KR101717994B1 - 기판검사장치와 기판검사방법 - Google Patents

기판검사장치와 기판검사방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 레이저빔의 직진성과 레이저빔의 발산에 따른 단위 수광 면적 당 광량의 변화를 이용하여 기판 표면에 발생된 이물질을 검출함은 물론 검출된 이물질의 위치를 정확하게 파악할 수 있는 기판검사장치와 기판검사방법 관한 것이다.
이를 위해 기판검사장치는 기판의 표면에 발생된 이물질을 검사하는 기판검사장치이고, 상호 동일한 가우시안 단면 프로파일을 나타내는 제1레이저빔과 제2레이저빔에 대해 상호 평행하면서 광의 진행 방향이 반대로 이루어지는 제1측정유닛과 제2측정유닛, 이물질이 제1측정유닛을 통과할 때 검출되는 제1레이저빔의 광량, 이물질이 제2측정유닛을 통과할 때 검출되는 제2레이저빔의 광량, 이물질의 상대 위치를 이용하여 기판의 폭 방향에 대한 이물질의 위치를 계산하는 위치계산유닛 및 위치계산유닛에서 계산된 계산값과 기판의 이동속도 또는 위치계산유닛에서 계산된 계산값과 기설정된 기판의 위치 정보를 기반으로 기판 상에서 이물질의 좌표를 결정하는 좌표결정유닛을 포함한다.

Description

기판검사장치와 기판검사방법{SUBSTRATE INSPECTION DEVICE AND SUBSTRATE INSPECTION METHOD}
본 발명은 기판검사장치와 기판검사방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 레이저빔의 직진성과 레이저빔의 발산에 따른 단위 수광 면적 당 광량의 변화를 이용하여 기판 표면에 발생된 이물질을 검출함은 물론 검출된 이물질의 위치를 정확하게 파악할 수 있는 기판검사장치와 기판검사방법 관한 것이다.
최근 휴대전화, PDA, PMP, MP3 플레이어 등 다양한 휴대단말기는 양호한 품질의 영상을 제공하기 위해 이들에 적용되는 디스플레이 기판은 대형화되고 있는 추세이다. 휴대단말기 자체의 경박화와 이에 적용되는 디스플레이 기판의 대형화 요구를 충족시키기 위하여, 디스플레이 기판과 별도로 마련되는 키 버튼 대신 디스플레이 기판 자체에 사용자의 입력을 가능하게 하는 터치스크린 방식이 주로 채용되고 있다.
이러한 기판은 제조 공정 또는 취급 과정에서 기판 표면에 스크래치, 돌출 등과 같은 이물질이 발생할 수 있는데, 작업자의 육안 검사뿐만 아니라 카메라와 광학계를 포함한 기판 자동검사장치를 이용한 검사를 통해 기판의 결함을 검사하고 있다.
하지만, 종래와 같은 기판검사장치에서는 광학계가 기판을 바라보도록 설치되어야 하므로, 전체 장비의 크기가 커지는 단점이 있었고, 기판의 뒷면을 검사하기 위해서는 광학계를 반대 방향에 설치하거나 기판을 뒤집어야 하는 문제가 있었다.
대한민국 공개특허공보 제2015-0106672호(발명의 명칭 : 기판 검사장치, 2015. 09. 22. 공개)
본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 레이저빔의 직진성과 레이저빔의 발산에 따른 단위 수광 면적 당 광량의 변화를 이용하여 기판 표면에 발생된 이물질을 검출함은 물론 검출된 이물질의 위치를 정확하게 파악할 수 있는 기판검사장치와 기판검사방법을 제공함에 있다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 바람직한 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판검사장치는 기판의 표면에 발생된 이물질을 검사하는 기판검사장치이고, 제1레이저빔을 발산하는 제1발광부와, 상기 제1발광부에서 발산되는 상기 제1레이저빔이 수광되는 제1수광부와, 상기 기판의 이동에 따라 상기 제1수광부에서 수광되는 상기 제1레이저빔의 광량을 검출하는 제1검출부를 포함하는 제1측정유닛; 상기 기판의 이동 방향을 따라 상기 제1수광부에서 이격되어 상기 제1발광부에서 발산되는 제1레이저빔과 평행한 제2레이저빔을 발산하는 제2발광부와, 상기 기판의 이동 방향을 따라 상기 제1발광부에서 이격되어 상기 제2발광부에서 발산되는 상기 제2레이저빔이 수광되는 제2수광부와, 상기 기판의 이동에 따라 상기 제2수광부에서 수광되는 상기 제2레이저빔의 광량을 검출하는 제2검출부를 포함하는 제2측정유닛; 상기 이물질이 상기 제1측정유닛을 통과할 때 상기 제1검출부에서 검출되는 상기 제1레이저빔의 광량과, 상기 이물질이 상기 제2측정유닛을 통과할 때 상기 제2검출부에서 검출되는 상기 제2레이저빔의 광량과, 상기 이물질의 상대 위치를 이용하여 상기 기판의 폭 방향에 대한 상기 이물질의 위치를 계산하는 위치계산유닛; 및 상기 위치계산유닛에서 계산된 계산값과 상기 기판의 이동속도 또는 상기 위치계산유닛에서 계산된 계산값과 기설정된 상기 기판의 위치 정보를 기반으로 상기 기판 상에서 상기 이물질의 좌표를 결정하는 좌표결정유닛;을 포함하고, 상기 제1측정유닛과 상기 제2측정유닛은 각각 이물질의 유무에 따른 광량 변화를 측정한다.
여기서, 상기 위치계산유닛은, 상기 기판의 폭이 저장되는 폭설정부; 상기 제1발광부에서 발산되는 상기 제1레이저빔의 반경과 상기 제1수광부에서 수광되는 상기 제1레이저빔의 반경이 저장되거나, 상기 제2발광부에서 발산되는 상기 제2레이저빔의 반경과 상기 제2수광부에서 수광되는 상기 제2레이저빔의 반경이 저장되는 반경설정부; 상기 제1검출부에서 검출되는 상기 제1레이저빔의 광량과, 상기 제2검출부에서 검출되는 상기 제2레이저빔의 광량이 저장되는 광량설정부; 및 상기 폭설정부와, 상기 반경설정부와, 상기 광량설정부에 저장된 값을 기반으로 상기 기판의 폭 방향에 대한 상기 이물질의 검출 위치를 계산하는 위치계산부;를 포함한다.
여기서, 상기 좌표결정유닛은, 상기 제1측정유닛 또는 상기 제2측정유닛에서 진입하는 상기 기판을 감지하여 시간을 카운트하는 설정카운트부; 상기 설정카운트부의 시간 카운트에 대응하여 해당 측정유닛에서 상기 이물질이 감지됨에 따라 상기 설정카운트부에서 카운트된 시간을 저장하는 시간설정부; 상기 기판의 이동속도가 저장되는 속도설정부; 및 상기 시간설정부에 저장된 시간과 상기 속도설정부에 저장된 상기 기판의 이동속도를 기반으로 상기 기판의 이동거리를 계산하는 거리계산부;를 포함한다.
여기서, 상기 좌표결정유닛은, 상기 위치계산부를 통해 계산된 상기 기판의 폭 방향에 대한 상기 이물질의 검출 위치와 상기 거리계산부를 통해 계산된 상기 기판의 이동거리를 병합하여 상기 기판 상에서 상기 이물질의 좌표를 결정하는 위치결정부;를 포함한다.
여기서, 상기 제1레이저빔과 상기 제2레이저빔이 상기 기판 또는 상기 이물질에 간섭되도록 상기 기판을 공기 부양시켜 이송하는 플로팅척;을 더 포함한다.
본 발명에 따른 기판검사방법은 제1측정유닛과 제2측정유닛을 순차적으로 통과하는 기판의 표면에 발생된 이물질을 검사하는 기판검사방법이고, 상기 제1측정유닛 또는 상기 제2측정유닛을 통해 상기 기판을 감지하는 기판감지단계; 상기 제1측정유닛을 통해 상기 이물질을 검출하는 제1이물감지단계; 상기 제2측정유닛을 통해 상기 제1측정유닛에서 검출된 상기 이물질을 검출하는 제2이물감지단계; 상기 제1이물감지단계를 거쳐 검출되는 제1레이저빔의 광량과 상기 제2이물감지단계를 거쳐 검출되는 제2레이저빔의 광량을 기반으로 상기 기판의 폭 방향에 대한 상기 이물질의 위치를 계산하는 위치계산단계; 및 상기 위치계산단계를 거쳐 계산된 계산값과 상기 기판의 이동속도 또는 상기 위치계산단계를 거쳐 계산된 계산값과 기설정된 상기 기판의 위치 정보를 기반으로 상기 기판 상에서 상기 이물질의 좌표를 결정하는 좌표결정단계;를 포함하고, 상기 제1레이저빔과 상기 제2레이저빔은 상호 평행하면서 광의 진행 방향이 반대이다.
여기서, 상기 위치계산단계는, 상기 이물질이 상기 제1측정유닛을 통과할 때, 상기 제1레이저빔의 광량과 상기 기판의 폭에 대한 상기 이물질의 위치 사이의 상관 관계를 도출하는 제1위치계산단계; 상기 이물질이 상기 제2측정유닛을 통과할 때, 상기 제2레이저빔의 광량과 상기 기판의 폭에 대한 상기 이물질의 위치 사이의 상관 관계를 도출하는 제2위치계산단계; 및 상기 제1위치계산단계와 상기 제2위치계산단계에서 각각 도출되는 관계식을 이용하여 상기 기판의 폭에 대한 상기 이물질의 위치를 결정하는 제1좌표계산단계;를 포함한다.
여기서, 상기 좌표결정단계는, 상기 기판감지단계를 거침에 따라 상기 기판이 감지되는 시간을 카운트하는 설정카운트단계; 상기 설정카운트단계를 거쳐 상기 기판을 감지하는 측정유닛을 통해 상기 제1이물감지단계 또는 상기 제2이물감지단계를 거침에 따라 검출된 상기 이물질에 대응하여 상기 설정카운트단계에서 카운트된 시간을 획득하는 시간설정단계; 및 상기 기판의 기설정된 이동속도와 상기 시간설정단계를 거쳐 획득한 시간을 기반으로 상기 기판의 이동거리를 계산하는 제2좌표계산단계;를 포함한다.
여기서, 상기 좌표결정단계는, 상기 제1좌표계산단계를 거쳐 계산된 상기 이물질의 검출 위치와 상기 제2좌표계산단계를 거쳐 계산된 상기 기판의 이동거리를 병합하여 상기 기판 상에서 상기 이물질의 좌표를 결정하는 위치결정단계;를 더 포함한다.
여기서, 상기 제1레이저빔과 상기 제2레이저빔이 상기 기판 또는 상기 이물질에 간섭되도록 상기 기판을 공기 부양시켜 이송하는 기판이송단계;를 더 포함한다.
본 발명에 따른 기판검사장치와 기판검사방법에 따르면, 레이저빔의 직진성과 레이저빔의 발산에 따른 단위 수광 면적 당 광량의 변화를 이용하여 기판 표면에 발생된 이물질을 검출함은 물론 검출된 이물질의 위치를 정확하게 파악할 수 있다. 특히, 전체 장비의 크기가 커지는 것을 방지하고, 기판의 반전 없이도 기판의 뒷면에 대해 간편하게 이물질을 검출함은 물론 검출된 이물질의 위치를 정확하게 파악할 수 있다.
또한, 본 발명은 상호 동일한 제1레이저빔과 제2레이저빔의 광량 변화에 따라 기판의 폭 방향에 대한 이물질의 위치 결정이 용이하고, 기판의 기설정된 이동속도를 통해 기판의 이동거리를 간편하게 계산할 수 있다.
또한, 본 발명은 기판 표면을 검사함에 있어서, 장치의 구조를 단순화시킬 수 있고, 비례식을 이용하여 이물질의 위치 결정을 용이하게 할 수 있다.
또한, 본 발명은 이물질의 위치에 따라 상호 동일한 제1레이저빔과 제2레이저빔에서 광량 변화의 계산이 편리하고, 기판 검사 정밀도를 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사장치를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사장치에서 위치계산유닛을 도시한 블럭도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사장치에서 좌표결정유닛을 도시한 블럭도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사장치에서 기판이 제1측정유닛과 제2측정유닛을 통과할 때, 광량의 변화 상태를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사장치에서 제1측정유닛과 제2측정유닛이 이물질을 검출하는 상태를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사방법을 도시한 순서도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 기판검사장치와 기판검사방법의 일 실시예를 설명한다. 이때, 본 발명은 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대해 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명확하게 하기 위해 생략될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사장치를 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사장치에서 위치계산유닛을 도시한 블럭도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사장치에서 좌표결정유닛을 도시한 블럭도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사장치에서 기판이 제1측정유닛과 제2측정유닛을 통과할 때, 광량의 변화 상태를 나타내는 도면이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사장치에서 제1측정유닛과 제2측정유닛이 이물질을 검출하는 상태를 도시한 도면이다. 특히, 도 4의 (a)는 기판이 제1측정유닛과 제2측정유닛을 통과하기 전을 나타내는 도면이고, 도 4의 (b)는 이물질이 발생되지 않은 기판이 제1측정유닛 또는 제2측정유닛을 통과할 때, 광량의 변화를 나타내는 도면이며, 도 4의 (c)는 기판에 이물질이 발생된 부분이 제1측정유닛 또는 제2측정유닛을 통과할 때, 광량의 변화를 나타내는 도면이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에서 상기 기판(100)은 도시되지 않았지만, 플로팅척을 통해 직선 이동되도록 한다. 상기 플로팅척(미도시)은 후술하는 제1레이저빔과 제2레이저빔이 기판(100) 또는 이물질(101)에 간섭되도록 상기 기판(100)을 부양시켜 이송할 수 있다. 또한, 상기 기판(100)은 얼라인부(200)에 의해 정렬된 상태로 상기 플로팅척(미도시)에서 직선 이동될 수 있다.
그러면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사장치는 기판에 발생된 이물질을 검사함에 있어서, 레이저빔의 직진성과 레이저빔의 확산성에 따른 단위 수광 면적당 광량의 변화를 이용하여 상기 기판(100) 표면에 발생된 이물질(101)을 검출함은 물론 검출된 상기 이물질(101)의 위치를 정확하게 파악할 수 있다.
특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사장치는 상기 기판(100)의 뒷면(기판(100)의 양면 중 플로팅척(미도시)과 마주보는 면)을 검사함에 있어서, 상기 기판(100)의 뒷면에 발생된 이물질(101)의 검출 및 상기 이물질(101)의 위치 파악이 용이하다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사장치는 제1측정유닛(10)과, 제2측정유닛(20)과, 위치계산유닛(30)과, 좌표결정유닛(40)을 포함한다.
상기 제1측정유닛(10)은 상기 기판(100)의 이동에 따라 상기 기판(100)을 감지함은 물론 상기 기판(100)에 발생된 이물질(101)을 검출한다. 특히, 상기 제1측정유닛(10)은 상기 기판(100)의 뒷면에 발생된 이물질(101)을 검출할 수 있다.
상기 제1측정유닛(10)은 제1레이저빔을 발산하는 제1발광부(11)와, 상기 제1발광부(11)에서 발산되는 상기 제1레이저빔이 수광되는 제1수광부(12)와, 상기 기판(100)의 이동에 따라 상기 제1수광부(12)에서 수광되는 상기 제1레이저빔의 광량을 검출하는 제1검출부(13)를 포함한다.
상기 기판(100)이 상기 제1측정유닛(10)을 통과하면, 상기 제1검출부(13)에서 검출되는 상기 제1레이저빔의 광량에 대해 상기 기판(100)이 통과하기 전과 후에 각각 상기 제1레이저빔의 광량이 다르므로, 상기 제1레이저빔의 광량 변화를 통해 상기 기판(100)의 통과 유무를 감지할 수 있다.
또한, 상기 기판(100)에 발생된 이물질(101)이 상기 제1측정유닛(10)을 통과하면, 상기 제1검출부(13)에서 검출되는 상기 제1레이저빔의 광량에 대해 상기 이물질(101)이 통과하기 전과 후에 각각 상기 제1레이저빔의 광량이 다르므로, 상기 제1레이저빔의 광량 변화를 통해 상기 이물질(101)의 통과 유무를 감지할 수 있다.
또한, 상기 제1레이저빔의 진행 방향에 대하여 상기 이물질(101)의 위치에 따라 상기 이물질(101)의 위치가 상기 제1발광부(11) 측으로 갈수록 상기 제1수광부(12)에서 수광되는 상기 제1레이저빔의 광량이 작아지고, 상기 이물질(101)의 위치가 상기 제1수광부(12) 측으로 갈수록 상기 제1수광부(12)에서 수광되는 상기 제1레이저빔의 광량이 커지는 점을 이용하여 상기 이물질(101)의 위치에 따른 상기 제1레이저빔의 광량 변화를 계산할 수 있다.
상기 제2측정유닛(20)은 상기 기판(100)의 이동에 따라 상기 제1측정유닛(10)을 통과한 상기 기판(100)을 감지함은 물론 상기 제1측정유닛(10)에서 검출된 상기 이물질(101)을 검출한다. 특히, 상기 제2측정유닛(20)은 상기 기판(100)의 뒷면에 발생된 이물질(101)을 검출할 수 있다.
상기 제2측정유닛(20)은 상기 기판(100)의 이동 방향을 따라 상기 제1수광부(12)에서 이격되어 상기 제1발광부(11)에서 발산되는 제1레이저빔과 평행한 제2레이저빔을 발산하는 제2발광부(21)와, 상기 기판(100)의 이동 방향을 따라 상기 제1발광부(11)에서 이격되어 상기 제2발광부(21)에서 발산되는 상기 제2레이저빔이 수광되는 제2수광부(22)와, 상기 기판(100)의 이동에 따라 상기 제2수광부(22)에서 수광되는 상기 제2레이저빔의 광량을 검출하는 제2검출부(23)를 포함한다.
상기 기판(100)이 상기 제2측정유닛(20)을 통과하면, 상기 제2검출부(23)에서 검출되는 상기 제2레이저빔의 광량에 대해 상기 기판(100)이 통과하기 전과 후에 각각 상기 제2레이저빔의 광량이 다르므로, 상기 제2레이저빔의 광량 변화를 통해 상기 기판(100)의 통과 유무를 감지할 수 있다.
또한, 상기 기판(100)에 발생된 이물질(101)이 상기 제2측정유닛(20)을 통과하면, 상기 제2검출부(23)에서 검출되는 상기 제2레이저빔의 광량에 대해 상기 이물질(101)이 통과하기 전과 후에 각각 상기 제2레이저빔의 광량이 다르므로, 상기 제2레이저빔의 광량 변화를 통해 상기 이물질(101)의 통과 유무를 감지할 수 있다.
또한, 상기 제2레이저빔의 진행 방향에 대하여 상기 이물질(101)의 위치에 따라 상기 이물질의 위치가 상기 제2발광부(21) 측으로 갈수록 상기 제2수광부(22)에서 수광되는 상기 제2레이저빔의 광량이 작아지고, 상기 이물질(101)의 위치가 상기 제2수광부(22) 측으로 갈수록 상기 제2수광부(22)에서 수광되는 상기 제2레이저빔의 광량이 커지는 점을 이용하여 상기 이물질(101)의 위치에 따른 상기 제2레이저빔의 광량 변화를 계산할 수 있다.
따라서, 상기 제1측정유닛(10)과 상기 제2측정유닛(20)은 각각 상기 이물질(101)의 유무에 따른 광량 변화를 측정함으로써, 상기 이물질(101)의 통과 유무를 감지할 수 있다.
또한, 제1레이저빔과 제2레이저빔은 실질적으로 상호 동일한 세기와 형태를 나타낸다. 좀더 자세하게, 제1레이저빔과 제2레이저빔은 실질적으로 상호 동일한 가우시안 단면 프로파일을 나타내도록 한다. 또한, 상기 제1레이저빔과 상기 제2레이저빔은 상호 평행하게 이루어지고, 상기 제1발광부(11)에서 발산되는 상기 제1레이저빔의 진행 방향과 상기 제2발광부(21)에서 발산되는 상기 제2레이저빔의 진행 방향이 상호 반대를 이루게 된다.
그러면, 상기 제1발광부(11)와 상기 제2발광부(21)가 동일하고, 상기 제1수광부(12)와 상기 제2수광부(22)가 동일하다.
일예로, 상기 기판(100)이 측정유닛(10, 20)을 통과하지 않는 상태에서, 상기 제1발광부(11)에서 발산되어 상기 제1수광부(12)로 수광될 때 상기 제1검출부(13)에서 검출되는 상기 제1레이저빔의 광량은 상기 제2발광부(21)에서 발산되어 상기 제2수광부(22)로 수광될 때 상기 제2검출부(23)에서 검출되는 상기 제2레이저빔의 광량과 동일할 수 있다.
또한, 상기 제1레이저빔은 상기 제1발광부(11)로부터 단면적이 증가하는 형태로 발산된다. 또한, 상기 제2레이저빔은 상기 제2발광부(21)로부터 단면적이 증가하는 형태로 발산된다.
일예로, 상기 제1레이저빔은 상기 제1발광부(11)로부터 직경이 증가하는 원뿔대 형상으로 발산되고, 상기 제2레이저빔은 상기 제2발광부(21)로부터 직경이 증가하는 원뿔대 형상으로 발산될 수 있다. 이때, 상기 제1레이저빔과 상기 제2레이저빔은 상호 동일한 가우시안 단면 프로파일을 나타낼 수 있다. 그러면, 상기 위치계산유닛(30)에서 상기 이물질(101)의 위치 계산을 용이하게 할 수 있다.
상기 위치계산유닛(30)은 상기 이물질(101)이 상기 제1측정유닛(10)을 통과할 때 상기 제1검출부(13)에서 검출되는 상기 제1레이저빔의 광량과, 상기 이물질(101)이 상기 제2측정유닛(20)을 통과할 때 상기 제2검출부(23)에서 검출되는 상기 제2레이저빔의 광량과, 상기 이물질(101)의 상대 위치를 이용하여 상기 기판(100)의 폭 방향에 대한 상기 이물질(101)의 위치를 계산한다. 여기서, 상호 동일한 가우시안 단면 프로파일을 나타내는 상기 제1레이저빔과 상기 제2레이저빔은 서로 진행 방향이 반대이므로, 미지수인 상기 기판(100)의 폭 방향에 대한 상기 이물질(101)의 검출 위치를 계산할 수 있다.
상기 위치계산유닛(30)은 상기 기판(100)의 폭이 저장되는 폭설정부(31)와, 상기 제1발광부(11)에서 발산되는 상기 제1레이저빔의 반경과 상기 제1수광부(12)에서 수광되는 상기 제1레이저빔의 반경이 저장되거나, 상기 제2발광부(21)에서 발산되는 상기 제2레이저빔의 반경과 상기 제2수광부(22)에서 수광되는 상기 제2레이저빔의 반경이 저장되는 반경설정부(32)와, 상기 제1검출부(13)에서 검출되는 상기 제1레이저빔의 광량과 상기 제2검출부(23)에서 검출되는 상기 제2레이저빔의 광량이 저장되는 광량설정부(33)와, 상기 폭설정부(31)와 상기 반경설정부(32)와 상기 광량설정부(33)에 저장된 값을 기반으로 상기 기판(100)의 폭 방향에 대한 상기 이물질(101)의 검출 위치를 계산하는 위치계산부(37)를 포함할 수 있다.
이때, 상기 폭설정부(31)에서 상기 기판(100)의 폭은 이송되는 상기 기판(100)의 크기에 따라 기설정된 값이다.
또한, 상기 반경설정부(32)는 상기 제1발광부(11)에서 발산되는 상기 제1레이저빔의 반경과 상기 제1수광부(12)에서 수광되는 상기 제1레이저빔의 반경이 저장되는 제1반경설정부와, 상기 제2발광부(21)에서 발산되는 상기 제2레이저빔의 반경과 상기 제2수광부(22)에서 수광되는 상기 제2레이저빔의 반경이 저장되는 제2반경설정부로 구분할 수 있다. 상기 반경설정부(32)에 저장되는 상기 제1레이저빔의 반경 또는 상기 제2레이저빔의 반경은 광 특성에 따라 기설정된 값이거나 측정치이다.
또한, 상기 광량설정부(33)는 상기 제1검출부(13)에서 검출되는 상기 제1레이저빔의 광량이 저장되는 제1설정부와, 상기 제2검출부(23)에서 검출되는 상기 제2레이저빔의 광량이 저장되는 제2설정부로 구분할 수 있다.
상기 제1설정부에는 상기 기판(100)이 상기 제1측정유닛(10)을 통과하지 않았을 때 상기 제1수광부(12)에서 수광되는 상기 제1레이저빔의 광량, 상기 기판(100)만이 상기 제1측정유닛(10)을 통과할 때 상기 제1수광부(12)에서 수광되는 상기 제1레이저빔의 광량, 상기 이물질(101)이 상기 제1측정유닛(10)을 통과할 때 상기 제1수광부(12)에서 수광되는 상기 제1레이저빔의 광량이 저장된다.
상기 제2설정부에는 상기 기판(100)이 상기 제2측정유닛(20)을 통과하지 않았을 때 상기 제2수광부(22)에서 수광되는 상기 제2레이저빔의 광량, 상기 기판(100)만이 상기 제2측정유닛(20)을 통과할 때 상기 제2수광부(22)에서 수광되는 상기 제2레이저빔의 광량, 상기 이물질(101)이 상기 제2측정유닛(20)을 통과할 때 상기 제2수광부(22)에서 수광되는 상기 제2레이저빔의 광량이 저장된다.
상기 광량설정부(33)에 저장되는 상기 제1레이저빔의 광량 또는 상기 제2레이저빔의 광량은 광 특성에 따라 상기 제1검출부(13)와 상기 제2검출부(23)에서 검출되는 광량으로 기설정된다.
또한, 상기 위치계산부(37)는 제1위치계산부와, 제2위치계산부와, 폭계산부를 포함한다. 상기 제1위치계산부는 상기 이물질(101)이 상기 제1측정유닛(10)을 통과할 때, 상기 제1레이저빔의 광량과, 상기 이물질(101)의 단면적과, 상기 제1레이저빔의 단면적의 상관 관계를 도출한다. 상기 제2위치계산부는 상기 이물질(101)이 상기 제2측정유닛(20)을 통과할 때, 상기 제2레이저빔의 광량과, 상기 이물질(101)의 단면적과, 상기 제1레이저빔의 단면적 사이의 상관 관계를 도출한다. 상기 폭계산부는 상기 제1위치계산부와 상기 제2위치계산부에서 각각 도출되는 관계식을 이용하여 상기 기판(100)의 폭 방향에 대한 상기 이물질(101)의 위치를 결정한다.
다른 표현으로, 상기 제1위치계산부는 상기 이물질(101)이 상기 제1측정유닛(10)을 통과할 때, 상기 제1레이저빔의 광량과 상기 기판(100)의 폭에 대한 상기 이물질(101)의 위치 사이의 상관 관계를 도출한다. 또한, 상기 제2위치계산단계(S7)는 상기 이물질(101)이 상기 제2측정유닛(20)을 통과할 때, 상기 제2레이저빔의 광량과 상기 기판(100)의 폭에 대한 상기 이물질(101)의 위치 사이의 상관 관계를 도출한다.
여기서, 상기 제1레이저빔과 상기 제2레이저빔이 서로 동일한 제원을 가지고, 상기 기판(100)의 폭 방향에 수직인 단면에 대하여 원형이며, 상호 균일한 광량 프로파일을 가진다고 가정하고, 상기 이물질(101) 역시 원형이라고 가정하면,
X는 상기 제1측정유닛(10)에서 상기 이물질(101)이 검출될 때, 상기 기판(100)의 폭 방향에 대한 상기 이물질(101)의 위치이고, L-X는 상기 제2측정유닛(20)에서 상기 이물질(101)이 검출될 때, 상기 기판(100)의 폭 방향에 대한 상기 이물질(101)의 위치이다.
이때, 레이저빔의 발산각이 일정한 구간에 대해,
L은 상기 기판(100)의 폭이고,
R01는 상기 제1발광부(11) 측에서 상기 제1레이저빔의 반경 또는 상기 제2발광부(21) 측에서 상기 제2레이저빔의 반경이며,
R02는 상기 제1수광부(12) 측에서 상기 제1레이저빔의 반경 또는 상기 제2수광부(22) 측에서 상기 제2레이저빔의 반경이고,
Rp는 상기 이물질(101)의 직경이며,
R1은 상기 제1측정유닛(10)에서 상기 이물질(101)이 검출될 때, 상기 제1레이저빔의 반경이고,
Q1은 상기 제1측정유닛(10)에서 상기 이물질(101)이 검출될 때, 상기 제1레이저빔의 광량이며,
R2는 상기 제2측정유닛(20)에서 상기 이물질(101)이 검출될 때, 상기 제2레이저빔의 반경이고,
Q2는 상기 제2측정유닛(20)에서 상기 이물질(101)이 검출될 때, 상기 제2레이저빔의 광량이며,
M은 레이저빔의 발산각에 따른 반경변수라고 하면,
R1과 X 사이에는
Figure 112016027741125-pat00001
인 관계식이 성립되고,
R2와 X 사이에는
Figure 112016027741125-pat00002
인 관계식이 성립된다.
또한, Q1은 상기 제1측정유닛(10)이 상기 이물질(101)을 검출한 위치에서 상기 제1레이저빔의 단면적에 대한 상기 이물질(101)의 단면적으로 나타낼 수 있다.
그러면, 상기 제1레이저빔의 광량에 대하여 Q1과 Rp와 R1 사이에는,
Figure 112016027741125-pat00003
인 제1관계식을 도출할 수 있다.
또한, Q2는 상기 제2측정유닛(20)이 상기 이물질(101)을 검출한 위치에서 상기 제2레이저빔의 단면적에 대한 상기 이물질(101)의 단면적으로 나타낼 수 있다.
그러면, 상기 제2레이저빔에 대하여 Q2와 Rp와 R2 사이에는,
Figure 112016027741125-pat00004
인 제2관계식을 도출할 수 있다.
상기 제1관계식과 상기 제2관계식을 병합하면,
Figure 112016027741125-pat00005
인 제3관계식을 도출할 수 있다.
따라서, 상기 폭계산부는 상기 제3관계식을 계산함으로써, X를 도출할 수 있기 때문에 상기 제1측정유닛(10)과 상기 제2측정유닛(20)에서 상기 이물질(101)이 검출될 때, 상기 기판(100)의 폭 방향에 대한 상기 이물질(101)의 위치를 결정할 수 있다.
또한, 상기 위치계산유닛(30)은 상기 제1레이저빔 또는 상기 제2레이저빔에 대하여 광의 진행 방향에 따른 반경변수가 저장되는 변수설정부(34)를 더 포함할 수 있다.
상기 변수설정부(34)에서 상기 반경변수는 상기 기판(100)의 폭 방향에서 광의 반경에 대한 반경증가분이다. 상기 반경변수는 광 특성에 따라 기설정될 수 있다. 상기 반경변수는 상기 기판(100)의 폭과 상기 반경설정부(32)에 저장된 값을 기반으로 계산될 수 있다.
이때, 상기 반경변수에 대하여 M과 X와 R02사이에는, 삼각형의 닮음에 따른 비례식의 관계가 성립한다.
여기서, 상술한 관계식들은 간략화되어 상호 관계에 대한 내용을 표현하지만, 여기에 한정하는 것은 아니고, 일반적인 레이저빔의 발산각을 사용하는 식과, 가우시안 단면 프로파일을 가지는 레이저빔에 대한 식으로 보다 정교하게 구성될 수 있으며, 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.
또한, 상기 위치계산유닛(30)은 상기 광량설정부(33)에 저장되는 광량을 기반으로 상기 제1수광부(12)에 수광되는 상기 제1레이저빔의 광량과 상기 제2수광부(22)에 수광되는 상기 제2레이저빔의 광량을 비교하는 광량비교부(35)를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 위치계산유닛(30)은 상기 광량비교부(35)에서 비교되는 비교값을 바탕으로 차이가 발생하는 경우, 상기 제1측정유닛(10) 또는 상기 제2측정유닛(20)의 위치를 조정하는 위치조정부(36)를 더 포함할 수 있다. 상기 위치조정부(36)는 상기 기판(100)의 정렬 상태를 조정할 수 있다.
상기 위치조정부(36)의 동작에 따라 상기 제1측정유닛(10)과 상기 제2측정유닛(20)에서 측정 정밀도를 향상시키고, 계산에 따른 오차를 줄일 수 있다.
또한, 상기 기판(100)은 상기 얼라이부(200)에 의해 정렬되므로, 상기 기판(100)과 상기 제1발광부(11) 사이의 간격이 기설정된 상태로 일정하게 유지될 수 있다.
상기 좌표결정유닛(40)은 상기 위치계산유닛(30)에서 계산된 계산값과 상기 기판(100)의 이동속도 또는 상기 위치계산유닛(30)에서 계산된 값과 기설정된 상기 기판(100)의 위치 정보를 기반으로 상기 기판(100) 상에서 상기 이물질(101)의 좌표를 결정한다.
일예로, 상기 좌표결정유닛(40)은 상기 제1측정유닛(10) 또는 상기 제2측정유닛(20)에서 진입하는 상기 기판(100)을 감지하여 시간을 카운트하는 설정카운트부(41)와, 상기 설정카운트부(41)의 시간 카운트에 대응하여 해당 측정유닛에서 상기 이물질(101)이 감지됨에 따라 상기 설정카운트부(41)에서 카운트된 시간을 저장하는 시간설정부(42)와, 상기 기판(100)의 이동속도가 저장되는 속도설정부(43) 및 상기 시간설정부(42)에 저장된 시간과 상기 속도설정부(43)에 저장된 상기 기판(100)의 이동속도를 기반으로 상기 기판(100)의 이동거리를 계산하는 거리계산부(44)를 포함한다.
상기 기판(100)은 상기 플로팅척(미도시)에 의해 등속 이동되는 것으로, 상기 기판(100)의 이동속도는 기설정된 값을 갖는다.
여기서, V는 상기 기판(100)의 이동속도이고,
S는 상기 이물질(101)이 감지되기까지의 시간이며,
Y는 상기 기판(100)의 이동거리라고 하면,
Figure 112016027741125-pat00006
인 제5관계식을 도출할 수 있다.
따라서, 상기 거리계산부(44)는 상기 제5관계식을 계산함으로써, Y를 도출할 수 있기 때문에 상기 제1측정유닛(10) 또는 상기 제2측정유닛(20)이 상기 이물질(101)을 검출할 때, 상기 기판(100)의 이동거리를 결정할 수 있다.
상기 좌표결정유닛(40)은 상기 위치계산부(37)를 통해 계산된 상기 기판(100)의 폭 방향에 대한 상기 이물질(101)의 검출 위치와 상기 거리계산부(44)를 통해 계산된 상기 기판(100)의 이동거리를 병합하여 상기 기판(100) 상에서 상기 이물질(101)의 좌표를 결정하는 위치결정부(45)를 더 포함할 수 있다.
다른 예로, 상기 좌표결정유닛(40)은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사장치에 일반적으로 적용되는 리니어 엔코더 등과 같은 위치 측정 장치를 기반으로 기설정된 상기 기판(100)의 위치 정보를 획득함에 따라 상기 기판(100)의 이동거리를 결정할 수 있다.
지금부터는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사방법에 대하여 설명한다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사방법을 도시한 순서도이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사방법은 상기 제1측정유닛(10)과 상기 제2측정유닛(20)을 순차적으로 통과하는 기판(100)의 표면, 좀더 자세하게는 상기 기판(100)의 뒷면(기판(100)의 양면 중 플로팅척(미도시)과 마주보는 면)을 검사하는 방법이고, 상기 기판(100)의 뒷면에 발생된 이물질(101)의 검출 및 상기 이물질(101)의 위치 파악이 용이하다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사방법은 기판감지단계(S2)와, 제1이물감지단계(S4)와, 제2이물감지단계(S6)와, 위치계산단계와, 좌표결정단계를 포함한다.
상기 기판감지단계(S2)는 상기 제1측정유닛(10) 또는 상기 제2측정유닛(20)을 통해 상기 기판(100)을 감지한다. 상기 기판감지단계(S2)는 상기 제1측정유닛(10)을 통한 상기 제1레이저빔의 광량 변화 또는 상기 제2측정유닛(20)을 통한 상기 제2레이저빔의 광량 변화로 상기 기판(100)을 감지할 수 있다.
상기 제1이물감지단계(S4)는 상기 제1측정유닛(10)을 통해 상기 이물질(101)을 검출한다. 상기 제1이물감지단계(S4)는 상기 제1레이저빔의 광량 변화를 통해 상기 이물질(101)을 검출할 수 있다.
상기 제2이물감지단계(S6)는 상기 제2측정유닛(20)을 통해 상기 제1측정유닛(10)에서 검출된 상기 이물질(101)을 검출한다. 상기 제2이물감지단계(S6)는 상기 제2레이저빔의 광량 변화를 통해 상기 이물질(101)을 검출할 수 있다.
상기 위치계산단계는 상기 제1이물감지단계(S4)를 거쳐 검출되는 상기 제1레이저빔의 광량과 상기 제2이물감지단계(S6)를 거쳐 검출되는 상기 제2레이저빔의 광량을 기반으로 상기 기판(100)의 폭 방향에 대한 상기 이물질(101)의 위치를 계산한다.
상기 위치계산단계는 상기 위치계산유닛(30)의 동작에 따라 실시될 수 있다.
상기 위치계산단계는 상기 이물질(101)이 상기 제1측정유닛(10)을 통과할 때, 상기 제1레이저빔의 광량과 상기 기판(100)의 폭에 대한 상기 이물질(101))의 위치 사이의 상관 관계를 도출하는 제1위치계산단계(S5)와, 상기 이물질(101)이 상기 제2측정유닛(20)을 통과할 때, 상기 제2레이저빔의 광량과 상기 기판(100)의 폭에 대한 상기 이물질(101)의 위치 사이의 상관 관계를 도출하는 제2위치계산단계(S7)와, 상기 제1위치계산단계(S5)와 상기 제2위치계산단계(S7)에서 각각 도출되는 관계식을 이용하여 상기 기판(100)의 폭에 대한 상기 이물질(101)의 위치를 결정하는 제1좌표계산단계(S8)를 포함할 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 위치계산단계는 변수설정단계와 광량비교단계 중 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있다.
상기 변수설정단계는 상기 기판(100)의 폭과, 상기 제1레이저빔의 반경과, 상기 제2레이저빔의 반경을 기반으로 상기 반경변수를 계산한다. 상기 변수설정단계는 상기 변수설정부(34)의 동작에 따라 실시될 수 있다.
상기 광량비교단계는 상기 광량설정부(33)에 저장되는 광량을 기반으로 상기 제1수광부(12)에 수광되는 상기 제1레이저빔의 광량과 상기 제2수광부(22)에 수광되는 상기 제2레이저빔의 광량을 비교한다. 상기 광량비교단계는 상기 광량비교부(35)의 동작에 따라 실시될 수 있다.
여기서, 상기 위치계산단계는 상기 광량비교단계에서 비교되는 비교값을 바탕으로 차이가 발생하는 경우, 상기 제1측정유닛(10) 또는 상기 제2측정유닛(20)의 위치를 조정하는 위치조정단계를 더 포함할 수 있다. 상기 위치조정단계는 상기 위치조정부(36)의 동작에 따라 실시될 수 있다.
상기 위치조정단계는 상기 기판(100)의 정렬 상태를 조정할 수 있다.
상기 위치조정단계의 동작에 따라 상기 제1측정유닛(10)과 상기 제2측정유닛(20)에서 측정 정밀도를 향상시키고, 계산에 따른 오차를 줄일 수 있다.
여기서, 상기 제1레이저빔과 상기 제2레이저빔은 상호 평행하게 진행되고, 상기 제1레이저빔과 상기 제2레이저빔은 상호 진행 방향이 반대가 되도록 한다. 상호 동일한 가우시안 단면 프로파일을 나타내는 상기 제1레이저빔과 상기 제2레이저빔은 상호 진행 방향이 반대이므로, 미지수인 상기 기판(100)의 폭 방향에 대한 상기 이물질의 검출 위치를 계산할 수 있다.
상기 좌표결정단계는 상기 위치계산단계를 거쳐 계산된 계산값과 상기 기판(100)의 이동속도 또는 상기 위치계산단계를 거쳐 계산된 계산값과 기설정된 상기 기판(100)의 위치 정보를 기반으로 상기 기판(100) 상에서 상기 이물질(101)의 좌표를 결정한다.
상기 좌표결정단계는 상기 좌표결정유닛(40)의 동작에 따라 실시될 수 있다.
일예로, 상기 좌표결정단계는 상기 기판감지단계(S2)를 거침에 따라 상기 기판(100)이 감지되는 시간을 카운트하는 설정카운트단계(S3)와, 상기 설정카운트단계(S3)를 거쳐 상기 기판(100)을 감지하는 측정유닛을 통해 상기 제1이물감지단계(S4) 또는 상기 제2이물감지단계(S6)를 거침에 따라 검출된 상기 이물질(101)에 대응하여 상기 설정카운트단계(S3)에서 카운트된 시간을 획득하는 시간설정단계(S9)와, 상기 기판(100)의 기설정된 이동속도와 상기 시간설정단계(S9)를 거쳐 획득한 시간을 기반으로 상기 기판(100)의 이동거리를 계산하는 제2좌표계산단계(S10)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 좌표결정단계는 상기 제1좌표계산단계(S8)를 거쳐 계산된 상기 이물질(101)의 검출 위치와 상기 제2좌표계산단계(S10)를 거쳐 계산된 상기 기판(100)의 이동거리를 병합하여 상기 기판(100) 상에서 상기 이물질(101)의 좌표를 결정하는 위치결정단계(S11)를 더 포함할 수 있다.
다른 예로, 상기 좌표결정단계는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사장치에 일반적으로 적용되는 리니어 엔코더 등과 같은 위치 측정 장치를 기반으로 기설정된 상기 기판(100)의 위치 정보를 획득함으로써, 상기 기판(100)의 이동거리를 결정할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사방법은 상기 기판감지단계(S2)에서 감지하는 측정유닛으로부터 상기 기판(100)의 통과 여부를 감지하는 감지해제단계(S12)를 더 포함할 수 있다. 상기 감지해제단계(S12)를 거쳐 상기 기판(100)이 감지되는 상태이면, 상기 제1이물감지단계(S4)를 실시한다. 또한, 상기 감지해제단계(S12)를 거쳐 상기 기판(100)의 감지가 해제되면, 후속하는 기판이 투입되는지 여부를 감지하도록 상기 기판감지단계(S2)를 실시한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판검사방법은 상기 기판감지단계(S2)에 앞서, 상기 기판(100)이 상기 제1측정유닛(10)과 상기 제2측정유닛(20)을 순차적으로 통과하도록 상기 기판(100)을 이송시키는 기판이송단계(S1)를 더 포함할 수 있다. 상기 기판이송단계(S1)는 상기 플로팅척(미도시)의 동작에 따라 실시될 수 있다. 일예로, 상기 기판이송단계(S1)는 상기 기판(100)이 상기 제1측정유닛(10)과 상기 제2측정유닛(20)을 순차적으로 통과하면서 상기 제1레이저빔과 상기 제2레이저빔이 상기 기판(100) 또는 상기 이물질(101)에 간섭되도록 상기 기판(100)을 공기 부양시켜 이송할 수 있다. 여기서, 상기 기판(100)은 다수 개가 상호 이격된 상태에서 연속적으로 이동될 수 있다.
상술한 기판검사장치와 기판검사방법에 따르면, 레이저빔의 직진성과 레이저빔의 발산에 따른 단위 수광 면적 당 광량의 변화를 이용하여 상기 기판(100) 표면에 발생된 상기 이물질(101)을 검출함은 물론 검출된 상기 이물질(101)의 위치를 정확하게 파악할 수 있다. 특히, 전체 장비의 크기가 커지는 것을 방지하고, 상기 기판(100)의 반전 없이도 상기 기판(100)의 뒷면에 대해 간편하게 상기 이물질(101)을 검출함은 물론 검출된 상기 이물질(101)의 위치를 정확하게 파악할 수 있다.
또한, 상호 동일한 가우시안 단면 프로파일을 나타내는 상기 제1레이저빔과 상기 제2레이저빔의 광량 변화에 따라 상기 기판(100)의 폭 방향에 대한 상기 이물질(101)의 위치 결정이 용이하고, 상기 기판(100)의 기설정된 이동속도를 통해 상기 기판(100)의 이동거리를 간편하게 계산할 수 있다. 또한, 상기 기판(100)의 표면을 검사함에 있어서, 장치의 구조를 단순화시킬 수 있고, 비례식을 이용하여 상기 이물질(101)의 위치 결정을 용이하게 할 수 있다. 또한, 상기 이물질(101)의 위치에 따라 상호 동일한 제1레이저빔과 제2레이저빔에서 광량 변화의 계산이 편리하고, 기판 검사 정밀도를 향상시킬 수 있다.
상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.
100: 기판 101: 이물질 200: 얼라인부
10: 제1측정유닛 11: 제1발광부 12: 제1수광부
13: 제1검출부 20: 제2측정유닛 21: 제2발광부
22: 제2수광부 23: 제2검출부 30: 위치계산유닛
31: 폭설정부 32: 반경설정부 33: 광량설정부
34: 변수설정부 35: 광량비교부 36: 위치조정부
37: 위치계산부 40: 좌표결정유닛 41: 설정카운트부
42: 시간설정부 43: 속도설정부 44: 거리계산부
45: 위치결정부
S1: 기판이송단계 S2: 기판감지단계 S3: 설정카운트단계
S4: 제1이물감지단계 S5: 제1위치계산단계 S6: 제2이물감지단계
S7: 제2위치계산단계 S8: 제1좌표계산단계 S9: 시간설정단계
S10: 제2좌표계산단계 S11: 위치결정단계 S12: 감지해제단계

Claims (10)

  1. 기판의 표면에 발생된 이물질을 검사하는 기판검사장치이고,
    제1레이저빔을 발산하는 제1발광부와, 상기 제1발광부에서 발산되는 상기 제1레이저빔이 수광되는 제1수광부와, 상기 기판의 이동에 따라 상기 제1수광부에서 수광되는 상기 제1레이저빔의 광량을 검출하는 제1검출부를 포함하는 제1측정유닛;
    상기 기판의 이동 방향을 따라 상기 제1수광부에서 이격되어 상기 제1발광부에서 발산되는 제1레이저빔과 평행한 제2레이저빔을 발산하는 제2발광부와, 상기 기판의 이동 방향을 따라 상기 제1발광부에서 이격되어 상기 제2발광부에서 발산되는 상기 제2레이저빔이 수광되는 제2수광부와, 상기 기판의 이동에 따라 상기 제2수광부에서 수광되는 상기 제2레이저빔의 광량을 검출하는 제2검출부를 포함하는 제2측정유닛;
    상기 이물질이 상기 제1측정유닛을 통과할 때 상기 제1검출부에서 검출되는 상기 제1레이저빔의 광량과, 상기 이물질이 상기 제2측정유닛을 통과할 때 상기 제2검출부에서 검출되는 상기 제2레이저빔의 광량과, 상기 이물질의 상대 위치를 이용하여 상기 기판의 폭 방향에 대한 상기 이물질의 위치를 계산하는 위치계산유닛; 및
    상기 위치계산유닛에서 계산된 계산값과 상기 기판의 이동속도 또는 상기 위치계산유닛에서 계산된 계산값과 기설정된 상기 기판의 위치 정보를 기반으로 상기 기판 상에서 상기 이물질의 좌표를 결정하는 좌표결정유닛;을 포함하고,
    상기 제1측정유닛과 상기 제2측정유닛은 각각 이물질의 유무에 따른 광량 변화를 측정하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 위치계산유닛은,
    상기 기판의 폭이 저장되는 폭설정부;
    상기 제1발광부에서 발산되는 상기 제1레이저빔의 반경과 상기 제1수광부에서 수광되는 상기 제1레이저빔의 반경이 저장되거나, 상기 제2발광부에서 발산되는 상기 제2레이저빔의 반경과 상기 제2수광부에서 수광되는 상기 제2레이저빔의 반경이 저장되는 반경설정부;
    상기 제1검출부에서 검출되는 상기 제1레이저빔의 광량과, 상기 제2검출부에서 검출되는 상기 제2레이저빔의 광량이 저장되는 광량설정부; 및
    상기 폭설정부와, 상기 반경설정부와, 상기 광량설정부에 저장된 값을 기반으로 상기 기판의 폭 방향에 대한 상기 이물질의 검출 위치를 계산하는 위치계산부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 좌표결정유닛은,
    상기 제1측정유닛 또는 상기 제2측정유닛에서 진입하는 상기 기판을 감지하여 시간을 카운트하는 설정카운트부;
    상기 설정카운트부의 시간 카운트에 대응하여 해당 측정유닛에서 상기 이물질이 감지됨에 따라 상기 설정카운트부에서 카운트된 시간을 저장하는 시간설정부;
    상기 기판의 이동속도가 저장되는 속도설정부; 및
    상기 시간설정부에 저장된 시간과 상기 속도설정부에 저장된 상기 기판의 이동속도를 기반으로 상기 기판의 이동거리를 계산하는 거리계산부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 좌표결정유닛은,
    상기 위치계산부를 통해 계산된 상기 기판의 폭 방향에 대한 상기 이물질의 검출 위치와 상기 거리계산부를 통해 계산된 상기 기판의 이동거리를 병합하여 상기 기판 상에서 상기 이물질의 좌표를 결정하는 위치결정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1레이저빔과 상기 제2레이저빔이 상기 기판 또는 상기 이물질에 간섭되도록 상기 기판을 공기 부양시켜 이송하는 플로팅척;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  6. 제1측정유닛과 제2측정유닛을 순차적으로 통과하는 기판의 표면에 발생된 이물질을 검사하는 기판검사방법이고,
    상기 제1측정유닛 또는 상기 제2측정유닛을 통해 상기 기판을 감지하는 기판감지단계;
    상기 제1측정유닛을 통해 상기 이물질을 검출하는 제1이물감지단계;
    상기 제2측정유닛을 통해 상기 제1측정유닛에서 검출된 상기 이물질을 검출하는 제2이물감지단계;
    상기 제1이물감지단계를 거쳐 검출되는 제1레이저빔의 광량과 상기 제2이물감지단계를 거쳐 검출되는 제2레이저빔의 광량을 기반으로 상기 기판의 폭 방향에 대한 상기 이물질의 위치를 계산하는 위치계산단계; 및
    상기 위치계산단계를 거쳐 계산된 계산값과 상기 기판의 이동속도 또는 상기 위치계산단계를 거쳐 계산된 계산값과 기설정된 상기 기판의 위치 정보를 기반으로 상기 기판 상에서 상기 이물질의 좌표를 결정하는 좌표결정단계;를 포함하고,
    상기 제1레이저빔과 상기 제2레이저빔은 상호 평행하면서 광의 진행 방향이 반대인 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 위치계산단계는,
    상기 이물질이 상기 제1측정유닛을 통과할 때, 상기 제1레이저빔의 광량과 상기 기판의 폭에 대한 상기 이물질의 위치 사이의 상관 관계를 도출하는 제1위치계산단계;
    상기 이물질이 상기 제2측정유닛을 통과할 때, 상기 제2레이저빔의 광량과 상기 기판의 폭에 대한 상기 이물질의 위치 사이의 상관 관계를 도출하는 제2위치계산단계; 및
    상기 제1위치계산단계와 상기 제2위치계산단계에서 각각 도출되는 관계식을 이용하여 상기 기판의 폭에 대한 상기 이물질의 위치를 결정하는 제1좌표계산단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 좌표결정단계는,
    상기 기판감지단계를 거침에 따라 상기 기판이 감지되는 시간을 카운트하는 설정카운트단계;
    상기 설정카운트단계를 거쳐 상기 기판을 감지하는 측정유닛을 통해 상기 제1이물감지단계 또는 상기 제2이물감지단계를 거침에 따라 검출된 상기 이물질에 대응하여 상기 설정카운트단계에서 카운트된 시간을 획득하는 시간설정단계; 및
    상기 기판의 기설정된 이동속도와 상기 시간설정단계를 거쳐 획득한 시간을 기반으로 상기 기판의 이동거리를 계산하는 제2좌표계산단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 좌표결정단계는,
    상기 제1좌표계산단계를 거쳐 계산된 상기 이물질의 검출 위치와 상기 제2좌표계산단계를 거쳐 계산된 상기 기판의 이동거리를 병합하여 상기 기판 상에서 상기 이물질의 좌표를 결정하는 위치결정단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
  10. 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1레이저빔과 상기 제2레이저빔이 상기 기판 또는 상기 이물질에 간섭되도록 상기 기판을 공기 부양시켜 이송하는 기판이송단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사방법.
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