KR100848928B1

KR100848928B1 - 액처리장치 및 액처리방법

Info

Publication number: KR100848928B1
Application number: KR1020020038676A
Authority: KR
Inventors: 사다테츠야; 미야자키카즈히토
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2001-07-05
Filing date: 2002-07-04
Publication date: 2008-07-29
Also published as: TWI226077B; CN1407378A; JP2008219043A; CN100402163C; KR20030005029A; JP4643684B2

Abstract

본 발명은 액처리장치 및 액처리방법에 관한 것으로, 현상처리유닛(DEV, 24)은, LCD기판(G)을 대략 수평자세로 한쪽 방향향으로 반송하는 코로반송기구(14)와, LCD기판(G)에 현상액을 토출하는 주현상액토출노즐(51a) 및 부현상액토출노즐(51b)과, 주·부현상액토출노즐(51a ·51b)을 LCD기판(G)상에서 스캔시키는 노즐이동기구(60a)를 구비한다. 노즐이동기구(60a)를 구동하여 주·부현상액토출노즐(51a ·51b)을 LCD기판(G) 상에서 스캔시키면서, 주·부현상액토출노즐(51a ·51b)에서 현상액을 LCD기판(G)으로 토출하므로써, 현상액의 제거시간을 단축하여 LCD기판(G)전체적으로 균일한 현상처리를 하는 기술이 제시된다.

Description

액처리장치 및 액처리방법{LIQUID PROCESSING APPARATUS AND LIQUID PROCESSING METHOD}

도 1 은 본 발명에 관한 현상처리유닛을 구비하는 레지스트도포 ·현상처리시스템의 개략적인 평면도이다.

도 2 는 도 1에 도시하는 레지스트도포 ·현상처리시스템의 제 1 열적처리유닛 섹션을 도시하는 측면도이다.

도 3 은 도 1에 도시하는 레지스트도포 ·현상처리시스템의 제 2 열적처리유닛 섹션을 도시하는 측면도이다.

도 4 는 도 1에 도시하는 레지스트도포 ·현상처리시스템의 제 3 열적처리유닛 섹션을 도시하는 측면도이다.

도 5 는 본 발명에 관한 현상처리유닛의 개략적인 측면도이다.

도 6 은 도 5에 도시하는 현상처리유닛의 개략적인 평면도이다.

도 7 은 도 5에 도시하는 현상처리유닛이 갖는 제 1 현상액공급존의 구조를 LCD기판의 반송방향 상류쪽에서 본 정면도이다.

도 8 은 도 5에 도시하는 현상처리유닛의 제 1 현상액공급존에 배치된 주현상액토출노즐 구조를 도시하는 사시도이다.

도 9A 는 도 5에 도시하는 주현상액토출노즐과 부현상액토출노즐의 배치형태 를 도시하는 측면도이다.

도 9B 는 도 5에 도시하는 주현상액토출노즐과 부현상액토출노즐에 의한 현상액 도포형태를 도시하는 측면도이다.

도 10 은 현상처리공정의 개략을 도시하는 플로차트이다.

도 11 은 주현상액토출노즐과 부현상액토출노즐의 스캔형태를 도시하는 설명도이다.

도 12A 는 주현상액토출노즐 및 부현상액토출노즐의 스캔속도와 얻어지는 현상패턴의 선폭균일성 관계를 도시하는 설명도이다.

도 12B 는 주현상액토출노즐 및 부현상액토출노즐에 의한 액의 방울수와 얻어지는 현상패턴의 선폭관계를 도시하는 설명도이다.

도 12C 는 주현상액토출노즐 및 부현상액토출노즐에 의한 액의 방울수와 얻어지는 현상패턴의 선폭균일성 관계를 도시하는 설명도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1 : 카세트스테이션 2 : 처리스테이션

3 : 인터페이스스테이션 14 : 코로반송기구

17 : 코로 24 : 현상처리유닛(DEV)

24a : 도입존 24b : 제 1 현상액공급존

24c : 제 2 현상액공급존 24d : 현상액제거존

24e : 린스존 24f : 건조존

51a : 주현상액토출노즐 51b : 부현상액토출노즐

51c : 현상액보충노즐 52 : 린스액토출노즐

53 : 린스노즐 54 : 에어노즐(에어나이프)

55 : 노즐고정부재 56 : 노즐유지부재

57 : 승강장치 58 : 아치형암

59a : 가이드레일 60 : 현상액공급기구

60a : 노즐이동기구 G : LCD기판

100 : 레지스트도포 ·현상처리시스템(처리장치)

본 발명은, 예를 들면 액정표시장치(LCD)에 이용되는 유리기판 등의 기판에 대해 현상처리 등의 액처리를 하는 액처리장치와 액처리방법에 관한 것이다.

LCD 제조에 있어서는 LCD유리기판(이하, 「LCD기판」이라 한다.)에 레지스트막을 형성한 후에, 소정의 회로패턴에서 이 레지스트막을 노광하고, 또 이것을 현상처리하는, 소위 포토리소그래피기술을 이용하여 LCD기판에 회로패턴을 형성하고 있다. 여기에서 현상처리에 관해서는 JP11-87210A에 수평자세로 반송되는 기판 표면에 현상액을 도포하고 기판상에 패들을 형성하여, 소정시간 유지하므로써 현상반응을 진행하는 방법 및 장치가 개시되어 있다.

그러나, 최근, LCD기판은 대형와의 요구가 강하며 한쪽 변이 1m나 되는 거대한 것까지 출현하기에 이르렀다. 이러한 대형 LCD기판을 수평자세로 반송하면서 LCD기판의 표면에 현상액을 도포한 경우에는 현상액이 처음에 도포된 부분과 처음에 도포된 부분에서는 현상액에 접하고 있는 시간차가 커지고, 이것에 의해 현상반응의 진행에 얼룩이 생겨 LCD기판 전체적으로 균일한 현상패턴을 얻기어려워진다.

LCD기판의 반송속도를 빠르게 하므로써 현상액을 단시간에 도포할 수 있지만, LCD기판의 반송속도를 빠르게 하면, 현상반응에 필요한 시간내에 LCD기판을 같은 속도로 반송하기 때문에 LCD기판을 반송하는 거리를 길게 할 필요가 있고 이에 의해 장치의 풋프린트가 넓어지는 새로운 문제가 발생한다. LCD기판의 반송거리를 짧게 하기 위해서는 현상액의 패들이 형성된 LCD기판을 급정지시키지 않으면 안되고, 이 경우에는 LCD기판상의 현상액이 가속도에 의해 흘러넘쳐버려서 현상반응을 충분히 진행할 수 없게 된다. 게다가 LCD기판을 급정지시키므로써 LCD기판에 큰 부하가 걸리게 되므로 LCD기판이 파손될 우려가 생긴다.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 장치의 풋프린트를 크게 하는 일 없이 대형 기판이라도 기판 전체적으로 균일한 액처리를 할 수 있는 액처리장치와 액처리방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제 1 관점에 따르면, 기판을 대략 수평자세에서 한쪽 방향으로 반송하는 반송기구와,

상기 반송기구에 의해 반송되는 기판의 표면에 처리액을 토출하는 처리액토출노즐과,

상기 처리액토출노즐을 상기 기판상에 있어서 소정 속도로 이동시키는 노즐 이동기구를 구비하고,

상기 노즐이동기구에 의해 상기 처리액토출노즐을 이동시키면서 상기 처리액토출노즐에서 상기 처리액을 토출시켜서 상기 기판에 상기 처리액을 도포하는 액처리장치가 제공된다.

본 발명의 제 2 관점에 따르면, 기판을 대략 수평자세로 하여 액처리하는 액처리영역으로 반송하는 공정과,

상기 액처리영역에 있어서, 상기 기판의 반송을 정지하고 또는 상기 기판의 반송속도를 상기 액처리영역에의 기판반송속도보다도 느리게 하는 공정과,

상기 기판에 처리액을 도포하는 처리액토출노즐을 상기 기판상으로 수평이동시키면서 상기 처리액토출노즐에서 상기 기판상에 상기 처리액을 토출시켜서 상기 기판에 상기 처리액을 도포하는 공정을 갖는 액처리방법이 제공된다.

본 발명의 제 3 관점에 따르면, 노광처리가 실시된 기판에 대해 현상처리를 실시하는 액처리장치로서,

기판을 대략 수평자세로 한 방향으로 반송하는 반송기구와,

상기 반송기구에 의해 반송되는 기판의 표면에 현상액을 토출하는 현상액토출노즐과,

상기 현상액토출노즐을 상기 기판상에 있어서 상기 기판의 반송방향과 반대방향으로 소정속도로 이동시키는 노즐이동기구를 구비하고,

상기 노즐이동기구에 의해 상기 현상액토출노즐을 이동시키면서 상기 현상액토출노즐에서 상기 현상액을 토출시켜서 상기 기판에 상기 현상액을 도포하는 액처 리장치가 제공된다.

본 발명의 제 4 관점에 따르면, 노광처리가 실시된 기판의 현상처리를 하는 액처리방법으로,

기판을 대략 수평자세로 현상액도포를 하는 현상액도포영역으로 반송하는 공정과,

상기 현상액도포영역에 있어서, 상기 기판의 반송을 정지하고 또는 상기 기판의 반송속도를 상기 현상액도포영역에의 기판반송속도보다도 느리게 하는 공정과,

상기 기판에 현상액을 도포하는 현상액토출노즐을 상기 기판상에서 수평이동시키면서 상기 현상액토출노즐에서 상기 현상액을 토출시켜서 상기 기판상에 상기 현상액을 떨어뜨리는 공정과,

상기 현상액이 떨어진 기판을 상기 현상액을 제거하는 제거처리영역으로 반송하는 공정을 갖는 액처리방법이 제공된다.

상기 본 발명의 제 1에서 제 4 관점에 의한 액처리장치와 액처리방법에 따르면, 처리액토출노즐을 소정 속도로 이동시키므로써 기판상에 단시간에 처리액을 도포할 수 있다. 이에 의해 기판 전체적으로 균일한 액처리를 할 수 있게 된다. 또한, 처리액이 도포된 기판을 고속으로 반송할 필요가 없으므로 기판을 급정지시킬 필요도 없고, 이에 의해 기판상에서 처리액이 흘러넘쳐 현상반응이 진행되지 않게 되거나, 급정지에 의한 응력에 의해 기판에 찌그러짐이 생기거나, 기판이 오버랜되어 파손되는 등의 문제도 발생되지 않는다. 더우기 기판의 반송에 요구되는 스 페이스는 종래와 동등하면 되므로 장치의 풋프린트 증대가 억제된다.

이하, 본 발명의 구성 및 작용에 관해 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 여기에서 본 실시예에 있어서는 본 발명을 노광처리가 실시된 LCD기판의 현상처리를 하는 현상처리유닛(DEV)에 적용한 경우를 예로 하여 설명하기로 한다. 도 1은 본 발명의 하나의 실시예인 현상처리유닛(DEV)을 구비하고 레지스트막의 형성에서 현상까지의 처리를 연속적으로 행하는 레지스트도포·현상처리시스템(100)의 개략적인 구성을 도시하는 평면도이다.

이 레지스트도포 ·현상처리시스템(100)은 복수의 LCD기판(G)을 수용하는 카세트(C)를 재치하는 카세트스테이션(반입출부, 1)과, LCD기판(G)에 레지스트도포 및 현상을 포함하는 일련의 처리를 실시하기 위한 복수의 처리유닛을 구비한 처리스테이션(처리부, 2)과, 노광장치(4) 사이에서 LCD기판(G)의 인수인계를 하기 위한 인터페이스스테이션(인터페이스부, 3)을 구비하고 있고 처리스테이션(2)의 양 단부에 각각 카세트스테이션(1) 및 인터페이스스테이션(3)이 배치되어 있다. 또한 도 1에 있어서, 레지스트도포 ·현상처리시스템(100)의 길이방향을 X방향, 평면상에 있어서 X방향과 직교하는 방향을 Y방향으로 한다.

카세트스테이션(1)은 카세트(C)를 Y방향으로 세워서 재치할 수 있는 재치대(9), 처리스테이션(2)과의 사이에 LCD기판(G)의 반입출을 행하기 위한 반송장치(11)를 구비하고 있고, 이 재치대(9)와 외부 사이에 카세트(C)의 반송이 이루어진다. 또, 반송장치(11)는 반송암(11a)을 갖고, 카세트(C)의 배열방향인 Y방향을 따라 설치된 반송로(10) 상을 이동가능하며 반송암(11a)에 의해 카세트(C)와 처리스테이션(2) 사이에서 LCD기판(G)의 반입출이 이루어진다.

처리스테이션(2)은 기본적으로 X방향으로 늘어나는 LCD기판(G) 반송용의 평행한 2열의 반송라인(A, B)을 갖고 있고, 반송라인(A)을 따라 카세트스테이션(1)쪽에서 인터페이스스테이션(3)을 향해 스크럽세정처리유닛(SCR, 21)과, 제 1 열적처리유닛섹션(26)과, 레지스트처리유닛(23) 및 제 2 열적처리유닛섹션(27)이 배열되어 있다. 또, 반송라인(B)을 따라 인터페이스스테이션(3)쪽에서 카세트스테이션(1)을 향해 제 2 열적처리유닛섹션(27)과, 현상처리유닛(DEV, 24)과, i선UV조사유닛(i-UV, 25) 및 제 3 열적처리유닛섹션(28)이 배열되어 있다. 스크럽세정처리유닛(SCR, 21) 위의 일부에는 엑시머UV조사유닛(e-UV, 22)이 설치되어 있다. 또한, 엑시머UV조사유닛(e-UV, 22)은 스크럽세정에 앞서 LCD기판(G)의 유기물을 제거하기 위해 설치되고 i선UV조사유닛(i-UV, 25)은 현상의 탈색처리를 하기 위해 설치된다.

스크럽세정처리유닛(SCR, 21)은 그 중에서 LCD기판(G)이 대략 수평자세로 반송되면서 세정처리 및 건조처리가 이루어지도록 되어 있다. 현상처리유닛(DEV, 24)도 나중에 상세하게 설명하겠지만, LCD기판(G)이 대략 수평으로 반송되면서 현상액도포, 현상후의 현상액세정, 및 건조처리가 이루어지도록 되어 있다. 이들 스크럽세정처리유닛(SCR, 21) 및 현상처리유닛(DEV, 24)에서는 LCD기판(G)의 반송은 코로반송 또는 벨트반송에 의해 이루어지고, LCD기판(G)의 반입구 및 반출구는 상대를 향하는 짧은 변에 설치되어 있다. 또한, i선 UV조사유닛(i-UV, 25)으로 LCD기판(G)을 반송하는 것은 현상처리유닛(DEV, 24)의 반송기구와 동일한 기구에 의해 연속적으로이루어진다.

레지스트처리유닛(23)에는 대략 수평으로 유지된 LCD기판(G)에 레지스트액을 떨어뜨려서 LCD기판(G)을 소정 회전수로 회전시키므로써 레지스트액을 LCD기판(G)전체에 퍼뜨리고, 레지스트막을 형성하는 레지스트도포처리장치(CT, 23a), LCD기판(G)상에 형성된 레지스트막을 감압건조하는 감압건조장치(VD, 23b)와, LCD기판(G)의 4변을 스캔가능한 용제토출헤드에 의해 LCD기판(G)의 주연에 부착한 여분의 레지스트를 제거하는 주연레지스트제거장치(ER, 23c)가 그 순서대로 배치되어 있다. 레지스트처리유닛(23) 내에서는 이들 레지스트도포처리장치(CT, 23a)와, 감압건조장치(VD, 23b)와, 주연레지스트제거장치(ER, 23c)의 사이에서 LCD기판(G)을 반송하는 반송암이 설치되어 있다.

제 1 열적처리유닛섹션(26)은 LCD기판(G)에 열적처리를 실시하는 열적처리유닛이 적층되어 구성된 2개의 열적처리유닛블럭(TB, 31 ·32)을 갖고 있고, 열적처리유닛블럭(TB, 31)은 스크럽세정처리유닛(SCR, 21)쪽으로 설치되고 열적처리유닛블럭(TB, 32)은 레지스트처리유닛(23)쪽으로 설치되어 있다. 이들 2개의 열적ㅊ리유닛블럭(TB, 31 ·32) 사이에 제 1 반송장치(33)가 설치되어 있다.

도 2의 제 1 열적처리유닛섹션(26)의 측면도에 도시하는 것과 같이 열적처리유닛블럭(TB, 31)은 아래에서 순서대로 LCD기판(G)의 인수인계를 하는 패스유닛(PASS, 61)과, LCD기판(G)에 대해 탈수베이크처리를 하는 2개의 탈수베이크유닛(DHP, 62 ·63)과, LCD기판(G)에 대해 소수화처리를 실시하는 부착처리유닛(AD, 64)이 4단으로 적층된 구성을 갖고 있으며, 또 열적처리유닛블럭(TB, 32)은 아래에서 순서대로 LCD기판(G)의 인수인계를 하는 패스유닛(PASS, 65)과, LCD기판(G)을 냉각하는 2개의 쿨링유닛(COL, 66 ·67)과, LCD기판(G)에 대해 소수화처리를 실시하는 부착처리유닛(AD, 68)이 4단으로 적층된 구성을 갖고 있다.

제 1 반송장치(33)는 패스유닛(PASS, 61)을 통한 스크럽세정처리유닛(SCR, 21)으로부터의 LCD기판(G) 수취, 상기 열적처리유닛간의 LCD기판(G) 반입출, 및 패스유닛(PASS, 65)을 통한 레지스트처리유닛(23)에의 LCD기판(G) 인수인계를 한다.

제 1 반송장치(33)는 상하로 늘어나는 가이드레일(91)과, 가이드레일(91)을 따라 승강하는 상강부재(92)와, 승강부재(92)위를 선회가능하게 설치된 베이스부재(93)와, 베이스부재(93)위를 전진후퇴가능하도록 설치되고, LCD기판(G)을 유지하는 기판유지암(94)을 갖고 있다. 그리고 승강부재(92)의 승강은 모터(95)에 의해 이루어지고 베이스부재(93)의 선회는 모터(96)에 의해 이루어지며, 기판유지암(94)의 전후이동은 모터(97)에 의해 이루어진다. 이렇게 제 1 반송장치(33)는 상하이동, 전후이동, 선회이동가능하며, 열적처리유닛블럭(TB, 31 ·32) 중 어느 하나의 유닛에도 액세스할 수 있다.

제 2 열적처리유닛섹션(27)은, LCD기판(G)에 열적처리를 실시하는 열적처리유닛이 적층되어 이루어진 2개의 열적처리유닛블럭(TB, 34 ·35)을 갖고 있고, 열적처리유닛블럭(TB, 34)은 레지스트처리유닛(23)쪽으로 설치되며, 열적처리유닛블럭(TB, 35)은 현상처리유닛(DEV, 24)쪽으로 설치되어 있다. 그리고 이들 2개의 열 적처리유닛블럭(TB, 34 ·35) 사이에 제 2 반송장치(36)가 설치되어 있다.

도 3의 제 2 열적처리유닛섹션(27)의 측면도에 도시하는 것과 같이, 열적처리유닛블럭(TB, 34)은 아래에서 순서대로 LCD기판(G)의 인수인계를 하는 패스유닛(PASS, 69)과 LCD기판(G)에 대해 프리베이크처리를 하는 3개의 프리베이크유닛(PREBAKE, 70 ·71 ·72)이 4단으로 적층된 구성으로 되어 있고, 열적처리유닛블럭(TB, 35)은 아래에서 순서대로 인수인계를 하는 패스유닛(PASS, 73)과, LCD기판(G)을 냉각하는 쿨링유닛(COL, 74)과, LCD기판(G)에 대해 프리베이크처리를 하는 2개의 프리베이크유닛(PREBAKE, 75 ·76)이 4단으로 적층된 구성으로 되어 있다.

제 2 반송장치(36)는 패스유닛(PASS, 69)을 통한 레지스트처리유닛(23)으로부터의 LCD기판(G) 수취, 상기 열적처리유닛간의 LCD기판(G)의 반입출, 패스유닛(PASS, 73)을 통한 현상처리유닛(DEV, 24)으로 LCD기판(G)의 인수인계, 및 후술하는 인터페이스스테이션(3)의 기판인수인계부인 익스텐션 ·쿨링스테이지(EXT ·COL, 44)에 대한 LCD기판(G)의 인수인계 및 수취를 행한다. 또한, 제 2 반송장치(36)는 제 1 반송장치(33)와 동일한 구조를 갖고 있고 열적처리유닛블럭(TB, 34 ·35) 중 어느 쪽 유닛에도 액세스가능하다.

제 3 열적처리유닛섹션(28)은 LCD기판(G)에 열적처리를 실시하는 열적처리유닛이 적층되어 구성된 2개의 열적처리유닛블럭(TB, 37 ·38)을 갖고 있고, 열적처리유닛블럭(TB, 37)은 현상처리유닛(DEV, 24)쪽에 설치되며, 열적처리유닛블럭(TB, 38)은 카세트스테이션(1)쪽에 설치되어 있다. 그리고 이들 2개의 열적처리유닛블럭(TB, 37 ·38)간에 제 3 반송장치(39)가 설치되어 있다.

도 4의 제 3 열적처리유닛섹션(28)의 측면도에 도시하는 것과 같이, 열적처리유닛(TB, 37)은 아래에서 순서대로 LCD기판(G)의 인수인계를 하는 패스유닛(PASS, 77)과, LCD기판(G)에 대해 포스트베이크처리를 하는 3개의 포스트베이크유닛(POBAKE, 78 ·79 ·80)이 4단으로 적층된 구성을 갖고 있다. 또, 열적처리유닛블럭(TB, 38)은 아래에서 순서대로 포스트베이크유닛(POBAKE, 81)과, LCD기판(G)의 인수인계 및 냉각을 하는 패스 ·쿨링유닛(PASS ·COL, 82)과, LCD기판(G)에 대해 포스트베이크처리를 하는 2개의 포스트베이크유닛(POBAKE, 83 ·84)이 4단으로 적층된 구성을 갖고 있다.

제 3 반송장치(39)는 패스유닛(PASS, 77)을 통한 i선UV조사유닛(i-UV, 25)으로부터의 LCD기판(G) 수취, 상기 열적처리유닛간의 LCD기판(G) 반입출, 패스 ·쿨링유닛(PASS ·COL, 82)을 통한 카세트스테이션(1)에의 LCD기판(G) 인수인계를 행한다. 또한 제 3 반송장치(39)도 제 1 반송장치(33)와 동일 구조를 갖고 있고 열적처리유닛블럭(TB, 37 ·38)중 어떤 유닛에도 액세스가능하다.

처리스테이션(2)에서는 이상과 같이 2열의 반송라인(A ·B)을 구성하도록 또한 기본적으로 처리 순서가 되도록 각 처리유닛 및 반송장치가 배치되어 있고, 이들 반송라인(A ·B)간에는 공간(40)이 설치되어 있다. 그리고, 이 공간(40)을 왕복운동가능하도록 셔틀(기판재치부재, 41)이 설치되어 있다. 이 셔틀(41)은 LCD기판(G)을 유지가능하게 구성되어 있고, 셔틀(41)을 통해 반송라인(A ·B)간에서 LCD기판(G)의 인수인계가 이루어진다. 셔틀(41)에 대한 LCD기판(G)의 인수인계는 상기 제 1 에서 제 3 반송장치(33 ·36 ·39)에 의해 이루어진다.

인터페이스스테이션(3)은 처리스테이션(2)과 노광장치(4)간에서 LCD기판(G)의 반입출을 하는 반송장치(42)와, 버퍼카세트를 배치하는 버퍼스테이지(BUF, 43)와, 냉각기능을 구비한 기판인수인계부인 익스텐션 ·쿨링스테이지(EXT ·COL, 44)를 구비하고 있고, 타이틀러(TITLER)와 주변노광장치(EE)가 상하로 적층된 외부장치블럭(45)이 반송장치(42)에 인접설치되어 있다. 반송장치(42)는 반송암(42a)을 갖고, 이 반송암(42a)에 의해 처리스테이션(2)과 노광장치(4) 사이에서 LCD기판(G)의 반입출이 이루어진다.

이렇게 구성된 레지스트도포 ·현상처리시스템(100)에 있어서는 우선 카세트스테이션(1)의 재치대(9)에 배치된 카세트(C)내의 LCD기판(G)이 반송장치(11)에 의해 처리스테이션(2)의 엑시머UV조사유닛(e-UV, 22)에 직접 반입되고 스크럽하기 전에 처리가 이루어진다. 이어서 반송장치(11)에 의해 LCD기판(G)이 스크럽세정처리유닛(SCR, 21)으로 반입되고 스크럽세정된다. 스크럽세정처리후, LCD기판(G)은 코로반송에 의해 제 1 열적처리유닛섹션(26)에 속하는 열적처리유닛블럭(TB, 31)의 패스유닛(PASS, 61)로 반출된다.

패스유닛(PASS, 61)에 배치된 LCD기판(G)은 처음에 열적처리유닛블럭(TB, 31)의 탈수베이크유닛(DHP, 62 ·63) 중 어느 하나로 반송되어 가열처리되고 이어서 열적처리유닛블럭(TB, 32)의 쿨링유닛(COL, 66 ·67)중 어느 하나로 반송되어 냉각된 후, 레지스트의 정착성을 높이기 위해 열적처리유닛블럭(TB, 31)의 부착처리유닛(AD, 64) 및 열적처리유닛블럭(TB, 32)의 부착처리유닛(AD, 68) 중 어느 하나로 반송되며 거기에서 HMDS에 의해 부착처리(소수화처리)된다. 그 후, LCD기판(G)은 쿨링유닛(COL, 66 ·67) 중 어느 하나로 반송되어 냉각되고, 또 열적처리유닛블럭(TB, 32)의 패스유닛(PASS, 65)으로 반송된다. 이러한 일련의 처리를 할 때의 LCD기판(G) 반송처리는 전부 제 1 반송장치(33)에 의해 이루어진다.

패스유닛(PASS, 65)에 배치된 LCD기판(G)은 레지스트처리유닛(23)의 반송암에 의해 레지스트처리유닛(23) 내로 반입된다. LCD기판(G)은 레지스트도포처리장치(CT, 23a)에 있어서 레지스트액이 스핀도포된 후에 감압건조장치(VD, 23b)로 반송되어 감압건조되고, 또 주연레지스트제거장치(ER, 23c)로 반송되어 LCD기판(G) 주연의 여분의 레지스트가 제거된다. 그리고 주연레지스트제거종료 후, LCD기판(G)은 반송암에 의해 레지스트처리유닛(23)으로부터, 제 2 열적처리유닛섹션(27)에 속하는 열적처리유닛블럭(TB, 34)의 패스유닛(PASS, 69)으로 인도된다.

패스유닛(PASS, 69)에 배치된 LCD기판(G)은 제 2 반송장치(36)에 의해, 열적처리유닛블럭(TB, 34)의 프리베이크유닛(PREBAKE, 70 ·71 ·72) 및 열적처리유닛블럭(TB, 35)의 프리베이크유닛(PREBAKE, 75 ·76) 중 어느 하나로 반송되어 프리베이크처리되고, 그 후 열적처리유닛블럭(TB, 35)의 쿨링유닛(COL, 74)으로 반송되어 소정온도로 냉각된다. 그리고, 제 2 반송장치(36)에 의해 열적처리유닛블럭(TB, 35)의 패스유닛(PASS, 73)으로 반송된다.

그 후, LCD기판(G)은 제 2 반송장치(36)에 의해 인터페이스스테이션(3)의 익스텐션 ·쿨링스테이지(EXT ·COL, 44)로 반송되고 인터페이스스테이션(3)의 반송장치(42)에 의해 외부장치블럭(45)의 주변노광장치(EE)로 반송되며 주변레지스트제 거를 위한 노광이 이루어지고 이어서 반송장치(42)에 의해 노광장치(4)로 반송되어 거기에서 LCD기판(G)상의 레지스트막이 노광되어 소정의 패턴이 형성된다. 경우에 따라서는 버퍼스테이지(BUF, 43)상의 버퍼카세트에 LCD기판(G)을 수용하고나서 노광장치(4)로 반송된다.

노광종료 후, LCD기판(G)은 인터페이스스테이션(3)의 반송장치(42)에 의해 외부장치블럭(45)의 상단 타이틀러(TITLER)로 반입되고 LCD기판(G)에 소정의 정보가 기재된 뒤, 익스텐션 ·쿨링스테이지(EXT ·COL, 44)에 재치된다. LCD기판(G)은 제 2 반송장치(36)에 의해 익스텐션 ·쿨링스테이지(EXT ·COL, 44)에서 제 2 열적처리유닛섹션(27)에 속하는 열적처리유닛블럭(TB, 35)의 패스유닛(PASS, 73)으로 반송된다.

패스유닛(PASS, 73)에서 현상처리유닛(DEV, 24)까지 연장되어 있는 코로반송기구를 작용시키므로써, LCD기판(G)은 패스유닛(PASS, 73)에서 현상처리유닛(DEV, 24)으로 반입되고 거기에서 현상처리가 실시된다. 이 현상처리공정에 관해서는 나중에 상세하게 설명하기로 한다.

현상처리 종료후, LCD기판(G)은 현상처리유닛(DEV, 24)에서 연속되는 반송기구인 코로반송에 의해 i선 UV조사유닛(i-UV, 25)으로 반송되고 LCD기판(G)에 대해 탈색처리가 실시된다. 그 후, LCD기판(G)은 i선UV조사유닛(i-UV, 25)내의 코로반송기구에 의해 제 3 열적처리유닛섹션(28)에 속하는 열적처리유닛블럭(TB, 37)의 패스유닛(PASS, 77)으로 반출된다.

패스유닛(PASS, 77)에 배치된 LCD기판(G)은 제 3 반송장치(39)에 의해 열적 처리유닛블럭(TB, 37)의 포스트베이크유닛(POBAKE, 78 ·79 ·80) 및 열적처리유닛블럭(TB, 38)의 포스트베이크유닛(POBAKE, 81 ·83 ·84) 중 어느 하나로 반송되어 포스트베이크처리되며 그 후 열적처리유닛블럭(TB, 38)의 패스 ·쿨링유닛(PASS ·COL, 82)으로 반송되어 소정온도로 냉각된 후, 카세트스테이션(1)의 반송장치(11)에 의해 카세트스테이션(1)에 배치되어 있는 소정의 카세트(C)에 수용된다.

다음으로, 현상처리유닛(DEV, 24)의 구조에 관해 상세하게 설명한다. 도 5는 현상 처리유닛(DEV, 24)의 개략적인 구조를 도시하는 측면도, 도 6은 평면도이다. 현상처리유닛(DEV, 24)은 도입존(24a), 제 1 현상액공급존(24b), 제 2 현상액공급존(24c), 현상액제거존(24d), 린스존(24e), 건조존(24f)으로 구성되어 있다. 도입존(24a)은 열적처리유닛블럭(TB, 35)의 패스유닛(PASS, 73)에 인접하고 있고, 건조존(24f)은 i선UV조사유닛(i-UV, 25)에 인접하고 있다.

패스유닛(PASS, 73)과 i선UV조사유닛(i-UV, 25)사이에는 모터 등의 구동에 의해 코로(17)를 회전시키므로써 코로(17)상의 LCD기판(G)을 소정방향으로 반송하는 코로반송기구(14)가 설치되어 있고 이 코로반송기구(14)를 동작시키므로써, LCD기판(G)을 패스유닛(PASS, 73)에서 현상처리유닛(DEV, 24)을 통해 i선UV조사유닛(i-UV, 25)을 향해 반송할 수 있게 되어 있다. 코로(17)는 LCD기판(G)에 휘어짐 등이 발생하기 않도록 LCD기판(G)의 반송방향 및 이 반송방향에 수직인 방향으로 소정갯수만큼 설치된다. 또한, 도 6에서는 이 코로반송기구(14)는 도시되어 있지않다.

현상처리유닛(DEV, 24)에서는 도 5에 도시하는 것과 같이 코로반송기구(14)는 3개의 영역으로 분할되고 영역별로 독립적으로 구동할 수 있게 되어 있다. 패스유닛(PASS, 73)과 도입존(24a)은 제 1 모터(15a)의 구동에 의해 LCD기판(G)을 반송한다. 또, 제 1 현상액공급존(24b) 및 제 2 현상액공급존(24c) 및 현상액제거존(24d)는 제 2 모터(15b)의 구동에 의해 LCD기판(G)을 반송한다. 더우기 린스존(24e)와 건조존(24f)은 제 3 모터(15c)의 구동에 의해 LCD기판(G)을 반송한다. 이러한 코로반송기구(14)의 분할구동은 현상처리유닛(DEV, 24)을 구성하는 존별로 행할 수도 있다.

패스유닛(PASS, 73)은 승강이 자유로운 승강핀(16)을 구비하고 있다. LCD기판(G)을 유지한 제 2 반송장치(36)의 기판유지암(94)이 패스유닛(PASS, 73)내로 진입한 상태에서 승강핀(16)을 상승시키면, LCD기판(G)은 기판유지암(94)에서 승강핀(16)으로 인수인계된다. 이어서, 기판유지암(94)을 패스유닛(PASS, 73)으로부터 퇴출시킨 후에 승강핀(16)을 강하시키면 LCD기판(G)은 패스유닛(PASS, 73) 내의 코로(17)상에 재치된다. 제 1 모터(15a)를 구동하므로써, LCD기판(G)은 패스유닛(PASS, 73)에서 도입존(24a)으로 반출된다.

도입존(24a)은 패스유닛(PASS, 73)과 제 1 현상액공급존(24b) 사이의 완충영역으로 설치되어 있는 것으로 이 도입존(24a)은 제 1 현상액공급존(24b)에서 패스유닛(PASS, 73)으로 현상액이 비산하는 등 패스유닛(PASS, 73)이 오염되는 것을 방지한다.

제 1 현상액공급존(24b)은 도입존(24a)에서 반송되어 온 LCD기판(G)에 최초 의 현상액 방울(패들형성)을 떨어뜨리는 존이고, LCD기판(G)에 대해 현상액을 도포하는 현상액공급기구(60)가 설치되어 있다.

도 7은 제 1 현상액공급존(24b)의 구조를 LCD기판(G)의 반송방향 상류쪽에서본 정면도이다. 현상액공급기구(60)는 LCD기판(G)에 대해 현상액을 토출하는 주현상액토출노즐(51a)과 부현상액토출노즐(51b)(이하, 현상노즐(51a ·51b)이라 한다.)의 2개의 노즐과, 이들 2개의 노즐을 고정하는 노즐고정부재(55)와, 노즐고정부재(55)를 유지하는 노즐유지부재(56)와, 노즐유지부재(56)를 승강시키는 승강장치(57)와, 현상노즐(51a ·51b)을 X방향으로 스캔시키는 노즐이동기구(60a)를 구비하고 있다.

노즐이동기구(60a)는 승강장치(57)를 유지하는 아치형 암(58)과, 가이드레일(59a)과, 아치형 암(58)을 가이드레일(59a)을 따라 스캔시키는 구동기구(46)와, 가이드레일(59a)을 유지하는 레일유지부재(59b)와, 레일유지부재(59b)를 고정하는 가이드고정대(59c)를 갖고 있다. 더우기, 현상액공급기구(60)는 승강장치(57)와 구동기구(46)의 동작을 제어하는 제어기구(47)를 갖고 있고 이 제어기구(47)는 현상노즐(51a ·51b)로부터의 현상액 토출량 및 토출 개시 및 중지를 제어할 수 있게 되어 있다.

또한, 도 7에는 코로반송기구(14)의 구성이 병기되어 있다. 즉, 코로반송기구(14)는 LCD기판(G)의 반송방향(X방향)으로 연재되고, 제 2 모터(15b)(도 7에 미도시, 도 5 참조)에 의해 X축방향으로 회전하는 추축(19)과, 추축(19)으로 고정되어 X축방향으로 회전하는 제 1 톱니바퀴(19a)와, LCD기판(G)의 폭방향(Y방향)으로 길게 코로(17)가 소정간격으로 설치된 추축(18)과, 추축(18)의 한 단부에 제 1 톱니바퀴(19a)와 맞물리듯이 설치되고 제 1 톱니바퀴(19a)의 X축방향 회전을 Y축방향 회전으로 변환하는 제 2 톱니바퀴(18a)와, 추축(18)의 다른 단부에 설치되어 제 2 톱니바퀴(18a)의 회전에 의해 추축(18a)을 통해 회전하는 제 3 톱니바퀴(18b)와, X축방향으로 회전이 자유로운 추축(19')과, 제 3 톱니바퀴(18b)와 맞물리듯이 하여 추축(19')과 맞물리듯이 하여 추축(19')에 설치되고, 제 3 톱니바퀴(18b)의 Y축방향 회전을 X축방향 회전으로 변환하는 제 4 톱니바퀴(19b)를 갖고 있다.

코로반송기구(14)에 있어서는 추축(18)을 회전시키기 위한 구동부가 추축(19), 제 1 톱니바퀴(19a), 제 2 톱니바퀴(18a), 제 2 모터(15b)로 구성되고, 제 3 톱니바퀴(18b), 추축(19'), 제 4 톱니바퀴(19b)는 추축(18)의 회전을 부드럽게 하고 추축(18)을 지지하는 역할을 담당하고 있다.

도 8은 주현상액토출노즐(51a)의 구조를 도시하는 사시도이다. 주현상액토출노즐(51a)은, LCD기판(G)의 폭방향(Y방향)으로 긴 구조를 갖고 있다. 주현상액토출노즐(51a)의 상부 중앙에는 주현상액토출노즐(51a)에 현상액을 송액하기 위해 현상액공급관(49a)이 설치되어 있고 그 하단부에는 길이방향을 따라 형성된 토출구(49b)에서 대략 띠형상으로 현상액을 토출할 수 있게 되어 있다. 부현상액토출노즐(51b)은 주현상액토출노즐(51a)과 동일 구조를 갖는다.

현상노즐(51a ·51b)은 길이방향이 Y방향과 일치하도록 노즐고정부재(55)에 의해 소정간격으로 평행하게 유지되어 있다. 또, 승강장치(57)를 구동하여 노즐유지부재(56)를 승강시키므로써 현상노즐(51a ·51b)을 승강시킬 수 있고, 이에 의해 현상노즐(51a ·51b)의 토출구(49b)와 LCD기판(G)의 표면 사이의 갭을 조절할 수 있게 되어 있다. 또한 아치형 암(58)의 양 단부에는 가이드레일(59a)과 감합하고 있는 감합부(58a)가 형성되어 있고, 구동기구(46)에 의해 아치형암(58)은 가이드레일(59a)의 길이방향인 X방향으로 슬라이드 자유롭게 되어 있다.

현상액공급기구(60)에 있어서는 현상노즐(51a ·51b)에서 LCD기판(G)에 대해 Y방향으로 긴 대략 띠형상의 현상액을 토출시키면서, 현상노즐(51a ·51b)을 X방향으로 스캔시키므로써(즉, 아치형암(58)을 X방향으로 슬라이드시킨다.) LCD기판(G)의 표면에 현상액을 떨어뜨릴 수 있게 되어 있다.

LCD기판(G)의 전체적으로 현상처리를 균일하게 하기 위해서는 LCD기판(G)상에 가능한 단시간에, 균일하게 현상반응에 필요한 양의 현상액을 도포할 필요가 있다. 2개의 현상노즐(51a ·51b)을 이용하므로써, 단시간에 게다가 안정적으로 소정량의 현상액을 토출시킬 수 있다. 현상노즐(51a ·51b)의 스캔속도는 100mm / 초 이상 500mm / 초 이하로 하는 것이 바람직하다.

현상노즐(51a ·51b)의 스캔속도가 100mm / 초보다 작은 경우에는 현상노즐(51a ·51b)을 스캔시키지 않고 LCD기판(G)의 반송속도를 바꾸므로써, 동등한 처리를 할 수 있으므로, 현상노즐(51a ·51b)을 스캔시키는 메리트는 볼 수 없다. 한편, 500mm / 초보다 큰 경우에는 액을 떨어뜨리는 속도가 너무 빨라서 현상액이 떨어지지 않는 부분이 발생하거나, 현상액이 LCD기판(G)에서 흘러넘치기 쉬운 등의 불합리한 점이 발생한다. 현상노즐(51a ·51b)의 스캔속도가 이 범위 사이이면 LCD기판(G)의 길이를 생각해도 방울이 떨어지기 시작하는 것과 끝나는 시간차 와 상관없이 현상액의 액떨어짐을 행할 수 있다.

또, LCD기판(G)에의 액떨어짐 회수는 1회에 한정되지않고, 복수회 액떨어짐 처리를 행하는 것도 가능하다. 예를 들면, LCD기판(G) 상에 액떨어짐을 1회 행한 후에 현상노즐(51a ·51b)를 상승시켜서 본래 위치로 되돌린 후, 다시 액이 떨어지는 동작을 행해도 좋다.

도 9A는 도 5에 도시한 현상노즐(51a ·51b)의 배치형태를 보다 상세하게 도시하는 측면도이고 도 9B는 현상노즐(51a ·51b)에서 현상액을 토출시키면서 현상노즐(51a ·51b)을 스캔시킨 상태를 도시하는 설명도이다.

현상액공급기구(60)에서는 LCD기판(G)의 표면에 현상액을 떨어뜨릴 때에는 아치형 암(58)을 LCD기판(G)의 반송방향과는 반대방향으로 스캔시킨다. 주현상액토출노즐(51a)에서 먼저 LCD기판(G)에 현상액이 도포되도록 주현상액토출노즐(51a)이 기판반송방향의 상류쪽에 배치되고 부현상액토출노즐(51b)이 기판반송방향의 하류쪽에 배치되어 있다. 주현상액토출노즐(51a)에서 토출되어 LCD기판(G)상에 떨어진 현상액에 부현상액토출노즐(51b)에서 현상액을 토출하여 현상액을 보충하므로써 현상반응을 진행하기 위해 충분한 현상액을 LCD기판(G)에 공급되고 이것에 의해 현상시간을 단축하고 현상정밀도를 향상시킬 수 있다.

현상노즐(51a ·51b)을 스캔시킬 때에 부현상액토출노즐(51b)의 하단부가 주현상액토출노즐(51a)에 의해 LCD기판(G)상에 이미 토출된 현상액을 현상노즐(51a ·51b)의 스캔방향으로 누르는 일이 없도록(도 9B참조), 부현상액토출노즐(51b)과 LCD기판(G)과의 간격폭(D)은 주현상액토출노즐(51a)와 LCD기판(G)의 간격폭(d)보다 도 넓게 설정하는 것이 바람직하다.

예를 들면, 간격폭(d)을 1.5mm ~ 2.5mm, 간격폭(D)를 3mm ~ 5mm로 한다. 간격폭(d)을 1.5mm미만으로 하는 경우에는 주현상액토출노즐(51a)의 위치조절이 약간 곤란해진다. 또, 간격폭(d)을 2.5mm이상으로 한 경우에는 현상액 토출시에 현상액에 기포가 말려들어 이 기포가 LCD기판(G) 표면에 부착되고 그 부분에 현상불량이 발생할 우려가 있다. 간격폭(D)을 5mm이상으로 하면 LCD기판(G)에 이미 도포된 현상액이 크게 교반되어 버리고 이에 의해 선폭균일성이 저하되는 문제점을 야기시킨다. 또한, 주현상액토출노즐(51a)에 의해 LCD기판(G)위에 액을 떨어뜨린 현상액의 표면에서 거리가 1mm를 넘지않도록 하므로써 기포가 말려드는 것 등을 방지할 수 있다.

현상노즐(51a ·51b)은 노즐이동기구(60a)에 의한 스캔시에는 스캔방향의 사선아래 뒤쪽방향을 향해 현상액이 토출되도록 연직방향에 대해 5도이상 15도이하의 각도(θ)ㄹ로 경사진 상태로 유지되어 있다.

예를 들면 주현상액토출노즐(51a)에서 LCD기판(G)에 토출된 현상액이 주현상액토출노즐(51a)의 스캔방향 전방을 향해 확장되기 쉬운 경우에는 주현상액토출노즐(51a)에서 LCD기판(G)으로 토출되는 현상액의 LCD기판(G)에 대한 임팩트(현상액이 LCD기판(G)에 해당하는 힘)는 우선 LCD기판(G)상에 도포된 현상액의 위에서 가해지기 때문에 직접 현상액이 LCD기판(G)에 토출되는 경우와 비교하면 약해진다. 이 때문에 현상정밀도가 저하되는 문제가 발생한다.

주현상액토출노즐(51a)을 소정각도(θ)만큼 경사시키므로써, 주현상액토출노 즐(51a)에서 토출된 현상액이 현상노즐(51a ·51b)의 스캔방향 전방을 향해 확장되기 어려워진다. 이에 따라 주현상액토출노즐(51a)에서 토출되는 현상액의 임팩트는 직접적으로 LCD기판(G)에 가해지므로, 현상정밀도를 높이는 것이 가능해진다.

부현상액토출노즐(51b)에서는 주현상액토출노즐(51a)에서 토출된 현상액 위에서 새롭게 현상액이 토출되므로 원래, 부현상액토출노즐(51b)에서 토출되는 현상액은 주현상액토출노즐(51a)의 경우와 비교하면 LCD기판(G)에 대해 큰 임팩트는 부여하지 않는다. 부현상액토출노즐(51b)에서 토출되는 현상액에 의해 먼저 LCD기판(G)에 도포된 현상액이 크게 교반되지 않도록 부현상액토출노즐(51b)도 또 소정각도(θ)만큼 경사시키는 것이 바람직하다.

이렇게 제 1 현상액공급존(24b)에서는 현상노즐(51a ·51b)을 스캔시키면서 현상액을 LCD기판(G)로 토출하기 위해 LCD기판(G)을 고속으로 반송할 필요가 없다. 이에 의해 LCD기판(G)의 반송 시 오버랜과 반송의 급정지에 의해 LCD기판(G)에 찌그러짐을 야기하거나, 파손시키거나 하는 사고 발생이 방지된다. 또, 현상액공급 후에 LCD기판(G)을 급정지시킬 필요가 없으므로 LCD기판(G)에 액을 떨어뜨린 현상액이 흘러넘치는 것을 방지할 수 있고, 현상액을 효과적으로 사용할 수 있게 된다.

제 1 현상액공급존(24b)에서는 LCD기판(G)을 저속으로 반송하면서 또는 LCD기판(G)을 정지시켜서 현상액의 액을 떨어뜨릴 수 있지만, LCD기판(G)을 정지시켜서 현상액을 도포하는 방법을 이용한 경우에는 특히 안정된 상태에서 행하는 것이 가능하고 이에 의해 선폭균일성을 높일 수 있다.

제 1 현상액공급존(24b)에서 현상액이 떨어진 LCD기판(G)을 현상액제거존(24b)로 반송하는 동안에 LCD기판(G)위에서 현상액이 흘러넘치는 경우가 있다. 제 2 현상액공급존(24c)에서는 이렇게 해서 LCD기판(G)의 반송도중에 LCD기판(G)에서 현상액이 흘러넘치므로써 현상반응이 진행되지 않는 것을 방지하기 위해, 새로 LCD기판(G)에 현상액을 보충할 수 있다.

제 2 현상액공급존(24c)에 있어서는 주현상액토출노즐(51a)과 동일한 구조를 갖는 현상액보충노즐(51c)에서, 그 길이방향이 Y방향이 되도록 하여 아치형암(58)과 동일한 구조를 갖는 움직이지 않는 암(미도시)으로 고정되어 있다. 현상액보충노즐(51c)에서는 코로반송기구(14)에 의해 반송되는 LCD기판(G)위에 소정량의 현상액이 Y방향으로 긴 대략 띠형상으로 토출되고 이렇게 해서 반송시에 LCD기판(G)에서 흘러넘친 현상액이 보충된다.

현상액제거존(24d)에는 LCD기판(G)을 비스듬한 자세로 교환하는 미도시의 자세교환기구와, LCD기판(G) 표면에 현상액을 씻어내기 위한 린스액(예를 들면, 순수)을 토출하는 린스액토출노즐(52)이 설치되어 있다. LCD기판(G)에 있어서 현상반응은 제 1 현상액공급존(24b)에서 현상액제거존(24d)으로 반송되는 동안에 이루어진다. 현상액제거존(24d)에 있어서는 LCD기판(G)을 비스듬한 자세로 교환하여 LCD기판(G)상의 현상액을 흘려버리고, 또한 LCD기판(G)을 비스듬한 자세로 유지한 상태에서 LCD기판(G)의 위쪽 단부에서 아래쪽 단부로 LCD기판(G) 표면을 따라 린스액토출노즐(52)을 스캔시키면서 LCD기판(G)의 표면에 순수를 토출하므로써, LCD기판(G)상의 현상액을 씻어낼 수 있다.

린스액토출노즐(52)은 단시간에 현상액을 씻어낼 수 있도록 500mm / 초의 속 도로 스캔시킬 수 있게 되어 있다. 실제로는 린스액토출노즐(52)의 스캔속도를 100mm / 초 ~ 300mm / 초 동안, 보다 바람직하게는 200mm / 초 ~ 300mm / 초 동안으로 하므로써, 현상패턴의 선폭균일성을 높일 수 있다. 린스액토출노즐(52)로서는 현상노즐(51a ·51b)과 동일하게 린스액을 막형상으로 토출할 수 있는 구조가 최적으로 이용되고 이에 의해 현상얼룩의 발생을 방지할 수 있다.

린스존(24e)에는 순수 등의 린스액을 LCD기판(G)을 향해 토출하는 린스노즐(53)이 설치되어 있다. 린스존(24e)에 있어서는 LCD기판(G)을 소정속도로 반송하면서 LCD기판(G)의 표면과 이면에 린스액을 토출하여 LCD기판(G)에 부착되어 있는 현상액의 제거와 세정이 이루어진다. 또한, 린스노즐(53)은 LCD기판(G)의 폭보다도 긴 형상을 갖고 있고 LCD기판(G)의 폭방향 전체에 린스액을 토출할 수 있게 되어 있다.

린스존(24e)을 통과한 LCD기판(G)이 반송되는 건조존(24f)에는 소정 풍압으로 질소가스 등의 건조가스를 분사하는 에어노즐(에어나이프, 54)이 설치되어 있다. 건조존(24f)에 있어서는 LCD기판(G)을 소정속도로 반송하면서 LCD기판(G)의 표면과 이면에 건조가스를 분사하여 LCD기판(G)에 부착된 린스액을 뿜어내어 LCD기판(G)을 건조한다. 또한, 에어노즐(54)은 LCD기판(G)의 폭보다도 긴 형상을 갖고 있고, LCD기판(G)의 폭방향 전체에 건조가스를 토출할 수 있게 되어 있다. 건조처리가 종료된 LCD기판(G)은 코로반송기구(14)에 의해 i선UV조사유닛(i-UV, 25)으로 반송된다.

다음으로, 현상처리유닛(DEV, 24)에 있어서 현상처리공정에 관해 설명한다. 도 10은 현상처리공정의 개략을 도시하는 설명도(플로차트)이다. 패스유닛(PASS, 73)으로 반입된 LCD기판(G)은 코로반송기구(14)에 의해 도입존(24a)을 통과하여 제 1 현상액공급존(24b)으로 반입된다.(스텝 1) 이 패스유닛(PASS, 73)에서 제 1 현상액공급존(24b)으로의 LCD기판(G) 반송속도는 65mm / 초로 한다.

제 1 현상액공급존(24b)에 있어서는 LCD기판(G)을 소정위치에서 정지시킨 상태로 하고(스텝 2), 현상노즐(51a ·51b)을 240mm / 초의 속도로 스캔시키면서 LCD기판(G)의 표면에 현상액을 토출하고, 현상액을 떨어뜨린다.(스텝 3) LCD기판(G)을 정지시킨 상태로 하므로써, 현상노즐(51a ·51b)의 구동제어가 쉬워진다. 또, 안정적으로 현상액을 LCD기판(G)상에 액을 떨어뜨릴 수 있다.

도 11은 현상노즐(51a ·51b)의 스캔상태를 도시하는 설명도이다. 도 11의 오른쪽에서 왼쪽으로 현상노즐(51a ·51b)을 스캔시키는 것으로 하고 도 11에 도시한 LCD기판(G)의 오른쪽 단부를 「액떨어뜨리는 개시단부」로 하고, 왼쪽 단부를 「액떨어뜨리는 종료단부」로 한다. 현상노즐(51a ·51b)의 높이 위치를 승강장치(57)에 의해 조정한 후에, 구동기구(46)를 동작시켜서 현상노즐(51a ·51b)의 스캔을 개시한다. 주현상액토출노즐(51a)이 액떨어지는 개시단부에서 오른쪽 소정위치인 액떨어지는 개시단부의 오른쪽 1cm의 위치(이하, 「토출개시위치」라 한다.)에 도달했을 때에 주현상액토출노즐(51a)로부터의 현상액 토출을 개시한다.(스텝 3a) 이에 의해 확실히 액을 떨어뜨리는 개시단부에서 현상액을 떨어뜨릴 수 있다. 동일하게 부현상액토출노즐(51b)이 토출개시위치에 도달했을 때에 부현상액토출노즐(51b)로부터의 현상액 토출을 개시한다.(스텝 3b)

그리고, LCD기판(G)상에서 현상노즐(51a ·51b)을 스캔시켜서 LCD기판(G) 전체에 현상액을 떨어뜨린다.(스텝 3c) 이 때, 앞에서 도 9A 및 도 9B를 참조하면서 설명한 것과 같이 현상노즐(51a ·51b)이 LCD기판(G)상을 스캔하고 있을 때에는 현상액은 현상노즐(51a ·51b)의 사선 아래쪽 후방을 향해 토출된다. 또, 부현상액토출노즐(51b)은 주현상액토출노즐(51a)에 의해 LCD기판(G)상에 도포된 현상액을 현상노즐(51a ·51b)의 스캔방향으로 긁어내지 말고, LCD기판(G)으로 현상액을 도포한다.

부현상액토출노즐(51b)이 액떨어뜨리는 종료단부를 통과할 때까지 LCD기판(G)에의 현상액 토출을 계속해도 좋지만, 바람직하게는 주현상액토출노즐(51a)이 액떨어지는 종료단부에 도달하면 주현상액토출노즐(51a)로부터의 현상액 토출을 중지하고(스텝 3d), 부현상액토출노즐(51a)이 액떨어지는 종료단부에 도달하면 부현상액토출노즐(51b)의 하단부가 LCD기판(G)의 액떨어지는 종료단부에 근접 또는 당접하도록 현상노즐(51a ·51b)을 이동시킨다.(스텝 3f) 부현상액토출노즐(51b)을 이러한 위치로 이동시키므로써, LCD기판(G)상에 도포된 현상액이 액떨어지는 종료단부에서 흘러넘치는 것을 방지할 수 있다. 부현상액토출노즐(51b)을 LCD기판(G)에 당접시키는 경우에는 이 당접에 의해 LCD기판(G)이 파손되지 않도록 세밀한 제어를 한다.

도 11에 도시한 액떨어뜨리는 작업 1회가 종료한 후에는 현상노즐(51a ·51b)을 액떨어뜨리는 개시단부쪽으로 되돌리고 다시 LCD기판(G)에 현상액을 도포하는 것도 바람직하다.(스텝 3g) LCD기판(G)에의 액떨어짐을 복수회 행하므로써, 현상정밀도를 높이고 유지하면서, 현상시간을 단축하는 것이 가능해진다.

도 12A, 도 12B, 도 12C는 각각 LCD기판(G)에의 액이 떨어지는 조건으로 얻어지는 현상패턴특성과의 관계를 도시한 설명도이고, 도 12A는 현상노즐(51a ·51b)의 스캔속도와 선폭균일성의 관계를 도시하며, 도 12B는 액떨어지는 횟수와 선폭과의 관계를 도시하며 도 12C는 액떨어지는 횟수와 선폭균일성과의 관계를 도시하고 있다.

도 12A ~ C에 도시한 결과는 선폭 8㎛ 또는 10 ㎛의 소정패턴이 형성된 마스크를 이용하여 소정조건으로 LCD기판(G)을 노광처리하고 이어서 노광된 LCD기판(G)을 여러조건에서 현상하며 이렇게 해서 얻어진 레지스트막의 패턴을 SEM관찰하여 선폭(현상패턴에 있어서의 돌출부 폭)을 측정하므로써 구해진 것이다. 이 SEM관찰에 있어서는 LCD기판(G)전체에 관한 관찰을 하기 위해 LCD기판(G)의 대략 중심에 있어서 등각도로 교환되는 8방향에 관해 방사상으로 복수의 관찰점을 설치했다.

도 12A에 도시하는 결과는 선폭 10㎛의 패턴이 형성된 마스크를 이용하고 현상노즐(51a ·51b)로부터의 현상액 토출유량을 현상노즐(51a ·51b)의 스캔속도에 관계없이 일정하게 하고 현상노즐(51a ·51b)의 스캔속도를 바꾸어 액떨어뜨리는 것을 1회로만 하며 또한 현상시간(현상액의 도포를 개시하고나서 현상액을 LCD기판(G)에서 제거할 때까지의 시간)을 일정하게 하여 얻어진 것이다. 또한, 도 12A 중 1개의 막대그래프는 1장의 LCD기판(G)에 대응한다.

도 12A에 도시하는 것과 같이 현상노즐(51a ·51b)의 액떨어지는 횟수가 1회인 경우에는, 현상노즐(51a ·51b)의 스캔속도가 빠른 쪽이 선폭균일성이 향상되는 것을 알았다. 이것은 현상액 떨어뜨리는 개시단부에서의 현상액 체류량이 저하되고 이 개시단부에서 일어나는 현상의 부분적인 과잉반응이 억제되는 것과, LCD기판(G) 전체에 액떨어지는 시간이 짧은 것 때문에 LCD기판(G) 전체적으로 균일하게 현상반응이 진행되었기 때문으로 생각된다.

「현상액 떨어뜨리는 개시단부에서 일어나는 현상의 부분적인 과잉반응」이란, 다음과 같다. 즉, 현상액은 현상노즐(51a ·51b)의 스캔과 함께 스캔방향으로 공급되지만, 이 때에 일부 현상액은 스캔방향과 반대방향으로 흐른다. 이 돌아오는 현상액은 현상액떨어지는 개시단부에 있어서는 그 이상 흐를 수 없고 그 장소에 머무른다. 이 때문에 현상액 떨어지는 개시단부에서는 현상액이 과잉공급된 상태가 되어 현상반응이 다른 부위보다 진행되고 과잉반응이 진행된다. 이 현상의 부분적인 과잉반응은 결과적으로 면내 선폭의 편차를 증대시킨다.

현상노즐(51a ·51b)의 스캔속도를 빠르게 하므로써 돌아오는 현상액 양을 저감시킬 수 있으므로, 현상액 떨어지는 개시단부에서의 부분적인 과잉반응이 억제된다.

또한 현상노즐(51a ·51b)로부터의 현상액 토출유량과 현사시간을 일정하게 했기 때문에 스캔속도가 100mm / 초인 경우에는 평균선폭은 9.94㎛로 마스크 패턴에 가까웠지만, LCD기판(G)전체에서 선폭의 편차가 커졌다. 한 편, 스캔속도가 210mm / 초인 경우에는 평균선폭은 9.78㎛로 마스크 패턴보다 조금 좁아졌지만, LCD기판(G) 전체적으로 선폭의 편차는 작아졌다. 이 결과는 현상노즐(51a ·51b)의 스캔속도가 빠른 경우에는 현상액의 레지스트에 대한 임팩트가 증대되고 현상반응 이 보다 촉진되므로, 스캔속도가 210mm / 초인 경우에 현상반응이 너무 진행된 것이 원인의 하나로 생각된다. 따라서, 현상노즐(51a ·51b)을 고속으로 스캔시키는 경우에는 현상시간을 짧게 하므로써, 평균선폭을 마스크의 패턴에 근접시킬 수 있고, 또한 선폭균일성을 높일 수 있다고 생각되어진다.

도 12B에 도시하는 결과는 선폭 8㎛의 패턴이 형성된 마스크를 이용하고, 현상노즐(51a ·51b)의 스캔속도를 80mm / 초, 현상액토출량을 5.6L(리터) / 분으로 한 경우 및 현상노즐(51a ·51b)의 스캔속도를 160mm / 초, 현상액토출량을 9.4L / 분으로 한 경우에 관해, 현상시간을 일정하게 하고 액떨어뜨리는 횟수를 변화시켰을 때의 평균선폭을 도시하고 있다. 도 12B에 도시되어 있는 것과 같이, 액떨어뜨리는 횟수가 많아지면 평균선폭이 좁아져 있다. 이 것은 액떨어지는 횟수가 많아지면 현상반응이 빠르게 진행되는 것을 도시하고 있기 때문에 액떨어지는 횟수를 많게 하므로써 현상시간을 단축할 수 있게 되는 것으로 생각된다.

도 12C에 도시하는 결과는 선폭 8㎛인 패턴이 형성된 마스크를 이용하여 현상노즐(51a ·51b)의 스캔속도를 80mm / 초, 현상액토출량을 5.6L(리터) / 분으로 한 경우 및 현상노즐(51a ·51b)의 스캔속도를 160mm / 초, 현상액토출량을 9.4L / 분 으로 한 경우에 관해 현상시간을 일정하게 하여 액떨어지는 횟수를 변화시켰을 때의 선폭균일성을 도시하고 있다. 또한, 도 12C 중 1개의 막대그래프는 1장의 LCD기판(G)에 대응한다.

도 12C에 도시되어 있는 것과 같이 액떨어지는 횟수가 같은 경우에는 현상노즐(51a ·51b)의 스캔속도가 커질수록 선폭균일성이 향상되는 경향이 있다. 또한, 현상노즐(51a ·51b)의 스캔속도가 빨라지는 경우(160mm / 초)에는 액떨어지는 횟수가 많아지면 선폭균일성이 향상되고 있다. 이러한 결과로부터, 현상노즐(51a ·51b)의 스캔속도가 빠르고, 또한 액떨어지는 횟수를 많게 하는 것이 선폭균일성의 향상에 유효한 것을 알 수 있다.

제 1 현상액공급존(24b)에 있어서의 처리가 종료된 LCD기판(G)을 코로반송기구(14)를 동작시켜서 46mm / 초의 반송속도로 제 2 현상액공급존(24c)으로 반송한다.(스텝 4) LCD기판(G)이 제 2 현상액공급존(24c)을 통과할 때에 현상액보충노즐(51c)에서 LCD기판(G)상에 현상액을 보충해도 좋다.(스텝 5)

제 2 현상액공급존(24c)에 반송된 LCD기판(G)은 또한 현상액제거존(24d)으로 반송되고(스텝 6) 거기에서 LCD기판(G)을 사선자세로 변환하여 LCD기판(G)상의 현상액을 흘러내리게 하며(스텝 7), 또한 LCD기판(G)을 사선자세로 유지한 상태에서 린스액토출노즐(52)에서 LCD기판(G)의 표면으로 린스액인 순수를 토출하여 LCD기판(G)상의 현상액을 씻어낸다(스텝 8).

이어서, LCD기판(G)은 린스존(24e)으로 반송되고(스텝 9), 거기에서 LCD기판(G)을 소정속도로 반송하면서 LCD기판(G)의 표면과 이면에 린스액을 토출하며 LCD기판(G)에 부착되어 있는 현상액의 제거와 세정을 행한다.(스텝 10) 이러한 린스처리가 이루어지면서 린스존(24e)을 통과한 LCD기판(G)은 건조존(24f)으로 반송된다.(스텝 11) 건조존(24f)에서는 LCD기판(G)을 소정속도로 반송하면서, 에어노즐(54)에 의한 건조처리가 이루어진다.(스텝 12) 건조처리가 종료된 LCD기판(G)은 코로반송기구(14)에 의해 i선 UV조사유닛(i-UV, 25)으로 반송되고(스텝 13), 거기 에서 소정 자외선조사처리가 실시된다.

이상, 본 발명의 실시예에 관해 설명했지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 제 1 현상액공급존(24b)에 배치되는 현상액토출노즐은 1개여도 좋고, 3개이상이어도 좋다. 1개의 현상액토출노즐을 이용하는 경우에는 현상액토출노즐에서 토출시키는 현상액 유량을 증대시키지 않으면 안되므로, 현상액의 토출력이 강해져서 LCD기판(G)에 토출한 현상액이 LCD기판(G)에서 흘러넘치지 않도록 현상액토출노즐로부터의 현상액 토출상태, 현상액의 토출방향과 토출력을 제어한다.

또, 제 1 현상액공급존(24b)에 있어서는 LCD기판(G)을 정지시키지 않고 LCD기판(G)상에 도포된 현상액이 흘러넘치지 않는 정도의 속도로 반송하면서 LCD기판(G)에 현상액을 도포해도 좋다. 또한, 현상노즐(51a ·51b)의 스캔방향을 LCD기판(G)의 반송방향과 반대방향으로 했지만, LCD기판(G)을 정지시키는 경우에는, LCD기판(G)의 반송방향과 수직인 방향으로 현상노즐(51a ·51b)을 스캔시켜도 좋다.

이상에서 설명한 것과 같이, 본 발명의 액처리장치와 액처리방법에 따르면, 처리액토출노즐을 소정의 속도로 스캔시키므로써 기판상에 단시간에 처리액을 도포할 수 있으므로, 기판전체에 균일한 액처리를 할 수 있게 된다. 이렇게 해서 기판의 품질을 향상시키고 제품불량의 발생율을 저감할 수 있는 효과를 얻을 수 있다. 또, 처리액이 도포된 기판을 고속으로 반송할 필요가 없으므로 기판을 급정지시킬 필요도 없고 이에 의해 기판상에서 처리액이 흘러넘쳐서 액처리가 진행되지 않거 나, 흘러넘친 처리액 상당량을 더 보충할 필요도 없다. 더우기 급정지에 의한 응력에 의해 기판에 찌그러짐이 발생하거나, 기판이 오버랜되어 파손되는 등의 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있으므로, 제조원료 대 제품비율이 높아지고 관리 부하도 저감된다. 또한 기판의 반송에 필요한 스페이스는 종래와 동등해도 좋으므로 장치의 풋프린트의 증대가 억제된다.

Claims

기판을 수평자세로 한쪽 방향으로 반송하는 반송기구와,

상기 반송기구에 의해 반송되는 기판 표면에 처리액을 토출하는 처리액토출노즐과,

상기 처리액토출노즐을 상기 기판상에 있어서 소정속도로 이동시키는 노즐이동기구를 구비하고,

상기 처리액토출노즐은 상기 노즐이동기구에 의한 이동방향과 직교하는 방향으로 긴 주처리액토출노즐과 부처리액토출노즐의 2개의 노즐로 이루어지고,

상기 노즐이동기구에 의해 상기 처리액토출노즐을 이동시키면서 상기 처리액토출노즐에서 상기 처리액을 토출시켜서 상기 기판에 상기 처리액을 도포하는 액처리장치.
청구항 1에 있어서,

상기 처리액토출노즐에 의해 상기 처리액이 도포되고 상기 반송기구에 의해 반송되는 기판표면에 또한 상기 처리액을 도포하는 고정된 처리액보충노즐을 더 구비하는 액처리장치.
청구항 2에 있어서,

상기 처리액보충노즐은 상기 기판의반송방향과 직교하는 방향으로 긴 형상을 갖고,

상기 처리액보충노즐의 아래쪽을 통과하는 기판에 대해 상기 반송방향과 직교하는 방향전체에 상기 처리액이 띠형상으로 보충되는 액처리장치.
청구항 1 ~ 3 중 어느 한 항에 있어서,

상기 노즐이동기구는 상기 처리액토출노즐을 상기 기판의 반송방향과는 반대방향으로 이동시키는 액처리장치.
청구항 1 ~ 3 중 어느 한 항에 있어서,

상기 주처리액토출노즐과 상기 부처리액토출노즐은 상기 노즐이동기구에 의한 이동방향 앞쪽에 상기 주처리액토출노즐이 위치하고 상기 이동방향 뒤쪽으로 상기 부처리액토출노즐이 위치하도록 병렬로 배치되며,

상기 주처리액토출노즐 및 상기 부처리액토출노즐로부터는 상기 기판에 대해 상기 이동방향과 직교하는 방향전체에 상기 처리액이 띠형상으로 토출되는 액처리장치.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,

상기 부처리액토출노즐과 상기 기판의 간격은 상기 주처리액토출노즐과 상기 기판의 간격보다도 넓은 액처리장치.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,

상기 주처리액토출노즐과 상기 부처리액토출노즐은 상기 노즐이동기구에 의한 이동시에는 이동방향의 사선아래 뒤쪽을 향해 상기 처리액을 토출하도록 연직방향에 대해 5도 이상 15도 이하의 각도로 경사된 상태로 유지되어 있는 액처리장치.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,

상기 주처리액토출노즐 및 상기 부처리액토출노즐을 승강시키는 승강기구를 더 구비하고,

상기 승강기구는 상기 부처리액토출노즐이 상기 처리액의 토출을 종료하는 상기 기판의 단면 근접한 소정위치에 도달했을 때에 상기 기판에 도포된 처리액이 상기 단면에서 흘러넘치지 않도록 상기 부처리액토출노즐 저면을 상기 단면근처에 근접시키는 액처리장치.
청구항 1 ~ 3 중 어느 한 항에 있어서,

상기 기판에의 상기 처리액 도포를 할 때에는 상기 반송기구는 동작을 정지하고 상기 기판을 정지시키는 액처리장치.
청구항 1 ~ 3 중 어느 한 항에 있어서,

상기 노즐이동기구는 상기 처리액토출노즐을 100mm/초 이상 500mm/초 이하에서 수평방향으로 이동시키는 액처리장치.
기판을 수평자세로 하고 액처리를 하는 액처리영역으로 반송하는 공정과,

상기 액처리영역에 있어서, 상기 기판의 반송을 정지하고 또는 상기 기판의 반송속도를 상기 액처리영역에의 기판반송 속도보다도 느리게 하는 공정과,

이동방향과 직교하는 방향으로 긴 주처리액토출노즐과 부처리액토출노즐의 2개의 처리액토출노즐을 상기 기판상에서 수평이동시키면서 상기 처리액토출노즐에서 상기 기판상에 상기 처리액을 토출시켜서 상기 기판에 상기 처리액을 도포하는 공정을 갖는 액처리방법.
청구항 11에 있어서,

상기 처리액이 도포된 기판을 소정속도로 반송하면서, 상기 기판에 처리액을 도포하는 고정된 처리액보충노즐에서 상기 처리액을 토출시키고 상기 기판에 추가로 상기 처리액을 도포하는 액처리방법.
청구항 11 또는 12 중 어느 한 항에 있어서,

상기 기판에 처리액을 도포하는 공정에서는, 상기 처리액토출노즐이 상기 처리액의 토출을 종료해야 할 상기 기판의 단면 근처에 도달했을 때에 상기 처리액토출노즐로부터의 상기 처리액 토출을 중지함과 동시에 상기 처리액토출노즐을 상기 단면근처에 근접시키므로써, 상기 기판상에 도포된 처리액이 상기 단면에서 흘러넘치지 않도록 하는 액처리방법.
청구항 11 또는 12 중 어느 한 항에 있어서,

상기 기판에 처리액을 도포하는 공정에서는, 상기 처리액토출노즐에서 상기 처리액을 토출시키면서 상기 처리액토출노즐을 상기 기판상에서 복수회 수평방향으로 이동시켜서 상기 기판에 상기 처리액을 도포하는 액처리방법.
청구항 11 또는 12 중 어느 한 항에 있어서,

상기 기판에 처리액을 도포하는 공정에서는 상기 처리액토출노즐을 수평방향으로 이동시킬 때에 상기 처리액토출노즐에서 상기 처리액을 상기 처리액토출노즐의 이동방향의 사선아래 뒤쪽을 향해 토출시키는 액처리방법.
노광처리가 실시된 기판에 대해 현상처리를 실시하는 액처리장치에서,

기판을 수평자세로 한쪽 방향으로 반송하는 반송기구와,

상기 반송기구에 의해 반송되는 기판 표면에 현상액을 토출하는 현상액토출노즐과,

상기 현상액토출노즐을 상기 기판상에 있어서 상기 기판의 반송방향과 반대방향으로 소정속도로 이동시키는 노즐이동기구를 구비하고,

상기 처리액토출노즐은 상기 노즐이동기구에 의한 이동방향과 직교하는 방향으로 긴 주처리액토출노즐과 부처리액토출노즐의 2개의 노즐로 이루어지고,

상기 노즐이동기구에 의해 상기 현상액토출노즐을 이동시키면서 상기 현상액토출노즐에서 상기 현상액을 토출시키고 상기 기판에 상기 현상액을 도포하는 액처리장치.
청구항 16에 있어서,

상기 현상액토출노즐에 의해 상기 현상액이 도포되고 상기 반송기구에 의해 반송되는 기판의 표면에 추가로 상기 현상액을 도포하는 고정된 현상액보충노즐을 구비하는 액처리장치.
노광처리가 실시된 기판의 현상처리를 하는 액처리방법에서,

기판을 수평자세에서 현상액도포를 하는 현상액도포영역으로 반송하는 공정과,

상기 현상액도포영역에 있어서, 상기 기판의 반송을 정지하고 또는 상기 기판의 반송속도를 상기 현상액도포영역에의 기판반송속도보다도 느리게 하는 공정과,

이동방향과 직교하는 방향으로 긴 주처리액토출노즐과 부처리액토출노즐의 2개의 노즐을 상기 기판상에서 수평이동시키면서 상기 현상액토출노즐에서 상기 현상액을 토출시키고 상기 기판상에 상기 현상액을 떨어뜨리는 공정과,

상기 현상액이 떨어진 기판을 상기 현상액을 제거하는 액제거처리영역으로 반송하는 공정을 갖는 액처리방법.
청구항 18에 있어서,

상기 기판상에 현상액을 떨어뜨리는 공정 후, 상기 기판을 제거처리영역으로 반송하는 공정 전에 상기 현상액이 도포된 기판을 소정속도로 반송하면서, 기판에 현상액을 도포하는 고정된 현상액보충노즐에서 상기 현상액을 토출시키고, 상기 기판에 추가로 상기 현상액을 도포하는 처리를 하는 액처리방법.
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