JP5111586B2 - 弾性表面波共振器および弾性表面波装置並びに通信装置 - Google Patents
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Description
212,213により弾性表面波が反射され、両端の反射器電極210,211,212,213間で定在波となる。
損失で良好な電気特性を持つ弾性表面波装置を実現できる。
指ピッチの平均値が第2の部分の電極指ピッチより短く形成されているとともに第1の部分の電極指ピッチが隣り合う2つのIDT電極の境界に向かって短くなっており、2つの第1の部分における電極指ピッチの最小部が境界から外れた片方側にあるという構成(以下、構成Aともいう)であるが、この構成Aは、複数のIDT電極のうち少なくとも1組の隣り合う2つのIDT電極(例えば、IDT電極3,4の1組)において採用すればよい。ただし、1つの弾性表面波共振器の電気的特性の対称性等を良好にするうえで、1つの弾性表面波共振器において、複数のIDT電極のうち全ての組の隣り合う2つのIDT電極(例えば、第1の弾性表面波共振器のIDT電極2,3、IDT電極3,4)について、構成Aを採ることが好ましい。
100本にも及ぶので、簡単のため、図においてはそれらの形状を簡略化して図示している。なお、13は入力端子であり、14,15は出力端子である。
配設するようにしてもよく、その他の構成においても、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更することは可能である。
2〜7,203〜209:IDT電極
8〜11,210〜213:反射器電極
12:共振子
13:入力端子
14,15,216,217:出力端子
Claims (8)
- 圧電基板上に、該圧電基板上を伝搬する弾性表面波の伝搬方向に沿って、該伝搬方向に対して直交する方向に長い電極指を多数本有する複数のIDT電極を配設してなるとともに、前記複数のIDT電極のうち隣り合う2つのIDT電極がそれぞれ、相手側の端部から一部分であって電極指ピッチが残りの部分の電極指ピッチと異なる第1の部分と前記残りの部分であって電極指ピッチが一定な第2の部分とで構成され、前記第1の部分の電極指ピッチの平均値が前記第2の部分の電極指ピッチより短く形成されているとともに前記第1の部分の電極指ピッチが前記隣り合う2つのIDT電極の境界に向かって短くなっており、2つの前記第1の部分における電極指ピッチの最小部が前記境界から外れた片方側にあり、前記隣り合う2つのIDT電極間の前記境界における電極指ピッチが前記最小部の電極指ピッチよりも長くなっており、
前記IDT電極の前記第1の部分には、前記IDT電極の前記第2の部分の電極指ピッチよりも電極指ピッチが長い部分が存在することを特徴とする弾性表面波共振器。 - 前記隣り合う2つのIDT電極において、一方のIDT電極の前記第2の部分の電極指ピッチが他方のIDT電極の前記第2の部分の電極指ピッチよりも長く、前記第1の部分における前記電極指ピッチの最小部が前記一方のIDT電極側にあることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波共振器。
- 前記一方のIDT電極の前記第1の部分の電極指ピッチの平均値が、前記他方のIDT電極の前記第1の部分の電極指ピッチの平均値よりも短いことを特徴とする請求項2に記載の弾性表面波共振器。
- 前記IDT電極上にはSiO 2 、SiN x 、Si、Al 2 O 3 のいずれかからなる保護膜が形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の弾性表面波共振器。
- 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の弾性表面波共振器を構成する前記IDT電極に対して、直列または並列に、IDT電極と該IDT電極を挟む反射器とから成り、1つ以上のモード共振を発生させる共振子を接続したことを特徴とする弾性表面波装置。
- 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の弾性表面波共振器を2段縦続接続したことを特徴とする弾性表面波装置。
- 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の弾性表面波共振器を有する、受信回路および送信回路の少なくとも一方を備えたことを特徴とする通信装置。
- 請求項5または請求項6に記載の弾性表面波装置を有する、受信回路および送信回路の少なくとも一方を備えたことを特徴とする通信装置。
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