KR100626091B1 - 에어샤워장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 클린룸의 입구와 같은 곳에 설치하는 에어샤워(Air Shower)장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 작업자의 작업복이나 반입물에 유착되는 먼지와 같은 오염물을 제거함은 물론, 단순한 구성으로 생산성을 제고하며, 주변여건에 따라 적합한 외형을 다양하게 제공할 수 있는 에어샤워장치에 관한 것이다.

본 발명의 에어샤워장치는 양쪽으로 구비된 출입수단과, 다수의 분사노즐이 일체된 복수의 덕트 형태인 지주부재 및 분사된 공기를 흡입 여과시켜 재순환시키는 송풍수단을 포함하는 것으로, 송풍수단은 분기부에 의해 복수의 지주부재와 연결되어 천정편에 마련되며, 송풍수단의 흡기를 위한 흡입구 또한 천정편에 구비된다.

본 발명에 의하면 소정의 설정각도가 부여된 분사노즐로부터 상승기류가 유발되므로, 오염물을 효과적으로 제거하는 성능을 제고하며, 송풍수단에 의해 순환되는 공기의 유동경로를 간소화함으로써, 설치면적에 대한 점유율을 최소화함은 물론, 생산성을 제고하는 등과 같은 효과가 발휘된다.

에어샤워, 클린룸, 방진, 오염방지

Description

에어샤워장치{Air Shower Unit}

도 1은 종래기술의 실시형태에 따른 횡단면 상태를 도시한 도면.

도 2a 및 2b는 도 1에서 도시된 "A-A" 및 "B-B"에 따른 종단면 상태를 도시한 도면.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시형태에 따른 에어샤워장치를 입체적으로 도시한 도면.

도 4a 및 4b는 본 발명의 바람직한 실시형태에 따른 에어샤워장치의 횡단면 및 종단면 상태에서의 에어흐름을 개략적으로 도시한 도면.

도 5는 본 발명의 다른 실시형태에 따른 에어샤워장치를 입체적으로 도시한 도면.

도 6a 내지 6c는 본 발명에 따른 에어샤워장치의 다양한 실시형태를 개략적으로 도시한 도면.

<도면의 주요부분에 대한 부호설명>

10 : 샤워부스 20 : 출입수단

30 : 벽체 40 : 지주부재

41 : 분사노즐 42 : 소독수단

50 : 송풍수단 51 : 순환펌프

51a: 흡입관 51b: 토출관

52 : 여과필터 60 : 분기부

70 : 천정 71 : 흡입구

80 : 바닥 90 : 세정수단

본 발명은 클린룸의 입구와 같은 곳에 설치하는 에어샤워(Air Shower)장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 작업자의 작업복이나 반입물에 유착되는 먼지와 같은 오염물을 제거함은 물론, 단순한 구성으로 생산성을 제고하며, 주변여건에 따라 적합한 외형의 선택이 자유로운 에어샤워장치에 관한 것이다.

일반적으로 에어샤워장치는 반도체와 같은 초정밀 부품의 제조공정상에서 제품의 품질 및 성능 제고를 위해 조성된 클린룸의 출입시 출입자나 반입물의 상태를 통제하기 위한 것으로, 피복이나 물건에 묻은 먼지와 같은 오염인자를 바람이나 세정액을 이용하여 제거할 수 있도록 마련된 일종의 소제장치라 할 수 있다.

이와 같은 형태의 종래기술로서, 등록특허공보 제500428호(2005. 06. 30. 등록, 이하 '종래기술'라 함)와 같은 기술들을 들 수 있다. 상기한 종래기술에서 개시된 내용을 살펴보면 다음과 같다.

상기한 종래기술은 샤워실(1)의 내부에 설치되어 출입자를 향해 에어를 분출하는 복수의 제트노즐(2)과, 이 제트노즐(2)에 공급통로(3a)로 연결되어 에어를 공급하는 송풍기(3), 그리고 이 송풍기(3)에 의해 공급되는 에어 속의 이물질을 걸려주는 필터수단(4)을 포함하는 것으로, 복수의 제트노즐(2)이 샤워실(1)의 내측 모서리부에 배치되어 중앙을 향해 대각선 방향으로 에어를 분출하도록 구성된 점, 송풍기(3)와 필터수단(4)이 샤워실(1)의 상부에 설치된 점 또는, 샤워실(1)의 내측 모서리부 및 측판 내측 각각에 에어 순환을 위한 공급통로(3a) 및 흡입통로(3b)가 별도로 구성된 점 등을 특징을 한다.

상기한 종래기술의 경우, 샤워실(1)로 들어선 출입자를 중심으로 사방에서 에어가 분출되는 제트노즐(2)에 의해 출입자가 의도적으로 몸을 좌우로 돌리지 않고도 전체적으로 고른 샤워 성능을 발휘하며, 송풍기(3) 및 필터수단(4)을 샤워실(1)의 상부에 설치함으로써, 설치시 면적점유율을 낮추는 등의 효과가 발휘된다. 그러나 상기 종래기술은 도 2a 및 2b에서 도시된 바와 같이, 송풍기(3)를 중심으로 샤워실(1)의 내측 모서리부와 측판 내측 각각에 에어 순환을 위한 공급통로(3a) 및 흡입통로(3b)가 별도로 구비된 형태로, 샤워실(1)을 형성하는 전체적인 구조가 이 중으로 이루어져 복잡함으로 생산성이 떨어짐은 물론, 설치 장소의 여건에 따른 외형적인 변경이 어려운 문제점이 있다.

특히, 종래기술은 샤워실(1)의 내부 측벽 하단에 배기구(5)를 형성하고, 송풍기(3)를 샤워실(1)의 상부에 구비하여, 작동시 송풍기(3)는 흡입통로(3b)를 통해 배기구(5)로 에어를 흡입할 수밖에 없는 구성으로, 에어의 원활한 순환을 위해서는 송풍기(3)의 용량이 큰 것을 사용해야만 하는 설비 제원에 대한 한계성을 극복할 수 없는 문제점이 있다.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 클린룸을 출입하는 사람의 피복이나 반입물에 유착된 먼지와 같은 오염물을 분사노즐에 의한 회오리 형태의 기류로부터 효과적으로 제거함은 물론, 송풍수단에 의해 순환되는 공기의 유동경로를 간소화시킴으로써, 생산성 등을 제고할 수 있는 에어샤워장치를 제공하는데 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 설치하고자 하는 장소의 주변여건이나 사용자의 의도에 따라 다양한 외형의 변경이 가능하므로, 사용자의 취향에 적합한 디자인으로 설계 및 시공할 수 있음은 물론, 사용상의 편의를 도모할 수 있는 에어샤워장치를 제공하기 위한 것이다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 에어샤워장치는 양쪽으로 구비된 출입수단과 벽체 및 그 사이 각각에 마련된 지주부재 및 샤워부스 내에 분사된 공기를 흡입하고 여과시켜 재순환시키는 송풍수단을 포함하는 것으로, 송풍수단은 분기부에 의해 복수의 상기 지주부재와 연결된 형태로 흡기를 위한 흡입구와 천정에 설치되고, 지주부재는 다수의 분사노즐이 일체된 덕트 형태로 이루어지며, 상기 샤워부스의 벽체는 단일 구조로 이루어진 것에 핵심적인 특징이 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태에 따른 구성을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3 내지 5에서 도시한 바와 같이 본 발명의 에어샤워장치는 클린룸의 입구에 설치되어 출입자의 피복이나 반입물로부터 쾌적한 클린룸의 작업환경을 유지토록 하는 것으로, 벽체(30)와 출입수단(20), 천정(70) 및 바닥(80)에 의해 외부로부터 차단된 소정의 샤워부스(10) 형태로 이루어진다.

본 발명의 출입수단(20)은 적어도 양쪽으로 구비된 것으로, 한 쪽으로는 외부와 연통되게 마련되는 한편, 다른 쪽으로는 클린룸의 내부와 연통되게 마련된다. 이때, 도 6a 내지 6c에서처럼 샤워부스(10)의 형태에 따라 출입수단(20)이 둘 이상의 복수 형태로도 가능하다. 그리고 덕트 형태의 지주부재(40)에는 다수의 분사노 즐(41)이 소정 간격으로 일정하게 배치된 것으로, 이 지주부재(40)는 출입수단(20)과 벽체(30) 사이에 복수로 구비된다. 이와 같은 지주부재(40)는 출입수단(20)과 벽체(30)의 체결상태를 견고하게 유지시키는 역할을 하게 된다.

또한, 본 발명은 외부로부터 차단된 샤워부스(10) 내로 분사된 공기를 흡입 여과시켜 재순환시키는 송풍수단(50)을 포함한다. 특히, 본 발명의 송풍수단(50)은 도 4a 및 4b에서 도시한 바와 같이 분기부(60)로 인해 복수의 지주부재(40)와 연결된 형태로 천정(70)에 설치되며, 송풍수단(50)의 흡기를 위한 흡입구(71) 또한 천정(70)에 마련된다. 이로부터 본 발명의 바람직한 실시형태에 따른 에어샤워장치는 설치시 면적점유율이 저하됨은 물론, 송풍수단(50)에 의한 공기의 순환상태를 호전시킴으로써, 공기에 의한 샤워성능을 제고하며, 샤워부스(10)를 형성하는 벽체(30)의 구성이 단일하게 이루어짐으로 도 6a 내지 6c에서처럼 샤워부스(10)의 외형을 설치장소의 주변여건 및 사용상의 편의 등에 따라 다양한 형태로 형상 변경이 자유로운 특징이 있다.

본 발명의 송풍수단(50)은 공기의 흡입 및 토출을 위한 순환펌프(51)와, 이 순환펌프(51)의 흡입관(51a) 및 토출관(51b) 중 적어도 어느 한 쪽에 마련된 여과필터(52)를 포함하여 이루어진다. 즉, 본 발명의 여과필터(52)는 순환펌프(51)의 흡입관(51a) 쪽에 구비된 천정(70)의 흡입구(71)나 순환펌프(51)의 토출관(51b) 쪽에 구비된 분기부(60) 중 적어도 어느 한 쪽에 배치될 수 있다. 바람직하게는 양쪽 모두에 구비하되, 순환펌프(51)의 흡입관(51a) 쪽인 천정(70)의 흡입구(71)에 마련된 것보다 순환펌프(51)의 토출관(51b) 쪽인 분기부(60)에 마련된 여과필터(52)의 성능이 더 뛰어난 것을 적용하여 순환되는 공기 속에 포함된 먼지와 같은 이물질이 단계적으로 걸러지도록 하는 것이 좋다.

본 발명에 따른 지주부재(40)의 분사노즐(41)은 각 지주부재(40) 별로 수평 및 수직방향으로 소정의 분사각도가 설정되어, 작동시 샤워부스(10) 내에서는 회오리와 같은 상승기류가 유발될 수 있도록 하는 것이 좋다. 도 4a와 같은 횡단면도 상에서는 출입자의 위치를 중심으로 각 지주부재(40)의 분사노즐(41)에서 분사되는 공기가 서로 어긋나게 사선 방향을 지향하도록 하고, 도 4b와 같은 종단면도 상에서는 소정의 각도로 상 방향을 지향하도록 하는 것이 좋다.

본 발명의 벽체(30)는 도 5에서처럼 대전방지 처리된 비닐 형태로도 좋으나, 바람직하게는 도 3에서처럼 아크릴판 형태가 좋다. 이때, 출입수단(20)도 벽체(30)의 실시형태에 따라 비닐셔터방식이나 회동방식에 의해 여닫는 스윙도어와 같은 형태로 마련하여 출입자가 손을 사용하지 않고도 개폐시킬 수 있는 형태 등 다양하게 응용될 수 있다. 그리고 본 발명에 따른 샤워부스(10))에는 출입자의 신발 바닥을 세정하기 위한 세정수단(90)이 탈부착 가능하게 마련된다. 여기서 세정수단(90)은 수용액 형태인 세정액을 담을 수 있는 일종의 그릇 형태로, 샤워부스(10)로 들어선 출입자가 위치하기 좋은 바닥(80)의 정중앙에 소정의 깊이로 함몰된 홈을 구비하여 세정수단(90)의 거치 및 탈거가 용이한 형태 등 다양하게 실시 될 수 있다.

본 발명에 따른 에어샤워장치는 지주부재(40) 중 어느 한 곳에 감지센서 및 소독액 노즐로 이루어진 소독수단(42)을 구비하여, 출입자가 에어 샤워 중에 해당 위치로 손을 내밀면 감지센서에 의해 알코올과 같은 소독액이 분무 되도록 하는 형태로도 가능하다. 특히, 출입자가 직접 스위치를 조작하여 구동상태를 제어하는 형태 또는, 샤워부스(10) 내에 출입자의 출입여부를 확인하는 센서를 구비하여 이로부터 일련의 작동이 제어되게 하는 형태 등 다양하게 실시될 수 있다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 바람직한 실시형태에 따른 작동관계를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 바람직한 실시형태에 따른 에어샤워장치는 도면에서 도시한 바와 같이 다양한 형태의 샤워부스(10) 내에서 순환하는 공기의 흐름에 의해 구성간의 작동이 이루어진다. 즉, 한 쪽 출입수단(20)을 통해 출입자가 샤워부스(10)로 들어선 뒤, 외부로부터 샤워부스(10)의 내부 공간이 차단된 상태에서 상술한 스위치나 센서의 가동으로 본 발명에 따른 에어샤워장치의 유기적인 작동관계가 개시된다.

전술한 바와 같이, 출입자가 본 발명의 샤워부스(10) 내에 정위치한 상태에서 스위치나 센서 등으로부터 전원이 인가되면, 송풍수단(50)이 가동되면서 도 4b 에서 점선으로 도시한 화살표를 따라 내부 공기가 순환하게 된다. 즉, 순환펌프(51)의 흡입력에 의해 샤워부스(10)의 내부 공기가 천정(70) 흡입구(71)로 포집되어 흡입관(51a)을 따라 인입된다. 이때, 천정(70) 흡입구(71)에 마련된 여과필터(52)를 경유하면서 공기 속에 함입된 먼지와 같은 부산물을 일차적으로 여과시키게 된다.

이렇게 여과된 공기는 다시 순환펌프(51)의 토출관(51b)에 연계된 분기부(60)를 경유하게 된다. 여기서 본 발명의 바람직한 실시형태는 분기부(60)에 마련된 또 다른 여과필터(52)를 순환하는 공기가 경유하게 함으로써, 흡입구(71)의 여과필터(52)에서 걸러지지 않은 미세한 먼지나 입자까지 여과시켜 청정한 공기 상태로 재활시킨다.

계속해서, 분기부(60)에서 재활생태로 전환된 공기는 순환펌프(51)의 토출력에 의해 복수의 지주부재(40)로 각각 분할 공급된다. 덕트 형태의 각 지주부재(40)로 인입된 공기는 다시 일정 간격으로 지주부재(40) 일체된 분사노즐(41)을 통해 샤워부스(10)의 내부 공간으로 분사된다. 이때, 분사되는 공기는 수평 및 수직방향으로 소정의 각도가 설정된 분사노즐(41)에 의해 회오리와 같은 상승기류를 유발하게 된다. 이와 같은 회오리 기류는 출입자가 위치하기 좋은 중앙을 중심으로 유발되게 이루어져 출입자의 피복이나 반입물에 묻은 먼지와 같은 클린룸의 오염 매개체를 편리하고 효과적으로 제거하게 된다.

동시에 출입자는 샤워부스(10)의 바닥(80) 중앙에 탈부착 가능하게 설치된 세정수단(90) 내에 발을 둠으로써, 세정수단(90)에 담긴 세정액으로부터 출입자의 신발 바닥을 소제하게 된다. 이와 같이 출입자는 피복 및 반입물에 묻은 각종 오염 매개체에 대한 일련의 과정을 완료한 뒤, 샤워부스(10)의 또 다른 출입수단(20)을 통해 반도체와 같은 초정밀 부품의 생산을 위한 클린룸으로 들어감으로써, 본 발명의 바람직한 실시형태에 따른 에어샤워장치의 구성 간의 유기적인 작동을 종결하게 된다.

상기한 발명의 상세한 설명은 본 발명의 특정 실시형태에 한해서 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상이 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 개념을 이탈하지 않는 범위 내에서 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 여러 가지 형태로 변형 또는 변경 실시하는 것 또한 본 발명의 기재된 청구범위에 포함되는 것은 당연하다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 에어샤워장치는 클린룸의 출입을 위한 사람의 피복이나 반입물에 부착된 먼지와 같은 오염물을 소정의 설정각도가 부여된 분사노즐로부터 유발되는 소정의 상승기류를 이용하는 것으로, 오염물을 효과적으로 제거하는 성능을 제고하며, 송풍수단에 의해 순환되는 공기의 유동경로를 간소화함으로써, 설치면적 점유율을 최소화함은 물론, 생산성을 제고하는 등과 같은 효과가 뛰어나다.

또한, 본 발명은 설치하고자 하는 장소의 주변여건이나 사용자의 의도에 따라 다양한 외형으로 변경 가능하므로, 사용 목적 및 취향에 적합한 디자인으로 설계 및 시공할 수 있는 등 시공상의 다양성 및 사용상의 편의성을 도모하는 효과가 발휘된다.

Claims (6)

1. 삭제
2. 클린룸의 오염방지를 위해 외부와 차단된 샤워부스(10) 형태로서,

   적어도 양쪽으로 구비된 출입수단(20)과 벽체(30) 및 그 사이 각각에 마련된 지주부재(40), 그리고 외부로부터 차단된 샤워부스(10) 내에 분사된 공기를 흡입하고 여과시켜 재순환시키는 송풍수단(50)을 포함하는 것으로,

   상기 송풍수단(50)은 분기부(60)에 의해 복수의 상기 지주부재(40)와 연결된 형태로 흡기를 위한 흡입구(71)와 천정(70)에 설치되고, 상기 지주부재(40)는 다수의 분사노즐(41)이 일체된 덕트 형태로 이루어지며, 상기 샤워부스(10)의 벽체(30)는 단일 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 에어샤워장치.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 송풍수단(50)은 공기의 흡입 및 토출을 위한 순환펌프(51)와, 상기 순환펌프(51)의 흡입관(51a) 및 토출관(51b) 중 적어도 어느 한 쪽에 마련된 여과필터(52)로 이루어진 것을 특징으로 하는 에어샤워장치.
4. 제 2항에 있어서,

   상기 지주부재(40)의 분사노즐(41)은 각 지주부재(40)별로 수평 및 수직방향의 분사각도가 설정되어, 상기 샤워부스(10) 내에서 회오리와 같은 상승기류가 유발되게 이루어진 것을 특징으로 하는 에어샤워장치.
5. 제 2항에 있어서,

   상기 벽체(30)는 대전방지 처리된 비닐 또는 아크릴판 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 에어샤워장치.
6. 제 2항 내지 5항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 샤워부스(10)에는 작업자의 신발 바닥을 세정하기 위한 세정수단(90)이 탈부착 되게 구비된 것을 특징으로 하는 에어샤워장치.

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