KR100847627B1 - Device for carrying in and out boards - Google Patents

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Abstract

기판을 기판 카세트의 임의의 선반에 반입출할 수 있도록 한다. 기판 카세트(1C)를 구성하는 카세트 본체(1)에, 장력 부여 상태로 장착된 복수개의 와이어(4)를 선반판으로 하여 형성된 각 선반(1R)에 수납되어 있는 기판(1G)을 반출할 때에는, 상기 기판(G)이 수납되어 있는 선반(1R)의 바로 아래 선반(1R')에 한 쌍의 기판 승강 유닛(1U1)을 구성하는 각 기판 승강 아암(14)을 진입시키고, 상기 각 기판 승강 아암(14)의 상면에 장착되어 있는 공기 부상 유닛(21)을 작동시켜 압력 공기를 분출시킴으로써 이 기판(1G)을 부상시킨 상태로 끄집어낸다.

Figure R1020067008800

기판, 카세트

The substrate can be carried in and out of any shelf of the substrate cassette. When carrying out the board | substrate 1G accommodated in each shelf 1R formed using the some wire 4 mounted in tension state to the cassette main body 1 which comprises the board | substrate cassette 1C as a shelf board. Each board | substrate elevating arm 14 which comprises a pair of board | substrate elevating unit 1U1 enters the shelf 1R 'directly under the shelf 1R in which the said board | substrate G is accommodated, and each said board | substrate elevating is carried out. The air floating unit 21 mounted on the upper surface of the arm 14 is operated to blow out the pressure air, thereby bringing out the substrate 1G in a floating state.

Figure R1020067008800

Board, Cassette

Description

기판 반입출 장치{Device for carrying in and out boards}Device for carrying in and out boards

본 발명은 기판 카세트의 소정의 선반에 수납된 기판을 반입출시키기 위한 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for carrying in and out of a substrate stored in a predetermined shelf of a substrate cassette.

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본 출원은 2003년 11월 6일에 출원된 일본 특허출원 제 2003-376429호, 2003년 11월 12일에 출원된 일본 특허출원 제 2003-382207호, 및 2004년 2월 10일에 출원된 일본 특허출원 제 2004-033041호에 대하여 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 채용한다.This application is directed to Japanese Patent Application No. 2003-376429, filed November 6, 2003, Japanese Patent Application No. 2003-382207, filed November 12, 2003, and Japan, filed February 10, 2004. Priority is claimed on patent application No. 2004-033041, and its contents are adopted here.

액정 표시 장치 등에 사용되는 기판(유리 기판)을 다단으로 수납하기 위한 기판 카세트에는 여러 종류의 것이 존재하고 있다(예를 들면, 일본 특허공개 평 8-198405호 공보 참조). 이 기판은 평면으로 보아 직사각형의 박판 형상이며, 그 크기는 500㎜×600㎜인 것부터, 최근 기술의 발전에 따라 2000㎜×1800㎜인 것도 존 재하고 있다. 그리고, 상기 기판을 기판 카세트에 반입출시키기 위한 기술로서 여러 종류가 개시되어 있다(예를 들면, 일본 특허공개 평 11-227943호 공보).There exist many kinds of board | substrate cassette for accommodating the board | substrate (glass substrate) used for a liquid crystal display device in multiple steps (for example, refer Unexamined-Japanese-Patent No. 8-198405). This substrate has a rectangular thin plate shape in plan view, and its size is from 500 mm x 600 mm, and there are also 2000 mm x 1800 mm with the development of recent technology. And various types are disclosed as a technique for carrying in and out of the said board | substrate to a board | substrate cassette (for example, Unexamined-Japanese-Patent No. 11-227943).

도 11에 나타내는 바와 같이, 종래의 기판 카세트(1C')의 내측면부에는 기판(1G)의 양단부를 지지하기 위한 지지 부재(51)가 높이 방향으로 소정 간격을 두고 돌출되어 있고, 상기 기판(1G)을 지지하기 위한 선반(1R)이 다단으로 형성되어 있다. 기판 카세트(1C')에 수납된 각 기판(1G)은 그들의 양단부만이 대응하는 지지 부재(51)에 의해 지지된다. 이 경우, 각 기판(1G)의 중앙부가 휘어 반입출시에 바로 아래의 기판(1G)과 간섭할 우려가 있다. 또한, 각 기판(1G)을 반입출하기 위하여, 기판 인출 장치(1B)(도 5 참조)의 기판 인출 아암(52)도 진입할 수 있도록 해야만 한다. 이들 과제을 해결하기 위해서는 각 선반(1R)의 높이(선반 피치(1H))를 크게 해야만 한다. 이 결과, 1기의 기판 카세트(1C')에 있어서 기판(1G)의 수납 장수가 적어지게 된다.As shown in FIG. 11, the support member 51 for supporting both ends of the board | substrate 1G protrudes at predetermined intervals in the height direction at the inner side surface part of the conventional board | substrate cassette 1C ', The said board | substrate 1G 1R for supporting) is formed in multiple stages. Each board | substrate 1G accommodated in the board | substrate cassette 1C 'is supported by the support member 51 which only their both ends correspond. In this case, the center part of each board | substrate 1G may bend and it may interfere with the board | substrate 1G immediately below at the time of carrying in / out. In addition, in order to carry in and take out each board | substrate 1G, the board | substrate extraction arm 52 of the board | substrate extraction apparatus 1B (refer FIG. 5) must also be able to enter. In order to solve these problems, the height (shelf pitch 1H) of each shelf 1R must be made large. As a result, the number of sheets stored in the substrate 1G is reduced in one substrate cassette 1C '.

상기한 과제를 해결하기 위하여, 도 12에 나타내는 바와 같이 기판 카세트(1C'')의 좌우 방향을 따라 와이어(53)를 쳐 이것으로 각 선반(1R)을 형성한 것이 공지되어 있다. 이 기판 카세트(1C'')의 경우, 그 저면부를 관통하여 승강되는 롤러 부착 프레임(54)에 의해 기판(1G)이 약간 들어 올려지고, 이 상태에서 이 기판(1G)이 반입출된다. 그러나, 기판(1G)을 반출할 때에는 최하단의 선반(1R)에 수용된 기판(1G)부터 순차적으로 상단의 기판(1G)을 반출해야만 한다. 또한, 기판(1G)을 수납할 때에는 최상단의 선반(1R)부터 순차적으로 하단의 선반(1R)에 수납할 필요가 있다. 이 때문에, 임의의 단의 선반(1R)에 수납되어 있는 기판(1G)을 반출시키거나, 임의의 단의 선반(1R)에 기판(1G)을 수납시키는 것은 곤란하다.In order to solve the said subject, as shown in FIG. 12, it is known that each shelf 1R was formed by hitting the wire 53 along the left-right direction of the board | substrate cassette 1C ". In the case of the substrate cassette 1C '', the substrate 1G is slightly lifted by the roller attachment frame 54 that is lifted through the bottom portion thereof, and the substrate 1G is carried in and out of this state. However, when carrying out the board | substrate 1G, the board | substrate 1G of the upper end must be carried out sequentially from the board | substrate 1G accommodated in the lowest shelf 1R. In addition, when storing the board | substrate 1G, it is necessary to receive in the lower shelf 1R sequentially from the upper shelf 1R. For this reason, it is difficult to carry out the board | substrate 1G accommodated in the arbitrary shelf 1R, or to accommodate the board | substrate 1G in the arbitrary shelf 1R.

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본 발명은 상기한 문제점을 감안하여, 기판을 기판 카세트의 임의의 선반에 반입출할 수 있도록 하는 것을 과제로 하고 있다.The present invention has been made in view of the above-described problems, so that the substrate can be carried in and out of any shelf of the substrate cassette.

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상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 카세트 본체의 내부에 기판을 다단으로 지지하는 다수의 선반이 형성되고, 상기 카세트 본체의 특정 측면이 기판의 반입출 개구로 되어 있으며, 상기 선반은 소정 간격을 두고 가세트 본체를 관통하는 복수개의 지지재로 구성된 기판 카세트와, 상기 기판 카세트의 측면으로부터 기판 승강 수단을 구비한 기판 승강판이 상기 기판 카세트 내에 각각 출입하며, 상기 기판 승강판이 기판 카세트 내에 들어간 상태에서 바로 위의 기판을 상기 지지재로부터 약간 들어 올리는 기판 승강 유닛으로 이루어지고, 상기 기판 카세트와 상기 기판 승강 유닛은 상대적으로 승강하는 구성인 것을 특징으로 하고 있다.In order to solve the above problems, the present invention provides a plurality of shelves for supporting a substrate in multiple stages in a cassette body, and a specific side surface of the cassette body is an opening and closing opening of the substrate, and the shelves are spaced at a predetermined interval. A substrate cassette composed of a plurality of support members penetrating through the main body of the body, and a substrate lifting plate having a substrate lifting means from the side surface of the substrate cassette respectively enter and exit the substrate cassette, and the substrate lifting plate immediately enters the substrate cassette. It consists of a board | substrate elevating unit which raises the said board | substrate slightly from the said support material, The said board | substrate cassette and the board | substrate elevating unit are characterized by the structure of relatively elevating.

목적으로 하는 기판이 취출 가능해지도록, 기판 카세트와 기판 승강 유닛을 상대적으로 승강시킨 후에, 기판 카세트의 측면으로부터 기판 승강 유닛의 기판 승강판을 각각 기판 카세트 내에 진입시킨다. 이 상태에서, 각 기판 승강 유닛의 기판 승강 수단을 작동시키면, 바로 위의 기판은 지지재에 대하여 약간 들어 올려진다(상승된다). 상기 상태에서 적절한 인출 수단에 의해 기판 카세트로부터 기판을 외부로 끄집어 낸다. After the substrate cassette and the substrate raising and lowering unit are raised and lowered relatively so that the target substrate can be taken out, the substrate lifting and lowering plates of the substrate raising and lowering unit are respectively entered into the substrate cassette from the side of the substrate cassette. In this state, when the board | substrate elevating means of each board | substrate elevating unit is operated, the board | substrate immediately above is lifted up (elevates) with respect to a support material. In this state, the substrate is taken out from the substrate cassette by an appropriate drawing means.

기판 카세트에 기판을 반입하기 위해서는 상기와 반대의 조작을 수행하면 된다. 즉, 기판의 반입시에는 기판 카세트 내에 삽입된 기판 승강판에 구비한 기판 승강 수단이 작동한 상태에서 수행한다. 이 기판 카세트에는 기판 수납 용기를 관통하는 지지재가 있기 때문에 기판의 휨이 적어 기판 상호의 간격을 작게 할 수 있으므로 수납 장수가 늘어나며, 특정 선반에 지지되어 있는 목적 기판의 반출 또는 목적 선반으로의 기판의 반입이 가능해지도록 기판 카세트와 기판 승강 유닛을 상대적으로 승강시키기 때문에, 임의의 선반에 대한 기판의 반입/반출이 가능하게 된다. In order to carry a board | substrate into a board | substrate cassette, the operation opposite to the above is performed. That is, at the time of carrying in a board | substrate, it carries out in the state which the board | substrate lifting means provided in the board | substrate lifting board inserted in the board | substrate cassette operated. Since the substrate cassette has a support material that penetrates the substrate storage container, the warpage of the substrate is small and the distance between the substrates can be reduced, thereby increasing the number of storage periods. Since the substrate cassette and the substrate raising and lowering unit are relatively elevated so as to be able to be loaded in, it is possible to bring in / out of the substrate to any shelf.

또한, 본 발명은 상기 발명을 전제로 하여, 상기 기판 승강 수단을 구비한 각 기판 승강판은 상기 반입출 개구와 인접하는 두 개의 대향 측면으로부터 상기 기판 카세트 내에 각각 출입시키는 것을 특징으로 한다. 이 발명에서는 한 쌍의 기판 승강 유닛을 구비하고 있기 때문에, 승강 수단을 구비한 한 쪽 지지 형상의 기판 승강판의 길이를 짧게 할 수 있어 그 휨을 적게 할 수 있기 때문에, 기판 카세트의 선반 피치를 작게 할 수 있어 총 선반수가 늘어나므로 기판의 수용 장수가 늘어난다.Further, the present invention is based on the above-described invention, and each of the substrate lifting plates provided with the substrate lifting means is allowed to enter and exit the substrate cassette from two opposite side surfaces adjacent to the carry-in and out openings, respectively. In this invention, since a pair of board | substrate elevating unit is provided, the length of one support board | substrate board | substrate lifting board provided with the lifting means can be shortened, and the curvature can be reduced, and the shelf pitch of a board | substrate cassette is made small. The total number of shelves increases, which increases the number of boards.

또한, 본 발명은 상기 발명을 전제로 하여, 상기 기판 승강 수단은 무수한 공기 분출구가 형성된 기판 승강판과, 각 공기 분출구로부터 압력 공기를 분출시키기 위한 압력 공기원으로 이루어지며, 지지재에 대하여 기판을 부상시키는 구성인 것을 특징으로 하고 있다. 이 발명에서는 비접촉으로 지지재에 대하여 기판을 반입출시키기 때문에, 기판을 손상시킬 우려가 없다.In addition, the present invention is based on the above-described invention, the substrate lifting means is composed of a substrate lifting plate formed with a myriad of air blowing holes, and a pressure air source for blowing pressure air from each air blowing opening, It is characterized by the floating configuration. In this invention, since a board | substrate is carried in and out of a support material non-contactedly, there is no possibility of damaging a board | substrate.

또한, 본 발명은 상기 발명을 전제로 하여, 상기 기판 승강 수단은 무수한 공기 분출구가 형성된 기판 승강판과, 각 공기 분출구로부터 압력 공기를 분출시키기 위한 압력 공기원과, 기판 승강판을 약간 부상시키는 기판 부상 보조 수단으로 이루어지며, 압력 공기와 기판 부상 보조 수단에 의해 지지재에 대하여 기판을 부상시키는 구성인 것을 특징으로 하고 있다. 이 발명에서는 기판이 압력 공기와 기판 부상 보조 수단에 의해 지지재로부터 확실하게 부상된다.Further, the present invention is based on the above-described invention, and the substrate lifting means includes a substrate lifting plate having a myriad of air blowing holes, a pressure air source for blowing pressure air from each air blowing hole, and a substrate which slightly floats the substrate lifting plate. It is composed of the floating auxiliary means, it characterized in that the configuration to float the substrate with respect to the support material by the pressure air and the substrate floating auxiliary means. In this invention, a board | substrate is reliably floated from a support material by pressure air and a board | substrate flotation assistance means.

또한, 본 발명은 상기 발명을 전제로 하여, 상기 기판 승강 수단은 기판 승강판의 상면에 장착된 다수의 지지 롤러이며, 상기 기판은 기판 승강판이 약간 상승하여 지지재로부터 들어 올려지는 구성인 것을 특징으로 하고 있다. 이 발명에서는 기판 승강판의 상면에 다수의 지지 롤러를 장착한다는 간단한 기계적 구성에 의해 지지재에 대하여 기판을 들어 올릴 수 있다.Further, the present invention is based on the above invention, the substrate lifting means are a plurality of support rollers mounted on the upper surface of the substrate lifting plate, the substrate is characterized in that the substrate lifting plate is slightly raised to lift from the support material I am doing it. In this invention, a board | substrate can be lifted with respect to a support material by the simple mechanical structure of mounting many support rollers on the upper surface of a board | substrate lifting board.

또한, 본 발명은 카세트 본체의 내부에 기판을 다단으로 지지하는 다수의 선반이 형성되고, 상기 카세트 본체의 특정 측면이 기판의 반입출 개구로 되어 있으며, 상기 선반은 소정 간격을 두고 가세트 본체를 관통하는 복수개의 지지재로 구성된 기판 카세트와, 상기 기판 카세트의 측면으로부터 기판 승강 수단을 구비한 기판 승강판이 상기 기판 카세트 내에 각각 출입하며, 상기 기판 승강판이 기판 카세트 내에 들어간 상태에서 바로 위의 기판을 상기 지지재로부터 들어 올리는 기판 승강 유닛으로 이루어지고, 상기 기판 승강 유닛은 기판 카세트의 선반수에 대응한 복수의 기판 승강판이 승강판 지지 부재에 지지되고, 각 기판 승강판은 바로 위의 기판을 상기 지지재로부터 약간 들어 올리는 기판 승강 수단을 가지며, 각 기판 승강판의 기판 승강 수단의 동작은 개별적으로 전환 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.In addition, according to the present invention, a plurality of shelves for supporting the substrate in multiple stages are formed in the cassette body, and a specific side surface of the cassette body is an opening and closing opening of the substrate, and the shelves are arranged at predetermined intervals. A substrate cassette composed of a plurality of supporting materials penetrating therethrough, and a substrate lifting plate provided with substrate lifting means from a side surface of the substrate cassette respectively enter and exit the substrate cassette, and the substrate immediately above the substrate lifting plate is inserted into the substrate cassette. And a substrate lifting unit that lifts from the support material, wherein the substrate lifting unit supports a plurality of substrate lifting plates corresponding to the number of shelves of the substrate cassette on the lifting plate support member, and each of the substrate lifting plates lifts the immediately above substrate. It has a board | substrate lifting means which lifts slightly from a support material, and board | substrate lifting of each board | substrate lifting board Operation of the stage is characterized in that which is capable of individually switching to.

기판 카세트에 대한 기판의 반입출은 기판 카세트 내에 기판 승강 유닛의 기판 승강판을 진입시킨 상태에서 목적의 선반에 대응하는 기판 승강 수단을 작동시켜 수행한다. 이 발명의 경우, 기판 카세트와 기판 승강 유닛을 상대적으로 승강시킬 필요가 없기 때문에, 상기 승강을 위한 장치가 불필요해져 기판 승강 유닛의 구성이 간단해진다.Loading and unloading of the substrate to and from the substrate cassette is performed by operating the substrate lifting means corresponding to the target shelf in a state where the substrate lifting plate of the substrate lifting unit is placed in the substrate cassette. In the case of this invention, it is not necessary to elevate the substrate cassette and the substrate elevating unit relatively, so that the device for elevating is unnecessary and the configuration of the substrate elevating unit is simplified.

또한, 본 발명은 상기 발명을 전제로 하여, 상기 기판 승강 수단은 무수한 공기 분출구로부터 압력 공기가 분출되는 구성이며, 각 기판 승강 수단으로부터의 압력 공기의 분출구는 개별적으로 전환 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하고 있다. 기판 카세트에 대한 기판의 반입출은 기판 카세트 내에 기판 승강 유닛의 기판 승강판을 진입시킨 상태에서, 목적의 선반에 대응하는 기판 승강판으로부터만 압력 공기를 분출시켜 수행한다. 이 때문에 압력 공기가 분출하는 기판 승강판을 선택함으로써, 기판 카세트에서의 복수의 선반 중 임의의 선반에 수납된 기판의 반입출이 가능하게 된다. Moreover, this invention is based on the said invention, The said board | substrate elevating means is a structure in which pressure air is blown out from a myriad of air blower openings, The outlet of the pressure air from each board | substrate raising means is switchable individually, It is characterized by the above-mentioned. Doing. Carrying in and out of a board | substrate with respect to a board | substrate cassette is performed by blowing pressure air only from the board | substrate lifting board corresponding to the target shelf, in the state which entered the board | substrate lifting board of the board | substrate lifting unit in the board | substrate cassette. For this reason, carrying out the carrying out of the board | substrate accommodated in the arbitrary shelf among the some shelf in a board | substrate cassette by selecting the board | substrate elevating board which pressure air blows out is possible.

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본 발명은 카세트 본체의 내부에 기판을 다단으로 지지하는 다수의 선반이 형성되고, 상기 카세트 본체의 특정 측면이 기판의 반입출 개구로 되어 있으며, 상기 선반은 소정 간격을 두고 가세트 본체를 관통하는 복수개의 지지재로 구성된 기판 카세트와, 상기 기판 카세트의 측면으로부터 기판 승강 수단을 구비한 기판 승강판이 상기 기판 카세트 내에 각각 출입하며, 상기 기판 승강판이 기판 카세트 내에 들어간 상태에서 바로 위의 기판을 상기 지지재로부터 약간 들어 올리는 기판 승강 유닛으로 이루어지고, 상기 기판 카세트와 상기 기판 승강 유닛은 상대적으로 승강하는 구성인 것을 특징으로 하고 있다. 이 때문에, 기판 카세트의 임의의 선반에 수납되어 있는 기판을 손상시키지 않고 반출하는 것, 및 기판 카세트의 임의의 선반에 기판을 반입하는 것이 가능하다.According to the present invention, a plurality of shelves for supporting a substrate in multiple stages are formed in a cassette body, and a specific side surface of the cassette body is an opening and closing opening of the substrate, and the shelves penetrate the gasset body at predetermined intervals. A substrate cassette composed of a plurality of support members and a substrate lifting plate provided with substrate lifting means from side surfaces of the substrate cassette enter and exit the substrate cassette, respectively, and support the substrate immediately above the substrate lifting plate in the substrate cassette. It consists of the board | substrate elevating unit which lifts a little from ash, The said board | substrate cassette and the said board | substrate elevating unit are a structure which raises and lowers relatively. For this reason, it is possible to carry out without damaging the board | substrate accommodated in the arbitrary shelf of a board | substrate cassette, and to carry in a board | substrate to the arbitrary shelf of a board | substrate cassette.

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도 1은 본 발명 실시예 1의 기판 반입 장치(1A1)의 전체 사시도.1 is an overall perspective view of a substrate loading apparatus 1A1 of Embodiment 1 of the present invention.

도 2는 기판 카세트(1C)의 사시도.2 is a perspective view of the substrate cassette 1C.

도 3은 실시예 1의 기판 반입출 장치(1A1)의 정면도.3 is a front view of the substrate loading / unloading apparatus 1A1 of Example 1. FIG.

도 4는 한 쌍의 기판 승강 유닛(1U1)의 각 기판 승강 아암(14)이 기판 카세트(1C) 내에 진입한 상태의 평면도.4 is a plan view of a state in which each of the substrate lifting arms 14 of the pair of substrate lifting units 1U1 enters the substrate cassette 1C.

도 5는 기판 인출 장치(1B)의 평면도.5 is a plan view of the substrate taking out device 1B.

도 6은 기판 인출 장치(1B)의 측면 단면도.6 is a side cross-sectional view of the substrate taking out device 1B.

도 7은 기판(1G)을 부상시킨 상태를 나타내는 도면.7 is a view showing a state in which the substrate 1G is floated.

도 8은 각 지지 롤러(33)에 의해 기판(1G)을 들어 올린 상태를 나타내는 도면.FIG. 8 is a view showing a state in which the substrate 1G is lifted by the support rollers 33.

도 9는 실시예 2의 기판 반입출 장치(1A2)의 정면도.9 is a front view of the substrate loading / unloading apparatus 1A2 of Example 2. FIG.

도 10은 실시예 3의 기판 반입출 장치(1A3)의 정면도.10 is a front view of the substrate loading / unloading apparatus 1A3 of Example 3. FIG.

도 11은 종래의 기판 카세트(1C')에 수납된 기판(1G)이 휘는 상태를 나타내는 도면.Fig. 11 is a diagram showing a state where the substrate 1G accommodated in the conventional substrate cassette 1C 'is bent.

도 12는 종래의 기판 카세트(1C')에 수납된 기판(1G)을 롤러 부착 프레 임(54)에 의해 반출하는 상태를 나타내는 도면.Fig. 12 is a diagram showing a state in which the substrate 1G stored in the conventional substrate cassette 1C 'is carried out by the frame 54 with a roller.

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(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)

1A1~1A3 기판 반입출 장치1A1 ~ 1A3 Board Loading / Exporting Device

1C 기판 카세트1C substrate cassette

1Fa, 1Fb 측면1Fa, 1Fb side

1G 기판1G substrate

1H 선반 피치(소정 간격)1H shelf pitch (predetermined interval)

1K 반입출 개구1K import and export opening

1R', 1R 선반1R ', 1R Rack

1U1~1U3 기판 승강 유닛1U1 to 1U3 Board Lift Units

1V 압력 공기원1V pressure air source

1 카세트 본체1 cassette body

4 와이어(지지재)4 wire (support)

6 가동 프레임(승강판 지지부재)6 movable frame (elevation plate support member)

34, 35 기판 승강 아암(기판 승강판)34, 35 board lifting arms (board lifting boards)

21 공기 부상 유닛(기판 승강 수단)21 Airborne Units (Board Lifting Units)

21a 공기 분출구21a air outlet

33 지지 롤러(기판 승강 수단)33 Support rollers (substrate lifting means)

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이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 본 발명을 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to preferred embodiments of the present invention.

(실시예 1)(Example 1)

먼저, 본 발명에 따른 기판 반입출 장치를 실시예 1~3에 기초하여 설명한다.First, the board | substrate carrying-out apparatus which concerns on this invention is demonstrated based on Examples 1-3.

도 1은 본 발명의 실시예 1의 기판 반입출 장치(1A1)의 전체 사시도, 도 2는 기판 카세트(1C)의 사시도, 도 3은 실시예 1의 기판 반입출 장치(1A1)의 정면도, 도 4는 한 쌍의 기판 승강 유닛(1U1)의 각 기판 승강 아암(14)이 기판 카세트(1C) 내에 진입한 상태의 평면도, 도 5는 기판 인출 장치(1B)의 평면도, 도 6은 기판 인출 장치(1B)의 측면 단면도이다.1 is an overall perspective view of the substrate loading / unloading apparatus 1A1 of Embodiment 1 of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of the substrate cassette 1C, FIG. 3 is a front view of the substrate loading / unloading apparatus 1A1 of Example 1, 4 is a plan view of the substrate lifting arms 14 of the pair of substrate lifting units 1U1 having entered the substrate cassette 1C, FIG. 5 is a plan view of the substrate drawing apparatus 1B, and FIG. Side sectional drawing of the apparatus 1B.

도 1 및 도 3에 나타내어진 바와 같이, 실시예 1의 기판 반입출 장치(1A1)는 기판 카세트(1C)와, 이 기판 카세트(1C)에 있어서 기판(1G)의 특정 측면(반입출 개구(1K))과 인접하는 한 쌍의 측면(1Fa, 1Fb)에 대향하여 배치되는 각 기판 승강 유닛(1U1)으로 구성되어 있다. 각 기판 승강 유닛(1U1)에는 각각 압력 공기를 공급하기 위한 압력 공기원(1V)이 장착되어 있다. 그리고, 도 4에 나타내어진 바와 같이, 상기 기판 카세트(1C)에서 있어서 각 기판(1G)의 반입출 개구(1K)와 대향하여 기판 인출 장치(1B)가 설치되어 있다.As shown in Fig. 1 and Fig. 3, the substrate loading / unloading apparatus 1A1 of the first embodiment has a substrate cassette 1C and a specific side surface of the substrate 1G in the substrate cassette 1C (load-in / out opening ( 1K)) and each board | substrate lifting unit 1U1 arrange | positioned facing the pair of side surfaces 1Fa and 1Fb which adjoin. Each board | substrate elevating unit 1U1 is equipped with the pressure air source 1V for supplying pressure air, respectively. And as shown in FIG. 4, in the said board | substrate cassette 1C, the board | substrate extraction apparatus 1B is provided facing the carrying-in / out opening 1K of each board | substrate 1G.

먼저, 기판 카세트(1C)에 대하여 설명한다. 도 2에 나타내어진 바와 같이, 이 기판 카세트(1C)를 구성하는 직육면체틀 형상의 카세트 본체(1)는 수지, 혹은 금속과 수지의 복합재로 이루어진다. 그리고, 그 좌우의 측면(1Fa, 1Fb)과 배면에 복수개(본 실시예의 경우, 좌우의 측면(1Fa, 1Fb)에 각 4개, 배면에 2개)의 종 판(2)이 소정 간격을 두고 장착되어 있음과 동시에, 그 상하면에 복수개(본 실시예의 경우, 3개)의 횡판(3)이 소정 간격을 두고 장착되어 있다. 또한, 카세트 본체(1)의 바로 앞의 측면은 기판(1G)을 반입출시키기 위하여 개구되어 있으며, 반입출 개구(1K)가 형성되어 있다. 기판(1G)은 기판 인출 장치(1B)에 의해 상기 반입출 개구(1K)를 통하여 기판 카세트(1C)에 반입출된다. 기판(1G)이 반입출되는 방향을 반입출 방향(1P)이라고 기재하고, 상기 반입출 방향(1P)과 직교하는 수평 방향(기판 카세트(1C)의 폭 방향)을 좌우 방향(1Q)이라고 기재한다. First, the substrate cassette 1C will be described. As shown in FIG. 2, the rectangular parallelepiped-shaped cassette main body 1 which comprises this substrate cassette 1C consists of resin or the composite material of a metal and resin. Then, the longitudinal plates 2 on the left and right side surfaces 1Fa and 1Fb and on the rear surface (in this embodiment, four on the left and right side surfaces 1Fa and 1Fb and two on the rear surface) are spaced at a predetermined interval. At the same time, a plurality of horizontal plates 3 (three in this embodiment) are mounted at predetermined intervals on the upper and lower surfaces thereof. In addition, the side immediately before the cassette main body 1 is opened for carrying in and out of the board | substrate 1G, and the carrying-in / out opening 1K is formed. The board | substrate 1G is carried in and out to the board | substrate cassette 1C via the said carrying-out opening 1K by the board | substrate extraction apparatus 1B. The direction in which the substrate 1G is carried in and out is described as the carry-in / out direction 1P, and the horizontal direction (the width direction of the substrate cassette 1C) orthogonal to the carry-in / out direction 1P is described as the left-right direction 1Q. do.

도 2에 나타내어진 바와 같이, 상기 기판 카세트(1C)의 좌우의 측면(1Fa, 1Fb)에 장착된 각 종판(2)끼리는 서로 대향하여 장착되어 있다. 그리고, 도 3에 나타내어진 바와 같이, 한 쌍의 종판(2)에 있어서 동일 높이의 위치에는 기판 카세트(1C)의 폭 방향(좌우 방향(1Q))을 따라, 기판(1G)을 지지하기 위한 각 지지재가 장착되어 있다. 본 실시예의 기판 카세트(1C)의 경우, 상기 지지재는 카세트 본체(1)를 관통하는 동시에 장력 부여 상태로 쳐진 와이어(4)이다. 이로 인해, 높이 방향에서의 각 와이어(4)끼리의 사이에는 이 와이어(4)를 선반판으로 하여 각각 기판(1G)을 수납하고 다단으로 지지하기 위한 선반(1R)이 형성되어 있다. As shown in Fig. 2, the vertical plates 2 mounted on the left and right side surfaces 1Fa and 1Fb of the substrate cassette 1C are mounted to face each other. 3, along the width direction (left-right direction 1Q) of the board | substrate cassette 1C at the position of the same height in a pair of end plates 2 for supporting the board | substrate 1G. Each support material is attached. In the case of the substrate cassette 1C of the present embodiment, the supporting material is a wire 4 which penetrates the cassette main body 1 and is in a tensioning state. For this reason, the shelf 1R for accommodating the board | substrate 1G and supporting it in multiple stages is formed between each wire 4 comrades in the height direction, using this wire 4 as a shelf board.

다음으로, 한 쌍의 기판 승강 유닛(1U1)에 대하여 설명한다. 도 3 및 도 4에 나타내어진 바와 같이, 한 쌍의 기판 승강 유닛(1U1)은 기판 카세트(1C)를 끼고 그 각 측면(1Fa, 1Fb)에 대향하는 형태로 거의 대칭으로 배치되어 있다. 각 기판 승강 유닛(1U1)의 구성은 완전히 동일하기 때문에, 여기에서는 정면에서 보아 좌측의 기판 승강 유닛(1U1)의 구성에 대해서만 설명한다. 평면으로 보아 직사각형 평판 형 상의 베이스(5)의 상면에는 좌우 방향(1Q)을 따라 진퇴 가능하게 가동 프레임(6)이 설치되어 있다. 즉, 베이스(5)의 상면에서 앞쪽과 안쪽의 단부에는 좌우 방향(1Q)을 따라 한 쌍의 가이드 레일(7)이 설치되어 있다. 그리고, 상기 가동 프레임(6)의 저면부에는 상기 한 쌍의 가이드 레일(7)에 장착되는 4개의 가이드체(8)가 장착되어 있다. 또한, 베이스(5)에 있어서 한 쌍의 가이드 레일(7) 사이에는 좌우 방향(1Q)을 따라 볼나사 장착홈(9)이 설치되어 있으며, 일 볼나사 장착홈(9)에 볼나사(11)가 설치되어 있다. 이 볼나사(11)는 가동 프레임(6)의 저면부에 장착된 너트체(도시하지 않음)에 결합되어 있다. 또한, 그 일단부는 브라켓(12)에 장착된 수평 이동 모터(13)에 접속되어 있다. 이 수평 이동 모터(13)를 작동시켜 그 모터축을 소정 방향으로 회전시키면, 상기 가동 프레임(6)은 한 쌍의 가이드 레일(7)에 가이드되어 좌우 방향(1Q)을 따라 소정량만큼 진퇴된다.Next, a pair of board | substrate elevating unit 1U1 is demonstrated. As shown in FIG. 3 and FIG. 4, the pair of substrate lifting units 1U1 are arranged almost symmetrically in a form facing the respective side surfaces 1Fa and 1Fb with the substrate cassette 1C interposed therebetween. Since the structure of each board | substrate elevating unit 1U1 is completely the same, only the structure of the board | substrate elevating unit 1U1 of the left side seen from the front is demonstrated here. The movable frame 6 is provided in the upper surface of the base 5 of a rectangular flat plate shape in plan view so as to be able to move forward and backward along the left and right directions 1Q. That is, a pair of guide rails 7 are provided at the front and inner end portions of the upper surface of the base 5 along the left and right directions 1Q. Four guide bodies 8 mounted on the pair of guide rails 7 are attached to the bottom face of the movable frame 6. Further, in the base 5, a ball screw mounting groove 9 is provided between the pair of guide rails 7 along the left and right directions 1Q, and the ball screw 11 is provided in one ball screw mounting groove 9. ) Is installed. The ball screw 11 is coupled to a nut body (not shown) attached to the bottom portion of the movable frame 6. In addition, one end thereof is connected to a horizontal moving motor 13 attached to the bracket 12. When the horizontal moving motor 13 is operated to rotate the motor shaft in a predetermined direction, the movable frame 6 is guided by a pair of guide rails 7 and advances by a predetermined amount along the left and right directions 1Q.

상기 가동 프레임(6)은 베이스(5)보다도 약간 좁은 폭을 가짐과 동시에, 그 하단부의 배면측이 상단부보다도 넓은 형태의 평판으로서, 베이스(5)에 대하여 기립 상태로 장착되어 있다. 이 가동 프레임(6)의 전면부(기판 카세트(1C)의 측면(1Fa, 1Fb)과 서로 대향하는 부분)에는 측면에서 보아 대략 L자 형상의 기판 승강 아암(14)이 승강 가능하게 설치되어 있다. 즉, 가동 프레임(6)의 전면부에는 상술한 베이스(5)와 마찬가지로 그 안쪽 방향(반입출 방향(1P))의 양단부에 높이 방향을 따라 한 쌍의 가이드 레일(15)이 설치되어 있다. 그리고, 상기 기판 승강 아암(14)의 배면부에는 상기 한 쌍의 가이드 레일(15)에 장착되는 4개의 가이드체(16)가 장착되어 있다. 또한, 가동 프레임(6)에 있어서 한 쌍의 가이드 레일(15) 사이에는 높이 방향을 따라 볼나사(17)가 설치되어 있다. 이 볼나사(17)는 가동 프레임(6)에 설치된 너트체(도시하지 않음)에 결합되어 있다. 또한, 그 일단부는 가동 프레임(6)의 상단부에 장착된 모터 장착판(18)에 설치된 승강 모터(19)에 접속되어 있다. 이 승강 모터(19)를 작동시켜 그 모터축을 소정 방향으로 회전시키면, 상기 기판 승강 아암(14)은 한 쌍의 가이드 레일(15)에 가이드되어 높이 방향을 따라 소정량만큼 승강된다. The movable frame 6 has a width slightly narrower than that of the base 5, and a rear surface of the lower end portion is wider than the upper end portion, and is mounted on the base 5 in an upright state. A substantially L-shaped substrate lifting arm 14 is provided on the front surface of the movable frame 6 (parts facing the side surfaces 1Fa and 1Fb of the substrate cassette 1C) so as to be lifted and lowered. . That is, similarly to the base 5 mentioned above, the front part of the movable frame 6 is provided with the pair of guide rails 15 along the height direction in the both ends of the inner direction (load-in / out direction 1P). In addition, four guide bodies 16 mounted on the pair of guide rails 15 are attached to the rear portion of the substrate lifting arm 14. In the movable frame 6, a ball screw 17 is provided between the pair of guide rails 15 along the height direction. The ball screw 17 is coupled to a nut body (not shown) provided in the movable frame 6. Moreover, one end part is connected to the lifting motor 19 provided in the motor mounting plate 18 attached to the upper end of the movable frame 6. When the lifting motor 19 is operated to rotate the motor shaft in a predetermined direction, the substrate lifting arms 14 are guided by a pair of guide rails 15 and are lifted by a predetermined amount along the height direction.

상기 기판 승강 아암(14)은 기판 카세트(1C)의 각 측면(1Fa, 1Fb)으로부터 이 기판 카세트(1C)를 구성하는 각 종판(2)과의 간섭을 피해 내부로 진입 가능하도록, 평면으로 보아 세 갈래로 분리되어 있으며, 상기 각 종판(2)과 대향하는 부분에 각각 후퇴부(14a)가 설치되어 있다. 그리고, 기판 승강 아암(14)의 상면에는 공기 부상 유닛(21)이 장착되어 있다. 당연한 것이지만, 기판 승강 아암(14)과 공기 부상 유닛(21)의 두께의 합계는 기판 카세트(1C)의 선반 피치(1H)보다도 작다. 이 공기 부상 유닛(21)은 압력 공기원(1V)으로부터 공급되는 압력 공기를 그 상면에 설치된 다수의 공기 분출구(21a)로부터 분출시켜, 바로 위에 배치되어 있는 기판(1G)을 각 와이어(4)로부터 부상시키는 기능을 가지고 있다.The substrate lifting arm 14 is viewed in a plan view so as to be able to enter from the side surfaces 1Fa and 1Fb of the substrate cassette 1C and enter into the interior avoiding interference with the end plates 2 constituting the substrate cassette 1C. It is separated into three branches, and the recessed part 14a is provided in the part which opposes each said end plates 2, respectively. The air floating unit 21 is attached to the upper surface of the substrate lifting arm 14. As a matter of course, the sum of the thicknesses of the substrate lifting arm 14 and the air floating unit 21 is smaller than the shelf pitch 1H of the substrate cassette 1C. The air floating unit 21 blows off the pressure air supplied from the pressure air source 1V from the plurality of air blowing holes 21a provided on the upper surface thereof, and the wires 4 are placed on the substrate 1G disposed thereon. It has the function to float from.

상기한 결과, 승강 모터(19)를 작동시켜 기판 승강 아암(14)을 소정의 선반 위치(반입출되는 기판(1G)이 수납되어 있는 선반(1R)의 바로 밑의 선반(1R')과 대응하는 위치)에 배치시키고, 그 상태에서 수평 이동 모터(13)를 작동시켜 가동 프레임(6)을 좌우 방향(1Q)을 따라 이동(전진)시킴으로써, 상기 기판 승강 아암(14)을 상기 바로 밑의 선반(1R')에 진입시킬 수 있다. 도 2에 있어서, 기판 카세 트(1C)의 바로 밑의 선반(1R')에 진입한 상태의 각 기판 승강 아암(14)을 이점쇄선으로 나타낸다.As a result, the lifting motor 19 is operated so that the substrate lifting arm 14 corresponds to a predetermined shelf position (the shelf 1R 'immediately below the shelf 1R in which the substrate 1G to be carried in and out is stored). Position), and the movable frame 6 is moved (advanced) along the left and right directions 1Q in such a state that the horizontal moving motor 13 is operated to move the substrate lifting arm 14 immediately below the above. The shelf 1R 'can be entered. In FIG. 2, each board | substrate lifting arm 14 in the state which entered the shelf 1R 'just under the board | substrate cassette 1C is shown by the double-dotted line.

다음으로, 기판 인출 장치(1B)에 대하여 설명한다. 이 기판 인출 장치(1B)는 기판 카세트(1C)에 대하여 상대적으로 승강 가능하며, 이 기판 카세트(1C)에 수납되어 있는 기판(1G)을 반출함과 동시에, 이 기판(1G)을 기판 카세트(1C)에 반입하는 기능을 가지고 있다. 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 기판 카세트(1C)에 대하여 상대적으로 승강 가능하게 배치된 기판 재치대(22)의 상면에는 좌우 방향(1Q)을 따라 복수개의 가이드 롤러(23)가 장착되어 있다. 이들 가이드 롤러(23)는 반입출되는 기판(1G)을 지지하기 위한 것이다. 그리고, 상기 기판 재치대(22)의 상면에서 좌우 방향(1Q)의 거의 중앙부에는 기판(1G)의 반입출 방향(1P)을 따라 가이드 레일(24)이 설치되어 있다. 이 가이드 레일(24)에 장착된 가이드체(25)에는 평면으로 보아 대략 T자 형상의 기판 인출 아암(26)이 장착되어 있다. 또한, 상기 기판 재치대(22)에 좌우 방향(1Q)의 거의 중앙부에는 기판(1G)의 반입출 방향(1P)을 따라 볼나사 장착홈(27)이 설치되어 있으며, 이 볼나사 장착홈(27)에 볼나사(28)가 설치되어 있다. 이 볼나사(28)는 기판 인출 아암(26)의 후단부에 장착된 너트체(29)에 결합되어 있다. 또한, 그 단부는 브라켓(31)에 장착된 인출 모터(32)에 접속되어 있다. 이 인출 모터(32)를 작동시켜 그 모터축을 소정 방향으로 회전시키면, 상기 기판 인출 아암(26)은 가이드 레일(24)에 가이드되어 기판(1G)의 반입출 방향(1P)을 따라 소정량만큼 진퇴된다. 또한, 상기 기판 인출 아암(26)의 전단부의 상면에는 기판(1G)의 단부의 하면을 진공 흡착하기 위한 각 흡착 패드(26a) 가 설치되어 있다. 이들 흡착 패드(26a)는 진공 흡착 장치(도시하지 않음)에 접속되어 있다. Next, the substrate take-out apparatus 1B will be described. The substrate take-out apparatus 1B can be lifted and lowered relative to the substrate cassette 1C, and the substrate 1G stored in the substrate cassette 1C is carried out and the substrate 1G is transferred to the substrate cassette 1 (the substrate cassette 1C). It has a function to import in 1C). 5 and 6, a plurality of guide rollers 23 are attached to the upper surface of the substrate placing table 22 that is relatively liftable relative to the substrate cassette 1C along the left and right directions 1Q. have. These guide rollers 23 are for supporting the board | substrate 1G carried in and out. And the guide rail 24 is provided along the carrying-in / out direction 1P of the board | substrate 1G in the substantially center part of the left-right direction 1Q from the upper surface of the said board | substrate mounting stand 22. As shown in FIG. The guide body 25 attached to this guide rail 24 is attached with the board | substrate extraction arm 26 of substantially T shape in planar view. In addition, a ball screw mounting groove 27 is provided at the center of the substrate placing table 22 along the carry-in / out direction 1P of the substrate 1G at a substantially central portion of the left and right directions 1Q. The ball screw 28 is provided in 27. The ball screw 28 is coupled to a nut body 29 attached to the rear end of the substrate lead-out arm 26. In addition, the end portion thereof is connected to a drawing motor 32 attached to the bracket 31. When the drawing motor 32 is operated and the motor shaft is rotated in a predetermined direction, the substrate drawing arm 26 is guided by the guide rails 24 and by a predetermined amount along the carry-in / out direction 1P of the substrate 1G. Retreat. Moreover, each adsorption pad 26a for vacuum adsorption of the lower surface of the edge part of the board | substrate 1G is provided in the upper surface of the front-end part of the said board | substrate extraction arm 26. As shown in FIG. These suction pads 26a are connected to a vacuum suction device (not shown).

본 발명에 따른 기판 반입출 장치(1A1)의 작용에 대하여, 기판 카세트(1C)의 선반(1R)에 수납되어 있는 특정 기판(1G)을 반출하는 경우에 대하여 설명한다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 각 기판 승강 유닛(1U1)의 승강 모터(19)가 작동되면, 볼나사(17)의 작용에 의해 각 기판 승강 아암(14)이 한 쌍의 가이드 레일(15)에 가이드되어 승강된다. 이로 인해, 상기 기판 승강 아암(14)은 기판 카세트(1C)의 선반(1R)에 수납되어 있는 특정 기판(1G)의 바로 밑의 선반(1R')과 거의 동일 높이에 배치된다. 이 상태에서, 도 4에 나타내어진 바와 같이, 각 기판 승강 유닛(1U1)의 수평 이동 모터(13)가 작동되면, 볼나사(11)의 작용에 의해 각 가동 프레임(6)이 좌우 방향(1Q)을 따라 전진된다. 이로 인해, 각 기판 승강 유닛(1U1)의 기판 승강 아암(14)은 그대로 기판 카세트(1C)에 있어서 선반(1R)의 바로 밑의 선반(1R')에 진입한다. 상기 기판 승강 아암(14)에 있어서, 기판 카세트(1C)를 구성하는 각 종판(2)과 간섭하는 부분에는 각각 후퇴부(14a)가 설치되어 있기 때문에, 이 기판 승강 아암(14)이 각 종판(2)과 간섭하는 일은 없다. 또한, 기판 카세트(1C)에 수납되어 있는 각 기판(1G)은 4개의 와이어(4)에 의해 지지되어 있기 때문에 휨이 없어 기판 승강 아암(14)과 접촉하는 일은 없다. The case of carrying out the specific board | substrate 1G accommodated in the shelf 1R of the board | substrate cassette 1C about the effect | action of the board | substrate carrying-in / out apparatus 1A1 which concerns on this invention is demonstrated. As shown in FIG. 3, when the lifting motor 19 of each board | substrate lifting unit 1U1 is operated, each board | substrate lifting arm 14 will act on the pair of guide rails 15 by the action of the ball screw 17. As shown in FIG. Guided and elevated For this reason, the said board | substrate lifting arm 14 is arrange | positioned at substantially the same height as the shelf 1R 'directly under the specific board | substrate 1G accommodated in the shelf 1R of the board | substrate cassette 1C. In this state, as shown in FIG. 4, when the horizontal moving motor 13 of each board | substrate elevating unit 1U1 is operated, each movable frame 6 will move to the left-right direction 1Q by the action of the ball screw 11. Advance along For this reason, the board | substrate lifting arm 14 of each board | substrate lifting unit 1U1 enters the shelf 1R 'directly under the shelf 1R in the board | substrate cassette 1C as it is. In the said board | substrate elevating arm 14, since the recessed part 14a is provided in the part which interferes with each longitudinal plate 2 which comprises the board | substrate cassette 1C, respectively, this board | substrate lifting arm 14 makes each longitudinal plate. It does not interfere with (2). Moreover, since each board | substrate 1G accommodated in the board | substrate cassette 1C is supported by four wires 4, there is no curvature and it does not contact the board | substrate lifting arm 14. As shown in FIG.

도 7에 나타내어진 바와 같이, 각 기판 승강 유닛(1U1)의 압력 공기원(1V)으로부터 공급된 압력 공기가 공기 부상 유닛(21)의 다수의 공기 분출구(21a)로부터 분출된다. 이로 인해, 특정 기판(1G)은 각 와이어(4)로부터 약간 부상한다.As shown in FIG. 7, the pressure air supplied from the pressure air source 1V of each board | substrate elevating unit 1U1 is blown out from the several air blowing port 21a of the air floating unit 21. As shown in FIG. As a result, the specific substrate 1G slightly rises from each wire 4.

다음으로, 도 5 및 도 6을 참조하면서, 부상한 특정 기판(1G)을 반출할 때의 작용(기판 인출 장치(1B)의 작용)에 대하여 설명한다. 기판 인출 장치(1B)의 기판 인출 아암(26)은 미리 기판 카세트(1C)와 기판 재치대(22)를 상대적으로 승강시킴으로써, 특정 기판(1G) 바로 밑의 선반(1R')과 대응하는 높이에 배치되어 있다(도 6 참조). 기판 인출 장치(1B)의 인출 모터(32)를 작동시키고, 볼나사(28)를 소정 방향으로 회전시켜 기판 인출 아암(26)을 기판(1G)의 반입출 방향(1P)을 따라 전진시킨다. 이로 인해, 기판 인출 아암(26)의 전단부는 기판 카세트(1C)의 반입출 개구(1K)를 통하여 특정 기판(1G)이 수납되어 있는 선반(1R)의 바로 밑의 선반(1R')의 앞쪽 부분으로 진입하여, 이 기판(1G)의 전단부의 바로 아래에 배치된다. 이 상태에서 진공 흡착 장치를 작동시키면, 기판(1G)의 전단부의 하면이 기판 인출 아암(26)의 진공 흡착 패드(26a)에 진공 흡착된다. 다시, 기판 인출 장치(1B)의 인출 모터(32)를 작동시켜 그 모터축을 역방향으로 회전시키면, 기판 인출 아암(26)이 후퇴된다. 그에 따라 기판 카세트(1C)의 선반(1R)에 수납되어 있는 특정 기판(1G)은 와이어(4)로부터 부상한 상태(와이어(4)와 비접촉인 상태)인 채로 인출되어 기판 재치대(22)에 장착된 각 가이드 롤러(23)에 지지된다. 이 때문에, 반출 도중의 특정 기판(1G)이 와이어(4)와 마찰함으로써 이 기판(1G)이 손상되거나, 이물질이 생길 우려가 없다.Next, with reference to FIG. 5 and FIG. 6, the action (action of the substrate taking out device 1B) when carrying out the floating specific substrate 1G will be described. The substrate taking-out arm 26 of the substrate taking-out apparatus 1B raises and lowers the board | substrate cassette 1C and the board | substrate mounting stand 22 previously, and the height corresponding to the shelf 1R 'directly under the specific board | substrate 1G is equivalent. It is arrange | positioned at (refer FIG. 6). The extraction motor 32 of the substrate taking-out apparatus 1B is operated, the ball screw 28 is rotated in a predetermined direction, and the substrate taking-out arm 26 is advanced along the carrying out direction 1P of the substrate 1G. For this reason, the front end of the board | substrate extraction arm 26 is in front of the shelf 1R 'just under the shelf 1R in which the specific board | substrate 1G is accommodated through the carrying-in / out opening 1K of the board | substrate cassette 1C. It enters the part and is disposed just below the front end of this substrate 1G. When the vacuum adsorption device is operated in this state, the lower surface of the front end of the substrate 1G is vacuum-adsorbed to the vacuum adsorption pad 26a of the substrate lead-out arm 26. When the drawing motor 32 of the substrate drawing device 1B is operated to rotate the motor shaft in the reverse direction, the substrate drawing arm 26 is retracted. Thereby, the specific board | substrate 1G accommodated in the shelf 1R of the board | substrate cassette 1C is pulled out in the state which floated from the wire 4 (non-contact with the wire 4), and the board | substrate mounting stage 22 It is supported by each guide roller 23 mounted on it. For this reason, when the specific board | substrate 1G in carrying out rubs with the wire 4, there is no possibility that this board | substrate 1G may be damaged or a foreign material may arise.

상기 기판(1G)을 기판 카세트(1C)에 반입시킬 때에는 상기와 역의 작용이 수행된다. 이 때에도, 기판(1G)이 반입되는 선반(1R)의 바로 아래 선반(1R')의 부분에는 미리 각 기판 승강 유닛(1U1)의 기판 승강 아암(14)이 진입되어 있으며, 공기 부상 유닛(21)의 다수의 분출구(21a)로부터 압력 공기가 분출되고 있다. 이 때문에, 기판 카세트(1C)에 반입되는 기판(1G)은 부상 상태로 진입되어 각 와이어(4)와 접촉하는 일은 없다.When carrying in the board | substrate 1G to the board | substrate cassette 1C, the reverse operation of the above is performed. Also at this time, the board | substrate elevating arm 14 of each board | substrate elevating unit 1U1 enters in advance into the part of the shelf 1R 'directly under the shelf 1R in which board | substrate 1G is carried in, and the air floating unit 21 Pressure air is blown out from many blowing ports 21a of (). For this reason, the board | substrate 1G carried into the board | substrate cassette 1C does not enter the floating state and contacts each wire 4.

각 기판 승강 유닛(1U1)의 기판 승강 아암(14)의 높이 위치는 승강 모터(19)를 작동시킴으로써 자유롭게 설정할 수 있다. 또한, 기판 카세트(1C)와 기판 인출 장치(1B)는 상대적으로 승강 가능하기 때문에, 기판 인출 장치(1B)의 기판 인출 아암(26)의 높이 위치도 자유롭게 설정할 수 있다. 이것은 기판 카세트(1C)의 임의의 선반(1R)에 수납되어 있는 기판(1G)을 반출하는 것, 및 기판 카세트(1C)의 임의의 선반(1R)에 기판(1G)을 반입하는 것 모두가 가능하다는 것을 의미하고 있다. 또한, 본 실시예의 기판 반입출 장치(1A1)에서는 1기의 기판 카세트(1C)에 대하여 한 쌍의 기판 반입출 장치(1A1)가 설치되어 있기 때문에, 상기 기판 카세트(1C)의 양측면(1Fa, 1Fb)으로부터 각 기판 승강 아암(14)을 진입시킬 수 있다. 이로 인해, 각 기판 승강 아암(14)의 길이를 짧게 할 수 있어 그들이 한 쪽 지지 상태로 장착되어 있어도 그들의 휨이 작아진다. 그 결과, 기판 카세트(1C)의 선판 피치(1H)를 작게 할 수 있어 1기의 기판 카세트(1C)에서의 기판(1G)의 수납 장수를 많게 할 수 있다. The height position of the board | substrate lifting arm 14 of each board | substrate lifting unit 1U1 can be set freely by operating the lifting motor 19. As shown in FIG. Moreover, since the board | substrate cassette 1C and the board | substrate take-out apparatus 1B can raise and lower relatively, the height position of the board | substrate takeout arm 26 of the board | substrate take-out apparatus 1B can also be set freely. This is to carry out the board | substrate 1G accommodated in the arbitrary shelf 1R of the board | substrate cassette 1C, and to carry in the board | substrate 1G to the arbitrary shelf 1R of the board | substrate cassette 1C. It means that it is possible. In addition, in the board | substrate carrying-out apparatus 1A1 of this embodiment, since a pair of board | substrate carrying-in / out apparatus 1A1 is provided with respect to one board | substrate cassette 1C, the both sides 1Fa of the said board | substrate cassette 1C, Each substrate lifting arm 14 can enter from 1Fb). For this reason, the length of each board | substrate lifting arm 14 can be shortened, and even if they are attached in one support state, their curvature becomes small. As a result, the board | substrate pitch 1H of the board | substrate cassette 1C can be made small, and the number of sheets of 1G of board | substrates in 1 board | substrate cassette 1C can be increased.

상기한 실시예에서는 압력 공기에 의해 기판(1G)을 부상시키는 형태이다. 그러나, 도 8에 나타내어진 바와 같이, 기판 승강 아암(14)의 상면에 다수개의 지지 롤러(33)를 회전 가능하게 장착하고, 각 지지 롤러(33)를 통하여 기판(1G)을 들어 올리는 형태여도 무방하다. 이 경우, 각 기판 반입출 장치(1A1)의 기판 승강 아 암(14)을 기판 카세트(1C)의 바로 아래의 선반(1R')에 진입시킨 후, 승강 모터(19)를 약간 작동시켜 상기 기판 승강 아암(14)을 약간 상승시킬 필요가 있다. In the above embodiment, the substrate 1G is floated by the pressure air. However, as shown in FIG. 8, even if it is the form which mounts the several support roller 33 rotatably on the upper surface of the board | substrate lifting arm 14, and raises the board | substrate 1G through each support roller 33. As shown in FIG. It's okay. In this case, after the board | substrate lifting arm 14 of each board | substrate carrying-in / out apparatus 1A1 enters the shelf 1R 'directly under the board | substrate cassette 1C, the lift motor 19 is operated slightly, and the said board | substrate is operated. It is necessary to raise the lifting arm 14 slightly.

상기한 기판 반입출 장치(1A1)를 구성하는 기판 승강 유닛(1U1)은 한 개의 기판 승강 아암(14)이 기판 카세트(1C)에 대하여 승강 가능하게 설치되어 있는 형태이다. 그러나, 기판 승강 아암(14)과 기판 카세트(1C)는 상대적으로 승강 가능하면 무방하다. 이 때문에, 예를 들면 가동 프레임(6)에 대하여 상기 기판 승강 아암(14)이 높이 방향으로 고정되어 있고, 기판 카세트(1C)가 승강 가능하게 설치되어 있는 형태, 혹은 양자가 함께 승강 가능하게 설치된 형태여도 상관없다.In the board | substrate elevating unit 1U1 which comprises said board | substrate carrying-in / out apparatus 1A1, one board | substrate lifting arm 14 is provided so that the board | substrate cassette 1C can be raised and lowered. However, the substrate lifting arm 14 and the substrate cassette 1C may be lifted relatively. For this reason, for example, the board | substrate elevating arm 14 is fixed with respect to the movable frame 6 in the height direction, and the board | substrate cassette 1C is provided so that the board | substrate cassette 1C can be elevated, or both are provided so that it can be elevated together. It may be in the form.

상기한 실시예에서는 기판(1G)을 승강시키는 수단은 압력 공기뿐이다. 그러나, 압력 공기에 의한 기판(1G)의 부상량은 아주 작기(0.1㎜) 때문에, 기판(1G)을 부상시키기 위한 보조 수단(도시하지 않음)을 설치하여 압력 공기와 동시에 사용하여도 상관없다. 이로 인해, 상기 기판(1G)을 확실하게 부상시킬 수 있다. 이 기판 부상 보조 수단으로는 예를 들면 솔레노이드 등의 전자력이나, 에어실린더 등의 공기압에 의한 것을 생각할 수 있다.In the above-described embodiment, the only means for raising and lowering the substrate 1G is pressure air. However, since the floating amount of the substrate 1G due to the pressure air is very small (0.1 mm), an auxiliary means (not shown) for floating the substrate 1G may be provided and used simultaneously with the pressure air. For this reason, the said board | substrate 1G can be raised reliably. As this board | substrate flotation assistance means, the thing by the electromagnetic force, such as a solenoid, and air pressure, such as an air cylinder, can be considered, for example.

(실시예 2)(Example 2)

상기한 실시예 1의 기판 반입출 장치(1A1)는 1개의 기판 카세트(1C)에 대하여 한 쌍의 기판 승강 유닛(1U1)이 설치되어 있는 형태로서, 이 기판 카세트(1C)의 양측면(1Fa, 1Fb)으로부터 각각 기판 승강 아암(14)이 진입하는 형태이다. 그러나, 도 9에 나타내어진 바와 같이, 1기의 기판 카세트(1C)와 1기의 기판 승강 유닛(1U2)으로 이루어지는 기판 반입출 장치(1A2)여도 무방하다. 이 실시예 2의 기판 반입출 장치(1A2)에서는 기판 승강 유닛(1U2)이 1기로 충분하다는 이점이 있다. 또한, 도 9에 나타내어지는 기판 반입출 장치(1A2)에서는 기판 승강 유닛(1U2)의 기판 승강 아암(34)이 기판 카세트(1C)의 한 쪽 측면(1Fa)으로부터 진입하는 한 형태이다. 그러나, 상기 기판 승강 아암(34)이 기판 카세트(1C)의 다른 쪽 측면(1Fb), 기판 카세트(1C)의 정면(반입출 개구(1K)), 혹은 배면으로부터 진입하는 형태여도 상관없다.The board | substrate carrying-in / out apparatus 1A1 of Example 1 mentioned above is a form in which a pair of board | substrate elevating unit 1U1 is provided with respect to one board | substrate cassette 1C, and both side surfaces 1Fa, of this board | substrate cassette 1C are provided. The board | substrate lifting arm 14 enters from 1Fb), respectively. However, as shown in FIG. 9, the board | substrate carrying-in / out apparatus 1A2 which consists of one board | substrate cassette 1C and one board | substrate elevating unit 1U2 may be sufficient. In the board | substrate carrying-in / out apparatus 1A2 of this Example 2, there exists an advantage that 1 board | substrate elevating unit 1U2 is enough. In the substrate loading / unloading apparatus 1A2 shown in FIG. 9, the substrate lifting arm 34 of the substrate lifting unit 1U2 enters from one side surface 1Fa of the substrate cassette 1C. However, the board | substrate lifting arm 34 may be a form which enters from the other side surface 1Fb of the board | substrate cassette 1C, the front surface (load-in / out opening 1K) of the board | substrate cassette 1C, or the back surface.

(실시예 3)(Example 3)

또한, 도 10에 나타내어진 기판 승강 유닛(1U3)과 같이, 기판 카세트(1C)의 최상단의 선반(1R)을 제외한 선반(1R)의 수에 대응하는 각 기판 승강 아암(35)이 가동 프레임(6)에 고정되어 설치되어 있어도 상관없다. 이 실시예 3의 기판 반입출 장치(1A3)를 구성하는 한 쌍의 기판 승강 유닛(1U3)에서는 각 기판 승강 아암(35)에 각 공기 부상 유닛(21)이 장착되어 있으며, 이들은 각각 독립적으로 작동되도록 공기 배관로가 형성되어 있다. 또한, 각 기판 승강 아암(35)은 가동 프레임(6)에 한 쪽 지지 상태로 장착되어 있다. 그리고, 도시하지 않은 전환 수단에 의해 특정 기판(1G)에 대응하는 공기 부상 유닛(21)으로부터만 압력 공기가 분출되도록 공기 배관로가 전환된다. 그러면, 다단으로 지지된 각 기판(1G) 중 특정 기판(1G)만이 부상되어, 해당 기판(1G)이 기판 인출 장치(1B)에 의해 반출된다. 또한, 기판(1G)이 반입될 때에도 해당 기판(1G)이 반입되는 선반(1R)에 대응하는 공기 부상 유닛(21)으로부터만 압력 공기가 분출된다. 이 실시예의 경우, 기판 승강 아암(35) 또는 기판 카세트(1C)를 상대적으로 승강시키기 위한 승강 수단이 불필요하게 되어 그 구성이 간단해진다는 이점이 있다.Moreover, like the board | substrate lifting unit 1U3 shown in FIG. 10, each board | substrate lifting arm 35 corresponding to the number of shelves 1R except the shelf 1R of the uppermost stage of the board | substrate cassette 1C is movable frame ( It may be fixed to 6) and installed. In a pair of board | substrate elevating unit 1U3 which comprises the board | substrate carrying-in / out apparatus 1A3 of this Example 3, each air lift unit 21 is attached to each board | substrate lifting arm 35, and these operate independently, respectively. The air pipe line is formed as much as possible. Moreover, each board | substrate lifting arm 35 is attached to the movable frame 6 in one support state. Then, the switching means (not shown) switches the air piping so that the pressure air is ejected only from the air floating unit 21 corresponding to the specific substrate 1G. Then, only the specific board | substrate 1G is floated among each board | substrate 1G supported by multiple stages, and the said board | substrate 1G is carried out by the board | substrate extraction apparatus 1B. Moreover, even when the board | substrate 1G is carried in, pressure air is blown only from the air floating unit 21 corresponding to the shelf 1R into which the board | substrate 1G is carried. In this embodiment, there is an advantage that the elevating means for relatively elevating the substrate elevating arm 35 or the substrate cassette 1C is unnecessary, and the configuration thereof is simplified.

상기한 각 실시예에 있어서, 기판(1G)을 지지하는 지지재는 카세트 본체(1)를 관통하는 동시에 장력 부여 상태로 장착된 각 와이어(4)이다. 이로 인해, 각 선반(1R)의 넓이를 동일하게 한 채로 선반 피치(1H)를 작게 할 수 있다는 이점이 있다. 그러나, 와이어(4) 이외의 지지재, 예를 들면, 가느다란 봉(棒)재여도 상관없다.In each of the above-described embodiments, the supporting material for supporting the substrate 1G is each wire 4 which is mounted in a tensioning state while penetrating the cassette body 1. For this reason, there exists an advantage that shelf pitch 1H can be made small, making the width | variety of each shelf 1R the same. However, support materials other than the wire 4 may be used, for example, a thin rod material.

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이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 이들 실시예에 한정되는 것이 아니다. 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 범위에서 구성의 부가, 생략, 치환, 및 그 외의 변경이 가능하다. 본 발명은 상술한 설명에 의해 한정되는 것이 아니라, 첨부된 청구의 범위에 의해서만 한정된다.As mentioned above, although the preferred embodiment of this invention was described, this invention is not limited to these Examples. Additions, omissions, substitutions, and other modifications can be made without departing from the spirit of the invention. The invention is not limited by the foregoing description, but only by the appended claims.

본 발명은 다수 공정을 순차적으로 거쳐 기판에 반도체 소자를 제조하는 반도체 제조 공정에 적합하다.This invention is suitable for the semiconductor manufacturing process which manufactures a semiconductor element in a board | substrate through several processes sequentially.

Claims (21)

카세트 본체의 내부에 기판을 다단으로 지지하는 다수의 선반이 형성되고, 상기 카세트 본체의 특정 측면이 기판의 반입출 개구로 되어 있으며, 상기 선반은 소정 간격을 두고 가세트 본체를 관통하는 복수개의 지지재로 구성된 기판 카세트와, A plurality of shelves for supporting the substrate in multiple stages are formed inside the cassette body, and a specific side surface of the cassette body is an opening and closing opening of the substrate, and the shelves support a plurality of supports penetrating through the gasset body at predetermined intervals. A substrate cassette composed of ash, 상기 기판 카세트의 측면으로부터 기판 승강 수단을 구비한 기판 승강판이 상기 기판 카세트 내에 각각 출입하여, 상기 기판 승강판이 기판 카세트 내에 들어간 상태에서 바로 위의 기판을 상기 지지재로부터 들어 올리는 기판 승강 유닛으로 이루어지고,A substrate elevating plate having a substrate elevating means having a substrate elevating means from the side surface of the substrate cassette, respectively, and is made up of a substrate elevating unit that lifts the substrate immediately above from the support member while the substrate elevating plate is in the substrate cassette; , 상기 기판 카세트와 상기 기판 승강 유닛은 상대적으로 승강하는 구성인 것을 특징으로 하는 기판 반입출 장치.And said substrate cassette and said substrate raising and lowering unit are configured to be relatively elevated. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판 승강 수단을 구비한 각 기판 승강판은 상기 반입출 개구와 인접하는 두 개의 대향 측면으로부터 상기 기판 카세트 내에 각각 출입시키는 것을 특징으로 하는 기판 반입출 장치.Each board | substrate elevating plate provided with the said board | substrate elevating means is made to let in and out of each said board | substrate cassette from two opposing side surfaces adjacent to the said carrying in / out opening. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판 승강 수단은 무수한 공기 분출구가 형성된 기판 승강판과, 각 공 기 분출구로부터 압력 공기를 분출시키기 위한 압력 공기원으로 이루어지며, 지지재에 대하여 기판을 부상시키는 구성인 것을 특징으로 하는 기판 반입출 장치. The substrate elevating means comprises a substrate elevating plate having a myriad of air ejection openings, and a pressure air source for ejecting pressure air from each of the air ejecting openings, and is configured to float the substrate against the support material. Device. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판 승강 수단은 무수한 공기 분출구가 형성된 기판 승강판과, 각 공기 분출구로부터 압력 공기를 분출시키기 위한 압력 공기원과, 기판 승강판을 부상시키는 기판 부상 보조 수단으로 이루어지며,The substrate lifting means comprises a substrate lifting plate having a myriad of air blowing holes, a pressure air source for blowing pressure air from each air blowing hole, and a substrate floating auxiliary means for floating the substrate lifting plates. 압력 공기와 기판 부상 보조 수단에 의해 지지재에 대하여 기판을 부상시키는 구성인 것을 특징으로 하는 기판 반입출 장치.A substrate loading / unloading device, characterized in that the substrate is floated with respect to the supporting material by the pressure air and the substrate floating auxiliary means. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판 승강 수단은 기판 승강판의 상면에 장착된 다수의 지지 롤러이며, 상기 기판은 기판 승강판이 상승하여 지지재로부터 들어 올려지는 구성인 것을 특징으로 하는 기판 반입출 장치.And said substrate elevating means is a plurality of support rollers mounted on the upper surface of the substrate elevating plate, and said substrate is configured to lift the substrate elevating plate and lift it from the supporting material. 카세트 본체의 내부에 기판을 다단으로 지지하는 다수의 선반이 형성되고, 상기 카세트 본체의 특정 측면이 기판의 반입출 개구로 되어 있으며, 상기 선반은 소정 간격을 두고 가세트 본체를 관통하는 복수개의 지지재로 구성된 기판 카세트와, A plurality of shelves for supporting the substrate in multiple stages are formed inside the cassette body, and a specific side surface of the cassette body is an opening and closing opening of the substrate, and the shelves support a plurality of supports penetrating through the gasset body at predetermined intervals. A substrate cassette composed of ash, 상기 기판 카세트의 측면으로부터 기판 승강 수단을 구비한 기판 승강판이 상기 기판 카세트 내에 각각 출입하여, 상기 기판 승강판이 기판 카세트 내에 들어간 상태에서 바로 위의 기판을 상기 지지재로부터 들어 올리는 기판 승강 유닛으로 이루어지고,A substrate elevating plate having a substrate elevating means having a substrate elevating means from the side surface of the substrate cassette, respectively, and is made up of a substrate elevating unit that lifts the substrate immediately above from the support member while the substrate elevating plate is in the substrate cassette; , 상기 기판 승강 유닛은 기판 카세트의 선반수에 대응한 복수의 기판 승강판이 승강판 지지 부재에 지지되고, 각 기판 승강판은 바로 위의 기판을 상기 지지재로부터 들어 올리는 기판 승강 수단을 가지며, 각 기판 승강판의 기판 승강 수단의 동작은 개별적으로 전환 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반입출 장치.The board | substrate elevating unit is supported by the board | substrate support member with the board | substrate board | substrate lifting board corresponding to the number of shelves of a board | substrate cassette, and each board | substrate board | substrate has a board | substrate lifting means which lifts the board | substrate immediately above from the said support material, and each board | substrate The board | substrate carrying-out apparatus characterized by the operation of the board | substrate lifting means of a lifting board being switchable individually. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 기판 승강 수단은 무수한 공기 분출구로부터 압력 공기가 분출되는 구성이며, 각 기판 승강 수단으로부터의 압력 공기의 분출구는 개별적으로 전환 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반입출 장치. The said board | substrate elevating means is a structure by which pressure air is blown out from a myriad of air blower openings, The outlet of the pressurized air from each board | substrate raising means is switchable individually, The board | substrate carrying out apparatus characterized by the above-mentioned. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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