KR100895024B1 - A dual nozzle device for providing coating fluids on two column patterns and a coating apparatus having the same - Google Patents

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Abstract

A dual nozzle device for providing coating fluids on two column patterns is provided to reduce manufacturing time by supplying a coating liquid two column on a plurality of patterns at the same time. A first nozzle apparatus(310a) and a second nozzle apparatus(310b) are movable through a connecting member(344) relatively. An actuator controls one of the first nozzle apparatus and the second nozzle apparatus to be moved along the connecting member thing. A first nozzle apparatus supplies the coating liquid on first group pattern, and the second nozzle supplies the coating liquid on the second group pattern simultaneously. In that processes, the second nozzle apparatus moves along the connecting member by certain speed so that it approaches to the first nozzle or becomes more distant.

Description

2열 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위한 듀얼 노즐장치 및 이를 구비한 코팅장치{A Dual Nozzle Device for Providing Coating Fluids on Two Column Patterns and A Coating Apparatus Having the Same}A dual nozzle apparatus for supplying a coating liquid on a two-row pattern and a coating apparatus having the same {A Dual Nozzle Device for Providing Coating Fluids on Two Column Patterns and A Coating Apparatus Having the Same}

본 발명은 2열 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위한 듀얼 노즐장치 및 이를 구비한 코팅장치에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 기존의 1열 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위해 사용되는 노즐장치 2개를 서로에 대해 이동 가능하도록 연결하고, 제 1 노즐장치 및 제 2 노즐장치 중 어느 하나를 기준으로 다른 하나를 접근 또는 멀어지는 방향으로 이동시키거나 또는 제 1 노즐장치 및 제 2 노즐장치를 서로에 대해 접근하는 방향, 멀어지는 방향 또는 동일한 방향으로 이동시킴으로써, 2열 패턴 상에 코팅액을 동시에 공급하기 위한 듀얼 노즐장치 및 이를 구비한 코팅장치에 관한 것이다.The present invention relates to a dual nozzle device for supplying a coating liquid on a two-row pattern and a coating device having the same. More specifically, the present invention connects two nozzle devices used to supply the coating liquid on the existing one row pattern so as to be movable relative to each other, and based on any one of the first nozzle device and the second nozzle device. For simultaneously supplying the coating liquid on the second row pattern by moving the other one in an approaching or away direction, or by moving the first nozzle device and the second nozzle device in the direction of approaching, away from, or in the same direction. It relates to a dual nozzle device and a coating device having the same.

일반적으로, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 또는 액정 디스플레이 패널(LCD)과 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display: FPD)를 제조하기 위해서는 한 장의 대형 글래스 상에 형성된 복수개의 동일한 패턴(예를 들어, R, G, B 픽셀로 구성되는 복수의 화소) 상에 노즐장치를 이용하여 코팅액을 공급하여야 한다.Generally, in order to manufacture a flat panel display (FPD) such as a plasma display panel (PDP) or a liquid crystal display panel (LCD), a plurality of identical patterns (for example, R and G) formed on one large glass are used. , A plurality of pixels consisting of B pixels) must be supplied with a coating liquid using a nozzle apparatus.

평판 디스플레이의 경우, 대면적화 및 다면취화에 대한 요구가 점차로 증가하고 고정세화(예를 들어, 화소수를 기준으로 VGA급에서 XGA(HD)급을 거쳐 FHD(Full HD)급으로의 고정세화)됨에 따라, 대면적의 다면취 글래스 상에 형성된 복수개의 패턴 상에 코팅액을 공급하는 것은 점점 더 고정밀도가 요구되고 있다. 또한, 대면적의 다면취 글래스 상에 복수의 패턴을 형성하기 위해서는 택타임(tact time)을 줄이기 위해 복수의 패턴을 2열 이상으로 형성하는 것이 바람직하다.In the case of flat panel displays, the demand for large area and multi-sided emulation is gradually increasing and high definition (for example, from VGA to XGA (HD) based on the number of pixels, to FHD (Full HD)). As a result, supplying a coating liquid on a plurality of patterns formed on a large area multi-faceted glass has increasingly required high precision. In addition, in order to form a plurality of patterns on a large area multi-faceted glass, it is preferable to form a plurality of patterns in two or more rows in order to reduce the tact time.

도 1a 및 도 1b는 각각 다면취 글래스 상에 형성된 복수개의 패턴을 과장되게 도시한 도면이다.1A and 1B exaggeratedly show a plurality of patterns formed on a multi-faceted glass, respectively.

도 1a 및 도 1b를 참조하면, 다면취 글래스(100)는 6면취(102a,104a,106a,102b,104b,106b)이고, 각 면취 상에 형성된 제 1 내지 제 6 패턴(122a,124a,126a,122b,124b,126b)은 점선으로 도시되어 있다. 도 1a의 경우에는 제 1 내지 제 3 패턴(122a,124a,126a)(이하 "제 1 그룹 패턴"이라 합니다)과 제 4 내지 제 6 패턴(122b,124b,126b)(이하 "제 2 그룹 패턴"이라 합니다)이 각각 특정한 경향을 갖지 않고 무질서하게(randomly) 형성(이하 "무질서 패턴"이라 합니다)되어 있다. 또한, 도 1b의 경우에는 제 1 그룹 패턴과 제 2 그룹 패턴이 서로에 대해 각도 θ만큼 벌어진 상태(이하 "경사형 패턴"이라 합니다)로 형성되어 있다. 도 1a 및 도 1b에서는 점선으로 표시된 제 1 내지 제 6 패턴(122a,124a,126a,122b,124b,126b)이 이해를 돕기 위해 과장되게 도시되어 있을 뿐, 실제로는 실선과 점선 간의 불일치가 미크론 단위의 미세한 차이를 갖는 것이라는 것을 당업자라면 충분히 이해할 수 있을 것이다. 또한, 당업자라면 상술한 제 1 그룹 패턴 및 제 2 그룹 패턴이 FPD용 다면취 글래스 상에 형성되는 것은 하나의 예시일 뿐, 본 발명이 임의의 2열로 형성된 복수개의 패턴에 대해 적용될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.1A and 1B, the multi-faceted glass 100 is six chamfers 102a, 104a, 106a, 102b, 104b, and 106b, and the first to sixth patterns 122a, 124a, and 126a formed on each chamfer. , 122b, 124b, and 126b are shown in dashed lines. In the case of FIG. 1A, the first to third patterns 122a, 124a and 126a (hereinafter referred to as "first group pattern") and the fourth to sixth patterns 122b, 124b and 126b (hereinafter referred to as "second group pattern" Are "randomly" formed, each with no particular tendency ("disorder pattern"). In addition, in the case of FIG. 1B, the first group pattern and the second group pattern are formed in an open state by an angle θ with respect to each other (hereinafter referred to as " inclined pattern "). In FIGS. 1A and 1B, the first through sixth patterns 122a, 124a, 126a, 122b, 124b, and 126b, which are indicated by dashed lines, are exaggerated for clarity. Those skilled in the art will fully understand that it has a slight difference. Furthermore, those skilled in the art will appreciate that the above-described first group pattern and the second group pattern are formed on the multi-faceted glass for FPD is only one example, and it is sufficient that the present invention can be applied to a plurality of patterns formed in any two rows. I can understand.

한편, 도 2는 종래 기술에 따른 코팅액 공급용 노즐장치 및 이를 구비한 코팅장치의 정단면도가 개략적으로 도시하고 있다.On the other hand, Figure 2 schematically shows a front cross-sectional view of a coating apparatus supply nozzle apparatus and a coating apparatus having the same according to the prior art.

도 2를 참조하면, 종래 기술에 따른 코팅장치(200)는 예를 들어 평판 디스플레이(FPD)용 다면취 글래스(290)(도 1a 및 도 1b의 다면취 글래스(100)에 대응됨) 상에 형성된 패턴(미도시) 상에 코팅액 공급용 노즐장치(210)를 사용하여 코팅액을 공급한다. 코팅액 공급용 노즐장치(210)는 갠트리(220)의 수평바(222)에 고정 장착되거나(고정 방식), 또는 수평바(222)의 길이방향을 따라 수평바(222) 또는 노즐장치(210) 상에 이동부재(212)(예를 들어, 레일(rail), 홈(groove), 또는 리니어 모션 가이드 등)가 제공되어 이동 가능하도록 장착된다(수평이동 방식). Referring to FIG. 2, the coating apparatus 200 according to the related art is, for example, on a multi-faceted glass 290 for a flat panel display (FPD) (corresponding to the multi-faceted glass 100 of FIGS. 1A and 1B). The coating liquid is supplied onto the formed pattern (not shown) by using the coating liquid supply nozzle apparatus 210. The coating liquid supply nozzle device 210 is fixedly mounted to the horizontal bar 222 of the gantry 220 (fixed method), or the horizontal bar 222 or the nozzle device 210 along the longitudinal direction of the horizontal bar 222. A moving member 212 (for example, a rail, groove, or linear motion guide, etc.) is provided on and mounted to be movable (horizontal movement method).

갠트리(220)가 메인 프레임(280) 상에 형성된 한 쌍의 선형 이동 장치(240,240)(구체적으로는, 리니어 모션 가이드 또는 서보모터와 볼 스크루로 구성된 액추에이터와 같은 선형 이동 장치)를 따라 이동하면서, 코팅액 공급용 노즐장치(210)는, 예를 들어 도 1a 및 도 1b에 도시된 제 1 그룹 패턴(즉, 제 1 내지 제 3 패턴(122a,124a,126a))에 대해 순차적으로 코팅액을 공급한다. 그 후, 코팅액 공급용 노즐장치(210)는 원래 위치로 복귀한 다음 예를 들어 도 1a 및 도 1b에 도시된 제 2 그룹 패턴(즉, 제 4 내지 제 6 패턴(122b,124b,126b))에 대해 순차적으로 코팅액을 공급한다(코팅액 공급용 노즐장치(210)가 수평이동 방식인 경우). 코 팅액 공급용 노즐장치(210)가 고정 방식인 경우에는, 먼저 코팅액 공급용 노즐장치(210)가 상술한 바와 같이 도 1a 및 도 1b에 도시된 제 1 그룹 패턴(즉, 제 1 내지 제 3 패턴(122a,124a,126a))에 대해 순차적으로 코팅액을 공급한다. 그 후, 코팅액 공급용 노즐장치(210)는 원래 위치로 복귀한다. 이와 동시에, 얼라인 조정장치(272)가 다면취 글래스(290)를 지지하는 스테이지(270)를 예를 들어 좌측으로 이동시킨다(도 2의 경우). 그 후, 코팅액 공급용 노즐장치(210)는 제 2 그룹 패턴(즉, 제 4 내지 제 6 패턴(122b,124b,126b))에 대해 순차적으로 코팅액을 공급한다.While the gantry 220 moves along a pair of linear movers 240,240 (specifically, a linear mover such as a linear motion guide or an actuator consisting of a servomotor and a ball screw) formed on the main frame 280, The coating liquid supply nozzle apparatus 210 sequentially supplies the coating liquid with respect to the first group pattern (ie, the first to third patterns 122a, 124a, and 126a) shown in FIGS. 1A and 1B, for example. . Thereafter, the coating liquid supply nozzle device 210 returns to its original position and then, for example, the second group pattern (i.e., the fourth to sixth patterns 122b, 124b, and 126b) shown in FIGS. 1A and 1B. The coating liquid is sequentially supplied to the case (if the coating liquid supply nozzle apparatus 210 is a horizontal movement method). In the case where the coating liquid supply nozzle device 210 is a fixed method, the coating liquid supply nozzle device 210 is first described with the first group pattern shown in FIGS. 1A and 1B (that is, the first to the third). The coating solution is sequentially supplied to the patterns 122a, 124a, and 126a). Thereafter, the coating liquid supply nozzle device 210 returns to its original position. At the same time, the alignment adjusting device 272 moves the stage 270 supporting the multi-sided glass 290 to the left side (for example, in FIG. 2). Thereafter, the coating liquid supply nozzle device 210 sequentially supplies the coating liquid to the second group patterns (ie, the fourth to sixth patterns 122b, 124b, and 126b).

그러나, 도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이 코팅액이 공급될 제 1 내지 제 6 패턴(122a,124a,126a,122b,124b,126b)은 통상적으로 각각의 패턴이 형성되어야 할 다면취(102a,104a,106a,102b,104b,106b) 상에 정렬된 상태로 형성되어 있지 않다. 따라서, 상술한 바와 같이 코팅액 공급용 노즐장치(210) 및 이를 구비한 코팅장치(200)를 사용하여 복수의 패턴 상에 코팅액을 공급하는 경우, 코팅장치(200)는 코팅액 공급용 노즐장치(210)가 제 1 내지 제 6 패턴(122a,124a,126a,122b,124b,126b) 상에 코팅액을 공급할 때 얼라인 조정장치(272)를 사용하여 매번 코팅액 공급용 노즐장치(210)와 제 1 내지 제 6 패턴(122a,124a,126a,122b,124b,126b)이 얼라인(align) 상태를 이루도록 조정하여야 한다.However, as shown in FIGS. 1A and 1B, the first to sixth patterns 122a, 124a, 126a, 122b, 124b, and 126b to which the coating liquid is to be supplied are typically multifaceted 102a, in which respective patterns are to be formed. It is not formed in alignment on 104a, 106a, 102b, 104b, 106b. Therefore, when the coating liquid is supplied onto a plurality of patterns by using the coating liquid supply nozzle apparatus 210 and the coating apparatus 200 having the same as described above, the coating apparatus 200 is the coating liquid supply nozzle apparatus 210. When the coating liquid is supplied onto the first to sixth patterns 122a, 124a, 126a, 122b, 124b, and 126b, the nozzle apparatus 210 for coating liquid supply and the first to the first through the alignment adjusting device 272 are supplied. The sixth patterns 122a, 124a, 126a, 122b, 124b, and 126b should be aligned to achieve an alignment state.

상술한 바와 같이 대면적화 및 다면취화에 대한 요구가 점차로 증가하고 있는 평판 디스플레이의 경우 다음과 같은 문제점이 발생한다.As described above, in the case of a flat panel display in which the demand for large area and multi-sided embrittlement is gradually increasing, the following problems occur.

1. 대면적화 및 다면취화에 따라 각각의 정렬 동작에 요구되는 시간, 및 코팅액 공급용 노즐장치(210)의 복귀 시간이 길어져 택타임이 증가한다.1. The time required for each alignment operation and the return time of the coating liquid supply nozzle apparatus 210 are increased according to the large area and the multifaceted embrittlement, thereby increasing the tack time.

2. 택타임 증가로 인한 평판 디스플레이 제조의 생산성이 감소된다. 2. The productivity of flat panel display manufacturing is reduced due to increased tack time.

따라서, 대형화 또는 다면취화가 요구되는 평판 디스플레이(FPD)의 제조에 있어서, 패턴 상에 코팅액을 공급하는데 필요한 전체 공정시간(tact time)을 현저하게 단축하여 생산성을 높이기 위한 새로운 코팅액을 공급하기 위한 노즐장치 및 이를 구비한 코팅장치가 요구된다.Therefore, in the manufacture of a flat panel display (FPD) requiring large size or multi-sided embrittlement, the nozzle for supplying a new coating solution for increasing productivity by significantly shortening the total time required for supplying the coating solution on the pattern. There is a need for an apparatus and a coating apparatus having the same.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 제 1 노즐장치 및 제 2 노즐장치로 구성된 듀얼 노즐장치를 사용하여 제 1 노즐장치와 평판디스플레이 상에 2열로 형성된 복수개의 패턴 중 어느 한 열의 패턴 간의 얼라인(align)을 개별적으로 조정한 상태에서, 제 2 노즐장치를 상기 2열로 형성된 복수개의 패턴 중 다른 한 열의 패턴과 얼라인(align) 상태를 갖도록 제어함으로써, 2열로 형성된 복수개의 패턴 상에 코팅액이 동시에 공급되도록 하여 평판디스플레이 제조 공정 시간 및 생산성을 획기적으로 향상시킬 수 있는 듀얼 노즐장치 및 이를 구비한 코팅장치를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and by using a dual nozzle device comprising a first nozzle device and a second nozzle device, a pattern between any one of a plurality of patterns formed in two rows on the first nozzle device and the flat panel display On the plurality of patterns formed in two rows by controlling the second nozzle device to have an alignment state with the pattern of the other one of the plurality of patterns formed in the two rows in a state where the alignment is individually adjusted. It is to provide a dual nozzle apparatus and a coating apparatus having the same that can be supplied at the same time to the coating solution to significantly improve the flat panel manufacturing process time and productivity.

본 발명의 제 1 특징에 따르면, 2열로 배열된 제 1 그룹 패턴 및 제 2 그룹 패턴 상에 각각 코팅액을 동시에 공급하기 위한 듀얼 노즐장치에 있어서, 상기 제 1 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위한 제 1 노즐장치; 상기 제 2 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위한 제 2 노즐장치; 상기 제 1 노즐장치 및 상기 제 2 노즐장치가 서로에 대해 상대적으로 이동가능하게 장착되는 연결부재; 및 상기 제 1 노즐장치 및 상기 제 2 노즐장치 중 어느 하나가 상기 연결부재를 따라 이동하는 것을 제어하는 액추에이터를 포함하고, 상기 제 1 노즐장치는 상기 제 1 그룹 패턴과 얼라인된 상태에서 상기 제 1 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하고, 동시에 상기 제 2 노즐장치는 상기 제 2 그룹 패턴과 얼라인 조정이 요구되는 각도에 대응하도 록 상기 액추에이터에 의해 제 1 노즐장치에 대해 접근하거나 멀어지는 방향으로 상기 연결부재를 따라 일정한 속도로 이동하면서 상기 제 2 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하는 듀얼 노즐장치를 제공하기 위한 것이다.According to a first aspect of the present invention, there is provided a dual nozzle apparatus for simultaneously supplying a coating liquid on a first group pattern and a second group pattern arranged in two rows, the second nozzle apparatus for supplying a coating liquid on the first group pattern. 1 nozzle apparatus; A second nozzle device for supplying a coating liquid onto the second group pattern; A connecting member on which the first nozzle device and the second nozzle device are mounted to be movable relative to each other; And an actuator controlling one of the first nozzle device and the second nozzle device to move along the connection member, wherein the first nozzle device is aligned with the first group pattern. The coating liquid is supplied onto the first group pattern, and at the same time, the second nozzle apparatus is moved toward or away from the first nozzle apparatus by the actuator so as to correspond to the angle at which alignment adjustment with the second group pattern is required. It is to provide a dual nozzle device for supplying a coating liquid on the second group pattern while moving at a constant speed along the connecting member.

본 발명의 제 2 특징에 따르면, 2열로 배열된 제 1 그룹 패턴 및 제 2 그룹 패턴 상에 각각 코팅액을 동시에 공급하기 위한 듀얼 노즐장치에 있어서, 상기 제 1 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위한 제 1 노즐장치; 상기 제 2 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위한 제 2 노즐장치; 상기 제 1 노즐장치 및 상기 제 2 노즐장치가 서로에 대해 상대적으로 이동가능하게 장착되는 연결부재; 상기 제 1 노즐장치가 상기 연결부재를 따라 이동하는 것을 제어하는 제 1 액추에이터; 및 상기 제 2 노즐장치가 상기 연결부재를 따라 이동하는 것을 제어하는 제 액추에이터를 포함하고, 상기 제 1 노즐장치는 상기 제 1 그룹 패턴과 얼라인 조정이 요구되는 제 1 각도에 대응하도록 상기 제 1 액추에이터에 의해 제 2 노즐장치에 대해 접근하거나 멀어지는 방향으로 상기 연결부재를 따라 일정한 속도로 이동하면서 상기 제 1 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하고, 동시에 상기 제 2 노즐장치는 상기 제 2 그룹 패턴과 얼라인 조정이 요구되는 제 2 각도에 대응하도록 상기 제 2 액추에이터에 의해 제 1 노즐장치에 대해 접근하거나 멀어지는 방향으로 상기 연결부재를 따라 일정한 속도로 이동하면서 상기 제 2 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하는 듀얼 노즐장치를 제공하기 위한 것이다.According to a second aspect of the present invention, there is provided a dual nozzle apparatus for simultaneously supplying a coating liquid on a first group pattern and a second group pattern arranged in two rows, the second nozzle apparatus for supplying a coating liquid on the first group pattern. 1 nozzle apparatus; A second nozzle device for supplying a coating liquid onto the second group pattern; A connecting member on which the first nozzle device and the second nozzle device are mounted to be movable relative to each other; A first actuator for controlling the first nozzle device to move along the connection member; And a first actuator for controlling the movement of the second nozzle device along the connecting member, wherein the first nozzle device corresponds to the first angle to be aligned with the first group pattern. A coating liquid is supplied onto the first group pattern while moving at a constant speed along the connecting member in a direction approaching or away from the second nozzle device by an actuator, and at the same time the second nozzle device is freed with the second group pattern. Dual for supplying the coating liquid on the second group pattern while moving at a constant speed along the connecting member in a direction approaching or away from the first nozzle device by the second actuator so as to correspond to the second angle that needs to be adjusted. It is for providing a nozzle apparatus.

본 발명의 제 3 특징에 따르면, 2열로 배열된 제 1 그룹 패턴 및 제 2 그룹 패턴 상에 각각 코팅액을 동시에 공급하기 위한 코팅장치에 있어서, 상기 제 1 그 룹 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위한 제 1 노즐장치; 상기 제 2 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위한 제 2 노즐장치; 상기 제 1 노즐장치 및 상기 제 2 노즐장치가 서로에 대해 상대적으로 이동가능하게 장착되는 연결부재; 상기 제 1 노즐장치 및 상기 제 2 노즐장치 중 어느 하나가 상기 연결부재를 따라 이동하는 것을 제어하는 액추에이터; 상기 제 1 및 제 2 노즐장치의 전방에 각각 장착되는 제 1 및 제 2 얼라인 확인장치; 상기 제 1 및 제 2 노즐장치가 장착되는 수평바를 구비한 갠트리; 상기 제 1 노즐장치 또는 상기 제 2 노즐장치 중 어느 하나를 상기 수평바 상에서 이동시키는 제 1 이동부재; 상기 제 1 그룹 패턴 및 제 2 그룹 패턴이 위치되는 스테이지; 상기 스테이지를 지지하며, 상기 스테이지의 회전 방향(θ) 이동을 제어하는 얼라인 조정장치; 상기 갠트리, 상기 스테이지, 및 상기 얼라인 조정장치가 위치되는 메인 프레임; 및 상기 메인 프레임 상에 제공되며, 상기 갠트리가 이동 가능하게 장착되는 제 2 이동부재를 포함하고, 상기 제 1 얼라인 확인장치 및 상기 얼라인 조정장치가 서로 협력하여 상기 스테이지의 회전 방향을 조정함으로써 상기 제 1 노즐장치와 상기 제 1 그룹 패턴 간의 얼라인을 조정하고, 동시에 상기 제 2 얼라인 확인장치를 이용하여 상기 제 2 그룹 패턴과의 얼라인 조정에 각도의 보상이 필요한 경우, 상기 제 2 노즐장치는 상기 제 2 그룹 패턴과 상기 얼라인 조정이 요구되는 각도에 대응하도록 상기 액추에이터에 의해 제 1 노즐장치에 대해 접근하거나 멀어지는 방향으로 상기 연결부재를 따라 일정한 속도로 이동하며, 상기 제 1 노즐장치 및 상기 제 2 노즐장치는 각각 상기 제 1 그룹 패턴 및 상기 제 2 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하는 코팅장치를 제공하기 위한 것이다.According to a third aspect of the present invention, there is provided a coating apparatus for simultaneously supplying a coating liquid onto a first group pattern and a second group pattern arranged in two rows, the apparatus for supplying a coating liquid onto the first group pattern. 1 nozzle apparatus; A second nozzle device for supplying a coating liquid onto the second group pattern; A connecting member on which the first nozzle device and the second nozzle device are mounted to be movable relative to each other; An actuator for controlling any one of the first nozzle device and the second nozzle device to move along the connection member; First and second alignment checking devices respectively mounted to the front of the first and second nozzle devices; A gantry having horizontal bars on which the first and second nozzle devices are mounted; A first moving member for moving one of the first nozzle device and the second nozzle device on the horizontal bar; A stage in which the first group pattern and the second group pattern are located; An alignment adjusting device which supports the stage and controls movement of the stage in a rotational direction (θ); A main frame in which the gantry, the stage, and the alignment device are located; And a second moving member provided on the main frame and to which the gantry is movably mounted, wherein the first alignment checking device and the alignment adjusting device cooperate with each other to adjust the rotation direction of the stage. When the alignment between the first nozzle device and the first group pattern is adjusted, and at the same time an angle compensation is required for the alignment adjustment with the second group pattern using the second alignment checking device, the second The nozzle device moves at a constant speed along the connecting member in a direction approaching or away from the first nozzle device by the actuator so as to correspond to the second group pattern and the angle at which the alignment adjustment is required, and the first nozzle The apparatus and the second nozzle apparatus are each provided with a coating apparatus for supplying a coating liquid on the first group pattern and the second group pattern. Will for the ball.

본 발명의 제 4 특징에 따르면, 2열로 배열된 제 1 그룹 패턴 및 제 2 그룹 패턴 상에 각각 코팅액을 동시에 공급하기 위한 코팅장치에 있어서, 상기 제 1 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위한 제 1 노즐장치; 상기 제 2 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위한 제 2 노즐장치; 상기 제 1 노즐장치 및 상기 제 2 노즐장치가 서로에 대해 상대적으로 이동가능하게 장착되는 연결부재; 상기 제 1 노즐장치가 상기 연결부재를 따라 이동하는 것을 제어하는 제 1 액추에이터; 상기 제 2 노즐장치가 상기 연결부재를 따라 이동하는 것을 제어하는 제 2 액추에이터; 상기 제 1 및 제 2 노즐장치의 전방에 각각 장착되는 제 1 및 제 2 얼라인 확인장치; 상기 제 1 및 제 2 노즐장치가 장착되는 수평바를 구비한 갠트리; 상기 제 1 노즐장치 및 상기 제 2 노즐장치를 상기 수평바 상에서 각각 이동시키는 제 1 이동부재 및 제 2 이동부재; 상기 제 1 그룹 패턴 및 제 2 그룹 패턴이 위치되는 스테이지; 상기 스테이지를 지지하는 지지부재; 상기 갠트리, 상기 스테이지, 및 상기 지지부재가 위치되는 메인 프레임; 및 상기 메인 프레임 상에 제공되며, 상기 갠트리가 이동 가능하게 장착되는 제 3 이동부재를 포함하고, 상기 제 1 얼라인 확인장치 및 상기 제 2 얼라인 확인장치는 각각 상기 제 1 노즐장치와 상기 제 1 그룹 패턴 간의 얼라인 조정이 요구되는 제 1 각도 및 상기 제 2 노즐장치와 상기 제 2 그룹 패턴 간의 얼라인 조정이 요구되는 제 2 각도를 확인하고, 상기 제 1 노즐장치는 상기 제 1 각도에 대응하도록 상기 제 1 액추에이터에 의해 상기 제 2 노즐장치에 대해 접근하거나 멀어지는 방향으로 상기 연결부재를 따라 일정한 제 1 속도로 이동하면서 상기 제 1 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하고, 동시에 상기 제 2 노즐장치 는 상기 제 2 각도에 대응하도록 상기 제 2 액추에이터에 의해 상기 제 1 노즐장치에 대해 접근하거나 멀어지는 방향으로 상기 연결부재를 따라 일정한 제 2 속도로 이동하면서 상기 제 2 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하는 코팅장치를 제공하기 위한 것이다.According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a coating apparatus for simultaneously supplying a coating liquid on a first group pattern and a second group pattern arranged in two rows, the first apparatus for supplying a coating liquid on the first group pattern. Nozzle apparatus; A second nozzle device for supplying a coating liquid onto the second group pattern; A connecting member on which the first nozzle device and the second nozzle device are mounted to be movable relative to each other; A first actuator for controlling the first nozzle device to move along the connection member; A second actuator for controlling the second nozzle device to move along the connection member; First and second alignment checking devices respectively mounted to the front of the first and second nozzle devices; A gantry having horizontal bars on which the first and second nozzle devices are mounted; A first moving member and a second moving member for moving the first nozzle device and the second nozzle device on the horizontal bar, respectively; A stage in which the first group pattern and the second group pattern are located; A support member for supporting the stage; A main frame in which the gantry, the stage, and the support member are located; And a third moving member provided on the main frame and to which the gantry is movably mounted, wherein the first alignment checking device and the second alignment checking device respectively include the first nozzle device and the first alignment device. Identify a first angle requiring alignment adjustment between the first group pattern and a second angle requiring alignment adjustment between the second nozzle device and the second group pattern, and wherein the first nozzle device is connected to the first angle. Correspondingly supplying the coating liquid onto the first group pattern while moving at a constant first speed along the connecting member in a direction approaching or away from the second nozzle device by the first actuator, and simultaneously the second nozzle device The connecting member in the direction approaching or away from the first nozzle device by the second actuator to correspond to the second angle The present invention provides a coating apparatus for supplying a coating liquid on the second group pattern while moving at a constant second speed.

본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다. Further advantages of the present invention will become apparent from the following description with reference to the accompanying drawings in which like or like reference numerals designate like elements.

본 발명에 따른 다층 또는 다중 패턴 형성용 인쇄 롤 장치 및 이를 구비한 인쇄 장치를 사용하는 경우 다음과 같은 효과가 달성된다.When using a printing roll device for forming a multilayer or multiple patterns according to the present invention and a printing device having the same, the following effects are achieved.

1. 대면적화 및 고정세화에 따라 노즐의 토출공과 대상물의 패턴이 미세한 차이로 일치하지 않는 경우 각 열별 도포가 불가능하지만 본 발명의 코팅액 공급용 듀얼 노즐장치를 사용하면 2열 도포를 동시에 수행하는 것이 가능하다.1. If the ejection hole of the nozzle and the pattern of the object do not coincide with each other due to the large area and the high resolution, it is impossible to apply each column, but using the dual nozzle device for supplying the coating liquid of the present invention is to perform two-coating simultaneously. It is possible.

2. 대면적화 및 다면취화에 따라 각각의 정렬 동작에 요구되는 시간이 1/2 이하로 줄어들고 또한 및 코팅액 공급용 듀얼 노즐장치의 복귀 시간이 불필요하므로 택타임이 현저하게 감소한다.2. The large area and the multi-sided embrittlement reduce the time required for each alignment operation to less than 1/2, and also the return time of the dual nozzle device for supplying the coating liquid is unnecessary, thereby reducing the tack time significantly.

3. 택타임의 현저한 감소로 인하여 평판 디스플레이 제조의 생산성이 현저하게 향상된다. 3. The productivity of flat panel display production is remarkably improved due to the significant reduction in tack time.

이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to embodiments and drawings of the present invention.

본 발명은 2열로 이루어진 복수개의 패턴이 도 1a에 도시된 무질서 패턴인 경우, 각 열의 동일한 행(row) 내의 패턴 쌍(예를 들어, 제 1 및 제 4 패턴 쌍 (122a,122b); 제 2 및 제 5 패턴 쌍(124a,124b); 및 제 3 및 제 6 패턴 쌍(126a,126b))에 대해 본 발명의 듀얼 노즐장치 중 제 1 노즐 및 제 2 노즐이 각각의 행마다 해당 행 내의 패턴 쌍과 개별적으로 얼라인 상태를 갖도록 조정한 후 각각의 행 내의 패턴 쌍은 동시에 코팅하는 것이 가능한 동행 순차 코팅 방식을 사용한다.According to the present invention, when a plurality of two-column patterns are the disordered patterns shown in FIG. 1A, a pair of patterns (eg, first and fourth pattern pairs 122a and 122b) in the same row of each column; And the fifth and second pattern pairs 124a and 124b; and the third and sixth pattern pairs 126a and 126b), in which each of the first and second nozzles of the dual nozzle apparatus of the present invention has a pattern in each row. After adjusting to align with the pair individually, the pair of patterns in each row uses a companion sequential coating scheme that can be coated simultaneously.

만일, 2열로 이루어진 기존 패턴이 도 1b에 도시된 경사형 패턴인 경우 또는 동열 병렬형 패턴인 경우(즉, 제 1 그룹 패턴 전체와 제 2 패턴 전체가 허용 가능한 오차범위 내에서 평행한 경우), 각 열 내의 복수의 패턴(즉, 제 1 그룹 패턴인 제 1 내지 제 3 패턴(122a,124a,126a); 및 제 2 그룹 패턴인 제 4 및 제 6 패턴(122b,124b,126b))에 대해 본 발명의 듀얼 노즐장치 중 제 1 노즐 및 제 2 노즐이 각각 제 1 그룹 패턴 및 제 2 그룹 패턴과 한번의 얼라인 상태를 갖도록 조정한 후 동시에 코팅하는 것이 가능한 동행 연속 코팅 방식을 사용한다.If the existing pattern consisting of two columns is the inclined pattern shown in FIG. 1B or the same column parallel pattern (that is, the entire first group pattern and the entire second pattern are parallel within an allowable error range), For a plurality of patterns (ie, first to third patterns 122a, 124a and 126a as first group patterns; and fourth and sixth patterns 122b, 124b and 126b as second group patterns) in each column. In the dual nozzle apparatus of the present invention, the first nozzle and the second nozzle are adjusted to have one alignment with the first group pattern and the second group pattern, respectively, and a simultaneous continuous coating method capable of coating at the same time is used.

도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 노즐장치 및 이를 구비한 코팅장치의 개략적인 정단면도이고, 도 3b는 도 3a에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 노즐장치 및 이를 구비한 코팅장치의 개략적인 평면도이며, 도 3c는 도 3a에 도시된 본 발명의 듀얼 노즐장치 중 좌측 노즐장치(또는 제 1 노즐장치) 및 우측 노즐장치(또는 제 2 노즐장치)를 연결하는 연결부재를 A-A 절단 방향으로 본 단면도를 도시한 도면이다.Figure 3a is a schematic front sectional view of a dual nozzle apparatus and a coating apparatus having the same according to an embodiment of the present invention, Figure 3b is a dual nozzle apparatus and a coating apparatus having the same according to the embodiment of the present invention shown in Figure 3a Figure 3c is a schematic plan view of Figure 3a AA cutting the connecting member for connecting the left nozzle device (or the first nozzle device) and the right nozzle device (or second nozzle device) of the dual nozzle device of the present invention shown in Figure 3a It is a figure which shows sectional drawing seen from the direction.

도 3a 내지 도 3c를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 코팅장치(300)는 후 술하는 본 발명의 특징적인 부분을 제외하고는 기본적으로 도 2에 도시된 종래 기술의 코팅장치(200)와 유사하다. 따라서, 이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 코팅장치(300)를 기술함에 있어서 종래 기술의 코팅장치(200)와 상이한 부분에 대해 상세히 기술하기로 한다.3A to 3C, the coating apparatus 300 according to the embodiment of the present invention is basically the coating apparatus 200 of the prior art shown in FIG. 2 except for the characteristic part of the present invention described later. Similar to Therefore, in the following description of the coating apparatus 300 according to an embodiment of the present invention will be described in detail different from the prior art coating apparatus 200.

도 3a 내지 도 3c를 다시 참조하면, 본 발명에 따른 코팅장치(300)에서는, 한 쌍의 좌측 및 우측 노즐장치 또는 제 1 및 제 2 노즐장치(310a,310b)를 사용한다. 한 쌍의 제 1 및 제 2 노즐장치(310a,310b)는 연결부재(344)에 의해 서로 이격된 상태로 연결되어 있다. 이러한 연결부재(344)에 의해 제 1 및 제 2 노즐장치(310a,310b)는 갠트리(320)의 수평바(322)의 길이방향을 따라 서로 상대적으로 이동할 수 있다. 여기서 제 1 및 제 2 노즐장치(310a,310b)의 상대적 이동은, 1) 제 1 노즐장치(310a)가 고정된 상태에서 제 2 노즐장치(310b)가 제 1 노즐장치(310a)를 기준으로 접근하거나 멀어지도록 이동 가능한 경우, 2) 제 2 노즐장치(310b)가 고정된 상태에서 제 1 노즐장치(310a)가 제 2 노즐장치(310b)를 기준으로 접근하거나 멀어지도록 이동 가능한 경우, 및 3) 제 1 노즐장치(310a) 및 제 2 노즐장치(310b)가 서로에 대해 접근하거나 또는 서로로부터 멀어지도록 이동 가능한 경우를 모두 포함한다. 또한, 도 3a에 도시된 본 발명의 실시예에서는, 제 1 노즐장치(310a) 및 제 2 노즐장치(310b)가 각각 제 1 이동부재(312a) 및 제 2 이동부재(312b)를 구비하는 것으로 도시되어 있지만, 제 1 및 제 2 노즐장치(310a,310b)의 상대적 이동이 상술한 1) 또는 2)의 경우에는 제 1 이동부재(312a) 및 제 2 이동부재(312b) 중 어느 하나만이 수평바(222) 또는 노즐장치(210) 상에 제공될 수 있다. 제 1 이동부재(312a) 및 제 2 이동부재(312b)는 각각, 예를 들어, 레일(rail), 홈(groove), 또는 리니어 모션 가이드 등에 의해 구현될 수 있다.Referring again to FIGS. 3A to 3C, in the coating apparatus 300 according to the present invention, a pair of left and right nozzle apparatuses or first and second nozzle apparatuses 310a and 310b are used. The pair of first and second nozzle devices 310a and 310b are connected to be spaced apart from each other by the connecting member 344. By the connecting member 344, the first and second nozzle devices 310a and 310b may move relative to each other along the longitudinal direction of the horizontal bar 322 of the gantry 320. Here, the relative movement of the first and second nozzle apparatuses 310a and 310b is 1) The second nozzle apparatus 310b is based on the first nozzle apparatus 310a with the first nozzle apparatus 310a fixed. 2) when the first nozzle apparatus 310a is movable relative to or away from the second nozzle apparatus 310b while the second nozzle apparatus 310b is fixed, and 3 This includes both cases where the first nozzle device 310a and the second nozzle device 310b are movable toward or away from each other. In addition, in the embodiment of the present invention shown in FIG. 3A, the first nozzle device 310a and the second nozzle device 310b include the first moving member 312a and the second moving member 312b, respectively. Although shown, the relative movement of the first and second nozzle apparatuses 310a and 310b is only one of the first moving member 312a and the second moving member 312b in the case of 1) or 2) described above. It may be provided on the bar 222 or the nozzle device (210). The first moving member 312a and the second moving member 312b may be implemented by, for example, a rail, a groove, a linear motion guide, or the like.

상술한 연결부재(344)의 구체적인 구성은 도 3c에 도시된 바와 같이, 하나 이상의 돌출부(344a)를 구비한다. 하나 이상의 돌출부(344a)는 제 1 및 제 2 노즐장치(310a,310b)가 연결부재(344)를 따라 상대적으로 이동이 가능하도록 해주는 기능을 갖는다. 도 3c의 실시예에서는, 연결부재(344)가 하나 이상의 돌출부(344b)를 구비하는 것으로 도시되어 있지만, 당업자라면 연결부재(344)가 하나 이상의 오목부(미도시) 또는 제 1 및 제 2 노즐장치(310a,310b)가 연결부재(344)를 따라 이동이 가능하도록 해주는 기능을 구비한 임의의 체결부재(connection member)를 구비할 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 이러한 연결부재(344) 상에서 제 1 및 제 2 노즐장치(310a,310b)를 이동시키는 것은 예를 들어 액추에이터, 좀 더 구체적으로는 압전 액추에이터(piezoelectric actuator)(미도시)를 사용하여 구현될 수 있다. 이러한 압전 액추에이터(344)는 예를 들어 2005년 6월 14일자로 "압전 액추에이터의 구동장치"라는 발명의 명칭으로 대한민국 특허 제 10-2005-7010906호로 출원되고, 2005년 8월 26일자로 공개된 공개특허 제 10-2005-0084300호에 상세히 기술되어 있으며, 본 명세서에 참조되어 본 발명의 일부를 이룬다.Specific configuration of the above-described connecting member 344 is provided with one or more protrusions 344a, as shown in Figure 3c. The one or more protrusions 344a have a function of allowing the first and second nozzle devices 310a and 310b to be relatively movable along the connection member 344. In the embodiment of FIG. 3C, the connecting member 344 is shown with one or more protrusions 344b, although those skilled in the art will appreciate that the connecting member 344 may have one or more recesses (not shown) or first and second nozzles. It will be appreciated that the devices 310a and 310b may have any connection member having a function of allowing movement along the connection member 344. Moving the first and second nozzle devices 310a and 310b on this connecting member 344 may be implemented using, for example, an actuator, more specifically a piezoelectric actuator (not shown). . The piezoelectric actuator 344 is filed in Korean Patent No. 10-2005-7010906 in the name of the invention "Drive of Piezoelectric Actuator", for example, on June 14, 2005, and published on August 26, 2005. It is described in detail in WO 10-2005-0084300, which is incorporated herein by reference and forms part of the invention.

다시 도 3a 및 도 3b를 참조하면, 본 발명의 실시예에서 제 1 및 제 2 노즐장치(310a,310b)은 갠트리(320,320)가 메인 프레임(380) 상에 형성된 한 쌍의 리니어 모션 가이드(340,340)를 따라 이동하면서, 제 1 노즐장치(310a)는 제 1 그룹 패턴(즉, 제 1 내지 제 3 패턴(322a,324a,326a)) 상에 그리고 제 2 노즐장치(310b)는 제 2 그룹 패턴(즉, 제 4 내지 제 6 패턴(322b,324b,326b)) 상에 각각 코팅액을 동시에 순차적으로 공급한다. 이하에서, 본 발명의 실시예에 따른 제 1 및 제 2 노즐장치(310a,310b)를 구비한 코팅장치(300)를 사용하여 복수의 제 1 그룹 패턴(322a,324a,326a) 및 복수의 제 2 그룹 패턴(322b,324b,326b) 상에 각각 코팅액을 동시에 순차적으로 공급하는 동작을 상세히 설명한다.3A and 3B, in the exemplary embodiment of the present invention, the first and second nozzle devices 310a and 310b may include a pair of linear motion guides 340 and 340 in which the gantry 320 and 320 are formed on the main frame 380. ), The first nozzle device 310a is on the first group pattern (ie, the first to third patterns 322a, 324a, 326a) and the second nozzle device 310b is the second group pattern. (I.e., the fourth to sixth patterns 322b, 324b, and 326b) are sequentially supplied with the coating liquid at the same time. Hereinafter, a plurality of first group patterns 322a, 324a, and 326a and a plurality of agents using the coating apparatus 300 including the first and second nozzle devices 310a and 310b according to the embodiment of the present invention. An operation of sequentially supplying the coating liquid on the two group patterns 322b, 324b and 326b simultaneously will be described in detail.

먼저, 본 발명의 코팅장치(300)가 제 1 그룹 패턴(322a,324a,326a) 및 제 2 그룹 패턴(322a,324a,326a) 상에 각각 코팅액을 순차적으로 동시에 공급하는 경우(동행 순차 코팅 방식), 예를 들어 제 1 그룹 패턴(322a,324a,326a) 및 제 2 그룹 패턴(322a,324a,326a) 중 어느 하나를 기준 패턴면으로 사용할 수 있다. 만일, 제 1 그룹 패턴(322a,324a,326a)을 기준면으로 사용하는 경우, 제 1 노즐장치(310a)와 제 1 그룹 패턴(322a,324a,326a) 간의 얼라인 상태 확인이 필요하다. 제 1 노즐장치(310a)와 각각의 제 1 그룹 패턴(322a,324a,326a) 간의 얼라인 상태 확인은 예를 들어 코팅장치(300)의 전방, 구체적으로는 제 1 노즐장치(310a)의 전방에 장착된 공지의 제 1 얼라인 확인장치(미도시: 예를 들어, 형상인식 장치인 비전 카메라(vision camera)와 같은 얼라인 카메라 등)를 사용하여 제어될 수 있다. 이와 동시에, 제 2 노즐장치(310b)는 제 2 그룹 패턴(322b,324b,326b) 각각에 대해 얼라인에 필요한 각도의 확인이 필요하다. 제 2 노즐장치(310b)와 각각의 제 2 그룹 패턴(322b,324b,326b) 간의 얼라인에 필요한 각도의 확인은 예를 들어 코팅장치(300)의 전방, 구체적으로는 제 2 노즐장치(310b)의 전방에 장착된 공지의 제 2 얼라인 확인장치(미도시: 예를 들어, 비전 카메라와 같은 얼라인 카메라 등)를 사용하여 제어될 수 있다. 제 1 얼라인 확인장치에 의해 제 1 노즐장치(310b)와 각각의 제 1 그룹 패턴(322a,324a,326a) 간의 얼라인이 필요한 것으로 확인되면, 얼라인 조정장치(372)가 이들 간의 얼라인을 조정한다. 얼라인 조정장치(372)는 스테이지(370)를 지지하며, 스테이지(370)의 측방향(x 방향: 즉, 수평바(322)와 평행한 방향) 이동 및 전후진 방향(y 방향: 즉, 한 쌍의 리니어 모션 가이드(340,340)와 평행한 방향) 이동과 회전(θ) 이동을 제어하는 장치로 본 발명 기술 분야에서 널리 사용되고 있다.First, when the coating apparatus 300 of the present invention sequentially and simultaneously supply the coating liquid onto the first group patterns 322a, 324a and 326a and the second group patterns 322a, 324a and 326a (accompanied sequential coating method). For example, any one of the first group patterns 322a, 324a and 326a and the second group patterns 322a, 324a and 326a may be used as the reference pattern surface. If the first group patterns 322a, 324a and 326a are used as reference planes, it is necessary to check the alignment between the first nozzle apparatus 310a and the first group patterns 322a, 324a and 326a. The alignment state check between the first nozzle apparatus 310a and each of the first group patterns 322a, 324a, and 326a is, for example, in front of the coating apparatus 300, specifically, in front of the first nozzle apparatus 310a. It may be controlled using a known first alignment checking device (not shown: for example, an alignment camera such as a vision camera which is a shape recognition device) mounted on the device. At the same time, the second nozzle apparatus 310b needs to confirm the angles required for alignment with respect to each of the second group patterns 322b, 324b and 326b. Confirmation of the angle required for the alignment between the second nozzle apparatus 310b and the respective second group patterns 322b, 324b, 326b is, for example, in front of the coating apparatus 300, specifically, the second nozzle apparatus 310b. Can be controlled using a known second alignment checking device (not shown: for example, an alignment camera such as a vision camera) mounted in front of the < RTI ID = 0.0 > If it is determined by the first alignment checking device that alignment between the first nozzle device 310b and each of the first group patterns 322a, 324a and 326a is necessary, the alignment adjusting device 372 aligns the alignment between them. Adjust it. The alignment adjusting device 372 supports the stage 370, and moves the lateral direction (x direction: that is, the direction parallel to the horizontal bar 322) of the stage 370 and the forward and backward directions (y direction: It is widely used in the technical field of the present invention as a device for controlling the movement in a direction parallel to the pair of linear motion guides 340 and 340) and the rotation (θ) movement.

좀 더 구체적으로, 제 1 패턴(322a)이 예를 들어 다면취 글래스 상의 제 1 면취(302a)를 기준으로 반시계방향으로 θ1만큼 회전하여 형성되어 있고, 제 4 패턴(322b)이 예를 들어 다면취 글래스 상의 제 4 면취(302b)를 기준으로 시계방향으로 θ2만큼 회전하여 형성되어 있다고 가정하자. 이 경우, 제 1 그룹 패턴(322a,324a,326a)이 기준면이므로, 제 1 얼라인 확인장치와 얼라인 조정장치(372)는 서로 협력하여 스테이지(370)를 시계방향으로 θ1만큼 회전시킨다. 그러면, 제 1 패턴(322a)이 제 1 면취(302a)의 실선부분과 일치하게 되고, 이 상태에서 제 1 노즐장치(310a)가 제 1 패턴(322a) 상에 코팅액을 공급하면, 코팅액이 제 1 패턴(322a)과 정확히 일치한 상태로 공급된 제 1 면취(302a)를 얻을 수 있다. 이와 동시에, 제 2 얼라인 확인 장치는 제 2 노즐장치(310b)와 제 4 패턴(322b) 간의 얼라인에 필요한 각도가 θ1+θ2임을 확인한다. 그 후, 제 1 노즐장치(310a)가 제 1 패턴(322a) 상에 코팅액을 공급하는 동안, 제 2 노즐장치(310b)는 제 4 패턴(322b) 상에 코팅액을 공급한다. 이 때, 제 2 노즐장치(310b)는 갠트리(320,320)가 상술한 y방향으로 진행하는 동안 θ1+θ2의 각도에 대응하도록 압전 액추에이터(미도시)에 의해 제 1 노즐장치(310a)에 접근하는 방향으로 연결부재(344)를 따라 일정한 속도로 이동한다. 여기서, θ1 및 θ2는 설명 편의상 과장되게 도시된 것으로, 실제로는 매우 작은 값으로, 이에 대응하는 제 2 노즐장치(310b)가 수평바(322)를 따라 이동하는 거리도 대략 수 내지 수십 미크론(㎛) 정도에 불과하다는 점에 유의하여야 한다.More specifically, the first pattern 322a is formed by rotating θ1 in the counterclockwise direction with respect to the first chamfer 302a on the multi-faceted glass, for example, and the fourth pattern 322b is formed, for example. Assume that it is formed by rotating θ2 clockwise with respect to the fourth chamfer 302b on the multi-faceted glass. In this case, since the first group patterns 322a, 324a, and 326a are reference planes, the first alignment checking device and the alignment adjusting device 372 cooperate with each other to rotate the stage 370 clockwise by θ1. Then, the first pattern 322a coincides with the solid line portion of the first chamfer 302a, and in this state, when the first nozzle apparatus 310a supplies the coating liquid onto the first pattern 322a, the coating liquid The first chamfer 302a supplied in a state exactly matching the one pattern 322a can be obtained. At the same time, the second alignment checking apparatus confirms that the angle required for the alignment between the second nozzle apparatus 310b and the fourth pattern 322b is θ1 + θ2. Thereafter, while the first nozzle apparatus 310a supplies the coating liquid on the first pattern 322a, the second nozzle apparatus 310b supplies the coating liquid on the fourth pattern 322b. At this time, the second nozzle apparatus 310b approaches the first nozzle apparatus 310a by a piezoelectric actuator (not shown) so as to correspond to an angle of θ1 + θ2 while the gantry 320 and 320 proceed in the y-direction described above. It moves at a constant speed along the connecting member 344 in the direction. Here, θ1 and θ2 are exaggerated for convenience of explanation, and are actually very small values, and the distance of the corresponding second nozzle apparatus 310b along the horizontal bar 322 is also about several to several tens of microns (μm). It should be noted that it is only).

그 후, 제 1 및 제 2 노즐장치(310a,310b)는 제 2 및 제 5 패턴(324a,324b) 상으로 이동한다. 제 2 패턴(324a)이 제 2 면취(304a)를 기준으로 시계방향으로 θ3만큼 회전하여 형성되어 있고, 또한 제 5 패턴(324b)이 제 5 면취(304b)를 기준으로 반시계방향으로 θ4만큼 회전하여 형성되어 있다면, 제 1 얼라인 확인 장치와 얼라인 조정장치(372)는 서로 협력하여 스테이지(370)를 반시계방향으로 θ1+θ3만큼 회전시킨다. 그러면, 제 2 패턴(324a)이 제 2 면취(304a)의 실선부분과 일치하게 되고, 이 상태에서 제 2 노즐장치(310a)가 제 2 패턴(324a) 상으로 코팅액을 공급하면, 코팅액이 제 2 패턴(324a)과 정확히 일치한 상태로 공급된 제 2 면취(304a)를 얻을 수 있다. 이와 동시에, 제 2 얼라인 확인 장치는 제 2 노즐장치(310b)와 제 5 패턴(324b) 간의 얼라인에 필요한 각도가 θ3+θ4임을 확인한다. 그 후, 제 1 노즐장치(310a)가 제 2 패턴(324a) 상에 코팅액을 공급하는 동안, 제 2 노즐장치(310b)는 제 5 패턴(324b) 상에 코팅액을 공급한다. 이 때, 제 2 노즐장치(310b)는 갠트리(320,320)가 상술한 y방향으로 진행하는 동안 θ3+θ4의 각도에 대응하도록 압전 액추에이터(미도시)에 의해 제 1 노즐장치(310a)로부터 멀어지는 방향으로 연결부재(344)를 따라 일정한 속도로 이동한다. 여기서, 얼라인 조정장치(372)에 의한 제 2 패턴(324a)의 얼라인 조정은 다음과 같이 행해질 수도 있다. 즉, 얼라인 조정장치(372)는 제 1 패턴(322a) 상에 코팅액 공급이 완료된 후, 제 1 노즐장치(310a)가 제 2 패턴(324a) 상으로 이동하는 도중 스테이지(370)를 미리 반시계방향으로 θ1만큼 회전시킨 후, 다시 스테이지(370)를 반시계방향으로 θ2만큼 회전시킬 수도 있다. 이렇게 하면, 공정 시간(tact time)을 추가로 줄일 수 있다는 것이 자명하다. 그 후, 제 1 얼라인 확인 장치와 얼라인 조정장치(372)는 서로 협력하여 앞서 기술한 바와 같은 동일한 방식으로 제 3 패턴(326a)이 제 3 면취(306a)와 일치하도록 스테이지(370)를 시계방향 또는 반시계방향으로 회전시킨 후, 제 1 노즐장치(310a)가 제 3 패턴(326a) 상에 코팅액을 공급하면, 코팅액이 제 3 패턴(326a)과 정확히 일치한 상태로 공급된 제 3 면취(306a)를 얻을 수 있다. 이와 동시에, 제 2 얼라인 확인 장치를 사용하여 앞서 기술한 바와 같은 동일한 방식으로 제 6 패턴(326b)과 일치하도록 제 2 노즐장치(310b)를 연결부재(344)를 따라 좌우로 이동시킴으로써 코팅액이 제 6 패턴(326b)과 정확히 일치한 상태로 공급된 제 6 면취(306b)를 얻을 수 있다.Thereafter, the first and second nozzle devices 310a and 310b move on the second and fifth patterns 324a and 324b. The second pattern 324a is formed by rotating θ3 clockwise with respect to the second chamfer 304a, and the fifth pattern 324b by θ4 in counterclockwise direction with respect to the fifth chamfer 304b. If it is formed by rotating, the first alignment checking device and the alignment adjusting device 372 cooperate with each other to rotate the stage 370 counterclockwise by θ1 + θ3. Then, the second pattern 324a coincides with the solid line portion of the second chamfer 304a, and in this state, when the second nozzle apparatus 310a supplies the coating liquid onto the second pattern 324a, the coating liquid The second chamfer 304a supplied in a state exactly matching the second pattern 324a can be obtained. At the same time, the second alignment checking apparatus confirms that the angle required for the alignment between the second nozzle apparatus 310b and the fifth pattern 324b is θ3 + θ4. Thereafter, while the first nozzle apparatus 310a supplies the coating liquid on the second pattern 324a, the second nozzle apparatus 310b supplies the coating liquid on the fifth pattern 324b. At this time, the second nozzle device 310b is moved away from the first nozzle device 310a by a piezoelectric actuator (not shown) so as to correspond to an angle of θ3 + θ4 while the gantry 320 and 320 proceed in the y-direction described above. It moves along the connection member 344 at a constant speed. Here, the alignment adjustment of the second pattern 324a by the alignment adjusting device 372 may be performed as follows. That is, the alignment adjusting device 372 half-stages the stage 370 while the first nozzle device 310a moves on the second pattern 324a after the supply of the coating liquid is completed on the first pattern 322a. After rotating θ1 in the clockwise direction, the stage 370 may be rotated again by θ2 in the counterclockwise direction. It is obvious that this can further reduce the tact time. Thereafter, the first alignment checking device and the alignment adjusting device 372 cooperate with each other to move the stage 370 so that the third pattern 326a coincides with the third chamfer 306a in the same manner as described above. After rotating clockwise or counterclockwise, when the first nozzle apparatus 310a supplies the coating liquid on the third pattern 326a, the third liquid is supplied in a state in which the coating liquid is exactly coincident with the third pattern 326a. Chamfering 306a can be obtained. At the same time, the coating liquid is moved by moving the second nozzle apparatus 310b from side to side along the connecting member 344 to match the sixth pattern 326b in the same manner as described above using the second alignment checking apparatus. A sixth chamfer 306b supplied in a state exactly matching the sixth pattern 326b can be obtained.

상술한 본 발명의 실시예에서는, 도 1a에 도시된 무질서 패턴을 갖는 제 1 그룹 패턴을 기준면으로 하여 제 1 노즐장치(310a)와 제 1 그룹 패턴 간의 얼라인 상태를 조정한 후 코팅액을 공급함과 동시에, 제 2 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위해 필요한 얼라인 각도 값을 보상하도록 압전 액추에이터를 이용하여 제 2 노즐장치(310b)를 연결부재(344)를 따라 측방향으로 이동하는 것으로 기술하고 있 다. 그러나, 당업자라면 제 2 그룹 패턴을 기준면으로 하여 제 1 노즐장치(310b)와 제 2 그룹 패턴 간의 얼라인 상태를 조정한 후 코팅액을 공급함과 동시에, 제 1 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위해 필요한 얼라인 각도 값을 보상하도록 연결부재(344)를 따라 측방향으로 이동하는 경우에도 동일한 결과가 얻어진다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.In the above-described embodiment of the present invention, the coating liquid is supplied after adjusting the alignment state between the first nozzle apparatus 310a and the first group pattern by using the first group pattern having the disordered pattern shown in FIG. 1A as a reference plane. At the same time, the second nozzle apparatus 310b is moved laterally along the connecting member 344 using a piezoelectric actuator to compensate for the alignment angle value required for supplying the coating liquid on the second group pattern. All. However, those skilled in the art need to adjust the alignment state between the first nozzle device 310b and the second group pattern with reference to the second group pattern, and then supply the coating liquid and supply the coating liquid on the first group pattern. It will be appreciated that the same result is obtained even when moving laterally along the connecting member 344 to compensate for the alignment angle value.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 코팅장치(300)가 도 1b에 도시된 경사형 패턴에 적용되는 경우에는, 보상이 요구되는 얼라인 각도 값(θ)이 일정하다. 따라서, 제 1 그룹 패턴을 기준으로 제 2 그룹 패턴에 대한 얼라인 각도를 보상하는 경우 제 2 얼라인 확인장치가 얼라인 보상 각도(θ)를 확인하면, 제 1 노즐장치(310b)는 제 1 그룹 패턴(322a,324a,326a)에 대해 연속적으로 코팅액을 공급하면서, 동시에 제 2 노즐장치(310b)는 압전 액추에이터에 의해 연결부재(344)를 따라 측방향으로 일정한 속도로 좌우로 이동하면서 제 2 그룹 패턴(322b,324b,326b) 상에 코팅액을 연속적으로 공급할 수 있다(동행 동렬 연속 코팅 방식). 만일, 본 발명의 실시예에 따른 코팅장치(300)가 동열 병렬형 패턴인 경우(즉, 제 1 그룹 패턴 전체와 제 2 패턴 전체가 허용 가능한 오차범위 내에서 평행한 경우)에 대해 코팅액을 공급하는 경우에는, 얼라인 각도의 보상이 불필요하므로, 제 1 노즐장치(310a)가 제 1 그룹 패턴(322a,324a,326a)에 대해 연속적으로 코팅액을 공급하면서, 동시에 제 2 노즐장치(310b)는 연결부재(344)를 따라 측방향으로 이동함이 없이 제 2 그룹 패턴(322b,324b,326b) 상에 코팅액을 연속적으로 공급할 수 있다(동행 동렬 연속 코팅 방식). On the other hand, when the coating apparatus 300 according to the embodiment of the present invention is applied to the inclined pattern shown in Figure 1b, the alignment angle value (θ) that requires compensation is constant. Therefore, when compensating the alignment angle with respect to the second group pattern on the basis of the first group pattern, when the second alignment confirming apparatus checks the alignment compensation angle θ, the first nozzle apparatus 310b may be configured to be the first. While continuously supplying the coating liquid to the group patterns 322a, 324a, and 326a, the second nozzle device 310b is moved to the left and right at a constant speed in the lateral direction along the connecting member 344 by the piezoelectric actuator, and then to the second. The coating liquid can be continuously supplied onto the group patterns 322b, 324b, and 326b (co-parallel continuous coating method). If the coating apparatus 300 according to the embodiment of the present invention is a co-parallel parallel pattern (that is, the entire first group pattern and the entire second pattern are parallel within an acceptable error range), the coating liquid is supplied. In this case, since the compensation of the alignment angle is unnecessary, the first nozzle apparatus 310a continuously supplies the coating liquid to the first group patterns 322a, 324a and 326a, and at the same time the second nozzle apparatus 310b The coating liquid can be continuously supplied onto the second group patterns 322b, 324b and 326b without moving laterally along the connecting member 344 (co-parallel continuous coating method).

나아가, 본 발명의 실시예에 따른 코팅장치(300)에서는, 제 1 및 제 2 노즐장치(310a,310b) 중 어느 하나의 노즐장치가 고정된 상태에서 다른 하나의 노즐장치가 연결부재(344)를 따라 측방향으로 이동하는 경우를 기술하고 있지만, 본 발명의 또 다른 실시예에서는 코팅장치(300)의 제 1 및 제 2 노즐장치(310a,310b)가 각각 동시에 연결부재(344)를 따라 측방향으로 상대적으로 이동하는 경우도 가능하다. 이하 상세히 기술한다. 이 경우, 얼라인 조정장치(372)는 스테이지(370)를 지지하되, 스테이지(370)를 스테이지(370)의 측방향 이동 및 전후진 방향 이동과 회전(θ) 이동을 제어할 필요가 없다. 또한, 제 1 및 제 2 노즐장치(310a,310b)를 각각 동시에 연결부재(344)를 따라 측방향으로 상대적으로 이동시키기 위한 제 1 및 제 2 압전 액추에이터(미도시)가 요구된다. Furthermore, in the coating apparatus 300 according to the embodiment of the present invention, the other nozzle apparatus is connected to the nozzle 344 while any one of the first and second nozzle apparatuses 310a and 310b is fixed. Although a case of moving laterally along the side is described, in another embodiment of the present invention, the first and second nozzle apparatuses 310a and 310b of the coating apparatus 300 are simultaneously along the connecting member 344. It is also possible to move relative to the direction. It is described in detail below. In this case, the alignment adjusting device 372 supports the stage 370, but the stage 370 does not need to control the lateral movement, the forward and backward movement, and the rotation (θ) movement of the stage 370. In addition, first and second piezoelectric actuators (not shown) are required to move the first and second nozzle devices 310a and 310b relatively laterally along the connecting member 344, respectively.

좀 더 구체적으로, 상술한 바와 같이, 제 1 패턴(322a)이 예를 들어 다면취 글래스 상의 제 1 면취(302a)를 기준으로 반시계방향으로 θ1만큼 회전하여 형성되어 있고, 제 4 패턴(322b)이 예를 들어 다면취 글래스 상의 제 4 면취(302b)를 기준으로 시계방향으로 θ2만큼 회전하여 형성되어 있다고 가정하자. 이 경우, 제 1 얼라인 확인장치는 제 1 패턴(322a)의 좌측 상부 모서리를 기준으로 제 1 노즐장치(310a)와 제 1 패턴(322a) 간의 얼라인에 필요한 각도가 θ1임을 확인한다. 이와 동시에, 제 2 얼라인 확인 장치는 제 4 패턴(322b)의 우측 상부 모서리를 기준으로 제 2 노즐장치(310b)와 제 4 패턴(322b) 간의 얼라인에 필요한 각도가 θ2임을 확인한다. 그 후, 갠트리(320,320)가 상술한 y방향으로 진행하는 동안, 제 1 압전 액추에이터(미도시)는 제 1 노즐장치(310a)를 θ1의 각도에 대응하도록 제 2 노즐장 치(310b)에 접근하는 방향으로 연결부재(344)를 따라 일정한 속도로 이동시킨다. 이와 동시에 제 2 압전 액추에이터(미도시)는 제 2 노즐장치(310b)를 θ2의 각도에 대응하도록 제 1 노즐장치(310a)에 접근하는 방향으로 연결부재(344)를 따라 일정한 속도로 이동시킨다. 이러한 방식으로 제 1 노즐장치(310a) 및 제 1 노즐장치(310b)를 동시에 좌우로 이동시키면서 제 1 노즐장치(310a) 및 제 1 노즐장치(310b)가 각각 제 1 패턴(322a) 및 제 4 패턴(322b) 상에 코팅액을 공급하면, 코팅액이 제 1 패턴(322a) 및 제 4 패턴(322b)과 각각 정확히 일치한 상태로 공급된 제 1 면취(302a) 및 제 4 면취(302b)를 얻을 수 있다. 그 후, 제 1 및 제 2 노즐장치(310a,310b)는 제 2 및 제 5 패턴(324a,324b) 상으로 이동한다. 제 2 패턴(324a)이 제 2 면취(304a)를 기준으로 시계방향으로 θ3만큼 회전하여 형성되어 있고, 또한 제 5 패턴(324b)이 제 5 면취(304b)를 기준으로 반시계방향으로 θ4만큼 회전하여 형성되어 있다면, 상술한 바와 같이 제 1 얼라인 확인장치는 제 2 패턴(324a)의 좌측 상부 모서리를 기준으로 제 1 노즐장치(310a)와 제 2 패턴(324a) 간의 얼라인에 필요한 각도가 θ3임을 확인한다. 이와 동시에, 제 2 얼라인 확인 장치는 제 5 패턴(324b)의 우측 상부 모서리를 기준으로 제 2 노즐장치(310b)와 제 5 패턴(324b) 간의 얼라인에 필요한 각도가 θ4임을 확인한다. 그 후, 갠트리(320,320)가 상술한 y방향으로 진행하는 동안, 제 1 압전 액추에이터(미도시)는 제 1 노즐장치(310a)를 θ3의 각도에 대응하도록 제 2 노즐장치(310b)에서 멀어지는 방향으로 연결부재(344)를 따라 일정한 속도로 이동시킨다. 이와 동시에 제 2 압전 액추에이터(미도시)는 제 2 노즐장치(310b)를 θ4의 각도에 대응하도록 제 1 노즐장 치(310a)에서 멀어지는 방향으로 연결부재(344)를 따라 일정한 속도로 이동시킨다. 제 1 노즐장치(310a) 및 제 1 노즐장치(310b)를 동시에 좌우로 이동시키면서 제 1 노즐장치(310a) 및 제 1 노즐장치(310b)가 각각 제 2 패턴(324a) 및 제 5 패턴(324b) 상에 코팅액을 공급하면, 코팅액이 제 2 패턴(324a) 및 제 5 패턴(324b)과 각각 정확히 일치한 상태로 공급된 제 2 면취(304a) 및 제 5 면취(304b)를 얻을 수 있다. 그 후, 동일한 방법을 사용하여, 제 1 노즐장치(310a) 및 제 1 노즐장치(310b)를 동시에 좌우로 이동시키면서 제 1 노즐장치(310a) 및 제 1 노즐장치(310b)가 각각 제 3 패턴(326a) 및 제 6 패턴(326b) 상에 코팅액을 공급하면, 코팅액이 제 3 패턴(326a) 및 제 6 패턴(326b)과 각각 정확히 일치한 상태로 공급된 제 3 면취(306a) 및 제 6 면취(306b)를 얻을 수 있다.More specifically, as described above, the first pattern 322a is formed by rotating θ1 counterclockwise with respect to the first chamfer 302a on the multi-faceted glass, for example, and the fourth pattern 322b. For example, assume that is formed by rotating θ2 clockwise with respect to the fourth chamfer 302b on the multi-faceted glass. In this case, the first alignment checking apparatus confirms that the angle required for the alignment between the first nozzle apparatus 310a and the first pattern 322a is θ1 based on the upper left corner of the first pattern 322a. At the same time, the second alignment checking apparatus confirms that the angle required for the alignment between the second nozzle apparatus 310b and the fourth pattern 322b is θ2 based on the upper right corner of the fourth pattern 322b. Thereafter, while the gantry 320 and 320 proceed in the y-direction described above, the first piezoelectric actuator (not shown) approaches the second nozzle device 310b so that the first nozzle device 310a corresponds to an angle of θ1. It moves at a constant speed along the connecting member 344 in the direction. At the same time, the second piezoelectric actuator (not shown) moves the second nozzle device 310b at a constant speed along the connecting member 344 in a direction approaching the first nozzle device 310a so as to correspond to an angle of θ2. In this manner, the first nozzle apparatus 310a and the first nozzle apparatus 310b are respectively moved to the first pattern 322a and the fourth while simultaneously moving the first nozzle apparatus 310a and the first nozzle apparatus 310b from side to side. When the coating liquid is supplied onto the pattern 322b, the first chamfer 302a and the fourth chamfer 302b supplied with the coating liquid exactly matched the first pattern 322a and the fourth pattern 322b, respectively, are obtained. Can be. Thereafter, the first and second nozzle devices 310a and 310b move on the second and fifth patterns 324a and 324b. The second pattern 324a is formed by rotating θ3 clockwise with respect to the second chamfer 304a, and the fifth pattern 324b by θ4 in counterclockwise direction with respect to the fifth chamfer 304b. If it is formed to rotate, as described above, the first alignment check device is an angle required for the alignment between the first nozzle device 310a and the second pattern 324a with respect to the upper left corner of the second pattern 324a. Confirm that is θ3. At the same time, the second alignment checking apparatus confirms that the angle required for the alignment between the second nozzle apparatus 310b and the fifth pattern 324b is θ4 based on the upper right corner of the fifth pattern 324b. Thereafter, while the gantry 320 and 320 proceed in the above-described y direction, the first piezoelectric actuator (not shown) moves away from the second nozzle device 310b so that the first nozzle device 310a corresponds to an angle of θ3. Move along the connection member 344 at a constant speed. At the same time, the second piezoelectric actuator (not shown) moves the second nozzle device 310b at a constant speed along the connection member 344 in a direction away from the first nozzle device 310a so as to correspond to an angle of θ4. While moving the first nozzle device 310a and the first nozzle device 310b from side to side at the same time, the first nozzle device 310a and the first nozzle device 310b respectively have a second pattern 324a and a fifth pattern 324b. When the coating liquid is supplied onto the N-type, the second chamfer 304a and the fifth chamfer 304b supplied with the coating liquid exactly matched with the second pattern 324a and the fifth pattern 324b, respectively, can be obtained. Thereafter, using the same method, the first nozzle device 310a and the first nozzle device 310b respectively move to the third pattern while simultaneously moving the first nozzle device 310a and the first nozzle device 310b from side to side. When the coating liquid is supplied onto the 326a and the sixth pattern 326b, the third chamfer 306a and the sixth chamfers are supplied while the coating liquid is exactly matched with the third pattern 326a and the sixth pattern 326b, respectively. Chamfering 306b can be obtained.

한편, 상술한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 코팅장치(300)가 도 1b에 도시된 경사형 패턴에 적용되는 경우에는, 보상이 요구되는 얼라인 각도 값(θ)이 일정하다. 이 경우, 제 2 얼라인 확인장치 및 제 2 얼라인 확인장치는 각각 얼라인 보상 각도가 θ1 및 θ2(단, θ1+θ2 =θ)임을 확인한다. 그 후, 제 1 노즐장치(310b) 및 제 2 노즐장치(310b)는 각각 제 1 및 제 2 압전 액추에이터에 의해 얼라인 보상 각도인 θ1 및 θ2에 각각 대응하도록 연결부재(344)를 따라 측방향으로 일정한 속도로 서로에 대해 멀어지는 방향으로 이동하면서 제 1 그룹 패턴(322a,324a,326a) 및 제 2 그룹 패턴(322b,324b,326b) 상에 코팅액을 연속적으로 공급할 수 있다(동행 동렬 연속 코팅 방식). 만일, 본 발명의 실시예에 따른 코팅장치(300)가 동열 병렬형 패턴인 경우(즉, 제 1 그룹 패턴 전체와 제 2 패턴 전체 가 허용 가능한 오차범위 내에서 평행한 경우)에 대해 코팅액을 공급하는 경우에는 얼라인 각도의 보상이 불필요하다. 따라서, 제 1 노즐장치(310a) 및 제 2 노즐장치(310b)는 각각 제 1 및 제 2 압전 액추에이터에 의해 연결부재(344)를 따라 동일한 측방향으로 이동하면서 제 1 그룹 패턴(322a,324a,326a) 및 2 그룹 패턴(322b,324b,326b) 상에 코팅액을 연속적으로 공급할 수 있다(동행 동렬 연속 코팅 방식).On the other hand, when the coating apparatus 300 according to another embodiment of the present invention described above is applied to the inclined pattern shown in FIG. 1B, the alignment angle value θ requiring compensation is constant. In this case, the second alignment checker and the second alignment checker confirm that the alignment compensation angles are θ1 and θ2 (where θ1 + θ2 = θ), respectively. Thereafter, the first nozzle device 310b and the second nozzle device 310b are laterally oriented along the connecting member 344 to correspond to the alignment compensation angles θ1 and θ2 by the first and second piezoelectric actuators, respectively. It is possible to continuously supply the coating liquid on the first group pattern (322a, 324a, 326a) and the second group pattern (322b, 324b, 326b) while moving in a direction away from each other at a constant speed (co-constant continuous coating method) ). If the coating apparatus 300 according to the embodiment of the present invention is a co-parallel parallel pattern (that is, the entire first group pattern and the entire second pattern are parallel within an acceptable error range), the coating liquid is supplied. In this case, the compensation of the alignment angle is unnecessary. Accordingly, the first nozzle device 310a and the second nozzle device 310b are moved in the same lateral direction along the connecting member 344 by the first and second piezoelectric actuators, respectively, so that the first group patterns 322a and 324a, 326a) and the coating liquid can be continuously supplied onto the two group patterns 322b, 324b and 326b (co-parallel continuous coating method).

상술한 본 발명의 실시예에 따른 코팅장치(300)를 사용하면, 제 1 및 제 2 노즐장치(310a,310b)가 2열로 제공되는 복수의 패턴 상에 코팅액을 동시에 공급할 수 있으므로 공정시간(tact time)을 상당히 줄일 수 있다. 이러한 공정시간의 단축은 특히, 글라스의 사이즈가 대형화될수록(또는 글라스 상의 면취가 많아질수록) 더욱 현저하게 감소된다.When the coating apparatus 300 according to the embodiment of the present invention is used, the first and second nozzle apparatuses 310a and 310b may simultaneously supply the coating liquid on a plurality of patterns provided in two rows, thus providing a process time (tact). time can be significantly reduced. This shortening of the processing time is particularly markedly reduced as the size of the glass increases (or the chamfering on the glass increases).

또한, 본 발명에 따른 코팅장치(300) 및 이를 구성하는 모든 구성요소들은 일체형 컨트롤러(예를 들어, 마이크로 프로세서)에 의해 제어될 수 있다는 것도 당업자가 충분히 이해할 수 있을 것이다. In addition, it will be understood by those skilled in the art that the coating apparatus 300 according to the present invention and all the components constituting the same may be controlled by an integrated controller (for example, a microprocessor).

상술한 본 발명의 실시예에서는, 대면적 6면취 FPD 글래스 상에 코팅액을 공급하는 경우에 대해 기술하고 있지만, 이는 예시적으로 본 발명의 범위가 이에 제한되는 것은 아니다.In the above-described embodiment of the present invention, the case of supplying the coating liquid on the large-area six-chamfered FPD glass is described, but this is illustratively not limited to the scope of the present invention.

또한, 본 발명 기술 분야의 당업자라면 상술한 본 발명의 실시예가 모두 2개의 제 1 및 제 2 노즐장치(310a,310b)를 구비하는 것을 기술하고 있지만, 본 발명 이 3개 이상의 노즐장치 및 이들 3개 노즐장치의 상대적인 이동을 제어하는 2개 또는 3개의 압전 액추에이터를 구비하는 경우에도 적용되어, 3열 이상의 복수의 패턴 상에 코팅액을 공급하는 경우에도 적용될 수도 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.In addition, although a person skilled in the art of the present invention describes that the above-described embodiment of the present invention includes two first and second nozzle devices 310a and 310b, the present invention includes three or more nozzle devices and these three. It will be appreciated that the present invention may also be applied to the case of providing two or three piezoelectric actuators for controlling the relative movement of the three nozzle apparatuses, and may also be applied to supplying the coating liquid on a plurality of patterns of three or more rows.

다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.As various modifications may be made to the constructions and methods described and illustrated herein without departing from the scope of the invention, it is intended that all matter contained in the above description or shown in the accompanying drawings be exemplary, and not intended to limit the invention. It is not. Therefore, the scope of the present invention should not be limited by the above-described exemplary embodiments, but should be defined only in accordance with the following claims and their equivalents.

도 1a 및 도 1b는 각각 다면취 글래스 상에 복수 패턴이 형성된 상태를 과장되게 도시한 도면이다. 1A and 1B exaggeratedly show a state in which a plurality of patterns are formed on a multi-faceted glass, respectively.

도 2는 종래 기술에 따른 코팅액 공급용 노즐장치 및 이를 구비한 코팅장치의 정단면도가 개략적으로 도시하고 있다. Figure 2 schematically shows a front cross-sectional view of a coating apparatus supply nozzle apparatus and a coating apparatus having the same according to the prior art.

도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 노즐장치 및 이를 구비한 코팅장치의 개략적인 정단면도이다.Figure 3a is a schematic front sectional view of a dual nozzle device and a coating device having the same according to an embodiment of the present invention.

도 3b는 도 3a에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 노즐장치 및 이를 구비한 코팅장치의 개략적인 평면도이다.3B is a schematic plan view of the dual nozzle apparatus and the coating apparatus having the same according to the embodiment of the present invention illustrated in FIG. 3A.

도 3c는 도 3a에 도시된 본 발명의 듀얼 노즐장치 중 좌측 노즐장치(또는 제 1 노즐장치) 및 우측 노즐장치(또는 제 2 노즐장치)를 연결하는 연결부재를 A-A 절단 방향으로 본 단면도를 도시한 도면이다.3C is a cross-sectional view of the connecting member connecting the left nozzle device (or the first nozzle device) and the right nozzle device (or the second nozzle device) of the dual nozzle device of the present invention shown in FIG. 3A in the AA cutting direction. One drawing.

Claims (20)

2열로 배열된 제 1 그룹 패턴 및 제 2 그룹 패턴 상에 각각 코팅액을 동시에 공급하기 위한 듀얼 노즐장치에 있어서,In the dual nozzle device for simultaneously supplying the coating liquid on each of the first group pattern and the second group pattern arranged in two rows, 상기 제 1 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위한 제 1 노즐장치;A first nozzle device for supplying a coating liquid onto the first group pattern; 상기 제 2 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위한 제 2 노즐장치;A second nozzle device for supplying a coating liquid onto the second group pattern; 상기 제 1 노즐장치 및 상기 제 2 노즐장치가 서로에 대해 상대적으로 이동가능하게 장착되는 연결부재; 및 A connecting member on which the first nozzle device and the second nozzle device are mounted to be movable relative to each other; And 상기 제 1 노즐장치 및 상기 제 2 노즐장치 중 어느 하나가 상기 연결부재를 따라 이동하는 것을 제어하는 액추에이터Actuator for controlling any one of the first nozzle device and the second nozzle device to move along the connecting member 를 포함하고,Including, 상기 제 1 노즐장치는 상기 제 1 그룹 패턴과 얼라인된 상태에서 상기 제 1 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하고,The first nozzle device supplies a coating liquid on the first group pattern in an aligned state with the first group pattern, 동시에 상기 제 2 노즐장치는 상기 제 2 그룹 패턴과 얼라인 조정이 요구되는 각도에 대응하도록 상기 액추에이터에 의해 제 1 노즐장치에 대해 접근하거나 멀어지는 방향으로 상기 연결부재를 따라 일정한 속도로 이동하면서 상기 제 2 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하는At the same time, the second nozzle apparatus moves at a constant speed along the connecting member in a direction approaching or away from the first nozzle apparatus by the actuator so as to correspond to the angle required for alignment with the second group pattern. To supply the coating liquid on the two-group pattern 듀얼 노즐장치. Dual nozzle unit. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 2 노즐장치는 상기 제 2 그룹 패턴과 얼라인된 상태에서 상기 제 2 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하고,The second nozzle device supplies a coating solution on the second group pattern in an aligned state with the second group pattern, 동시에 상기 제 1 노즐장치는 상기 제 1 그룹 패턴과 얼라인 조정이 요구되는 각도에 대응하도록 상기 액추에이터에 의해 제 2 노즐장치에 대해 접근하거나 멀어지는 방향으로 상기 연결부재를 따라 일정한 속도로 이동하면서 상기 제 1 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하는At the same time, the first nozzle apparatus moves at a constant speed along the connecting member in a direction approaching or away from the second nozzle apparatus by the actuator so as to correspond to the angle at which the first group pattern and alignment adjustment are required. Supply coating liquid on 1 group pattern 듀얼 노즐장치. Dual nozzle unit. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 액추에이터가 압전 액추에이터(piezoelectric actuator)로 구현되는 듀얼 노즐장치. Dual actuator device wherein the actuator is implemented as a piezoelectric actuator (piezoelectric actuator). 제 1항 또는 제 2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 제 1 그룹 패턴 및 상기 제 1 그룹 패턴이 평판디스플레이(FPD) 상에 형성되는 듀얼 노즐장치. And the first group pattern and the first group pattern are formed on a flat panel display (FPD). 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제 1 그룹 패턴 및 상기 제 1 그룹 패턴이 평판디스플레이(FPD) 상에 형성되는 듀얼 노즐장치. And the first group pattern and the first group pattern are formed on a flat panel display (FPD). 2열로 배열된 제 1 그룹 패턴 및 제 2 그룹 패턴 상에 각각 코팅액을 동시에 공급하기 위한 듀얼 노즐장치에 있어서,In the dual nozzle device for simultaneously supplying the coating liquid on each of the first group pattern and the second group pattern arranged in two rows, 상기 제 1 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위한 제 1 노즐장치; A first nozzle device for supplying a coating liquid onto the first group pattern; 상기 제 2 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위한 제 2 노즐장치;A second nozzle device for supplying a coating liquid onto the second group pattern; 상기 제 1 노즐장치 및 상기 제 2 노즐장치가 서로에 대해 상대적으로 이동가능하게 장착되는 연결부재; A connecting member on which the first nozzle device and the second nozzle device are mounted to be movable relative to each other; 상기 제 1 노즐장치가 상기 연결부재를 따라 이동하는 것을 제어하는 제 1 액추에이터; 및 A first actuator for controlling the first nozzle device to move along the connection member; And 상기 제 2 노즐장치가 상기 연결부재를 따라 이동하는 것을 제어하는 제 2 액추에이터A second actuator for controlling the second nozzle device to move along the connecting member 를 포함하고,Including, 상기 제 1 노즐장치는 상기 제 1 그룹 패턴과 얼라인 조정이 요구되는 제 1 각도에 대응하도록 상기 제 1 액추에이터에 의해 제 2 노즐장치에 대해 접근하거나 멀어지는 방향으로 상기 연결부재를 따라 일정한 속도로 이동하면서 상기 제 1 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하고,The first nozzle apparatus moves at a constant speed along the connecting member in a direction approaching or away from the second nozzle apparatus by the first actuator so as to correspond to the first angle requiring alignment with the first group pattern. While supplying a coating liquid on the first group pattern, 동시에 상기 제 2 노즐장치는 상기 제 2 그룹 패턴과 얼라인 조정이 요구되는 제 2 각도에 대응하도록 상기 제 2 액추에이터에 의해 제 1 노즐장치에 대해 접근하거나 멀어지는 방향으로 상기 연결부재를 따라 일정한 속도로 이동하면서 상기 제 2 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하는 At the same time, the second nozzle apparatus is at a constant speed along the connecting member in a direction approaching or away from the first nozzle apparatus by the second actuator so as to correspond to the second group pattern and the second angle requiring alignment adjustment. While supplying a coating liquid on the second group pattern while moving 듀얼 노즐장치. Dual nozzle unit. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 제 1 액추에이터 및 상기 제 2 액추에이터가 각각 압전 액추에이터(piezoelectric actuator)로 구현되는 듀얼 노즐장치. Dual nozzle device wherein the first actuator and the second actuator is implemented as a piezoelectric actuator (piezoelectric actuator). 제 6항 또는 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 6 to 7, 상기 제 1 그룹 패턴 및 상기 제 1 그룹 패턴이 평판디스플레이(FPD) 상에 형성되는 듀얼 노즐장치. And the first group pattern and the first group pattern are formed on a flat panel display (FPD). 2열로 배열된 제 1 그룹 패턴 및 제 2 그룹 패턴 상에 각각 코팅액을 동시에 공급하기 위한 코팅장치에 있어서,In the coating apparatus for simultaneously supplying the coating liquid on each of the first group pattern and the second group pattern arranged in two rows, 상기 제 1 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위한 제 1 노즐장치;A first nozzle device for supplying a coating liquid onto the first group pattern; 상기 제 2 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위한 제 2 노즐장치;A second nozzle device for supplying a coating liquid onto the second group pattern; 상기 제 1 노즐장치 및 상기 제 2 노즐장치가 서로에 대해 상대적으로 이동가능하게 장착되는 연결부재;A connecting member on which the first nozzle device and the second nozzle device are mounted to be movable relative to each other; 상기 제 1 노즐장치 및 상기 제 2 노즐장치 중 어느 하나가 상기 연결부재를 따라 이동하는 것을 제어하는 액추에이터;An actuator for controlling any one of the first nozzle device and the second nozzle device to move along the connection member; 상기 제 1 및 제 2 노즐장치의 전방에 각각 장착되는 제 1 및 제 2 얼라인 확인장치;First and second alignment checking devices respectively mounted to the front of the first and second nozzle devices; 상기 제 1 및 제 2 노즐장치가 장착되는 수평바를 구비한 갠트리;A gantry having horizontal bars on which the first and second nozzle devices are mounted; 상기 제 1 노즐장치 또는 상기 제 2 노즐장치 중 어느 하나를 상기 수평바 상에서 이동시키는 제 1 이동부재; A first moving member for moving one of the first nozzle device and the second nozzle device on the horizontal bar; 상기 제 1 그룹 패턴 및 제 2 그룹 패턴이 위치되는 스테이지; A stage in which the first group pattern and the second group pattern are located; 상기 스테이지를 지지하며, 상기 스테이지의 회전 방향(θ) 이동을 제어하는 얼라인 조정장치; An alignment adjusting device which supports the stage and controls movement of the stage in a rotational direction (θ); 상기 갠트리, 상기 스테이지, 및 상기 얼라인 조정장치가 위치되는 메인 프레임; 및 A main frame in which the gantry, the stage, and the alignment device are located; And 상기 메인 프레임 상에 제공되며, 상기 갠트리가 이동 가능하게 장착되는 제 2 이동부재A second moving member provided on the main frame and to which the gantry is movable; 를 포함하고,Including, 상기 제 1 얼라인 확인장치 및 상기 얼라인 조정장치가 서로 협력하여 상기 스테이지의 회전 방향을 조정함으로써 상기 제 1 노즐장치와 상기 제 1 그룹 패턴 간의 얼라인을 조정하고, The alignment between the first nozzle device and the first group pattern is adjusted by coordinating the first alignment checking device and the alignment adjusting device with each other to adjust the rotation direction of the stage, 동시에 상기 제 2 얼라인 확인장치를 이용하여 상기 제 2 그룹 패턴과의 얼라인 조정에 각도의 보상이 필요한 경우, 상기 제 2 노즐장치는 상기 제 2 그룹 패턴과 상기 얼라인 조정이 요구되는 각도에 대응하도록 상기 액추에이터에 의해 제 1 노즐장치에 대해 접근하거나 멀어지는 방향으로 상기 연결부재를 따라 일정한 속도로 이동하며,At the same time, when the angle compensation is required for the alignment adjustment with the second group pattern using the second alignment checking device, the second nozzle apparatus is provided at an angle where the alignment adjustment is required with the second group pattern. Correspondingly moving at a constant speed along the connecting member in a direction approaching or away from the first nozzle device by the actuator, 상기 제 1 노즐장치 및 상기 제 2 노즐장치는 각각 상기 제 1 그룹 패턴 및 상기 제 2 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하는 The first nozzle device and the second nozzle device respectively supply a coating liquid on the first group pattern and the second group pattern. 코팅장치.Coating equipment. 제 9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 제 2 얼라인 확인장치 및 상기 얼라인 조정장치가 서로 협력하여 상기 스테이지의 회전 방향을 조정함으로써 상기 제 2 노즐장치와 상기 제 2 그룹 패턴 간의 얼라인을 조정하고,The alignment between the second nozzle device and the second group pattern is adjusted by coordinating the second alignment checking device and the alignment adjusting device with each other to adjust the rotational direction of the stage, 동시에 상기 제 1 얼라인 확인장치를 이용하여 상기 제 1 그룹 패턴과의 얼라인 조정에 각도의 보상이 필요한 경우, 상기 제 1 노즐장치는 상기 제 1 그룹 패턴과 상기 얼라인 조정이 요구되는 각도에 대응하도록 상기 액추에이터에 의해 제 2 노즐장치에 대해 접근하거나 멀어지는 방향으로 상기 연결부재를 따라 일정한 속도로 이동하는At the same time, when an angle compensation is required for the alignment adjustment with the first group pattern using the first alignment checking device, the first nozzle apparatus is provided at an angle where the alignment adjustment with the first group pattern is required. Correspondingly moving at a constant speed along the connecting member in a direction approaching or away from the second nozzle device by the actuator 코팅장치. Coating equipment. 제 9항 또는 제 10항에 있어서,The method according to claim 9 or 10, 상기 액추에이터가 압전 액추에이터(piezoelectric actuator)인 코팅장치. And the actuator is a piezoelectric actuator. 제 9항 또는 제 10항에 있어서,The method according to claim 9 or 10, 상기 제 1 그룹 패턴 및 상기 제 1 그룹 패턴이 평판디스플레이(FPD) 상에 형성되는 코팅장치. And the first group pattern and the first group pattern are formed on a flat panel display (FPD). 제 11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 제 1 그룹 패턴 및 상기 제 1 그룹 패턴이 평판디스플레이(FPD) 상에 형성되는 코팅장치. And the first group pattern and the first group pattern are formed on a flat panel display (FPD). 제 9항 또는 제 10항에 있어서,The method according to claim 9 or 10, 상기 제 1 이동부재는 레일(rail), 홈(groove), 또는 리니어 모션 가이드 중 어느 하나로 구현되고,The first moving member is implemented by any one of a rail, a groove, or a linear motion guide. 상기 제 2 이동부재는 리니어 모션 가이드 또는 서보모터와 볼 스크루로 구성된 액추에이터와 같은 선형 이동 장치인The second moving member is a linear moving device such as a linear motion guide or an actuator composed of a servomotor and a ball screw. 코팅장치.Coating equipment. 제 11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 제 1 이동부재는 각각 레일(rail), 홈(groove), 또는 리니어 모션 가이드 중 어느 하나로 구현되고,The first moving member is implemented by any one of a rail, a groove, or a linear motion guide, 상기 제 2 이동부재는 리니어 모션 가이드 또는 서보모터와 볼 스크루로 구성된 액추에이터와 같은 선형 이동 장치인 The second moving member is a linear moving device such as a linear motion guide or an actuator composed of a servomotor and a ball screw. 코팅장치.Coating equipment. 2열로 배열된 제 1 그룹 패턴 및 제 2 그룹 패턴 상에 각각 코팅액을 동시에 공급하기 위한 코팅장치에 있어서,In the coating apparatus for simultaneously supplying the coating liquid on each of the first group pattern and the second group pattern arranged in two rows, 상기 제 1 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위한 제 1 노즐장치;A first nozzle device for supplying a coating liquid onto the first group pattern; 상기 제 2 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하기 위한 제 2 노즐장치;A second nozzle device for supplying a coating liquid onto the second group pattern; 상기 제 1 노즐장치 및 상기 제 2 노즐장치가 서로에 대해 상대적으로 이동가능하게 장착되는 연결부재;A connecting member on which the first nozzle device and the second nozzle device are mounted to be movable relative to each other; 상기 제 1 노즐장치가 상기 연결부재를 따라 이동하는 것을 제어하는 제 1 액추에이터;A first actuator for controlling the first nozzle device to move along the connection member; 상기 제 2 노즐장치가 상기 연결부재를 따라 이동하는 것을 제어하는 제 2 액추에이터;A second actuator for controlling the second nozzle device to move along the connection member; 상기 제 1 및 제 2 노즐장치의 전방에 각각 장착되는 제 1 및 제 2 얼라인 확인장치;First and second alignment checking devices respectively mounted to the front of the first and second nozzle devices; 상기 제 1 및 제 2 노즐장치가 장착되는 수평바를 구비한 갠트리;A gantry having horizontal bars on which the first and second nozzle devices are mounted; 상기 제 1 노즐장치 및 상기 제 2 노즐장치를 상기 수평바 상에서 각각 이동시키는 제 1 이동부재 및 제 2 이동부재;A first moving member and a second moving member for moving the first nozzle device and the second nozzle device on the horizontal bar, respectively; 상기 제 1 그룹 패턴 및 제 2 그룹 패턴이 위치되는 스테이지;A stage in which the first group pattern and the second group pattern are located; 상기 스테이지를 지지하는 지지부재;A support member for supporting the stage; 상기 갠트리, 상기 스테이지, 및 상기 지지부재가 위치되는 메인 프레임; 및 A main frame in which the gantry, the stage, and the support member are located; And 상기 메인 프레임 상에 제공되며, 상기 갠트리가 이동 가능하게 장착되는 제 3 이동부재A third moving member provided on the main frame and to which the gantry is movably mounted; 를 포함하고,Including, 상기 제 1 얼라인 확인장치 및 상기 제 2 얼라인 확인장치는 각각 상기 제 1 노즐장치와 상기 제 1 그룹 패턴 간의 얼라인 조정이 요구되는 제 1 각도 및 상기 제 2 노즐장치와 상기 제 2 그룹 패턴 간의 얼라인 조정이 요구되는 제 2 각도를 확인하고, Each of the first alignment checking device and the second alignment checking device may include a first angle and alignment of the first nozzle device and the first group pattern, and the second nozzle device and the second group pattern, respectively. Confirm the second angle where the alignment of the liver is required, 상기 제 1 노즐장치는 상기 제 1 각도에 대응하도록 상기 제 1 액추에이터에 의해 상기 제 2 노즐장치에 대해 접근하거나 멀어지는 방향으로 상기 연결부재를 따라 일정한 제 1 속도로 이동하면서 상기 제 1 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하고,The first nozzle device moves on the first group pattern while moving at a constant first speed along the connection member in a direction approaching or away from the second nozzle device by the first actuator so as to correspond to the first angle. Supply the coating liquid, 동시에 상기 제 2 노즐장치는 상기 제 2 각도에 대응하도록 상기 제 2 액추에이터에 의해 상기 제 1 노즐장치에 대해 접근하거나 멀어지는 방향으로 상기 연결부재를 따라 일정한 제 2 속도로 이동하면서 상기 제 2 그룹 패턴 상에 코팅액을 공급하는 At the same time, the second nozzle device moves on the second group pattern while moving at a constant second speed along the connecting member in a direction approaching or away from the first nozzle device by the second actuator so as to correspond to the second angle. To supply coating liquid to 코팅장치. Coating equipment. 제 16항에 있어서,The method of claim 16, 상기 제 1 액추에이터 및 상기 제 2 액추에이터가 각각 압전 액추에이터(piezoelectric actuator)로 구현되는 코팅장치. Coating device wherein the first actuator and the second actuator is implemented as a piezoelectric actuator, respectively. 제 16항 또는 제 17항에 있어서, The method according to claim 16 or 17, 상기 제 1 그룹 패턴 및 상기 제 1 그룹 패턴이 평판디스플레이(FPD) 상에 형성되는 코팅장치. And the first group pattern and the first group pattern are formed on a flat panel display (FPD). 제 16항 또는 제 17항에 있어서, The method according to claim 16 or 17, 상기 제 1 이동부재 및 상기 제 2 이동부재는 각각 레일(rail), 홈(groove), 또는 리니어 모션 가이드 중 어느 하나로 구현되고,The first moving member and the second moving member are each implemented by any one of a rail, a groove, or a linear motion guide. 상기 제 3 이동부재는 리니어 모션 가이드 또는 서보모터와 볼 스크루로 구성된 액추에이터와 같은 선형 이동 장치인 The third moving member is a linear moving device such as a linear motion guide or an actuator composed of a servomotor and a ball screw. 코팅장치.Coating equipment. 제 18항에 있어서,The method of claim 18, 상기 제 1 이동부재 및 상기 제 2 이동부재는 각각 레일(rail), 홈(groove), 또는 리니어 모션 가이드 중 어느 하나로 구현되고,The first moving member and the second moving member are each implemented by any one of a rail, a groove, or a linear motion guide. 상기 제 3 이동부재는 리니어 모션 가이드 또는 서보모터와 볼 스크루로 구성된 액추에이터와 같은 선형 이동 장치인 The third moving member is a linear moving device such as a linear motion guide or an actuator composed of a servomotor and a ball screw. 코팅장치.Coating equipment.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101309269B1 (en) 2011-07-21 2013-09-16 주식회사 나래나노텍 Improved Coating Apparatus and Coating Method
KR102084941B1 (en) 2019-12-11 2020-03-05 김종현 Method for Setting Coating Motion Conditions in Coating Motion of Coating Apparatus, and A Coating Apparatus Using the Same

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5969175A (en) 1982-10-15 1984-04-19 Nordson Kk Coating method with solvent type adhesive
JPH10113602A (en) 1996-10-14 1998-05-06 Kansai Paint Co Ltd Spray coating method
JPH11221503A (en) 1998-02-10 1999-08-17 Sekisui Chem Co Ltd Coater
KR20010083097A (en) * 1998-07-08 2001-08-31 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 Plasma display panel production method suitable for producing high-image-quality plasma display panel, production device and fluorescent ink

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5969175A (en) 1982-10-15 1984-04-19 Nordson Kk Coating method with solvent type adhesive
JPH10113602A (en) 1996-10-14 1998-05-06 Kansai Paint Co Ltd Spray coating method
JPH11221503A (en) 1998-02-10 1999-08-17 Sekisui Chem Co Ltd Coater
KR20010083097A (en) * 1998-07-08 2001-08-31 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 Plasma display panel production method suitable for producing high-image-quality plasma display panel, production device and fluorescent ink

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101309269B1 (en) 2011-07-21 2013-09-16 주식회사 나래나노텍 Improved Coating Apparatus and Coating Method
KR102084941B1 (en) 2019-12-11 2020-03-05 김종현 Method for Setting Coating Motion Conditions in Coating Motion of Coating Apparatus, and A Coating Apparatus Using the Same

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