KR100795873B1 - 탄성 표면파 소자, 분파기 및 통신 기기 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 SAW소자(D1)는 압전 기판의 주면(主面)상에 송신용 래더형 SAW소자(T1)와 수신용 래더형 SAW소자(R2)를 구비한다. 송신용 래더형 SAW소자(T1)의 SAW공진자(S1)에 있어서의 전극 핑거(電極指) 피치(PT)에 대한 전극 핑거폭(LT)의 비(LT/PT)를 수신용 래더형 SAW소자(R2)의 SAW공진자(S2)에 있어서의 SAW공진자(S2)의 전극 핑거 피치(PR)에 대한 전극 핑거폭(LR)의 비(LR/PR)보다 작게 한다. 그 결과, 대역 내에서 저손실, 대역 외에서의 급준한 감쇠 특성을 갖고, 소형화된 SAW소자(D1)를 제공할 수 있다.
탄성 표면파 소자, 분파기, 통신기기

Description

탄성 표면파 소자, 분파기 및 통신 기기{SURFACE ACOUSTIC WAVE DEVICE, DUPLEXER, AND COMMUNICATIONS EQUIPMENT}
도 1은 본 발명의 SAW소자의 실시형태의 일예를 나타내는 회로도이다.
도 2는 압전 기판(9)에 형성된 즐치(櫛齒)상 전극 핑거의 일예를 나타내는 개략 패턴도이다.
도 3은 실시예에 있어서의 송신용 래더형 SAW소자의 선폭 비율(LT/PT)과 삽입 손실의 관계를 내보이는 그래프이다.
도 4는 실시예에 있어서의 수신용 래더형 SAW소자의 선폭 비율(LR/PR)과 아이솔레이션(isolation) 특성의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 5는 압전 기판(9a,9b)에 형성된 즐치상 전극 핑거의 일예를 나타내는 개략 패턴도이다.
도 6은 실시예 및 비교예의 SAW소자의 삽입 손실을 나타내는 그래프이다.
도 7은 실시예 및 비교예의 SAW소자의 아이솔레이션 특성을 나타내는 그래프이다.
도 8은 삽입 손실의 정의를 설명하기 위한 그래프이다.
도 9는 삽입(insertion)의 정의를 설명하기 위한 그래프이다.
본 발명은 탄성 표면파 소자(이하 「SAW소자」라 함), 그 SAW소자를 구비한 분파기(Duplexer), 및 그것을 탑재한 통신 기기에 관한 것이다.
최근, 전파를 이용하는 기기, 예컨대 통신 기기의 필터, 지연선, 발진기 등에 이용되는 소자로서, 소형·경량이고 또한 필터로서의 차단 성능이 급준한 특질을 갖는 SAW소자가 많이 이용되고 있다.
SAW소자는, 예컨대 휴대 전화기의 RF단 및 IF단의 필터에 다용되도록 되고 있다. 또한, SAW소자는 안테나 직하(直下)의 회로인 분파기에도 다용되도록 되고 있다.
SAW소자는 저손실이고, 통과 대역 외에 높은 감쇠 특성을 갖고, 또한 넓은 통과 대역폭을 갖는 것이 요구되어 있다.
도 8, 도 9는 송신 대역과 수신 대역을 각각 통과시키는 분파기의 필터로서 SAW소자를 이용했을 경우의 통과 특성을 나타내는 그래프이다. 이 예에서는 송신 대역의 주파수보다도 수신 대역의 주파수쪽이 높게 되어 있다.
SAW소자의 통과 대역에 있어서의 감쇠량을 「삽입 손실」 또는 단지 「손실」이라 한다. 또한, 통과 대역 외의 신호 감쇠 특성을 「감쇠 특성」이라 한다. 송신 회로의 신호가 수신 회로로 누설하는 양을 「아이솔레이션」이라 한다.
분파기로서는 송신 대역에 있어서의 삽입 손실이 작은 것이 요구되고, 송신측과 수신측의 아이솔레이션이 높은 것도 요구되어 있다.
SAW소자의 한 종류로서, 압전 기판상에 복수의 SAW공진자를 설치하고, SAW공진자를 신호선에 대하여 직렬 및 병렬로, 전체적으로 사다리꼴로 접속한 래더형 SAW필터가 공지되어 있다.
이 래더형 SAW필터는 소형임과 아울러 저손실이며, 급준한 감쇠 특성을 갖는 필터가 실현되기 때문에, 휴대 전화기 등의 분파기 송신용 및 수신용 SAW필터로서 널리 사용되기 시작하고 있다.
지금까지, 분파기에 SAW소자를 사용할 경우에는 SAW소자의 제작 프로세스의 정밀도를 개선할 목적으로 SAW공진자의 전극 핑거 피치(주기)(P)에 대한 즐치상 전극[IDT(Inter Digital Transducer)전극 이라 함]의 전극 핑거폭(L)의 비(L/P)를 0.5보다 큰 값으로 하는 것이 검토되었다(예컨대, 문헌[1] 참조).
또한 한편으로, 양호한 급준 감쇠 특성을 얻기 위해서는 SAW공진자의 전극 핑거 피치(P)에 대한 즐치상 전극의 전극 핑거폭(L)의 비(L/P)를 0.5보다 작은 비로 하는 것이 좋다고 되어 있었다(예컨대, 문헌[2] 참조).
문헌 [1]: 일본 특허 공개 제 2001-308671 호 공보
문헌 [2]: 일본 특허 공개 제 2003-198317 호 공보
문헌 [3]: 미국 특허 6,946,931호
그러나, 문헌 [1]에 개시된 기술에서는 상기 L/P를 0.5보다 큰 값으로 함으로써 전극 핑거 피치(P)가 일정하면 전극 핑거폭(L)이 넓어지므로, 전극 핑거 간격(P-L)이 좁아짐으로써 SAW공진자의 정전 용량이 증대해버려, 그 결과, SAW소자의 삽입 손실이 증대해버린다.
분파기의 송신용 래더형 SAW소자에는 송신 주파수대에서의 저손실화가 요구되기 때문에, 이 문헌 [1]에 개시된 기술에서는 손실이 많은 분파기가 되어버린다는 문제점이 있었다.
또한, 문헌[2]에 개시된 기술에서는 상기 L/P를 0.5보다 작은 값으로 함으로써 전극 핑거폭(L)이 좁아지므로, 전극 핑거 간격(P-L)이 넓어짐으로써 SAW공진자의 정전 용량이 감소해버려, 그 결과, SAW소자의 통과 대역 외의 감쇠량 즉, 아이솔레이션이 작게 되어버린다.
분파기의 수신용 래더형 SAW소자에서는 고아이솔레이션 특성을 실현하기 위해서, 송신 주파수대에서의 감쇠 특성의 향상이 불가결하기 때문에, 이 문헌 [2]에 개시된 기술에서는 아이솔레이션 특성이 나쁜 분파기로 되어버린다는 문제점이 있었다.
또한, SAW소자의 삽입 손실을 저손실인 것으로 하고, 감쇠 특성을 급준한 것으로 하기 위해서는, SAW공진자의 전극 핑거의 쌍수(짝수)나 전극 핑거 교차폭을 증가하면 조정할 수 있는 것이 일반적으로 알려져 있다.
그러나, 전극 핑거의 쌍수나 전극 핑거 교차폭이 증가함에 따라, SAW공진자의 사이즈가 대형화해버리기 때문에, 소형화를 도모한다고 하는 시장의 요구를 만족할 수 없게 되어버린다는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 소형화를 도모하면서, 저손실이고 고감쇠의 SAW소자 및 이 SAW소자를 이용한 분파기 및 통신 기기를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 SAW소자는, 1 또는 복수의 압전 기판의 주면상에 형성된 SAW소자로서, 송신측 신호선에 대하여 직렬 접속된 1 또는 복수의 송신용 SAW공진자와, 송신측 신호선에 대하여 병렬 접속된 1 또는 복수의 송신용 SAW공진자를 포함하는 송신용 래더형 SAW소자와, 수신측 신호선에 대하여 직렬 접속된 1 또는 복수의 수신용 SAW공진자와, 수신측 신호선에 대하여 병렬 접속된 1 또는 복수의 수신용 SAW공진자를 포함하는 수신용 래더형 SAW소자를 포함하고, 하나 이상의 상기 송신용 SAW공진자에 있어서의 즐치상 전극의 서로 이웃하는 전극 핑거 피치(PT)에 대한 즐치상 전극의 전극 핑거폭(LT)의 비(LT/PT)와, 하나 이상의 상기 수신용 SAW공진자에 있어서의 즐치상 전극의 서로 이웃하는 전극 핑거 피치(PR)에 대한 즐치상 전극의 전극 핑거폭(LR)의 비(LR/PR)가 하기 식을 만족하고 있다.
(LT/PT)<(LR/PR)
이 구성의 SAW소자에 의하면, 상기 식을 만족함으로써, 어느 송신용 SAW공진자에서는 전극 핑거폭(L)이 상대적으로 좁아지므로, 전극 핑거 간격(P-L)이 넓어짐으로써 SAW공진자의 정전 용량이 감소하고, SAW공진자에 발생하는 여분의 기생 용량을 삭감할 수 있다. 그 결과, 송신용 래더형 SAW소자에서 저손실의 특성을 얻을 수 있다.
또한, 어느 수신용 SAW공진자에서는 전극 핑거폭(L)이 상대적으로 넓어지므로, 전극 핑거 간격(P-L)을 좁게 할 수 있고, 이것으로써 SAW공진자의 정전 용량을 증대시킬 수 있음으로써 수신용 래더형 SAW소자에 발생하는 기생 용량을 증가시킬 수 있다. 이 결과, 수신용 래더형 SAW소자가 고감쇠의 특성이 되고, 송신 대역에서 높은 아이솔레이션 특성을 얻을 수 있다.
또한, 상기 직렬 접속된 어느 송신용 SAW공진자에 있어서의 상기 비(LT/PT)와, 상기 병렬 접속된 어느 수신용 SAW공진자에 있어서의 상기 비(LR/PR)가 상기 식을 만족하도록 하면, 저삽입 손실과 고아이솔레이션이라는 2개의 요구를 용이하게 충족시킬 수 있다.
또한, 직병렬로 접속된 모든 송신용 SAW공진자에 있어서의 상기 비(LT/PT)와, 직병렬로 접속된 모든 수신용 SAW공진자에 있어서의 상기 비(LR/PR)가 상기 식을 만족하도록 하면, 저삽입 손실과 고아이솔레이션이라는 2개의 요구를 용이하게, 또한 확실하게 충족시킬 수 있다.
또한, SAW소자를 형성하기 위해서 필요한 압전 기판의 사이즈를 대형화함이 없이, 소형의 분파기에 적절하게 사용할 수 있는 SAW소자를 얻을 수 있다.
상기 하나 이상의 송신용 SAW공진자에 있어서의 상기 비(LT/PT)가 하기 식을 만족하는 것이 바람직하다.
(LT/PT)<0.6
이 구성에 의하면, 송신용 SAW공진자에 발생하는 기생 용량의 영향을 작게 할 수 있고, 보다 용이하게 저손실의 특성을 얻을 수 있다. 따라서, 보다 저손실이고 고아이솔레이션 특성의 SAW소자를 얻을 수 있다.
상기 하나 이상의 수신용 SAW공진자에 있어서의 상기 비(LR/PR)가 하기 식을 만족하는 것이 바람직하다.
0.6<(LR/PR)
이 구성에 의하면, 수신용 래더형 SAW소자에 발생하는 대역외 감쇠에 필요한 기생 용량을 증가시킬 수 있고, 보다 용이하게 고감쇠의 특성을 얻을 수 있다.
상기 송신용 래더형 SAW소자와 상기 수신용 래더형 SAW소자가 다른 압전 기판의 주면상에 형성되어 있을 때에는, 압전 기판의 표면을 전파하는 SAW 또는 압전 기판내를 전파하는 벌크(bulk)파에 의한 송신용 래더형 SAW소자와 수신용 래더형 SAW소자의 결합을 없앨 수 있으므로, 보다 아이솔레이션 특성이 우수한 분파기로서 적절하게 사용할 수 있는 SAW소자로 하는 것이 가능해 진다.
또한, 상기 본 발명의 SAW소자를 분파기로서 이용하면, 송신 신호의 감쇠가 작아지므로, 저소비 전력의 통신 기기를 구성하는 것이 가능해 진다. 또한, 통신 기기의 송신 신호가 수신 신호로서 되돌아오는 것이 없어지므로, 수신 잡음이 적은 고품질의 통신이 가능한 통신 기기를 구성하는 것이 가능해 진다.
본 발명에 있어서의 이점, 특징 및 효과는 첨부 도면을 참조하여 다음에 기술하는 실시형태의 설명에 의해 명확해진다.
도 1은 본 발명의 SAW소자의 일예를 나타내는 회로도이며, 도 2는 SAW공진자의 즐치상 전극 핑거의 패턴예를 나타내는 도면이다. 또한, 도 2는 즐치상 전극 핑거를 모식적으로 나타낸 도면에 지나지 않고, 즐치상 전극 핑거의 형상, 쌍수 등은 이 도면에 도시된 것에 한정되지 않는다.
도 1에 나타난 바와 같이, 본 발명의 SAW소자(D1)는 분파기로서 사용되는 것이며, 송신용 래더형 SAW소자(T1) 및 수신용 래더형 SAW소자(R2)로 구성된다.
하기의 예에서는 송신용 래더형 SAW소자(T1)의 통과 대역 주파수보다도 수신용 래더형 SAW소자(T2)의 통과 대역 주파수 쪽이 높은 것으로 한다.
SAW소자(D1)의 송신 입력 단자(10)와 안테나 단자(20)의 사이에 복수의 SAW공진자(S1)가 직렬 및 병렬로 접속됨으로써 송신용 래더형 SAW소자(T1)가 구성되어 있다.
또한, SAW소자(D1)의 안테나 단자(20)와 수신 출력 단자(30)의 사이에도 복수의 SAW공진자(S2)가 직렬 및 병렬로 접속된 수신용 래더형 SAW소자(R2)가 구성되어 있다.
또한, 안테나 단자(20)와 수신용 래더형 SAW소자(R2)의 사이에 정합 선로(M1)가 부가되어 있다. 이 정합 선로(M1)는 압전 기판(9)에 형성된 전극 패턴에 의해 구성된다. 이 정합 선로(M1)는 압전 기판(9)을 실장하는 섀시, 세라믹 기판, 세라믹 적층 기판, 또는 SAW소자(D1)가 실장되는 기판 등에 형성해도 좋다.
한편, 정합 선로(M1)에 대신하여 인덕턴스 소자나 커패시턴스 소자 등의 리액턴스 부품을 선로의 대용으로서 사용해도 상관없다.
SAW공진자(S1,S2)는 LiTaO3 단결정 혹은 LiNbO3 단결정 등의 압전 기판(9)의 주면상에 도 2에 도시된 바와 같이, 각각 한 쌍의 즐치상 전극 핑거를 조합시켜서 형성된 IDT 전극(1,3)의 양측에 반사기 전극(2,4)을 각각 배치한 구성으로 되어 있다.
여기서, 도 2에 도시된 송신용 래더형 SAW소자(T1)의, SAW공진자(S1)의 IDT 전극(1)의 전극 핑거 피치(PT)에 대한, 전극 핑거폭(LT)의 비인 선폭 비율(LT/PT)이 SAW공진자(S1)의 전기 특성을 개선하는데에 중요한 설계 파라미터로 되어 있다.
또한, 수신용 래더형 SAW소자(R2)의 IDT 전극(3)의 전극 핑거 피치(PR)에 대한 전극 핑거폭(LR)의 비인 선폭 비율(LR/PR)도 송신용과 미찬가지로 SAW공진자(S2)의 상기 특성을 개선하는데 중요한 설계 파라미터로 되어 있다.
본 SAW소자(D1)의 특징은 송신용 래더형 SAW소자(T1)의 어느 SAW공진자(S1)의 선폭 비율(LT/PT)을 수신용 래더형 SAW소자(R2)의 어느 SAW공진자(S2)의 선폭 비율(LR/PR)보다 작은,
(LT/PT)<(LR/PR)
이라는 관계로 하는 것이다.
예컨대, 송신용 래더형 SAW소자(T1) 중, 송신 입력 단자(10)에 가장 가까운 SAW공진자(S1)의 선폭 비율(LT/PT)을 수신용 래더형 SAW소자(R2) 중, 수신 출력 단자(30)에 가장 가까운 SAW공진자(S2)의 선폭 비율(LR/PR)보다 작게 한다.
이와 같이, 어느 SAW공진자(S1)의 선폭 비율(LT/PT)을 어느 SAW공진자(S2)의 선폭 비율(LR/PR)보다 작게 함으로써, 송신용 래더형 SAW소자(T1)에 발생하는 여분의 기생 용량을 삭감할 수 있으므로, 송신용 래더형 SAW소자(T1)를 저손실의 특성으로 할 수 있다.
또한, SAW소자(D1)의 송신 대역에서의 아이솔레이션 특성은 수신용 래더형 SAW소자(R2)의 감쇠량이 큰 영향을 갖는다.
종래품은 수신용 래더형 SAW소자(R2)도 송신용 래더형 SAW소자(T1)와 마찬가 지로, 선폭 비율(LR/PR)을 작게 하여, 감쇠에 필요한 기생 용량까지 삭감해버리기 때문에, 송신용 래더형 SAW소자(T1)를 저손실로 하면 수신용 래더형 SAW소자(R2)도 저아이솔레이션 특성으로 되어버린다.
그러나, 본 발명의 SAW소자(D1)에서는 수신용 래더형 SAW소자(R2)의 어느 SAW공진자(S2)의 선폭 비율(LR/PR)을 상기 송신용 래더형 SAW소자(T1)의 어느 SAW공진자(S1)의 선폭 비율(LT/PT)보다도 상대적으로 크게 한다. 이 결과, 수신용 래더형 SAW소자(R2)에 발생하는 감쇠 증가에 필요한 기생 용량을 증가시킬 수 있으므로, 수신용 래더형 SAW소자(R2)를 고감쇠의 특성으로 할 수 있다. 따라서 고아이솔레이션 특성을 얻을 수 있다.
특히, 송신용 래더형 SAW소자(T1)에 있어서 직렬 접속된 송신용 SAW공진자(S1)에 있어서의 비(LT/PT)와, 수신용 래더형 SAW소자(R2)에 있어서 병렬 접속된 수신용 SAW공진자(S2)에 있어서의 상기 비(LR/PR)가 상기 식
(LT/PT)<(LR/PR)
을 만족하도록 하면, 효과적이다. 이 이유를 기술하면, 래더 필터의 직렬 SAW공진자는 병렬 SAW공진자와 비교하여 높은 주파수에서 설계되어 있기 때문에, 직렬 SAW공진자의 설계에 의해 주로 통과 대역의 고주파측의 특성을 제어할 수 있다. 또한, 병렬 SAW공진자는 직렬 SAW공진자와 비교하여 낮은 주파수로 설계되어 있기 때문에, 병렬 SAW공진자의 설계에 의해 주로 통과 대역의 저주파측의 특성을 제어할 수 있다. 또한, 송신 대역이 수신 대역보다 저주파측으로 배치되어 있는 통신 시스템에서는 송신 대역의 고주파측이 수신 대역에 가깝기 때문에, 보다 저손실, 고감쇠의 특성이 요구된다. 즉 송신용의 직렬 SAW공진자의 설계가 중요하게 된다. 또한, 수신 대역의 저주파측이 송신 대역에 가깝기 때문에, 보다 저손실, 고감쇠의 특성이 요구된다. 즉 수신용의 병렬 SAW공진자의 설계가 중요하게 된다. 이상의 이유로 송신용의 직렬 SAW공진자와 수신용의 병렬 SAW공진자를 상기 식을 만족하도록 하면 효과적이다.
특히, 송신용 래더형 SAW소자(T1)에 있어서 직병렬 접속된 모든 송신용 SAW공진자(S1)에 있어서의 비(LT/PT)와, 수신용 래더형 SAW소자(R2)에 있어서 직병렬 접속된 모든 수신용 SAW공진자(S2)에 있어서의 상기 비(LR/PR)가 상기 식
(LT/PT)<(LR/PR)
을 만족하도록 하면, 더욱 효과적이다.
여기서, 도 3에 모든 공진자가 상기 식을 충족시켰을 경우의 선폭 비율(LT/PT)과 송신측 삽입 손실의 관계를 그래프로 나타낸다.
선폭 비율(LT/PT)이 0.6을 초과하면 급격하게 송신측 삽입 손실이 증가하고, 0.6보다 작으면 송신측 삽입 손실은 저손실로 안정한 것이 얻어지는 것을 알 수 있다.
따라서, 송신용 래더형 SAW소자(T1)의 SAW공진자(S1)의 선폭 비율(LT/PT)을 식 (LT/PT)<0.6을 만족하게 함으로써, 송신용 래더형 SAW소자(T1)에 발생하는 기생 용량의 영향을 확실하게 없앨 수 있고, 보다 안정하여 저손실의 특성을 얻을 수 있다.
또한, 도 4에 모든 공진자가 상기 식을 충족시켰을 경우의 선폭 비율(LR/PR) 과 송신 대역 아이솔레이션의 관계를 그래프로 나타낸다.
선폭 비율(LR/PR)이 0.6보다 작으면 송신 대역 아이솔레이션이 급격하게 열화하고, 0.6을 초과하면 송신 대역 아이솔레이션이 높은 안정한 것이 얻어지는 것을 알 수 있다.
따라서, 수신용 래더형 SAW소자(T1)의 SAW공진자(S2)의 선폭 비율(LR/PR)을 식 0.6<(LR/PR)을 만족하게 함으로써, 수신용 래더형 SAW소자(R2)에 발생하는 감쇠 증가에 필요한 기생 용량을 증가시킬 수 있고, 보다 안정하여 고감쇠의 특성을 얻을 수 있다.
이어서, 도 5는 본 발명의 SAW소자의 보다 바람직한 예를 나타내는 회로도이다.
이 예의 SAW소자(D2)의 특징은 송신용 래더형 SAW소자(T1)의 SAW공진자(S1)와 수신용 래더형 SAW소자(R2)의 SAW공진자(S2)를 다른 압전 기판(9a,9b)의 주면상에 형성한 것이다.
이와 같이 SAW공진자(S1)와 SAW공진자(S2)를 다른 압전 기판(9a,9b)의 주면상에 형성함으로써, SAW공진자(S1)와 SAW공진자(S2)의 사이에 누설된 탄성 표면파가 결합함에 의한 아이솔레이션 특성의 열화를 방지할 수 있다.
또한, SAW공진자(S1)와 SAW공진자(S2)의 전극 패턴이 서로 다른 압전 기판(9a,9b)에 분리되기 때문에, 공진자간의 전기적, 자기적 결합에 의한 아이솔레이션 특성의 열화를 방지할 수 있다.
본 발명의 SAW소자(D1)의 SAW공진자(S1,S2)의 IDT 전극은 Al, Al-Cu계, Al- Ti계, Al-Mg계, Al-Cu-Mg계 등의 Al합금, 또는 Al-Cu/Cu/Al-Cu, Ti/Al-Cu, Ti/Al-Cu/Ti 등의 이종 금속의 적층막으로 이루어지는 것으로 형성하면 좋다.
또한, IDT 전극은 증착법, 스패터링(sputtering)법 또는 CVD법 등의 박막 형성법에 의해 형성하면 좋다.
IDT 전극의 즐치상 전극 핑거의 쌍수는 50∼300 정도로 하고, 전극 핑거의 선폭(L)은 0.1∼10㎛정도로 하고, 전극 핑거간의 피치(P)는 0.1∼10㎛정도로 하고, 전극 핑거의 개구폭(교차폭)(W)은 10∼200㎛정도로 하고, 전극 핑거의 두께는 0.1∼0.5㎛정도로 하는 것이, SAW공진자(S1,S2) 혹은 SAW소자(Dl,D2)로서의 소기의 특성을 얻는 점에서 바람직하다.
압전 기판으로서는 36°±10°Y컷(cut)-X 전파의 LiTaO3 단결정, 64°±10°Y컷-X 전파의 LiNbO3 단결정, 45°±10°X컷―Z 전파의 Li2B4O7 단결정 등이 전기 기계 결합 계수가 크고, 또한 군지연 시간 온도 계수가 작기 때문에 바람직하다. 특히, 전기 기계 결합 계수가 크고 온도에 의한 특성 변화가 작은 36°±10°Y컷-X 전파의 LiTaO3 단결정이 좋다. 압전 기판의 두께는 0.1∼0.5㎜ 정도가 좋고, 0.1㎜ 미만에서는 압전 기판이 부서지기 쉽고, 0.5㎜를 초과하면 재료 코스트가 크게 된다.
또한, 압전 기판의 집전 효과에 의한 전극 파괴를 방지하기 위해서, 환원 처리를 실시한 압전 기판을 사용해도 좋다.
또한, 압전 기판의 집전 효과에 의한 전극 파괴를 방지하기 위해서, Fe 원소 가 첨가된 압전 기판을 사용해도 좋다.
또한, 송신용 래더형 SAW소자(T1)을 구성하는 복수의 SAW공진자(S1)에 대해서 각각 선폭 비율(LT/PT)은 개략 일치시키는 것이 바람직하지만, 전극 핑거의 개수, 전극 핑거의 교차폭, 전극 핑거의 피치 등 다른 수치는 각각 다른 설계이어도 상관없다.
마찬가지로, 수신용 래더형 SAW소자(R2)를 구성하는 복수의 SAW공진자(S2)에 대해서, 각각 선폭 비율(LR/PR)은 개략 일치시키는 것이 바람직하지만, 전극 핑거의 개수, 전극 핑거의 교차폭, 전극 핑거의 피치 등 다른 수치는 각각 다른 설계이어도 상관없다.
본 발명의 SAW소자는 통신 기기에 적용할 수 있다.
즉, 수신 회로 또는 송신 회로의 한쪽 또는 양쪽을 구비한 통신 기기에 있어서, 본 발명의 SAW소자를 이용한 밴드패스 필터나 분파기를 탑재할 수 있다.
상기 송신 회로는 송신 신호를 믹서에서 캐리어 주파수에 싣고, 불필요 신호를 밴드패스 필터에서 감쇠시키고, 그 후, 파워 앰프에서 송신 신호를 증폭하고, 분파기를 통해 안테나에 의해 송신하는 회로이다.
상기 수신 회로는 수신 신호를 안테나로 수신하고, 분파기를 통과한 수신 신호를 로우 노이즈 앰프에서 증폭하고, 그 후, 밴드패스 필터에서 불필요한 신호를 감쇠하고, 믹서에서 캐리어 주파수로부터 신호를 분리하고, 이 신호를 인출하는 회로이다.
상기 분파기나 밴드패스 필터를 통신 기기로 조립함으로써, 우수한 특성을 갖는 통신 기기가 실현가능하다.
[실시예]
이어서, 본 발명의 SAW소자에 대해서 제조예를 나타낸다.
압전 기판으로서 탄탈산 리튬(LiTaO3)을 이용하고, 그 주면상에 두께가 6㎚의 Ti 박막을 형성하고, 그 위에 두께가 130㎚의 Al-Cu 박막을 형성하고, 이것을 교대로 각 3층씩 적층하고, 합계 6층의 Ti/Al-Cu 적층막을 형성하였다.
이어서, 레지스트 도포 장치에 의해 포토레지스트를 약 0.5㎛의 두께로 도포하였다.
이어서, 축소 투영 노광 장치[스테퍼(stepper)]에 의해 도 2에 나타난 송신용 래더형 SAW소자(T1)에 있어서의 SAW공진자(S1)의 즐치상 전극 핑거의 선폭 비율(LT/PT)이 수신용 래더형 SAW소자(R2)에 있어서의 SAW공진자(S2)의 즐치상 전극 핑거의 선폭 비율(LR/PR)보다 작게되도록 하여 포토레지스트 패턴을 형성하였다.
이어서, 현상 장치에서 불필요한 부분의 포토레지스트를 알칼리 현상액에서 용해시켜, RIE(Reactive Ion Etching) 장치에 의해 전극 패턴을 형성하였다.
이어서, 전극 패턴의 소정 영역상에 보호막을 제작하였다. 즉, CVD(Chemical Vapor Deposition)장치에 의해 전극 패턴 및 압전 기판의 주면상에 SiO2 막을 약 0.02㎛의 두께로 형성하였다.
이어서, 포토리소그래피(photolithography)에 의해 포토레지스트의 패터닝을 행하고, RIE 장치 등으로 플립 칩(flip chip)용 전극부의 보호막 에칭을 행하였다.
이어서, 스패터링 장치를 사용하여, Cr, Ni, Au로 이루어지는 적층 전극을 성막(成膜)했다. 이 때의 전극막 두께는 약 1㎛로 하였다.
이어서, 포토레지스트 및 불필요 개소의 적층 전극을 리프트 오프(lift off)법에 의해 동시에 제거하고, 플립 칩용 범프(bump)를 접속하는 패드를 형성하였다.
이어서, 압전 기판에 다이싱(dicing)선을 따라 다이싱 가공을 하고, SAW소자의 칩마다 분할하였다.
이어서, 세라믹 실장 기판상에, 땜납으로 이루어지는 전극 패턴을 인쇄하였다.
이어서, 각 칩을 플립 칩 실장 장치를 이용해서 전극 형성면을 하면으로 하여 세라믹 실장 기판상에 가접착하였다.
이어서, N2 분위기에서 베이크(bake)를 행하고, 땜납을 용융함으로써 칩과 세라믹 설치 기판을 접착하였다.
이어서, 칩이 접착된 세라믹 실장 기판에 수지를 도포하고, N2 분위기에서 베이크를 행하고, 칩을 수지 밀봉하였다.
이어서, 세라믹 실장 기판에 다이싱선을 따라 다이싱 가공을 하고, 개편(個片)으로 분할하고, 본 발명의 SAW소자를 이용한 분파기를 제작하였다. 또한, 개편으로 분할된 세라믹 실장 기판에는 2.5×2.0㎜ 적층 구조를 이용하였다.
한편, 정합 선로(M1)는 SAW소자가 실장되는 세라믹 실장 기판에 배치된 인덕턴스 소자 및 커패시턴스 소자의 리액턴스 부품에 의해 구성하였다.
이상에 의해, 본 발명의 SAW소자(A)를 제작하였다. 이 SAW소자(A)에 있어서의 송신용 래더형 SAW소자(T1) 각각의 SAW공진자(S1)의 선폭 비율(LT/PT)은 모두 0.60이며, 수신용 래더형 SAW소자(R2) 각각의 SAW공진자(S2)의 선폭 비율(LR/PR)은 모두 0.71이었다.
또한, 비교예로서 상기와 같은 막구성으로, 선폭 비율(LT/PT) 및 (LR/PR)을 각각 0.65로 설정하여 형성하고, 종래의 SAW소자(B)를 마찬가지로 제작하였다.
이들 SAW소자(A 및 B)의 전기 특성을 네트워크 애널라이저 장치에 의해 측정하였다. 그 결과를 도 6 및 도 7에 나타낸다.
도 6은 SAW소자(A 및 B)의 삽입 손실을 나타내는 그래프이며, 횡축은 주파수(단위: ㎒)를, 종축은 삽입 손실(단위: ㏈)을 나타내고 있으며, 실선의 특성 곡선은 SAW소자(A)의 결과를, 파선의 특성 곡선은 SAW소자(B)의 결과를 나타내고 있다.
또한, 도 7은 SAW소자(A 및 B)의 아이솔레이션 특성을 나타내는 그래프이며, 횡축은 주파수(단위: ㎒)를, 종축은 아이솔레이션 특성(단위: ㏈)을 나타내고 있으며, 실선의 특성 곡선은 SAW소자(A)의 결과를, 파선의 특성 곡선은 SAW소자(B)의 결과를 나타내고 있다.
도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예의 SAW소자(A)에서는 삽입 손실이 2.0㏈이며, 아이솔레이션 특성이 58㏈이었던 것에 대해, 비교예의 SAW소자(B)에서는 삽입 손실이 2.4㏈이며, 아이솔레이션 특성이 54㏈로서, 본 발명의 실시예에 의하면, 삽입 손실 및 아이솔레이션 특성 모두 크게 개선할 수 있었다.
또한, 도 2에 나타낸 패턴에 따라서, 송신용 래더형 SAW소자(T1)에 있어서의 SAW공진자(S1)의 선폭 비율(LT/PT)을 하기에 나타내는 바와 같이 변화시킨 SAW소자(C,D,E,F)를 제작하였다.
SAW소자(C,D,E,F)에 있어서의 선폭 비율(LT/PT) 및 (LR/PR)은 하기에 나타내는 바와 같은 것이었다.
[표 1]
선폭 비율 C D E F
(LT/PT) 0.49 0.60 0.64 0.69
(LR/PR) 0.64 0.64 0.64 0.64
이들 실시예의 SAW소자(C,D,E,F)의 전기 특성을 네트워크 애널라이저 장치에 의해 측정하였다. 그 측정 결과를 도 3에 그래프로 나타낸다.
도 3에 있어서, 횡축은 선폭 비율(LT/PT)을, 종축은 송신측 삽입 손실(단위: dB)을 나타내고 있으며, 흑원의 플롯(plot) 및 특성 곡선은 선폭 비율(LT/PT)과 송신측 삽입 손실의 관계를 나타내고 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 송신용 래더형 SAW소자(T1)에 있어서의 SAW공진자(S1)의 선폭 비율(LT/PT)이 증가함에 따라, 삽입 손실이 증가하였다.
이 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 송신용 래더형 SAW소자(T1)에 있어서의 SAW공진자(S1)의 선폭 비율(LT/PT)이 0.6 이상의 경우에는, [송신용 래더형 SAW소자(T1)에 있어서의 SAW공진자(S1)의 선폭 비율(LT/PT)이 수신용 래더형 SAW소자(R2)에 있어서의 SAW공진자(S2)의 선폭 비율(LR/PR)보다 작은 값이어도]손실이 증가하는 것을 알 수 있다.
따라서, (LT/PT)<0.6인 것이 바람직하다.
또한, 도 2에 도시한 즐치상 전극 핑거의 패턴에 따라서, 수신용 래더형 SAW소자(R2)에 있어서의 SAW공진자(S2)의 선폭 비율(LR/PR)을 하기에 나타낸 바와 같이 변화시킨, 실시예의 SAW소자(G,H,I,J,K)를 제작하였다.
이들 실시예의 SAW소자(G,H,I,J,K)의 전기 특성을 마찬가지로 네트워크 애널라이저 장치에 의해 측정하였다. 또한, SAW소자(G,H,I,J,K)에 있어서의 선폭 비율(LT/PT) 및 (LR/PR)은 하기에 나타낸 바와 같은 것이었다.
[표 2]
선폭 비율 G H I J K
(LT/PT) 0.64 0.64 0.64 0.64 0.64
(LR/PR) 0.50 0.59 0.64 0.71 0.79
이들 실시예의 SAW소자(G,H,I,J,K)의 전기 특성을 마찬가지로 네트워크 애널라이저 장치에 의해 측정하였다. 그 측정 결과를 도 4에 그래프로 나타낸다.
도 4에 있어서, 횡축은 선폭 비율(LR/PR)을, 종축은 송신측 아이솔레이션(단위: ㏈)을 나타내고 있으며, 흑원의 플롯 및 특성 곡선은 선폭 비율(LR/PR)과 송신측 아이솔레이션의 관계를 나타내고 있다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 수신용 래더형 SAW소자(R2)에 있어서의 SAW공진자(S2)의 선폭 비율(LR/PR)이 증가함에 따라, 송신측 아이솔레이션이 증가하였다.
이 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 수신용 래더형 SAW소자(R2)에 있어서의 SAW공진자(S2)의 선폭 비율(LR/PR)이 0.6 이하의 경우에는, [송신용 래더형 SAW 소자(T1)에 있어서의 SAW공진자(S1)의 선폭 비율(LT/PT)이 수신용 래더형 SAW소자(R2)에 있어서의 SAW공진자(S2)의 선폭 비율(LR/PR)보다 작은 값이어도]송신측 아이솔레이션이 감소하는 것을 알 수 있다.
따라서, (LR/PR)>0.6인 것이 바람직하다.
또한, 이상은 어디까지나 본 발명의 실시형태의 예시이며, 본 발명은 이것들에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러가지 변경이나 개량을 하는 것은 조금도 지장을 주지 않는다.
예컨대, 전극 핑거의 쌍수나 교차폭 등은, SAW공진자 마다 변경시킨 구성으로 하여도 좋다. 이 경우에는, 전극 핑거 쌍수, 교차폭 등의 변경에 의한 기생 용량의 조정 및 SAW의 제어를 행할 수 있으므로, 더욱 저손실로 고아이솔레이션의 특성을 얻을 수 있다.
또한 지금까지의 예에서는, 송신용 래더형 SAW소자(T1)의 통과 대역 주파수보다도 수신용 래더형 SAW소자(T2)의 통과 대역 주파수가 높은 것으로 하였다. 그러나, 이 역의 관계, 즉 송신용 래더형 SAW소자(T1)의 통과 대역 주파수보다도 수신용 래더형 SAW소자(T2)의 통과 대역 주파수가 낮은 관계이어도 좋다. 이 경우, 특히 송신측의 병렬 접속 SAW공진자와 수신측의 직렬 SAW공진자가 식
(LT/PT)<(LR/PR)
을 만족하도록 하면 효과적이다. 이 이유는 다음과 같다. 래더 필터의 직렬 SAW공진자는 병렬 SAW공진자와 비교하여 높은 주파수로 설계되어 있기 때문에, 직렬 SAW공진자의 설계에 의해 주로 통과 대역의 고주파측의 특성을 제어할 수 있다. 또한, 병렬 SAW공진자는 직렬 SAW공진자와 비교하여 낮은 주파수로 설계되어 있기 때문에, 병렬 SAW공진자의 설계에 의해 주로 통과 대역의 저주파측의 특성을 제어할 수 있다. 또한, 송신 대역이 수신 대역보다 고주파측으로 배치되어 있는 통신 시스템에서는, 송신 대역의 저주파측이 수신 대역에 가깝기 때문에, 보다 저손실, 고감쇠의 특성이 요구된다. 즉 송신용의 병렬 SAW공진자의 설계가 중요하게 된다. 또한, 수신 대역의 고주파측이 송신 대역에 가깝기 때문에, 보다 저손실, 고감쇠의 특성이 요구된다. 즉 수신용의 직렬 SAW공진자의 설계가 중요하게 된다. 이상의 이유로부터 송신용의 병렬 SAW공진자와 수신용의 직렬 SAW공진자를 상기 식을 만족하도록 하면 효과적이다.
본 발명은 소형화를 도모하면서, 저손실이고 고감쇠의 SAW소자 및 이 SAW소자를 이용한 분파기 및 통신 기기를 제공할 수 있다.

Claims (10)

  1. 삭제
  2. 1 또는 복수의 압전 기판의 주면상에 형성된 SAW소자로서:
    송신측 신호선에 대하여 직렬 접속된 1 또는 복수의 송신용 SAW공진자와,
    송신측 신호선에 대하여 병렬 접속된 1 또는 복수의 송신용 SAW공진자를 포함하는 송신용 래더형 SAW소자와,
    수신측 신호선에 대하여 직렬 접속된 1 또는 복수의 수신용 SAW공진자와,
    수신측 신호선에 대하여 병렬 접속된 1 또는 복수의 수신용 SAW공진자를 포함하는 수신용 래더형 SAW소자를 포함하고,
    하나 이상의 상기 직렬 접속된 송신용 SAW공진자에 있어서의 즐치상 전극의 서로 이웃하는 전극 핑거 피치(PT)에 대한 즐치상 전극의 전극 핑거폭(LT)의 비(LT/PT)와, 하나 이상의 상기 병렬 접속된 수신용 SAW공진자에 있어서의 즐치상 전극의 서로 이웃하는 전극 핑거 피치(PR)에 대한 즐치상 전극의 전극 핑거폭(LR)의 비(LR/PR)가 하기식을 만족하는 것을 특징으로 하는 SAW소자.
    (LT/PT)<(LR/PR)
  3. 1 또는 복수의 압전 기판의 주면상에 형성된 SAW소자로서:
    송신측 신호선에 대하여 직렬 접속된 1 또는 복수의 송신용 SAW공진자와,
    송신측 신호선에 대하여 병렬 접속된 1 또는 복수의 송신용 SAW공진자를 포함하는 송신용 래더형 SAW소자와,
    수신측 신호선에 대하여 직렬 접속된 1 또는 복수의 수신용 SAW공진자와,
    수신측 신호선에 대하여 병렬 접속된 1 또는 복수의 수신용 SAW공진자를 포함하는 수신용 래더형 SAW소자를 포함하고,
    직병렬로 접속된 모든 송신용 SAW공진자에 있어서의 즐치상 전극의 서로 이웃하는 전극 핑거 피치(PT)에 대한 즐치상 전극의 전극 핑거폭(LT)의 비(LT/PT)와, 직병렬로 접속된 모든 수신용 SAW공진자에 있어서의 즐치상 전극의 서로 이웃하는 전극 핑거 피치(PR)에 대한 즐치상 전극의 전극 핑거폭(LR)의 비(LR/PR)가 하기식을 만족하는 것을 특징으로 하는 SAW소자.
    (LT/PT)<(LR/PR)
  4. 1 또는 복수의 압전 기판의 주면상에 형성된 SAW소자로서:
    송신측 신호선에 대하여 직렬 접속된 1 또는 복수의 송신용 SAW공진자와,
    송신측 신호선에 대하여 병렬 접속된 1 또는 복수의 송신용 SAW공진자를 포함하는 송신용 래더형 SAW소자와,
    수신측 신호선에 대하여 직렬 접속된 1 또는 복수의 수신용 SAW공진자와,
    수신측 신호선에 대하여 병렬 접속된 1 또는 복수의 수신용 SAW공진자를 포함하는 수신용 래더형 SAW소자를 포함하고,
    하나 이상의 상기 송신용 SAW공진자에 있어서의 즐치상 전극의 서로 이웃하는 전극 핑거 피치(PT)에 대한 즐치상 전극의 전극 핑거폭(LT)의 비(LT/PT)와, 하나 이상의 상기 수신용 SAW공진자에 있어서의 즐치상 전극의 서로 이웃하는 전극 핑거 피치(PR)에 대한 즐치상 전극의 전극 핑거폭(LR)의 비(LR/PR)가 (LT/PT)<(LR/PR)를 만족하며,
    상기 송신용 래더형 SAW소자의 통과 대역 주파수보다도 상기 수신용 래더형 SAW소자의 통과 대역 주파수가 높은 것을 특징으로 하는 SAW소자.
  5. 1 또는 복수의 압전 기판의 주면상에 형성된 SAW소자로서:
    송신측 신호선에 대하여 직렬 접속된 1 또는 복수의 송신용 SAW공진자와,
    송신측 신호선에 대하여 병렬 접속된 1 또는 복수의 송신용 SAW공진자를 포함하는 송신용 래더형 SAW소자와,
    수신측 신호선에 대하여 직렬 접속된 1 또는 복수의 수신용 SAW공진자와,
    수신측 신호선에 대하여 병렬 접속된 1 또는 복수의 수신용 SAW공진자를 포함하는 수신용 래더형 SAW소자를 포함하고,
    하나 이상의 상기 송신용 SAW공진자에 있어서의 즐치상 전극의 서로 이웃하는 전극 핑거 피치(PT)에 대한 즐치상 전극의 전극 핑거폭(LT)의 비(LT/PT)와, 하나 이상의 상기 수신용 SAW공진자에 있어서의 즐치상 전극의 서로 이웃하는 전극 핑거 피치(PR)에 대한 즐치상 전극의 전극 핑거폭(LR)의 비(LR/PR)가 (LT/PT)<(LR/PR)를 만족하며,
    상기 전극 핑거의 피치(P)는 상기 송신용 SAW공진자와 상기 수신용 SAW공진자에서 거의 동등한 것을 특징으로 하는 SAW소자.
  6. 1 또는 복수의 압전 기판의 주면상에 형성된 SAW소자로서:
    송신측 신호선에 대하여 직렬 접속된 1 또는 복수의 송신용 SAW공진자와,
    송신측 신호선에 대하여 병렬 접속된 1 또는 복수의 송신용 SAW공진자를 포함하는 송신용 래더형 SAW소자와,
    수신측 신호선에 대하여 직렬 접속된 1 또는 복수의 수신용 SAW공진자와,
    수신측 신호선에 대하여 병렬 접속된 1 또는 복수의 수신용 SAW공진자를 포함하는 수신용 래더형 SAW소자를 포함하고,
    하나 이상의 상기 송신용 SAW공진자에 있어서의 즐치상 전극의 서로 이웃하는 전극 핑거 피치(PT)에 대한 즐치상 전극의 전극 핑거폭(LT)의 비(LT/PT)와, 하나 이상의 상기 수신용 SAW공진자에 있어서의 즐치상 전극의 서로 이웃하는 전극 핑거 피치(PR)에 대한 즐치상 전극의 전극 핑거폭(LR)의 비(LR/PR)가 (LT/PT)<(LR/PR)를 만족하며,
    상기 하나 이상의 송신용 SAW공진자에 있어서의 상기 비(LT/PT)가 하기 식을 만족하는 것을 특징으로 하는 SAW소자.
    (LT/PT)<0.6
  7. 1 또는 복수의 압전 기판의 주면상에 형성된 SAW소자로서:
    송신측 신호선에 대하여 직렬 접속된 1 또는 복수의 송신용 SAW공진자와,
    송신측 신호선에 대하여 병렬 접속된 1 또는 복수의 송신용 SAW공진자를 포함하는 송신용 래더형 SAW소자와,
    수신측 신호선에 대하여 직렬 접속된 1 또는 복수의 수신용 SAW공진자와,
    수신측 신호선에 대하여 병렬 접속된 1 또는 복수의 수신용 SAW공진자를 포함하는 수신용 래더형 SAW소자를 포함하고,
    하나 이상의 상기 송신용 SAW공진자에 있어서의 즐치상 전극의 서로 이웃하는 전극 핑거 피치(PT)에 대한 즐치상 전극의 전극 핑거폭(LT)의 비(LT/PT)와, 하나 이상의 상기 수신용 SAW공진자에 있어서의 즐치상 전극의 서로 이웃하는 전극 핑거 피치(PR)에 대한 즐치상 전극의 전극 핑거폭(LR)의 비(LR/PR)가 (LT/PT)<(LR/PR)를 만족하며,
    상기 하나 이상의 수신용 SAW공진자에 있어서의 상기 비(LR/PR)가 하기 식을 만족하는 것을 특징으로 하는 SAW소자.
    0.6<(LR/PR)
  8. 1 또는 복수의 압전 기판의 주면상에 형성된 SAW소자로서:
    송신측 신호선에 대하여 직렬 접속된 1 또는 복수의 송신용 SAW공진자와,
    송신측 신호선에 대하여 병렬 접속된 1 또는 복수의 송신용 SAW공진자를 포함하는 송신용 래더형 SAW소자와,
    수신측 신호선에 대하여 직렬 접속된 1 또는 복수의 수신용 SAW공진자와,
    수신측 신호선에 대하여 병렬 접속된 1 또는 복수의 수신용 SAW공진자를 포함하는 수신용 래더형 SAW소자를 포함하고,
    하나 이상의 상기 송신용 SAW공진자에 있어서의 즐치상 전극의 서로 이웃하는 전극 핑거 피치(PT)에 대한 즐치상 전극의 전극 핑거폭(LT)의 비(LT/PT)와, 하나 이상의 상기 수신용 SAW공진자에 있어서의 즐치상 전극의 서로 이웃하는 전극 핑거 피치(PR)에 대한 즐치상 전극의 전극 핑거폭(LR)의 비(LR/PR)가 (LT/PT)<(LR/PR)를 만족하며,
    상기 송신용 래더형 SAW소자와 상기 수신용 래더형 SAW소자는 각각 다른 압전 기판의 주면상에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 SAW소자.
  9. 1 또는 복수의 압전 기판의 주면상에 형성된 SAW소자로서:
    송신측 신호선에 대하여 직렬 접속된 1 또는 복수의 송신용 SAW공진자와,
    송신측 신호선에 대하여 병렬 접속된 1 또는 복수의 송신용 SAW공진자를 포함하는 송신용 래더형 SAW소자와,
    수신측 신호선에 대하여 직렬 접속된 1 또는 복수의 수신용 SAW공진자와,
    수신측 신호선에 대하여 병렬 접속된 1 또는 복수의 수신용 SAW공진자를 포함하는 수신용 래더형 SAW소자를 포함하고,
    하나 이상의 상기 송신용 SAW공진자에 있어서의 즐치상 전극의 서로 이웃하는 전극 핑거 피치(PT)에 대한 즐치상 전극의 전극 핑거폭(LT)의 비(LT/PT)와, 하나 이상의 상기 수신용 SAW공진자에 있어서의 즐치상 전극의 서로 이웃하는 전극 핑거 피치(PR)에 대한 즐치상 전극의 전극 핑거폭(LR)의 비(LR/PR)가 (LT/PT)<(LR/PR)를 만족하는 SAW소자를 필터로서 이용한 분파기.
  10. 청구항 9에 기재된 분파기를 탑재한 통신 기기.
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