KR100611756B1 - 유기 전계 발광 소자 및 그의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 유기 전계 발광 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 제 1 화소 영역, 제 2 화소 영역 및 제 3 화소 영역을 구비하고 있는 기판, 상기 기판 위에 상기 제 1, 제 2 및 제 3 화소 영역마다 각각 형성되어 있는 제 1 전극층, 기판 전면에 걸쳐 상기 제 1 전극층 상부에 형성되어 있는 정공 주입층, 상기 제 1 전극층 위에 형성되어 있으며 상기 제 1, 제 2 및 제 3 화소 영역 상에 형성되어 있는 제 1 정공 수송층, 상기 제 1 화소 영역, 제 2 화소 영역 및 제 3 화소 영역 중 인접하는 2개의 화소 영역의 상기 제 1 정공 수송층 상부에 형성되어 있는 제 2 정공 수송층, 상기 인접하는 2개의 화소 영역 중 어느 하나의 화소 영역의 상기 제 2 정공 수송층 상부에 형성되어 있는 제 3 정공 수송층, 상기 제 1, 제 2 및 제 3 정공 수송층 상부에 형성되어 있는 제 1 유기 발광층, 제 2 유기 발광층 및 제 3 유기 발광층, 및 상기 제 1 유기 발광층, 제 2 유기 발광층 및 제 3 유기 발광층 상부에 형성되어 있는 제 2 전극층을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자 및 이의 제조 방법을 제공함으로써, 소자 특성이 균일하고 제조시 택 타임을 줄일 수 있다.
풀칼라 유기 전계 발광 소자, 정공 수송층, 고정세 마스크
Description
도 1은 통상의 유기 전계 발광 소자를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 유기 전계 발광 소자를 나타내는 단면도이다.
[산업상 이용분야]
본 발명은 유기 전계 발광 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 소자 특성을 균이하게 하고 제조 방법이 용이한 유기 전계 발광 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
[종래 기술]
일반적으로 박막트랜지스터를 구비하고 있는 유기 전계 발광 소자는 능동 발광형 표시 소자로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 표시 소자로서 주목받고 있다.
한편, 유기 전계 발광 소자는 발광층(emitting layer) 형성용 물질에 따라 무기 EL 소자와 유기 EL 소자로 구분된다. 여기에서 유기 EL 소자는 무기 EL 소자에 비하여 휘도, 구동 전압 및 응답 속도 특성이 우수하고 다색화가 가능하다는 장점을 가지고 있다.
또한, 유기 전계 발광 소자는 다수개의 스캔 라인과 이와는 수직인 방향으로 형성되는 다수개의 데이터 라인에 의하여 정의되는 화소 영역이 각각 적색, 녹색, 청색을 구현함으로써 풀칼라 평판 표시 소자를 구성할 수 있다.
도 1은 통상의 풀칼라 유기 전계 발광 소자를 나타내는 단면도이다.
도 1을 참조하면, 일반적인 유기 EL 소자는 적색(R), 녹색(G), 청색(B)을 구현하도록 각각 적색 화소 영역, 녹색 화소 영역, 및 청색 화소 영역을 구비하고 있는 기판(10) 상부에 각각 소정 패턴의 제 1 전극층(12)이 형성되어 있다. 전면 발광 구조의 경우에는 반사 전극인 금속 전극으로 형성하거나 또한, 반사막을 포함하는 투명 전극으로 형성한다.
그리고 나서, 각 화소 영역을 절연하여 화소를 정의하기 위하여 절연 물질로 적층한 후 패턴하여 개구부를 포함하는 화소 정의막(14)을 형성한다.
그리고, 제 1 전극층 상부에는 정공 주입층(14), 정공 수송층(16)이 공통층으로 기판 전면에 걸쳐 형성된다.
이어서, 상기 정공 수송층(16) 상부에 각각 화소 영역에 해당하는 발광 물질을 적층하여 R, G, B 발광층을 형성한다.
필요에 따라, 정공 억제층(18), 전자 수송층(20), 및 전자 주입층(22)이 순차적으로 기판 전면에 걸쳐 형성되고, 상기 전자 주입층(22)의 상면에는 소정 패턴 의 제 2 전극층(24)이 형성되어 있다. 여기에서, 정공 주입층(14), 정공 수송층(16), 발광층, 정공 억제층(18), 전자 수송층(20), 전자 주입층(22)은 유기 화합물로 이루어진 유기 박막들이다.
그러나, 풀칼라 유기 전계 발광 소자의 경우 각 화소마다, 즉, 각 색별로 그 발광 효율의 차이가 발생하게 된다. 즉, 적색 발광 물질의 경우 녹색 및 청색 발광 물질보다 발광 효율이 우수하며 또한, 녹색 발광 물질은 청색 발광 물질보다 발광 효율이 우수하다.
따라서, 종래 기술에서는 유기 박막들의 두께를 제어함으로써 최대의 효율과 휘도를 얻으려는 시도가 많이 이루어지고 있다. 예컨대, 특개평 제4-137485호에는 양극, 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층, 음극이 순차적으로 형성된 구성에 있어서 상기 전자 수송층의 막 두께를 30 내지 60 nm로 설정함으로써 발광의 효율을 향상시키려는 기술이 개시되어 있다.
또한, 특개평 제4-328295호에는 전자 수송층의 막 두께를 조절함으로써 발광층에서 발생한 빛과 음극으로부터 반사되어 오는 빛이 간섭하는 경우에 빛의 휘도가 실질적으로 증가되도록 한 기술이 개시되어 있다. 또한, 특개평 제7-240277호에는 광학적 막 두께를 제어함으로써, 휘도를 향상시키고, 특히 청색 발광의 색순도를 높인 유기 전계 발광 소자에 대해 개시되어 있다.
이러한 유기 전계 발광 소자는 휘도의 향상을 위해서는 칼라별로 광학적 두께가 다르게 형성되도록 설정되어 있다. 그러나, 양산 공정에서 칼라별로 공정을 전면적으로 달리하여 광학적 두께가 칼라별로 다르도록 형성하는 것은 어렵다는 문 제점을 가지고 있다.
본 발명은 위에서 설명한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 RGB 화소마다 소자 특성이 균일한 유기 전계 발광 소자 및 이를 제조하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명은 상기한 목적을 달성하기 위하여,
제 1 화소 영역, 제 2 화소 영역 및 제 3 화소 영역을 구비하고 있는 기판;
상기 기판 위에 상기 제 1, 제 2 및 제 3 화소 영역 마다 각각 형성되어 있는 제 1 전극층;
기판 전면에 걸쳐 상기 제 1 전극층 상부에 형성되어 있는 정공 주입층;
상기 제 1 전극층 위에 형성되어 있으며 상기 제 1, 제 2 및 제 3 화소 영역 상에 형성되어 있는 제 1 정공 수송층;
상기 제 1 화소 영역, 제 2 화소 영역 및 제 3 화소 영역 중 인접하는 2개의 화소 영역의 상기 제 1 정공 수송층 상부에 형성되어 있는 제 2 정공 수송층;
상기 인접하는 2개의 화소 영역 중 어느 하나의 화소 영역의 상기 제 2 정공 수송층 상부에 형성되어 있는 제 3 정공 수송층;
상기 제 1, 제 2 및 제 3 정공 수송층 상부에 형성되어 있는 제 1 유기 발광층, 제 2 유기 발광층 및 제 3 유기 발광층; 및
상기 제 1 유기 발광층, 제 2 유기 발광층 및 제 3 유기 발광층 상부에 형성 되어 있는 제 2 전극층을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자를 제공한다.
또한, 본 발명은
기판을 제공하는 단계;
상기 기판 상에 제 1 전극층을 패턴하여 형성하는 단계;
상기 제 1 전극 상에 화소 정의막을 기판 전면에 걸쳐 형성하고, 발광 영역이 개구되도록 상기 화소 정의막을 패턴하여 제 1 화소 영역, 제 2 화소 영역 및 제 3 화소 영역의 발광 영역을 정의하는 단계;
상기 기판 전면에 걸쳐 정공 주입층을 형성하는 단계;
상기 정공 주입층 상부에 제 1 정공 수송층을 형성하는 단계;
상기 제 2 화소 영역 및 제 3 화소 영역의 상부에만 제 2 정공 수송층을 형성하는 단계;
상기 제 3 화소 영역의 상부에만 제 3 정공 수송층을 형성하는 단계;
상기 각각의 화소 영역에 제 1, 제 2 및 제 3 발광물질을 패턴하여 제 1 발광층, 제 2 발광층 및 제 3 발광층을 형성하는 단계; 및
상기 발광층 상부에 제 2 전극을 형성하는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법을 제공한다.
이하, 본 발명을 첨부한 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 유기 전계 발광 소자의 구조를 개략적으 로 나타내는 단면도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 유기 전계 발광 소자는 먼저 제 1 화소 영역, 제 2 화소 영역 및 제 3 화소 영역을 구비하고 있는 기판(10) 위에 상기 제 1, 제 2 및 제 3 화소 영역마다 각각 형성되어 있는 제 1 전극층(12)이 형성되어 있다.
상기 제 1 화소 영역, 제 2 화소 영역 및 제 3 화소 영역은 각각 서로 다른 색을 구현하며, 또한, 각각의 화소 영역은 적색, 녹색 및 청색 중 어느 하나의 색을 구현한다. 즉, 예를 들어, 제 1 화소 영역이 적색이고, 제 2 화소 영역은 녹색이면 제 3 화소 영역은 청색이 되며, 제 1 화소 영역이 녹색이고, 제 2 화소 영역이 청색이면, 제 3 화소 영역은 적색을 구현한다. 이 이외에도 이와 같은 조합으로 각 화소 영역이 정의될 수 있다.
한편, 상기 기판으로는 유리 기판, 플라스틱 기판 등과 같이 절연 기판을 사용한다.
그리고, 상기 제 1 전극층(12)은 반사 전극으로 형성될 수 있다. 상기 반사 전극으로는 Al, Al의 합금, Ag, Ca 및 Mg/Ag로 이루어진 군에서 선택되는 1종을 사용하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 제 1 전극층(12)은 반사막을 포함하는 투명전극으로 형성될 수 있다. 이때, 반사막으로는 Al, Al의 합금 또는 Ag를 사용할 수 있고, 투명 전극으로는 ITO, IZO 등을 사용할 수 있다.
그리고 나서, 상기 제 1 전극층(12) 상부에 화소 정의막(14)을 형성하고, 발광 영역에 개구부가 형성되도록 상기 화소 정의막(14)을 패턴한다. 상기 화소 정 의막(14)으로는 BCB, 아크릴 수지 등 유기 절연막을 사용하는 것이 바람직하다.
계속해서, 상기 제 1 전극층(12) 상부에 정공 주입층(16)이 형성된다. 상기 정공 주입층(16)은 기판 전면에 걸쳐 각 화소영역에 공통층으로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 정공 주입층(16)으로는 프탈로시아닌 구리(copper phthalocynine; CuPc) 또는 4,4',4"-트리스(N-(3-메틸페닐)-N-페닐아미노)트리페닐아민(4,4',4"-tris(N-(3-methylphenyl)-N-phenylamino)triphenylamine)(MTDATA) 등의 통상적으로 사용하는 물질을 사용할 수 있다.
상기 정공 주입층(16) 상부에 기판 전면에 걸쳐 제 1 정공 수송층(18-1)을 형성한다. 상기 제 1 정공 수송층(18-1)은 공통층으로 형성하는 것이 바람직하다.
이어서, 상기 제 1 화소 영역(100)을 제외하고, 제 2 화소 영역(200) 및 제 3 화소 영역(300)에 상기 제 1 정공 수송층(18-1) 상부에 제 2 정공 수송층(18-2)을 고정세 마스크를 사용하여 형성한다.
계속해서, 상기 제 1 및 제 2 화소 영역(100, 200)을 제외하고, 제 3 화소 영역(300)에만 고정세 마스크를 사용하여 제 3 정공 수송층(18-3)을 형성한다. 이렇게 함으로써, 제 1, 제 2 및 제 3 화소 영역(100, 200, 300) 각각에 서로 다른 정공 수송층(18)이 형성되게 된다.
이때, 상기 정공 수송층에 사용될 수 있는 물질로는 N,N'-디(1-나프틸)-N,N'-디페닐벤지딘(NPD),트리페닐디아민(triphenyldiamine; TPD) 또는 PEDOT 등이 있다.
한편, 상기 제 1 정공 수송층, 제 2 정공 수송층 및 제 3 정공 수송층은 각 각 다른 물질로 형성될 수도 있고, 상기 제 1 정공 수송층, 제 2 정공 수송층 및 제 3 정공 수송층 중 2개의 층은 동일한 물질로 형성될 수도 있다. 또한, 상기 제 1 정공 수송층, 제 2 정공 수송층 및 제 3 정공 수송층은 동일한 물질로 형성될 수 도 있다.
상기 제 1 정공 수송층의 두께는 10nm~60nm 가 적당하며 위의 두께 범위는 풀칼라 소자를 형성하는 정공 주입층과 정공 수송층의 두께에 영향을 받는다. 상기 제 2 정공 수송층의 두께는 40nm~70nm 가 바람직하며 위의 두께는 제1발광 칼라와 제이 발광 칼라의 두께에 영향을 받으며 칼라별 최적의 두께가 다르기 때문에 제일 발광층과 제이 발광층의 두께차이에 의하여 결정된다. 상기 제 3 정공 수송층의 두께는 40nm~70nm 가 바람직하며 위의 두께는 제2 발광층과 제3 발광층의 두께차에 의존하기 때문이다.
계속해서, 상기 정공 수송층 상부에 각각 제 1 발광물질, 제 2 발광물질, 제 3 발광물질을 패턴하여 제 1, 제 2(20-2) 및 제 3 발광층(20-1, 20-2, 20-3)을 형성한다. 본 발명의 경우, 풀칼라 유기 전계 발광 소자를 구현하기 위해서, 제 1, 제 2, 제 3 화소 영역 각각이 적색, 녹색, 청색을 구현하여 한다. 그런데, 소자 특성 특히, 발광 효율을 고려하면, 적색이 가장 높고, 그 다음이 녹색, 청색의 순이므로 정공 수송층의 전체 두께가 얇은 영역이 청색을 구현하는 영역이 되어야 하고, 그 다음이 녹색을 구현하는 영역, 그리고, 적색을 구현하는 영역이 되어야 한다.
따라서, 제 1 화소 영역(100)에 청색 발광층(20-1)이 형성되고, 제 2 화소 영역(200)에 녹색 발광층(20-2)이 형성되고, 마지막으로 제 3 화소 영역(300)에 적색 발광층(20-3)이 형성되는 것이 바람직하다.
상기 적색 발광층은 호스트 물질로서 CBP(carbazole biphenyl) 또는 mCP를 포함하며, 도판트 물질로서 PIQIr(acac) (bis(1-phenylisoquinoline)acetylacetonate iridium), PQIr(acac) (bis(1-phenylquinoline)acetylacetonate iridium ), PQIr (tris(1-phenylquinoline) iridium) 및 PtOEP(octaethylporphyrin platinum)로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 인광물질을 사용하여 형성된다. 또한, 상기 적색 발광층은 PBD:Eu(DBM)3(Phen) 또는 페릴렌(Perylene)과 같은 형광물질을 사용하여 형성할 수도 있다.
상기 녹색 발광층은 호스트 물질로서 CBP 또는 mCP를 포함하며, 도판트 물질로서 Ir(ppy)3 (fac tris(2-phenylpyridine) iridium)를 포함하는 인광물질을 사용하여 형성된다. 또한, 상기 녹색 발광층은 Alq3(tris(8-hydroxyquinolino)aluminum)와 같은 형광물질을 사용하여 형성할 수도 있다.
상기 청색 발광층은 DPVBi, 스피로-DPVBi, 스피로-6P, 디스틸벤제(DSB), 디스티릴아릴렌(DSA), PFO계 고분자 및 PPV계 고분자로 이루어진 군에서 선택되는 하나의 물질을 포함하는 형광물질을 사용하여 형성된다. 상기 청색 발광층을 인광물질로 형성하는 경우 광 특성이 불안정하여 상기한 형광재료들을 사용하여 형성한다.
이상과 같은 발광층은 LITI(Laser Induced Thermal Imaging)법, 잉크젯 법, 진공 증착법 등 통상의 방법으로 형성할 수 있다.
상기 제 2 전극층은 투과성 금속 전극으로 형성되며, 투과성 금속 전극으로는 Ca 또는 Mg/Ag, Al 중 어느 하나로 형성할 수 있다.
한편, 본 발명의 유기 전계 발광 소자는 상기 발광층 상부에 공통층으로 정공 억제층(18), 전자 수송층(20) 및 전자 주입층(22) 중 1 이상의 층을 더욱 포함할 수 있다.
상기 정공 억제층(18), 전자 수송층(20) 및 전자 주입층(22)으로는 통상적으로 사용되는 물질을 사용하며, 정공 억제층(18)으로는 비페녹시-비(8-퀴놀리토라토)알루미늄(Balq), 전자 수송층(20)으로는 폴리사이클릭 하이드로 카본 계열 유도체, 헤테로사이클릭화합물, 트리스(8-퀴놀리노라토)알루미늄(Alq3), 전자 주입층(22)으로는 LiF 등의 물질을 사용할 수 있다.
또한, 본 실시예에서는 상기 제 2 전극층(도시하지 않음) 상부에 보호막층(도시하지 않음)을 더욱 포함할 수 있다. 상기 보호막층으로는 굴절율이 1.5 이상의 투과율이 70% 이상의 물질들이 사용될수 있으며 유기물질로는 Alq3, NPB, CBP등이 사용될 수 있으며 무기물질로는 굴절율이 1.5 이상의 SiO2, SnO2, SiO, TiO2,옥사이드계열 또는 Si3N4의 나이트라이드계열 또는 ZnS의 물질들이 사용될 수 있다.
한편, 본 발명의 유기 전계 발광 소자는 도시하지는 않았지만 박막트랜지스터를 더욱 포함할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에서는 본 발명의 유기 전계 발광 소자는 각 화소마다 RGB 별로 정공 수송층의 두께를 다르게 하여 소자 특성, 특히, 발광 효율을 균일하게 하여 소자 특성을 향상시킬 수 있고, 제 2 정공 수송층을 형성하는 경우 제 2 화소 영역과 제 3 화소 영역에 공통으로 고정세 마스크를 사용하여 패터닝하여 줌으로서 택 타임(tac time)을 줄일 수 있다.
Claims (26)
- 제 1 화소 영역, 제 2 화소 영역 및 제 3 화소 영역을 구비하고 있는 기판;상기 기판 위에 상기 제 1, 제 2 및 제 3 화소 영역마다 각각 형성되어 있는 제 1 전극층;기판 전면에 걸쳐 상기 제 1 전극층 상부에 형성되어 있는 정공 주입층;상기 제 1 전극층 위에 형성되어 있으며 상기 제 1, 제 2 및 제 3 화소 영역 상에 형성되어 있는 제 1 정공 수송층;상기 제 1 화소 영역, 제 2 화소 영역 및 제 3 화소 영역 중 인접하는 2개의 화소 영역의 상기 제 1 정공 수송층 상부에 형성되어 있는 제 2 정공 수송층;상기 인접하는 2개의 화소 영역 중 어느 하나의 화소 영역의 상기 제 2 정공 수송층 상부에 형성되어 있는 제 3 정공 수송층;상기 제 1, 제 2 및 제 3 정공 수송층 상부에 형성되어 있는 제 1 유기 발광층, 제 2 유기 발광층 및 제 3 유기 발광층; 및상기 제 1 유기 발광층, 제 2 유기 발광층 및 제 3 유기 발광층 상부에 형성되어 있는 제 2 전극층을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1 화소 영역, 제 2 화소 영역 및 제 3 화소 영역은 각각 서로 다른 색을 구현하며, 각각 적색, 녹색 및 청색 중 어느 하나의 색을 구현하는 것인 유기 전계 발광 소자.
- 제 2항에 있어서,상기 제 1 화소 영역은 청색, 제 2 화소 영역은 녹색, 제 3 화소 영역은 적색을 구현하는 것인 유기 전계 발광 소자.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1 정공 수송층, 제 2 정공 수송층 및 제 3 정공 수송층은 각각 다른 물질로 형성되는 것인 유기 전계 발광 소자.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1 정공 수송층, 제 2 정공 수송층 및 제 3 정공 수송층 중 2개의 층은 동일한 물질로 형성되는 것인 유기 전계 발광 소자.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1 정공 수송층, 제 2 정공 수송층 및 제 3 정공 수송층은 동일한 물질로 형성되는 것인 유기 전계 발광 소자.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1 정공 수송층은 공통층으로 형성되어 있는 유기 전계 발광 소자.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1 정공 수송층의 두께는 10 nm 내지 50 nm인 유기 전계 발광 소자.
- 제 1항에 있어서,상기 제 2 정공 수송층의 두께는 40nm 내지 60nm 또는 80nm 내지 100nm인 유기 전계 발광 소자.
- 제 1항에 있어서,상기 제 3 정공 수송층의 두께는 30 nm 내지 50 nm인 유기 전계 발광 소자.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1 전극층은 반사 전극으로 형성되고, 상기 제 2 전극층은 투명 전극으로 형성되는 것인 유기 전계 발광 소자.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1 전극층은 반사막을 포함하는 투명전극이고, 상기 제 2 전극층은 투과성 금속 전극으로 형성되는 것인 유기 전계 발광 소자.
- 제 12항에 있어서,상기 투과성 금속 전극은 Ca, Mg/Ag, Al, Li 중 하나인 유기 전계 발광 소자.
- 제 1항에 있어서,상기 발광층 상부에 공통층으로 정공 억제층, 전자 수송층 및 전자 주입층 중 1 이상의 층을 더욱 포함하는 것인 유기 전계 발광 소자.
- 제 1항에 있어서,상기 제 2 전극층 상부에 보호막층을 더욱 포함하는 유기 전계 발광 소자.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1 정공 수송층, 제 2 정공 수송층 및 제 3 정공 수송층은 N,N'-디(1-나프틸)-N,N'-디페닐벤지딘(NPD) 또는 트리페닐디아민(TPD; triphenylanime)로 형성되어 있는 유기 전계 발광 소자.
- 기판을 제공하는 단계;상기 기판 상에 제 1 전극층을 패턴하여 형성하는 단계;상기 제 1 전극 상에 화소 정의막을 기판 전면에 걸쳐 형성하고, 발광 영역이 개구되도록 상기 화소 정의막을 패턴하여 제 1 화소 영역, 제 2 화소 영역 및 제 3 화소 영역의 발광 영역을 정의하는 단계;상기 기판 전면에 걸쳐 정공 주입층을 형성하는 단계;상기 정공 주입층 상부에 제 1 정공 수송층을 형성하는 단계;상기 제 2 화소 영역 및 제 3 화소 영역의 상부에만 제 2 정공 수송층을 형성하는 단계;상기 제 3 화소 영역의 상부에만 제 3 정공 수송층을 형성하는 단계;상기 각각의 화소 영역에 제 1, 제 2 및 제 3 발광물질을 패턴하여 제 1 발광층, 제 2 발광층 및 제 3 발광층을 형성하는 단계; 및상기 발광층 상부에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
- 제 17항에 있어서,상기 제 2 및 제 3 정공 수송층은 고정세 마스크를 사용하여 패터닝하는 것인 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
- 제 17항에 있어서,상기 제 1 정공 수송층은 공통층으로 형성되는 것인 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
- 제 17항에 있어서,상기 제 1 화소 영역, 제 2 화소 영역 및 제 3 화소 영역은 각각 서로 다른 색을 구현하며, 각각 적색, 녹색 및 청색 중 어느 하나의 색을 구현하는 것인 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
- 제 20항에 있어서,상기 제 1 화소 영역은 청색, 제 2 화소 영역은 녹색, 제 3 화소 영역은 적색을 구현하는 것인 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
- 제 17항에 있어서,상기 제 1 정공 수송층, 제 2 정공 수송층 및 제 3 정공 수송층은 각각 다른 물질로 형성되는 것인 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
- 제 17항에 있어서,상기 제 1 정공 수송층, 제 2 정공 수송층 및 제 3 정공 수송층 중 2개의 층은 동일한 물질로 형성되는 것인 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
- 제 17항에 있어서,상기 제 1 정공 수송층, 제 2 정공 수송층 및 제 3 정공 수송층은 동일한 물질로 형성되는 것인 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
- 제 17항에 있어서,상기 발광층 상부에 공통층으로 정공 억제층, 전자 수송층 및 전자 주입층 중 1 이상의 층을 더욱 형성하는 것인 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 제 2 전극층 상부에 보호막층을 더욱 형성하는 것인 유기 전계 발광 소자의 제조 방법.
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