KR100761604B1

KR100761604B1 - 표시장치의 단선 수복방법

Info

Publication number: KR100761604B1
Application number: KR1020020042801A
Authority: KR
Inventors: 무라카미카츠아키; 마츠이야스시; 나카야마아키오
Original assignee: 가부시끼가이샤 어드번스트 디스플레이
Priority date: 2001-07-31
Filing date: 2002-07-20
Publication date: 2007-09-27
Also published as: TW576941B; KR20030011563A; US7113252B2; JP4954395B2; JP2003043951A; US20050052445A1; US20030025846A1

Abstract

본 발명은 표시장치에 있어 제조공정을 증가시키는 일 없이 영상신호선의 단선을 수복하고 제조 비율을 향상시킨다.

절연성 기판 상에 형성된 주사선(1)과, 상기 주사선과 병행하게 형성된 축적용량선(3)과, 상기 주사선(1) 및 상기 축적용량선(3)과 절연막을 사이에 두고 교차하여 형성된 영상신호선(2)과, 상기 주사선(1), 상기 축적용량선(3) 및 상기 영상신호선(2)에 둘러 쌓인 화소전극(6)을 구비한 표시장치로서, 1 화소 내에 있어서의 상기 축적용량선(3)과 상기 영상신호선(2)과의 교차부 이외의 영역에 있어서 상기 축적용량선(3)과 상기 영상신호선(2)이 겹치는 영역(11)을 갖는 것을 특징으로 한다.

표시장치, 단선

Description

표시장치의 단선 수복방법{method for restoring broken line of display}

도1은 본 발명의 제1 실시 형태에 있어서의 표시장치의 대략 1 화소의 평면도,

도2는 본 발명의 제1 실시 형태에 있어서의 영상신호선의 단선 수복방법을 설명하는 제1 평면도,

도3은 도2에 있어서의 A-A단면도,

도4는 본 발명의 제1 실시 형태에 있어서의 영상신호선의 단선 수복방법을 설명하는 제2 평면도,

도5는 본 발명의 제2 실시 형태에 있어서의 표시장치의 대략 1 화소의 평면도,

도6은 종래 기술의 액정 표시장치에 있어서의 대략 1 화소의 평면도,

도7은 종래 기술의 액정 표시장치에 있어서의 대략 1 화소의 평면도.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 주사선 2 : 영상신호선(映像信號線)

3 : 축적용량선(蓄積容量線) 4 : 연장부

5, 22 :돌기부 6 : 화소전극

7 : 소스전극 8 : 드레인전극

9 : 반도체막 10 : 컨택트 홀(contact hole)

11, 12 : 중첩부 13 : 연장부

14 : 단선부(斷經部) 15 : 레이저조사부

16 : 절연성 기판 17 : 게이트 절연막

18 : 층간 절연막 20 , 21 : 절단부(切斷部)

본 발명은 영상 신호선의 단선 수복이 가능한 표시장치 및 표시장치의 제조방법과 표시장치의 단선 수복방법에 관한 것으로, 특히 액정 표시장치에 매우 적합하게 적용할 수 있는 것이다.

종래의 액티브 매트릭스형 액정 표시장치 등의 표시장치에 있어서, 영상신호선의 단선을 수정하는 방법으로서 예를 들면 특개평 9-61852호 공보가 개시되어 있다. 도6은 종래 기술의 액정 표시장치에 있어서 대략 1 화소의 평면도이다. 도6에 있어서 1a, 1b는 주사선, 2a, 2b는 영상 신호선, 6은 화소전극, 7은 소스전극, 8은 드레인전극, 14는 영상 신호선의 단선부, 24는 축적용량전극(제1의 도전성 전극), 25는 게이트전극, 26은 채널 보호막(절연층), 27a, 27b는 콘텍트 홀, 28은 제2의 도전성전극, 29는 제3 도전성전극, 30a, 30b, 31a, 31b는 레이저 조사부(照射部), 32는 절단부, 33은 레이저 조사부를 나타내고 있다.

도6에 있어, 영상 신호선(2a)에 있어서의 단선이 주사선(1b)과의 교차부에 생긴 경우(단선부(14))에 대해서 설명한다. 이 경우 부호(31a),(31b)에서 표시하는 레이저 조사부 2곳에 레이저광을 조사하여 영상신호선(2a)의 분기부분과 제3 도전성전극(29)과를 전기적으로 단락하여 제3 도전성 전극(29)과 축적용량전극(24)을 전기적으로 단락한다. 또한 부호(30a),(30b)로 나타내는 레이저 조사부 2곳에 레이저광을 조사하여 영상 신호선(2a)과 제2 도전성전극(28)과를 전기적으로 단락하여 제2 도전성전극 (28)과 축적용량전극(24)과를 전기적으로 단락한다. 또한 부호(32)로 나타내는 곳에 레이저광을 조사하여 축적용량전극(24)과 화소전극(6)과를 분리한다. 더욱이 부호(33)로 표시하는 곳에 레이저광을 조사하여 박막 트랜지스터의 드레인전극(8)과 게이트전극(25)과를 전기적으로 단락한다. 상기의 처리에 의해 도6에 일련의 화살표로 표시하는 것과 같은 경로가 형성되어 축적용량전극(24)을 영상신호선의 일부로서 이용하고 영상신호선의 단선의 수복이 가능하게 되는 것이다.

그렇지만, 상술한 종래의 기술에 있어서는 영상신호선의 수복은 가능하지만, 영상신호선 수복용 패턴을 설치할 필요가 있고, 이 때문에 마스크 매수가 증가하여 제조공정수가 증가해 버리는 문제가 있었다. 또한, 그 수복용 패턴을 형성하기 위한 영역이 필요하므로 그것에 의해 화소의 개구율을 저하시켜 버리는 문제도 있었다.

또한 축적용량을 이용한 단선 수복의 종래 기술로서는 예를 들면 특개평 9- 325354호 공보도 개시되어 있다. 도7은 종래 기술의 액정 표시장치에 있어 대략 1 화소의 구성도이며, 도6과 같은 구성부분에 대해서는 동일부호로 나타내며 도6의 구조와 다른 부분에 대해서만 설명한다. 도7에 있어서 34는 축적용량전극, 35는 주사선의 단선부, 36은 레이저 조사부, 37은 비정질(非晶質) 실리콘층을 나타내고 있다. 도7에 있어서, 단선부(35)에 있어 주사선(1)에 단선이 생긴 경우 레이저 조사부(36)에 레이저를 집중함으로써 단선부(35)는 축적용량전극(34)을 통하여 바이패스 접속되어 단선이 수복되는 것이다. 그러나, 이러한 종래 기술은 주사선의 단선을 축적용량용 전극을 바이패스하여 구제하는 것이고 영상신호선의 단선 구제에 대해서는 전혀 언급되어 있지 않다. 또한 수복에 이용하는 축적용량전극(34)은 화소전극(6)에 콘텍트 홀에 의해 접속되어 있고, 나아가서는 상기 축적용량전극에 의해 영상신호선의 단선을 구제 내지 수복하는 것은 곤란하였다.

본 발명은 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 제조공정을 증가시키는 일이 없을 뿐만 아니라 개구율을 저하시키는 일 없이 영상신호선의 단선을 수복하여 제조 비율을 향상시키는 것을 목적으로 하고 있다.

본 발명의 제 1 표시장치는 절연성 기판 상에 형성된 주사선과, 상기 주사선과 병행하게 형성된 축적용량선과, 상기 주사선 및 상기 축적용량선과 절연막을 사이에 두고 교차하여 형성된 영상신호선과, 상기 주사선, 상기 축적용량선 및 상기 영상신호선에 둘러 쌓인 화소전극을 갖춘 표시장치에 있어서, 1 화소 내에 있어 상 기 축적용량선과 상기 영상신호선과의 교차부 이외의 영역에 있어 상기 축적용량선과 상기 영상신호선이 겹치는 영역을 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제 2 표시장치는 상기 제 1 표시장치에 있어서 상기 1 화소 내에 있어서의 상기 축적용량선과 상기 영상신호선과의 교차부 이외의 영역에 있어 상기 축적용량선과 상기 영상신호선이 겹치는 영역은, 상기 축적용량선에서 상기 화소전극의 주위의 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제3 표시장치는 상기 제1 또는 2 표시장치에 있어서 상기 축적용량선 또는 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역은, 1 화소 내에 있어서 적어도 2곳 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제4 표시장치는 상기 제1 내지 3 중 어느 하나의 표시장치에 있어서 상기축적용량선 또는 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역은, 적어도 4㎛×10㎛이상의 면적을 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제1 표시장치의 제조방법은 절연성 기판 상에 형성된 주사선과, 상기 주사선과 병행하게 형성된 축적용량선과, 상기 주사선 및 상기 축적용량선과 절연막을 사이에 두고 교차하여 형성된 영상신호선과, 상기 주사선, 상기 축적용량선 및 상기 영상신호선으로 둘러 쌓인 화소전극을 갖춘 표시장치의 제조방법에 있어서, 1 화소 내에 있어 상기 축적용량선과 상기 영상신호선과의 교차부 이외의 영역에 있어서 상기 축적용량선과 상기 영상신호선이 겹치는 영역을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제2 표시장치의 제조방법은 상기 제1 표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 1 화소 내에 있어서의 축적용량선과 상기 영상신호선과의 교차부 이외의 영역에 있어 상기 축적용량선과 상기 영상신호선이 겹치는 영역을 형성하는 공정은, 상기 축적용량선에서 상기 화소전극의 주위 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제3 표시장치의 제조방법은 상기 제1 또는 2의 표시장치의 제조방법에 있어서, 상기축적용량선 또는 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역을 형성하는 공정은, 1 화소 내에 있어서 상기 축적용량선 또는 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역을 적어도 2곳 이상 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제4 표시장치의 제조방법은 상기 제1 내지 3중 어느 하나의 표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 축적용량선 또는 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역을 형성하는 공정은, 상기 축적용량선 또는 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역에 있어서 적어도 4㎛×10㎛이상의 중첩부를 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제1 표시장치의 단선 수복방법은 절연성 기판 상에 형성된 주사선과, 상기 주사선과 병행하게 형성된 축적용량선과, 상기 주사선 및 상기 축적용량선과 절연막을 사이에 두고 교차하여 형성된 영상신호선과, 상기 주사선, 상기 축적용량선 및 상기 영상신호선들로 둘러 쌓인 화소전극을 갖춘 표시장치의 단선 수 복방법에 있어서, 1 화소 내에 있어서의 상기 축적용량선과 상기 영상신호선과의 교차부 이외의 영역에 있어 상기 축적용량선에서 상기 화소전극의 주위 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부와 상기 영상 신호선이 겹치는 영역을 형성하는 공정과, 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상 신호선이 겹치는 영역에 있어 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선을 접속하는 공정과, 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 접속된 영역 중 상기 축적용량선과 가장 근접한 영역과 상기 축적용량선과의 사이를 절단하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제2 표시장치의 단선 수복방법은 상기 제1 표시장치의 단선 수복방법에 있어서 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역을 형성하는 공정은 1 화소 내에 있어서 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역을 적어도 2곳 이상 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제3 표시장치의 단선 수복방법은 상기 제1 또는 2 표시장치의 단선 수복방법에 있어서, 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역에 있어서 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선을 접속하는 공정은 레이저 조사에 의해 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선을 접속하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제4 표시장치의 단선 수복방법은 상기 제1 내지 3중 어느 하나의 표시장치의 단선 수복방법에 있어서, 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선 이 접속된 영역 중 상기 축적용량선과 가장 근접한 영역과 상기 축적용량선과의 사이를 절단하는 공정은 레이저조사에 의해 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 접속된 영역 중 상기 축적용량선과 가장 근접한 영역과 상기 축적용량선과의 사이를 절단하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제5 표시장치의 단선 수복방법은 상기 제1 표시장치의 단선 수복방법에 있어서 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 접속된 영역 중 상기 축적용량선과 가장 근접한 영역과 상기 축적용량선과의 사이를 절단하는 공정을 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 접속된 영역 중 상기 축적용량선과 가장 근접한 영역과 상기 축적용량선과의 사이를 포함하며 상기 축적용량선과 병행하여 상기 화소전극과 이 화소전극의 주위 한 변과 대향하는 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부를 절단하는 공정으로 치환한 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 제6 표시장치의 단선 수복방법은 상기 제5 표시장치의 단선 수복방법에 있어서, 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 접속된 영역 중 상기 축적용량선과 가장 근접한 영역과 상기 축적용량선과의 사이를 포함하며 상기 축적용량선과 병행하여 상기 화소전극과 이 화소전극의 주위 한 변과 대향하는 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부를 절단하는 공정은 레이저조사에 의해 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 접속된 영역 중 상기 축적용량선과 가장 근접한 영역과 상기 축적용량선과의 사이를 포함하고 또 상기 축적용량선과 병행하게 상기 화소전극과 이 화소전극의 주위 한 변과 대향하는 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부를 절단하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 것이다.

(실시의 형태 1)

본 발명의 제1 실시 형태를 도1 내지 도4에 의해 설명한다. 도1은 본 발명의 제1 실시 형태에 있어서의 박막 트랜지스터(이하, TFT라고 칭한다)를 이용한 액티브매트릭스형 액정 표시 장치의 대략 1 화소의 평면도이며, 도2는 영상신호선의 단선 수복방법을 설명하는 제1 평면도, 도3은 도2에 있어서의 A-A단면도, 도4는 영상신호선의 단선 수복방법을 설명하는 제2 평면도이다.

도1 내지 도4에 있어서, 1은 TFT의 게이트를 구동하는 주사선(게이트선), 2는 영상신호선, 3은 축적용량선, 4는 화소전극의 주위 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부, 5는 화소전극의 주위 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부에 있어서의 돌기부, 6은 화소전극, 7은 소스전극, 8은 드레인전극, 9는 반도체막, 10은 화소전극과 드레인전극을 접속하는 컨텍트 홀, 11은 화소전극의 주위 한 변을 따라 연재된 축적용량선(3)의 연장부(4)에 있어서의 돌기부(5)와 영상신호선(2)과의 중첩부, 12는 축적용량선 및 축적용량선의 연장부와 화소전극과의 중첩부(축적용량형성부), 13은 화소전극의 주위 한 변과 대향하는 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부, 14는 영상신호선의 단선부, 15는 레이저조사부, 16은 절연성기판, 17은 게이트 절연막, 18은 층간 절연막, 19는 용융한 금속, 20은 절단부, 21은 축적용량선의 연장부와 화소전극의 절단부를 나타내고 있다.

도1은 축적용량을 화소전극과 축적용량선 및 축적용량선의 연장부와의 중첩부에서 형성하는 방식(공통 Cs방식)을 이용한 대략 1 화소를 나타내는 평면도를 도시하는 것으로, 먼저 그 제조공정에 대해서 도1 내지 도3을 참조하면서 설명한다. 절연성 기판(16)상에 주사선(1) 및 축적용량선(3)이 되는 제1층 도전막을 성막(成經)한다. 제1층의 도전막으로서는 예를 들어 Al, Cr, Cu, Ta, Mo나 이들에 다른 물질을 첨가한 합금 등으로 이루어지는 박막(薄經)이 이용된다. 다음으로 사진 제판공정에 의해 제1층 도전막을 패턴닝하는 것에 의해 주사선(1) 및 축적용량선(3)을 형성한다. 이 축적용량선(3)은 도1에 나타낸 바와 같이, 1 화소 내에 있어서의 축적용량선(3)과 영상신호선(2)과의 교차부 이외의 영역에 있어서 화소전극의 주위 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부(4)가 형성되고 상기 축적용량선의 연장부(4)로부터의 돌기부(5)를 갖추며 또 상기 돌기부(5)가 후술하는 영상신호선(2)과 겹치는 영역(중첩부(11))을 형성하도록 패턴닝된다.

본 실시의 형태에 있어서는 상기 중첩부(11)는, 가능한 한 단선의 수복범위가 넓어지도록 1 화소 내에 있어서의 영상신호선의 긴 쪽 방향을 따른 단부 근방에 각각 1곳씩 총 2곳 형성하고 있다. 더욱이, 상기 화소전극의 주위 한 변과 대향하는 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부(13)가 형성되도록 패턴닝되어 있다.

그 후, 플래즈마 CVD 등의 성막장치에 의해 게이트 절연막(17), 반도체막(9), 저항 컨텍트막(도시 안됨)을 연속 형성한다. 게이트 절연막(17)으로서는, SiNx, SiOx, SiOxNy나 이들의 적층막이 이용된다. 반도체막(9)은 비정질 실리콘(a-Si), 폴리 실리콘(p-Si) 등이 이용된다. 더욱이 저항 컨텍트막에 는 a-Si막이나 p-Si에 인(P)등을 미량으로 도핑한 n-a-Si, n-p-Si가 이용된다. 그리고 사진제판 공정에 의해 반도체막 및 저항 컨텍트막을 드라이에칭 등에 의해 패턴닝한다.

다음으로 영상신호선(2)으로 이루어지는 제2층 도전막을 성막한다. 제 2층 도전막으로서는 예를 들어 Al, Cr, Cu, Ta, Mo나 이들에 다른 물질을 첨가한 합금 등으로 이루어지는 박막, 다른 종의 금속막을 적층한 것, 또는 막두께 방향으로 조성이 다른 것을 이용할 수 있다. 그리고 사진 제판 공정에 의해 영상신호선를 패턴닝한다. 이 영상신호선의 패턴닝 때 소스전극(7), 드레인전극(8)도 동시에 형성되도록 한다.

그 다음, 플래즈마 CVD 등의 성막장치에 의해 층간절연막(18)을 형성한다. 그리고 사진제판 공정에 의해 상기 층간 절연막(18)을 패턴닝한다.

층간절연막(18)으로서는 게이트 절연막(17)과 같이 SiNx, SiOx, SiOxNy나, 이들의 적층막이 이용된다. 이 층간 절연막(18)의 패턴닝에 의해 컨텍트 홀(10)이 형성되어 드레인전극(8)과 후술하는 화소전극(6)이 상기 컨텍트 홀(10)을 통하여 전기적으로 도통가능하게 된다.

그리고, 층간 절연막(18)상에 화소전극(6)이 되는 예를 들어 ITO, SnO₂ 등의 투명금속인 도전성 박막을 성막하여, 사진 제판 공정에 의해 상기 도전성박막을 주사선(1), 축적용량선(3) 및 영상신호선(2)에 의해 둘러싸이도록 패턴닝하는 것으로 TFT 등이 형성된 절연성기판(이하, 어레이 기판이라고 칭한다)이 완성한다.

이상과 같은 어레이기판 제조 공정 중, 영상신호선의 성막 또는 패턴닝 중의 이물 등의 발생에 의해 도2와 같이 영상신호선의 단선(14)이 생기는 경우가 있다. 그 단선은 어레이 기판의 각 제조 공정 중에 있어서의 화상검사장치 등에 의한 검사에 의해 발견된다. 통상 영상신호선에 단선이 생긴 경우, 구동회로 측으로부터 그 단선부까지는 해당전위는 공급되지만 구동회로 측으로부터 상기 단선부 보다 먼 영역에는 해당 전위가 공급되지 않고 선(線) 결함 불량으로 되어 제조 비율의 저하를 초래하였다.

따라서, 상기 단선을 수복하기 위해 도2에 나타낸 바와 같이 화소전극의 주위 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부(4)에 있어서의 돌기부(5)와 영상신호선(2)과의 중첩부(11) 각각의 영역에 있어서 레이저조사부(15)에 레이저를 조사하는 것으로, 도3에 나타낸 바와 같이 용융한 금속(19)에 의해 축적용량선의 연장부(4)와 영상신호선(2)과를 도통시킨다. 이 레이저광은 YAG레이저 또는 엑시머 레이저일 것, 또 이 레이저광의 파장은 0.1∼1.06㎛인 것이 좋다. 또한 레이저광의 조사방향은 어레이 기판의 표면측(영상 신호선 측) 또는 어레이 기판의 뒷면 측(축적용량선 측) 중 어느 쪽이어도 좋다. 또한, 상기 레이저광의 조사광도는 상기와 같이 금속막에 조사하는 경우 출력밀도 1×1 0² 내지 1×l 0⁴J/m²의 범위인 것이 좋다. 또 레이저 조사부 (15)의 레이저광 조사범위로서는 직경 2㎛정도가 좋고, 접속저항의 안정성의 면에서 상기 화소전극의 주위 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부에 있어서의 돌기부와 영상신호선과의 중첩부(11)의 각각에 3∼4곳 정도 조사하는 것이 좋다.

화소전극의 주위 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부(4)에 있어서의 돌기부(5)와 영상신호선(2)과의 중첩부(11)의 필요한 크기는 영상신호선(2)의 선 폭 및 축적용량선과 영상신호선과의 패턴닝시의 위치 맞춤 정도(精度) 등에 의존하 여 변화하나 상기 중첩부의 면적은 적어도 2㎛×5㎛ 이상 정도이면 접속 가능하지만 상기 중첩부의 면적이 적어도 4㎛×10㎛ 이상의 면적(중첩부)을 갖고 있으면, 상기 축적용량선과 영상신호선과의 위치맞춤 오차(최대 1㎛정도)가 생겨도 상기 직경 2㎛ 정도의 레이저광을 3∼4 곳 정도 확실하게 조사할 수 있고 보다 안정된 접속 및 보다 확실한 단선의 수복이 가능하게 되어 바람직하다.

다음으로, 도4에 나타낸 바와 같이 화소전극의 주위 한 변을 따라 연재된 축적용량선(3)의 연장부(4)에 있어서의 돌기부(5)와 영상신호선(2)이 중첩부(11)에 있어서 접속된 영역 중 축적용량선(3)과 가장 근접한 영역과 축적용량선(3)과의 사이인 절단부(20)(연장부(4)가 축적용량선(3)에서 분기한 부위)를 레이저 조사에 의해 절단한다. 이것에 의해 축적용량선에 공급되는 전위와 영상신호선에 공급되는 전위가 단락되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 바람직하게는 그 레이저 조사에 의한 절단은 상술한 것과 같이 절단부(20)만인 것이 바람직하지만, 실제로 레이저 조사에 의해 절단부(20)를 절단하면 레이저 조사부에 있어서 화소전극의 주위 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부(4)와 화소전극(6)이 도통하고, 또한 축적용량선(3)과 화소전극(6)이 도통함으로써 결과로서 영상신호선과 축적용량선이 단락해 버리는 경우가 있다. 이 경우는 도4의 축적용량선의 연장부와 화소전극의 절단부(21)에 도시한 것과 같이 화소전극 주위의 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부에 있어서의 돌기부와 영상신호선이 접속된 영역중에 그 축적용량선과 가장 근접한 영역과 축적용량선과의 사이인 절단부(20)를 포함하고, 또한 축적용량선과 병행하여 화소전극(6)과 이 화소 전극 주위의 한 변과 대향하는 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부를 포함하여 절단하는 것으로, 영상신호선과 축적용량선과의 단락을 확실하게 방지할 수 있다. 이 경우 화소전위는 영상신호선 전위가 되어 결과적으로 상기 화소는 점(点) 결함이 되어 버리지만, 상기 영상신호선의 절단에 의한 치명적인 선 결함불량을 경미한 점 결함불량으로 변경할 수 있어 표시장치의 제조 비율의 향상이 가능하게 된다.

또한 상기 절단부(20)로의 레이저조사에 의한 영상신호선과 축적용량선과의 단락을 방지하기 위해 도4의 R로 나타낸 바와 같이 절단부(20)에 있어서 화소전극(6)이 겹치지 않도록 화소전극(6)을 패턴닝하여도 좋다. 이 경우 화소전극(6)은 절단부(20)를 빼고 절단부(20)로의 레이저조사시에 상기 화소전극(6)이 축적용량선(3) 및 화소전극 주위의 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부(4)와 도통(導通)하지 않을 정도의 간격을 갖도록 패턴닝한다.

이와 같은 구성함으로써 레이저조사에 의한 절단은 절단부(20)만으로 좋고 영상 신호선과 축적용량선과의 단락을 방지하고 또 상기 화소가 점 결함 불량하게 되는 일 없이 표시품질이 양호한 액정표시장치를 얻을 수 있다.

상기의 구성 및 공정에 의해 영상신호선과 축적용량선과의 단락 등의 불편함이 생기는 일이 없고 제조공정을 증가시키는 일 없이 영상신호선의 단선을 수복 가능하게 된다.

또한 본 실시 형태에 있어서는 화소전극 주위의 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부에 있어서의 돌기부와 영상신호선과의 중첩부(11)를 2곳 설치한 예에 대해서 나타내고 있으나, 그것에 한정되는 일 없이 3곳 이상 설치하여도 좋고 또한 1 화소 내에서 가능한 한 크게 상기 중첩부를 1곳만 형성하는 것으로도 영상신호선의 단선이 수복가능하게 된다. 이 1 화소 내에서 1곳만 상기 중첩부(11)를 형성한 경우에 있어서도 도4에 있어서의 절단부(20) 또는 축적용량선의 연장부와 화소전극의 절단부(21)를 확보해야하고 축적용량선(3) 근방에 축적용량선의 연장부(4)와 영상신호선(2)이 겹치지 않는 영역을 형성하여 절단함으로써 영상신호선과 축적용량선과의 단락을 방지할 수 있다.

(실시의 형태 2)

본 발명의 제2 실시 형태를 도5에 의해 설명한다. 도5는 TFT를 이용한 액티브 매트릭스형 액정표시장치의 대략 1 화소를 나타내는 평면도이다.

도5에 있어서 도1 내지 도4와 같은 구성부분에 대해서는 동일부호로 나타내고 있으며 상기 도면들과의 차이점에 대해서만 설명한다. 도5에 있어서, 22는 영상신호선에 있어서의 돌기부, 23은 영상신호선에 있어서의 돌기부와 화소전극의 주위 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부와의 중첩부이다.

도5는 상기 제1 실시 형태와는 달리, 영상신호선에 돌기부(22)를 형성하는 것에 영상신호선의 돌기부와 화소전극의 주위 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부와의 중첩부(23)를 형성하고있다. 본 실시 형태의 제조공정에 대해서는 제1 실시 형태와 같기 때문에 설명을 생략한다.

상기와 같은 구성으로 하고 그 후 제1 실시 형태와 동일하게 영상신호선에 있어서의 돌기부와 화소전극 주위의 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부와의 중첩부(23)에 있어서 레이저 조사부(15)에 레이저 조사하여 영상신호선(2)과 축적 용량선의 연장부(4)를 접속시킨다. 그리고, 제1 실시 형태와 같이, 화소전극의 주위 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부와 영상신호선의 돌기부가 접속된 영역 중 축적용량선과 가장 근접한 영역과 이 축적용량선과의 사이인 절단부(20)를 절단함으로써, 또는 도5의 축적용량선의 연장부와 화소전극의 절단부(21)에 나타낸 바와 같이 상기 절단부(20)를 포함하고 또 축적용량선과 병행하여 화소전극(6)과 이 화소전극 주위의 한 변과 대향하는 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부를 포함하여 절단함으로써, 영상신호선과 축적용량선과의 단락을 방지한다. 이에 의하여, 제1 실시형태와 같은 효과를 연출할 수 있다.

또한, 제1 실시 형태와 동일하게, 도5의 R로 나타낸 바와 같이 절단부(20)에 있어서 화소전극(6)이 겹치지 않도록 화소전극(6)을 패턴닝하여도 좋다. 이 경우, 화소전극(6)은 절단부(20)를 제외하고, 절단부(20)로의 레이저 조사시에 상기 화소전극(6)이 축적용량선(3) 및 화소전극의 주위 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부(4)와 도통하지 않을 정도의 간격을 갖도록 패턴닝한다. 이와 같이 구성함으로써, 제1 실시 형태와 마찬가지로 레이저조사에 의한 절단은 절단부(20)만으로 좋고 영상신호선과 축적용량선과의 단락을 방지하고 또한 상기 화소가 점 결함 불량이 되는 일도 없이 표시품질이 양호한 액정표시장치를 얻을 수 있다.

또한, 영상신호선에 있어서의 돌기부와 화소전극 주위의 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부와의 중첩부(23)의 면적에 대해서도 제1 실시형태와 같이, 적어도 2㎛×5㎛ 이상이라면 좋고, 바람직하게는 적어도 4㎛××10㎛ 이상인 것이 바람직하다.

본 실시 형태에 있어서는 영상신호선의 돌기부와 화소전극의 주위 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부와의 중첩부(23)를 상기 제1 실시 형태와 같이, 될 수 있는 한 단선의 수복범위가 넓어지도록 1 화소 내에 있어서의 영상신호선의 긴 쪽 방향을 따른 단부 근방에 각각 1곳씩의 총 2곳 설치한 예에 대하여 나타내고 있으나, 그것에 한정되지 않고 3곳 이상 설치하여도 좋고, 또 1 화소 내의 가능한 한 크게 상기 중첩부를 1곳만 형성하는 것으로도 영상신호선의 단선을 수복할 수 있다. 이 1 화소 내에서 1곳만 상기 중첩부(23)를 형성한 경우에 있어서도 제1 실시 형태의 도4에 있어서의 절단부(20) 또는 축적용량선의 연장부와 화소전극의 절단부(21)를 확보해야하고 축적용량선(3) 근방에 영상신호선의 돌기부(22)와 화소전극의 주위 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부(4)가 겹치지 않는 영역을 형성하여 절단하는 것으로 영상신호선과 축적용량선과의 단락을 방지할 수 있다.

또한 상기 제1, 제2 실시 형태에 있어서는 주사선과 축적용량선이 동일층의 도전막으로 형성되는 예에 대해서 설명을 하고 있으나, 이 층 구성에 한정됨이 없이 주사선과 축적용량선이 다른 층의 도전막으로 형성되는 경우 이어도 영상신호선과 절연막을 통하여 교차하는 축적용량선과를 구비한 모든 표시장치에 적용하여도 아무런 지장이 없는 것은 물론이다.

또한 제1, 제2 실시 형태에 있어서는 액정을 이용한 표시장치에 대해서 설명을 하고 있으나, 액정을 이용한 표시장치에 한정되지 않고 일렉트로루미네선스(electroluminescence)소자, 필드 시켄셜(Field-seqential)등을 이용한 것이어도 영상신호선과 절연막을 통하여 교차하는 축적용량선을 구비한 모 든 표시장치에 적용 가능하다.

본 발명의 제1 표시장치는 절연성 기판 상에 형성된 주사선과, 상기 주사선과 병행하게 형성된 축적용량선과, 상기 주사선 및 상기 축적용량선과 절연막을 사이에 두고 교차하여 형성된 영상신호선과, 상기주사선, 상기 축적용량선 및 상기 영상신호선으로 둘러 쌓인 화소전극을 구비한 표시장치에 있어서, 1 화소 내에 있어서의 상기 축적용량선과 상기 영상신호선과의 교차부 이외의 영역에 있어 상기 축적용량선과 상기 영상신호선이 겹치는 영역을 갖는 것을 특징으로 하고 있기 때문에 제조공정을 증가시키는 일 없이, 영상신호선의 단선을 수복하는 것이 가능하게 된다.

본 발명의 제2 표시장치는, 상기 제1 표시장치에 있어 상기 1 화소내에 있어서의 상기 축적용량선과 상기 영상신호선과의 교차부 이외의 영역에 있어서 상기 축적용량선과 상기 영상신호선이 겹치는 영역은 상기 축적용량선으로부터 상기 화소전극 주위의 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선에 의해 형성되는 것을 특징으로 하기 때문에 제조공정을 증가시키는 일없이 영상신호선의 단선을 수복하는 것이 가능하게된다.

본 발명의 제3 표시장치는 상기 제1 또는 2의 표시장치에 있어서, 상기 축적용량선 또는 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역은 1 화소 내에 있어서 적어도 2곳 이상 형성되는 것을 특징으로 하기 때문에, 제조공정을 증가시키는 일 없이 영상신호선의 단선을 수복하는 것이 가능하게된다.

본 발명의 제4 표시장치는 상기 1 내지 3 중 어느 하나의 표시장치에 있어 서, 상기 축적용량선 또는 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역은 적어도 4㎛×10㎛이상의 면적을 갖는 것을 특징으로 하기 때문에 영상신호선의 단선을 보다 안정하게 접속할 수 있게 되어 보다 확실하게 수복할 수 있게 된다.

본 발명의 제1 표시장치의 제조방법은 절연성 기판 상에 형성된 주사선과, 상기 주사선과 병행하게 형성된 축적용량선과, 상기 주사선 및 상기 축적용량선과 절연막을 사이에 두고 교차하여 형성된 영상신호선과, 상기 주사선, 상기 축적용량선 및 상기 영상신호선으로 둘러 쌓인 화소전극을 구비한 표시장치의 제조방법에 있어서, 1 화소 내에 있어서의 상기 축적용량선과 상기 영상신호선과의 교차부 이외의 영역에 있어 상기 축적용량선과 상기 영상신호선이 겹치는 영역을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하기 때문에, 제조공정을 증가시키는 일없이 영상신호선의 단선 수복이 가능한 표시 장치를 얻을 수 있다.

본 발명의 제2 표시장치의 제조방법은 상기 제1 표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 1 화소 내에 있어서의 축적용량선과 상기 영상신호선과의 교차부 이외의 영역에 있어 상기 축적용량선과 상기 영상신호선이 겹치는 영역을 형성하는 공정은 상기 축적용량선으로부터 상기 화소전극 주위의 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역을 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하기 때문에, 제조공정을 증가시키는 일없이 영상신호선의 단선을 수복할 수 있는 표시장치를 얻을 수 있다.

본 발명의 제3 표시장치의 제조방법은 상기 제1 또는 2의 표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 축적용량선 또는 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹 치는 영역을 형성하는 공정은 1 화소 내에 있어서 상기 축적용량선 또는 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역을 적어도 2곳 이상 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하기 때문에 제조공정을 증가시키는 일없이 영상신호선의 단선을 수복할 수 있는 표시장치를 얻을 수 있다.

본 발명의 제4 표시장치의 제조방법은 상기 제1 내지 3중 어느 하나의 표시장치의 제조방법에 있어서, 상기 축적용량선 또는 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역을 형성하는 공정은 상기 축적용량선 또는 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역에 있어서 적어도 4㎛×10㎛이상의 중첩부를 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하기 때문에 영상신호선의 단선을 보다 안정하게 접속할 수 있어 보다 확실하게 수복가능한 표시장치를 얻을 수 있다.

본 발명의 제1 표시장치의 단선 수복방법은 절연성 기판 상에 형성된 주사선과, 상기 주사선과 병행하게 형성된 축적용량선과, 상기 주사선 및 상기 축적용량선과 절연막을 사이에 두고 교차하여 형성된 영상신호선과, 상기 주사선, 상기 축적용량선 및 상기 영상신호선으로 둘러 쌓인 화소전극을 구비한 표시장치의 단선 수복방법에 있어서, 1 화소 내에 있어서의 상기 축적용량선과 상기 영상신호선과의 교차부 이외의 영역에 있어 상기 축적용량선으로부터 상기 화소전극의 주위 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역을 형성하는 공정과, 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역에 있어서 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선을 접속하는 공정과, 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 접속된 영역 중 상기 축적용량선과 가장 근접한 영역 과 상기 축적용량선과의 사이를 절단하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하기 때문에, 제조공정을 증가시키는 일없이 영상신호선과 축적용량선의 단락을 방지하고, 영상신호선의 단선을 수복할 수 있는 표시장치를 얻을 수 있다.

본 발명의 제2 표시장치의 단선 수복방법은 상기 제1 표시장치의 단선 수복방법에 있어서, 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는영역을 형성하는 공정은 1 화소 내에 있어서 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역을 적어도 2곳 이상 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하기 때문에 제조공정을 증가시키는 일없이 영상신호선의 단선을 수복할 수 있는 표시장치를 얻을 수 있다.

본 발명의 제3 표시장치의 단선 수복방법은 상기 제1 또는 2의 표시장치의 단선 수복방법에 있어서, 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 겹치는 영역에 있어 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선을 접속하는 공정은 레이저 조사에 의해 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선을 접속하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하기 때문에 제조공정을 증가시키는 일없이 영상신호선의 단선을 수복할 수 있는 표시장치를 얻을 수 있다.

본 발명의 제4 표시장치의 단선 수복방법은 상기 제1 내지 3 중 어느 하나의 표시장치의 단선 수복방법에 있어서, 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 접속된 영역 중 상기 축적용량선과 가장 근접한 영역과 상기 축적용량선과의 사이를 절단하는 공정은 레이저 조사에 의해 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상 신호선이 접속된 영역 중 상기 축적용량선과 가장 근접한 영역과 상기 축적용량선 과의 사이를 절단하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하기 때문에 제조공정을 증가시키는 일없이 영상신호선과 축적용량선과의 단락을 방지하고 영상신호선의 단선을 수복할 수 있는 표시장치를 얻을 수 있다.

본 발명의 제5 표시장치의 단선 수복방법은 상기 제1 표시장치의 단선 수복방법에 있어서, 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 접속된 영역 중 상기 축적용량선과 가장 근접한 영역과 상기 축적용량선과의 사이를 절단하는 공정을, 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 접속된 영역 중 상기 축적용량선과 가장 근접한 영역과 상기 축적용량선과의 사이를 포함하며 상기 축적용량선과 병행하여 상기 화소전극과 이 화소전극의 주위 한 변과 대향하는 변을 따라서 연재된 축적용량선의 연장부를 절단하는 공정으로 치환한 것을 특징으로 하기 때문에 제조공정을 증가시키는 일없이 영상신호선과 축적용량선과의 단락을 확실하게 방지하고 영상신호선의 단선을 수복할 수 있는 표시장치를 얻을 수 있다.

본 발명의 제6 표시장치의 단선 수복방법은 상기 제5 표시장치의 단선 수복방법에 있어서, 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 접속된 영역 중 상기 축적용량선과 가장 근접한 영역과 상기 축적용량선과의 사이를 포함하며 상기 축적용량선과 병행하여 상기 화소전극과 이 화소전극의 주위 한 변과 대향하는 변을 따라서 연재된 축적용량선의 연장부를 절단하는 공정은 레이저조사에 의해 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선이 접속된 영역 중 상기 축적용량선과 가장 근접한 영역과 상기 축적용량선과의 사이를 포함하고, 또한 상기 축적용량선과 병행하게 상기 화소전극과 이 화소전극의 주위 한 변과 대향하는 변을 따라서 연재된 축적용량선의 연장부를 절단하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하기 때문에 제조공정을 증가시키는 일없이 영상신호선과 축적용량선과의 단락을 확실하게 방지하고 영상신호선의 단선을 수복할 수 있는 표시장치를 얻을 수 있다.

이상과 같은 구성의 본 발명에 따른 표시장치 및 표시장치의 제조방법과 표시장치의 단선 수복방법에 의하면, 액정이나 일렉트로루미네선스소자 또는 필드-시컨셜 등을 이용한 표시장치에 있어서 영상신호선과 절연막을 통하여 교차하는 축적용량선을 갖춘 모든 표시 장치의 제조공정을 증가시키거나 개구율을 저하시키는 일 없이 간단하게 영상신호선의 단선을 수복하며 제조 비율을 향상시킬 수 있다.

Claims

삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
절연성 기판 상에 형성된 주사선과, 상기 주사선과 병행하게 형성된 축적용량선과, 상기 주사선 및 상기 축적용량선과 절연막을 사이에 두고 교차하여 형성된 영상신호선과, 상기 주사선, 상기 축적용량선 및 상기 영상신호선으로 둘러싸인 화소전극을 구비한 표시장치의 단선 수복방법에 있어서,

1 화소 내에 있어서의 상기 축적용량선과 상기 영상신호선과의 교차부 이외의 영역에 있어 상기 화소전극 주위의 한 변을 따라 연재된 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선과의 적어도 하나의 겹치는 영역을 형성하는 공정;

상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선의 적어도 하나의 겹치는 영역에 있어 상기 축적용량선의 연장부와 상기 영상신호선과를 접속하는 공정과;

상기 축적용량선과 가장 근접한 축적용량선의 연장부 영역에서 상기 축적용량선으로부터 상기 축적용량선의 연장부를 절단하는 공정을 포함하며;

상기 절단공정이 상기 축적용량선과 가장 근접한 영역에서 상기 축적용량선과 병행하여 상기 화소전극을 절단하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 단선 수복방법.
삭제
삭제
제9항에 있어서, 상기 절단하는 공정이 레이저 조사에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치의 단선 수복방법.
삭제
삭제