이 이물질 존재 여부 판단 값보다 작아서 이물질(104)이 존재하지 않는 것으로 판단하게 된다. 그러나, 차광판(214)이 존재하는 본 발명에서 얻어지는 연산 값((AP-AP1)/AP)은 상기 연산 값((AC-AC1)/AC)보다 크기 때문에 상기 이물질 존재 여부 판단 값보다 클 수 있어, 이물질이 존재하는 것으로 판단하게 될 수 있다. 즉, 본 발명의 수광부(234)가 종래 기술에서 사용된 수광부(134)와 동일한 사양, 즉 동일한 민감도를 갖는 경우에도, 본 발명에 따른 이물질 감지 장치는 전체적으로 높은 민감도를 갖게 되어 기판 상의 이물질을 보다 정확하게 감지할 수 있게 된다.
한편, 상기 차광판(214)이 수광부(234)의 수광창을 필요이상으로 가리게 되면, 이물질이 존재하지 않는 경우에 수광부(234)에 입사되는 광량도 필요이상으로 감소하게 되어, 수광부(234) 자체의 감도가 감소하게 되는 문제가 있다. 따라서, 상기 차광판(214)이 차단하는 광량은 슬릿코터에서 검출을 요구하는 이물질의 크기 에 따라서 조절하는 것이 바람직하다. 즉, 슬릿코터에서 검출을 요구하는 이물질의 크기가 큰 경우는 차광판(214)이 광량을 차단하지 않거나 혹은 조금만 차단하도록 하고, 이물질의 크기가 작은 경우에는 차광판(214)이 광량을 많이 차단하도록 한다.
상기한 이유로 2개의 광센서를 슬릿 코터의 종방향으로 이격시켜 설치하고 이들 중 하나의 광센서(230)의 수광부(234)에만 조리개 유닛(210)을 설치할 수도 있다. 즉, 상기 노즐 이송 유닛(120)에 전술된 구성의 이물질 감지 장치를 설치한 다음, 상기 이물질 감지 장치의 전방에 조리개 유닛(210)이 설치되지 않고 발광부 및 수광부로만 이루어진, 즉 종래 기술에 따른 추가의 이물질 감지 장치를 설치할 수도 있다.
따라서, 슬릿 노즐(110)이 포토레지스트(PR)를 토출하는 동시에 전진하면서 상기 노즐 이송 유닛(120)의 최전방에 설치된 종래 기술에 따른 이물질 감지 장치가 1차적으로 이물질을 감지한 다음, 슬릿 노즐(110)이 더 이동하여 본 발명에 따른 이물질 감지 장치가 2차적으로 이물질을 감지할 수도 있다.
전술된 실시예에서는 상기 이물질(104)이 기판(GS)의 상부에 존재하는 경우에 해당하는 설명이지만, 이물질(104)이 기판(GS)의 하부, 즉 기판(GS)과 기판 척(102) 사이에 존재하는 경우에도 동일하게 적용된다. 즉, 이물질이 기판(GS)의 하부, 즉 기판(GS)과 기판 척(102) 사이에 존재하게 되면, 상기 이물질(104)로 인하여 기판의 해당 부분이 상부로 돌출되어 발광부(232)에서 출사된 광의 일부가 기판(GS)의 돌출된 부분에 가려지게 되어, 전술된 바와 같이 광이 이물질에 가려지는 것과 동일하게 이물질을 검출할 수 있다.
이상에서는 도면 및 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
전술된 구성을 갖는 본 발명의 이물질 감지 장치는 기존의 광센서에 단순한 구조의 조리개 유닛만을 더 추가하여, 높은 민감도를 갖게 되어 미세한 이물질의 존재를 감지할 수 있게 된다.
더욱이, 조리개 유닛의 관통 개구의 크기를 조절함으로써 요구되는 감지 이물질의 크기에 따라 측정 감도를 제어할 수도 있다.

Claims (8)

  1. 포토레지스트를 기판상에 도포하는 슬릿 노즐을 구비하는 슬릿 코터의 상기 기판 상부 또는 하부에 존재하는 이물질을 검출하기 위한 이물질 감지 장치로서,
    상기 기판 상부의 일측에 배치되어 광을 출사하는 발광부;
    중심에 관통 개구가 형성된 조리개 프레임과, 상기 조리개 프레임의 관통 개구 내에 체결되어 상하 이동 가능한 차광판을 포함하고, 상기 차광판을 이동시켜 상기 발광부에서 출사된 광의 일부분을 차단하는 조리개 유닛;
    상기 기판 상부의 타측에 상기 발광부와 대면 배치되고, 상기 발광부에서 출사된 광중에서 이물질에 의해 가려진 부분과 상기 조리개 유닛에 의해 차단된 부분을 제외한 나머지 부분의 광이 입사되는 수광부를 포함하는 이물질 감지 장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 조리개 유닛은 상기 발광부에 대면하는 부분의 상기 수광부의 일면에 설치된 이물질 감지 장치.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 발광부 및 상기 수광부는 상기 포토레지스트가 도포되는 방향으로 상기 슬릿 노즐의 전방에 설치되어 상기 슬릿 노즐과 함께 이동하는 이물질 감지 장치.
  4. 삭제
  5. 청구항 1 또는 2에 있어서, 상기 조리개 유닛은 상기 발광부에서 출사되어 수평으로 상기 수광부에 입사되는 광의 상부 일부를 차단하는 이물질 감지 장치.
  6. 청구항 1, 2 및 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 발광부 및 수광부는 각각 2개가 상기 포토레지스트가 도포되는 방향을 따라 서로 이격되어 배열되고, 상기 조리개 유닛은 하나의 수광부에 설치된 이물질 감지 장치.
  7. 포토레지스트를 기판상에 도포하는 슬릿 노즐을 구비하는 슬릿 코터의 상기 기판 상부 또는 하부에 존재하는 이물질을 검출하기 위한 이물질 감지 방법으로서,
    상기 기판 상부의 일측에 배치되어 광을 출사하는 발광부;
    중심에 관통 개구가 형성된 조리개 프레임과, 상기 조리개 프레임의 관통 개구 내에 체결되어 상하 이동 가능한 차광판을 포함하고, 상기 차광판을 이동시켜 상기 발광부에서 출사된 광의 일부분을 차단하는 조리개 유닛;
    상기 기판 상부의 타측에 상기 발광부와 대면 배치되고, 상기 발광부에서 출사된 광중에서 이물질에 의해 가려진 부분과 상기 조리개 유닛에 의해 차단된 부분을 제외한 나머지 부분의 광이 입사되는 수광부를 포함하는 이물질 감지 장치를 이용하여,
    상기 기판 상부의 일측에 배치된 상기 발광부로부터 수평 방향으로 출사된 광의 상부 일부가 상기 조리개 유닛에 의해 차단되고, 상기 광이 이물질을 지나면서 상기 광의 하부 일부가 상기 이물질에 가려져 상기 조리개 유닛에 의해 차단된 부분과 상기 이물질에 의해 가려진 부분을 제외한 나머지 부분의 광이 상기 발광부와 대면하는 상기 수광부에 입사되어 상기 이물질을 감지하며, 상기 발광부, 조리개 유닛 및 수광부는 상기 포토레지스트가 도포되는 방향으로 슬릿 노즐과 함께 이동하면서 상기 이물질을 감지하는 이물질 감지 방법.
  8. 청구항 7에 있어서, 상기 차단되는 광량은 슬릿 코터에서 검출을 요구하는 이물질의 크기에 따라서 제어되는 이물질 감지 방법.
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