KR100576947B1

KR100576947B1 - 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치및 그 방법

Info

Publication number: KR100576947B1
Application number: KR1020040101520A
Authority: KR
Inventors: 김태수
Original assignee: 주식회사 파이컴
Priority date: 2004-12-04
Filing date: 2004-12-04
Publication date: 2006-05-10
Also published as: TWI320860B; CN1782725A; TW200619749A; CN100492030C

Abstract

보조플레이트와 프로브플레이트를 탈부착하여 특정 사이즈의 평판디스플레이 패널과 프로브를 정렬시킬 수 있는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치 및 그 방법에 관한 것이다.

본 발명은 네개의 변을 갖는 사각판형이되, 내부에 개구부를 가지는 사각플레이트와, 상기 사각플레이트의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트와, 상기 제1 플레이트와 이웃하는 상기 사각플레이트의 변(邊)에 이동가능하게 설치되는 제2 플레이트와, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트에 탈부착 가능하게 결합되되, 상기 평판디스플레이 패널의 사이즈에 따라 상기 사각플레이트의 개구부 중심 방향으로 연속해서 결합될 수 있는 적어도 하나의 보조플레이트와, 상기 제1 플레이트, 제2 플레이트 또는 상기 사각플레이트의 개구부 중심에 가장 가까운 보조플레이트에 탈부착 가능하게 결합되되, 복수의 프로브들이 장착되어 있는 프로브플레이트와, 상기 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크와 가상의 기준마크를 정렬하여 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하는 위치설정수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

평판디스플레이 패널, 프로브, 얼라인, 정렬, 플레이트

Description

평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치 및 그 방법{APPARATUS FOR TESTING LIGHTING IN TESTING PART OF FLAT PANEL DISPLAY TESTING UNIT AND METHOD THEREBY}

도 1은 종래의 평판디스플레이 검사장치의 사시도이다.

도 2는 종래의 평판디스플레이 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치의 구성도이다.

도 3은 종래의 검사부 세팅 방법의 문제점을 설명하기 위한 이해도이다.

도 4는 본 발명에 적용되는 평판디스플레이 검사장치의 사시도이다.

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치의 구성도이다.

도 6은 상기 제1 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치의 다른 구성도이다.

도 7은 상기 제1 실시예에 따른 이동기구의 구성도이다.

도 8은 상기 제1 실시예에 따른 보조플레이트의 구성도이다.

도 9는 상기 제1 실시예에 따른 프로브플레이트의 구성도이다.

도 10은 제1 실시예에 따른 평판디스플레이 패널을 얼라인하기 위한 이해도이다.

도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치의 구성도이다.

도 12는 상기 제2 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치의 다른 구성도이다.

도 13은 상기 제2 실시예에 따른 수직구동부의 구성도이다.

도 14는 제2 실시예에 따른 평판디스플레이 패널을 얼라인하기 위한 이해도이다.

도 15는 본 발명의 제3 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치의 구성도이다.

도 16은 상기 제3 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치의 다른 구성도이다.

도 17은 상기 제3 실시예에 따른 다양한 크기의 평판디스플레이 패널에 대응하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치의 구성도이다.

도 18은 제3 실시예에 따른 평판디스플레이 패널을 얼라인하기 위한 이해도이다.

본 발명은 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부에서 평판디스플레이 패널을 점등 테스트하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 평판디스플레이 패널의 사이즈에 따라 보조플레이트와 프로브플레이트를 탈부착하거나 프로브플레이트를 자동으로 이동시키거나 다양한 사이즈를 가지는 프로브플레이트를 탈부착함으로써, 상기 특정 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널에 대하여 점등 테스트를 수행할 수 있는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치 및 그 방법에 관한 것이다.

잘 알려진 바와 같이, TFT-LCD{Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display}, PDP(Plasma Display Panel), 유기EL(Electro Luminescent)등 평판 디스플레이(Flat Display) 제조 분야에서 사용되는 유리기판은 세로1100mm, 가로1250mm, 두께0.5~1mm 정도로 점차 대형화 및 박형화되고 있고, 이러한 유리기판으로 제조된 평판 디스플레이는 그 제조라인 중 최종단계에서 점등검사가 이루어지는 바, 이러한 평판 디스플레이의 점등 테스트는 프로브를 이용하여 평판 디스플레이의 데이터 라인과 게이트 라인 각각의 단선 검사와 색상 검사를 행하고, 이것 이외에 현미경등을 이용하는 육안검사를 행하고 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 기술을 설명한다. 도 1은 종래의 평판디스플레이 검사장치의 구성도이고, 도 2는 종래의 평판디스플레이 검사장치 검사부의 점등테스트 장치의 구성도이고, 도 3은 종래의 점등테스트 장치 세팅 방법의 문제점을 설명하기 위한 이해도이다.

이와 같은 평탄디스플레이 패널의 점등테스트를 수행하는 평판디스플레이 검사 장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 검사장치 본체(1)와, 상기 검사장치 본체(1) 내부에 마련되어 검사할 평판디스플레이 패널을 공급하는 패널공급부(2)와, 상기 패널공급부(2)로부터 공급되는 평판디스플레이 패널에 대하여 점등 검사 등을 수행하는 검사부(3)와, 상기 패널공급부(2)에서 상기 검사부(3)로 또는 상기 검사부(3)에서 상기 패널공급부(2)로 평판디스플레이 패널을 이송시키는 패널 이송장치(4)를 포함하여 구성된다.

상기 패널공급부(2)는 패널로딩장치(미도시)로부터 전달되는 평판디스플레이 패널을 서브테이블(2a) 상에 안착시킨후 소정의 정렬단계를 거친후 소정 각도로 회동된다. 그러면, 상기 패널 이송장치(4)가 상기 평판디스플레이 패널을 클램핑한 후 상기 검사부(3)에 설치되는 워크테이블(3a) 상에 상기 평판디스플레이 패널을 이송시킨다.

한편, 상기 검사부(3)는 평판디스플레이 패널에 대해 점등 테스트를 수행하는 점등 테스트 장치를 포함하고 있다. 상기 종래의 평판디스플레이 검사장치 검사부에 마련되는 점등 테스트장치의 구성은 도 2에 도시되어 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 평판디스플레이 패널 점등 테스트 장치(100)는, 사각플레이트(10)와, 상기 사각플레이트(10)와 힌지구조(90)로 연결되는 회동플레이트(20)와, 상기 회동플레이트(20)에 결합되는 베이스플레이트(30)와, 상기 베이스플레이트(30)의 후면에 부착고정되는 프로브플레이트(40)와, 상기 프로브플레이트(40)에 장착된 프로브(50)와, 상기 베이스플레이트(30)의 상면에 설치되는 카메라(70)와, 상기 프로브플레이트(40) 일단에 마련되는 원점마크(80)를 포함하여 이루어져 있다.

상기 회동플레이트(20)는 도 3에 도시된 바와 같이 사각플레이트(10)의 하부측에 구비된 힌지부(90)에 의하여 상기 사각플레이트(10)로부터 제쳐질 수 있는 구조를 가진다. 그리고, 상기 회동플레이트(20)에 검사할 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응되는 크기의 베이스플레이트(30)가 장착된다.

상기 베이스플레이트(30)는 사각플레이트(10)에 힌지 결합되는 회동플레이트(20)에 결합된다. 그 구조는 대형의 사각 판상으로 이루어지되, 내부에는 개구부(31)가 형성되어 있다. 상기 베이스플레이트(30)의 후면에는 상기 개구부(31) 중앙을 향하여 소정 크기의 프로브플레이트(40)가 고정부착되어 있다.

그리고, 상기 베이스플레이트(30)의 상면 소정부분에는 카메라(70)가 설치되어 있다. 한편, 상기 베이스플레이트(30) 후면에 부착고정되어 있는 프로브플레이트(40)의 일단에는 십자형의 원점마크(80)가 마련되어 있다.

상기와 같은 구성 하에서, 소정 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(60)에 대하여 점등 테스트를 수행하기 위해서는 평판디스플레이 패널(60)의 크기에 맞게 베이스플레이트(30)와 프로브플레이트(40)를 회동플레이트(20)에 장착하여 세팅작업을 실시하고, 프로브(50)와 평판디스플레이 패널(60)의 검사단자를 정렬시켜야 한다.

먼저, 소정 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(60)에 대하여 점등 테스트를 하기 위해서, 도 3에 도시된 바와 같이 사각플레이트(10)에 힌지구조(90)로 결합된 회동플레이트(20)를 열어서 점등 테스트를 하고자 하는 평판디스플레이 패널(60)에 대응하는 베이스플레이트(30)와 프로브플레이트(40)를 회동플레이트(20) 후면에 설치하여 세팅작업을 수행한다.

상기와 같이 평판디스플레이 패널(60)의 사이즈에 대응하여 베이스플레이트(30)와 프로브플레이트(40)의 세팅작업을 수행한 후에는, 프로브플레이트(40)의 프로브(50)와 평판디스플레이 패널(60)의 검사단자를 접속시키기 위하여 평판디스플레이 패널(60)의 정렬위치를 세팅하여야 한다.

먼저, 평판디스플레이 패널(60)이 워크테이블(3a)에 의해 프로브플레이트(40)의 프로브(50)로부터 아래쪽으로 떨어진 위치로 이동된다.

다음으로, 평판디스플레이 패널(60)의 평판디스플레이 패널(60)의 정렬마크(61)가 카메라(70)의 시야로 들어오도록 워크테이블(3a)에 의해 평판디스플레이 패널(60)이 X방향 및 Y축방향으로 이동된다.

그리고, 평판디스플레이 패널(60)의 정렬마크(61)가 카메라(70)의 시야로 들어오면, 그 때의 프로브플레이트(40) 일측에 고정 설치된 원점마크(80)와 평판디스플레이 패널(60)의 정렬마크(61)의 어긋남 양(ΔX, ΔY)이 측정되고, 그 어긋남 양(또는 좌표 위치)이 도시되지 않은 메모리(미도시)에 기억된다.

다음으로, 평판디스플레이 패널(60)의 정렬마크(61)와 프로브플레이트(40)의 원점마크(80)와 일치하도록 워크테이블(3a)에 의해 평판디스플레이 패널(60)이 소정량(상기 메모리에 기억한 어긋남 ΔX, ΔY)만 이동된다.

여기서, 프로브플레이트(40) 일측에 고정된 원점마크(80)가 평판디스플레이 패널(60)의 정렬마크(61)에 일치하게 되면, 프로브플레이트(40)에 구비된 프로브(50)는 평판디스플레이 패널(60)의 검사단자와 일치하도록 사전에 제작되어 있다.

다음으로, 평판디스플레이 패널(60)이 워크테이블(3a)에 의해 프로브플레이트(40)의 프로브(50)에 접촉하는 접촉위치로 이동되어 평판디스플레이 패널(60)의 검사단자와 프로브(50)와 접촉이 이루어지게 된다. 이후에 검사되는 평판디스플레이 패널(60)들은 상기 메모리에 저장된 좌표값으로 위치되어 상기 프로브(50)에 의하여 점등 테스트가 이루어진다.

이상에서 설명한 종래의 점등테스트 장치(100)에 의하면, 도 3에 도시된 바와 같이, 평판디스플레이 패널(60)의 사이즈가 변경되는 경우에는 변경된 평판디스플레이 패널(60)에 대응할 수 있는 베이스플레이트(30)를 새롭게 장착하기 위하여 사각플레이트(10)의 하부측에 구비된 힌지구조(90)에 의해 제쳐질 수 있는 회동플레이트(20)를 열어야 한다.

상기 회동플레이트(20)를 개방한 후에, 상기 베이스플레이트(30)와 상기 프로브플레이트(40) 전체를 뜯어내고, 특정 사이즈를 가지는 변경된 평판디스플레이 패널(60)을 검사하기 위한 새로운 베이스플레이트(30)와 프로브플레이트(40)로 교체해야 하는 문제점이 발생한다. 또한, 상기와 같이 교체를 수행하는 경우에, 사각틀 모양으로 형성된 상기 베이스플레이트(30)와 상기 프로브플레이트(40)의 사이즈와 무게에 따른 교체 작업자의 안전상의 문제점이 발생한다.

또한, 복수의 프로브(50)들이 장착되어 있는 프로브플레이트(40)가 베이스플레이트(30)의 후면에 부착고정되므로, 상기 프로브플레이트(40)를 교체하고자 하는 경우에는 상기 베이스플레이트(30)를 개방하여 작업해야하므로, 유지보수에 있어 많은 공간이 필요하고 많은 시간이 소요되는 문제점이 있다.

또한, 복수의 프로브(50)가 장착된 프로브플레이트(40)가 베이스플레이트(30)의 후면에 부착고정되어 있으므로, 평판디스플레이 패널(60)에 존재하는 패드와 프로브(50)를 정렬하고자 할 때는 수동으로 정렬해야 하며, 결과적으로 정밀한 정렬을 할 수 없는 문제점이 발생한다.

또한, 프로브플레이트(40)에 프로브(50)와 평판디스플레이 패널(60)의 검사단자와 일치되도록, 원점마크(80)를 상기 프로브플레이트(40)에 정확하게 사전에 제작하기 용이하지 않은 문제점이 있었다. 즉, 프로브플레이트(40)에 구비된 프로브(50)의 가공오차에 의해 원점마크(80)를 프로브플레이트(40)의 정확한 설치지점에 장착하기 어려운 점이 있다.

따라서, 프로브플레이트(40)의 정확한 설치지점에 원점마크(80)를 장착하지 못하므로, 상기 원점마크(80)와 평판디스플레이 패널(60)의 정렬마크(61)가 일치하더라도 프로브플레이트(40)의 프로브(50)와 평판디스플레이 패널(60)의 검사단자와 접촉이 이루어지지 않게 되는 문제점이 있다.

그리고, 카메라(70)가 베이스플레이트(30)의 상면에 고정되어 설치되기 때문에 다양한 사이즈의 평판디스플레이 패널에 모두 적용하기 힘든 문제점이 발생한다. 즉, 카메라(70)가 베이스플레이트(30)에 고정 설치되므로, 평판디스플레이 패널(60)의 정렬마크(61)가 카메라(70)의 시야로 들어오도록 하기 위해서 평판디스플레이 패널(60)을 안착한 워크테이블(3a)의 이동에만 의존하므로 불편한 점이 있다.

또한, 프로브플레이트(40) 일측면에 장착된 프로브(50)에 평판디스플레이 패널(60)의 검사단자가 얼라인되어 접촉되더라도, 상기 프로브플레이트(40)에 장착된 프로브(50)의 가공오차 및 설치오차에 의해 상기 프로브플레이트(40) 다른면에 장착된 프로브(50)와 평판디스플레이 패널의 단자가 얼라인되지 않는 문제가 빈번히 발생한다.

이때, 사각플레이트(10)의 하부측에 구비된 힌지구조(90)에 의해 회동플레이트(20)를 개방한 후, 상기 회동플레이트(20)에 장착된 프로브플레이트(40) 저면에 설치된 프로브(50) 위치를 다시 세팅해야만 하는 번거로움이 있다.

또한, 카메라(70)의 수리 또는 교체시 마다 카메라(70) 설치위치에 대해 초기 세팅을 다시 해야하는 번거로움이 있다.

또한, 카메라(70)가 베이스플레이트(30)의 상면에 고정되어 설치되기 때문에, 다양한 사이즈의 평판디스플레이 패널(60)에 모두 적용하기 힘든 문제점이 발생한다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 검사 대상인 평판디스플레이 패널의 사이즈가 변경되더라도, 사각플레이트에 힌지 결합된 회동플레이트를 열어서 베이스플레이트와 프로브플레이트 전체를 교체하지 않고 보조플레이트와 프로브플레이트를 탈부착하거나 프로브플레이트를 자동으로 이동시키거나 다양한 사이즈를 가지는 프로브플레이트를 탈부착함으로써, 변경된 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널과 프로브를 얼라인하여 점등 테스트를 수행할 수 있는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 얼라인 장치 및 그 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등테스트 장치를 이루는 구성수단은, 네개의 변을 갖는 사각판형이되, 내부에 개구부를 가지는 사각플레이트와, 상기 사각플레이트의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트와, 상기 제1 플레이트와 이웃하는 상기 사각플레이트의 변(邊)에 이동가능하게 설치되는 제2 플레이트와, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트에 탈부착 가능하게 결합되되, 상기 평판디스플레이 패널의 사이즈에 따라 상기 사각플레이트의 개구부 중심 방향으로 연속해서 결합될 수 있는 적어도 하나의 보조플레이트와, 상기 제1 플레이트, 제2 플레이트 또는 상기 사각플레이트의 개구부 중심에 가장 가까운 보조플레이트에 탈부착 가능하게 결합되되, 복수의 프로브들이 장착되어 있는 프로브플레이트와, 상기 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크와 가상의 기준마크를 정렬하여 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하는 위치설정수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트 중 적어도 하나는 상기 본체 상에 설치되는 이동기구에 의해 사각플레이트의 변(邊)의 길이 방향으로 이동가능하게 설치되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 플레이트와 마주보는 상기 사각플레이트의 변(邊)에는 이동기구에 의하여 변(邊)의 길이방향으로 이동가능한 제2 플레이트가 더 설치되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 이동기구는 상기 사각플레이트 상에 변(邊) 방향으로 배치된 한 쌍의 가이드부와, 상기 가이드부와 맞물려 이동하되, 상기 제2 플레이트와 결합되는 판상의 이동부와, 상기 이동부를 상기 가이드 상에서 상기 사각플레이트의 변 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 이동부 하측면에 너트결합체를 더 마련하고, 상기 구동부는 상기 너트결합체와 나사결합하여 연동하는 스크류사프트와, 상기 스크류사프트를 회전시키는 모터를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 위치설정수단은, 상기 평판디스플레이 패널의 정렬마크를 촬영하는 카메라와, 상기 카메라에 의해 촬영된 정렬마크를 모니터에 표시된 기준마크와 일치시켜 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하고 상기 기준 좌표값에 따라 상기 워크테이블을 구동하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 카메라는, 상기 제1 플레이트에 탈부착되되, 상기 사각플레이트 개구부의 중심에 가장 가까운 보조플레이트에 설치되고, 상기 제2 플레이트에 탈부착되는 보조플레이트에 결합된 프로브플레이트에 설치되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 보조플레이트에 설치되는 카메라는, 상기 보조플레이트의 양측면에 각각 설치되고, 상기 프로브플레이트에 설치되는 카메라는, 상기 프로브플레이트의 일측면에 설치되되, 상기 보조플레이트에 이웃하지 않는 일측면에 설치되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제1 플레이트는 상기 사각플레이트 상에 고정 설치되는 것을 특징으로 한다. 따라서, 상기 제1 플레이트를 고정하고 상기 제2 플레이트만을 이동시켜 프로브와 평판디스플레이 패널을 얼라인시킬 수 있다.

한편, 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등테스트 방법을 이루는 구성수단은, 상기 검사장치 검사부의 사각플레이트에 구비된 플레이트에 설치되되, 프로브를 구비한 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 위치를 변화시키는 단계, 상기 프로브플레이트 상에 장착된 프로브와 워크테이블에 안착된 평판디스플레이 패널 상의 패드를 마이크로스코프를 이용하여 정렬시키는 단계, 상기 정렬이 이루어진 후, 카메라를 이동시켜 모니터 상에 표시된 기준마크와 상기 평판디스플레이 패널 상에 표시된 정렬마크를 일치시켜 카메라를 세팅시키는 단계, 상기 카메라를 세팅한 후, 상기 평판디스플레이 패널이 놓여지는 워크테이블의 기준 좌표값을 제어부의 메모리에 저장하는 단계, 상기 메모리 상에 저장된 기준 좌표값에 따라 후속 평판디스플레이 패널이 로딩된 워크테이블을 이동시켜 평판디스플레이 패널을 계속해서 검사하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 변화 위치시키는 단계는, 상기 플레이트와 프로브플레이트 사이에 적어도 하나의 보조플레이트를 상기 본체의 개구부 중심 방향으로 연속해서 탈부착함으로써 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 프로브플레이트 상에 장착된 프로브와 워크테이블에 안착된 평판디스플레이 패널 상의 패드를 마이크로스코프를 이용하여 정렬시키는 단계는, 상기 사각플레이트 제1변의 플레이트에 위치된 프로브플레이트 상에 포함된 프로브를 상기 평판디스플레이 패널의 제1변과 정렬시키는 제1과정과, 상기 사각플레이트 제2변의 플레이트에 위치된 프로브플레이트 상에 포함된 프로브를 상기 평판디스플레이 패널의 제2변과 정렬시키는 제2과정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 과정은 상기 평판디스플레이 패널이 놓여지는 워크테이블을 이동시켜 정렬하고, 상기 제2 과정은 사각플레이트 상에 마련되는 이동기구를 구동시켜 정렬하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 과정과 제2 과정은 상기 사각플레이트 상에 마련되는 이동기구를 구동시켜 정렬하는 것을 특징으로 한다.

또한, 카메라를 이동시켜 모니터 상에 표시된 기준마크와 상기 평판디스플레이 패널 상에 표시된 정렬마크를 일치시켜 카메라를 세팅시키는 단계는, 상기 보조플레이트 또는 상기 프로브플레이트 상에 설치되는 카메라가 상기 정렬마크를 촬영하여 상기 모니터 상에 표시하는 과정과, 상기 카메라를 이동시켜 상기 정렬마크를 기준마크에 일치시키는 과정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

한편, 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등테스트 장치를 이루는 구성수단은, 네개의 변을 갖는 사각판형이되, 내부에 개구부를 가지는 사각플레이트와, 상기 사각플레이트의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트와, 상기 제1 플레이트와 이웃하는 상기 사각플레이트의 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트와, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트 상에서 이동가능하게 설치되되, 상기 평판디스플레이 패널의 사이즈에 따라 상기 점등 테스트 본체의 개구부 중심방향으로 이동될 수 있는 보조플레이트와, 상기 보조플레이트를 수직이동시키는 수직구동부와, 상기 보조플레이트 상에 탈부착 가능하게 결합되되, 복수의 프로브들이 장착되어 있는 프로브플레이트와, 상기 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크와 가상의 기준마크를 정렬하여 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하는 위치설정수단;을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트 중 적어도 하나는 상기 본체 소정부분에 설치되는 이동기구에 의해 사각플레이트의 변(邊)의 길이 방향으로 이동가능하게 설치되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 이동부 하측면에 너트결합체를 더 마련하고, 상기 구동부는 상기 너트결합체와 나사결합하여 연동하는 스크류사프트와, 상기 스크류사프트를 회전시키는 모터를 포함하여 이루어진 것이 바람직하다.

또한, 상기 보조플레이트 상의 양 측단에 물체를 감지하는 초음파센서가 더 구비되는 것이 바람직하다. 따라서, 제1 플레이트와 제2 플레이트 상에 이동가능하게 마련된 보조플레이트에 결합되는 프로브플레이트 간에 충돌이 발생하는지를 확인할 수 있다.

또한, 상기 수직구동부는, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트 상에 부착설치되는 한쌍의 L/M 가이드와, 상기 L/M가이드와 맞물려 슬라이딩되되, 상기 보조플레이트와 결합되는 결합판과, 상기 결합판을 상기 L/M가이드를 따라 이동시키는 동력발생부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 이와 같은 수직구동부에 의하여, 검사할 평판디스플레이 패널의 사이즈가 변경되더라도 상기 보조플레이트를 자동 이동시킴으로써 신속한 세팅을 달성할 수 있다.

또한, 상기 결합판 하측면에 너트결합체를 더 마련하고, 상기 동력발생부는 상기 너트결합체와 나사결합하여 연동하는 스크류사프트와, 상기 스크류사프트를 회전시키는 모터를 포함하여 이루어진 것이 바람직하다.

또한, 상기 카메라는, 상기 제1 플레이트 상에서 이동가능하게 설치되는 보 조플레이트에 설치되고, 상기 제2 플레이트 상에서 이동가능하게 설치되는 보조플레이트에 결합된 프로브플레이트에 설치되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 제1 플레이트는 상기 사각플레이트 상에 고정 설치되는 것을 특징으로 한다. 따라서 상기 제1 플레이트는 고정하고 상기 제2 플레이트만을 이동시켜 프로브와 평판디스플레이 패널을 정렬시킬 수 있다.

한편, 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등테스트 방법을 이루는 구성수단은, 상기 검사장치 검사부의 사각플레이트에 구비된 플레이트에 설치되되, 프로브를 구비한 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 위치를 변화시키는 단계, 상기 프로브플레이트 상에 장착된 프로브와 워크테이블에 안착된 평판디스플레이 패널 상의 패드를 마이크로스코프를 이용하여 정렬시키는 단계, 상기 정렬이 이루어진 후, 카메라를 이동시켜 모니터 상에 표시된 기준마크와 상기 평판디스플레이 패널 상에 표시된 정렬마크를 일치시켜 카메라를 세팅시키는 단계, 상기 카메라를 세팅한 후, 상기 평판디스플레이 패널이 놓여지는 워크테이블의 기준 좌표값을 제어부의 메모리에 저장하는 단계, 상기 메모리 상에 저장된 기준 좌표값에 따라 후속 평판디스플레이 패널이 로딩된 워크테이블을 이동시켜 평판디스플레이 패널을 계속해서 검사하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 변화 위치시키는 단계는, 상기 플레이트와 프로브플레이트 사이에 구비된 수직구동부를 구동시켜 프로브플레이트를 상기 평판디스플레이 패널 상측까지 전후진 이동시킴으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법.

또한, 상기 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 상측까지 이동시키는 단계에서, 초음파센서에 의하여 사각플레이트의 각 변에 설치된 프로브플레이트 간에 충돌이 발생하는지 판단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. 즉, 서로 이웃하는 프로브플레이트 간의 거리가 세팅된 소정 거리보다 더 적은 경우 상기 초음파센서에 의하여 감지된다.

또한, 상기 마이크로스코프에 의하여 정렬시키는 단계는, 제1 플레이트 상에 이동가능하게 설치된 상기 보조플레이트에 결합된 프로브플레이트 상에 포함된 프로브를 상기 평판디스플레이 패널과 정렬시키는 제1 과정과, 제2 플레이트 상에 이동가능하게 설치된 상기 보조플레이트에 결합된 프로브플레이트 상에 포함된 프로브를 상기 평판디스플레이 패널과 정렬시키는 제2 과정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 기준마크와 정렬마크를 일치시키는 단계는, 상기 보조플레이트 또는 상기 프로브플레이트 상에 설치되는 카메라가 상기 정렬마크를 촬영하여 상기 모니터 상에 표시하는 과정과, 상기 카메라를 이동시켜 상기 정렬마크를 기준마크에 일치시키는 과정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

한편, 본 발명의 제3 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등테스트 장치를 이루은 구성수단은, 네개의 변을 갖는 사각판형이되, 내부에 개구부를 가지는 사각플레이트와, 상기 사각플레이트의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트와, 상기 제1 플레이트와 이웃하는 상기 사각플레이트의 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트와, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트에 탈부착 가능하게 결합되되, 상기 평판디스플레이 패널의 사이즈에 대응하는 다양한 크기를 가지며 복수의 프로브들을 장착하고 있는 프로브플레이트와, 상기 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크와 가상의 기준마크를 정렬하여 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하는 위치설정수단;을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 카메라는 상기 제1 플레이트에 탈부착되는 프로브플레이트의 양측면과 상기 제2 플레이트에 탈부착되는 프로브플레이트의 일측면에 설치되되, 상기 제2 플레이트에 탈부착되는 프로브플레이트의 일측면에 설치되는 카메라는 상기 제1 플레이트에 탈부착되는 프로브플레이트와 이웃하지 않는 일측면에 설치되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 플레이트가는 상기 사각플레이트 상에 고정 설치되는 것을 특징으로 한다. 따라서, 상기 제1 플레이트는 고정하고 상기 제2 플레이트만을 이동시켜 프로브와 평판디스플레이 패널을 정렬시킬 수 있다.

한편, 본 발명의 제3 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등테스트 방법을 이루는 구성수단은, 상기 검사장치 검사부의 사각플레이트에 구비된 플레이트에 설치되되, 프로브를 구비한 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 위치를 변화시키는 단계, 상기 프로브플레이트 상에 장착된 프로브와 워크테이블에 안착된 평판디스플레이 패널 상의 패드를 마이크로스코프를 이용하여 정렬시키는 단계, 상기 정렬이 이루어진 후, 카메라를 이동시켜 모니터 상에 표시된 기준마크와 상기 평판디스플레이 패널 상에 표시된 정렬마크를 일치시켜 카메라를 세팅시키는 단계, 상기 카메라를 세팅한 후, 상기 평판디스플레이 패널이 놓여지는 워크테이블의 기준 좌표값을 제어부의 메모리에 저장하는 단계, 상기 메모리 상에 저장된 기준 좌표값에 따라 후속 평판디스플레이 패널이 로딩된 워크테이블을 이동시켜 평판디스플레이 패널을 계속해서 검사하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 변화 위치시키는 단계는, 상기 평판디스플레이 패널 상측에 상기 프로브플레이트의 프로브를 위치시키도록 소정 길이로 형성된 프로브플레이트를 상기 플레이트에 장착함으로써 이루어지는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 구성수단으로 이루어져 있는 본 발명인 평판디스플레이 검사장치 검사부의 점등테스트 장치 및 방법에 관한 바람직 한 제1 실시예를 상세하게 설명한다.

도 4는 본 발명에 적용되는 평판디스플레이 패널 검사장치에 관한 구성도이다.

도 4에 도시된 바와 같이, 검사장치 본체(6)와, 상기 검사장치 본체(6) 내부에 존재하는 패널공급부(7)와, 상기 패널공급부(7)에 포함되어 공급되는 평판디스플레이 패널을 받는 서브테이블(7a)과, 상기 서브테이블(7a)에서 받은 평판디스플레이 패널을 이송하는 이송장치(미도시)와, 상기 이송장치로부터 전달되는 평판디스플레이 패널을 전달받는 워크테이블(8a)과, 상기 워크테이블(8a)에 올려놓여진 평판디스플레이 패널을 검사하는 검사부(8)로 이루어진다.

그리고, 상기 검사부(8)에는 평판디스플레이 패널 사이즈에 따라 평판디스플레이 패널에 대하여 점등 테스트를 수행하는 점등 테스트 장치가 포함되어 있다. 이하에서는, 상기 검사부(8)에 포함되는 본 발명인 점등 테스트 장치에 대하여 설명한다.

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등테스트 장치의 구성도이다.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명인 평판디스플레이 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치(200)는, 네개의 변을 가지는 사각판형의 사각플레이트(110), 상기 사각플레이트(110)의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트(120a), 상기 사각플레이트(110)의 다른 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트(120b), 상기 제1 플레이트(120a)와 제2 플레이트(120b)에 탈부착할 수 있는 보조플레이트(130a, 130a', 130b), 상기 제1 플레이트(120a) 또는 제2 플레이트(120b) 또는 보조플레이트(130a, 130a', 130b)에 탈부착할 수 있는 프로브플레이트(140a, 140b), 상기 평판디스플레이 패널(180) 상의 정렬마크(181)와 기준마크(195)를 정렬하여 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하는 위치설정수단을 포함하여 이루어진다.

한편, 상기 위치설정수단은 상기 프로브플레이트(140a, 140b)의 일측면 또는 상기 프로브플레이트(140a, 140b)와 결합된 보조플레이트(130a, 130a', 130b)의 측면에 배치되되, 상기 평판디스플레이 패널(180)의 정렬마크(181)를 촬영하는 카메라(160a, 160b)와, 상기 카메라(160a, 160b)에 의해 촬영된 정렬마크(181)를 모니터(190, 도 10의 (c)에 표시)에 표시된 기준마크(195, 도 10의 (c)에 표시)와 일치시켜 상기 워크테이블(182)의 기준 좌표값을 설정하고 상기 기준 좌표값에 따라 상기 워크테이블(182)을 구동하는 제어부(미도시)를 포함하여 이루어진다.

그리고, 상기 제1 플레이트(120a)와 상기 제2 플레이트(120b) 중 적어도 하나는 상기 본체(110) 상에 설치되어 마련되는 이동기구에 의해 사각플레이트의 변의 길이방향으로 이동가능하게 설치된다.

상기 사각플레이트(110)는 네개의 변(邊)을 가지는 사각판형으로 이루어져 있다. 그리고 평판디스플레이 패널(180)을 프로빙하기 위한 공간을 마련하기 위하여 내부에 개구부(111)를 가지고 있다. 상기 사각플레이트(110)의 각 변(邊)에는 제1 플레이트(120a), 제2 플레이트(120b)가 결합되고, 상기 제2 플레이트(120b)를 이동시키기 위한 이동기구(170a)가 마련된다.

한편, 상기 사각플레이트는 힌지구조에 의하여 회동프레이트를 개방할 수 있는 종래와 달리 평판디스플레이 검사장치 검사부에 고정되어 있다. 즉, 본 발명은 평판디스플레이 패널의 사이즈에 대응하여 검사부를 세팅하기 위해서는, 점등 테스트 본체(110)를 개방하는 것이 아니라, 사각플레이트(110)에 결합되는 제1 플레이트(120a), 제2 플레이트(120b) 등을 탈부착하면 된다.

상기 제1 플레이트(120a)는 상기 사각플레이트(110)의 네 변(邊)중에 하나의 변인 제1 변에 구비 설치된다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 사각플레이트(110)의 네 변(邊)중 상측에 존재하는 제1 변(邊)에 구비된다. 상기 제1 플레이트(120a)는 상기 사각플레이트(110)에 고정되거나 이동가능하게 설치된다.

상기 제1 플레이트(120a)와 달리 상기 사각플레이트(110) 상에서 이동할 수 있는 제2 플레이트(120b)는 상기 제1 플레이트(120a)와 이웃하는 상기 사각플레이트(110)의 제2 변(邊)에 설치된다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(120a)가 고정설치된 변(邊)과 이웃하는 좌측 변(邊)인 제2 변에 상기 제2 플레이트(120b)를 이동가능하게 설치한다.

한편, 상기 제2 플레이트(120b, 120c)는 도 6의 (a)에 도시된 바와 같이 상기 제1 플레이트(120a)가 구비된 변과 이웃하는 좌측 변 및 우측 변에 각각 설치될 수 있다.

또한, 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 제2 플레이트(120b, 120c, 120d)는 상기 제1 플레이트(120a)가 구비된 제1 변과 이웃하는 좌, 우측 변뿐만 아니라, 상기 제1 플레이트(120a)가 구비된 제1 변과 마주보는 변에도 이동가능하게 설치될 수 있다.

더 나아가, 도 6의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(120a)가 설치되는 상기 사각플레이트(110) 상에 상기 이동기구(170d)가 더 설치되어, 상기 제1 플레이트(120a)를 상기 제1 변의 길이 방향으로 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 사각플레이트(110) 네 변에 설치되는 하나의 제1 플레이트(120a)와 세개의 제2 플레이트(120b, 120c, 120d)는 상기 사각플레이트(110) 상에 설치되는 네개의 이동기구(170a, 170b, 170c, 170d)에 의하여 이동시킬 수 있다.

상기 제1 플레이트(120a)가 고정설치된 상기 사각플레이트(110)의 일변(邊)을 제외한 세개의 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트(120b, 120c, 120d)는 상기 사각플레이트(110) 상에 설치되는 이동기구(170a, 170b, 170c)에 의하여 각 변(邊)의 길이 방향으로 이동될 수 있다.

물론, 도 6의 (c)에 도시된 바와 같이 상기 사각플레이트(110) 상에 별도의 이동기구(170d)를 더 마련한 경우에는 상기 제1 플레이트(120a)도 변(邊)의 길이방향으로 이동될 수 있다. 이 경우에는, 상기 제1 플레이트(120a)와 제2 플레이트(120b) 중 적어도 하나는 상기 본체(110) 상에서 이동기구(170a, 170d)에 의하여 이동가능하게 설치되는 것이다.

상기 이동기구(170a, 170b, 170c, 170d)는 도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이 상기 사각플레이트(110) 상의 소정 위치에 마련된다.

상기 제1 플레이트(120a) 및 제2 플레이트(120b, 120c, 120d)가 설치되는 상기 사각플레이트(110)의 각 변(邊)에 마련되는 이동기구(170a, 170b, 170c, 170d)는 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 사각플레이트(110) 상에 변(邊) 방향으로 배치된 한 쌍의 가이드부(171a)와, 상기 가이드부(171a)와 맞물려서 이동하는 판상의 이동부(172a)와, 상기 이동부(172a)를 상기 가이드부(171a) 상에서 상기 사각플레이트(110)의 변(邊) 방향으로 이동시키는 구동부(177a)를 포함하여 이루어져 있다.

상기 사각플레이트(110) 상에 변(邊) 방향으로 배치되는 가이드부(171a)와 상기 판상의 이동부(172a)는 L/M(Linear Motion) 가이드에 의하여 서로 맞물려 이동할 수 있다. 따라서, 상기 판상의 이동부(172a)는 상기 사각플레이트(110) 상에 변(邊) 방향으로 배치되는 한 쌍의 가이드부(171a)와 맞물릴 수 있도록, 하부면에 평행하게 마련되는 한 쌍의 가이드결합체(173a)를 포함한다.

한편, 상기 구동부(177a)는 상기 이동부(172a)를 상기 사각플레이트(110) 각 변(邊)의 길이 방향으로 이동시킬 수 있도록 마련되어야 한다.

상기 이동부(172a)를 이동시키기 위한 방법으로, 상기 이동부(172a)와 고정결합되는 샤프트(미도시)와, 이 샤프트에 동력을 전달하는 에어실린더(미도시)에 의하여 상기 이동부를 이동시킬 수 있다.

그러나, 본 발명에서는 상기 이동부(172a)의 정확한 이동과 안전한 이동을 위하여 스크류사프트(175a)와 서보모터(176a)를 이용하여 상기 이동부(172a)를 이동시킨다.

즉, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 이동부(172a) 하측면에 너트결합체(174a)를 더 마련하고, 상기 구동부(172a)는 상기 너트결합체(174a)와 나사결합하여 연동하는 스크류사프트(175a)와 상기 스크류사프트(175a)를 회전시키는 서보모 터(176a)로 구성하여 상기 이동부(172a)를 각 변(邊)의 길이 방향으로 안정성 있게 이동시킨다.

따라서, 상기 이동기구(170a)에 의하여 상기 제2 플레이트(120b)를 이동시키기 위해서는, 제어부(미도시)의 제어에 따라 서보모터(176a)를 구동하고, 구동된 서보모터(176a)는 스크류사프트(175a)를 회전시킨다. 그러면, 상기 스크류사프트(175a)와 나사결합되어 연동하는 너트결합체(174a)에 동력이 전달되어 상기 이동부(172a)는 상기 가이드부(171a)를 따라 이동하게 된다.

상기 사각플레이트(110)의 각 변에 설치되는 제1 플레이트(120a)와 제2 플레이트(120b, 120c, 120d)에는 적어도 하나의 보조플레이트(130a, 130a', 130b, 130c, 130d)가 탈부착될 수 있다. 이와 같이, 상기 제1 플레이트(120a)와 제2 플레이트(120b, 120c, 120d)에 상기 보조플레이트(130a, 130a', 130b, 130c, 130d)가 탈부착되는 이유는, 평판디스플레이 패널의 다양한 사이즈에 효과적으로 대응하기 위해서이다.

즉, 특정 사이즈의 평판디스플레이 패널을 검사하다가 더 작은 사이즈의 평판디스플레이 패널을 검사하고자 하는 경우에는, 상기 보조플레이트(130a, 130a', 130b)를 상기 제1 플레이트(120a)와 상기 제2 플레이트(120b, 120c, 120d)에 부착하고, 더 큰 사이즈의 평판디스플레이 패널을 검사하고자 하는 경우에는, 상기 부착된 보조플레이트(130a, 130a', 130b, 130c, 130d)를 탈착하여 변경된 사이즈의 평판디스플레이 패널을 검사할 수 있다.

이와 같이, 검사할 평판디스플레이 패널의 사이즈가 변경되더라도 상기 사각플레이트(110) 전부를 교체할 필요 없이, 상기 보조플레이트(130a, 130a', 130b, 130c, 130d)만을 탈부착함으로써 변경된 평판디스플레이 패널을 검사할 수 있게 된다.

상기 보조플레이트(130a, 130a', 130b, 130c, 130d)는 변경된 평판디스플레이 패널의 사이즈에 따라 상기 사각플레이트(110)의 개구부(111) 중심 방향으로 연속해서 상기 제1 플레이트(120a) 및 제2 플레이트(120b, 120c, 120d)에 결합하게 된다. 한편, 상기 사각플레이트(110)의 개구부(111) 중심 방향으로 연속해서 결합되는 보조플레이트(130a, 130a', 130b, 130c, 130d)는 상기 사각플레이트(110)의 개구부(111) 중심 방향으로 갈 수록 변(邊) 방향의 길이가 점점 작아진다.

도 8은 상기 제1 플레이트(120a)에 결합되는 상기 보조플레이트(130a, 130a')의 결합 상태를 보여주는 예시도이다. 이하에서 설명한 보조플레이트의 결합 상태는 제2 플레이트(120b, 120c, 120d)에 결합되는 보조플레이트(130a, 130a', 130b, 130c, 130d)의 결합 상태에도 적용된다.

도 8의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 보조플레이트(130a)는 상기 제1 플레이트(120a)에 한개가 결합될 수 있고, 도 8의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 보조플레이트(130a, 130a')는 상기 제1 플레이트(120a)에 두개가 연속해서 결합될 수 있다. 여기서, 상기 보조플레이트(130a)와 제1플레이트(130a') 및 복수의 제1플레이트(130a')들의 탈착 또는 부착되는 결합은 일반적으로 사용하는 공지의 볼트와 너트를 이용하여 나사 체결방법으로 이루어질 수 있다. 한편, 도 8의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(120a)에 결합되는 외각의 보조플레이트(130a)에는 평판디스플레이 패널 상에 표시된 정렬마크를 촬영하기 위하여 카메라(160a)가 배치된다.

도 9는 제1 플레이트(120a) 또는 이 제1 플레이트(120a)에 결합되는 보조플 레이트(130a, 130a')에 결합된 프로브플레이트(140a)의 결합 상태를 보여주는 예시도이다.

상기 보조플레이트(130a, 130a')에는 복수의 프로브(150a)들이 장착된 프로브플레이트(140a)가 결합된다. 즉, 상기 제1 플레이트(120a) 또는 제2 플레이트(120b)에 연속해서 결합되는 보조플레이트(130a, 130a') 중에 상기 사각플레이트(110)의 개구부(111) 중심에 가장 가까운 보조플레이트(130a')에 상기 프로브플레이트(140a)가 탈부착 가능하게 결합된다. 한편, 상기 프로브플레이트(140a)는 상기 보조플레이트(130a, 130a')에 결합하지 않고 상기 제1 플레이트(120a) 또는 제2 플레이트(120b)에 직접 결합될 수 있다.

이하에서 설명한 결합 상태는 제2 플레이트(120b) 또는 이 제2 플레이트(120b)에 결합되는 보조플레이트(130b, 130c, 130d)에 결합된 프로브플레이트(140b)의 결합 상태에도 적용된다.

도 9의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 복수의 프로브(150a)들이 장착된 프로브플레이트(140a)는 제1 플레이트(120a) 상에 직접 결합될 수 있다. 또한 도 9의 (b)에 도시된 바와 같이, 제1 플레이트(120a)에 한 개의 보조플레이트(130a)가 먼저 결합되고, 상기 보조플레이트(130a)에 상기 프로브플레이트(140a)가 결합될 수 있다. 그리고 도 9의 (c)에 도시된 바와 같이, 제1 플레이트(120a)에 연속해서 두개의 보조플레이트(130a, 130a')가 결합되고, 상기 두번째 보조플레이트(130a')에 상기 프로브플레이트(140)가 결합된다.

한편, 도 9의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(120a) 또는 이 제1 플레이트(120a)에 결합되는 상기 프로브플레이트(140a)는 일측면에 카메라(160a)를 포함하고 있다. 즉, 도 5 또는 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 카메라(160a)는 상기 제1 플레이트(120a)에 탈부착되는 보조플레이트(130a) 중에 상기 사각플레이트(110) 개구부(111)의 중심에 가장 가까운 보조플레이트(130a')에 설치되고, 또한 상기 제2 플레이트(120b)에 탈부착되는 상기 보조플레이트(130b)에 결합된 프로브플레이트(140b)의 일측면에 또 다른 카메라(160b)가 설치된다.

상기 보조플레이트(130a')에 설치되는 카메라(160a)는 도 5 또는 도 6에 도시된 바와 같이, 양 측단에 각각 설치되고, 상기 프로브플레이트(140b)에 설치되는 카메라(160b)는 상기 보조플레이트(130a')에 이웃하지 않는 일측에만 설치된다. 이와 같이 3개의 카메라를 설치하여 평판디스플레이 패널(180) 상에 표시된 정렬마크(181)를 촬영한다. 즉, 상기 카메라(160a, 160b)는 정렬마크(181) 개수만큼 구비되고, 정렬마크(181) 위치에 대응되도록 설치된다.

상기 프로브플레이트(140b)의 일측면 또는 상기 보조플레이트(130a') 일측면에 배치되는 카메라들(160a, 160b)은 X, Y, Z축으로 이동 가능하고, 상기 평판디스플레이 패널(180) 상에 표시된 정렬마크(181)를 촬영한다.

상기 카메라(160a, 160b)에 의하여 촬영된 상기 평판디스플레이 패널(180) 상에 표시된 정렬마크(181)는 제어부(미도시)에 포함되는 모니터(190)(도 10의 (c), (d)에 도시됨) 상에 표시된다. 상기 모니터(190)에는 상기 카메라(160a, 160b)에 의하여 촬영된 상기 정렬마크(181)가 표시될뿐만 아니라, 상기 정렬마크(181)를 일치시키기 위한 기준마크(195)가 표시된다.

즉, 상기 모니터(190)에는 상기 기준마크(195)와 정렬마크(181)를 표시시키고, 상기 카메라(160a, 160b)를 X, Y, X축으로 이동시켜 상기 카메라에 의하여 촬영된 정렬마크(181)를 상기 기준마크(195)에 정렬시킨다.

한편, 상기 카메라(160a, 160b)는 상기 정렬마크(181)를 촬영하지 않고 워크테이블(182) 상에 표시된 마크(183)를 촬영하여 상기 모니터(190) 상에 표시할 수 있다. 즉, 상기 모니터(190)에는 상기 기준마크(195)와 상기 워크테이블(182) 상에 표시된 마크(183)를 표시시키고 상기 카메라(160a, 160b)를 이동시켜 상기 카메라(160a, 160b)에 의하여 촬영된 상기 워크테이블(182) 상에 마크(183)를 상기 기준마크(195)에 정렬시킨다.

이하, 도 10을 참조하여 평판디스플레이 패널에 대하여 점등테스트 하는 방법에 대하여 설명한다.

도 10의 (a)는 특정 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(180)을 검사하기 위한 세팅 상태이다. 즉, 특정 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(180)을 검사하기 위하여 제1 플레이트(120a)에는 두개의 보조플레이트(130a, 130a')가 결합되고, 상기 마지막 보조플레이트(130a')에 프로브플레이트(140a)가 결합되어 있다. 그리고, 제2 플레이트(120b)에는 한개의 보조플레이트(130b)가 결합되고, 이 보조플레이트(130b)에 프로브플레이트(140b)가 결합되어 있다.

상기 도 10의 (a)와 같은 세팅 상태에서 더 작은 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(180)을 검사하기 위해서 도 10의 (b)와 같이 탈부착 가능한 보조플레이트(130a", 130b')를 더 결합하여 프로브를 구비한 프로브플레이트(140a)를 평판디스플레이 패널(180) 사이즈에 대응하도록 위치를 변화시킨다. 즉, 제1 플레이트(120a)에는 세개의 보조플레이트(130a, 130a', 130a")가 연속해서 결합되고, 상기 보조플레이트(130a, 130a', 130a") 중에 상기 사각플레이트(110) 개구부(111)의 중앙에서 가장 가까운 보조플레이트(130a")에 상기 프로브플레이트(140a)가 결합된다.

그리고, 상기 제2 플레이트(120b)에는 두개의 보조플레이트(130b, 130b')가 연속해서 결합되고, 상기 보조플레이트(130b, 130b') 중에 상기 사각플레이트(110) 개구부(111)의 중앙에서 가장 가까운 보조플레이트(130b')에 상기 프로브플레이트(140b)가 결합된다.

상기와 같이 더 작은 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(180)을 검사하기 위해서, 탈부착 가능한 보조플레이트(130a", 130b')만 더 부착하여 간단하게 세팅이 이루어진다. 즉, 검사할 평판디스플레이 패널(180)의 사이즈가 변경되더라도, 사각플레이트(110) 전부를 교체할 필요없이 일정 크기를 가지는 보조플레이트만 탈부착함으로써, 간단하게 세팅를 할 수 있다.

상기와 같이 변경된 평판디스플레이 패널(180)을 검사하기 위하여 보조플레이트(130a, 130a', 130a", 130b, 130b')와 프로브플레이트(140a, 140b)를 결합하여 세팅한 후에는, 상기 변경된 평판디스플레이 패널(180) 상의 패드(미도시)와 상기 프로브플레이트(140a, 140b) 상에 장착된 복수의 프로브(150a, 150b)의 검사팁(미도시)을 정렬시킨다. 상기 프로브(150a, 150b)의 검사팁(미도시)과 평판디스플레이 패널(180) 상의 패드의 정렬은 마이크로스코프(9, 도 4에 표시)를 이용하여 수동으로 정렬한다.

상기 마이크로스코프(9, 도 4에 표시)에 의하여 상기 프로브(150a, 150b)의 검사팁(미도시)과 상기 평판디스플레이 패널(180)의 패드를 정렬하는 방법은, 먼저 제1 플레이트(120a) 또는 이 제1 플레이트(120a)에 결합되는 보조플레이트(130a, 130a', 130a")에 결합되어 상기 사각플레이트(110)의 제1 변의 플레이트에 위치된 상기 프로브플레이트(140a) 상에 포함된 프로브(150a)와 상기 평판디스플레이 패널(180)의 제1 변에 정렬시킨다.

그런 다음, 제2 플레이트(120b) 또는 이 제2 플레이트(120b)에 결합되는 보조플레이트(130b, 130b')에 결합되어 상기 사각플레이트(110) 제2 변의 플레이트에 위치된 상기 프로브플레이트(140b) 상에 포함된 프로브(150b)를 상기 평판디스플레이 패널(180)의 제2 변과 정렬한다.

상기 제1 플레이트(120a)에 결합되는 프로브플레이트(140a) 또는 도 10의 (b)에 도시된 바와 같이 상기 제1 플레이트(120a)에 결합되는 보조플레이트(130a")에 결합된 프로브플레이트(140a) 상의 프로브(150a)와 평판디스플레이 패널(180)의 패드를 정렬하기 위해서는 상기 평판디스플레이 패널(180)이 놓여지는 워크테이블(182)을 이동시켜 정렬한다. 즉, 상기 제1 플레이트(120a)는 이동되지 않고 사각플레이트(110)의 일변(一邊)에 고정부착되어 있기 때문에 상기 평판디스플레이 패널(180)이 놓여지는 워크테이블을 이동시켜 정렬시킨다.

만약 도 6의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(120a)가 이동기구(170d)에 의하여 이동될 수 있도록 구성한다면, 상기와 같이 워크테이블을 이동시키지 않고 상기 이동기구(170d)를 구동시켜 상기 프로브(150a)와 평판디스플레이 패널(180)의 패드를 정렬시킬 수 있다.

상기 워크테이블(182)을 이동시키거나, 상기 이동기구(170d)를 구동시켜 상기 제1 플레이트(120a) 또는 보조플레이트(130")와 결합되는 프로브플레이트(140a) 상에 장착된 프로브(150a)의 검사팁(미도시)과 평판디스플레이 패널(180)의 패드를 정렬한 후에는, 상기 제2 플레이트(120b)에 결합된 프로브플레이트(140b) 또는 도 10의 (b)에 도시된 바와 같이 상기 제2 플레이트(120b)와 결합되는 보조플레이트(130b')에 결합된 프로브플레이트(140b) 상에 장착된 프로브(150b)의 검사팁(미도시)과 평판디스플레이 패널(180)의 패드를 정렬한다.

상기 제2 플레이트(120b)와 결합되는 보조플레이트(130b')에 결합된 프로브플레이트(140b)에 장착된 프로브(150b)의 검사팁(미도시)과 워크테이블 상에 놓여있는 평판디스플레이 패널(180)의 패드를 정렬시키기 위해서는, 사각플레이트(110) 상에 마련되는 이동기구(170a)를 구동시켜 제2 플레이트(120b)를 이동시켜 이루어진다.

상기와 같은 동작에 따라 마이크로스코프(9, 도 4에 표시)에 의하여 프로브플레이트(140a, 140b) 상에 장착된 프로브(150a, 150b)와 워크테이블 상에 놓여진 평판디스플레이 패널(180)을 정렬시킨 후, 카메라(160a, 160b)를 이동시켜 모니터(190) 상에 표시된 기준마크(195)와 상기 평판디스플레이 패널(180) 상에 표시된 정렬마크(181)를 일치시켜 카메라(160a, 160b)를 세팅시킨다.

상기 기준마크(195)와 정렬마크(181)를 일치시키기 위해서는, 먼저 상기 제1 플레이트(120a)에 결합된 보조플레이트(130a") 또는 상기 제2 플레이트(120b)에 결합되는 보조플레이트(130b')에 결합된 상기 프로브플레이트(140b) 상에 설치된 카 메라(160a, 160b)가 상기 평판디스플레이 패널(180) 상에 표시된 정렬마크(181)를 촬영하여 상기 모니터(190) 상에 표시한다.

상기와 같이 카메라(160a 160b)에 의하여 촬영된 정렬마크(181)가 상기 모니터(190) 상에 표시되면, 도 10의 (c)에 도시된 바와 같이, 모니터(190) 상에 표시된 기준마크(195)에 어긋나서 표시되는 것이 일반적이다.

상기와 같이, 모니터(190) 상에 표시된 기준마크(195)와 정렬마크(181)가 일치하지 않고 어긋나는 경우에는, 도 10의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 카메라(160a, 160b)를 X, Y, Z축으로 이동시켜 상기 정렬마크(181)를 상기 기준마크(195)에 일치시킨다.

상기 기준마크(195)와 정렬마크(181)가 일치되면, 카메라(160a, 160b)의 X, Y, Z축 위치를 고정하여 카메라(160a, 160b)의 초기 세팅을 완료한 후, 상기 카메라(160a, 160b)에 의하여 촬영된 상기 정렬마크(181)의 위치를 기준으로 워크테이블(182)의 X, Y, Z 및 θ 좌표값을 획득하여, 상기 좌표값을 제어부(미도시)에 포함되는 메모리(미도시)에 저장한다.

이후에, 동일한 종류의 평판디스플레이 패널(180)이 워크테이블(182)에 계속적으로 올려져도 상기 메모리 상에 저장된 워크테이블(182)의 X,Y,Z 및 θ 좌표값에 의한 제어부의 제어신호에 따라 워크테이블(182)이 신속하게 이동되어 평판디스플레이 패널(180)이 프로브플레이트(140a, 140b)의 프로브(150a, 150b)에 얼라인된다. 즉, 상기 평판 디스플레이 패널(180)의 패드(미도시)에 상기 프로브(150a, 150b)의 검사팁이 얼라인된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명인 평판디스플레이 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치 및 그 방법에 관한 제2 실시예를 상세하게 설명한다.

도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명인 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치(300)는, 네개의 변을 가지는 사각판형의 사각플레이트(210), 상기 사각플레이트(210)의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트(220a), 상기 사각플레이트(210)의 다른 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트(220b), 상기 제1 플레이트(220a)와 제2 플레이트(220b) 상에서 이동가능하게 설치되는 보조플레이트(230a, 230b), 상기 보조플레이트(230a, 230b)를 수직이동시키는 수직구동부(250a, 250b), 상기 보조플레이트(230a, 230b) 상에 탈부착 가능하게 결합되는 프로브플레이트(240a, 240b), 상기 평판디스플레이 패널(280) 상의 정렬마크(281)와 기준마크(295)를 정렬하여 상기 워크테이블(282)의 기준 좌표값을 설정하는 위치설정수단을 포함하여 이루어진다.

한편, 상기 위치설정수단은 상기 프로브플레이트(240a, 240b)의 일측면 또는 상기 프로브플레이트(240a, 240b)와 결합된 보조플레이트(230a, 130b)의 측면에 배치되되, 상기 평판디스플레이 패널(280)의 정렬마크(281)를 촬영하는 카메라(260a, 260b)와, 상기 카메라(260a, 260b)에 의해 촬영된 정렬마크(281)를 모니터(290, 도 14의 (c)에 표시)에 표시된 기준마크(295, 도 14의 (c)에 표시)와 일치시켜 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하고 상기 기준 좌표값에 따라 상기 워크테이블(282)을 구동하는 제어부(미도시)를 포함하여 이루어진다.

그리고, 상기 제1 플레이트(220a)와 상기 제2 플레이트(220b) 중 적어도 하나는 상기 본체(210) 상에 설치되어 마련되는 이동기구에 의해 사각플레이트의 변의 길이방향으로 이동가능하게 설치된다.

상기 사각플레이트(210)는 네개의 변(邊)을 가지는 사각판형으로 이루어져 있다. 그리고 평판디스플레이 패널(280)을 프로빙하기 위한 공간을 마련하기 위하여 내부에 개구부(211)를 가지고 있다. 상기 사각플레이트(210)의 각 변(邊)에는 제1 플레이트(220a), 제2 플레이트(220b)가 결합되고, 상기 제2 플레이트(220b)를 이동시키기 위한 이동기구(270a)가 마련된다.

상기 제1 플레이트(220a)는 상기 사각플레이트(210)의 네 변(邊)중에 하나의 변인 제1 변에 구비된다. 즉, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 사각플레이트(210)의 네 변(邊)중 상측에 존재하는 제1 변(邊)에 구비된다. 상기 제1 플레이트(220a)는 상기 사각플레이트(210) 상에 고정설치되거나 이동가능하게 설치될 수 있다.

상기 제1 플레이트(220a)와 달리 상기 사각플레이트(210) 상에서 이동할 수 있는 제2 플레이트(220b)는 상기 제1 플레이트(220a)와 이웃하는 상기 사각플레이트(210)의 제2 변(邊)에 설치된다. 즉, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(220a)가 구비된 변(邊)과 이웃하는 좌측 변(邊)에 상기 제2 플레이트(220b)를 이동가능하게 설치한다.

한편, 상기 제2 플레이트(220b, 220c)는 도 12의 (a)에 도시된 바와 같이 상기 제1 플레이트(220a)가 구비된 변과 이웃하는 좌측 변 및 우측 변에 각각 설치될 수 있다.

또한, 도 12의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 제2 플레이트(220b, 220c, 220d)는 상기 제1 플레이트(220a)가 구비된 변과 이웃하는 좌, 우측 변뿐만 아니라, 상기 제1 플레이트(220a)가 구비된 변과 마주보는 변에도 이동가능하게 설치될 수 있다.

더 나아가, 도 12의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(220a)가 설치되는 상기 사각플레이트(210) 상에 상기 이동기구(270d)가 더 설치되어, 상기 제1 플레이트(220a)를 상기 일변의 길이 방향으로 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 사각플레이트(210) 네 변에 설치되는 하나의 제1 플레이트(220a)와 세개의 제2 플레이트(220b, 220c, 220d)는 상기 사각플레이트(210) 상에 설치되는 네개의 이동기구(270a, 270b, 270c, 270d)에 의하여 이동시킬 수 있다. 또한, 상기 제1 플레이트(220a)는 상기 사각플레이트(210)상에 고정설치될 수 있다.

상기 제1 플레이트(220a)가 구비된 상기 사각플레이트(210)의 일변(邊)을 제외한 세개의 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트(220b, 220c, 220d)는 상기 사각플레이트(210) 상에 설치되는 이동기구(270a, 270b, 270c)에 의하여 각 변의 길이 방향으로 이동될 수 있다.

물론, 도 12의 (c)에 도시된 바와 같이 상기 사각플레이트(210) 상에 별도의 이동기구(270d)를 더 마련한 경우에는 상기 제1 플레이트(220a)도 변(邊)의 길이방향으로 이동될 수 있다. 이 경우에는, 상기 제1 플레이트(220a)와 제2 플레이트(220b) 중 적어도 하나는 상기 이동기구에 의하여 이동가능하게 설치되는 것이다.

상기 이동기구(270a, 270b, 270c, 270d)는 도 11 또는 도 12에 도시된 바와 같이 상기 사각플레이트(210) 상의 소정 위치에 마련된다. 이와 같은 이동기구(270a, 270b, 270c, 270d)의 구조는 도 7을 참조하여 전술한 제1 실시예서의 이동기구(170a, 170b, 170c, 170d)와 동일하다. 따라서, 이하에서는 제2 실시예에 적용되는 이동기구(270a, 270b, 270c, 270d)의 구조에 대한 설명은 생략한다.

상기 사각플레이트(210)의 각 변에 설치되는 제1 플레이트(220a)와 제2 플레이트(220b, 220c, 220d) 상에는 이동가능하게 설치되는 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 230d)가 마련된다. 즉, 상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 230d)는 상기 제1 플레이트(220a)와 제2 플레이트(220b, 220c, 220d) 상에서 후술할 수직구동부(250a, 250b, 250c, 250d)에 의하여 각 변(邊)의 길이 방향과 수직하게 자동이동될 수 있도록 설치된다.

이와 같이, 상기 제1 플레이트(220a)와 제2 플레이트(220b, 220c, 220d) 상 에서 상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 230d)가 이동되는 이유는, 평판디스플레이 패널(280)의 다양한 사이즈에 효과적으로 대응하기 위해서이다.

즉, 특정 사이즈의 평판디스플레이 패널(280)을 검사하다가 더 작은 사이즈의 평판디스플레이 패널을 검사하고자 하는 경우에는, 상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 230d)를 사각플레이트(210)의 개구부(211) 중심 방향으로 이동시키고, 더 큰 사이즈의 평판디스플레이 패널을 검사하고자 하는 경우에는, 상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 230d)를 사각플레이트(210)의 개구부(211) 중심 방향에서 멀어지게 이동시켜 변경된 사이즈의 평판디스플레이 패널(280)을 검사할 수 있다.

이와 같이, 검사할 평판디스플레이 패널의 사이즈가 변경되더라도 상기 사각플레이트(210) 전부를 교체할 필요 없이, 상기 보조플레이트(230a, 230b)만을 각 변(邊)의 길이방향과 수직방향으로 이동시킴으로써 변경된 평판디스플레이 패널(280)을 검사할 수 있게 된다.

상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 230d) 상에는 물체를 감지하기 위하여, 발신부와 수신부가 일체로 이루어진 광센서, 초음파 센서, 접촉센서 중 하나가 더 구비되는 것이 바람직하다. 특정 사이즈의 평판디스플레이 패널을 검사하다가 더 작은 사이즈의 평판디스플레이 패널을 검사하고자 하는 경우에는, 상기 보조플레이트(230a, 230b)를 사각플레이트(210)의 개구부(211) 중심 방향으로 이동시키는데, 이때 상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 230d) 간에 충돌이 일어날 수 있으므로, 상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 230d) 상의 양 측단에 센서(235a, 235b, 235c, 235d)를 설치하여 상기와 같은 충돌을 방지할 수 있다.

한편, 상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 230d)는 상기 제1 플레이트(220a)와 제2 플레이트(220b, 220c, 220d) 상에 설치된 수직구동부(250a, 250b, 250c, 250d)에 의해서 상기 사각플레이트(210)의 개구부 중심 방향으로 이동된다.

상기 수직구동부(250a, 250b, 250c, 250d)의 구조에 대해서는 도 13에 도시되어 있다. 이하에서는, 상기 수직구동부(250a, 250b, 250c, 250d)들은 동일한 구조를 가지고 있기 때문에 상기 제1 플레이트(220a) 상에 설치된 수직구동부(250a)를 대표로 하여 설명한다.

도 13에 도시된 바와 같이, 상기 수직구동부(250a)는 제1 플레이트(220a) 상에 부착설치되는 한쌍의 L/M 가이드(251a)와 상기 L/M 가이드(251a)와 맞물려 슬라이딩되는 결합판(252a)과 상기 결합판(252a)을 상기 L/M 가이드(251a)를 따라 이동시키는 동력발생부(257a)로 이루어져 있다.

상기 L/M 가이드(251a)는 두개로 구성되어 상기 제1 플레이트(220a) 상에 평행하게 설치되되, 상기 사각플레이트(210) 변(邊)의 길이방향과 수직하게 설치된다. 그리고 상기 L/M 가이드(251a)와 상기 결합판(252a)의 하부에 평행하게 마련된 L/M 결합체(253a)가 맞물려서 슬라이딩될 수 있는 구조를 가진다.

상기 결합판(252a)의 상부에는 보조플레이트(230a)가 결합되어 있다. 따라서, 상기 동력발생부(257a)에 의하여 상기 결합판(252a)을 이동시키면, 상기 보조플레이트(230a)가 상기 점등 테스트 본체(210)의 개구부 중심 방향으로 이동된다.

한편, 상기 동력발생부(257a)는 상기 결합판(252a)을 상기 사각플레이트(210) 각 변(邊)의 길이 방향과 수직하게 이동시킬 수 있도록 마련되어야 한다.

상기 결합판(252a)을 이동시키기 위한 방법으로, 상기 결합판(252a)과 고정결합되는 샤프트(미도시)와, 이 샤프트에 동력을 전달하는 에어실린더(미도시)에 의하여 상기 이동부를 이동시킬 수 있다.

그러나, 본 발명에서는 상기 결합판(252a)의 정확한 이동과 안전한 이동을 위하여 스크류사프트(255a)와 서보모터(256a)를 이용하여 상기 결합판(252a)을 이동시킨다.

즉, 도 13에 도시된 바와 같이, 상기 결합판(252a) 하측면에 너트결합체(258a)를 더 마련하고, 상기 구동부(257a)는 상기 너트결합체(258a)와 나사결합하여 연동하는 스크류사프트(255a)와 상기 스크류사프트(255a)를 회전시키는 서보모터(256a)로 구성하여 상기 결합판(252a)을 각 변(邊)의 길이 방향으로 안정성 있게 이동시킨다.

따라서, 상기 수직구동부(250a)에 의하여 상기 보조플레이트(230a)를 이동시키기 위해서는, 제어부(미도시)의 제어에 따라 서보모터(256a)를 구동하고, 구동된 서보모터(256a)는 스크류사프트(255a)를 회전시킨다. 그러면, 상기 스크류사프트(255a)와 나사결합되어 연동하는 너트결합체(258a)에 동력이 전달되어 상기 결합판(252a)은 상기 L/M 가이드(251a)를 따라 이동하게 된다.

상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 240d)에는 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이 복수의 프로브(245a, 245b)들이 장착된 프로브플레이트(240a, 240b)가 탈부착 가능하게 결합된다.

한편, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 240d) 또는 상기 프로브플레이트(240a, 240b, 240c, 240d)는 측단에 카메라(260a, 260b)를 포함하고 있다. 즉, 상기 카메라(260a, 260b) 중 카메라(260a)는 상기 보조플레이트(230a)의 일단에 각각 설치되고, 카메라(260b)는 상기 프로브플레이트(240b)의 일단에 설치된다.

즉, 상기 보조플레이트(230a)에 설치되는 카메라(260a)는 도 11 또는 도 12에 도시된 바와 같이, 양 측단에 각각 설치되고, 상기 프로브플레이트(240b)에 설치되는 카메라(260b)는 상기 보조플레이트(230a)에 이웃하지 않는 일측에만 설치된다. 이와 같이 복수개의 카메라를 설치하여 평판디스플레이 패널(280) 상에 표시된 정렬마크(281)를 촬영하기 위하여 정렬마크(281)와 대응되게 설치된다.

상기 프로브플레이트(240a, 240b)의 측단 또는 상기 보조플레이트(230a, 230b) 측단에 배치되는 카메라들(260a, 260b)은 X, Y, Z축으로 이동 가능하고, 상기 평판디스플레이 패널(280) 상에 표시된 정렬마크(281)를 촬영한다.

상기 카메라(260a, 260b)에 의하여 촬영된 상기 평판디스플레이 패널(280) 상에 표시된 정렬마크(281)는 제어부(미도시)에 포함되는 모니터(290)(도 14의 (c), (d)에 도시됨) 상에 표시된다. 상기 모니터(290)에는 상기 카메라(260a, 260b)에 의하여 촬영된 상기 정렬마크(281)가 표시될뿐만 아니라, 상기 정렬마크(281)를 일치시키기 위한 기준마크(295)가 표시된다.

한편, 상기 카메라(260a, 260b)는 상기 정렬마크(281)를 촬영하지 않고 워크 테이블(282) 상에 표시된 마크(283)를 촬영하여 상기 모니터(290) 상에 표시할 수 있다. 즉, 상기 모니터(290)에는 상기 기준마크(295)와 상기 워크테이블(282) 상에 표시된 마크(283)를 표시시키고 상기 카메라(260a, 260b)를 이동시켜 상기 카메라(260a, 260b)에 의하여 촬영된 상기 워크테이블(282) 상에 마크(283)를 상기 모니터(290)의 기준마크(295)에 정렬시킨다.

이하, 도 14를 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판디스플레이 패널을 점등테스트 하는 방법에 대하여 설명한다.

도 14의 (a)는 특정 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널을 검사하기 위한 세팅 상태이다. 도시된 바와 같이, 사이즈가 변경된 검사할 평판디스플레이 패널(280)과 프로브플레이트(240a, 240b)에 장착된 프로브(245a, 245b) 간에는 거리가 떨어져 있어 전혀 정렬되지 않고 있다.

따라서, 변경된 평판디스플레이 패널(280)을 검사하기 위하여 새로운 세팅 작업을 수행하여야 한다.

먼저, 변경된 평판디스플레이 패널(280)을 검사하기 위해 적절한 프로브플레이트(240a, 240b)를 보조플레이트(230a, 230b) 상에 결합하여 프로브를 구비한 프로브플레이트(240a, 240b)를 평판디스플레이 패널(280) 사이즈에 대응하도록 위치를 변화시킨다. 즉, 상기 프로브플레이트(240a, 240b)는 검사할 평판디스플레이 패널의 사이즈에 따라 자신의 사이즈도 변경되므로, 해당 평판디스플레이 패널에 대응하는 프로브플레이트(240a, 240b)를 상기 보조플레이트(230a, 230b)에 결합하여 야 한다.

다음은, 변경된 평판디스플레이 패널(280)의 사이즈에 따라 상기 수직구동부(250a, 250b)를 구동시켜 상기 프로브플레이트(240a, 240b)를 상기 평판디스플레이 패널(280) 상측까지 전후진 이동시켜 프로브플레이트(240a, 240b)를 평판디스플레이 패널(280) 사이즈에 대응하도록 변화위치시킨다.

즉, 도 14의 (a)에 도시된 화살표 방향으로 상기 프로브플레이트(240a, 240b)를 이동시켜 평판디스플레이 패널(280) 상측에 상기 프로브플레이트(240a, 240b)가 위치하게 한다. 그러면, 도 14의 (b)에 도시된 바와 같이 상기 프로브플레이트(240a, 240b)와 상기 평판디스플레이 패널(280)은 대략적으로 정렬된 상태에 있게된다.

한편, 상기 프로브플레이트(240a, 240b)를 평판디스플레이 패널(280) 상측까지 이동시키는 과정에서, 보조플레이트(230a, 230b)의 양 측단에 마련된 초음파센서(235a, 235b)에 의하여 사각플레이트의 각 변에 설치된 상기 프로브플레이트(240a, 240b)간에 충돌이 발생하는지를 판단할 수 있다. 즉, 상기 이격 거리가 일정 이하가 되면 상기 초음파센서가 감지되고, 감지된 신호를 제어부(미도시)에 보냄으로써, 상기 프로브플레이트(240a, 240b)간에 충돌이 발생하는지를 판단할 수 있다.

상기와 같이, 수직구동부(250a, 250b)의 구동에 의하여 상기 프로브플레이트(240a, 240b)를 상기 평판디스플레이 패널(280)의 상측까지 이동시킨 후, 마이크로스코프(9, 도 4에 표시)를 통해 상기 프로브플레이트(240a, 240b)에 장착된 프로브(245a, 245b)의 검사팁(미도시)과 상기 평판디스플레이 패널(280) 상의 패드를 정렬한다.

상기 마이크로스코프(9, 도 4에 표시)에 의하여 상기 프로브(245a, 245b)의 검사팁(미도시)과 상기 평판디스플레이 패널(280)의 패드를 정렬하는 방법은, 먼저 제1 플레이트(220a) 상에서 이동가능하게 설치되는 상기 보조플레이트(230a)에 결합된 프로브플레이트(240a) 상에 포함된 프로브(245a)의 검사팁(미도시)과 상기 평판디스플레이 패널(280)의 패드를 정렬시킨다. 그런 다음, 제2 플레이트(220b) 상에서 이동가능하게 설치된 상기 보조플레이트(230b)에 결합된 프로브플레이트(240b) 상에 포함된 프로브(245b)의 검사팁(미도시)을 상기 평판디스플레이 패널(280)의 패드와 정렬한다.

즉, 상기 제1 플레이트(220a)에 결합되는 보조플레이트(230a)에 결합된 프로브플레이트(240a) 상의 프로브(245a)의 검사팁(미도시)과 평판디스플레이 패널(280)의 패드를 정렬하기 위해서는 상기 평판디스플레이 패널(280)이 놓여지는 워크테이블(282)을 이동시켜 정렬한다. 즉, 상기 제1 플레이트(220a)는 이동되지 않고 사각플레이트(210)의 일변(一邊)에 고정부착되어 있기 때문에 상기 평판디스플레이 패널(280)이 놓여지는 워크테이블(282)을 이동시켜 정렬시킨다.

만약 도 12의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(220a)가 이동기구(270d)에 의하여 이동될 수 있도록 구성한다면, 상기와 같이 워크테이블(282)을 이동시키지 않고 상기 이동기구(270d)를 구동시켜 상기 프로브(245a)와 평판디스플레이 패널(280)의 패드를 정렬시킬 수 있다.

상기 워크테이블(282)을 이동시키거나, 상기 이동기구(270d)를 구동시켜 상기 제1 플레이트(220a) 상에 이동가능하게 설치되는 상기 프로브플레이트(240a) 상에 장착된 프로브(245a)의 검사팁(미도시)과 평판디스플레이 패널(280)의 패드를 정렬한 후에는, 상기 제2 플레이트(220b)에 이동가능하게 설치된 보조플레이트(230b)에 결합된 프로브플레이트(240b) 상에 장착된 프로브(245b)의 검사팁(미도시)과 평판디스플레이 패널(280)의 패드를 정렬한다.

상기 제2 플레이트(220b) 상에서 이동가능하게 설치되는 보조플레이트(230b)에 결합된 프로브플레이트(240b)에 장착된 프로브(245b)의 검사팁(미도시)과 워크테이블 상에 놓여있는 평판디스플레이 패널(280)의 패드를 정렬시키기 위해서는, 사각플레이트(210) 상에 마련되는 이동기구(270a)를 구동시켜 제2 플레이트(220b)를 이동시켜 이루어진다.

상기와 같은 동작에 따라 마이크로스코프(9, 도 4에 표시)에 의하여 프로브플레이트(240a, 240b) 상에 장착된 프로브(245a, 245b)와 워크테이블 상에 놓여진 평판디스플레이 패널(280)을 정렬시킨 후, 카메라를 이동시켜 모니터(290) 상에 표시된 기준마크(295)와 상기 평판디스플레이 패널(280) 상에 표시된 정렬마크(281)를 일치시켜 카메라를 세팅한다.

상기 기준마크(295)와 정렬마크(281)를 일치시키기 위해서는, 먼저 상기 제1 플레이트(220a) 상에 이동가능하게 설치된 보조플레이트(230a)에 설치된 카메라(260a)와 상기 제2 플레이트(220b) 상에 이동가능하게 설치된 보조플레이트(230b)에 결합된 상기 프로브플레이트(240b) 상에 설치된 카메라(260b)가 상기 평판디스플레이 패널(280) 상에 표시된 정렬마크(281)를 촬영하여 상기 모니터(290) 상에 표시한다.

상기와 같이 카메라(260a 260b)에 의하여 촬영된 정렬마크(281)가 상기 모니터(290) 상에 표시되면, 도 14의 (c)에 도시된 바와 같이, 모니터(290) 상에 표시된 기준마크(295)에 어긋나서 표시되는 것이 일반적이다.

상기와 같이, 모니터(290) 상에 표시된 기준마크(295)와 정렬마크(281)가 일치하지 않고 어긋나는 경우에는, 도 14의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 카메라(260a, 260b)를 X, Y, Z축으로 이동시켜 상기 정렬마크(281)를 상기 기준마크(295)에 일치시킨다.

상기 기준마크(295)와 정렬마크(281)가 일치되면, 상기 카메라(260a, 260b)에 의하여 촬영된 상기 정렬마크(281)의 위치를 좌표값으로 획득하여, 상기 좌표값을 제어부(미도시)에 포함되는 메모리(미도시)에 저장한다. 이후에, 동일한 종류의 평판디스플레이 패널(280)이 워크테이블(282)에 계속적으로 올려져도 상기 메모리 상에 저장된 워크테이블(282)의 X,Y,Z 및 θ 좌표값에 의한 제어부의 제어신호에 따라 워크테이블(282)이 신속하게 이동되어 평판디스플레이 패널(280)이 프로브플레이트(240a, 240b)의 프로브(245a, 245b)에 얼라인된다. 즉, 상기 평판디스플레이 패널(280)의 패드(미도시)에 상기 프로브(245a, 245b)의 검사팁(미도시)이 얼라인된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 구성수단으로 이루어져 있는 본 발명인 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등테스트 장치 및 방법에 관한 바람직한 제3 실시예를 상세하게 설명한다.

도 15는 본 발명의 제3 실시예에 따른 평판디스플레이 검사장치 검사부의 점등테스트 장치의 구성도이다.

도 15에 도시된 바와 같이, 본 발명인 평판디스플레이 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치(400)는, 네개의 변을 가지는 사각판형의 사각플레이트(310), 상기 사각플레이트(310)의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트(320a), 상기 사각플레이트(310)의 다른 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트(320b), 상기 제1 플레이트(320a)와 제2 플레이트(320b)에 탈부착할 수 있도록 결합되되, 평판디스플레이 패널(380)의 사이즈에 대응하여 다양한 크기를 가지는 프로브플레이트(330a, 330b)와, 상기 평판디스플레이 패널(380) 상의 정렬마크(381)와 기준마크(395)를 정렬하여 상기 워크테이블(382)의 기준 좌표값을 설정하는 위치설정수단을 포함하여 이루어진다.

한편, 상기 위치설정수단은 상기 프로브플레이트(330a, 330b)의 측면에 배치되되, 상기 평판디스플레이 패널(380)의 정렬마크(381)를 촬영하는 카메라(350a, 350b)와, 상기 카메라(350a, 350b)에 의해 촬영된 정렬마크(381)를 모니터(390, 도 18의 (c)에 표시)에 표시된 기준마크(395, 도 18의 (c)에 표시)와 일치시켜 상기 워크테이블(382)의 기준 좌표값을 설정하고 상기 기준 좌표값에 따라 상기 워크테이블(382)을 구동하는 제어부를 포함하여 이루어진다.

그리고, 상기 제1 플레이트(320a)와 상기 제2 플레이트(320b) 중 적어도 하나는 상기 본체(310) 소정부분에 설치되는 이동기구에 의해 사각플레이트(310)의 변의 길이 방향으로 이동가능하게 설치된다.

상기 사각플레이트(310)는 네개의 변(邊)을 가지는 사각판형으로 이루어져 있다. 그리고 평판디스플레이 패널(380)을 프로빙하기 위한 공간을 마련하기 위하여 내부에 개구부(311)를 가지고 있다. 상기 사각플레이트(310)의 각 변(邊)에는 제1 플레이트(320a), 제2 플레이트(320b)가 결합되고, 상기 제2 플레이트(320b)를 이동시키기 위한 이동기구(360a)가 마련된다.

한편, 상기 사각플레이트(310)는 힌지구조에 의하여 사각틀 본체를 개방할 수 있는 종래와 달리 평판디스플레이 패널 검사장치에 고정되어 있다. 즉, 본 발명은 평판디스플레이 패널의 사이즈에 대응하여 검사부를 세팅하기 위해서는, 사각플레이트를 개방하는 것이 아니라, 사각플레이트(310)에 결합되는 제1 플레이트(320a), 제2 플레이트(320b) 및 프로브플레이트(330a, 330b) 등을 탈부착하면 된다.

상기 제1 플레이트(320a)는 상기 사각플레이트(310)의 네 변(邊)중에 하나의 변인 제1 변에 구비된다. 즉, 도 15에 도시된 바와 같이, 상기 사각플레이트(310)의 네 변(邊)중 상측에 존재하는 제1 변(邊)에 구비된다. 상기 제1 플레이트(320a)는 상기 사각플레이트(310) 상에 고정 설치되거나 이동가능하게 설치된다.

상기 제1 플레이트(320a)와 달리 상기 사각플레이트(310) 상에서 이동할 수 있는 제2 플레이트(320b)는 상기 제1 플레이트(320a)와 이웃하는 상기 사각플레이트(310)의 제2 변(邊)에 설치된다. 즉, 도 15에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(320a)가 구비된 변(邊)과 이웃하는 좌측 변(邊)에 상기 제2 플레이트(320b)를 이동가능하게 설치한다.

한편, 상기 제2 플레이트(320b, 320c)는 도 16의 (a)에 도시된 바와 같이 상 기 제1 플레이트(320a)가 구비된 변과 이웃하는 좌측 변 및 우측 변에 각각 설치될 수 있다.

또한, 도 16의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 제2 플레이트(320b, 320c, 320d)는 상기 제1 플레이트(320a)가 구비된 변과 이웃하는 좌, 우측 변뿐만 아니라, 상기 제1 플레이트(320a)가 구비된 변과 마주보는 변에도 이동가능하게 설치될 수 있다.

더 나아가, 도 16의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(320a)가 설치되는 상기 사각플레이트(310) 상에 상기 이동기구(360d)가 더 설치되어, 상기 제1 플레이트(320a)를 상기 일변의 길이 방향으로 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 사각플레이트(310) 네 변에 설치되는 하나의 제1 플레이트(320a)와 세개의 제2 플레이트(320b, 320c, 320d)는 상기 사각플레이트(310) 상에 설치되는 네개의 이동기구(360a, 360b, 360c, 360d)에 의하여 이동시킬 수 있다. 또한, 상기 제1 플레이트(320a)는 상기 사각플레이트(310) 상에 고정된 상태로 설치될 수 있다.

상기 제1 플레이트(320a)가 구비된 상기 사각플레이트(310)의 일변(邊)을 제외한 세개의 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트(320b, 320c, 320d)는 상기 사각플레이트(310) 상에 설치되는 이동기구(360a, 360b, 360c)에 의하여 각 변(邊)의 길이 방향으로 이동될 수 있다. 물론, 도 16의 (c)에 도시된 바와 같이 상기 사각플레이트(310) 상에 별도의 이동기구(360d)를 더 마련한 경우에는 상기 제1 플레이트(320a)도 변(邊)의 길이방향으로 이동될 수 있다. 이 경우에는 상기 제1 플레이트(320a)와 제2 플레이트(320b) 중 적어도 하나는 상기 이동기구(360a, 360d)에 의하여 본체 상에서 이동될 수 있다.

상기 이동기구(360a, 360b, 360c, 360d)는 도 15 및 도 16에 도시된 바와 같이 상기 사각플레이트(310) 상의 소정 위치에 마련된다.

상기 제2 플레이트(320b, 320c, 320d)가 설치되는 상기 사각플레이트(310)의 각 변(邊)에 마련되는 이동기구(360a, 360b, 360c)는 제1 및 제2 실시예에서 설명한 이동기구와 동일한 구조를 가지고 동일한 동작에 따르므로 이에 대한 설명은 생략한다.

상기 사각플레이트(310)의 각 변에 설치되는 제1 플레이트(320a)와 제2 플레이트(320b)에는 다양한 크기를 가지는 프로브플레이트(330a, 330b)가 탈부착 가능하게 결합된다. 상기 프로브플레이트(330a, 330b)에는 복수의 프로브(340a, 340b)들이 장착되어 있고, 측면에는 평판디스플레이 패널(380) 상에 표시된 정렬마크(381)를 촬영할 수 있는 카메라(350a, 350b)가 부착되어 있다.

상기 프로브플레이트(330a, 330b)는 다양한 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(380)에 대응하여 다양한 크기를 가진다. 즉, 상기 프로브플레이트(330a, 330b)는 검사할 평판디스플레이 패널들의 사이즈에 대응할 수 있도록 다양한 크기로 사전에 제작되어 있다.

따라서, 특정 사이즈의 평판디스플레이 패널(380)을 검사하다가 새롭게 더 작은 사이즈의 평판디스플레이 패널(380)을 검사하고자 하는 경우에는, 상기 특정 사이즈의 평판디스플레이 패널(380)을 검사하기 위한 프로브플레이트(330a, 330b)를 탈착한 후 상기 새롭게 검사할 평판디스플레이 패널(380)에 대응할 수 있도록 더 큰 프로브플레이트(330a, 330b)를 상기 제1 및 제2 플레이트(320a, 320b)에 부착하고, 더 큰 사이즈의 평판디스플레이 패널(380)을 검사하고자 하는 경우에는, 기존의 프로브플레이트를 탈착하고 새롭게 검사할 평판디스플레이 패널(380)에 대응할 수 있도록 더 작은 프로브플레이트를 상기 제1 및 제2 플레이트(320a, 320b)에 부착하여 새로운 평판디스플레이 패널(380)을 검사할 수 있다.

이와 같이, 검사할 평판디스플레이 패널(380)의 사이즈가 변경되더라도 상기 사각플레이트(310) 전부를 교체할 필요 없이, 상기 다양한 크기를 가지는 프로브플레이트(330a, 330b)만을 탈부착함으로써 변경된 평판디스플레이 패널(380)을 검사할 수 있게 된다.

도 17은 상기 다양한 평판디스플레이 패널(380)에 대응할 수 있도록 제작된 다양한 크기를 가지는 프로브플레이트가 제1 및 제2 플레이트에 결합된 구성도이다.

도 17의 (a)에서 도 17의 (c)로 갈 수록 검사할 평판디스플레이 패널(380, 380', 380")의 사이즈는 작아지는 반면, 상기 제1 및 제2 플레이트(320a, 320b)에 결합되는 프로브플레이트(330a, 330b, 330a', 330b', 330a", 330b")들은 더 커지는 것을 볼 수 있다. 예를 들면, 상기 도 17의 (a)에 도시된 프로브플레이트(330a, 330b)는 50인치의 평판디스플레이 패널(380)을 검사할 수 있는 크기(L1, L2)를 가지고, 도 17의 (b)에 도시된 프로브플레이트(330a', 330b')는 40인치 평판디스플레이 패널(380)을 검사할 수 있도록 상기 도 17의 (a)에 도시된 프로브플레이트(330a, 330b)의 크기(L1, L2)보다 더 큰 사이즈(L3, L4)를 가지며, 도 17의 (c)에 도시된 프로브플레이트(330a", 330b")는 30인치 평판디스플레이 패널을 검사할 수 있도록 상기 도 17의 (b)에 도시된 프로브플레이트(330a', 330b')의 크기(L3, L4)보다 더 큰 사이즈(L5, L6)를 가진다.

즉, 검사할 평판디스플레이 패널(380)의 사이즈가 작아지게 되면, 도 17에 도시된 바와 같이 프로브플레이트(330a, 330a', 330a", 330b, 330b', 330b") 상에 장착되는 프로브(340a, 340b)의 개수는 적어지고, L1〈 L3〈 L5, L2〈 L4〈 L6의 관계를 가진다.

한편, 도 15 내지 도 17에 도시된 바와 같이, 상기 프로브플레이트(330a, 330b)들에는 평판디스플레이 패널(380) 상에 표시된 정렬마크(381)를 촬영하기 위하여 카메라(350a, 350b)가 배치되고, 복수의 프로브(340a, 340b)들이 장착된다.

상기 카메라(350a, 350b)는 상기 제1 플레이트(320a)에 탈부착되는 프로브플레이트(330a)의 양측면과 상기 제2 플레이트(320b)에 탈부착되는 프로브플레이트(330b)의 일측면에 설치된다. 다만, 상기 카메라(350a, 350b)가 촬영할 평판디스플레이 패널(380) 상의 정렬마크(381) 3개를 적절하게 촬영하기 위하여 상기 제2 플레이트(320b)에 결합된 프로브플레이트(330b)의 일측면에 설치된 카메라(350b)는 상기 제1 플레이트(320a)에 결합된 프로브플레이트(330a)에 이웃하지 않는 일측면에 설치된다.

상기와 같이 3개의 카메라(350a, 350b)를 설치하여 평판디스플레이 패널(380) 상에 표시된 정렬마크(381)를 촬영한다. 즉, 상기 카메라(350a, 350b)는 정렬마크(381) 개수만큼 구비되고, 정렬마크(381) 위치에 대응되도록 설치된다.

상기 제1 플레이트(320a)에 결합된 프로브플레이트(330a)의 양측면 또는 상기 제2 플레이트(320b)에 결합된 프로브플레이트(330b)의 일측면에 배치되는 카메라들(350a, 350b)은 X, Y, Z축으로 이동 가능하고, 상기 평판디스플레이 패널(380) 상에 표시된 정렬마크(381)를 촬영한다.

상기 카메라(350a, 350b)에 의하여 촬영된 상기 평판디스플레이 패널(380) 상에 표시된 정렬마크(381)는 제어부(미도시)에 포함되는 모니터(390)(도 18의 (c), (d)에 도시됨) 상에 표시된다. 상기 모니터(390)에는 상기 카메라(350a, 350b)에 의하여 촬영된 상기 정렬마크(381)가 표시될뿐만 아니라, 상기 정렬마크(381)를 일치시키기 위한 기준마크(395)가 표시된다.

즉, 상기 모니터(390)에는 상기 기준마크(395)와 정렬마크(381)를 표시시키고, 상기 카메라(350a, 350b)를 X, Y, X축으로 이동시켜 상기 카메라(350a, 350b)에 의하여 촬영된 정렬마크(381)를 상기 기준마크(395)에 정렬시킨다.

한편, 상기 카메라(350a, 350b)는 상기 정렬마크(381)를 촬영하지 않고 워크테이블(382) 상에 표시된 마크(383)를 촬영하여 상기 모니터(390) 상에 표시할 수 있다. 즉, 상기 모니터(390)에는 상기 기준마크(395)와 상기 워크테이블(382) 상에 표시된 마크(383)를 표시시키고 상기 카메라(350a, 350b)를 이동시켜 상기 카메라(350a, 350b)에 의하여 촬영된 상기 워크테이블(382) 상에 마크(383)를 상기 모니터(390)의 기준마크(395)에 정렬시킨다.

이하, 도 18을 참조하여 평판디스플레이 패널을 얼라인 하는 방법에 대하여 설명한다.

도 18의 (a)는 특정 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(380)을 검사하기 위한 세팅 상태이다. 즉, 특정 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(380)을 검사하기 위하여 제1 플레이트(320a)와 제2 플레이트(320b)에는 상기 특정 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(380)에 대응하는 소정의 크기를 가지는 프로브플레이트(330a, 330b)가 결합되어 있다.

상기 도 18의 (a)와 같은 세팅 상태에서 새롭게 더 작은 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(380)을 검사하기 위해서, 도 18의 (b)와 같이 상기 도 18의 (a)에 도시된 프로브플레이트(330a, 330b)를 탈착하고 새롭게 검사할 평판디스플레이 패널(380)의 사이즈에 대응할 수 있도록 상기 도 18의 (a)에 도시된 프로브플레이트(330a, 330b)의 크기보다 더 큰 사이즈의 프로브플레이트(330a', 330b')를 상기 제1 및 제2 플레이트(320a, 320b)에 부착한다.

상기와 같이 더 작은 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(380)을 검사하기 위해서는, 도 18의 (a)에 도시된 바와 같이 L7과 L8의 폭을 가지는 기존의 프로브플레이트(330a, 330b)를 탈착하고 L9와 L10의 폭을 가지는 더 큰 사이즈의 프로브플레이트(330a', 330b')를 새롭게 제1 및 제2 플레이트(320a, 320b)에 부착하면 간단하게 세팅이 이루어진다. 즉, 검사할 평판디스플레이 패널(380)의 사이즈가 변경되더라도, 사각플레이트(310) 전부를 교체할 필요없이 검사할 평판디스플레이 패널(380)에 대응하기 위하여 다양한 크기를 가지는 프로브플레이트(330a, 330a', 330b, 330b')만 탈부착함으로써, 간단하게 세팅를 할 수 있다.

즉, 상기와 같이 새롭게 세팅이 이루어지는 과정에서 프로브플레이트(330a, 330a', 330b, 330b')에 장착되는 프로브(340a, 340b)의 개수는 작아지고, L7〈 L9, L8〈 L10의 관계가 발생한다.

상기와 같이 변경된 평판디스플레이 패널(380)을 검사하기 위하여, 제1 및 제2 플레이트(320a, 330b)와 프로브플레이트(330a', 330b')를 결합하여 세팅한 후에는, 상기 변경된 평판디스플레이 패널(380) 상의 패드(미도시)와 상기 프로브플레이트(330a', 330b') 상에 장착된 복수의 프로브(340a, 340b)의 검사팁(미도시)을 정렬시킨다. 상기 복수의 프로브(340a, 340b)의 검사팁과 평판디스플레이 패널(380) 상의 패드의 정렬은 마이크로스코프(9, 도 4에 표시)를 이용하여 수동으로 정렬한다.

상기 마이크로스코프(9, 도 4에 표시)에 의하여 상기 프로브(340a, 340b)와 상기 평판디스플레이 패널(380)의 패드를 정렬하는 방법은, 먼저 제1 플레이트(320a)에 결합된 프로브플레이트(330a) 상에 포함된 프로브(340a)의 검사팁(미도시)과 상기 평판디스플레이 패널(380)의 패드를 정렬시킨다. 그런 다음, 제2 플레이트(320b)에 결합된 프로브플레이트(330b) 상에 포함된 프로브(340b)의 검사팁(미도시)을 상기 평판디스플레이 패널(380)의 패드와 정렬한다.

상기 제1 플레이트(320)에 결합된 프로브플레이트(330a) 상의 프로브(340a)의 검사팁(미도시)과 평판디스플레이 패널(380)의 패드를 정렬하기 위해서는 상기 평판디스플레이 패널(380)이 놓여지는 워크테이블(382)을 이동시켜 정렬한다. 즉, 상기 제1 플레이트(320a)는 이동되지 않고 사각플레이트(310)의 일변(一邊)에 고정부착되어 있기 때문에 상기 평판디스플레이 패널(380)이 놓여지는 워크테이블(382)을 이동시켜 정렬시킨다.

만약 도 16의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(320a)가 이동기구(360d)에 의하여 이동될 수 있도록 구성한다면, 상기와 같이 워크테이블(382)을 이동시키지 않고 상기 이동기구(360d)를 구동시켜 상기 프로브(340a)의 검사팁(미도시)과 평판디스플레이 패널(380)의 패드를 정렬시킬 수 있다.

상기 워크테이블(382)을 이동시키거나, 상기 이동기구(360d)를 구동시켜 상기 제1 플레이트(320a)에 결합되는 프로브플레이트(330a) 상에 장착된 프로브(340a)와 평판디스플레이 패널(380)의 패드를 정렬한 후에는, 상기 제2 플레이트(320b)에 결합된 프로브플레이트(330b) 상에 장착된 프로브(340b)와 평판디스플레이 패널(380)의 패드를 정렬한다.

상기 제2 플레이트(320b)에 결합된 프로브플레이트(330b)에 장착된 프로브(340b)의 검사팁(미도시)과 워크테이블(382) 상에 놓여있는 평판디스플레이 패널(380)의 패드를 정렬시키기 위해서는, 사각플레이트(310) 상에 마련되는 이동기구(360a)를 구동시켜 제2 플레이트(320b)를 이동시켜 이루어진다.

상기와 같은 동작에 따라 마이크로스코프(9, 도 4에 표시)에 의하여 프로브플레이트(330a, 330b) 상에 장착된 프로브(340a, 340b)와 워크테이블(382) 상에 놓여진 평판디스플레이 패널(380)을 정렬시킨 후에는 카메라(350a, 350b)를 이동시켜 모니터(390) 상에 표시된 기준마크(395)와 상기 평판디스플레이 패널(380) 상에 표시된 정렬마크(381)를 일치시켜 카메라(350a, 350b)를 세팅시킨다.

상기 기준마크(395)와 정렬마크(381)를 일치시키기 위해서는, 먼저 상기 제1 플레이트(320a) 및 제2 플레이트(320b)에 결합된 상기 프로브플레이트(330a, 330b) 상에 설치된 카메라(350a, 350b)가 상기 평판디스플레이 패널(380) 상에 표시된 정렬마크(381a)를 촬영하여 상기 모니터(390) 상에 표시한다.

상기와 같이 카메라(350a 350b)에 의하여 촬영된 정렬마크(381)가 상기 모니터(390) 상에 표시되면, 도 18의 (c)에 도시된 바와 같이, 모니터(390) 상에 표시된 기준마크(395)에 어긋나서 표시되는 것이 일반적이다.

상기와 같이, 모니터(390) 상에 표시된 기준마크(395)와 정렬마크(381a)가 일치하지 않고 어긋나는 경우에는, 도 18의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 카메라(350a, 350b)를 X, Y, Z축으로 이동시켜 상기 정렬마크(381)를 상기 기준마크(395)에 일치시킨다.

상기 기준마크(395)와 정렬마크(381b)가 일치되면, 카메라(350a, 350b)의 X, Y, Z축 위치를 고정하여 카메라(350a, 350b)의 초기 세팅을 완료한 후, 상기 카메라(350a, 350b)에 의하여 촬영된 상기 정렬마크(381)의 위치를 기준으로 워크테이블(382)의 X, Y, Z 및 세타 좌표값을 획득하여, 상기 좌표값을 제어부(미도시)에 포함되는 메모리(미도시)에 저장한다. 이후에, 동일한 종류의 평판디스플레이 패널(380)이 워크테이블(382)에 계속적으로 올려져도 상기 메모리 상에 저장된 워크테이블(382)의 X,Y,Z 및 θ 좌표값에 의한 제어부의 제어신호에 따라 워크테이블(382)이 신속하게 이동되어 평판디스플레이 패널(380)이 프로브플레이트(330a', 330b')의 프로브(340a, 340b)에 얼라인된다. 즉, 상기 평판디스플레이 패널(380)의 패드(미도시)에 상기 프로브(340a, 340b)의 검사팁(미도시)이 얼라인된다.

상기와 같은 구성 및 작용 그리고 바람직한 실시예를 가지는 본 발명인 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치 및 그 방법에 의하면, 검사 대상의 평판디스플레이 패널 사이즈가 변경되더라도 점등테스트 장치 구성부품 전체를 교체할 필요가 없기 때문에 유지보수를 위한 공간이 적어지고, 변경된 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널을 검사하기 위한 장치의 세팅 시간을 줄일 수 있는 효과가 있다.

또한, 검사 대상의 평판디스플레이 패널 사이즈가 변경되더라도, 대체적으로 가벼운 보조플레이트와 프로브플레이트만을 간단히 탈부착하여 세팅이 이루어지므로, 점등테스트 장치 구성부품 전체를 교체해야 하는 종래와 달리 작업자의 안전문제를 해결할 수 있는 효과가 있다.

또한, 변경된 평판디스플레이 패널과 프로브를 얼라인하기 위하여 사각플레이트 소정의 위치에 이동기구를 마련함으로써, 종래와 달리 정확한 정렬이 가능하고, 정렬 작업이 간소하며 정렬시간이 단축되는 효과가 있다.

한편, 모니터에 표시되는 기준마크와 카메라에 의하여 촬영된 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크를 일치시켜 평판디스플레이 패널의 위치 좌표값을 저장함으로써, 정렬 과정이 간소해지는 효과가 있다.

또한, 동일한 종류의 평판디스플레이 패널이 워크테이블에 계속적으로 올려져도 메모리 상에 저장된 워크테이블의 X,Y,Z 및 θ 좌표값에 의한 제어부의 제어신호에 따라 워크테이블이 신속하게 이동되어 평판디스플레이 패널이 프로브플레이트의 프로브에 얼라인 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.

또한, 검사 대상의 평판디스플레이 패널 사이즈가 변경되더라도, 프로브플레이트를 자동으로 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하는 위치까지 이동시켜 세팅이 이루어지므로, 점등테스트 장치 구성부품 전체를 교체해야 하는 종래와 달리 작업자의 안전문제를 해결할 수 있는 효과가 있다.

또한, 검사 대상의 평판디스플레이 패널 사이즈가 변경되더라도, 다양한 크기의 평판디스플레이 패널에 대응하는 프로브플레이트만을 간단히 탈부착하여 세팅이 이루어지므로, 점등테스트 장치 구성부품 전체를 교체해야 하는 종래와 달리 작업자의 안전문제를 해결할 수 있는 효과가 있다.

Claims

패널공급부로부터 이송받은 평판디스플레이 패널을 워크테이블에 위치시켜 평판디스플레이 패널의 점등 상태를 테스트하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치에 있어서,

네개의 변을 갖는 사각판형이되, 내부에 개구부를 가지는 사각플레이트와;

상기 사각플레이트의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트와;

상기 제1 플레이트와 이웃하는 상기 사각플레이트의 변(邊)에 이동가능하게 설치되는 제2 플레이트와;

상기 제1 플레이트와 제2 플레이트에 탈부착 가능하게 결합되되, 상기 평판디스플레이 패널의 사이즈에 따라 상기 사각플레이트의 개구부 중심 방향으로 연속해서 결합될 수 있는 적어도 하나의 보조플레이트와;

상기 제1 플레이트, 제2 플레이트 또는 상기 사각플레이트의 개구부 중심에 가장 가까운 보조플레이트에 탈부착 가능하게 결합되되, 복수의 프로브들이 장착되어 있는 프로브플레이트와;

상기 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크와 가상의 기준마크를 정렬하여 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하는 위치설정수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.
청구항 1에 있어서,

상기 제1 플레이트와 제2 플레이트 중 적어도 하나는 상기 본체 상에 설치되는 이동기구에 의해 사각플레이트의 변(邊)의 길이 방향으로 이동가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.
청구항 1에 있어서,

상기 제1 플레이트와 마주보는 상기 사각플레이트의 변(邊)에는 이동기구에 의하여 변(邊)의 길이방향으로 이동가능한 제2 플레이트가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.
청구항 2 또는 청구항 3항에 있어서,

상기 이동기구는 상기 사각플레이트 상에 변(邊) 방향으로 배치된 한 쌍의 가이드부와, 상기 가이드부와 맞물려 이동하되, 상기 제2 플레이트와 결합되는 판상의 이동부와, 상기 이동부를 상기 가이드 상에서 상기 사각플레이트의 변 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.
청구항 4에 있어서,

상기 이동부 하측면에 너트결합체를 더 마련하고,

상기 구동부는 상기 너트결합체와 나사결합하여 연동하는 스크류사프트와, 상기 스크류사프트를 회전시키는 모터를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.
청구항 1에 있어서, 상기 위치설정수단은,

상기 평판디스플레이 패널의 정렬마크를 촬영하는 카메라와, 상기 카메라에 의해 촬영된 정렬마크를 모니터에 표시된 기준마크와 일치시켜 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하고 상기 기준 좌표값에 따라 상기 워크테이블을 구동하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.
패널공급부로부터 이송받은 평판디스플레이 패널을 워크테이블에 위치시켜 평판디스플레이 패널의 점등 상태를 테스트하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치에 있어서,

네개의 변을 갖는 사각판형이되, 내부에 개구부를 가지는 사각플레이트와;

상기 사각플레이트의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트와;

상기 제1 플레이트와 이웃하는 상기 사각플레이트의 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트와;

상기 제1 플레이트 및 제2 플레이트 중 적어도 하나는 사각플레이트 변의 길이 방향으로 이동가능하게 구비되는 이동기구와;

상기 제1 플레이트와 제2 플레이트 상에서 이동가능하게 설치되되, 상기 평판디스플레이 패널의 사이즈에 따라 상기 사각플레이트의 개구부 중심 방향으로 이동될 수 있는 보조플레이트와;

상기 보조플레이트를 수직이동시키는 수직구동부와;

상기 보조플레이트 상에 탈부착 가능하게 결합되되, 복수의 프로브들이 장착되어 있는 프로브플레이트와;

상기 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크를 촬영하기 위하여 프로브플레이트에 장착되는 카메라, 상기 카메라에 의하여 촬영된 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크와 비교하기 위한 가상의 기준마크가 표시되는 별도의 모니터를 구비한 위치설정수단; 을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.
삭제
청구항 7에 있어서,

상기 제1 플레이트와 마주보는 상기 사각플레이트의 변(邊)에는 이동기구에 의하여 변(邊)의 길이방향으로 이동가능한 제2 플레이트가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.
청구항 9에 있어서,

상기 이동기구는 상기 사각플레이트 상에 변(邊) 방향으로 배치된 한 쌍의 가이드부와, 상기 가이드부와 맞물려 이동하되, 상기 제2 플레이트와 결합되는 판상의 이동부와, 상기 이동부를 상기 가이드 상에서 상기 사각플레이트의 변 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.
청구항 10에 있어서,

상기 이동부 하측면에 너트결합체를 더 마련하고,

상기 구동부는 상기 너트결합체와 나사결합하여 연동하는 스크류사프트와, 상기 스크류사프트를 회전시키는 모터를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평 판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.
청구항 7에 있어서,

상기 보조플레이트 상의 양 측단에는 물체를 감지하기 위하여 광센서, 초음파센서, 접촉센서 중 하나가 구비되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.
청구항 7에 있어서, 상기 수직구동부는,

상기 제1 플레이트와 제2 플레이트 상에 부착설치되는 한쌍의 L/M 가이드와, 상기 L/M가이드와 맞물려 슬라이딩되되, 상기 보조플레이트와 결합되는 결합판과, 상기 결합판을 상기 L/M가이드를 따라 이동시키는 동력발생부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.
청구항 13에 있어서,

상기 결합판 하측면에 너트결합체를 더 마련하고,

상기 동력발생부는 상기 너트결합체와 나사결합하여 연동하는 스크류사프트와, 상기 스크류사프트를 회전시키는 모터를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하 는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.
청구항 7에 있어서, 상기 위치설정수단은,

상기 평판디스플레이 패널의 정렬마크를 촬영하는 카메라와, 상기 카메라에 의해 촬영된 정렬마크를 모니터에 표시된 기준마크와 일치시켜 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하고 상기 기준 좌표값에 따라 상기 워크테이블을 구동하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.
패널공급부로부터 이송받은 평판디스플레이 패널을 워크테이블에 위치시켜 평판디스플레이 패널의 점등 상태를 테스트하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치에 있어서,

네개의 변을 갖는 사각판형이되, 내부에 개구부를 가지는 사각플레이트와;

상기 사각플레이트의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트와;

상기 제1 플레이트와 이웃하는 상기 사각플레이트의 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트와;

상기 제1 플레이트와 제2 플레이트 중 적어도 하나는 상기 사각플레이트에 설치되는 이동기구에 의해 사각플레이트의 변(邊)의 길이 방향으로 이동가능하게 설치되되, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트에 탈부착 가능하게 결합되며, 상기 평판디스플레이 패널의 사이즈에 대응하는 다양한 크기를 가지며 복수의 프로브들을 장착하고 있는 프로브플레이트와;

상기 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크를 촬영하기 위하여 프로브플레이트에 장착되는 카메라, 상기 카메라에 의하여 촬영된 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크와 비교하기 위한 가상의 기준마크가 표시되는 별도의 모니터를 구비한 위치설정수단; 을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.
삭제
청구항 16에 있어서,

상기 제1 플레이트와 마주보는 상기 사각플레이트의 변(邊)에는 이동기구에 의하여 변(邊)의 길이방향으로 이동가능한 제2 플레이트가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.
청구항 18에 있어서,

상기 이동기구는 상기 사각플레이트 상에 변(邊) 방향으로 배치된 한 쌍의 가이드부와, 상기 가이드부와 맞물려 이동하되, 상기 제2 플레이트와 결합되는 판상의 이동부와, 상기 이동부를 상기 가이드 상에서 상기 사각플레이트의 변 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.
청구항 19에 있어서,

상기 이동부 하측면에 너트결합체를 더 마련하고,

상기 구동부는 상기 너트결합체와 나사결합하여 연동하는 스크류사프트와, 상기 스크류사프트를 회전시키는 모터를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.
청구항 16에 있어서, 상기 위치설정수단은,

상기 평판디스플레이 패널의 정렬마크를 촬영하는 카메라와, 상기 카메라에 의해 촬영된 정렬마크를 모니터에 표시된 기준마크와 일치시켜 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하고 상기 기준 좌표값에 따라 상기 워크테이블을 구동하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사 부의 점등 테스트 장치.
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패널공급부로부터 이송받은 평판디스플레이 패널을 워크테이블에 위치시켜 평판디스플레이 패널의 점등 상태를 테스트하는 평판디스플레이 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법에 있어서,

상기 검사장치 검사부의 사각플레이트에 구비된 플레이트에 설치되되, 프로브를 구비한 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 위치를 변화시키는 단계;

상기 프로브플레이트 상에 장착된 프로브와 워크테이블에 안착된 평판디스플레이 패널 상의 패드를 마이크로스코프를 이용하여 정렬시키는 단계;

상기 정렬이 이루어진 후, 카메라를 이동시켜 모니터 상에 표시된 기준마크와 상기 평판디스플레이 패널 상에 표시된 정렬마크를 일치시켜 카메라를 세팅시키는 단계;

상기 카메라를 세팅한 후, 상기 평판디스플레이 패널이 놓여지는 워크테이블의 기준 좌표값을 제어부의 메모리에 저장하는 단계;

상기 메모리 상에 저장된 기준 좌표값에 따라 후속 평판디스플레이 패널이 로딩된 워크테이블을 이동시켜 평판디스플레이 패널을 계속해서 검사하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법.
청구항 23에 있어서,

상기 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 변화 위치시키는 단계는,

상기 플레이트와 프로브플레이트 사이에 적어도 하나의 보조플레이트를 상기 본체의 개구부 중심 방향으로 연속해서 탈부착함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법.
청구항 23에 있어서,

상기 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 변화 위치시키는 단계는,

상기 플레이트와 프로브플레이트 사이에 구비된 수직구동부를 구동시켜 프로브플레이트를 상기 평판디스플레이 패널 상측까지 전후진 이동시킴으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법.
청구항 23에 있어서,

상기 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 변화 위치시키는 단계는,

상기 평판디스플레이 패널 상측에 상기 프로브플레이트의 프로브를 위치시키 도록 소정 길이로 형성된 프로브플레이트를 상기 플레이트에 장착함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법.
청구항 23항에 있어서,

상기 프로브플레이트 상에 장착된 프로브와 워크테이블에 안착된 평판디스플레이 패널 상의 패드를 마이크로스코프를 이용하여 정렬시키는 단계는,

상기 사각플레이트 제1변의 플레이트에 위치된 프로브플레이트 상에 포함된 프로브를 상기 평판디스플레이 패널의 제1변과 정렬시키는 제1과정과,

상기 사각플레이트 제2변의 플레이트에 위치된 프로브플레이트 상에 포함된 프로브를 상기 평판디스플레이 패널의 제2변과 정렬시키는 제2과정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법.
청구항 27에 있어서,

상기 제1 과정은 상기 평판디스플레이 패널이 놓여지는 워크테이블을 이동시켜 정렬하고, 상기 제2 과정은 사각플레이트 상에 마련되는 이동기구를 구동시켜 정렬하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법.
청구항 27에 있어서,

상기 제1 과정과 제2 과정은 상기 사각플레이트 상에 마련되는 이동기구를 구동시켜 정렬하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법.
청구항 23에 있어서, 카메라를 이동시켜 모니터 상에 표시된 기준마크와 상기 평판디스플레이 패널 상에 표시된 정렬마크를 일치시켜 카메라를 세팅시키는 단계는,

상기 보조플레이트 또는 상기 프로브플레이트 상에 설치되는 카메라가 상기 정렬마크를 촬영하여 상기 모니터 상에 표시하는 과정과,

상기 카메라를 이동시켜 상기 정렬마크를 기준마크에 일치시키는 과정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법.