KR100666021B1 - 플랫 패널용 기판의 접합 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (4)
- 상하 한 쌍의 지지판(1, 2)에 대해서 각각 탈부착이 자유롭게 지지된 2장의 기판(A, B)을, 양 지지판(1, 2)의 사이에 구획 형성된 진공 상태의 밀폐 공간(S) 내에서 겹쳐지게 하고, 이들 양 지지판(1, 2)을 상대적으로 XYθ 방향으로 조정 이동시켜 양 기판(A, B)끼리의 위치 정렬을 실시해, 양 기판(A, B)의 안팎에 생기는 기압차로 소정의 갭까지 메우는 플랫 패널용 기판의 접합 장치에 있어서,상기 양 지지판(1, 2)의 대향하는 주연부(1a, 2a)의 사이에, 양 기판(A, B)을 둘러싸도록 링 모양의 이동 블록(4a)을 설치하고, 이 이동 블록(4a)과 한쪽의 지지판(1)을 XYθ 방향으로 일체화시켜 이동 가능하게 함과 동시에, 이들 이동 블록(4a)과 다른쪽의 지지판(2)의 주연부(2a)의 사이에, 상시 접촉하여 XYθ 방향으로 이동 가능한 링 모양의 진공 시일(4c)을 설치하여, 양 지지판(1, 2)의 사이를 밀폐 상태로 유지한 채로 상대적으로 XYθ 방향으로의 이동을 자유롭게 지지하는 이동 시일 수단(4)과,상기 이동 시일 수단(4)의 이동 블록(4a)으로부터 다른쪽의 지지판(2)에 걸쳐 Z방향으로 뻗어있는 거의 평행한 복수 개 부재(5a, 5b)를 가설하고, 이 복수 개 부재(5a, 5b)의 일부를 다른쪽의 지지판(2)에 관통시켜, 이들 복수 개 부재(5a, 5b)의 일단부를 서로 접합하는 동시에, 복수 개 부재(5a, 5b)의 타단부를 이동 블록(4a)과 다른쪽의 지지판(2)에 각각 접합시킴으로써, 양 지지판(1, 2)의 상대적인 XYθ 방향으로의 조정 이동에 따라 같은 방향으로 이동 가능하고 Z방향으로 큰 강 성을 갖는 위치 조정 수단(5)과,상기 밀폐 공간(S) 내를 진공 상태로 유지하면서 양 지지판(1, 2)을 상대적으로 XYθ 방향으로 조정 이동시키기 위해서 밀폐 공간(S)의 밖에 설치한 위치 결정용 이동 수단(8)을 구비하며,상기 위치 결정용 이동 수단(8)에 의해 양 지지판(1, 2)을 상대적으로 XYθ 방향으로 조정 이동함으로써, 같은 방향으로 위치 조정 수단(5)을 이동시켜서, 양 기판(A, B)을 상대적으로 XYθ 방향으로 위치 정렬함과 동시에, 이 위치 조정 수단(5)이 갖는 Z방향으로의 큰 강성에 의해, 이동 블록(4a)과 다른쪽의 지지판(2)의 사이를 소정 간격으로 유지하는 것을 특징으로 하는 플랫 패널용 기판의 접합 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 위치 조정 수단(5)이, 이동 블록(4a)으로부터 다른쪽의 지지판(2)의 주연부(2a)에 형성된 통공(2b)에 대해 XYθ 방향으로 이동 가능하게 관통시켜 접합한 중심 부재(5a)와, 그 주위를 둘러싸도록 다른쪽의 지지판(2)에 접합한 주위 부재(5b)와, 이들 중심 부재(5a) 및 주위 부재(5b)의 하단부를 접합하여 지지하는 연결 부재(5c)로 구성되는 것을 특징으로 하는 플랫 패널용 기판의 접합 장치.
- (삭제)
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 위치 결정용 이동 수단(8)을 위쪽의 지지판(1)에 연이어 설치함과 동시에, 위쪽의 지지판(1)을 XYθ방향으로 조정 이동이 가능하게 지지하고, 아래쪽의 지지판(2)을 높은 강성을 가져서 XYθ방향으로의 이동이 불가능하게 지지한 것을 특징으로 하는 플랫 패널용 기판의 접합 장치.
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