KR100817748B1 - 기판 처리방법 및 기판 처리장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (19)
- 처리용기내에 수납된 기판에 처리가스를 공급하는 한편, 해당 처리용기의 내부 분위기를 배기하여 이 배기된 내부 분위기를 후처리하면서 기판을 처리하는 방법에 있어서,상기 처리용기 내의 밀폐여부 및 상기 배기된 내부 분위기의 후처리가 정상적으로 수행되는지 여부를 확인하는 단계와,상기 확인된 결과에 따라 상기 처리용기로의 처리가스의 공급여부를 판단하는 단계를 포함하여 구성되며,상기 판단단계에서는, 상기 처리용기 내가 밀폐되고, 또한 상기 배기된 내부 분위기의 후처리가 정상적으로 수행되는 경우에 처리가스를 공급하여 기판의 처리를 진행하고, 상기 처리용기 내의 밀폐 및 상기 배기된 내부 분위기의 후처리의 정상적인 수행 중 하나라도 만족하지 않는 경우에는 상기 처리가스를 공급하지 않는 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 기판의 처리가 도중에 중단된 경우에는, 상기 처리용기의 내부 분위기를 강제적으로 배기하는 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 처리용기의 주위로 처리가스가 누설된 경우에는, 상기 처리용기의 내부 분위기를 강제적으로 배기하는 동시에, 상기 처리가스의 공급을 정지하는 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
- 처리용기내에 수납된 기판에, 처리가스를 공급하는 한편, 해당 처리용기의 내부 분위기를 배기하여 이 배기된 내부 분위기를 후처리하면서 기판을 처리하는 방법으로서,상기 처리용기의 주위로 처리가스가 누설된 경우에는, 상기 처리용기의 내부 분위기를 강제적으로 배기하는 동시에, 상기 처리가스의 공급을 정지하는 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
- 제 4 항에 있어서, 상기 처리용기의 주위로 처리가스가 누설된 경우에는, 상기 처리용기의 주위 분위기를 배기하여 이 배기된 주위 분위기를 후처리하는 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
- 제 3 항에 있어서, 상기 처리용기의 주위 분위기를 강제적으로 배기하는 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 처리용기내의 처리가스 농도를 검출하여, 이 처리가스 농도가 소정치 이하인 것을 확인하고 나서, 상기 처리용기내를 개방하는 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 처리가스의 공급을 정지한 후, 적어도 소정시간, 상기 처리용기의 내부 분위기를 배기하고 나서, 상기 처리용기내를 개방하는 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 처리가스의 공급을 정지한 후, 상기 처리용기의 내부 분위기를 배기할 때에, 상기 처리용기 내를 부압분위기로 하는 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
- 제 1 항에 있어서, 처리가스 공급 중에 후처리가 정상적으로 행하여지지 않게 된 경우에, 처리가스의 공급을 정지함과 동시에 상기 처리용기내의 내부 분위기를 강제적으로 배기하는 것을 특징으로 하는 기판 처리방법.
- 처리용기내에 수납된 기판에, 처리가스 공급노즐에 의해 처리가스를 공급하는 한편, 이 처리용기의 내부 분위기를 내부 배기관에 의해 배기하여, 이 배기된 내부 분위기를 후처리기구에 의해 후처리하면서 기판을 처리하는 장치에 있어서,상기 처리용기의 반출입구를 개폐하는 개폐부재를 구비하며,상기 개폐부재의 개폐를 검출하는 개폐 디텍터로부터의 검출신호와, 상기 후처리기구의 가동상태를 검출하는 가동 디텍터로부터의 검출신호에 기초하여, 상기 처리가스 공급노즐에 의한 처리가스의 공급을 제어하는 컨트롤러를 설치한 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 11 항에 있어서, 상기 내부 배기관은, 상기 처리용기의 내부 분위기를 강제적으로 배기하는 이젝터를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 12 항에 있어서, 상기 처리용기의 주위 분위기중의 처리가스 농도를 검출하는 주위의 농도 검출 센서와, 상기 처리용기의 주위 분위기를 강제적으로 배기하 는 제 2 이젝터를 구비하고, 상기 주위의 농도 검출 센서로부터의 검출신호에 기초하여, 상기 내부 분위기를 강제로 배기하는 이젝터에 의한 강제배기와, 상기 처리가스 공급노즐에 의한 처리가스의 공급을 제어하는 컨트롤러를 설치한 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 13 항에 있어서, 상기 주위의 농도 검출 센서로부터의 검출신호에 기초하여, 상기 제 2 이젝터에 의한 강제배기를 제어하는 컨트롤러를 설치한 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 처리용기내에 수납된 기판에, 처리가스 공급노즐에 의해 처리가스를 공급하는 한편, 해당 처리용기의 내부 분위기를 내부 배기관에 의해 배기하고, 이 배기된 내부 분위기를 후처리기구에 의해 후처리하면서 기판을 처리하는 장치에 있어서,상기 처리용기의 반입출구를 개폐하는 개폐부재와,상기 처리용기의 주위 분위기중의 처리가스 농도를 검출하는 주위의 농도 검출 센서와,상기 처리용기의 주위 분위기를 배기하는 주위배기관이 접속된 케이스를 구비하고,상기 주위의 농도 검출 센서로부터의 검출신호에 기초하여, 상기 내부 배기관에 의한 배기와, 상기 처리가스 공급노즐에 의한 처리가스의 공급을 제어하는 컨트롤러를 설치한 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 13 항에 있어서, 상기 농도 검출 센서에 이상이 발생한 경우에, 처리가스의 공급을 정지함과 동시에 상기 이젝터를 작동하도록 제어하는 컨트롤러를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 15 항에 있어서, 상기 주위의 농도 검출 센서로부터의 검출신호에 기초하여, 상기 주위배기관과 그에 접속된 케이스에 의한 배기를 제어하는 컨트롤러를 설치한 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 11 항에 있어서, 상기 처리용기내의 처리가스농도를 검출하는 내부의 농도 검출 센서를 설치하고, 상기 내부의 농도 검출 센서로부터의 검출신호에 기초하여 상기 개폐부재의 개폐를 제어하는 컨트롤러를 설치한 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 11 항에 있어서, 상기 처리용기내에 에어를 공급하는 에어 공급노즐을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
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