KR100842027B1 - 얼라인 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 정렬 방법 - Google Patents

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Abstract

개시된 얼라인 장치는 척, 정렬 확인부, 구동부 및 리프터를 포함한다. 상기 척은 웨이퍼를 안착하고 상기 웨이퍼를 회전시킨다. 상기 정렬 확인부는 상기 척 상에 놓여진 웨이퍼의 정렬 상태를 확인한다. 상기 구동부는 상기 정렬 확인부에서 공급되는 제어 신호에 따라 상기 척을 구동시켜 상기 웨이퍼를 정렬한다. 상기 리프터는 상기 척에 웨이퍼가 놓여진 상태일 때에는 상기 웨이퍼 아래에 위치하여 상기 웨이퍼의 정렬을 방해하지 않고, 상기 웨이퍼의 정렬이 끝난 후에 상기 정렬된 웨이퍼와 접촉하여 상기 웨이퍼를 들어올리는 복수개의 지지핀을 포함한다.

Description

얼라인 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 정렬 방법{ALIGNING APPARATUS AND METHOD FOR ALIGNING A WAFER USING THE SAME}
본 발명은 얼라인 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 정렬 방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 반도체 소자로 제조하기 위한 기판을 대상으로 하는 얼라인 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 정렬 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체를 제조하는 공정은 포토, 식각, 증착, 확산, 이온 주입과 같은 다양한 공정들로서 이루어지며, 이들 공정들은 상호 유기적으로 순환 반복하도록 하고 있다.
이와 같은 다양한 공정들 중 최근의 생산성 향상을 위한 수단으로 웨이퍼를 대구경화하는 방식과 함께 한 설비에서 복수의 챔버에 의해 동시에 공정이 수행되도록 하는 멀티 챔버 타입으로 설비를 구비하는 방식이 현재 널리 적용되고 있다.
웨이퍼는 외부에 노출되어 있는 상태이므로 이동 중에는 외부로부터의 각종 미세 이물질 유입을 방지하고자 별도의 웨이퍼 이송 용기인 후프(FOUP, Front Open Unified Pod)에 의해 이송되고 있다.
이때에 설비 프론트 엔드 모듈(EFEM, Equipment Front End Module) 내에서 후프를 이송하게 된다. 이에 의해 이송된 웨이퍼는 대기중 로봇이 후프에서 꺼낸 후 상기 설비 프론트 엔드 모듈 내에서 별도의 정렬장치에 의해 웨이퍼 정렬 과정을 거쳐 로드 락 포트(load lock port)에 반송하게 된다.
이 경우에 웨이퍼 정렬부를 하나만 사용하게 됨으로서 웨이퍼 정렬부에서 소비하는 시간으로 인해 반송 시간이 현격히 늘게 되어 상기 설비 프론트 엔드 모듈 내에서의 제조 공정에 문제가 생기게 된다.
본 발명의 목적은 웨이퍼 간의 교환이 용이하여 제조 공정 시간을 단축할 수 있는 얼라인 장치를 제공하는 데에 있다.
본 발명의 다른 목적은 상기한 얼라인 장치를 이용한 웨이퍼 정렬 방법을 제공하는 데에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인 장치는 얼라인 척, 정렬 확인부, 구동부 및 리프터를 포함한다. 상기 척은 웨이퍼를 안착하고 상기 웨이퍼를 회전한다. 상기 정렬 확인부는 상기 척 상에 놓여진 웨이퍼의 정렬 상태를 확인한다. 상기 구동부는 상기 정렬 확인부에서 공급되는 제어 신호에 따라 상기 척을 구동시켜 상기 웨이퍼를 정렬한다. 상기 리프터는 상기 척에 웨이퍼가 놓여진 상태일 때에는 상기 웨이퍼 아래에 위치하여 상기 웨이퍼의 정렬을 방해하지 않고, 상기 웨이퍼의 정렬이 끝난 후에 상기 정렬된 웨이퍼와 접촉하여 상기 웨이퍼를 들어올리는 복수개의 지지핀을 포함한다.
바람직하게, 상기 얼라인 장치는 에지 그립부를 더 포함할 수 있다. 상기 에지 그립 암은 상기 척의 주변부를 감싸는 바디 및 상기 바디의 가장자리에 위치하고 상기 척의 중심을 향하여 수평 이동하여 상기 웨이퍼를 고정하는 복수개의 에지 그립암을 포함한다.
또한, 상기 리프터의 지지핀은 상기 웨이퍼가 교환을 위해 출입하는 출입 영 역의 반대편에 분포할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 정렬 방법에서는 웨이퍼를 회전 가능한 척 위에 안착시킨다. 또한, 센싱 수단에 의해 상기 웨이퍼의 정렬 상태를 확인하고 상기 웨이퍼의 정렬 상태에 따라 상기 척을 회전하여 상기 웨이퍼를 정렬시킨다. 또한, 복수개의 지지핀으로 상기 정렬된 웨이퍼를 접촉하고 상기 웨이퍼를 들어올려 상기 정렬된 웨이퍼를 반출이 용이한 반출 공간에서 대기시킨다. 또한, 상기 웨이퍼를 이송하는 이송로봇이 정렬되지 않은 웨이퍼를 이송하여 상기 척 위에 안착시킨다. 또한, 상기 정렬된 웨이퍼를 상기 반출 공간에서 상기 이송 로봇이 픽업하는 단계를 포함한다.
바람직하게, 상기 척 상에 안착된 정렬된 웨이퍼를 상기 지지핀을 이용하여 들어 올리고 상기 반출이 용이한 반출 공간에서 대기시킴에 있어서, 상기 정렬된 웨이퍼를 상기 지지핀을 이용하여 상기 척 상에서 수직 상승 시키고, 상기 수직 상승된 웨이퍼가 반출이 용이한 상기 반출 공간으로 수평 이동시킬 수 있다.
상술한 본 발명에 따르면, 정렬을 마친 웨이퍼를 리프터를 이용하여 외부 로봇이 픽업하기 쉬운 반출 공간으로 이송하여 대기함으로써, 정렬되지 않은 새로운 웨이퍼를 비어있는 웨이퍼 척 상에 안착시킬 경우에 새로운 웨이퍼를 안착시키고, 대기 시간 없이 바로 반출 공간에 있는 정렬된 웨이퍼를 픽업 할 수 있기 때문에, 웨이퍼 정렬과정에 많은 공정 시간을 단축할 수 있게 된다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인 장치(100)는 웨이퍼 척(120), 구동부(160), 에지 센서(150) 및 리프터(140)를 포함한다. 상기 웨이퍼 척(120)은 웨이퍼(200)를 지지하고 수용한다. 상기 구동부(160)는 상기 웨이퍼 척(120)과 연결되고, 상기 웨이퍼 척(120)을 회전시킨다.
상기 웨이퍼 척(120) 상에 상기 웨이퍼(200)가 안착되면 상기 얼라인 장치(100)는 상기 에지 센서(150)를 통하여 상기 웨이퍼(200)를 감지하고, 이에 따라 상기 구동부(160)에서 공급되는 회전력으로 상기 웨이퍼 척(120)이 회전하게 된다. 따라서 상기 웨이퍼(200)가 정렬되게 된다.
상기 웨이퍼(200)에는 정렬을 위한 플렛존 혹은 마킹이 형성되어 있고, 상기 에지 센서(150)는 상기 웨이퍼 상에 형성된 마킹 혹은 플렛존을 감지한다. 상기 에지 센서(150)가 상기 웨이퍼 상에 형성된 마킹 혹은 플렛존을 감지하고, 이에 따라 상기 구동부(160)에 전기적인 신호를 보내고, 상기 구동부(160)는 상기 에지 센 서(150)로부터 전달 받은 전기 신호에 따라 상기 웨이퍼 척(120)을 회전시킨다. 상기 웨이퍼 척(120)이 회전함에 따라 상기 웨이퍼(200)가 회전하게 되고, 상기 웨이퍼(200)가 정렬되게 된다.
정렬을 마친 상기 웨이퍼(200)는 상기 리프터(140)에 의해 이송된다. 상기 리프터(140)는 정렬은 마친 상기 웨이퍼(200)를 외부 로봇이 픽업하기 쉬운 반출공간으로 이송한다.
보통 얼라인 장치에서 정렬된 웨이퍼와 정렬되지 않은 웨이퍼를 교환하는 과정에 있어서, 정렬을 마친 웨이퍼를 픽업하고 정렬은 마친 웨이퍼를 후프나, 로드 포트 등에 적재한 후, 새로운 웨이퍼를 가져와 얼라인 장치에 안착시킨다. 이러한 공정은 웨이퍼 교환에 대기시간이 많이 걸리는 단점이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상기 얼라인 장치(100)는 상기 리프터(140)가 정렬을 마친 상기 웨이퍼(200)를 상기 반출 공간으로 이송시키기 때문에, 상기 외부 로봇이 새로운 웨이퍼를 상기 웨이퍼 척(120)에 안착시킴과 동시에 상기 반출 공간에 위치하는 정렬을 마친 상기 웨이퍼(200)를 픽업한다. 따라서 웨이퍼 정렬 시간을 크게 단축할 수 있는 장점이 있다.
또한, 상기 얼라인 장치(100)는 웨이퍼의 수송량에 따라 2개 혹은 복수개가 동시에 배치되어 동작할 수 있다. 이 경우 웨이퍼 정렬 시에 적체되는 시간을 조절할 수 있는 장점이 있다.
상기 얼라인 장치(100)는 상기 웨이퍼의 고정을 위한 에지 그립부(130)를 더 포함할 수 있다. 상기 에지 그립부(130)는 상기 웨이퍼(200)를 에지에서 중앙방향 으로 이동하면서 고정시키므로, 상기 웨이퍼(200)가 상기 웨이퍼 척(120)에 안착될 때에 상기 웨이퍼(200)의 중심을 맞출 수 있다.
앞서 언급한 바와 같이, 상기 웨이퍼 척(120)이 회전 운동을 하면서 상기 웨이퍼(200)를 정렬 시키므로, 상기 웨이퍼(200)가 회전 운동하는 동안에 상기 웨이퍼(200)를 고정시킬 수 있는 수단이 필요하게 된다. 상기 에지 그립부(130)가 상기 웨이퍼(200)의 중심을 정렬시킴과 동시에 상기 웨이퍼(200)를 고정시키게 된다.
도 3은 도 1의 얼라인 장치의 그립부를 나타내는 개략적인 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상기 그립부(130)는 본체(131) 및 복수개의 에지 그립 암(133)을 포함한다. 상기 그립부(130)는 상기 웨이퍼 척(120)의 상부에 결합되거나, 상기 웨이퍼 척(120)의 측면에 결합하여 상기 웨이퍼(200)가 정렬을 위해 회전 운동할 경우에, 상기 웨이퍼 척(120)과 같이 회전 운동을 하게 된다.
상기 에지 그립 암(133)은 상기 웨이퍼 척(120)의 중심 방향으로 전후 이동이 가능할 수 있다. 상기 웨이퍼(200)가 상기 웨이퍼 척(120) 상에 안착되는 경우에, 이를 고정하기 위하여 상기 에지 그립 암(130)들이 상기 웨이퍼 척(120)의 중심 방향으로 이동하게 되고, 상기 에지 그립 암(133)들이 중심 방향으로 이동하면서, 상기 웨이퍼(200)는 상기 웨이퍼 척(120)의 중심에 맞추어 안착하게 된다.
상기 에지 그립 암(133)들은 상기 웨이퍼 척(120)의 중심을 기준으로 서로 대칭적으로 배치될 수 있다. 상기 에지 그림 암(133)들이 서로 대칭적으로 배치되는 경우에 상기 웨이퍼(200)가 상기 웨이퍼 척(120)의 중심에 맞추어 정렬되는 과정이 보다 용이하게 진행될 수 있다. 하지만, 웨이퍼의 이송 경로 확보 및 상기 웨 이퍼를 이송하는 로봇과의 결합성 등을 고려해 상기 에지 그립 암(133)들은 서로 비대칭 적으로 배치될 수 있다.
도 4는 도 1의 얼라인 장치의 리프터를 나타내는 개략적인 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상기 리프터(140)는 몸체부(143), 지지핀(141) 및 리프터 구동부(145)를 포함한다. 상기 리프터(140)는 정렬을 마친 웨이퍼를 상기 반출 공간으로 이동시키는 역할을 한다. 예를 들어, 상기 몸체부(143)는 이동시 상기 구동부(160)에 의해 방해되지 않도록 고리 형으로 제작될 수 있다. 상기 몸체부(143)는 상기 웨이퍼 척을 구동하는 구동부(160)에 의해 방해가 되지 않는 한 여러 가지 형태로 제작될 수 있다.
상기 리프터 몸체부(143)의 하부에는 상기 리프터 몸체부(143)를 수직 이동시키는 상기 리프터 구동부(145)가 배치된다. 상기 리프터 구동부(145)는 상기 리프터 몸체부(143)와 연결되어 상기 웨이퍼(200)의 정렬이 완료되면, 상기 리프터(140)를 수직 상승 시켜서 상기 웨이퍼(200)를 상기 반출 공간으로 이동시킨다. 상기 리프터(140)는 수직 방향의 이동 뿐 아니라, 필요한 경우에 수평 방향으로 이동할 수도 있다. 상기 외부 로봇이 상기 웨이퍼(200)를 더욱 용이하게 픽업하도록 상기 리프터(140)가 수직 상승 후 픽업이 용이한 장소로 수평 이동하도록 프로그램 할 수 있다.
상기 몸체부(143)의 상부에는 지지핀(141)들이 배치된다. 상기 지지핀(141)은 상기 웨이퍼(200)에 접촉하여 상기 웨이퍼(200)를 들어 올리는 역할을 한다. 상기 지지핀(141)은 가늘고 긴 막대 형태로 제작될 수 있다. 이는 상기 지지핀(141) 이 상기 에지 그립부(130)에 방해를 받지 않고 정렬이 완료된 상기 웨이퍼(200)를 지지하여 상기 반출 공간으로 이동할 수 있기 때문이다. 상기 지지핀(141)들은, 예를 들어, 웨이퍼들의 출입에 방해받지 않도록 후반부에 분포할 수 있다. 이 경우에 상기 지지핀(141)들 만으로 상기 웨이퍼(200)의 중심을 잃지 않고 지지할 수 있는 역학적 범위 내에서 분포 하여야 할 것이다. 상기 지지핀(141)들이 상기 얼라인 장치(100)의 뒤 방향에 위치 할 경우 상기 얼라인 장치(100)의 전면 방향으로 상기 웨이퍼를 상기 외부 로봇이 픽업하고 안착시키는 공정에 방해를 받지 않고 상기 리프터역할을 수행할 수 있게 된다.
도 1 및 도 2를 다시 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 웨이퍼 정렬 방법에서는 웨이퍼(200)를 회전 가능한 웨이퍼 척(120) 위에 안착시킨다. 또한, 상기 웨이퍼를 감지하는 센서(150)와 연계하여 상기 웨이퍼의 플렛존 또는 노치를 기준으로 상기 웨이퍼 척(120)을 회전하여 상기 웨이퍼(200)를 정렬시킨다. 이어서, 상기 웨이퍼 척(120) 상에 안착된 정렬된 웨이퍼(200)를 리프터(140)를 이용하여 반출 공간으로 이송한다. 또한, 상기 웨이퍼를 이송하는 이송로봇(미도시)이 정렬되지 않은 웨이퍼를 이송하여 상기 웨이퍼 척(120) 위에 안착시킨다. 이어서, 상기 정렬된 웨이퍼를 상기 반출 공간에서 상기 이송 로봇이 픽업한다.
또한, 상기 웨이퍼 척 상에 안착된 정렬된 웨이퍼(120)를 상기 리프터(140)를 이용하여 상기 반출 공간으로 이송할 경우에, 상기 정렬된 웨이퍼(200)를 상기 웨이퍼 척 상에서 수직 상승 시키는 제1 이송단계와 상기 수직 상승된 웨이퍼를 교환이 용이 하도록 상기 리프터에 수평 이동하는 제2 이송단계를 거쳐 진행될 수 있 다.
이 경우, 상기 외부 로봇은 정렬되지 않은 웨이퍼를 상기 웨이퍼 척(120)상에 안착시키고, 이어서 상기 반출 공간에 이송된 정렬된 웨이퍼(200)를 픽업해간다.
본 발명에 따르면, 정렬을 마친 웨이퍼를 리프터를 이용하여 외부 로봇이 픽업하기 쉬운 반출 공간으로 이송하여 대기하게 된다. 기존에는 웨이퍼 정렬장치에서 웨이퍼의 정렬이 완료되면, 이송 로봇이 웨이퍼를 반출시키고 다음 작업 공간에 이송시킨 후에야, 다른 정렬되지 않은 웨이퍼를 반입시킬 수 있었다.
하지만 정렬되지 않은 새로운 웨이퍼를 비어있는 웨이퍼 척 상에 안착시킬 경우에 새로운 웨이퍼를 안착시키고, 대기 시간 없이 바로 반출 공간에 있는 정렬된 웨이퍼를 픽업 할 수 있기 때문에, 웨이퍼 정렬과정에 많은 공정 시간을 단축할 수 있게 된다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 1의 얼라인 장치의 그립부를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 4는 도 1의 얼라인 장치의 리프터를 나타내는 개략적인 도면이다.

Claims (5)

  1. 웨이퍼를 안착하고 회전하는 척;
    상기 척 상에 놓여진 웨이퍼의 정렬 상태를 확인하는 정렬 확인부;
    상기 정렬 확인부에서 공급되는 제어 신호에 따라 상기 척을 구동시켜 상기 웨이퍼를 정렬하는 구동부;
    상기 척에 웨이퍼가 놓여진 상태일 때에는 상기 웨이퍼 아래에 위치하여 상기 웨이퍼의 정렬을 방해하지 않고, 상기 웨이퍼의 정렬이 끝난 후에 상기 정렬된 웨이퍼와 접촉하여 상기 웨이퍼를 들어올리는 복수개의 지지핀을 가지는 리프터를 포함하는 얼라인 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 척의 주변부를 감싸는 바디 및 상기 바디의 가장자리에 위치하고 상기 척의 중심을 향하여 수평 이동하여 상기 웨이퍼를 고정하는 복수개의 에지 그립암을 가지는 에지 그립부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인 장치.
  3. 제1항에 있어서 상기 리프터의 지지핀은 상기 웨이퍼가 교환을 위해 출입하는 출입 영역의 반대편에 분포하는 것을 특징으로 하는 얼라인 장치.
  4. 제1 웨이퍼를 회전 가능한 척에 안착시키는 단계;
    상기 척에 안착된 제1 웨이퍼의 정렬 상태를 확인하고, 상기 제1 웨이퍼의 정렬 상태에 따라 상기 척을 회전시켜 상기 제1 웨이퍼를 정렬시키는 단계;
    상기 정렬이 이루어진 제1 웨이퍼를 상기 척으로부터 들어올려 대기시키는 단계;
    제2 웨이퍼를 회전 가능한 척에 안착시키는 단계를
    상기 정렬이 이루어진 웨이퍼를 상기 안착부로부터 이탈시킴과 동시에 다른 웨이퍼를 상기 척 위에 안착시키는 단계;
    상기 척 위에 안착된 웨이퍼를 정렬시킴과 동시에 상기 이탈된 웨이퍼를 외부로 반출시키는 단계;
    상기 웨이퍼를 정렬시키는 도중에 상기 웨이퍼와 다른 웨이퍼를 어디에 대기시키는 단계;
    상기 웨이퍼의 정렬이 완료될 때, 상기 정렬이 완료된 웨이퍼를 어떻게 처리함과 동시에 상기 대기 중인 다른 웨이퍼를 상기 척에 안착시키는 단계;
    복수개의 지지핀으로 상기 정렬된 웨이퍼를 접촉하고 상기 웨이퍼를 들어올려 상기 정렬된 웨이퍼를 반출이 용이한 반출 공간에서 대기시키는 단계;
    상기 웨이퍼를 이송하는 이송로봇이 정렬되지 않은 웨이퍼를 이송하여 상기 척 위에 안착시키는 단계; 및
    상기 정렬된 웨이퍼를 상기 반출 공간에서 상기 이송 로봇이 픽업하는 단계를 포함하는 웨이퍼 정렬 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 척 상에 안착된 정렬된 웨이퍼를 상기 지지핀을 이용하여 들어 올리고 상기 반출이 용이한 반출 공간에서 대기시키는 단계는
    상기 정렬된 웨이퍼를 상기 지지핀을 이용하여 상기 척 상에서 수직 상승 시키는 제1 이송단계 및
    상기 수직 상승된 웨이퍼가 반출이 용이한 상기 반출 공간으로 수평 이동하는 제2 이송단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 정렬 방법.
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