KR100590174B1 - 기판처리장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- 기판을 수납한 기판카세트를 재치하는 재치부와 상기 재치부에 재치된 기판카세트에 대하여 기판의 인수·인도를 수행하는 전달수단을 포함하는 카세트 스테이션과, 상기 카세트 스테이션에 접속되어 상기 전달수단에 의해 반송된 기판을 처리하는 처리스테이션을 구비하는 기판처리장치에 있어서;상기 처리스테이션은, 상기 재치부에 재치된 복수의 기판카세트의 배열방향과 평면 시야에 있어서 평행한 방향으로 배열된 복수의 처리부와;평면 시야에 있어서 상기 처리부의 배열 방향과 평행한 방향으로 배열되어 상기 처리부에 있어서의 처리의 사전 처리 및 후처리를 행하기 위하거나 처리의 사전 처리 또는 후처리를 행하기 위한 복수의 전후 처리부를 종으로 배열한 선반부와;상기 선반부 및 상기 처리부의 각각에 대향하도록 상기 선반부와 상기 처리부의 사이에 배치되고 평면 시야에 있어서 상기 처리부의 배열 방향과 평행한 방향으로 배열된 복수의 기판 반송 수단을 구비하고;상기 기판 반송 수단의 적어도 1개는 인접하는 2개의 처리부의 양쪽 또는 인접하는 2개의 선반부의 양쪽에 대해서 기판의 전달이 가능한 지점에 배치되고 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
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- 청구항 1에 있어서,상기 처리스테이션은,카세트 스테이션 측에 배열되어진 선반부와,카세트 스테이션 측의 반대측에 상기 선반부와 대향하도록 배열된 처리부와,상기 선반부 및 상기 처리부의 각각에 대향하도록 상기 선반부와 상기 처리부와의 사이에 배열된 복수의 기판반송수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 삭제
- 청구항 1 또는 청구항 5에 있어서,2개 이하의 기판반송수단을 갖춤과 동시에, 상기 선반부는 카세트 스테이션으로부터 처리스테이션에 기판을 인수·인도하기 위한 입력용 전달부와, 처리스테이션으로부터 카세트 스테이션에 기판을 인수·인도하기 위한 출력용 전달부를 별도로 갖추는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 1 또는 청구항 5에 있어서,3개 이상의 기판반송수단을 갖춤과 동시에, 카세트 스테이션으로부터 보아 양측 선반부의 한쪽은 카세트 스테이션으로부터 처리스테이션에 기판을 인수·인도하기 위한 입력용 전달부를 갖추고, 다른 한쪽에는 처리스테이션으로부터 카세트 스테이션에 기판을 인수·인도하기 위한 출력용 전달부를 갖추는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 1 또는 청구항 5에 있어서,상기 처리부는 기판에 도포처리를 수행하는 것임을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 1 또는 청구항 5에 있어서,상기 처리스테이션의 카세트 스테이션 반대측에 노광장치가 접속가능하고,상기 처리스테이션의 카세트 스테이션 반대측에 접속되어, 처리스테이션과 노광장치와의 사이에서 기판의 인수·인도를 수행하기 위한 인터페이스 스테이션을 갖추고,상기 처리부는 기판에 레지스트액의 도포처리를 수행하는 처리부와, 상기 노광장치에서 노광되어진 기판에 대하여 현상처리를 수행하는 처리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 기판을 노광처리하는 노광장치에 접속가능한 기판처리장치에 있어서,기판을 수납한 기판카세트를 재치하는 재치부와, 재치부에 재치된 기판카세트에 대하여 기판의 인수·인도를 수행하는 전달수단을 포함하는 카세트 스테이션과,상기 카세트 스테이션에 접속되어 상기 전달수단에 의해 반송된 기판을 처리하는 처리스테이션과,상기 처리스테이션의 카세트 스테이션 반대측에 접속되어, 처리스테이션과 노광장치와의 사이에서 기판의 인수·인도를 수행하기 위한 인터페이스 스테이션을 갖추고,상기 처리스테이션은,상기 카세트 스테이션과 인접하여 상기 재치부에 재치된 복수의 기판카세트의 배열방향과 평면 시야에 있어서 평행한 방향으로 배열된 복수의 제 1 처리부와,상기 인터페이스 스테이션과 인접하여 상기 재치부에 재치된 복수의 기판카세트의 배열방향과 평면 시야에 있어서 평행한 방향으로 배열된 복수의 제 2 처리부와,상기 제 1 처리부 및 상기 제 2 처리부의 각각에 대향하도록 상기 제 1 처리부와 상기 제 2 처리부와의 사이에 배치되어, 평면 시야에 있어서 상기 처리부의 배열방향과 평행한 방향으로 배열되고, 이들 제 1 및 제 2 처리부 사이에서 기판을 반송하는 복수의 기판반송장치를 구비하고,상기 기판반송장치의 적어도 하나는 인접하는 2개의 제 1 처리부의 양쪽 또는 인접하는 2개의 제 2 처리부의 양쪽에 대해서 기판의 전달이 가능한 지점에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 11에 있어서,상기 제 1 처리부 중 적어도 하나는 기판에 열적처리를 수행하고,상기 제 2 처리부 중 적어도 하나는 기판에 액처리를 수행하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 11에 있어서,상기 제 2 처리부 중 적어도 하나는 상기 기판반송장치 측에 제 1 전달구(口)를 가지고, 또한 상기 인터페이스 스테이션 측에 제 2 전달구를 가진 전달유니트를 갖춘 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
- 청구항 13에 있어서,상기 전달유니트의 제 1 및 제 2 전달구에 각각 제 1 및 제 2 셔터부재를 갖추고,상기 제 1 및 제 2 셔터 중 적어도 하나는 상기 전달구를 닫고 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
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