KR100576947B1 - Apparatus for testing lighting in testing part of flat panel display testing unit and method thereby - Google Patents

Abstract

보조플레이트와 프로브플레이트를 탈부착하여 특정 사이즈의 평판디스플레이 패널과 프로브를 정렬시킬 수 있는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a lighting test apparatus and a method of a flat panel display panel inspecting unit that can align a probe with a specific size flat panel display panel by attaching and detaching an auxiliary plate and a probe plate.

본 발명은 네개의 변을 갖는 사각판형이되, 내부에 개구부를 가지는 사각플레이트와, 상기 사각플레이트의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트와, 상기 제1 플레이트와 이웃하는 상기 사각플레이트의 변(邊)에 이동가능하게 설치되는 제2 플레이트와, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트에 탈부착 가능하게 결합되되, 상기 평판디스플레이 패널의 사이즈에 따라 상기 사각플레이트의 개구부 중심 방향으로 연속해서 결합될 수 있는 적어도 하나의 보조플레이트와, 상기 제1 플레이트, 제2 플레이트 또는 상기 사각플레이트의 개구부 중심에 가장 가까운 보조플레이트에 탈부착 가능하게 결합되되, 복수의 프로브들이 장착되어 있는 프로브플레이트와, 상기 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크와 가상의 기준마크를 정렬하여 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하는 위치설정수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The present invention is a rectangular plate having four sides, a rectangular plate having an opening therein, a first plate provided on one side of the rectangular plate, and the sides of the rectangular plate adjacent to the first plate A second plate movably installed in (iii), and detachably coupled to the first plate and the second plate, can be continuously coupled in the direction of the center of the opening of the square plate according to the size of the flat panel display panel. At least one auxiliary plate, a probe plate detachably coupled to a second plate closest to a center of the opening of the first plate, the second plate or the rectangular plate, and having a plurality of probes mounted thereon; The reference coordinate of the work table by aligning an alignment mark on the image and an imaginary reference mark And characterized by comprising comprises a positioning means for setting the.

평판디스플레이 패널, 프로브, 얼라인, 정렬, 플레이트Flat Panel Display, Probe, Align, Alignment, Plate

Description

평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치 및 그 방법{APPARATUS FOR TESTING LIGHTING IN TESTING PART OF FLAT PANEL DISPLAY TESTING UNIT AND METHOD THEREBY}Flat panel display panel inspection device lighting test device and its method {APPARATUS FOR TESTING LIGHTING IN TESTING PART OF FLAT PANEL DISPLAY TESTING UNIT AND METHOD THEREBY}

도 1은 종래의 평판디스플레이 검사장치의 사시도이다.1 is a perspective view of a conventional flat panel display inspection apparatus.

도 2는 종래의 평판디스플레이 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치의 구성도이다.2 is a configuration diagram of a lighting test device of a conventional flat panel display inspection device inspection unit.

도 3은 종래의 검사부 세팅 방법의 문제점을 설명하기 위한 이해도이다.Figure 3 is an understanding for explaining the problem of the conventional inspection unit setting method.

도 4는 본 발명에 적용되는 평판디스플레이 검사장치의 사시도이다.4 is a perspective view of a flat panel display inspection apparatus applied to the present invention.

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치의 구성도이다.5 is a configuration diagram of a lighting test apparatus for a flat panel display panel inspecting unit according to a first exemplary embodiment of the present invention.

도 6은 상기 제1 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치의 다른 구성도이다.6 is another configuration diagram of a lighting test apparatus of the flat panel display panel inspecting unit according to the first embodiment.

도 7은 상기 제1 실시예에 따른 이동기구의 구성도이다.7 is a configuration diagram of a moving mechanism according to the first embodiment.

도 8은 상기 제1 실시예에 따른 보조플레이트의 구성도이다.8 is a configuration diagram of an auxiliary plate according to the first embodiment.

도 9는 상기 제1 실시예에 따른 프로브플레이트의 구성도이다.9 is a configuration diagram of the probe plate according to the first embodiment.

도 10은 제1 실시예에 따른 평판디스플레이 패널을 얼라인하기 위한 이해도이다.10 is an understanding diagram for aligning the flat panel display panel according to the first embodiment.

도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치의 구성도이다.11 is a configuration diagram of a lighting test apparatus of the flat panel display panel inspecting unit according to a second embodiment of the present invention.

도 12는 상기 제2 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치의 다른 구성도이다.12 is another configuration diagram of a lighting test apparatus of the flat panel display panel inspecting unit according to the second embodiment.

도 13은 상기 제2 실시예에 따른 수직구동부의 구성도이다.13 is a configuration diagram of a vertical driving unit according to the second embodiment.

도 14는 제2 실시예에 따른 평판디스플레이 패널을 얼라인하기 위한 이해도이다.14 is an understanding diagram for aligning the flat panel display panel according to the second embodiment.

도 15는 본 발명의 제3 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치의 구성도이다.15 is a configuration diagram of a lighting test apparatus of a flat panel display panel inspecting apparatus according to a third exemplary embodiment of the present invention.

도 16은 상기 제3 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치의 다른 구성도이다.16 is another configuration diagram of a lighting test apparatus of the flat panel display panel inspecting unit according to the third embodiment.

도 17은 상기 제3 실시예에 따른 다양한 크기의 평판디스플레이 패널에 대응하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치의 구성도이다.FIG. 17 is a configuration diagram of a lighting test apparatus of a flat panel display panel inspecting unit inspecting unit corresponding to a flat panel display panel of various sizes according to the third embodiment.

도 18은 제3 실시예에 따른 평판디스플레이 패널을 얼라인하기 위한 이해도이다.18 is an understanding diagram for aligning the flat panel display panel according to the third embodiment.

본 발명은 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부에서 평판디스플레이 패널을 점등 테스트하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 평판디스플레이 패널의 사이즈에 따라 보조플레이트와 프로브플레이트를 탈부착하거나 프로브플레이트를 자동으로 이동시키거나 다양한 사이즈를 가지는 프로브플레이트를 탈부착함으로써, 상기 특정 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널에 대하여 점등 테스트를 수행할 수 있는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and a method for lighting a flat panel display panel in a flat panel display panel inspection device inspection unit, and in particular, according to the size of the flat panel display panel, the secondary plate and the probe plate can be attached or detached or the probe plate is automatically moved or By attaching and detaching a probe plate having a, the present invention relates to a lighting test apparatus and a method of a flat panel display panel inspection device that can perform a lighting test for a flat panel display panel having a specific size.

잘 알려진 바와 같이, TFT-LCD{Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display}, PDP(Plasma Display Panel), 유기EL(Electro Luminescent)등 평판 디스플레이(Flat Display) 제조 분야에서 사용되는 유리기판은 세로1100mm, 가로1250mm, 두께0.5~1mm 정도로 점차 대형화 및 박형화되고 있고, 이러한 유리기판으로 제조된 평판 디스플레이는 그 제조라인 중 최종단계에서 점등검사가 이루어지는 바, 이러한 평판 디스플레이의 점등 테스트는 프로브를 이용하여 평판 디스플레이의 데이터 라인과 게이트 라인 각각의 단선 검사와 색상 검사를 행하고, 이것 이외에 현미경등을 이용하는 육안검사를 행하고 있다.As is well known, glass substrates used in the field of flat display manufacturing, such as TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel), and organic EL (Electro Luminescent), are 1100mm long and horizontal. 1250mm, 0.5 ~ 1mm in thickness is gradually being enlarged and thinned, and the flat panel display made of such glass substrate is a lighting test at the final stage of the manufacturing line, the lighting test of such a flat panel display using a probe The disconnection inspection and color inspection of each data line and gate line are performed, and visual inspection using a microscope etc. is performed in addition to this.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 기술을 설명한다. 도 1은 종래의 평판디스플레이 검사장치의 구성도이고, 도 2는 종래의 평판디스플레이 검사장치 검사부의 점등테스트 장치의 구성도이고, 도 3은 종래의 점등테스트 장치 세팅 방법의 문제점을 설명하기 위한 이해도이다.Hereinafter, a conventional technology will be described with reference to the accompanying drawings. 1 is a configuration diagram of a conventional flat panel display inspection apparatus, FIG. 2 is a configuration diagram of a lighting test apparatus of a conventional flat panel display inspection apparatus, and FIG. 3 is an understanding diagram for explaining a problem of a conventional lighting test apparatus setting method. to be.

이와 같은 평탄디스플레이 패널의 점등테스트를 수행하는 평판디스플레이 검사 장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 검사장치 본체(1)와, 상기 검사장치 본체(1) 내부에 마련되어 검사할 평판디스플레이 패널을 공급하는 패널공급부(2)와, 상기 패널공급부(2)로부터 공급되는 평판디스플레이 패널에 대하여 점등 검사 등을 수행하는 검사부(3)와, 상기 패널공급부(2)에서 상기 검사부(3)로 또는 상기 검사부(3)에서 상기 패널공급부(2)로 평판디스플레이 패널을 이송시키는 패널 이송장치(4)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1, the flat panel display inspection apparatus for performing the lighting test of the flat display panel is provided in the inspection apparatus main body 1 and the inspection apparatus main body 1 to supply a flat panel display panel to be inspected. The panel supply unit 2, an inspection unit 3 which performs a lighting test on the flat panel display panel supplied from the panel supply unit 2, and the panel supply unit 2 to the inspection unit 3 or the inspection unit ( And a panel transport device 4 for transporting the flat panel display panel to the panel supply unit 2 in 3).

상기 패널공급부(2)는 패널로딩장치(미도시)로부터 전달되는 평판디스플레이 패널을 서브테이블(2a) 상에 안착시킨후 소정의 정렬단계를 거친후 소정 각도로 회동된다. 그러면, 상기 패널 이송장치(4)가 상기 평판디스플레이 패널을 클램핑한 후 상기 검사부(3)에 설치되는 워크테이블(3a) 상에 상기 평판디스플레이 패널을 이송시킨다.The panel supply part 2 is rotated at a predetermined angle after mounting a flat panel display panel delivered from a panel loading device (not shown) on the subtable 2a and passing through a predetermined alignment step. Then, the panel transfer device 4 clamps the flat panel display panel and then transfers the flat panel display panel to the work table 3a installed in the inspection unit 3.

한편, 상기 검사부(3)는 평판디스플레이 패널에 대해 점등 테스트를 수행하는 점등 테스트 장치를 포함하고 있다. 상기 종래의 평판디스플레이 검사장치 검사부에 마련되는 점등 테스트장치의 구성은 도 2에 도시되어 있다.On the other hand, the inspection unit 3 includes a lighting test device for performing a lighting test on the flat panel display panel. The configuration of the lighting test device provided in the conventional flat panel display inspection device is shown in FIG.

도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 평판디스플레이 패널 점등 테스트 장치(100)는, 사각플레이트(10)와, 상기 사각플레이트(10)와 힌지구조(90)로 연결되는 회동플레이트(20)와, 상기 회동플레이트(20)에 결합되는 베이스플레이트(30)와, 상기 베이스플레이트(30)의 후면에 부착고정되는 프로브플레이트(40)와, 상기 프로브플레이트(40)에 장착된 프로브(50)와, 상기 베이스플레이트(30)의 상면에 설치되는 카메라(70)와, 상기 프로브플레이트(40) 일단에 마련되는 원점마크(80)를 포함하여 이루어져 있다.As shown in FIG. 2, the conventional flat panel display panel lighting test apparatus 100 includes a square plate 10, a rotation plate 20 connected to the square plate 10 and a hinge structure 90, and A base plate 30 coupled to the pivot plate 20, a probe plate 40 attached to and fixed to a rear surface of the base plate 30, a probe 50 mounted to the probe plate 40, and It comprises a camera 70 is installed on the upper surface of the base plate 30, and the origin mark 80 provided on one end of the probe plate 40.

상기 회동플레이트(20)는 도 3에 도시된 바와 같이 사각플레이트(10)의 하부측에 구비된 힌지부(90)에 의하여 상기 사각플레이트(10)로부터 제쳐질 수 있는 구조를 가진다. 그리고, 상기 회동플레이트(20)에 검사할 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응되는 크기의 베이스플레이트(30)가 장착된다.As shown in FIG. 3, the pivoting plate 20 has a structure that can be pulled away from the rectangular plate 10 by a hinge 90 provided at a lower side of the rectangular plate 10. The base plate 30 having a size corresponding to the size of the flat panel display panel to be inspected is mounted on the rotation plate 20.

상기 베이스플레이트(30)는 사각플레이트(10)에 힌지 결합되는 회동플레이트(20)에 결합된다. 그 구조는 대형의 사각 판상으로 이루어지되, 내부에는 개구부(31)가 형성되어 있다. 상기 베이스플레이트(30)의 후면에는 상기 개구부(31) 중앙을 향하여 소정 크기의 프로브플레이트(40)가 고정부착되어 있다.The base plate 30 is coupled to the rotation plate 20 which is hinged to the square plate 10. The structure is formed in a large rectangular plate shape, the opening 31 is formed inside. A probe plate 40 having a predetermined size is fixedly attached to the rear surface of the base plate 30 toward the center of the opening 31.

그리고, 상기 베이스플레이트(30)의 상면 소정부분에는 카메라(70)가 설치되어 있다. 한편, 상기 베이스플레이트(30) 후면에 부착고정되어 있는 프로브플레이트(40)의 일단에는 십자형의 원점마크(80)가 마련되어 있다.In addition, a camera 70 is installed on a predetermined portion of the upper surface of the base plate 30. On the other hand, a cross mark origin mark 80 is provided at one end of the probe plate 40 attached to the rear surface of the base plate 30.

상기와 같은 구성 하에서, 소정 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(60)에 대하여 점등 테스트를 수행하기 위해서는 평판디스플레이 패널(60)의 크기에 맞게 베이스플레이트(30)와 프로브플레이트(40)를 회동플레이트(20)에 장착하여 세팅작업을 실시하고, 프로브(50)와 평판디스플레이 패널(60)의 검사단자를 정렬시켜야 한다. Under the above configuration, in order to perform a lighting test on the flat panel display panel 60 having a predetermined size, the base plate 30 and the probe plate 40 are rotated in accordance with the size of the flat panel display panel 60. ), The setting operation should be performed, and the inspection terminal of the probe 50 and the flat panel display panel 60 should be aligned.

먼저, 소정 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(60)에 대하여 점등 테스트를 하기 위해서, 도 3에 도시된 바와 같이 사각플레이트(10)에 힌지구조(90)로 결합된 회동플레이트(20)를 열어서 점등 테스트를 하고자 하는 평판디스플레이 패널(60)에 대응하는 베이스플레이트(30)와 프로브플레이트(40)를 회동플레이트(20) 후면에 설치하여 세팅작업을 수행한다.First, in order to perform a lighting test on a flat panel display panel 60 having a predetermined size, as shown in FIG. 3, the rotation plate 20 coupled to the square plate 10 by the hinge structure 90 is opened to test the lighting. The base plate 30 and the probe plate 40 corresponding to the flat panel display panel 60 to be installed are installed on the rear side of the rotation plate 20 to perform a setting operation.

상기와 같이 평판디스플레이 패널(60)의 사이즈에 대응하여 베이스플레이트(30)와 프로브플레이트(40)의 세팅작업을 수행한 후에는, 프로브플레이트(40)의 프로브(50)와 평판디스플레이 패널(60)의 검사단자를 접속시키기 위하여 평판디스플레이 패널(60)의 정렬위치를 세팅하여야 한다.After the setting operation of the base plate 30 and the probe plate 40 corresponding to the size of the flat panel display panel 60 as described above, the probe 50 and the flat panel display panel 60 of the probe plate 40 The alignment position of the flat panel display panel 60 should be set in order to connect the inspection terminals of

먼저, 평판디스플레이 패널(60)이 워크테이블(3a)에 의해 프로브플레이트(40)의 프로브(50)로부터 아래쪽으로 떨어진 위치로 이동된다.First, the flat panel display panel 60 is moved to a position away from the probe 50 of the probe plate 40 by the work table 3a.

다음으로, 평판디스플레이 패널(60)의 평판디스플레이 패널(60)의 정렬마크(61)가 카메라(70)의 시야로 들어오도록 워크테이블(3a)에 의해 평판디스플레이 패널(60)이 X방향 및 Y축방향으로 이동된다.Next, the flat panel display panel 60 is moved by the worktable 3a in the X direction and Y so that the alignment mark 61 of the flat panel display panel 60 of the flat panel display panel 60 enters the field of view of the camera 70. Moved in the axial direction.

그리고, 평판디스플레이 패널(60)의 정렬마크(61)가 카메라(70)의 시야로 들어오면, 그 때의 프로브플레이트(40) 일측에 고정 설치된 원점마크(80)와 평판디스플레이 패널(60)의 정렬마크(61)의 어긋남 양(ΔX, ΔY)이 측정되고, 그 어긋남 양(또는 좌표 위치)이 도시되지 않은 메모리(미도시)에 기억된다.Then, when the alignment mark 61 of the flat panel display panel 60 enters the field of view of the camera 70, the original mark 80 fixed to one side of the probe plate 40 and the flat panel display panel 60 at that time The shift amounts ΔX and ΔY of the alignment marks 61 are measured, and the shift amounts (or coordinate positions) are stored in a memory (not shown) not shown.

다음으로, 평판디스플레이 패널(60)의 정렬마크(61)와 프로브플레이트(40)의 원점마크(80)와 일치하도록 워크테이블(3a)에 의해 평판디스플레이 패널(60)이 소정량(상기 메모리에 기억한 어긋남 ΔX, ΔY)만 이동된다.Next, the flat panel display panel 60 is placed in a predetermined amount by the work table 3a so as to coincide with the alignment mark 61 of the flat panel display panel 60 and the origin mark 80 of the probe plate 40. Only the stored shifts ΔX and ΔY) are moved.

여기서, 프로브플레이트(40) 일측에 고정된 원점마크(80)가 평판디스플레이 패널(60)의 정렬마크(61)에 일치하게 되면, 프로브플레이트(40)에 구비된 프로브(50)는 평판디스플레이 패널(60)의 검사단자와 일치하도록 사전에 제작되어 있다.Here, when the origin mark 80 fixed on one side of the probe plate 40 coincides with the alignment mark 61 of the flat panel display panel 60, the probe 50 provided on the probe plate 40 is a flat panel display panel. It is manufactured in advance so as to coincide with the inspection terminal of (60).

다음으로, 평판디스플레이 패널(60)이 워크테이블(3a)에 의해 프로브플레이트(40)의 프로브(50)에 접촉하는 접촉위치로 이동되어 평판디스플레이 패널(60)의 검사단자와 프로브(50)와 접촉이 이루어지게 된다. 이후에 검사되는 평판디스플레이 패널(60)들은 상기 메모리에 저장된 좌표값으로 위치되어 상기 프로브(50)에 의하여 점등 테스트가 이루어진다. Next, the flat panel display panel 60 is moved to the contact position where the work table 3a is in contact with the probe 50 of the probe plate 40 so that the inspection terminal of the flat panel display panel 60 and the probe 50 Contact is made. Subsequently, the flat panel display panels 60 to be inspected are positioned at coordinate values stored in the memory, and the lighting test is performed by the probe 50.

이상에서 설명한 종래의 점등테스트 장치(100)에 의하면, 도 3에 도시된 바와 같이, 평판디스플레이 패널(60)의 사이즈가 변경되는 경우에는 변경된 평판디스플레이 패널(60)에 대응할 수 있는 베이스플레이트(30)를 새롭게 장착하기 위하여 사각플레이트(10)의 하부측에 구비된 힌지구조(90)에 의해 제쳐질 수 있는 회동플레이트(20)를 열어야 한다.According to the conventional lighting test apparatus 100 described above, as shown in FIG. 3, when the size of the flat panel display panel 60 is changed, the base plate 30 corresponding to the changed flat panel display panel 60 may be used. In order to newly mount), it is necessary to open the pivoting plate 20 which can be pushed out by the hinge structure 90 provided on the lower side of the square plate 10.

상기 회동플레이트(20)를 개방한 후에, 상기 베이스플레이트(30)와 상기 프로브플레이트(40) 전체를 뜯어내고, 특정 사이즈를 가지는 변경된 평판디스플레이 패널(60)을 검사하기 위한 새로운 베이스플레이트(30)와 프로브플레이트(40)로 교체해야 하는 문제점이 발생한다. 또한, 상기와 같이 교체를 수행하는 경우에, 사각틀 모양으로 형성된 상기 베이스플레이트(30)와 상기 프로브플레이트(40)의 사이즈와 무게에 따른 교체 작업자의 안전상의 문제점이 발생한다.After opening the pivoting plate 20, the base plate 30 and the probe plate 40 are removed and a new base plate 30 for inspecting the modified flat panel display panel 60 having a specific size. And a problem that needs to be replaced with the probe plate 40 occurs. In addition, in the case of performing the replacement as described above, there is a safety problem of the replacement operator according to the size and weight of the base plate 30 and the probe plate 40 formed in a rectangular frame shape.

또한, 복수의 프로브(50)들이 장착되어 있는 프로브플레이트(40)가 베이스플레이트(30)의 후면에 부착고정되므로, 상기 프로브플레이트(40)를 교체하고자 하는 경우에는 상기 베이스플레이트(30)를 개방하여 작업해야하므로, 유지보수에 있어 많은 공간이 필요하고 많은 시간이 소요되는 문제점이 있다.In addition, since the probe plate 40 on which the plurality of probes 50 are mounted is fixed to the rear surface of the base plate 30, when the probe plate 40 is to be replaced, the base plate 30 is opened. Because of the need to work, there is a problem that requires a lot of space and time-consuming for maintenance.

또한, 복수의 프로브(50)가 장착된 프로브플레이트(40)가 베이스플레이트(30)의 후면에 부착고정되어 있으므로, 평판디스플레이 패널(60)에 존재하는 패드와 프로브(50)를 정렬하고자 할 때는 수동으로 정렬해야 하며, 결과적으로 정밀한 정렬을 할 수 없는 문제점이 발생한다.In addition, since the probe plate 40 having the plurality of probes 50 mounted thereon is fixed to the rear surface of the base plate 30, when the pads present in the flat panel panel 60 are to be aligned with the probes 50, The alignment must be done manually, resulting in a problem of inaccurate alignment.

또한, 프로브플레이트(40)에 프로브(50)와 평판디스플레이 패널(60)의 검사단자와 일치되도록, 원점마크(80)를 상기 프로브플레이트(40)에 정확하게 사전에 제작하기 용이하지 않은 문제점이 있었다. 즉, 프로브플레이트(40)에 구비된 프로브(50)의 가공오차에 의해 원점마크(80)를 프로브플레이트(40)의 정확한 설치지점에 장착하기 어려운 점이 있다.In addition, there is a problem in that the origin mark 80 is not easy to be accurately manufactured on the probe plate 40 so that the probe plate 40 coincides with the inspection terminals of the probe 50 and the flat panel display panel 60. . That is, due to a machining error of the probe 50 provided in the probe plate 40, it is difficult to attach the origin mark 80 to the correct installation point of the probe plate 40.

따라서, 프로브플레이트(40)의 정확한 설치지점에 원점마크(80)를 장착하지 못하므로, 상기 원점마크(80)와 평판디스플레이 패널(60)의 정렬마크(61)가 일치하더라도 프로브플레이트(40)의 프로브(50)와 평판디스플레이 패널(60)의 검사단자와 접촉이 이루어지지 않게 되는 문제점이 있다.Therefore, since the origin mark 80 cannot be mounted at the exact installation point of the probe plate 40, even if the origin mark 80 is aligned with the alignment mark 61 of the flat panel display panel 60, the probe plate 40 There is a problem in that the contact between the probe 50 and the inspection terminal of the flat panel display panel 60 is not made.

그리고, 카메라(70)가 베이스플레이트(30)의 상면에 고정되어 설치되기 때문에 다양한 사이즈의 평판디스플레이 패널에 모두 적용하기 힘든 문제점이 발생한다. 즉, 카메라(70)가 베이스플레이트(30)에 고정 설치되므로, 평판디스플레이 패널(60)의 정렬마크(61)가 카메라(70)의 시야로 들어오도록 하기 위해서 평판디스플레이 패널(60)을 안착한 워크테이블(3a)의 이동에만 의존하므로 불편한 점이 있다.And, since the camera 70 is fixedly installed on the upper surface of the base plate 30, there is a problem that is difficult to apply to all flat display panels of various sizes. That is, since the camera 70 is fixedly installed on the base plate 30, the work on which the flat display panel 60 is seated so that the alignment mark 61 of the flat panel display panel 60 enters the field of view of the camera 70. It is inconvenient because it only depends on the movement of the table 3a.

또한, 프로브플레이트(40) 일측면에 장착된 프로브(50)에 평판디스플레이 패널(60)의 검사단자가 얼라인되어 접촉되더라도, 상기 프로브플레이트(40)에 장착된 프로브(50)의 가공오차 및 설치오차에 의해 상기 프로브플레이트(40) 다른면에 장착된 프로브(50)와 평판디스플레이 패널의 단자가 얼라인되지 않는 문제가 빈번히 발생한다.In addition, even when the inspection terminal of the flat panel display panel 60 is in contact with the probe 50 mounted on one side of the probe plate 40, processing errors of the probe 50 mounted on the probe plate 40 and There is a problem that the terminal of the probe 50 mounted on the other surface of the probe plate 40 and the flat panel display panel is not aligned due to the installation error.

이때, 사각플레이트(10)의 하부측에 구비된 힌지구조(90)에 의해 회동플레이트(20)를 개방한 후, 상기 회동플레이트(20)에 장착된 프로브플레이트(40) 저면에 설치된 프로브(50) 위치를 다시 세팅해야만 하는 번거로움이 있다.At this time, after opening the rotating plate 20 by the hinge structure 90 provided on the lower side of the square plate 10, the probe 50 installed on the bottom surface of the probe plate 40 mounted on the rotating plate 20 This is a hassle to reset the position.

또한, 카메라(70)의 수리 또는 교체시 마다 카메라(70) 설치위치에 대해 초기 세팅을 다시 해야하는 번거로움이 있다. In addition, there is a hassle of having to reset the initial setting for the camera 70 installation position every time the camera 70 is repaired or replaced.

또한, 카메라(70)가 베이스플레이트(30)의 상면에 고정되어 설치되기 때문에, 다양한 사이즈의 평판디스플레이 패널(60)에 모두 적용하기 힘든 문제점이 발생한다.In addition, since the camera 70 is fixedly installed on the upper surface of the base plate 30, there is a problem that is difficult to apply to all the flat panel display panel 60 of various sizes.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 검사 대상인 평판디스플레이 패널의 사이즈가 변경되더라도, 사각플레이트에 힌지 결합된 회동플레이트를 열어서 베이스플레이트와 프로브플레이트 전체를 교체하지 않고 보조플레이트와 프로브플레이트를 탈부착하거나 프로브플레이트를 자동으로 이동시키거나 다양한 사이즈를 가지는 프로브플레이트를 탈부착함으로써, 변경된 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널과 프로브를 얼라인하여 점등 테스트를 수행할 수 있는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 얼라인 장치 및 그 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention was devised to solve the above problems of the prior art, and even if the size of the flat panel display panel to be inspected is changed, the auxiliary plate is opened without replacing the base plate and the entire probe plate by opening the rotating plate hinged to the square plate. Flat panel display panel inspection unit that can perform lighting test by aligning a flat panel display panel and probe having a changed size by detaching a plate and a probe plate, automatically moving a probe plate, or removing a probe plate having various sizes. An object of the present invention is to provide an alignment device and a method thereof.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등테스트 장치를 이루는 구성수단은, 네개의 변을 갖는 사각판형이되, 내부에 개구부를 가지는 사각플레이트와, 상기 사각플레이트의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트와, 상기 제1 플레이트와 이웃하는 상기 사각플레이트의 변(邊)에 이동가능하게 설치되는 제2 플레이트와, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트에 탈부착 가능하게 결합되되, 상기 평판디스플레이 패널의 사이즈에 따라 상기 사각플레이트의 개구부 중심 방향으로 연속해서 결합될 수 있는 적어도 하나의 보조플레이트와, 상기 제1 플레이트, 제2 플레이트 또는 상기 사각플레이트의 개구부 중심에 가장 가까운 보조플레이트에 탈부착 가능하게 결합되되, 복수의 프로브들이 장착되어 있는 프로브플레이트와, 상기 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크와 가상의 기준마크를 정렬하여 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하는 위치설정수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In order to solve the above technical problem, the constituent means constituting the lighting test apparatus of the flat panel display panel inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention is a rectangular plate having four sides, and has an opening therein. A rectangular plate, a first plate provided on one side of the rectangular plate, a second plate movably provided on sides of the rectangular plate adjacent to the first plate, and the first plate. At least one auxiliary plate detachably coupled to the plate and the second plate, the first plate, the second plate or the second plate being continuously coupled to the opening center of the rectangular plate according to the size of the flat panel display panel; Removably coupled to the auxiliary plate closest to the center of the opening of the square plate, a plurality of Including the probe plate that is attached to the probe, positioning means for aligning the alignment mark with the reference mark of the virtual on the flat display panel, set the reference coordinate value of the work table, characterized in that formed.

또한, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트 중 적어도 하나는 상기 본체 상에 설치되는 이동기구에 의해 사각플레이트의 변(邊)의 길이 방향으로 이동가능하게 설치되는 것을 특징으로 한다.At least one of the first plate and the second plate may be installed to be movable in the longitudinal direction of the sides of the square plate by a moving mechanism provided on the main body.

또한, 상기 제1 플레이트와 마주보는 상기 사각플레이트의 변(邊)에는 이동기구에 의하여 변(邊)의 길이방향으로 이동가능한 제2 플레이트가 더 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, a second plate movable in the longitudinal direction of the side by the moving mechanism is further provided on the side of the square plate facing the first plate.

또한, 상기 이동기구는 상기 사각플레이트 상에 변(邊) 방향으로 배치된 한 쌍의 가이드부와, 상기 가이드부와 맞물려 이동하되, 상기 제2 플레이트와 결합되는 판상의 이동부와, 상기 이동부를 상기 가이드 상에서 상기 사각플레이트의 변 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the moving mechanism is a pair of guide portion disposed in the side direction on the square plate, and moving in engagement with the guide portion, the plate-shaped moving portion coupled to the second plate, and the moving portion It characterized in that it comprises a drive for moving in the side direction of the square plate on the guide.

또한, 상기 이동부 하측면에 너트결합체를 더 마련하고, 상기 구동부는 상기 너트결합체와 나사결합하여 연동하는 스크류사프트와, 상기 스크류사프트를 회전시키는 모터를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the nut coupling body is further provided on the lower side of the moving part, and the driving unit is characterized in that it comprises a screw shaft for screwing and interlocking with the nut coupling, and a motor for rotating the screw shaft.

또한, 상기 위치설정수단은, 상기 평판디스플레이 패널의 정렬마크를 촬영하는 카메라와, 상기 카메라에 의해 촬영된 정렬마크를 모니터에 표시된 기준마크와 일치시켜 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하고 상기 기준 좌표값에 따라 상기 워크테이블을 구동하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The position setting means may set a reference coordinate value of the work table by matching a camera for photographing an alignment mark of the flat panel display panel with an alignment mark photographed by the camera with a reference mark displayed on a monitor. And a controller for driving the work table according to a coordinate value.

또한, 상기 카메라는, 상기 제1 플레이트에 탈부착되되, 상기 사각플레이트 개구부의 중심에 가장 가까운 보조플레이트에 설치되고, 상기 제2 플레이트에 탈부착되는 보조플레이트에 결합된 프로브플레이트에 설치되는 것이 바람직하다.In addition, the camera is detachably attached to the first plate, it is preferably installed on the probe plate closest to the center of the square plate opening, the probe plate coupled to the secondary plate detachable to the second plate.

또한, 상기 보조플레이트에 설치되는 카메라는, 상기 보조플레이트의 양측면에 각각 설치되고, 상기 프로브플레이트에 설치되는 카메라는, 상기 프로브플레이트의 일측면에 설치되되, 상기 보조플레이트에 이웃하지 않는 일측면에 설치되는 것이 바람직하다.In addition, the camera is installed on the auxiliary plate, respectively installed on both sides of the auxiliary plate, the camera is installed on the probe plate, is installed on one side of the probe plate, one side that is not adjacent to the auxiliary plate It is preferable to install.

또한, 상기 제1 플레이트는 상기 사각플레이트 상에 고정 설치되는 것을 특징으로 한다. 따라서, 상기 제1 플레이트를 고정하고 상기 제2 플레이트만을 이동시켜 프로브와 평판디스플레이 패널을 얼라인시킬 수 있다.In addition, the first plate is characterized in that the fixed installation on the square plate. Accordingly, the probe and the flat panel display panel may be aligned by fixing the first plate and only moving the second plate.

한편, 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등테스트 방법을 이루는 구성수단은, 상기 검사장치 검사부의 사각플레이트에 구비된 플레이트에 설치되되, 프로브를 구비한 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 위치를 변화시키는 단계, 상기 프로브플레이트 상에 장착된 프로브와 워크테이블에 안착된 평판디스플레이 패널 상의 패드를 마이크로스코프를 이용하여 정렬시키는 단계, 상기 정렬이 이루어진 후, 카메라를 이동시켜 모니터 상에 표시된 기준마크와 상기 평판디스플레이 패널 상에 표시된 정렬마크를 일치시켜 카메라를 세팅시키는 단계, 상기 카메라를 세팅한 후, 상기 평판디스플레이 패널이 놓여지는 워크테이블의 기준 좌표값을 제어부의 메모리에 저장하는 단계, 상기 메모리 상에 저장된 기준 좌표값에 따라 후속 평판디스플레이 패널이 로딩된 워크테이블을 이동시켜 평판디스플레이 패널을 계속해서 검사하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.On the other hand, the constituent means constituting the lighting test method of the flat panel display panel inspection device according to the first embodiment of the present invention is installed on a plate provided on the square plate of the inspection device inspection unit, the probe plate having a probe plate Changing a position to correspond to a display panel size, aligning a pad mounted on the probe plate with a pad on a flat panel display panel seated on a worktable using a microscope, and moving the camera after the alignment is made Setting a camera by matching a reference mark displayed on a monitor with an alignment mark displayed on the flat panel display panel, and after setting the camera, reference coordinate values of a work table on which the flat panel display panel is placed are stored in the memory of the controller. Storing in the memory According to the standard coordinate value stored in moving the work table is subsequently loaded flat display panel characterized by comprising, including the step of continuously checking the flat display panel.

또한, 상기 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 변화 위치시키는 단계는, 상기 플레이트와 프로브플레이트 사이에 적어도 하나의 보조플레이트를 상기 본체의 개구부 중심 방향으로 연속해서 탈부착함으로써 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the step of changing the position of the probe plate to correspond to the size of the flat panel display panel, characterized in that the at least one auxiliary plate between the plate and the probe plate in a continuous direction in the direction of the opening center of the main body.

또한, 상기 프로브플레이트 상에 장착된 프로브와 워크테이블에 안착된 평판디스플레이 패널 상의 패드를 마이크로스코프를 이용하여 정렬시키는 단계는, 상기 사각플레이트 제1변의 플레이트에 위치된 프로브플레이트 상에 포함된 프로브를 상기 평판디스플레이 패널의 제1변과 정렬시키는 제1과정과, 상기 사각플레이트 제2변의 플레이트에 위치된 프로브플레이트 상에 포함된 프로브를 상기 평판디스플레이 패널의 제2변과 정렬시키는 제2과정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The aligning of the probe mounted on the probe plate and the pad on the flat panel display panel seated on the work table using a microscope may include: positioning the probe included on the probe plate positioned on the plate of the first side of the square plate; A first step of aligning the first side of the flat panel display panel, and a second step of aligning the probe included on the probe plate positioned on the plate of the second plate of the rectangular plate with the second side of the flat panel display panel. Characterized in that made.

또한, 상기 제1 과정은 상기 평판디스플레이 패널이 놓여지는 워크테이블을 이동시켜 정렬하고, 상기 제2 과정은 사각플레이트 상에 마련되는 이동기구를 구동시켜 정렬하는 것을 특징으로 한다.In addition, the first process is characterized by moving and aligning the work table on which the flat panel display panel is placed, and the second process is arranged by driving the moving mechanism provided on the square plate.

또한, 상기 제1 과정과 제2 과정은 상기 사각플레이트 상에 마련되는 이동기구를 구동시켜 정렬하는 것을 특징으로 한다.In addition, the first process and the second process is characterized in that by driving the moving mechanism provided on the square plate.

또한, 카메라를 이동시켜 모니터 상에 표시된 기준마크와 상기 평판디스플레이 패널 상에 표시된 정렬마크를 일치시켜 카메라를 세팅시키는 단계는, 상기 보조플레이트 또는 상기 프로브플레이트 상에 설치되는 카메라가 상기 정렬마크를 촬영하여 상기 모니터 상에 표시하는 과정과, 상기 카메라를 이동시켜 상기 정렬마크를 기준마크에 일치시키는 과정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the setting of the camera by matching the reference mark displayed on the monitor and the alignment mark displayed on the flat panel display panel by moving the camera may include photographing the alignment mark by the camera installed on the auxiliary plate or the probe plate. And displaying the image on the monitor and matching the alignment mark with a reference mark by moving the camera.

한편, 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등테스트 장치를 이루는 구성수단은, 네개의 변을 갖는 사각판형이되, 내부에 개구부를 가지는 사각플레이트와, 상기 사각플레이트의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트와, 상기 제1 플레이트와 이웃하는 상기 사각플레이트의 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트와, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트 상에서 이동가능하게 설치되되, 상기 평판디스플레이 패널의 사이즈에 따라 상기 점등 테스트 본체의 개구부 중심방향으로 이동될 수 있는 보조플레이트와, 상기 보조플레이트를 수직이동시키는 수직구동부와, 상기 보조플레이트 상에 탈부착 가능하게 결합되되, 복수의 프로브들이 장착되어 있는 프로브플레이트와, 상기 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크와 가상의 기준마크를 정렬하여 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하는 위치설정수단;을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.On the other hand, the constituent means constituting the lighting test device of the flat panel display panel inspection device inspection unit according to the second embodiment of the present invention is a rectangular plate having four sides, a rectangular plate having an opening therein, A first plate provided on one side, a second plate provided on the side of the square plate adjacent to the first plate, and installed on the first plate and the second plate to be movable; According to the size of the flat panel display panel, the auxiliary plate which can be moved toward the opening center of the lighting test body, the vertical driving unit for vertically moving the auxiliary plate, and detachably coupled to the auxiliary plate, a plurality of probes A probe plate equipped with a mounting plate, an alignment mark on the flat panel display panel, and a virtual reference board And position setting means for aligning the size to set the reference coordinate value of the work table.

또한, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트 중 적어도 하나는 상기 본체 소정부분에 설치되는 이동기구에 의해 사각플레이트의 변(邊)의 길이 방향으로 이동가능하게 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, at least one of the first plate and the second plate is characterized in that it is installed to be movable in the longitudinal direction of the side of the square plate by a moving mechanism provided in the predetermined portion of the main body.

또한, 상기 제1 플레이트와 마주보는 상기 사각플레이트의 변(邊)에는 이동기구에 의하여 변(邊)의 길이방향으로 이동가능한 제2 플레이트가 더 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, a second plate movable in the longitudinal direction of the side by the moving mechanism is further provided on the side of the square plate facing the first plate.

또한, 상기 이동기구는 상기 사각플레이트 상에 변(邊) 방향으로 배치된 한 쌍의 가이드부와, 상기 가이드부와 맞물려 이동하되, 상기 제2 플레이트와 결합되는 판상의 이동부와, 상기 이동부를 상기 가이드 상에서 상기 사각플레이트의 변 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the moving mechanism is a pair of guide portion disposed in the side direction on the square plate, and moving in engagement with the guide portion, the plate-shaped moving portion coupled to the second plate, and the moving portion It characterized in that it comprises a drive for moving in the side direction of the square plate on the guide.

또한, 상기 이동부 하측면에 너트결합체를 더 마련하고, 상기 구동부는 상기 너트결합체와 나사결합하여 연동하는 스크류사프트와, 상기 스크류사프트를 회전시키는 모터를 포함하여 이루어진 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the nut coupling body is further provided on the lower side of the moving part, and the driving part includes a screw shaft for screwing and interlocking with the nut coupling body and a motor for rotating the screw shaft.

또한, 상기 보조플레이트 상의 양 측단에 물체를 감지하는 초음파센서가 더 구비되는 것이 바람직하다. 따라서, 제1 플레이트와 제2 플레이트 상에 이동가능하게 마련된 보조플레이트에 결합되는 프로브플레이트 간에 충돌이 발생하는지를 확인할 수 있다.In addition, it is preferable that the ultrasonic sensor for detecting the object on both sides of the auxiliary plate is further provided. Therefore, it is possible to confirm whether a collision occurs between the probe plate coupled to the auxiliary plate provided to be movable on the first plate and the second plate.

또한, 상기 수직구동부는, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트 상에 부착설치되는 한쌍의 L/M 가이드와, 상기 L/M가이드와 맞물려 슬라이딩되되, 상기 보조플레이트와 결합되는 결합판과, 상기 결합판을 상기 L/M가이드를 따라 이동시키는 동력발생부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. 이와 같은 수직구동부에 의하여, 검사할 평판디스플레이 패널의 사이즈가 변경되더라도 상기 보조플레이트를 자동 이동시킴으로써 신속한 세팅을 달성할 수 있다.The vertical driving unit may include a pair of L / M guides attached to the first plate and the second plate, and a sliding plate engaged with the L / M guide and coupled with the auxiliary plate; It characterized in that it comprises a power generating unit for moving the plate along the L / M guide. By such a vertical driving unit, even if the size of the flat panel display panel to be inspected is changed, a quick setting can be achieved by automatically moving the auxiliary plate.

또한, 상기 결합판 하측면에 너트결합체를 더 마련하고, 상기 동력발생부는 상기 너트결합체와 나사결합하여 연동하는 스크류사프트와, 상기 스크류사프트를 회전시키는 모터를 포함하여 이루어진 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the nut coupling body is further provided on the lower side of the coupling plate, and the power generating unit includes a screw shaft for screwing and interlocking with the nut coupling member and a motor for rotating the screw shaft.

또한, 상기 위치설정수단은, 상기 평판디스플레이 패널의 정렬마크를 촬영하는 카메라와, 상기 카메라에 의해 촬영된 정렬마크를 모니터에 표시된 기준마크와 일치시켜 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하고 상기 기준 좌표값에 따라 상기 워크테이블을 구동하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The position setting means may set a reference coordinate value of the work table by matching a camera for photographing an alignment mark of the flat panel display panel with an alignment mark photographed by the camera with a reference mark displayed on a monitor. And a controller for driving the work table according to a coordinate value.

또한, 상기 카메라는, 상기 제1 플레이트 상에서 이동가능하게 설치되는 보 조플레이트에 설치되고, 상기 제2 플레이트 상에서 이동가능하게 설치되는 보조플레이트에 결합된 프로브플레이트에 설치되는 것이 바람직하다.In addition, the camera is preferably installed on the auxiliary plate movably installed on the first plate, the probe plate is coupled to the auxiliary plate movably installed on the second plate.

또한, 상기 보조플레이트에 설치되는 카메라는, 상기 보조플레이트의 양측면에 각각 설치되고, 상기 프로브플레이트에 설치되는 카메라는, 상기 프로브플레이트의 일측면에 설치되되, 상기 보조플레이트에 이웃하지 않는 일측면에 설치되는 것이 바람직하다.In addition, the camera is installed on the auxiliary plate, respectively installed on both sides of the auxiliary plate, the camera is installed on the probe plate, is installed on one side of the probe plate, one side that is not adjacent to the auxiliary plate It is preferable to install.

또한, 상기 제1 플레이트는 상기 사각플레이트 상에 고정 설치되는 것을 특징으로 한다. 따라서 상기 제1 플레이트는 고정하고 상기 제2 플레이트만을 이동시켜 프로브와 평판디스플레이 패널을 정렬시킬 수 있다.In addition, the first plate is characterized in that the fixed installation on the square plate. Therefore, the first plate may be fixed and only the second plate may be moved to align the probe and the flat panel display panel.

한편, 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등테스트 방법을 이루는 구성수단은, 상기 검사장치 검사부의 사각플레이트에 구비된 플레이트에 설치되되, 프로브를 구비한 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 위치를 변화시키는 단계, 상기 프로브플레이트 상에 장착된 프로브와 워크테이블에 안착된 평판디스플레이 패널 상의 패드를 마이크로스코프를 이용하여 정렬시키는 단계, 상기 정렬이 이루어진 후, 카메라를 이동시켜 모니터 상에 표시된 기준마크와 상기 평판디스플레이 패널 상에 표시된 정렬마크를 일치시켜 카메라를 세팅시키는 단계, 상기 카메라를 세팅한 후, 상기 평판디스플레이 패널이 놓여지는 워크테이블의 기준 좌표값을 제어부의 메모리에 저장하는 단계, 상기 메모리 상에 저장된 기준 좌표값에 따라 후속 평판디스플레이 패널이 로딩된 워크테이블을 이동시켜 평판디스플레이 패널을 계속해서 검사하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다. On the other hand, the constituent means constituting the lighting test method of the flat panel display panel inspection device according to the second embodiment of the present invention is installed on the plate provided on the square plate of the inspection device inspection unit, the probe plate having a probe plate Changing a position to correspond to a display panel size, aligning a pad mounted on the probe plate with a pad on a flat panel display panel seated on a worktable using a microscope, and moving the camera after the alignment is made Setting a camera by matching a reference mark displayed on a monitor with an alignment mark displayed on the flat panel display panel, and after setting the camera, reference coordinate values of a work table on which the flat panel display panel is placed are stored in the memory of the controller. Storing in the memory According to the standard coordinate value stored in moving the work table is subsequently loaded flat display panel characterized by comprising, including the step of continuously checking the flat display panel.

또한, 상기 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 변화 위치시키는 단계는, 상기 플레이트와 프로브플레이트 사이에 구비된 수직구동부를 구동시켜 프로브플레이트를 상기 평판디스플레이 패널 상측까지 전후진 이동시킴으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법.In addition, the step of changing the position of the probe plate to correspond to the size of the flat panel display panel, characterized in that made by moving the probe plate forward and backward to the upper side of the flat panel display panel by driving the vertical drive unit provided between the plate and the probe plate. Test method for lighting the flat panel display inspection unit.

또한, 상기 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 상측까지 이동시키는 단계에서, 초음파센서에 의하여 사각플레이트의 각 변에 설치된 프로브플레이트 간에 충돌이 발생하는지 판단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. 즉, 서로 이웃하는 프로브플레이트 간의 거리가 세팅된 소정 거리보다 더 적은 경우 상기 초음파센서에 의하여 감지된다.The method may further include determining whether a collision occurs between probe plates installed at each side of the square plate by an ultrasonic sensor. That is, when the distance between the probe plates adjacent to each other is less than the predetermined distance is detected by the ultrasonic sensor.

또한, 상기 마이크로스코프에 의하여 정렬시키는 단계는, 제1 플레이트 상에 이동가능하게 설치된 상기 보조플레이트에 결합된 프로브플레이트 상에 포함된 프로브를 상기 평판디스플레이 패널과 정렬시키는 제1 과정과, 제2 플레이트 상에 이동가능하게 설치된 상기 보조플레이트에 결합된 프로브플레이트 상에 포함된 프로브를 상기 평판디스플레이 패널과 정렬시키는 제2 과정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the alignment by the microscope may include a first process of aligning a probe included on a probe plate coupled to the auxiliary plate movably installed on a first plate with the flat panel display panel, and a second plate. And a second process of aligning a probe included on a probe plate coupled to the auxiliary plate movably installed on the subplate with the flat panel display panel.

또한, 상기 제1 과정은 상기 평판디스플레이 패널이 놓여지는 워크테이블을 이동시켜 정렬하고, 상기 제2 과정은 사각플레이트 상에 마련되는 이동기구를 구동시켜 정렬하는 것을 특징으로 한다.In addition, the first process is characterized by moving and aligning the work table on which the flat panel display panel is placed, and the second process is arranged by driving the moving mechanism provided on the square plate.

또한, 상기 제1 과정과 제2 과정은 상기 사각플레이트 상에 마련되는 이동기구를 구동시켜 정렬하는 것을 특징으로 한다.In addition, the first process and the second process is characterized in that by driving the moving mechanism provided on the square plate.

또한, 상기 기준마크와 정렬마크를 일치시키는 단계는, 상기 보조플레이트 또는 상기 프로브플레이트 상에 설치되는 카메라가 상기 정렬마크를 촬영하여 상기 모니터 상에 표시하는 과정과, 상기 카메라를 이동시켜 상기 정렬마크를 기준마크에 일치시키는 과정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The matching of the reference mark and the alignment mark may include: displaying, by the camera installed on the auxiliary plate or the probe plate, the alignment mark on the monitor; and moving the camera to move the alignment mark. Characterized in that it comprises a process of matching the reference mark.

한편, 본 발명의 제3 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등테스트 장치를 이루은 구성수단은, 네개의 변을 갖는 사각판형이되, 내부에 개구부를 가지는 사각플레이트와, 상기 사각플레이트의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트와, 상기 제1 플레이트와 이웃하는 상기 사각플레이트의 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트와, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트에 탈부착 가능하게 결합되되, 상기 평판디스플레이 패널의 사이즈에 대응하는 다양한 크기를 가지며 복수의 프로브들을 장착하고 있는 프로브플레이트와, 상기 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크와 가상의 기준마크를 정렬하여 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하는 위치설정수단;을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.On the other hand, the constituent means of the lighting test device of the flat panel display panel inspection device according to the third embodiment of the present invention is a rectangular plate having four sides, the rectangular plate having an opening therein, A first plate provided on one side, a second plate provided on a side of the square plate adjacent to the first plate, and detachably coupled to the first plate and the second plate, A probe plate having various sizes corresponding to the size of the flat panel display panel and mounting a plurality of probes, and an alignment mark and a virtual reference mark on the flat panel display panel to set a reference coordinate value of the work table. Set means; characterized in that made, including.

또한, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트 중 적어도 하나는 상기 본체 소정부분에 설치되는 이동기구에 의해 사각플레이트의 변(邊)의 길이 방향으로 이동가능하게 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, at least one of the first plate and the second plate is characterized in that it is installed to be movable in the longitudinal direction of the side of the square plate by a moving mechanism provided in the predetermined portion of the main body.

또한, 상기 제1 플레이트와 마주보는 상기 사각플레이트의 변(邊)에는 이동기구에 의하여 변(邊)의 길이방향으로 이동가능한 제2 플레이트가 더 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, a second plate movable in the longitudinal direction of the side by the moving mechanism is further provided on the side of the square plate facing the first plate.

또한, 상기 이동기구는 상기 사각플레이트 상에 변(邊) 방향으로 배치된 한 쌍의 가이드부와, 상기 가이드부와 맞물려 이동하되, 상기 제2 플레이트와 결합되는 판상의 이동부와, 상기 이동부를 상기 가이드 상에서 상기 사각플레이트의 변 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the moving mechanism is a pair of guide portion disposed in the side direction on the square plate, and moving in engagement with the guide portion, the plate-shaped moving portion coupled to the second plate, and the moving portion It characterized in that it comprises a drive for moving in the side direction of the square plate on the guide.

또한, 상기 이동부 하측면에 너트결합체를 더 마련하고, 상기 구동부는 상기 너트결합체와 나사결합하여 연동하는 스크류사프트와, 상기 스크류사프트를 회전시키는 모터를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the nut coupling body is further provided on the lower side of the moving part, and the driving unit is characterized in that it comprises a screw shaft for screwing and interlocking with the nut coupling, and a motor for rotating the screw shaft.

또한, 상기 위치설정수단은, 상기 평판디스플레이 패널의 정렬마크를 촬영하는 카메라와, 상기 카메라에 의해 촬영된 정렬마크를 모니터에 표시된 기준마크와 일치시켜 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하고 상기 기준 좌표값에 따라 상기 워크테이블을 구동하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The position setting means may set a reference coordinate value of the work table by matching a camera for photographing an alignment mark of the flat panel display panel with an alignment mark photographed by the camera with a reference mark displayed on a monitor. And a controller for driving the work table according to a coordinate value.

또한, 상기 카메라는 상기 제1 플레이트에 탈부착되는 프로브플레이트의 양측면과 상기 제2 플레이트에 탈부착되는 프로브플레이트의 일측면에 설치되되, 상기 제2 플레이트에 탈부착되는 프로브플레이트의 일측면에 설치되는 카메라는 상기 제1 플레이트에 탈부착되는 프로브플레이트와 이웃하지 않는 일측면에 설치되는 것을 특징으로 한다.The camera may be installed on both sides of the probe plate detachably attached to the first plate and on one side of the probe plate detachably attached to the second plate, and the camera may be installed on one side of the probe plate detachably attached to the second plate. It is characterized in that it is installed on one side that is not adjacent to the probe plate detachable to the first plate.

또한, 상기 제1 플레이트가는 상기 사각플레이트 상에 고정 설치되는 것을 특징으로 한다. 따라서, 상기 제1 플레이트는 고정하고 상기 제2 플레이트만을 이동시켜 프로브와 평판디스플레이 패널을 정렬시킬 수 있다.In addition, the first plate is characterized in that the fixed installation on the square plate. Therefore, the first plate may be fixed and only the second plate may be moved to align the probe and the flat panel display panel.

한편, 본 발명의 제3 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등테스트 방법을 이루는 구성수단은, 상기 검사장치 검사부의 사각플레이트에 구비된 플레이트에 설치되되, 프로브를 구비한 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 위치를 변화시키는 단계, 상기 프로브플레이트 상에 장착된 프로브와 워크테이블에 안착된 평판디스플레이 패널 상의 패드를 마이크로스코프를 이용하여 정렬시키는 단계, 상기 정렬이 이루어진 후, 카메라를 이동시켜 모니터 상에 표시된 기준마크와 상기 평판디스플레이 패널 상에 표시된 정렬마크를 일치시켜 카메라를 세팅시키는 단계, 상기 카메라를 세팅한 후, 상기 평판디스플레이 패널이 놓여지는 워크테이블의 기준 좌표값을 제어부의 메모리에 저장하는 단계, 상기 메모리 상에 저장된 기준 좌표값에 따라 후속 평판디스플레이 패널이 로딩된 워크테이블을 이동시켜 평판디스플레이 패널을 계속해서 검사하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.On the other hand, the constituent means constituting the lighting test method of the flat panel display panel inspection device according to the third embodiment of the present invention is installed on the plate provided on the square plate of the inspection device inspection unit, the probe plate having a probe plate Changing a position to correspond to a display panel size, aligning a pad mounted on the probe plate with a pad on a flat panel display panel seated on a worktable using a microscope, and moving the camera after the alignment is made Setting a camera by matching a reference mark displayed on a monitor with an alignment mark displayed on the flat panel display panel, and after setting the camera, reference coordinate values of a work table on which the flat panel display panel is placed are stored in the memory of the controller. Storing in the memory According to the standard coordinate value stored in moving the work table is subsequently loaded flat display panel characterized by comprising, including the step of continuously checking the flat display panel.

또한, 상기 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 변화 위치시키는 단계는, 상기 평판디스플레이 패널 상측에 상기 프로브플레이트의 프로브를 위치시키도록 소정 길이로 형성된 프로브플레이트를 상기 플레이트에 장착함으로써 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the step of changing the position of the probe plate to correspond to the size of the flat panel display panel, characterized in that by mounting a probe plate formed in a predetermined length to position the probe of the probe plate on the top of the flat panel display panel to the plate do.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 구성수단으로 이루어져 있는 본 발명인 평판디스플레이 검사장치 검사부의 점등테스트 장치 및 방법에 관한 바람직 한 제1 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a first preferred embodiment of the lighting test apparatus and method of the flat display inspection device inspection unit of the present invention consisting of the above configuration means.

도 4는 본 발명에 적용되는 평판디스플레이 패널 검사장치에 관한 구성도이다.4 is a block diagram of a flat panel display panel inspection apparatus applied to the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, 검사장치 본체(6)와, 상기 검사장치 본체(6) 내부에 존재하는 패널공급부(7)와, 상기 패널공급부(7)에 포함되어 공급되는 평판디스플레이 패널을 받는 서브테이블(7a)과, 상기 서브테이블(7a)에서 받은 평판디스플레이 패널을 이송하는 이송장치(미도시)와, 상기 이송장치로부터 전달되는 평판디스플레이 패널을 전달받는 워크테이블(8a)과, 상기 워크테이블(8a)에 올려놓여진 평판디스플레이 패널을 검사하는 검사부(8)로 이루어진다.As shown in FIG. 4, an inspection apparatus main body 6, a panel supply unit 7 present inside the inspection apparatus main body 6, and a flat panel display panel included in the panel supply unit 7 are supplied. A subtable 7a, a transfer device (not shown) for transferring the flat panel display panel received from the subtable 7a, a work table 8a for receiving the flat panel display panel transferred from the transfer device, and the work It consists of the inspection part 8 which examines the flat panel display panel mounted on the table 8a.

그리고, 상기 검사부(8)에는 평판디스플레이 패널 사이즈에 따라 평판디스플레이 패널에 대하여 점등 테스트를 수행하는 점등 테스트 장치가 포함되어 있다. 이하에서는, 상기 검사부(8)에 포함되는 본 발명인 점등 테스트 장치에 대하여 설명한다.The inspection unit 8 includes a lighting test apparatus that performs a lighting test on the flat panel display panel according to the size of the flat panel display panel. Hereinafter, the lighting test apparatus which is this invention contained in the said inspection part 8 is demonstrated.

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등테스트 장치의 구성도이다.5 is a configuration diagram of a lighting test apparatus of the flat panel display panel inspection apparatus according to the first embodiment of the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명인 평판디스플레이 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치(200)는, 네개의 변을 가지는 사각판형의 사각플레이트(110), 상기 사각플레이트(110)의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트(120a), 상기 사각플레이트(110)의 다른 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트(120b), 상기 제1 플레이트(120a)와 제2 플레이트(120b)에 탈부착할 수 있는 보조플레이트(130a, 130a', 130b), 상기 제1 플레이트(120a) 또는 제2 플레이트(120b) 또는 보조플레이트(130a, 130a', 130b)에 탈부착할 수 있는 프로브플레이트(140a, 140b), 상기 평판디스플레이 패널(180) 상의 정렬마크(181)와 기준마크(195)를 정렬하여 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하는 위치설정수단을 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 5, the lighting test apparatus 200 of the flat panel display inspecting apparatus according to the present invention includes a square plate 110 having four sides and a side of the square plate 110. The first plate 120a, the second plate 120b installed on the other side of the square plate 110, and the first plate 120a and the second plate (120b) that can be attached and detached Probe plates 140a and 140b that can be attached to and detached from the auxiliary plates 130a, 130a 'and 130b, the first plate 120a or the second plate 120b, or the auxiliary plates 130a, 130a' and 130b. It comprises a positioning means for setting the reference coordinate value of the work table by aligning the alignment mark 181 and the reference mark 195 on the flat panel display panel 180.

한편, 상기 위치설정수단은 상기 프로브플레이트(140a, 140b)의 일측면 또는 상기 프로브플레이트(140a, 140b)와 결합된 보조플레이트(130a, 130a', 130b)의 측면에 배치되되, 상기 평판디스플레이 패널(180)의 정렬마크(181)를 촬영하는 카메라(160a, 160b)와, 상기 카메라(160a, 160b)에 의해 촬영된 정렬마크(181)를 모니터(190, 도 10의 (c)에 표시)에 표시된 기준마크(195, 도 10의 (c)에 표시)와 일치시켜 상기 워크테이블(182)의 기준 좌표값을 설정하고 상기 기준 좌표값에 따라 상기 워크테이블(182)을 구동하는 제어부(미도시)를 포함하여 이루어진다.On the other hand, the positioning means is disposed on one side of the probe plates (140a, 140b) or the side of the auxiliary plate (130a, 130a ', 130b) coupled with the probe plates (140a, 140b), the flat panel display panel The cameras 160a and 160b photographing the alignment marks 181 of 180 and the alignment marks 181 photographed by the cameras 160a and 160b are displayed on the monitor 190 (FIG. 10C). A control unit (not shown) which sets the reference coordinate value of the work table 182 in accordance with the reference mark 195 (shown in FIG. 10 (c)) shown in the figure and drives the work table 182 according to the reference coordinate value. O).

그리고, 상기 제1 플레이트(120a)와 상기 제2 플레이트(120b) 중 적어도 하나는 상기 본체(110) 상에 설치되어 마련되는 이동기구에 의해 사각플레이트의 변의 길이방향으로 이동가능하게 설치된다.At least one of the first plate 120a and the second plate 120b is installed to be movable in the longitudinal direction of the side of the square plate by a moving mechanism provided on the main body 110.

상기 사각플레이트(110)는 네개의 변(邊)을 가지는 사각판형으로 이루어져 있다. 그리고 평판디스플레이 패널(180)을 프로빙하기 위한 공간을 마련하기 위하여 내부에 개구부(111)를 가지고 있다. 상기 사각플레이트(110)의 각 변(邊)에는 제1 플레이트(120a), 제2 플레이트(120b)가 결합되고, 상기 제2 플레이트(120b)를 이동시키기 위한 이동기구(170a)가 마련된다. The square plate 110 has a square plate shape having four sides. In order to provide a space for probing the flat panel display panel 180 has an opening 111 therein. The first plate 120a and the second plate 120b are coupled to each side of the square plate 110, and a moving mechanism 170a for moving the second plate 120b is provided.

한편, 상기 사각플레이트는 힌지구조에 의하여 회동프레이트를 개방할 수 있는 종래와 달리 평판디스플레이 검사장치 검사부에 고정되어 있다. 즉, 본 발명은 평판디스플레이 패널의 사이즈에 대응하여 검사부를 세팅하기 위해서는, 점등 테스트 본체(110)를 개방하는 것이 아니라, 사각플레이트(110)에 결합되는 제1 플레이트(120a), 제2 플레이트(120b) 등을 탈부착하면 된다.On the other hand, the square plate is fixed to the flat display inspection device inspection unit unlike the conventional one that can open the rotating plate by the hinge structure. That is, according to the present invention, in order to set the inspection unit corresponding to the size of the flat panel display panel, the first test plate 120a and the second plate coupled to the square plate 110 are not opened. 120b) etc. may be removed.

상기 제1 플레이트(120a)는 상기 사각플레이트(110)의 네 변(邊)중에 하나의 변인 제1 변에 구비 설치된다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 사각플레이트(110)의 네 변(邊)중 상측에 존재하는 제1 변(邊)에 구비된다. 상기 제1 플레이트(120a)는 상기 사각플레이트(110)에 고정되거나 이동가능하게 설치된다.The first plate 120a is provided at a first side, which is one of four sides of the square plate 110. That is, as shown in Figure 5, the four sides of the rectangular plate 110 is provided on the first side existing on the upper side (邊). The first plate 120a is installed on the square plate 110 to be fixed or movable.

상기 제1 플레이트(120a)와 달리 상기 사각플레이트(110) 상에서 이동할 수 있는 제2 플레이트(120b)는 상기 제1 플레이트(120a)와 이웃하는 상기 사각플레이트(110)의 제2 변(邊)에 설치된다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(120a)가 고정설치된 변(邊)과 이웃하는 좌측 변(邊)인 제2 변에 상기 제2 플레이트(120b)를 이동가능하게 설치한다.Unlike the first plate 120a, the second plate 120b that is movable on the square plate 110 is disposed on a second side of the square plate 110 adjacent to the first plate 120a. Is installed. That is, as shown in FIG. 5, the second plate 120b is movably installed on a second side that is a left side adjacent to the side where the first plate 120a is fixed. .

한편, 상기 제2 플레이트(120b, 120c)는 도 6의 (a)에 도시된 바와 같이 상기 제1 플레이트(120a)가 구비된 변과 이웃하는 좌측 변 및 우측 변에 각각 설치될 수 있다. On the other hand, the second plate (120b, 120c) may be installed on the left side and the right side adjacent to the side provided with the first plate 120a, as shown in Figure 6 (a).

또한, 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 제2 플레이트(120b, 120c, 120d)는 상기 제1 플레이트(120a)가 구비된 제1 변과 이웃하는 좌, 우측 변뿐만 아니라, 상기 제1 플레이트(120a)가 구비된 제1 변과 마주보는 변에도 이동가능하게 설치될 수 있다.In addition, as illustrated in FIG. 6B, the second plates 120b, 120c, and 120d may have left and right sides adjacent to the first side provided with the first plate 120a, as well as the left and right sides. The first plate 120a may be installed to be movable on the side facing the first side.

더 나아가, 도 6의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(120a)가 설치되는 상기 사각플레이트(110) 상에 상기 이동기구(170d)가 더 설치되어, 상기 제1 플레이트(120a)를 상기 제1 변의 길이 방향으로 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 사각플레이트(110) 네 변에 설치되는 하나의 제1 플레이트(120a)와 세개의 제2 플레이트(120b, 120c, 120d)는 상기 사각플레이트(110) 상에 설치되는 네개의 이동기구(170a, 170b, 170c, 170d)에 의하여 이동시킬 수 있다.Furthermore, as shown in FIG. 6C, the moving mechanism 170d is further installed on the square plate 110 on which the first plate 120a is installed, and thus the first plate 120a is provided. ) May be moved in the longitudinal direction of the first side. That is, one first plate 120a and three second plates 120b, 120c, and 120d installed at four sides of the square plate 110 may include four moving mechanisms installed on the square plate 110. 170a, 170b, 170c, 170d).

상기 제1 플레이트(120a)가 고정설치된 상기 사각플레이트(110)의 일변(邊)을 제외한 세개의 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트(120b, 120c, 120d)는 상기 사각플레이트(110) 상에 설치되는 이동기구(170a, 170b, 170c)에 의하여 각 변(邊)의 길이 방향으로 이동될 수 있다. The second plates 120b, 120c, and 120d, which are installed on three sides of the rectangular plate 110 on which the first plate 120a is fixed, are disposed on the rectangular plate 110. It can be moved in the longitudinal direction of each side by the moving mechanism (170a, 170b, 170c) installed in.

물론, 도 6의 (c)에 도시된 바와 같이 상기 사각플레이트(110) 상에 별도의 이동기구(170d)를 더 마련한 경우에는 상기 제1 플레이트(120a)도 변(邊)의 길이방향으로 이동될 수 있다. 이 경우에는, 상기 제1 플레이트(120a)와 제2 플레이트(120b) 중 적어도 하나는 상기 본체(110) 상에서 이동기구(170a, 170d)에 의하여 이동가능하게 설치되는 것이다.Of course, when the additional moving mechanism (170d) is further provided on the square plate 110, as shown in Figure 6 (c) also moves the first plate (120a) in the longitudinal direction of the side (邊) Can be. In this case, at least one of the first plate 120a and the second plate 120b is installed to be movable by the moving mechanisms 170a and 170d on the main body 110.

상기 이동기구(170a, 170b, 170c, 170d)는 도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이 상기 사각플레이트(110) 상의 소정 위치에 마련된다.The moving mechanisms 170a, 170b, 170c, and 170d are provided at predetermined positions on the square plate 110 as illustrated in FIGS. 5 to 7.

상기 제1 플레이트(120a) 및 제2 플레이트(120b, 120c, 120d)가 설치되는 상기 사각플레이트(110)의 각 변(邊)에 마련되는 이동기구(170a, 170b, 170c, 170d)는 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 사각플레이트(110) 상에 변(邊) 방향으로 배치된 한 쌍의 가이드부(171a)와, 상기 가이드부(171a)와 맞물려서 이동하는 판상의 이동부(172a)와, 상기 이동부(172a)를 상기 가이드부(171a) 상에서 상기 사각플레이트(110)의 변(邊) 방향으로 이동시키는 구동부(177a)를 포함하여 이루어져 있다.Moving mechanisms 170a, 170b, 170c, 170d provided at each side of the square plate 110 on which the first plate 120a and the second plates 120b, 120c, and 120d are installed are illustrated in FIG. 7. As shown in FIG. 1, a pair of guide parts 171 a disposed in the side direction on the square plate 110, and a plate-shaped moving part 172 a moving in engagement with the guide part 171 a and And a driving part 177a for moving the moving part 172a in the side direction of the square plate 110 on the guide part 171a.

상기 사각플레이트(110) 상에 변(邊) 방향으로 배치되는 가이드부(171a)와 상기 판상의 이동부(172a)는 L/M(Linear Motion) 가이드에 의하여 서로 맞물려 이동할 수 있다. 따라서, 상기 판상의 이동부(172a)는 상기 사각플레이트(110) 상에 변(邊) 방향으로 배치되는 한 쌍의 가이드부(171a)와 맞물릴 수 있도록, 하부면에 평행하게 마련되는 한 쌍의 가이드결합체(173a)를 포함한다.The guide part 171a and the plate-shaped moving part 172a disposed on the square plate 110 in the lateral direction may be engaged with each other by a linear motion (L / M) guide. Therefore, the pair of plate-shaped moving parts 172a is provided in parallel with the lower surface so as to be engaged with the pair of guide parts 171a disposed in the side direction on the square plate 110. It includes a guide assembly (173a) of.

한편, 상기 구동부(177a)는 상기 이동부(172a)를 상기 사각플레이트(110) 각 변(邊)의 길이 방향으로 이동시킬 수 있도록 마련되어야 한다. On the other hand, the driving unit 177a should be provided to move the moving unit 172a in the longitudinal direction of each side of the square plate (110).

상기 이동부(172a)를 이동시키기 위한 방법으로, 상기 이동부(172a)와 고정결합되는 샤프트(미도시)와, 이 샤프트에 동력을 전달하는 에어실린더(미도시)에 의하여 상기 이동부를 이동시킬 수 있다. As a method for moving the moving part 172a, the moving part may be moved by a shaft (not shown) fixedly coupled to the moving part 172a and an air cylinder (not shown) transmitting power to the shaft. Can be.

그러나, 본 발명에서는 상기 이동부(172a)의 정확한 이동과 안전한 이동을 위하여 스크류사프트(175a)와 서보모터(176a)를 이용하여 상기 이동부(172a)를 이동시킨다.However, in the present invention, the screw 175a and the servomotor 176a are used to move the movable part 172a for accurate movement and safe movement of the movable part 172a.

즉, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 이동부(172a) 하측면에 너트결합체(174a)를 더 마련하고, 상기 구동부(172a)는 상기 너트결합체(174a)와 나사결합하여 연동하는 스크류사프트(175a)와 상기 스크류사프트(175a)를 회전시키는 서보모 터(176a)로 구성하여 상기 이동부(172a)를 각 변(邊)의 길이 방향으로 안정성 있게 이동시킨다.That is, as shown in FIG. 7, the nut coupling member 174a is further provided on the lower side of the moving part 172a, and the driving part 172a is screwed with the nut coupling member 174a to interlock with a screw shaft ( 175a and the servomotor 176a for rotating the screw shaft 175a to stably move the moving part 172a in the longitudinal direction of each side.

따라서, 상기 이동기구(170a)에 의하여 상기 제2 플레이트(120b)를 이동시키기 위해서는, 제어부(미도시)의 제어에 따라 서보모터(176a)를 구동하고, 구동된 서보모터(176a)는 스크류사프트(175a)를 회전시킨다. 그러면, 상기 스크류사프트(175a)와 나사결합되어 연동하는 너트결합체(174a)에 동력이 전달되어 상기 이동부(172a)는 상기 가이드부(171a)를 따라 이동하게 된다.Therefore, in order to move the second plate 120b by the moving mechanism 170a, the servomotor 176a is driven under the control of a controller (not shown), and the driven servomotor 176a is a screw shaft. Rotate 175a. Then, power is transmitted to the nut coupling body 174a which is screwed and interlocked with the screw shaft 175a so that the moving part 172a moves along the guide part 171a.

상기 사각플레이트(110)의 각 변에 설치되는 제1 플레이트(120a)와 제2 플레이트(120b, 120c, 120d)에는 적어도 하나의 보조플레이트(130a, 130a', 130b, 130c, 130d)가 탈부착될 수 있다. 이와 같이, 상기 제1 플레이트(120a)와 제2 플레이트(120b, 120c, 120d)에 상기 보조플레이트(130a, 130a', 130b, 130c, 130d)가 탈부착되는 이유는, 평판디스플레이 패널의 다양한 사이즈에 효과적으로 대응하기 위해서이다.At least one auxiliary plate (130a, 130a ', 130b, 130c, 130d) is attached to the first plate (120a) and the second plate (120b, 120c, 120d) installed on each side of the square plate (110). Can be. As described above, the auxiliary plates 130a, 130a ', 130b, 130c, and 130d are attached to and detached from the first plate 120a and the second plate 120b, 120c, and 120d in various sizes of the flat panel display panel. To respond effectively.

즉, 특정 사이즈의 평판디스플레이 패널을 검사하다가 더 작은 사이즈의 평판디스플레이 패널을 검사하고자 하는 경우에는, 상기 보조플레이트(130a, 130a', 130b)를 상기 제1 플레이트(120a)와 상기 제2 플레이트(120b, 120c, 120d)에 부착하고, 더 큰 사이즈의 평판디스플레이 패널을 검사하고자 하는 경우에는, 상기 부착된 보조플레이트(130a, 130a', 130b, 130c, 130d)를 탈착하여 변경된 사이즈의 평판디스플레이 패널을 검사할 수 있다.That is, when inspecting a flat panel display panel having a specific size and then inspecting a flat panel panel having a smaller size, the auxiliary plates 130a, 130a ', and 130b may be connected to the first plate 120a and the second plate ( 120b, 120c, and 120d), and when the larger size flat panel display panel is to be inspected, the attached auxiliary plates 130a, 130a ', 130b, 130c, and 130d are detached and the flat panel panel of the changed size is removed. You can check

이와 같이, 검사할 평판디스플레이 패널의 사이즈가 변경되더라도 상기 사각플레이트(110) 전부를 교체할 필요 없이, 상기 보조플레이트(130a, 130a', 130b, 130c, 130d)만을 탈부착함으로써 변경된 평판디스플레이 패널을 검사할 수 있게 된다.As such, even if the size of the flat panel display to be inspected is changed, only the auxiliary plates 130a, 130a ′, 130b, 130c, and 130d are removed without inspecting the entire flat plate display panel. You can do it.

상기 보조플레이트(130a, 130a', 130b, 130c, 130d)는 변경된 평판디스플레이 패널의 사이즈에 따라 상기 사각플레이트(110)의 개구부(111) 중심 방향으로 연속해서 상기 제1 플레이트(120a) 및 제2 플레이트(120b, 120c, 120d)에 결합하게 된다. 한편, 상기 사각플레이트(110)의 개구부(111) 중심 방향으로 연속해서 결합되는 보조플레이트(130a, 130a', 130b, 130c, 130d)는 상기 사각플레이트(110)의 개구부(111) 중심 방향으로 갈 수록 변(邊) 방향의 길이가 점점 작아진다.The auxiliary plates 130a, 130a ', 130b, 130c, and 130d are continuously formed in the center direction of the opening 111 of the rectangular plate 110 according to the size of the changed flat panel display panel. To the plates 120b, 120c, and 120d. On the other hand, the auxiliary plates 130a, 130a ', 130b, 130c, and 130d continuously coupled in the center direction of the opening 111 of the square plate 110 may go toward the center of the opening 111 of the square plate 110. As the side length increases, the length becomes smaller.

도 8은 상기 제1 플레이트(120a)에 결합되는 상기 보조플레이트(130a, 130a')의 결합 상태를 보여주는 예시도이다. 이하에서 설명한 보조플레이트의 결합 상태는 제2 플레이트(120b, 120c, 120d)에 결합되는 보조플레이트(130a, 130a', 130b, 130c, 130d)의 결합 상태에도 적용된다.8 is an exemplary view illustrating a coupling state of the auxiliary plates 130a and 130a 'coupled to the first plate 120a. The coupling state of the auxiliary plate described below also applies to the coupling state of the auxiliary plates 130a, 130a ', 130b, 130c, and 130d coupled to the second plates 120b, 120c, and 120d.

도 8의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 보조플레이트(130a)는 상기 제1 플레이트(120a)에 한개가 결합될 수 있고, 도 8의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 보조플레이트(130a, 130a')는 상기 제1 플레이트(120a)에 두개가 연속해서 결합될 수 있다. 여기서, 상기 보조플레이트(130a)와 제1플레이트(130a') 및 복수의 제1플레이트(130a')들의 탈착 또는 부착되는 결합은 일반적으로 사용하는 공지의 볼트와 너트를 이용하여 나사 체결방법으로 이루어질 수 있다. 한편, 도 8의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(120a)에 결합되는 외각의 보조플레이트(130a)에는 평판디스플레이 패널 상에 표시된 정렬마크를 촬영하기 위하여 카메라(160a)가 배치된다.As shown in (a) of FIG. 8, one auxiliary plate 130a may be coupled to the first plate 120a, and as shown in FIG. 8 (b), the auxiliary plate ( 130a and 130a 'may be coupled to the first plate 120a in succession. Here, the attachment or detachment of the auxiliary plate (130a) and the first plate (130a ') and the plurality of first plates (130a') is made of a screw fastening method using a commonly known bolt and nut. Can be. Meanwhile, as shown in FIG. 8C, the camera 160a is disposed on the outer auxiliary plate 130a coupled to the first plate 120a to photograph the alignment mark displayed on the flat panel display panel. do.

도 9는 제1 플레이트(120a) 또는 이 제1 플레이트(120a)에 결합되는 보조플 레이트(130a, 130a')에 결합된 프로브플레이트(140a)의 결합 상태를 보여주는 예시도이다. FIG. 9 is an exemplary view illustrating a coupling state of the probe plate 140a coupled to the first plate 120a or the auxiliary plates 130a and 130a 'coupled to the first plate 120a.

상기 보조플레이트(130a, 130a')에는 복수의 프로브(150a)들이 장착된 프로브플레이트(140a)가 결합된다. 즉, 상기 제1 플레이트(120a) 또는 제2 플레이트(120b)에 연속해서 결합되는 보조플레이트(130a, 130a') 중에 상기 사각플레이트(110)의 개구부(111) 중심에 가장 가까운 보조플레이트(130a')에 상기 프로브플레이트(140a)가 탈부착 가능하게 결합된다. 한편, 상기 프로브플레이트(140a)는 상기 보조플레이트(130a, 130a')에 결합하지 않고 상기 제1 플레이트(120a) 또는 제2 플레이트(120b)에 직접 결합될 수 있다. Probe plates 140a equipped with a plurality of probes 150a are coupled to the auxiliary plates 130a and 130a '. That is, the auxiliary plate 130a 'closest to the center of the opening 111 of the square plate 110 among the auxiliary plates 130a and 130a' continuously coupled to the first plate 120a or the second plate 120b. The probe plate 140a is detachably coupled thereto. Meanwhile, the probe plate 140a may be directly coupled to the first plate 120a or the second plate 120b without being coupled to the auxiliary plates 130a and 130a '.

이하에서 설명한 결합 상태는 제2 플레이트(120b) 또는 이 제2 플레이트(120b)에 결합되는 보조플레이트(130b, 130c, 130d)에 결합된 프로브플레이트(140b)의 결합 상태에도 적용된다.The coupling state described below also applies to the coupling state of the probe plate 140b coupled to the second plate 120b or the auxiliary plates 130b, 130c, and 130d coupled to the second plate 120b.

도 9의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 복수의 프로브(150a)들이 장착된 프로브플레이트(140a)는 제1 플레이트(120a) 상에 직접 결합될 수 있다. 또한 도 9의 (b)에 도시된 바와 같이, 제1 플레이트(120a)에 한 개의 보조플레이트(130a)가 먼저 결합되고, 상기 보조플레이트(130a)에 상기 프로브플레이트(140a)가 결합될 수 있다. 그리고 도 9의 (c)에 도시된 바와 같이, 제1 플레이트(120a)에 연속해서 두개의 보조플레이트(130a, 130a')가 결합되고, 상기 두번째 보조플레이트(130a')에 상기 프로브플레이트(140)가 결합된다.As shown in FIG. 9A, the probe plate 140a on which the plurality of probes 150a are mounted may be directly coupled to the first plate 120a. In addition, as shown in FIG. 9B, one auxiliary plate 130a may be first coupled to the first plate 120a, and the probe plate 140a may be coupled to the auxiliary plate 130a. . As shown in FIG. 9C, two auxiliary plates 130a and 130a 'are continuously coupled to the first plate 120a, and the probe plate 140 is connected to the second auxiliary plate 130a'. ) Are combined.

한편, 도 9의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(120a) 또는 이 제1 플레이트(120a)에 결합되는 상기 프로브플레이트(140a)는 일측면에 카메라(160a)를 포함하고 있다. 즉, 도 5 또는 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 카메라(160a)는 상기 제1 플레이트(120a)에 탈부착되는 보조플레이트(130a) 중에 상기 사각플레이트(110) 개구부(111)의 중심에 가장 가까운 보조플레이트(130a')에 설치되고, 또한 상기 제2 플레이트(120b)에 탈부착되는 상기 보조플레이트(130b)에 결합된 프로브플레이트(140b)의 일측면에 또 다른 카메라(160b)가 설치된다.Meanwhile, as shown in FIG. 9D, the first plate 120a or the probe plate 140a coupled to the first plate 120a includes a camera 160a on one side thereof. . That is, as shown in FIG. 5 or 6, the camera 160a is closest to the center of the opening 111 of the square plate 110 among the auxiliary plates 130a detachably attached to the first plate 120a. Another camera 160b is installed on one side of the probe plate 140b attached to the auxiliary plate 130b which is installed on the auxiliary plate 130a 'and is detachably attached to the second plate 120b.

상기 보조플레이트(130a')에 설치되는 카메라(160a)는 도 5 또는 도 6에 도시된 바와 같이, 양 측단에 각각 설치되고, 상기 프로브플레이트(140b)에 설치되는 카메라(160b)는 상기 보조플레이트(130a')에 이웃하지 않는 일측에만 설치된다. 이와 같이 3개의 카메라를 설치하여 평판디스플레이 패널(180) 상에 표시된 정렬마크(181)를 촬영한다. 즉, 상기 카메라(160a, 160b)는 정렬마크(181) 개수만큼 구비되고, 정렬마크(181) 위치에 대응되도록 설치된다.As shown in FIG. 5 or FIG. 6, the camera 160a installed in the auxiliary plate 130a 'is installed at both side ends, and the camera 160b installed in the probe plate 140b is the auxiliary plate. It is provided only on one side which does not neighbor to 130a '. Thus, three cameras are installed to photograph the alignment marks 181 displayed on the flat panel display panel 180. That is, the cameras 160a and 160b are provided as many as the number of alignment marks 181 and are installed to correspond to the position of the alignment marks 181.

상기 프로브플레이트(140b)의 일측면 또는 상기 보조플레이트(130a') 일측면에 배치되는 카메라들(160a, 160b)은 X, Y, Z축으로 이동 가능하고, 상기 평판디스플레이 패널(180) 상에 표시된 정렬마크(181)를 촬영한다.Cameras 160a and 160b disposed on one side of the probe plate 140b or one side of the auxiliary plate 130a 'may be moved in X, Y, and Z axes, and may be disposed on the flat panel display panel 180. The displayed alignment mark 181 is photographed.

상기 카메라(160a, 160b)에 의하여 촬영된 상기 평판디스플레이 패널(180) 상에 표시된 정렬마크(181)는 제어부(미도시)에 포함되는 모니터(190)(도 10의 (c), (d)에 도시됨) 상에 표시된다. 상기 모니터(190)에는 상기 카메라(160a, 160b)에 의하여 촬영된 상기 정렬마크(181)가 표시될뿐만 아니라, 상기 정렬마크(181)를 일치시키기 위한 기준마크(195)가 표시된다.The alignment mark 181 displayed on the flat panel display panel 180 photographed by the cameras 160a and 160b includes a monitor 190 included in a controller (not shown) (FIGS. 10C and 10D). Shown in the figure). The monitor 190 displays not only the alignment mark 181 photographed by the cameras 160a and 160b but also a reference mark 195 for matching the alignment mark 181.

즉, 상기 모니터(190)에는 상기 기준마크(195)와 정렬마크(181)를 표시시키고, 상기 카메라(160a, 160b)를 X, Y, X축으로 이동시켜 상기 카메라에 의하여 촬영된 정렬마크(181)를 상기 기준마크(195)에 정렬시킨다.That is, the monitor 190 displays the reference mark 195 and the alignment mark 181, and moves the cameras 160a and 160b to the X, Y, and X axes, and displays the alignment marks captured by the camera. 181 is aligned with the reference mark 195.

한편, 상기 카메라(160a, 160b)는 상기 정렬마크(181)를 촬영하지 않고 워크테이블(182) 상에 표시된 마크(183)를 촬영하여 상기 모니터(190) 상에 표시할 수 있다. 즉, 상기 모니터(190)에는 상기 기준마크(195)와 상기 워크테이블(182) 상에 표시된 마크(183)를 표시시키고 상기 카메라(160a, 160b)를 이동시켜 상기 카메라(160a, 160b)에 의하여 촬영된 상기 워크테이블(182) 상에 마크(183)를 상기 기준마크(195)에 정렬시킨다.Meanwhile, the cameras 160a and 160b may photograph the mark 183 displayed on the work table 182 and photograph the mark 183 on the monitor 190 without photographing the alignment mark 181. That is, the monitor 190 displays the reference mark 195 and the mark 183 displayed on the work table 182 and moves the cameras 160a and 160b by the cameras 160a and 160b. The mark 183 is aligned with the reference mark 195 on the photographed work table 182.

이하, 도 10을 참조하여 평판디스플레이 패널에 대하여 점등테스트 하는 방법에 대하여 설명한다.Hereinafter, a lighting test method for the flat panel display panel will be described with reference to FIG. 10.

도 10의 (a)는 특정 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(180)을 검사하기 위한 세팅 상태이다. 즉, 특정 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(180)을 검사하기 위하여 제1 플레이트(120a)에는 두개의 보조플레이트(130a, 130a')가 결합되고, 상기 마지막 보조플레이트(130a')에 프로브플레이트(140a)가 결합되어 있다. 그리고, 제2 플레이트(120b)에는 한개의 보조플레이트(130b)가 결합되고, 이 보조플레이트(130b)에 프로브플레이트(140b)가 결합되어 있다.FIG. 10A illustrates a setting state for inspecting the flat panel display panel 180 having a specific size. That is, in order to inspect the flat panel display panel 180 having a specific size, two auxiliary plates 130a and 130a 'are coupled to the first plate 120a, and a probe plate 140a is connected to the last auxiliary plate 130a'. ) Is combined. In addition, one auxiliary plate 130b is coupled to the second plate 120b, and the probe plate 140b is coupled to the auxiliary plate 130b.

상기 도 10의 (a)와 같은 세팅 상태에서 더 작은 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(180)을 검사하기 위해서 도 10의 (b)와 같이 탈부착 가능한 보조플레이트(130a", 130b')를 더 결합하여 프로브를 구비한 프로브플레이트(140a)를 평판디스플레이 패널(180) 사이즈에 대응하도록 위치를 변화시킨다. 즉, 제1 플레이트(120a)에는 세개의 보조플레이트(130a, 130a', 130a")가 연속해서 결합되고, 상기 보조플레이트(130a, 130a', 130a") 중에 상기 사각플레이트(110) 개구부(111)의 중앙에서 가장 가까운 보조플레이트(130a")에 상기 프로브플레이트(140a)가 결합된다. In order to inspect the flat panel display panel 180 having a smaller size in the setting state as shown in FIG. 10 (a), the removable auxiliary plates 130a "and 130b 'are further combined as shown in FIG. The position of the probe plate 140a having the probe is changed to correspond to the size of the flat panel display panel 180. That is, three auxiliary plates 130a, 130a ', and 130a "are successively arranged on the first plate 120a. The probe plate 140a is coupled to the auxiliary plate 130a ″ closest to the center of the opening 111 of the square plate 110 among the auxiliary plates 130a, 130a ′, and 130a ″.

그리고, 상기 제2 플레이트(120b)에는 두개의 보조플레이트(130b, 130b')가 연속해서 결합되고, 상기 보조플레이트(130b, 130b') 중에 상기 사각플레이트(110) 개구부(111)의 중앙에서 가장 가까운 보조플레이트(130b')에 상기 프로브플레이트(140b)가 결합된다.In addition, two auxiliary plates 130b and 130b 'are continuously coupled to the second plate 120b, and among the auxiliary plates 130b and 130b', the second plate 120b is disposed at the center of the opening 111 of the square plate 110b. The probe plate 140b is coupled to a close auxiliary plate 130b '.

상기와 같이 더 작은 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(180)을 검사하기 위해서, 탈부착 가능한 보조플레이트(130a", 130b')만 더 부착하여 간단하게 세팅이 이루어진다. 즉, 검사할 평판디스플레이 패널(180)의 사이즈가 변경되더라도, 사각플레이트(110) 전부를 교체할 필요없이 일정 크기를 가지는 보조플레이트만 탈부착함으로써, 간단하게 세팅를 할 수 있다.In order to inspect the flat panel display panel 180 having a smaller size as described above, only the detachable auxiliary plates 130a "and 130b 'are further attached, and setting is simply performed. That is, the flat panel display panel 180 to be inspected is installed. Even if the size of is changed, by only attaching and detaching the auxiliary plate having a certain size without having to replace all the square plate 110, it is possible to simply set.

상기와 같이 변경된 평판디스플레이 패널(180)을 검사하기 위하여 보조플레이트(130a, 130a', 130a", 130b, 130b')와 프로브플레이트(140a, 140b)를 결합하여 세팅한 후에는, 상기 변경된 평판디스플레이 패널(180) 상의 패드(미도시)와 상기 프로브플레이트(140a, 140b) 상에 장착된 복수의 프로브(150a, 150b)의 검사팁(미도시)을 정렬시킨다. 상기 프로브(150a, 150b)의 검사팁(미도시)과 평판디스플레이 패널(180) 상의 패드의 정렬은 마이크로스코프(9, 도 4에 표시)를 이용하여 수동으로 정렬한다.After the combination of the auxiliary plates 130a, 130a ', 130a ", 130b, 130b' and the probe plates 140a and 140b to inspect the changed flat panel display panel 180 as described above, the changed flat panel display panel 180 Align the pads (not shown) on the panel 180 with the test tips (not shown) of the plurality of probes 150a and 150b mounted on the probe plates 140a and 140b. The alignment of the test tip (not shown) and the pads on the flat panel display panel 180 are manually aligned using a microscope 9 (shown in FIG. 4).

상기 마이크로스코프(9, 도 4에 표시)에 의하여 상기 프로브(150a, 150b)의 검사팁(미도시)과 상기 평판디스플레이 패널(180)의 패드를 정렬하는 방법은, 먼저 제1 플레이트(120a) 또는 이 제1 플레이트(120a)에 결합되는 보조플레이트(130a, 130a', 130a")에 결합되어 상기 사각플레이트(110)의 제1 변의 플레이트에 위치된 상기 프로브플레이트(140a) 상에 포함된 프로브(150a)와 상기 평판디스플레이 패널(180)의 제1 변에 정렬시킨다. The method of aligning the test tips (not shown) of the probes 150a and 150b with the pads of the flat panel display panel 180 by using the microscope 9 (shown in FIG. 4) may include a first plate 120a. Or a probe included on the probe plate 140a coupled to the auxiliary plates 130a, 130a ', and 130a "coupled to the first plate 120a and positioned on the plate of the first side of the square plate 110. 150a and the first side of the flat panel display panel 180.

그런 다음, 제2 플레이트(120b) 또는 이 제2 플레이트(120b)에 결합되는 보조플레이트(130b, 130b')에 결합되어 상기 사각플레이트(110) 제2 변의 플레이트에 위치된 상기 프로브플레이트(140b) 상에 포함된 프로브(150b)를 상기 평판디스플레이 패널(180)의 제2 변과 정렬한다.Then, the probe plate 140b coupled to the second plate 120b or the auxiliary plates 130b and 130b 'coupled to the second plate 120b and positioned on the plate on the second side of the square plate 110. The probe 150b included in the phase is aligned with the second side of the flat panel display panel 180.

상기 제1 플레이트(120a)에 결합되는 프로브플레이트(140a) 또는 도 10의 (b)에 도시된 바와 같이 상기 제1 플레이트(120a)에 결합되는 보조플레이트(130a")에 결합된 프로브플레이트(140a) 상의 프로브(150a)와 평판디스플레이 패널(180)의 패드를 정렬하기 위해서는 상기 평판디스플레이 패널(180)이 놓여지는 워크테이블(182)을 이동시켜 정렬한다. 즉, 상기 제1 플레이트(120a)는 이동되지 않고 사각플레이트(110)의 일변(一邊)에 고정부착되어 있기 때문에 상기 평판디스플레이 패널(180)이 놓여지는 워크테이블을 이동시켜 정렬시킨다.A probe plate 140a coupled to the probe plate 140a coupled to the first plate 120a or an auxiliary plate 130a ″ coupled to the first plate 120a as shown in FIG. 10B. In order to align the pads of the probe 150a on the flat panel display panel 180 with the probe 150a, the worktable 182 on which the flat panel display panel 180 is placed is moved and aligned, that is, the first plate 120a Since it is fixed to one side of the square plate 110 without moving, the work table on which the flat panel display panel 180 is placed is moved and aligned.

만약 도 6의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(120a)가 이동기구(170d)에 의하여 이동될 수 있도록 구성한다면, 상기와 같이 워크테이블을 이동시키지 않고 상기 이동기구(170d)를 구동시켜 상기 프로브(150a)와 평판디스플레이 패널(180)의 패드를 정렬시킬 수 있다.As shown in FIG. 6C, if the first plate 120a is configured to be moved by the moving mechanism 170d, the moving mechanism 170d is not moved as described above. The pads of the probe 150a and the flat panel display panel 180 may be aligned by driving.

상기 워크테이블(182)을 이동시키거나, 상기 이동기구(170d)를 구동시켜 상기 제1 플레이트(120a) 또는 보조플레이트(130")와 결합되는 프로브플레이트(140a) 상에 장착된 프로브(150a)의 검사팁(미도시)과 평판디스플레이 패널(180)의 패드를 정렬한 후에는, 상기 제2 플레이트(120b)에 결합된 프로브플레이트(140b) 또는 도 10의 (b)에 도시된 바와 같이 상기 제2 플레이트(120b)와 결합되는 보조플레이트(130b')에 결합된 프로브플레이트(140b) 상에 장착된 프로브(150b)의 검사팁(미도시)과 평판디스플레이 패널(180)의 패드를 정렬한다.The probe 150a mounted on the probe plate 140a which is coupled to the first plate 120a or the auxiliary plate 130 ″ by moving the work table 182 or driving the moving mechanism 170d. After aligning the test tip (not shown) and the pad of the flat panel display panel 180, the probe plate 140b coupled to the second plate 120b or as shown in FIG. Align the pads of the flat panel panel 180 with the test tip (not shown) of the probe 150b mounted on the probe plate 140b coupled to the auxiliary plate 130b 'coupled to the second plate 120b. .

상기 제2 플레이트(120b)와 결합되는 보조플레이트(130b')에 결합된 프로브플레이트(140b)에 장착된 프로브(150b)의 검사팁(미도시)과 워크테이블 상에 놓여있는 평판디스플레이 패널(180)의 패드를 정렬시키기 위해서는, 사각플레이트(110) 상에 마련되는 이동기구(170a)를 구동시켜 제2 플레이트(120b)를 이동시켜 이루어진다.An inspection tip (not shown) of the probe 150b mounted on the probe plate 140b coupled to the auxiliary plate 130b 'coupled to the second plate 120b and the flat panel panel 180 disposed on the work table. In order to align the pads, the second plate 120b is moved by driving the moving mechanism 170a provided on the square plate 110.

상기와 같은 동작에 따라 마이크로스코프(9, 도 4에 표시)에 의하여 프로브플레이트(140a, 140b) 상에 장착된 프로브(150a, 150b)와 워크테이블 상에 놓여진 평판디스플레이 패널(180)을 정렬시킨 후, 카메라(160a, 160b)를 이동시켜 모니터(190) 상에 표시된 기준마크(195)와 상기 평판디스플레이 패널(180) 상에 표시된 정렬마크(181)를 일치시켜 카메라(160a, 160b)를 세팅시킨다. According to the above operation, the probes 150a and 150b mounted on the probe plates 140a and 140b are aligned with the flat panel display panel 180 placed on the work table by the microscope 9 (shown in FIG. 4). Then, the cameras 160a and 160b are moved to match the reference marks 195 displayed on the monitor 190 with the alignment marks 181 displayed on the flat panel display panel 180 to set the cameras 160a and 160b. Let's do it.

상기 기준마크(195)와 정렬마크(181)를 일치시키기 위해서는, 먼저 상기 제1 플레이트(120a)에 결합된 보조플레이트(130a") 또는 상기 제2 플레이트(120b)에 결합되는 보조플레이트(130b')에 결합된 상기 프로브플레이트(140b) 상에 설치된 카 메라(160a, 160b)가 상기 평판디스플레이 패널(180) 상에 표시된 정렬마크(181)를 촬영하여 상기 모니터(190) 상에 표시한다.In order to make the reference mark 195 and the alignment mark 181 coincide with each other, the auxiliary plate 130b 'coupled to the first plate 120a or the auxiliary plate 130b' coupled to the second plate 120b is first used. ), The cameras 160a and 160b installed on the probe plate 140b are photographed and displayed on the monitor 190 by photographing the alignment marks 181 displayed on the flat panel display panel 180.

한편, 상기 카메라(160a, 160b)는 상기 정렬마크(181)를 촬영하지 않고 워크테이블(182) 상에 표시된 마크(183)를 촬영하여 상기 모니터(190) 상에 표시할 수 있다. 즉, 상기 모니터(190)에는 상기 기준마크(195)와 상기 워크테이블(182) 상에 표시된 마크(183)를 표시시키고 상기 카메라(160a, 160b)를 이동시켜 상기 카메라(160a, 160b)에 의하여 촬영된 상기 워크테이블(182) 상에 마크(183)를 상기 기준마크(195)에 정렬시킨다.Meanwhile, the cameras 160a and 160b may photograph the mark 183 displayed on the work table 182 and photograph the mark 183 on the monitor 190 without photographing the alignment mark 181. That is, the monitor 190 displays the reference mark 195 and the mark 183 displayed on the work table 182 and moves the cameras 160a and 160b by the cameras 160a and 160b. The mark 183 is aligned with the reference mark 195 on the photographed work table 182.

상기와 같이 카메라(160a 160b)에 의하여 촬영된 정렬마크(181)가 상기 모니터(190) 상에 표시되면, 도 10의 (c)에 도시된 바와 같이, 모니터(190) 상에 표시된 기준마크(195)에 어긋나서 표시되는 것이 일반적이다.When the alignment mark 181 photographed by the camera 160a 160b as described above is displayed on the monitor 190, as shown in FIG. 10C, the reference mark displayed on the monitor 190 ( It is common to display it in contravention of 195).

상기와 같이, 모니터(190) 상에 표시된 기준마크(195)와 정렬마크(181)가 일치하지 않고 어긋나는 경우에는, 도 10의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 카메라(160a, 160b)를 X, Y, Z축으로 이동시켜 상기 정렬마크(181)를 상기 기준마크(195)에 일치시킨다.As described above, when the reference mark 195 and the alignment mark 181 displayed on the monitor 190 do not coincide with each other and are misaligned, as shown in FIG. 10D, the cameras 160a and 160b are moved. The alignment mark 181 is aligned with the reference mark 195 by moving along the X, Y, and Z axes.

상기 기준마크(195)와 정렬마크(181)가 일치되면, 카메라(160a, 160b)의 X, Y, Z축 위치를 고정하여 카메라(160a, 160b)의 초기 세팅을 완료한 후, 상기 카메라(160a, 160b)에 의하여 촬영된 상기 정렬마크(181)의 위치를 기준으로 워크테이블(182)의 X, Y, Z 및 θ 좌표값을 획득하여, 상기 좌표값을 제어부(미도시)에 포함되는 메모리(미도시)에 저장한다. When the reference mark 195 and the alignment mark 181 match, the X, Y, and Z axis positions of the cameras 160a and 160b are fixed to complete the initial setting of the cameras 160a and 160b. Acquiring X, Y, Z, and θ coordinate values of the work table 182 based on the positions of the alignment marks 181 photographed by 160a and 160b, and the coordinate values are included in the controller (not shown). Store in a memory (not shown).

이후에, 동일한 종류의 평판디스플레이 패널(180)이 워크테이블(182)에 계속적으로 올려져도 상기 메모리 상에 저장된 워크테이블(182)의 X,Y,Z 및 θ 좌표값에 의한 제어부의 제어신호에 따라 워크테이블(182)이 신속하게 이동되어 평판디스플레이 패널(180)이 프로브플레이트(140a, 140b)의 프로브(150a, 150b)에 얼라인된다. 즉, 상기 평판 디스플레이 패널(180)의 패드(미도시)에 상기 프로브(150a, 150b)의 검사팁이 얼라인된다.Subsequently, even if the same type of flat panel display panel 180 is continuously placed on the work table 182, the control signal of the controller is controlled by the X, Y, Z and θ coordinate values of the work table 182 stored on the memory. Accordingly, the work table 182 is quickly moved so that the flat panel display panel 180 is aligned with the probes 150a and 150b of the probe plates 140a and 140b. That is, the inspection tips of the probes 150a and 150b are aligned with pads (not shown) of the flat panel display panel 180.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명인 평판디스플레이 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치 및 그 방법에 관한 제2 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a second embodiment of the lighting test apparatus and method of the present invention flat display inspection device inspection unit.

도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치의 구성도이다.11 is a configuration diagram of a lighting test apparatus of the flat panel display panel inspecting unit according to a second embodiment of the present invention.

도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명인 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치(300)는, 네개의 변을 가지는 사각판형의 사각플레이트(210), 상기 사각플레이트(210)의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트(220a), 상기 사각플레이트(210)의 다른 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트(220b), 상기 제1 플레이트(220a)와 제2 플레이트(220b) 상에서 이동가능하게 설치되는 보조플레이트(230a, 230b), 상기 보조플레이트(230a, 230b)를 수직이동시키는 수직구동부(250a, 250b), 상기 보조플레이트(230a, 230b) 상에 탈부착 가능하게 결합되는 프로브플레이트(240a, 240b), 상기 평판디스플레이 패널(280) 상의 정렬마크(281)와 기준마크(295)를 정렬하여 상기 워크테이블(282)의 기준 좌표값을 설정하는 위치설정수단을 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 11, the lighting test apparatus 300 of the present invention, a flat panel display panel inspection device, includes a square plate 210 having four sides, and one side of the square plate 210. The first plate (220a) provided in the, the second plate (220b), the first plate (220a) and the second plate (220b) installed on the other side of the rectangular plate 210 so as to be movable The auxiliary plates 230a and 230b to be installed, the vertical driving parts 250a and 250b for vertically moving the auxiliary plates 230a and 230b, and the probe plates 240a and detachably coupled to the auxiliary plates 230a and 230b. 240b) and positioning means for setting the reference coordinate value of the work table 282 by aligning the alignment mark 281 and the reference mark 295 on the flat panel display panel 280.

한편, 상기 위치설정수단은 상기 프로브플레이트(240a, 240b)의 일측면 또는 상기 프로브플레이트(240a, 240b)와 결합된 보조플레이트(230a, 130b)의 측면에 배치되되, 상기 평판디스플레이 패널(280)의 정렬마크(281)를 촬영하는 카메라(260a, 260b)와, 상기 카메라(260a, 260b)에 의해 촬영된 정렬마크(281)를 모니터(290, 도 14의 (c)에 표시)에 표시된 기준마크(295, 도 14의 (c)에 표시)와 일치시켜 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하고 상기 기준 좌표값에 따라 상기 워크테이블(282)을 구동하는 제어부(미도시)를 포함하여 이루어진다.On the other hand, the positioning means is disposed on one side of the probe plates (240a, 240b) or the side of the auxiliary plate (230a, 130b) coupled with the probe plates (240a, 240b), the flat panel display panel (280) The reference marks displayed on the monitors 290 (shown in (c) of FIG. 14) of the cameras 260a and 260b for photographing the alignment marks 281 of FIG. And a control unit (not shown) for setting the reference coordinate value of the work table in accordance with the mark 295 (shown in FIG. 14C) and for driving the work table 282 according to the reference coordinate value. .

그리고, 상기 제1 플레이트(220a)와 상기 제2 플레이트(220b) 중 적어도 하나는 상기 본체(210) 상에 설치되어 마련되는 이동기구에 의해 사각플레이트의 변의 길이방향으로 이동가능하게 설치된다.At least one of the first plate 220a and the second plate 220b is installed to be movable in the longitudinal direction of the side of the square plate by a moving mechanism provided on the main body 210.

상기 사각플레이트(210)는 네개의 변(邊)을 가지는 사각판형으로 이루어져 있다. 그리고 평판디스플레이 패널(280)을 프로빙하기 위한 공간을 마련하기 위하여 내부에 개구부(211)를 가지고 있다. 상기 사각플레이트(210)의 각 변(邊)에는 제1 플레이트(220a), 제2 플레이트(220b)가 결합되고, 상기 제2 플레이트(220b)를 이동시키기 위한 이동기구(270a)가 마련된다.The square plate 210 has a square plate shape having four sides. In order to provide a space for probing the flat panel display panel 280 has an opening 211 therein. The first plate 220a and the second plate 220b are coupled to each side of the square plate 210, and a moving mechanism 270a for moving the second plate 220b is provided.

상기 제1 플레이트(220a)는 상기 사각플레이트(210)의 네 변(邊)중에 하나의 변인 제1 변에 구비된다. 즉, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 사각플레이트(210)의 네 변(邊)중 상측에 존재하는 제1 변(邊)에 구비된다. 상기 제1 플레이트(220a)는 상기 사각플레이트(210) 상에 고정설치되거나 이동가능하게 설치될 수 있다.The first plate 220a is provided on a first side, which is one of four sides of the square plate 210. That is, as shown in Figure 11, the four sides of the rectangular plate 210 is provided on the first side existing on the upper side (邊). The first plate 220a may be fixedly installed or movable on the square plate 210.

상기 제1 플레이트(220a)와 달리 상기 사각플레이트(210) 상에서 이동할 수 있는 제2 플레이트(220b)는 상기 제1 플레이트(220a)와 이웃하는 상기 사각플레이트(210)의 제2 변(邊)에 설치된다. 즉, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(220a)가 구비된 변(邊)과 이웃하는 좌측 변(邊)에 상기 제2 플레이트(220b)를 이동가능하게 설치한다.Unlike the first plate 220a, the second plate 220b that can move on the square plate 210 is disposed on a second side of the square plate 210 adjacent to the first plate 220a. Is installed. That is, as shown in FIG. 11, the second plate 220b is movably installed on the left side adjacent to the side provided with the first plate 220a.

한편, 상기 제2 플레이트(220b, 220c)는 도 12의 (a)에 도시된 바와 같이 상기 제1 플레이트(220a)가 구비된 변과 이웃하는 좌측 변 및 우측 변에 각각 설치될 수 있다. On the other hand, the second plate (220b, 220c) may be installed on the left side and the right side adjacent to the side provided with the first plate 220a, as shown in Figure 12 (a).

또한, 도 12의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 제2 플레이트(220b, 220c, 220d)는 상기 제1 플레이트(220a)가 구비된 변과 이웃하는 좌, 우측 변뿐만 아니라, 상기 제1 플레이트(220a)가 구비된 변과 마주보는 변에도 이동가능하게 설치될 수 있다.In addition, as illustrated in FIG. 12B, the second plates 220b, 220c, and 220d may have not only the left and right sides adjacent to the side where the first plate 220a is provided, but also the first and second sides. The side facing the side with the plate 220a may be installed to be movable.

더 나아가, 도 12의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(220a)가 설치되는 상기 사각플레이트(210) 상에 상기 이동기구(270d)가 더 설치되어, 상기 제1 플레이트(220a)를 상기 일변의 길이 방향으로 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 사각플레이트(210) 네 변에 설치되는 하나의 제1 플레이트(220a)와 세개의 제2 플레이트(220b, 220c, 220d)는 상기 사각플레이트(210) 상에 설치되는 네개의 이동기구(270a, 270b, 270c, 270d)에 의하여 이동시킬 수 있다. 또한, 상기 제1 플레이트(220a)는 상기 사각플레이트(210)상에 고정설치될 수 있다.Furthermore, as shown in FIG. 12C, the moving mechanism 270d is further installed on the square plate 210 on which the first plate 220a is installed, and thus the first plate 220a is provided. ) Can be moved in the longitudinal direction of the one side. That is, one first plate 220a and three second plates 220b, 220c, and 220d installed at four sides of the square plate 210 may include four moving mechanisms installed on the square plate 210. 270a, 270b, 270c, and 270d). In addition, the first plate 220a may be fixedly installed on the square plate 210.

상기 제1 플레이트(220a)가 구비된 상기 사각플레이트(210)의 일변(邊)을 제외한 세개의 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트(220b, 220c, 220d)는 상기 사각플레이트(210) 상에 설치되는 이동기구(270a, 270b, 270c)에 의하여 각 변의 길이 방향으로 이동될 수 있다. The second plates 220b, 220c, and 220d installed on three sides of the rectangular plate 210 provided with the first plate 220a are disposed on the rectangular plate 210. It can be moved in the longitudinal direction of each side by the moving mechanism (270a, 270b, 270c) installed in.

물론, 도 12의 (c)에 도시된 바와 같이 상기 사각플레이트(210) 상에 별도의 이동기구(270d)를 더 마련한 경우에는 상기 제1 플레이트(220a)도 변(邊)의 길이방향으로 이동될 수 있다. 이 경우에는, 상기 제1 플레이트(220a)와 제2 플레이트(220b) 중 적어도 하나는 상기 이동기구에 의하여 이동가능하게 설치되는 것이다.Of course, when the additional moving mechanism 270d is further provided on the square plate 210 as shown in FIG. 12C, the first plate 220a also moves in the longitudinal direction of the sides. Can be. In this case, at least one of the first plate 220a and the second plate 220b is installed to be movable by the moving mechanism.

상기 이동기구(270a, 270b, 270c, 270d)는 도 11 또는 도 12에 도시된 바와 같이 상기 사각플레이트(210) 상의 소정 위치에 마련된다. 이와 같은 이동기구(270a, 270b, 270c, 270d)의 구조는 도 7을 참조하여 전술한 제1 실시예서의 이동기구(170a, 170b, 170c, 170d)와 동일하다. 따라서, 이하에서는 제2 실시예에 적용되는 이동기구(270a, 270b, 270c, 270d)의 구조에 대한 설명은 생략한다.The moving mechanisms 270a, 270b, 270c, and 270d are provided at predetermined positions on the square plate 210 as illustrated in FIG. 11 or 12. The structure of such moving mechanisms 270a, 270b, 270c and 270d is the same as the moving mechanisms 170a, 170b, 170c and 170d of the first embodiment described above with reference to FIG. Therefore, hereinafter, the description of the structure of the moving mechanisms 270a, 270b, 270c, and 270d applied to the second embodiment will be omitted.

상기 사각플레이트(210)의 각 변에 설치되는 제1 플레이트(220a)와 제2 플레이트(220b, 220c, 220d) 상에는 이동가능하게 설치되는 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 230d)가 마련된다. 즉, 상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 230d)는 상기 제1 플레이트(220a)와 제2 플레이트(220b, 220c, 220d) 상에서 후술할 수직구동부(250a, 250b, 250c, 250d)에 의하여 각 변(邊)의 길이 방향과 수직하게 자동이동될 수 있도록 설치된다.Auxiliary plates 230a, 230b, 230c, and 230d are provided on the first plate 220a and the second plate 220b, 220c, and 220d installed at each side of the square plate 210 to be movable. That is, the auxiliary plates 230a, 230b, 230c, and 230d are respectively formed by the vertical driving parts 250a, 250b, 250c, and 250d on the first plate 220a and the second plates 220b, 220c, and 220d. It is installed to be automatically moved perpendicular to the longitudinal direction of the sides.

이와 같이, 상기 제1 플레이트(220a)와 제2 플레이트(220b, 220c, 220d) 상 에서 상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 230d)가 이동되는 이유는, 평판디스플레이 패널(280)의 다양한 사이즈에 효과적으로 대응하기 위해서이다.As such, the reason why the auxiliary plates 230a, 230b, 230c, and 230d are moved on the first and second plates 220a and 220b, 220c, and 220d may be various sizes of the flat panel display panel 280. In order to respond effectively.

즉, 특정 사이즈의 평판디스플레이 패널(280)을 검사하다가 더 작은 사이즈의 평판디스플레이 패널을 검사하고자 하는 경우에는, 상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 230d)를 사각플레이트(210)의 개구부(211) 중심 방향으로 이동시키고, 더 큰 사이즈의 평판디스플레이 패널을 검사하고자 하는 경우에는, 상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 230d)를 사각플레이트(210)의 개구부(211) 중심 방향에서 멀어지게 이동시켜 변경된 사이즈의 평판디스플레이 패널(280)을 검사할 수 있다.That is, in the case of inspecting the flat panel display panel 280 having a specific size and then inspecting the flat panel display panel having a smaller size, the auxiliary plates 230a, 230b, 230c, and 230d may be used as openings 211 of the rectangular plate 210. In the case of moving the auxiliary plate 230a, 230b, 230c, and 230d in the center direction, and moving the center plate away from the center of the opening 211 of the square plate 210. The flat panel display panel 280 of the changed size can be inspected.

이와 같이, 검사할 평판디스플레이 패널의 사이즈가 변경되더라도 상기 사각플레이트(210) 전부를 교체할 필요 없이, 상기 보조플레이트(230a, 230b)만을 각 변(邊)의 길이방향과 수직방향으로 이동시킴으로써 변경된 평판디스플레이 패널(280)을 검사할 수 있게 된다.As such, even if the size of the flat panel display to be inspected is changed, only the auxiliary plates 230a and 230b are changed in the longitudinal direction and the vertical direction of each side without having to replace all of the square plates 210. The flat panel display panel 280 can be inspected.

상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 230d) 상에는 물체를 감지하기 위하여, 발신부와 수신부가 일체로 이루어진 광센서, 초음파 센서, 접촉센서 중 하나가 더 구비되는 것이 바람직하다. 특정 사이즈의 평판디스플레이 패널을 검사하다가 더 작은 사이즈의 평판디스플레이 패널을 검사하고자 하는 경우에는, 상기 보조플레이트(230a, 230b)를 사각플레이트(210)의 개구부(211) 중심 방향으로 이동시키는데, 이때 상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 230d) 간에 충돌이 일어날 수 있으므로, 상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 230d) 상의 양 측단에 센서(235a, 235b, 235c, 235d)를 설치하여 상기와 같은 충돌을 방지할 수 있다.In order to detect an object on the auxiliary plates 230a, 230b, 230c, and 230d, it is preferable that one of an optical sensor, an ultrasonic sensor, and a contact sensor having a transmitter and a receiver integrated therein is further provided. In the case of inspecting a flat panel display panel having a specific size and then inspecting a flat panel panel having a smaller size, the auxiliary plates 230a and 230b are moved toward the center of the opening 211 of the square plate 210. Since collisions may occur between the auxiliary plates 230a, 230b, 230c, and 230d, the sensors 235a, 235b, 235c, and 235d may be installed at both ends of the auxiliary plates 230a, 230b, 230c, and 230d. The collision can be prevented.

한편, 상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 230d)는 상기 제1 플레이트(220a)와 제2 플레이트(220b, 220c, 220d) 상에 설치된 수직구동부(250a, 250b, 250c, 250d)에 의해서 상기 사각플레이트(210)의 개구부 중심 방향으로 이동된다.On the other hand, the auxiliary plate (230a, 230b, 230c, 230d) is the said by the vertical drive part 250a, 250b, 250c, 250d installed on the 1st plate 220a and the 2nd plate (220b, 220c, 220d). The opening of the rectangular plate 210 is moved toward the center direction.

상기 수직구동부(250a, 250b, 250c, 250d)의 구조에 대해서는 도 13에 도시되어 있다. 이하에서는, 상기 수직구동부(250a, 250b, 250c, 250d)들은 동일한 구조를 가지고 있기 때문에 상기 제1 플레이트(220a) 상에 설치된 수직구동부(250a)를 대표로 하여 설명한다.The structure of the vertical driving units 250a, 250b, 250c, and 250d is shown in FIG. Hereinafter, since the vertical driving units 250a, 250b, 250c, and 250d have the same structure, the vertical driving units 250a provided on the first plate 220a will be described as representative.

도 13에 도시된 바와 같이, 상기 수직구동부(250a)는 제1 플레이트(220a) 상에 부착설치되는 한쌍의 L/M 가이드(251a)와 상기 L/M 가이드(251a)와 맞물려 슬라이딩되는 결합판(252a)과 상기 결합판(252a)을 상기 L/M 가이드(251a)를 따라 이동시키는 동력발생부(257a)로 이루어져 있다.As shown in FIG. 13, the vertical driving part 250a is engaged with the pair of L / M guides 251a and L / M guides 251a that are attached to the first plate 220a, and slides on the coupling plate. 252a and the coupling plate 252a includes a power generating unit 257a for moving along the L / M guide 251a.

상기 L/M 가이드(251a)는 두개로 구성되어 상기 제1 플레이트(220a) 상에 평행하게 설치되되, 상기 사각플레이트(210) 변(邊)의 길이방향과 수직하게 설치된다. 그리고 상기 L/M 가이드(251a)와 상기 결합판(252a)의 하부에 평행하게 마련된 L/M 결합체(253a)가 맞물려서 슬라이딩될 수 있는 구조를 가진다. Two L / M guides 251a are installed in parallel on the first plate 220a, and are installed perpendicular to the longitudinal direction of the sides of the square plate 210. In addition, the L / M guide 251a and the L / M coupling body 253a provided in parallel to the lower portion of the coupling plate 252a are engaged with each other and have a structure that can slide.

상기 결합판(252a)의 상부에는 보조플레이트(230a)가 결합되어 있다. 따라서, 상기 동력발생부(257a)에 의하여 상기 결합판(252a)을 이동시키면, 상기 보조플레이트(230a)가 상기 점등 테스트 본체(210)의 개구부 중심 방향으로 이동된다.An auxiliary plate 230a is coupled to the upper portion of the coupling plate 252a. Therefore, when the coupling plate 252a is moved by the power generator 257a, the auxiliary plate 230a is moved in the direction of the opening center of the lighting test body 210.

한편, 상기 동력발생부(257a)는 상기 결합판(252a)을 상기 사각플레이트(210) 각 변(邊)의 길이 방향과 수직하게 이동시킬 수 있도록 마련되어야 한다. On the other hand, the power generating unit 257a should be provided to move the coupling plate 252a perpendicular to the longitudinal direction of each side of the square plate (210).

상기 결합판(252a)을 이동시키기 위한 방법으로, 상기 결합판(252a)과 고정결합되는 샤프트(미도시)와, 이 샤프트에 동력을 전달하는 에어실린더(미도시)에 의하여 상기 이동부를 이동시킬 수 있다. In order to move the coupling plate 252a, the moving part is moved by a shaft (not shown) fixedly coupled to the coupling plate 252a and an air cylinder (not shown) that transmits power to the shaft. Can be.

그러나, 본 발명에서는 상기 결합판(252a)의 정확한 이동과 안전한 이동을 위하여 스크류사프트(255a)와 서보모터(256a)를 이용하여 상기 결합판(252a)을 이동시킨다.However, in the present invention, the coupling plate 252a is moved by using the screw shaft 255a and the servomotor 256a for accurate movement and safe movement of the coupling plate 252a.

즉, 도 13에 도시된 바와 같이, 상기 결합판(252a) 하측면에 너트결합체(258a)를 더 마련하고, 상기 구동부(257a)는 상기 너트결합체(258a)와 나사결합하여 연동하는 스크류사프트(255a)와 상기 스크류사프트(255a)를 회전시키는 서보모터(256a)로 구성하여 상기 결합판(252a)을 각 변(邊)의 길이 방향으로 안정성 있게 이동시킨다.That is, as shown in FIG. 13, the nut coupling member 258a is further provided on the lower side of the coupling plate 252a, and the driving part 257a is screwed with the nut coupling member 258a to be interlocked with the screw shaft ( 255a and the servomotor 256a for rotating the screw shaft 255a to stably move the coupling plate 252a in the longitudinal direction of each side.

따라서, 상기 수직구동부(250a)에 의하여 상기 보조플레이트(230a)를 이동시키기 위해서는, 제어부(미도시)의 제어에 따라 서보모터(256a)를 구동하고, 구동된 서보모터(256a)는 스크류사프트(255a)를 회전시킨다. 그러면, 상기 스크류사프트(255a)와 나사결합되어 연동하는 너트결합체(258a)에 동력이 전달되어 상기 결합판(252a)은 상기 L/M 가이드(251a)를 따라 이동하게 된다.Therefore, in order to move the auxiliary plate 230a by the vertical driving unit 250a, the servo motor 256a is driven under the control of a controller (not shown), and the driven servo motor 256a is a screw shaft ( Rotate 255a). Then, power is transmitted to the nut coupler 258a which is screwed and interlocked with the screw shaft 255a so that the coupling plate 252a moves along the L / M guide 251a.

상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 240d)에는 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이 복수의 프로브(245a, 245b)들이 장착된 프로브플레이트(240a, 240b)가 탈부착 가능하게 결합된다. As shown in FIGS. 11 and 12, probe plates 240a and 240b equipped with a plurality of probes 245a and 245b are detachably coupled to the auxiliary plates 230a, 230b, 230c and 240d.

한편, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 보조플레이트(230a, 230b, 230c, 240d) 또는 상기 프로브플레이트(240a, 240b, 240c, 240d)는 측단에 카메라(260a, 260b)를 포함하고 있다. 즉, 상기 카메라(260a, 260b) 중 카메라(260a)는 상기 보조플레이트(230a)의 일단에 각각 설치되고, 카메라(260b)는 상기 프로브플레이트(240b)의 일단에 설치된다.Meanwhile, as shown in FIGS. 11 and 12, the auxiliary plates 230a, 230b, 230c and 240d or the probe plates 240a, 240b, 240c and 240d include cameras 260a and 260b at side ends. have. That is, the camera 260a of the cameras 260a and 260b is installed at one end of the auxiliary plate 230a, and the camera 260b is installed at one end of the probe plate 240b.

즉, 상기 보조플레이트(230a)에 설치되는 카메라(260a)는 도 11 또는 도 12에 도시된 바와 같이, 양 측단에 각각 설치되고, 상기 프로브플레이트(240b)에 설치되는 카메라(260b)는 상기 보조플레이트(230a)에 이웃하지 않는 일측에만 설치된다. 이와 같이 복수개의 카메라를 설치하여 평판디스플레이 패널(280) 상에 표시된 정렬마크(281)를 촬영하기 위하여 정렬마크(281)와 대응되게 설치된다.That is, the camera 260a installed on the auxiliary plate 230a is installed at both side ends, as shown in FIG. 11 or 12, and the camera 260b installed on the probe plate 240b is the auxiliary. It is installed only on one side that does not neighbor the plate 230a. In this way, a plurality of cameras are installed to correspond to the alignment marks 281 in order to photograph the alignment marks 281 displayed on the flat panel display panel 280.

상기 프로브플레이트(240a, 240b)의 측단 또는 상기 보조플레이트(230a, 230b) 측단에 배치되는 카메라들(260a, 260b)은 X, Y, Z축으로 이동 가능하고, 상기 평판디스플레이 패널(280) 상에 표시된 정렬마크(281)를 촬영한다.Cameras 260a and 260b disposed at the side ends of the probe plates 240a and 240b or the side plates 230a and 230b are movable in X, Y and Z axes, and are positioned on the flat panel display panel 280. Photograph the alignment mark 281 shown in the figure.

상기 카메라(260a, 260b)에 의하여 촬영된 상기 평판디스플레이 패널(280) 상에 표시된 정렬마크(281)는 제어부(미도시)에 포함되는 모니터(290)(도 14의 (c), (d)에 도시됨) 상에 표시된다. 상기 모니터(290)에는 상기 카메라(260a, 260b)에 의하여 촬영된 상기 정렬마크(281)가 표시될뿐만 아니라, 상기 정렬마크(281)를 일치시키기 위한 기준마크(295)가 표시된다.The alignment mark 281 displayed on the flat panel display panel 280 captured by the cameras 260a and 260b includes a monitor 290 (Figs. 14C and 14D) included in a controller (not shown). Shown in the figure). The monitor 290 displays not only the alignment mark 281 taken by the cameras 260a and 260b but also a reference mark 295 for matching the alignment mark 281.

한편, 상기 카메라(260a, 260b)는 상기 정렬마크(281)를 촬영하지 않고 워크 테이블(282) 상에 표시된 마크(283)를 촬영하여 상기 모니터(290) 상에 표시할 수 있다. 즉, 상기 모니터(290)에는 상기 기준마크(295)와 상기 워크테이블(282) 상에 표시된 마크(283)를 표시시키고 상기 카메라(260a, 260b)를 이동시켜 상기 카메라(260a, 260b)에 의하여 촬영된 상기 워크테이블(282) 상에 마크(283)를 상기 모니터(290)의 기준마크(295)에 정렬시킨다.Meanwhile, the cameras 260a and 260b may photograph the marks 283 displayed on the work table 282 and display them on the monitor 290 without photographing the alignment marks 281. That is, the reference mark 295 and the mark 283 displayed on the work table 282 are displayed on the monitor 290 and the cameras 260a and 260b are moved to move the cameras 260a and 260b. The mark 283 is aligned with the reference mark 295 of the monitor 290 on the photographed work table 282.

이하, 도 14를 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 평판디스플레이 패널을 점등테스트 하는 방법에 대하여 설명한다.Hereinafter, a method of lighting test of a flat panel display panel according to a second exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 14.

도 14의 (a)는 특정 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널을 검사하기 위한 세팅 상태이다. 도시된 바와 같이, 사이즈가 변경된 검사할 평판디스플레이 패널(280)과 프로브플레이트(240a, 240b)에 장착된 프로브(245a, 245b) 간에는 거리가 떨어져 있어 전혀 정렬되지 않고 있다.Fig. 14A is a setting state for inspecting a flat panel display panel having a specific size. As shown, the distance between the flat panel display panel 280 to be inspected and the probes 245a and 245b mounted on the probe plates 240a and 240b is not aligned at all.

따라서, 변경된 평판디스플레이 패널(280)을 검사하기 위하여 새로운 세팅 작업을 수행하여야 한다. Therefore, a new setting operation must be performed to inspect the changed flat panel display panel 280.

먼저, 변경된 평판디스플레이 패널(280)을 검사하기 위해 적절한 프로브플레이트(240a, 240b)를 보조플레이트(230a, 230b) 상에 결합하여 프로브를 구비한 프로브플레이트(240a, 240b)를 평판디스플레이 패널(280) 사이즈에 대응하도록 위치를 변화시킨다. 즉, 상기 프로브플레이트(240a, 240b)는 검사할 평판디스플레이 패널의 사이즈에 따라 자신의 사이즈도 변경되므로, 해당 평판디스플레이 패널에 대응하는 프로브플레이트(240a, 240b)를 상기 보조플레이트(230a, 230b)에 결합하여 야 한다.First, in order to inspect the changed flat panel display panel 280, the appropriate probe plates 240a and 240b are coupled onto the auxiliary plates 230a and 230b to attach the probe plates 240a and 240b having the probes to the flat panel display panel 280. ) Change the position to correspond to the size. That is, since the probe plates 240a and 240b change their size according to the size of the flat panel display panel to be inspected, the probe plates 240a and 240b corresponding to the flat panel display panel may be replaced with the auxiliary plates 230a and 230b. Should be combined with

다음은, 변경된 평판디스플레이 패널(280)의 사이즈에 따라 상기 수직구동부(250a, 250b)를 구동시켜 상기 프로브플레이트(240a, 240b)를 상기 평판디스플레이 패널(280) 상측까지 전후진 이동시켜 프로브플레이트(240a, 240b)를 평판디스플레이 패널(280) 사이즈에 대응하도록 변화위치시킨다. Next, the probe plates 240a and 240b are moved back and forth to the top of the flat panel display panel 280 by driving the vertical driving units 250a and 250b according to the changed size of the flat panel display panel 280. The positions 240a and 240b are changed to correspond to the size of the flat panel display panel 280.

즉, 도 14의 (a)에 도시된 화살표 방향으로 상기 프로브플레이트(240a, 240b)를 이동시켜 평판디스플레이 패널(280) 상측에 상기 프로브플레이트(240a, 240b)가 위치하게 한다. 그러면, 도 14의 (b)에 도시된 바와 같이 상기 프로브플레이트(240a, 240b)와 상기 평판디스플레이 패널(280)은 대략적으로 정렬된 상태에 있게된다.That is, the probe plates 240a and 240b are moved in the arrow direction shown in FIG. 14A so that the probe plates 240a and 240b are positioned above the flat panel display panel 280. Then, as shown in FIG. 14B, the probe plates 240a and 240b and the flat panel display panel 280 are in a substantially aligned state.

한편, 상기 프로브플레이트(240a, 240b)를 평판디스플레이 패널(280) 상측까지 이동시키는 과정에서, 보조플레이트(230a, 230b)의 양 측단에 마련된 초음파센서(235a, 235b)에 의하여 사각플레이트의 각 변에 설치된 상기 프로브플레이트(240a, 240b)간에 충돌이 발생하는지를 판단할 수 있다. 즉, 상기 이격 거리가 일정 이하가 되면 상기 초음파센서가 감지되고, 감지된 신호를 제어부(미도시)에 보냄으로써, 상기 프로브플레이트(240a, 240b)간에 충돌이 발생하는지를 판단할 수 있다.Meanwhile, in the process of moving the probe plates 240a and 240b to the upper side of the flat panel display panel 280, each side of the square plate is formed by ultrasonic sensors 235a and 235b provided at both side ends of the auxiliary plates 230a and 230b. It may be determined whether a collision occurs between the probe plates 240a and 240b installed in the probe plate. That is, when the separation distance is less than a predetermined distance, the ultrasonic sensor is detected, and by sending a detected signal to a controller (not shown), it may be determined whether a collision occurs between the probe plates 240a and 240b.

상기와 같이, 수직구동부(250a, 250b)의 구동에 의하여 상기 프로브플레이트(240a, 240b)를 상기 평판디스플레이 패널(280)의 상측까지 이동시킨 후, 마이크로스코프(9, 도 4에 표시)를 통해 상기 프로브플레이트(240a, 240b)에 장착된 프로브(245a, 245b)의 검사팁(미도시)과 상기 평판디스플레이 패널(280) 상의 패드를 정렬한다.As described above, the probe plates 240a and 240b are moved to the upper side of the flat panel display panel 280 by driving the vertical driving units 250a and 250b, and then through the microscope 9 (shown in FIG. 4). The test tips (not shown) of the probes 245a and 245b mounted on the probe plates 240a and 240b are aligned with the pads on the flat panel display panel 280.

상기 마이크로스코프(9, 도 4에 표시)에 의하여 상기 프로브(245a, 245b)의 검사팁(미도시)과 상기 평판디스플레이 패널(280)의 패드를 정렬하는 방법은, 먼저 제1 플레이트(220a) 상에서 이동가능하게 설치되는 상기 보조플레이트(230a)에 결합된 프로브플레이트(240a) 상에 포함된 프로브(245a)의 검사팁(미도시)과 상기 평판디스플레이 패널(280)의 패드를 정렬시킨다. 그런 다음, 제2 플레이트(220b) 상에서 이동가능하게 설치된 상기 보조플레이트(230b)에 결합된 프로브플레이트(240b) 상에 포함된 프로브(245b)의 검사팁(미도시)을 상기 평판디스플레이 패널(280)의 패드와 정렬한다.The method of aligning the test tips (not shown) of the probes 245a and 245b with the pads of the flat panel display panel 280 by the microscope 9 (shown in FIG. 4) may include first plate 220a. The test tip (not shown) of the probe 245a included in the probe plate 240a coupled to the auxiliary plate 230a movably installed on the auxiliary plate 230a is aligned with the pad of the flat panel display panel 280. Thereafter, a test tip (not shown) of the probe 245b included in the probe plate 240b coupled to the auxiliary plate 230b movably installed on the second plate 220b may be used for the flat panel display panel 280. Line up).

즉, 상기 제1 플레이트(220a)에 결합되는 보조플레이트(230a)에 결합된 프로브플레이트(240a) 상의 프로브(245a)의 검사팁(미도시)과 평판디스플레이 패널(280)의 패드를 정렬하기 위해서는 상기 평판디스플레이 패널(280)이 놓여지는 워크테이블(282)을 이동시켜 정렬한다. 즉, 상기 제1 플레이트(220a)는 이동되지 않고 사각플레이트(210)의 일변(一邊)에 고정부착되어 있기 때문에 상기 평판디스플레이 패널(280)이 놓여지는 워크테이블(282)을 이동시켜 정렬시킨다.That is, to align the pads of the test tip (not shown) of the probe 245a on the probe plate 240a and the pad of the flat panel display panel 280 coupled to the auxiliary plate 230a coupled to the first plate 220a. The worktable 282 on which the flat panel display panel 280 is placed is moved and aligned. That is, since the first plate 220a is fixed to one side of the square plate 210 without moving, the work table 282 on which the flat panel display panel 280 is placed is moved and aligned.

만약 도 12의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(220a)가 이동기구(270d)에 의하여 이동될 수 있도록 구성한다면, 상기와 같이 워크테이블(282)을 이동시키지 않고 상기 이동기구(270d)를 구동시켜 상기 프로브(245a)와 평판디스플레이 패널(280)의 패드를 정렬시킬 수 있다.As shown in FIG. 12C, if the first plate 220a is configured to be moved by the moving mechanism 270d, the moving mechanism is not moved as described above without moving the work table 282. A pad of the probe 245a and the flat panel display panel 280 may be aligned by driving 270d.

상기 워크테이블(282)을 이동시키거나, 상기 이동기구(270d)를 구동시켜 상기 제1 플레이트(220a) 상에 이동가능하게 설치되는 상기 프로브플레이트(240a) 상에 장착된 프로브(245a)의 검사팁(미도시)과 평판디스플레이 패널(280)의 패드를 정렬한 후에는, 상기 제2 플레이트(220b)에 이동가능하게 설치된 보조플레이트(230b)에 결합된 프로브플레이트(240b) 상에 장착된 프로브(245b)의 검사팁(미도시)과 평판디스플레이 패널(280)의 패드를 정렬한다.Inspection of the probe 245a mounted on the probe plate 240a which is moved on the first plate 220a by moving the worktable 282 or driving the moving mechanism 270d. After aligning the tip (not shown) with the pads of the flat panel display panel 280, the probe mounted on the probe plate 240b coupled to the auxiliary plate 230b movably mounted to the second plate 220b. The test tip (not shown) of 245b and the pad of the flat panel display panel 280 are aligned.

상기 제2 플레이트(220b) 상에서 이동가능하게 설치되는 보조플레이트(230b)에 결합된 프로브플레이트(240b)에 장착된 프로브(245b)의 검사팁(미도시)과 워크테이블 상에 놓여있는 평판디스플레이 패널(280)의 패드를 정렬시키기 위해서는, 사각플레이트(210) 상에 마련되는 이동기구(270a)를 구동시켜 제2 플레이트(220b)를 이동시켜 이루어진다.An inspection tip (not shown) of the probe 245b mounted on the probe plate 240b coupled to the auxiliary plate 230b movably installed on the second plate 220b, and a flat panel display panel lying on the work table. In order to align the pads 280, the second plate 220b is moved by driving the moving mechanism 270a provided on the square plate 210.

상기와 같은 동작에 따라 마이크로스코프(9, 도 4에 표시)에 의하여 프로브플레이트(240a, 240b) 상에 장착된 프로브(245a, 245b)와 워크테이블 상에 놓여진 평판디스플레이 패널(280)을 정렬시킨 후, 카메라를 이동시켜 모니터(290) 상에 표시된 기준마크(295)와 상기 평판디스플레이 패널(280) 상에 표시된 정렬마크(281)를 일치시켜 카메라를 세팅한다. According to the above operation, the probes 245a and 245b mounted on the probe plates 240a and 240b are aligned with the flat panel display panel 280 placed on the work table by the microscope 9 (shown in FIG. 4). Then, the camera is set by moving the camera to match the reference mark 295 displayed on the monitor 290 with the alignment mark 281 displayed on the flat panel display panel 280.

상기 기준마크(295)와 정렬마크(281)를 일치시키기 위해서는, 먼저 상기 제1 플레이트(220a) 상에 이동가능하게 설치된 보조플레이트(230a)에 설치된 카메라(260a)와 상기 제2 플레이트(220b) 상에 이동가능하게 설치된 보조플레이트(230b)에 결합된 상기 프로브플레이트(240b) 상에 설치된 카메라(260b)가 상기 평판디스플레이 패널(280) 상에 표시된 정렬마크(281)를 촬영하여 상기 모니터(290) 상에 표시한다.In order to make the reference mark 295 and the alignment mark 281 coincide, first, the camera 260a and the second plate 220b installed on the auxiliary plate 230a movably mounted on the first plate 220a. The camera 260b installed on the probe plate 240b coupled to the auxiliary plate 230b movably mounted on the monitor 290 photographs the alignment mark 281 displayed on the flat panel display panel 280. On the display.

상기와 같이 카메라(260a 260b)에 의하여 촬영된 정렬마크(281)가 상기 모니터(290) 상에 표시되면, 도 14의 (c)에 도시된 바와 같이, 모니터(290) 상에 표시된 기준마크(295)에 어긋나서 표시되는 것이 일반적이다.When the alignment mark 281 captured by the camera 260a 260b is displayed on the monitor 290 as described above, as shown in FIG. 295) is generally displayed.

상기와 같이, 모니터(290) 상에 표시된 기준마크(295)와 정렬마크(281)가 일치하지 않고 어긋나는 경우에는, 도 14의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 카메라(260a, 260b)를 X, Y, Z축으로 이동시켜 상기 정렬마크(281)를 상기 기준마크(295)에 일치시킨다.As described above, when the reference mark 295 displayed on the monitor 290 and the alignment mark 281 do not coincide with each other and are misaligned, as shown in FIG. 14D, the cameras 260a and 260b are moved. The alignment mark 281 is aligned with the reference mark 295 by moving along the X, Y, and Z axes.

상기 기준마크(295)와 정렬마크(281)가 일치되면, 상기 카메라(260a, 260b)에 의하여 촬영된 상기 정렬마크(281)의 위치를 좌표값으로 획득하여, 상기 좌표값을 제어부(미도시)에 포함되는 메모리(미도시)에 저장한다. 이후에, 동일한 종류의 평판디스플레이 패널(280)이 워크테이블(282)에 계속적으로 올려져도 상기 메모리 상에 저장된 워크테이블(282)의 X,Y,Z 및 θ 좌표값에 의한 제어부의 제어신호에 따라 워크테이블(282)이 신속하게 이동되어 평판디스플레이 패널(280)이 프로브플레이트(240a, 240b)의 프로브(245a, 245b)에 얼라인된다. 즉, 상기 평판디스플레이 패널(280)의 패드(미도시)에 상기 프로브(245a, 245b)의 검사팁(미도시)이 얼라인된다.When the reference mark 295 and the alignment mark 281 coincide with each other, the position of the alignment mark 281 taken by the cameras 260a and 260b is obtained as a coordinate value, and the coordinate value is obtained by a controller (not shown). Is stored in a memory (not shown) included in the. Subsequently, even if the same type of flat panel display panel 280 is continuously placed on the work table 282, the control signal of the controller is controlled by the X, Y, Z and θ coordinate values of the work table 282 stored on the memory. Accordingly, the work table 282 is quickly moved so that the flat panel display panel 280 is aligned with the probes 245a and 245b of the probe plates 240a and 240b. That is, inspection tips (not shown) of the probes 245a and 245b are aligned with pads (not shown) of the flat panel display panel 280.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 구성수단으로 이루어져 있는 본 발명인 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등테스트 장치 및 방법에 관한 바람직한 제3 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a third preferred embodiment of the lighting test apparatus and method of the flat panel display panel inspection device of the present invention consisting of the above configuration means.

도 15는 본 발명의 제3 실시예에 따른 평판디스플레이 검사장치 검사부의 점등테스트 장치의 구성도이다.15 is a configuration diagram of a lighting test apparatus of a flat panel display inspecting apparatus inspecting unit according to a third exemplary embodiment of the present invention.

도 15에 도시된 바와 같이, 본 발명인 평판디스플레이 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치(400)는, 네개의 변을 가지는 사각판형의 사각플레이트(310), 상기 사각플레이트(310)의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트(320a), 상기 사각플레이트(310)의 다른 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트(320b), 상기 제1 플레이트(320a)와 제2 플레이트(320b)에 탈부착할 수 있도록 결합되되, 평판디스플레이 패널(380)의 사이즈에 대응하여 다양한 크기를 가지는 프로브플레이트(330a, 330b)와, 상기 평판디스플레이 패널(380) 상의 정렬마크(381)와 기준마크(395)를 정렬하여 상기 워크테이블(382)의 기준 좌표값을 설정하는 위치설정수단을 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 15, the lighting test apparatus 400 of the present invention includes a rectangular plate 310 having four sides, and one side of the rectangular plate 310. The first plate 320a provided, the second plate 320b installed on the other side of the square plate 310, and the first plate 320a and the second plate 320b so as to be attached and detached Combined, the probe plate (330a, 330b) having a variety of sizes corresponding to the size of the flat panel display panel 380, the alignment mark 381 and the reference mark 395 on the flat panel display panel 380 to align the And positioning means for setting the reference coordinate value of the work table 382.

한편, 상기 위치설정수단은 상기 프로브플레이트(330a, 330b)의 측면에 배치되되, 상기 평판디스플레이 패널(380)의 정렬마크(381)를 촬영하는 카메라(350a, 350b)와, 상기 카메라(350a, 350b)에 의해 촬영된 정렬마크(381)를 모니터(390, 도 18의 (c)에 표시)에 표시된 기준마크(395, 도 18의 (c)에 표시)와 일치시켜 상기 워크테이블(382)의 기준 좌표값을 설정하고 상기 기준 좌표값에 따라 상기 워크테이블(382)을 구동하는 제어부를 포함하여 이루어진다.On the other hand, the positioning means is disposed on the side of the probe plate (330a, 330b), the camera (350a, 350b) for photographing the alignment mark 381 of the flat panel display panel 380, and the camera (350a, The work table 382 is matched with the reference mark 395 (shown in (c) of FIG. 18) displayed on the monitor 390 (shown in (c) of FIG. 18) photographed by 350b). And a control unit for setting a reference coordinate value of the and driving the work table 382 according to the reference coordinate value.

그리고, 상기 제1 플레이트(320a)와 상기 제2 플레이트(320b) 중 적어도 하나는 상기 본체(310) 소정부분에 설치되는 이동기구에 의해 사각플레이트(310)의 변의 길이 방향으로 이동가능하게 설치된다. At least one of the first plate 320a and the second plate 320b may be installed to be movable in the longitudinal direction of the side of the square plate 310 by a moving mechanism installed at a predetermined portion of the main body 310. .

상기 사각플레이트(310)는 네개의 변(邊)을 가지는 사각판형으로 이루어져 있다. 그리고 평판디스플레이 패널(380)을 프로빙하기 위한 공간을 마련하기 위하여 내부에 개구부(311)를 가지고 있다. 상기 사각플레이트(310)의 각 변(邊)에는 제1 플레이트(320a), 제2 플레이트(320b)가 결합되고, 상기 제2 플레이트(320b)를 이동시키기 위한 이동기구(360a)가 마련된다. The square plate 310 has a square plate shape having four sides. In order to provide a space for probing the flat panel display panel 380 has an opening 311 therein. The first plate 320a and the second plate 320b are coupled to each side of the square plate 310, and a moving mechanism 360a for moving the second plate 320b is provided.

한편, 상기 사각플레이트(310)는 힌지구조에 의하여 사각틀 본체를 개방할 수 있는 종래와 달리 평판디스플레이 패널 검사장치에 고정되어 있다. 즉, 본 발명은 평판디스플레이 패널의 사이즈에 대응하여 검사부를 세팅하기 위해서는, 사각플레이트를 개방하는 것이 아니라, 사각플레이트(310)에 결합되는 제1 플레이트(320a), 제2 플레이트(320b) 및 프로브플레이트(330a, 330b) 등을 탈부착하면 된다.On the other hand, the square plate 310 is fixed to the flat panel display panel inspection device unlike the conventional one that can open the square frame body by a hinge structure. That is, according to the present invention, in order to set the inspection part corresponding to the size of the flat panel display panel, the first plate 320a, the second plate 320b, and the probe coupled to the square plate 310 are not opened. The plates 330a and 330b may be attached or detached.

상기 제1 플레이트(320a)는 상기 사각플레이트(310)의 네 변(邊)중에 하나의 변인 제1 변에 구비된다. 즉, 도 15에 도시된 바와 같이, 상기 사각플레이트(310)의 네 변(邊)중 상측에 존재하는 제1 변(邊)에 구비된다. 상기 제1 플레이트(320a)는 상기 사각플레이트(310) 상에 고정 설치되거나 이동가능하게 설치된다.The first plate 320a is provided at a first side, which is one of four sides of the square plate 310. That is, as shown in Figure 15, the four sides of the rectangular plate 310 is provided on the first side existing in the upper side (邊). The first plate 320a is fixedly installed or movable on the square plate 310.

상기 제1 플레이트(320a)와 달리 상기 사각플레이트(310) 상에서 이동할 수 있는 제2 플레이트(320b)는 상기 제1 플레이트(320a)와 이웃하는 상기 사각플레이트(310)의 제2 변(邊)에 설치된다. 즉, 도 15에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(320a)가 구비된 변(邊)과 이웃하는 좌측 변(邊)에 상기 제2 플레이트(320b)를 이동가능하게 설치한다.Unlike the first plate 320a, the second plate 320b that can move on the square plate 310 is disposed on a second side of the square plate 310 adjacent to the first plate 320a. Is installed. That is, as shown in FIG. 15, the second plate 320b is movably installed on the left side adjacent to the side provided with the first plate 320a.

한편, 상기 제2 플레이트(320b, 320c)는 도 16의 (a)에 도시된 바와 같이 상 기 제1 플레이트(320a)가 구비된 변과 이웃하는 좌측 변 및 우측 변에 각각 설치될 수 있다. Meanwhile, as shown in FIG. 16A, the second plates 320b and 320c may be installed on the left side and the right side of the second plate 320b and the adjacent side.

또한, 도 16의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 제2 플레이트(320b, 320c, 320d)는 상기 제1 플레이트(320a)가 구비된 변과 이웃하는 좌, 우측 변뿐만 아니라, 상기 제1 플레이트(320a)가 구비된 변과 마주보는 변에도 이동가능하게 설치될 수 있다.In addition, as illustrated in FIG. 16B, the second plates 320b, 320c, and 320d may have not only the left and right sides adjacent to the sides provided with the first plates 320a, but also the first and second sides. The side facing the side provided with the plate 320a may be installed to be movable.

더 나아가, 도 16의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(320a)가 설치되는 상기 사각플레이트(310) 상에 상기 이동기구(360d)가 더 설치되어, 상기 제1 플레이트(320a)를 상기 일변의 길이 방향으로 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 사각플레이트(310) 네 변에 설치되는 하나의 제1 플레이트(320a)와 세개의 제2 플레이트(320b, 320c, 320d)는 상기 사각플레이트(310) 상에 설치되는 네개의 이동기구(360a, 360b, 360c, 360d)에 의하여 이동시킬 수 있다. 또한, 상기 제1 플레이트(320a)는 상기 사각플레이트(310) 상에 고정된 상태로 설치될 수 있다.Furthermore, as shown in FIG. 16C, the moving mechanism 360d is further installed on the square plate 310 on which the first plate 320a is installed, and thus the first plate 320a is provided. ) Can be moved in the longitudinal direction of the one side. That is, one first plate 320a and three second plates 320b, 320c, and 320d installed at four sides of the square plate 310 may include four moving mechanisms installed on the square plate 310. 360a, 360b, 360c, 360d). In addition, the first plate 320a may be installed in a fixed state on the square plate 310.

상기 제1 플레이트(320a)가 구비된 상기 사각플레이트(310)의 일변(邊)을 제외한 세개의 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트(320b, 320c, 320d)는 상기 사각플레이트(310) 상에 설치되는 이동기구(360a, 360b, 360c)에 의하여 각 변(邊)의 길이 방향으로 이동될 수 있다. 물론, 도 16의 (c)에 도시된 바와 같이 상기 사각플레이트(310) 상에 별도의 이동기구(360d)를 더 마련한 경우에는 상기 제1 플레이트(320a)도 변(邊)의 길이방향으로 이동될 수 있다. 이 경우에는 상기 제1 플레이트(320a)와 제2 플레이트(320b) 중 적어도 하나는 상기 이동기구(360a, 360d)에 의하여 본체 상에서 이동될 수 있다.The second plates 320b, 320c, and 320d installed on three sides of the rectangular plate 310 provided with the first plate 320a are disposed on the rectangular plate 310. It can be moved in the longitudinal direction of each side by the moving mechanism (360a, 360b, 360c) installed in. Of course, when a separate moving mechanism 360d is further provided on the square plate 310 as shown in FIG. 16C, the first plate 320a also moves in the longitudinal direction of the sides. Can be. In this case, at least one of the first plate 320a and the second plate 320b may be moved on the main body by the moving mechanisms 360a and 360d.

상기 이동기구(360a, 360b, 360c, 360d)는 도 15 및 도 16에 도시된 바와 같이 상기 사각플레이트(310) 상의 소정 위치에 마련된다.The moving mechanisms 360a, 360b, 360c, and 360d are provided at predetermined positions on the rectangular plate 310 as shown in FIGS. 15 and 16.

상기 제2 플레이트(320b, 320c, 320d)가 설치되는 상기 사각플레이트(310)의 각 변(邊)에 마련되는 이동기구(360a, 360b, 360c)는 제1 및 제2 실시예에서 설명한 이동기구와 동일한 구조를 가지고 동일한 동작에 따르므로 이에 대한 설명은 생략한다.The moving mechanisms 360a, 360b, 360c provided on each side of the square plate 310 on which the second plates 320b, 320c, 320d are installed are the moving mechanisms described in the first and second embodiments. Since it has the same structure and follows the same operation, description thereof will be omitted.

상기 사각플레이트(310)의 각 변에 설치되는 제1 플레이트(320a)와 제2 플레이트(320b)에는 다양한 크기를 가지는 프로브플레이트(330a, 330b)가 탈부착 가능하게 결합된다. 상기 프로브플레이트(330a, 330b)에는 복수의 프로브(340a, 340b)들이 장착되어 있고, 측면에는 평판디스플레이 패널(380) 상에 표시된 정렬마크(381)를 촬영할 수 있는 카메라(350a, 350b)가 부착되어 있다.Probe plates 330a and 330b having various sizes are detachably coupled to the first plate 320a and the second plate 320b installed at each side of the square plate 310. A plurality of probes 340a and 340b are mounted on the probe plates 330a and 330b, and cameras 350a and 350b capable of photographing the alignment marks 381 displayed on the flat panel display panel 380 are attached to the probe plates 330a and 330b. It is.

상기 프로브플레이트(330a, 330b)는 다양한 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(380)에 대응하여 다양한 크기를 가진다. 즉, 상기 프로브플레이트(330a, 330b)는 검사할 평판디스플레이 패널들의 사이즈에 대응할 수 있도록 다양한 크기로 사전에 제작되어 있다.The probe plates 330a and 330b have various sizes corresponding to the flat panel display panel 380 having various sizes. That is, the probe plates 330a and 330b are prefabricated in various sizes so as to correspond to the sizes of the flat panel display panels to be inspected.

따라서, 특정 사이즈의 평판디스플레이 패널(380)을 검사하다가 새롭게 더 작은 사이즈의 평판디스플레이 패널(380)을 검사하고자 하는 경우에는, 상기 특정 사이즈의 평판디스플레이 패널(380)을 검사하기 위한 프로브플레이트(330a, 330b)를 탈착한 후 상기 새롭게 검사할 평판디스플레이 패널(380)에 대응할 수 있도록 더 큰 프로브플레이트(330a, 330b)를 상기 제1 및 제2 플레이트(320a, 320b)에 부착하고, 더 큰 사이즈의 평판디스플레이 패널(380)을 검사하고자 하는 경우에는, 기존의 프로브플레이트를 탈착하고 새롭게 검사할 평판디스플레이 패널(380)에 대응할 수 있도록 더 작은 프로브플레이트를 상기 제1 및 제2 플레이트(320a, 320b)에 부착하여 새로운 평판디스플레이 패널(380)을 검사할 수 있다.Accordingly, when the flat panel display panel 380 having a specific size is to be inspected and the new flat panel display panel 380 is newly inspected, a probe plate 330a for inspecting the flat panel panel 380 having a specific size may be used. And a larger probe plate 330a and 330b may be attached to the first and second plates 320a and 320b so as to correspond to the flat display panel 380 to be newly inspected after removing the 330b. In order to inspect the flat panel display panel 380, a smaller probe plate may be attached to the first and second plates 320a and 320b so as to detach the existing probe plate and correspond to the flat panel display panel 380 to be newly inspected. ), The new flat panel display panel 380 can be inspected.

이와 같이, 검사할 평판디스플레이 패널(380)의 사이즈가 변경되더라도 상기 사각플레이트(310) 전부를 교체할 필요 없이, 상기 다양한 크기를 가지는 프로브플레이트(330a, 330b)만을 탈부착함으로써 변경된 평판디스플레이 패널(380)을 검사할 수 있게 된다.As such, even when the size of the flat panel display panel 380 to be inspected is changed, the flat panel display panel 380 changed by detaching only the probe plates 330a and 330b having the various sizes without having to replace all of the rectangular plates 310. ) Can be checked.

도 17은 상기 다양한 평판디스플레이 패널(380)에 대응할 수 있도록 제작된 다양한 크기를 가지는 프로브플레이트가 제1 및 제2 플레이트에 결합된 구성도이다.FIG. 17 is a configuration diagram in which probe plates having various sizes manufactured to correspond to the various flat panel display panels 380 are coupled to the first and second plates.

도 17의 (a)에서 도 17의 (c)로 갈 수록 검사할 평판디스플레이 패널(380, 380', 380")의 사이즈는 작아지는 반면, 상기 제1 및 제2 플레이트(320a, 320b)에 결합되는 프로브플레이트(330a, 330b, 330a', 330b', 330a", 330b")들은 더 커지는 것을 볼 수 있다. 예를 들면, 상기 도 17의 (a)에 도시된 프로브플레이트(330a, 330b)는 50인치의 평판디스플레이 패널(380)을 검사할 수 있는 크기(L1, L2)를 가지고, 도 17의 (b)에 도시된 프로브플레이트(330a', 330b')는 40인치 평판디스플레이 패널(380)을 검사할 수 있도록 상기 도 17의 (a)에 도시된 프로브플레이트(330a, 330b)의 크기(L1, L2)보다 더 큰 사이즈(L3, L4)를 가지며, 도 17의 (c)에 도시된 프로브플레이트(330a", 330b")는 30인치 평판디스플레이 패널을 검사할 수 있도록 상기 도 17의 (b)에 도시된 프로브플레이트(330a', 330b')의 크기(L3, L4)보다 더 큰 사이즈(L5, L6)를 가진다.17 (a) to 17 (c), the size of the flat panel panels 380, 380 ′, and 380 ″ to be inspected becomes smaller, whereas the first and second plates 320a and 320b The combined probe plates 330a, 330b, 330a ', 330b', 330a ", and 330b" are larger. For example, the probe plates 330a and 330b shown in FIG. Has a size (L1, L2) to inspect the 50-inch flat panel display panel 380, the probe plates (330a ', 330b') shown in Figure 17 (b) is a 40-inch flat panel display panel (380). ) Have a larger size (L3, L4) than the size (L1, L2) of the probe plates (330a, 330b) shown in Figure 17 (a), as shown in Figure 17 (c) The probe plates 330a "and 330b" are larger than the sizes L3 and L4 of the probe plates 330a 'and 330b' shown in FIG. 17B to inspect the 30-inch flat panel display panel. four It has's (L5, L6).

즉, 검사할 평판디스플레이 패널(380)의 사이즈가 작아지게 되면, 도 17에 도시된 바와 같이 프로브플레이트(330a, 330a', 330a", 330b, 330b', 330b") 상에 장착되는 프로브(340a, 340b)의 개수는 적어지고, L1〈 L3〈 L5, L2〈 L4〈 L6의 관계를 가진다.That is, when the size of the flat panel display panel 380 to be inspected becomes smaller, the probe 340a mounted on the probe plates 330a, 330a ', 330a ", 330b, 330b', and 330b" as shown in FIG. , 340b) is reduced, and L1 < L3 < L5 and L2 < L4 < L6.

한편, 도 15 내지 도 17에 도시된 바와 같이, 상기 프로브플레이트(330a, 330b)들에는 평판디스플레이 패널(380) 상에 표시된 정렬마크(381)를 촬영하기 위하여 카메라(350a, 350b)가 배치되고, 복수의 프로브(340a, 340b)들이 장착된다. 15 to 17, cameras 350a and 350b are disposed on the probe plates 330a and 330b to photograph the alignment marks 381 displayed on the flat panel display panel 380. A plurality of probes 340a and 340b are mounted.

상기 카메라(350a, 350b)는 상기 제1 플레이트(320a)에 탈부착되는 프로브플레이트(330a)의 양측면과 상기 제2 플레이트(320b)에 탈부착되는 프로브플레이트(330b)의 일측면에 설치된다. 다만, 상기 카메라(350a, 350b)가 촬영할 평판디스플레이 패널(380) 상의 정렬마크(381) 3개를 적절하게 촬영하기 위하여 상기 제2 플레이트(320b)에 결합된 프로브플레이트(330b)의 일측면에 설치된 카메라(350b)는 상기 제1 플레이트(320a)에 결합된 프로브플레이트(330a)에 이웃하지 않는 일측면에 설치된다.The cameras 350a and 350b are installed on both sides of the probe plate 330a detachably attached to the first plate 320a and on one side of the probe plate 330b detachably attached to the second plate 320b. However, one side of the probe plate 330b coupled to the second plate 320b in order to properly photograph three alignment marks 381 on the flat panel display panel 380 to be photographed by the cameras 350a and 350b. The installed camera 350b is installed on one side that does not neighbor the probe plate 330a coupled to the first plate 320a.

상기와 같이 3개의 카메라(350a, 350b)를 설치하여 평판디스플레이 패널(380) 상에 표시된 정렬마크(381)를 촬영한다. 즉, 상기 카메라(350a, 350b)는 정렬마크(381) 개수만큼 구비되고, 정렬마크(381) 위치에 대응되도록 설치된다.As described above, three cameras 350a and 350b are installed to photograph the alignment marks 381 displayed on the flat panel display panel 380. That is, the cameras 350a and 350b are provided as many as the number of alignment marks 381 and are installed to correspond to the position of the alignment marks 381.

상기 제1 플레이트(320a)에 결합된 프로브플레이트(330a)의 양측면 또는 상기 제2 플레이트(320b)에 결합된 프로브플레이트(330b)의 일측면에 배치되는 카메라들(350a, 350b)은 X, Y, Z축으로 이동 가능하고, 상기 평판디스플레이 패널(380) 상에 표시된 정렬마크(381)를 촬영한다.Cameras 350a and 350b disposed on both sides of the probe plate 330a coupled to the first plate 320a or one side of the probe plate 330b coupled to the second plate 320b are X and Y. , Z-axis movable, and photographs the alignment mark 381 displayed on the flat panel display panel 380.

상기 카메라(350a, 350b)에 의하여 촬영된 상기 평판디스플레이 패널(380) 상에 표시된 정렬마크(381)는 제어부(미도시)에 포함되는 모니터(390)(도 18의 (c), (d)에 도시됨) 상에 표시된다. 상기 모니터(390)에는 상기 카메라(350a, 350b)에 의하여 촬영된 상기 정렬마크(381)가 표시될뿐만 아니라, 상기 정렬마크(381)를 일치시키기 위한 기준마크(395)가 표시된다.The alignment mark 381 displayed on the flat panel display panel 380 photographed by the cameras 350a and 350b includes a monitor 390 ((c) and (d) of FIG. 18 included in a controller (not shown)). Shown in the figure). The monitor 390 displays not only the alignment mark 381 photographed by the cameras 350a and 350b but also a reference mark 395 for matching the alignment mark 381.

즉, 상기 모니터(390)에는 상기 기준마크(395)와 정렬마크(381)를 표시시키고, 상기 카메라(350a, 350b)를 X, Y, X축으로 이동시켜 상기 카메라(350a, 350b)에 의하여 촬영된 정렬마크(381)를 상기 기준마크(395)에 정렬시킨다.That is, the reference mark 395 and the alignment mark 381 are displayed on the monitor 390, and the cameras 350a and 350b are moved to the X, Y, and X axes by the cameras 350a and 350b. The photographed alignment mark 381 is aligned with the reference mark 395.

한편, 상기 카메라(350a, 350b)는 상기 정렬마크(381)를 촬영하지 않고 워크테이블(382) 상에 표시된 마크(383)를 촬영하여 상기 모니터(390) 상에 표시할 수 있다. 즉, 상기 모니터(390)에는 상기 기준마크(395)와 상기 워크테이블(382) 상에 표시된 마크(383)를 표시시키고 상기 카메라(350a, 350b)를 이동시켜 상기 카메라(350a, 350b)에 의하여 촬영된 상기 워크테이블(382) 상에 마크(383)를 상기 모니터(390)의 기준마크(395)에 정렬시킨다.Meanwhile, the cameras 350a and 350b may photograph and display the mark 383 displayed on the work table 382 on the monitor 390 without photographing the alignment mark 381. That is, the monitor 390 displays the reference mark 395 and the mark 383 displayed on the work table 382 and moves the cameras 350a and 350b by the cameras 350a and 350b. The mark 383 is aligned with the reference mark 395 of the monitor 390 on the photographed work table 382.

이하, 도 18을 참조하여 평판디스플레이 패널을 얼라인 하는 방법에 대하여 설명한다.Hereinafter, a method of aligning the flat panel display panel will be described with reference to FIG. 18.

도 18의 (a)는 특정 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(380)을 검사하기 위한 세팅 상태이다. 즉, 특정 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(380)을 검사하기 위하여 제1 플레이트(320a)와 제2 플레이트(320b)에는 상기 특정 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(380)에 대응하는 소정의 크기를 가지는 프로브플레이트(330a, 330b)가 결합되어 있다. FIG. 18A illustrates a setting state for inspecting the flat panel display panel 380 having a specific size. That is, in order to inspect the flat panel display panel 380 having a specific size, the probe having a predetermined size corresponding to the flat panel display panel 380 having the specific size may be provided on the first plate 320a and the second plate 320b. Plates 330a and 330b are coupled.

상기 도 18의 (a)와 같은 세팅 상태에서 새롭게 더 작은 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(380)을 검사하기 위해서, 도 18의 (b)와 같이 상기 도 18의 (a)에 도시된 프로브플레이트(330a, 330b)를 탈착하고 새롭게 검사할 평판디스플레이 패널(380)의 사이즈에 대응할 수 있도록 상기 도 18의 (a)에 도시된 프로브플레이트(330a, 330b)의 크기보다 더 큰 사이즈의 프로브플레이트(330a', 330b')를 상기 제1 및 제2 플레이트(320a, 320b)에 부착한다.In order to inspect the flat panel display panel 380 having a smaller size in the setting state as shown in FIG. 18A, the probe plate shown in FIG. 18A as shown in FIG. A probe plate 330a having a size larger than that of the probe plates 330a and 330b shown in FIG. 18A so as to correspond to the size of the flat panel display panel 380 to be detached and newly inspected 330a and 330b. ', 330b') is attached to the first and second plates 320a and 320b.

상기와 같이 더 작은 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널(380)을 검사하기 위해서는, 도 18의 (a)에 도시된 바와 같이 L7과 L8의 폭을 가지는 기존의 프로브플레이트(330a, 330b)를 탈착하고 L9와 L10의 폭을 가지는 더 큰 사이즈의 프로브플레이트(330a', 330b')를 새롭게 제1 및 제2 플레이트(320a, 320b)에 부착하면 간단하게 세팅이 이루어진다. 즉, 검사할 평판디스플레이 패널(380)의 사이즈가 변경되더라도, 사각플레이트(310) 전부를 교체할 필요없이 검사할 평판디스플레이 패널(380)에 대응하기 위하여 다양한 크기를 가지는 프로브플레이트(330a, 330a', 330b, 330b')만 탈부착함으로써, 간단하게 세팅를 할 수 있다.In order to inspect the flat panel display panel 380 having a smaller size as described above, as shown in FIG. 18A, the existing probe plates 330a and 330b having the widths of L7 and L8 are detached and L9. Setting of the probe plate 330a 'and 330b' having a width of L10 and L10 is newly attached to the first and second plates 320a and 320b. That is, even if the size of the flat panel display panel 380 to be inspected is changed, the probe plates 330a and 330a 'may have various sizes so as to correspond to the flat panel panel 380 to be inspected without replacing all of the rectangular plates 310. , 330b, 330b ') can be easily attached and detached.

즉, 상기와 같이 새롭게 세팅이 이루어지는 과정에서 프로브플레이트(330a, 330a', 330b, 330b')에 장착되는 프로브(340a, 340b)의 개수는 작아지고, L7〈 L9, L8〈 L10의 관계가 발생한다.That is, the number of probes 340a and 340b mounted on the probe plates 330a, 330a ', 330b, and 330b' becomes small in the process of newly setting as described above, and a relationship of L7 < L9 and L8 < L10 occurs. do.

상기와 같이 변경된 평판디스플레이 패널(380)을 검사하기 위하여, 제1 및 제2 플레이트(320a, 330b)와 프로브플레이트(330a', 330b')를 결합하여 세팅한 후에는, 상기 변경된 평판디스플레이 패널(380) 상의 패드(미도시)와 상기 프로브플레이트(330a', 330b') 상에 장착된 복수의 프로브(340a, 340b)의 검사팁(미도시)을 정렬시킨다. 상기 복수의 프로브(340a, 340b)의 검사팁과 평판디스플레이 패널(380) 상의 패드의 정렬은 마이크로스코프(9, 도 4에 표시)를 이용하여 수동으로 정렬한다.In order to inspect the changed flat panel display panel 380 as described above, after setting the first and second plates 320a and 330b and the probe plates 330a 'and 330b', the modified flat panel display panel ( A pad (not shown) on 380 and an inspection tip (not shown) of a plurality of probes 340a and 340b mounted on the probe plates 330a 'and 330b' are aligned. The alignment of the test tips of the plurality of probes 340a and 340b with the pads on the flat panel display panel 380 is manually aligned using a microscope 9 (shown in FIG. 4).

상기 마이크로스코프(9, 도 4에 표시)에 의하여 상기 프로브(340a, 340b)와 상기 평판디스플레이 패널(380)의 패드를 정렬하는 방법은, 먼저 제1 플레이트(320a)에 결합된 프로브플레이트(330a) 상에 포함된 프로브(340a)의 검사팁(미도시)과 상기 평판디스플레이 패널(380)의 패드를 정렬시킨다. 그런 다음, 제2 플레이트(320b)에 결합된 프로브플레이트(330b) 상에 포함된 프로브(340b)의 검사팁(미도시)을 상기 평판디스플레이 패널(380)의 패드와 정렬한다.The method of aligning the pads of the probes 340a and 340b and the flat panel display panel 380 by the microscope 9 (shown in FIG. 4) may include a probe plate 330a coupled to the first plate 320a. The test tip (not shown) of the probe 340a included on the aligns the pad of the flat panel display panel 380. Then, the test tip (not shown) of the probe 340b included on the probe plate 330b coupled to the second plate 320b is aligned with the pad of the flat panel display panel 380.

상기 제1 플레이트(320)에 결합된 프로브플레이트(330a) 상의 프로브(340a)의 검사팁(미도시)과 평판디스플레이 패널(380)의 패드를 정렬하기 위해서는 상기 평판디스플레이 패널(380)이 놓여지는 워크테이블(382)을 이동시켜 정렬한다. 즉, 상기 제1 플레이트(320a)는 이동되지 않고 사각플레이트(310)의 일변(一邊)에 고정부착되어 있기 때문에 상기 평판디스플레이 패널(380)이 놓여지는 워크테이블(382)을 이동시켜 정렬시킨다.The flat panel display panel 380 is placed to align the test tip (not shown) of the probe 340a on the probe plate 330a and the pad of the flat panel display panel 380 coupled to the first plate 320. The worktable 382 is moved and aligned. That is, since the first plate 320a is fixed to one side of the square plate 310 without moving, the work table 382 on which the flat panel display panel 380 is placed is moved and aligned.

만약 도 16의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 제1 플레이트(320a)가 이동기구(360d)에 의하여 이동될 수 있도록 구성한다면, 상기와 같이 워크테이블(382)을 이동시키지 않고 상기 이동기구(360d)를 구동시켜 상기 프로브(340a)의 검사팁(미도시)과 평판디스플레이 패널(380)의 패드를 정렬시킬 수 있다.If the first plate 320a is configured to be moved by the moving mechanism 360d, as shown in FIG. 16C, the moving mechanism without moving the work table 382 as described above. An inspection tip (not shown) of the probe 340a and a pad of the flat panel display panel 380 may be aligned by driving 360d.

상기 워크테이블(382)을 이동시키거나, 상기 이동기구(360d)를 구동시켜 상기 제1 플레이트(320a)에 결합되는 프로브플레이트(330a) 상에 장착된 프로브(340a)와 평판디스플레이 패널(380)의 패드를 정렬한 후에는, 상기 제2 플레이트(320b)에 결합된 프로브플레이트(330b) 상에 장착된 프로브(340b)와 평판디스플레이 패널(380)의 패드를 정렬한다.The probe 340a and the flat panel display panel 380 mounted on the probe plate 330a coupled to the first plate 320a by moving the work table 382 or driving the moving mechanism 360d. After aligning the pads, the pads of the flat panel panel 380 and the probe 340b mounted on the probe plate 330b coupled to the second plate 320b are aligned.

상기 제2 플레이트(320b)에 결합된 프로브플레이트(330b)에 장착된 프로브(340b)의 검사팁(미도시)과 워크테이블(382) 상에 놓여있는 평판디스플레이 패널(380)의 패드를 정렬시키기 위해서는, 사각플레이트(310) 상에 마련되는 이동기구(360a)를 구동시켜 제2 플레이트(320b)를 이동시켜 이루어진다.Aligning the test tip (not shown) of the probe 340b mounted on the probe plate 330b coupled to the second plate 320b with the pads of the flat panel display panel 380 on the work table 382. In order to achieve this, the second plate 320b is moved by driving the moving mechanism 360a provided on the rectangular plate 310.

상기와 같은 동작에 따라 마이크로스코프(9, 도 4에 표시)에 의하여 프로브플레이트(330a, 330b) 상에 장착된 프로브(340a, 340b)와 워크테이블(382) 상에 놓여진 평판디스플레이 패널(380)을 정렬시킨 후에는 카메라(350a, 350b)를 이동시켜 모니터(390) 상에 표시된 기준마크(395)와 상기 평판디스플레이 패널(380) 상에 표시된 정렬마크(381)를 일치시켜 카메라(350a, 350b)를 세팅시킨다. According to the above operation, the probes 340a and 340b mounted on the probe plates 330a and 330b by the microscope 9 (shown in FIG. 4) and the flat panel display panel 380 placed on the work table 382. After aligning the cameras, the cameras 350a and 350b are moved to align the reference marks 395 displayed on the monitor 390 with the alignment marks 381 displayed on the flat panel display panel 380. ).

상기 기준마크(395)와 정렬마크(381)를 일치시키기 위해서는, 먼저 상기 제1 플레이트(320a) 및 제2 플레이트(320b)에 결합된 상기 프로브플레이트(330a, 330b) 상에 설치된 카메라(350a, 350b)가 상기 평판디스플레이 패널(380) 상에 표시된 정렬마크(381a)를 촬영하여 상기 모니터(390) 상에 표시한다.In order to make the reference mark 395 and the alignment mark 381 coincide, first, the camera 350a installed on the probe plates 330a and 330b coupled to the first plate 320a and the second plate 320b, 350b) photographs an alignment mark 381a displayed on the flat panel display panel 380 and displays the alignment mark 381a on the monitor 390.

상기와 같이 카메라(350a 350b)에 의하여 촬영된 정렬마크(381)가 상기 모니터(390) 상에 표시되면, 도 18의 (c)에 도시된 바와 같이, 모니터(390) 상에 표시된 기준마크(395)에 어긋나서 표시되는 것이 일반적이다.When the alignment mark 381 captured by the camera 350a 350b is displayed on the monitor 390 as described above, as shown in (c) of FIG. 18, the reference mark (shown on the monitor 390) 395) is generally displayed in a manner that is offset.

상기와 같이, 모니터(390) 상에 표시된 기준마크(395)와 정렬마크(381a)가 일치하지 않고 어긋나는 경우에는, 도 18의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 카메라(350a, 350b)를 X, Y, Z축으로 이동시켜 상기 정렬마크(381)를 상기 기준마크(395)에 일치시킨다.As described above, when the reference mark 395 displayed on the monitor 390 and the alignment mark 381a do not coincide with each other and are misaligned, as shown in FIG. 18D, the cameras 350a and 350b are moved. The alignment mark 381 is aligned with the reference mark 395 by moving along the X, Y, and Z axes.

상기 기준마크(395)와 정렬마크(381b)가 일치되면, 카메라(350a, 350b)의 X, Y, Z축 위치를 고정하여 카메라(350a, 350b)의 초기 세팅을 완료한 후, 상기 카메라(350a, 350b)에 의하여 촬영된 상기 정렬마크(381)의 위치를 기준으로 워크테이블(382)의 X, Y, Z 및 세타 좌표값을 획득하여, 상기 좌표값을 제어부(미도시)에 포함되는 메모리(미도시)에 저장한다. 이후에, 동일한 종류의 평판디스플레이 패널(380)이 워크테이블(382)에 계속적으로 올려져도 상기 메모리 상에 저장된 워크테이블(382)의 X,Y,Z 및 θ 좌표값에 의한 제어부의 제어신호에 따라 워크테이블(382)이 신속하게 이동되어 평판디스플레이 패널(380)이 프로브플레이트(330a', 330b')의 프로브(340a, 340b)에 얼라인된다. 즉, 상기 평판디스플레이 패널(380)의 패드(미도시)에 상기 프로브(340a, 340b)의 검사팁(미도시)이 얼라인된다.When the reference mark 395 and the alignment mark 381b coincide with each other, the X, Y, and Z axis positions of the cameras 350a and 350b are fixed to complete the initial setting of the cameras 350a and 350b. Acquiring the X, Y, Z and theta coordinate values of the work table 382 based on the position of the alignment mark 381 taken by the 350a and 350b to include the coordinate values in the controller (not shown). Store in a memory (not shown). Subsequently, even if the same type of flat panel display panel 380 is continuously placed on the work table 382, the control signal of the controller is controlled by the X, Y, Z and? Coordinate values of the work table 382 stored on the memory. Accordingly, the worktable 382 is moved quickly so that the flat panel display panel 380 is aligned with the probes 340a and 340b of the probe plates 330a 'and 330b'. That is, inspection tips (not shown) of the probes 340a and 340b are aligned with pads (not shown) of the flat panel display panel 380.

상기와 같은 구성 및 작용 그리고 바람직한 실시예를 가지는 본 발명인 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치 및 그 방법에 의하면, 검사 대상의 평판디스플레이 패널 사이즈가 변경되더라도 점등테스트 장치 구성부품 전체를 교체할 필요가 없기 때문에 유지보수를 위한 공간이 적어지고, 변경된 사이즈를 가지는 평판디스플레이 패널을 검사하기 위한 장치의 세팅 시간을 줄일 수 있는 효과가 있다. According to the lighting test apparatus and the method of the flat panel display panel inspection apparatus of the present invention having the above-described configuration and operation and preferred embodiments, even if the size of the flat panel display panel to be inspected is changed, it is necessary to replace the entire lighting test component components. Since there is no space for maintenance, there is an effect of reducing the setting time of the device for inspecting a flat panel display panel having a changed size.

또한, 검사 대상의 평판디스플레이 패널 사이즈가 변경되더라도, 대체적으로 가벼운 보조플레이트와 프로브플레이트만을 간단히 탈부착하여 세팅이 이루어지므로, 점등테스트 장치 구성부품 전체를 교체해야 하는 종래와 달리 작업자의 안전문제를 해결할 수 있는 효과가 있다.In addition, even if the size of the flat panel display panel to be inspected is changed, the setting is performed by simply detaching and replacing only the light auxiliary plate and the probe plate, which can solve the safety problem of the operator. It has an effect.

또한, 변경된 평판디스플레이 패널과 프로브를 얼라인하기 위하여 사각플레이트 소정의 위치에 이동기구를 마련함으로써, 종래와 달리 정확한 정렬이 가능하고, 정렬 작업이 간소하며 정렬시간이 단축되는 효과가 있다.In addition, by providing a moving mechanism at a predetermined position of the square plate to align the changed flat panel display panel and the probe, it is possible to align precisely, unlike the prior art, the alignment operation is simple and the alignment time is shortened.

한편, 모니터에 표시되는 기준마크와 카메라에 의하여 촬영된 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크를 일치시켜 평판디스플레이 패널의 위치 좌표값을 저장함으로써, 정렬 과정이 간소해지는 효과가 있다.On the other hand, by matching the reference mark displayed on the monitor and the alignment mark on the flat panel display panel photographed by the camera to store the position coordinate value of the flat panel display panel, there is an effect that the alignment process is simplified.

또한, 동일한 종류의 평판디스플레이 패널이 워크테이블에 계속적으로 올려져도 메모리 상에 저장된 워크테이블의 X,Y,Z 및 θ 좌표값에 의한 제어부의 제어신호에 따라 워크테이블이 신속하게 이동되어 평판디스플레이 패널이 프로브플레이트의 프로브에 얼라인 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다. In addition, even if the same type of flat panel display panel is continuously placed on the worktable, the worktable is quickly moved in accordance with the control signal of the controller based on the X, Y, Z and θ coordinate values of the worktable stored in the memory. There is an effect that the alignment time of the probe plate can be shortened.                     

또한, 검사 대상의 평판디스플레이 패널 사이즈가 변경되더라도, 프로브플레이트를 자동으로 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하는 위치까지 이동시켜 세팅이 이루어지므로, 점등테스트 장치 구성부품 전체를 교체해야 하는 종래와 달리 작업자의 안전문제를 해결할 수 있는 효과가 있다.In addition, even if the size of the flat panel display panel to be inspected is changed, setting is performed by automatically moving the probe plate to a position corresponding to the size of the flat panel display panel. It has the effect of solving the problem.

또한, 검사 대상의 평판디스플레이 패널 사이즈가 변경되더라도, 다양한 크기의 평판디스플레이 패널에 대응하는 프로브플레이트만을 간단히 탈부착하여 세팅이 이루어지므로, 점등테스트 장치 구성부품 전체를 교체해야 하는 종래와 달리 작업자의 안전문제를 해결할 수 있는 효과가 있다.In addition, even if the size of the flat panel display panel to be inspected changes, only the probe plate corresponding to various sizes of flat panel display panels can be easily detached and set. There is an effect that can solve.

Claims (30)

패널공급부로부터 이송받은 평판디스플레이 패널을 워크테이블에 위치시켜 평판디스플레이 패널의 점등 상태를 테스트하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치에 있어서,In the lighting test apparatus of the flat panel display panel inspection device inspection unit for placing the flat panel display panel transferred from the panel supply unit to the work table to test the lighting state of the flat panel display panel, 네개의 변을 갖는 사각판형이되, 내부에 개구부를 가지는 사각플레이트와;It is a rectangular shape having four sides, and a rectangular plate having an opening therein; 상기 사각플레이트의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트와;A first plate provided on one side of the square plate; 상기 제1 플레이트와 이웃하는 상기 사각플레이트의 변(邊)에 이동가능하게 설치되는 제2 플레이트와;A second plate movably installed on a side of the square plate adjacent to the first plate; 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트에 탈부착 가능하게 결합되되, 상기 평판디스플레이 패널의 사이즈에 따라 상기 사각플레이트의 개구부 중심 방향으로 연속해서 결합될 수 있는 적어도 하나의 보조플레이트와;At least one auxiliary plate detachably coupled to the first plate and the second plate, the second plate being continuously coupled to the opening center of the rectangular plate according to the size of the flat panel display panel; 상기 제1 플레이트, 제2 플레이트 또는 상기 사각플레이트의 개구부 중심에 가장 가까운 보조플레이트에 탈부착 가능하게 결합되되, 복수의 프로브들이 장착되어 있는 프로브플레이트와;A probe plate detachably coupled to the auxiliary plate closest to the center of the opening of the first plate, the second plate or the square plate , and having a plurality of probes mounted thereon; 상기 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크와 가상의 기준마크를 정렬하여 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하는 위치설정수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.And a positioning means for aligning an alignment mark on the flat panel display panel with a virtual reference mark to set a reference coordinate value of the work table. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트 중 적어도 하나는 상기 본체 상에 설치되는 이동기구에 의해 사각플레이트의 변(邊)의 길이 방향으로 이동가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.At least one of the first plate and the second plate is turned on so as to be movable in the longitudinal direction of the sides of the square plate by a moving mechanism provided on the main body. Testing device. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제1 플레이트와 마주보는 상기 사각플레이트의 변(邊)에는 이동기구에 의하여 변(邊)의 길이방향으로 이동가능한 제2 플레이트가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.On the side of the rectangular plate facing the first plate, a second plate movable in the longitudinal direction of the side by a moving mechanism is further provided, the lighting test of the flat panel display panel inspection device inspection unit Device. 청구항 2 또는 청구항 3항에 있어서,The method according to claim 2 or 3, 상기 이동기구는 상기 사각플레이트 상에 변(邊) 방향으로 배치된 한 쌍의 가이드부와, 상기 가이드부와 맞물려 이동하되, 상기 제2 플레이트와 결합되는 판상의 이동부와, 상기 이동부를 상기 가이드 상에서 상기 사각플레이트의 변 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.The moving mechanism includes a pair of guide parts disposed in the lateral direction on the square plate, a plate-shaped moving part engaged with the guide part and coupled to the second plate, and the moving part. Flat panel display panel inspection device lighting unit test unit characterized in that it comprises a drive unit for moving in the side direction of the square plate on. 청구항 4에 있어서,The method according to claim 4, 상기 이동부 하측면에 너트결합체를 더 마련하고,Further providing a nut coupling on the lower side of the moving part, 상기 구동부는 상기 너트결합체와 나사결합하여 연동하는 스크류사프트와, 상기 스크류사프트를 회전시키는 모터를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.The driving unit is a lighting test device of the flat panel display panel inspection device inspection unit comprising a screw shaft for screwing and interlocking with the nut coupling, and a motor for rotating the screw shaft. 청구항 1에 있어서, 상기 위치설정수단은, The method according to claim 1, wherein the positioning means, 상기 평판디스플레이 패널의 정렬마크를 촬영하는 카메라와, 상기 카메라에 의해 촬영된 정렬마크를 모니터에 표시된 기준마크와 일치시켜 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하고 상기 기준 좌표값에 따라 상기 워크테이블을 구동하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.The reference table displayed on the monitor is set by matching a camera photographing the alignment mark of the flat panel display panel with the reference mark displayed on the monitor, and setting the reference table value of the work table according to the reference coordinate value. A lighting test device for a flat panel display panel inspection device inspection unit comprising a control unit for driving. 패널공급부로부터 이송받은 평판디스플레이 패널을 워크테이블에 위치시켜 평판디스플레이 패널의 점등 상태를 테스트하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치에 있어서,In the lighting test apparatus of the flat panel display panel inspection device inspection unit for placing the flat panel display panel transferred from the panel supply unit to the work table to test the lighting state of the flat panel display panel, 네개의 변을 갖는 사각판형이되, 내부에 개구부를 가지는 사각플레이트와;It is a rectangular shape having four sides, and a rectangular plate having an opening therein; 상기 사각플레이트의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트와;A first plate provided on one side of the square plate ; 상기 제1 플레이트와 이웃하는 상기 사각플레이트의 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트와;A second plate installed on a side of the square plate adjacent to the first plate; 상기 제1 플레이트 및 제2 플레이트 중 적어도 하나는 사각플레이트 변의 길이 방향으로 이동가능하게 구비되는 이동기구와;At least one of the first plate and the second plate is a moving mechanism provided to be movable in the longitudinal direction of the square plate side; 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트 상에서 이동가능하게 설치되되, 상기 평판디스플레이 패널의 사이즈에 따라 상기 사각플레이트의 개구부 중심 방향으로 이동될 수 있는 보조플레이트와; An auxiliary plate movably installed on the first plate and the second plate, the auxiliary plate being movable in the direction of the opening center of the square plate according to the size of the flat panel display panel ; 상기 보조플레이트를 수직이동시키는 수직구동부와;A vertical driving part which vertically moves the auxiliary plate; 상기 보조플레이트 상에 탈부착 가능하게 결합되되, 복수의 프로브들이 장착되어 있는 프로브플레이트와;A probe plate detachably coupled to the auxiliary plate and having a plurality of probes mounted thereon; 상기 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크를 촬영하기 위하여 프로브플레이트에 장착되는 카메라, 상기 카메라에 의하여 촬영된 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크와 비교하기 위한 가상의 기준마크가 표시되는 별도의 모니터를 구비한 위치설정수단; 을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치. Positioning means having a camera mounted on the probe plate to photograph the alignment mark on the flat panel display panel, and a separate monitor on which a virtual reference mark is displayed for comparison with the alignment mark on the flat panel display panel photographed by the camera. ; The flat display panel testing device testing apparatus of the inspection light, characterized in that formed, including. 삭제delete 청구항 7에 있어서,The method according to claim 7, 상기 제1 플레이트와 마주보는 상기 사각플레이트의 변(邊)에는 이동기구에 의하여 변(邊)의 길이방향으로 이동가능한 제2 플레이트가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.On the side of the square plate facing the first plate, a second plate that is movable in the longitudinal direction of the side by a moving mechanism is further provided, the lighting test of the flat panel display panel inspection device inspection unit Device. 청구항 9에 있어서,The method according to claim 9, 상기 이동기구는 상기 사각플레이트 상에 변(邊) 방향으로 배치된 한 쌍의 가이드부와, 상기 가이드부와 맞물려 이동하되, 상기 제2 플레이트와 결합되는 판상의 이동부와, 상기 이동부를 상기 가이드 상에서 상기 사각플레이트의 변 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.The moving mechanism includes a pair of guide parts disposed in the lateral direction on the square plate , a plate-shaped moving part engaged with the guide part and coupled to the second plate, and the moving part. Flat panel display panel inspection device lighting unit test unit characterized in that it comprises a drive unit for moving in the side direction of the square plate on. 청구항 10에 있어서,The method according to claim 10, 상기 이동부 하측면에 너트결합체를 더 마련하고,Further providing a nut coupling on the lower side of the moving part, 상기 구동부는 상기 너트결합체와 나사결합하여 연동하는 스크류사프트와, 상기 스크류사프트를 회전시키는 모터를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평 판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.The driving unit is a flat panel display panel inspection device lighting test device, characterized in that the screw shaft and the screw shaft interlocked with the nut coupling body, and the motor to rotate the screw shaft. 청구항 7에 있어서,The method according to claim 7, 상기 보조플레이트 상의 양 측단에는 물체를 감지하기 위하여 광센서, 초음파센서, 접촉센서 중 하나가 구비되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.Both sides of the auxiliary plate on the flat display panel inspection device inspection unit, characterized in that one of the light sensor, ultrasonic sensor, contact sensor is provided to detect the object. 청구항 7에 있어서, 상기 수직구동부는, The method of claim 7, wherein the vertical driving unit, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트 상에 부착설치되는 한쌍의 L/M 가이드와, 상기 L/M가이드와 맞물려 슬라이딩되되, 상기 보조플레이트와 결합되는 결합판과, 상기 결합판을 상기 L/M가이드를 따라 이동시키는 동력발생부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.A pair of L / M guides attached to the first plate and the second plate, the L / M guide slides in engagement with the L / M guide, and the coupling plate is coupled to the auxiliary plate, and the coupling plate is the L / M guide. Flat panel display panel inspection apparatus lighting test unit characterized in that it comprises a power generating unit for moving along. 청구항 13에 있어서,The method according to claim 13, 상기 결합판 하측면에 너트결합체를 더 마련하고,Further providing a nut coupling on the lower side of the coupling plate, 상기 동력발생부는 상기 너트결합체와 나사결합하여 연동하는 스크류사프트와, 상기 스크류사프트를 회전시키는 모터를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하 는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.The power generating unit is a test device for lighting the flat panel display panel inspection unit, characterized in that the screw shaft and the screw shaft interlocked with the nut coupling body, and the motor to rotate the screw shaft. 청구항 7에 있어서, 상기 위치설정수단은, The method according to claim 7, wherein the positioning means, 상기 평판디스플레이 패널의 정렬마크를 촬영하는 카메라와, 상기 카메라에 의해 촬영된 정렬마크를 모니터에 표시된 기준마크와 일치시켜 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하고 상기 기준 좌표값에 따라 상기 워크테이블을 구동하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.The reference table displayed on the monitor is set by matching a camera photographing the alignment mark of the flat panel display panel with the reference mark displayed on the monitor, and setting the reference table value of the work table according to the reference coordinate value. A lighting test device for a flat panel display panel inspection device inspection unit comprising a control unit for driving. 패널공급부로부터 이송받은 평판디스플레이 패널을 워크테이블에 위치시켜 평판디스플레이 패널의 점등 상태를 테스트하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치에 있어서,In the lighting test apparatus of the flat panel display panel inspection device inspection unit for placing the flat panel display panel transferred from the panel supply unit to the work table to test the lighting state of the flat panel display panel, 네개의 변을 갖는 사각판형이되, 내부에 개구부를 가지는 사각플레이트와;It is a rectangular shape having four sides, and a rectangular plate having an opening therein; 상기 사각플레이트의 일변(一邊)에 구비되는 제1 플레이트와;A first plate provided on one side of the square plate; 상기 제1 플레이트와 이웃하는 상기 사각플레이트의 변(邊)에 설치되는 제2 플레이트와;A second plate installed on a side of the square plate adjacent to the first plate; 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트 중 적어도 하나는 상기 사각플레이트에 설치되는 이동기구에 의해 사각플레이트의 변(邊)의 길이 방향으로 이동가능하게 설치되되, 상기 제1 플레이트와 제2 플레이트에 탈부착 가능하게 결합되며, 상기 평판디스플레이 패널의 사이즈에 대응하는 다양한 크기를 가지며 복수의 프로브들을 장착하고 있는 프로브플레이트와;At least one of the first plate and the second plate is installed to be movable in the longitudinal direction of the sides of the square plate by a moving mechanism installed on the square plate, removable on the first plate and the second plate. A probe plate coupled to each other, the probe plate having various sizes corresponding to the size of the flat panel display panel, and having a plurality of probes mounted thereon; 상기 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크를 촬영하기 위하여 프로브플레이트에 장착되는 카메라, 상기 카메라에 의하여 촬영된 평판디스플레이 패널 상의 정렬마크와 비교하기 위한 가상의 기준마크가 표시되는 별도의 모니터를 구비한 위치설정수단; 을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치. Positioning means having a camera mounted on the probe plate to photograph the alignment mark on the flat panel display panel, and a separate monitor on which a virtual reference mark is displayed for comparison with the alignment mark on the flat panel display panel photographed by the camera. ; The flat display panel testing device testing apparatus of the inspection light, characterized in that formed, including. 삭제delete 청구항 16에 있어서,The method according to claim 16, 상기 제1 플레이트와 마주보는 상기 사각플레이트의 변(邊)에는 이동기구에 의하여 변(邊)의 길이방향으로 이동가능한 제2 플레이트가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.On the side of the square plate facing the first plate, a second plate that is movable in the longitudinal direction of the side by a moving mechanism is further provided, the lighting test of the flat panel display panel inspection device inspection unit Device. 청구항 18에 있어서,The method according to claim 18, 상기 이동기구는 상기 사각플레이트 상에 변(邊) 방향으로 배치된 한 쌍의 가이드부와, 상기 가이드부와 맞물려 이동하되, 상기 제2 플레이트와 결합되는 판상의 이동부와, 상기 이동부를 상기 가이드 상에서 상기 사각플레이트의 변 방향으로 이동시키는 구동부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.The moving mechanism includes a pair of guide parts disposed in the lateral direction on the square plate , a plate-shaped moving part engaged with the guide part and coupled to the second plate, and the moving part. Flat panel display panel inspection device lighting unit test unit characterized in that it comprises a drive unit for moving in the side direction of the square plate on. 청구항 19에 있어서,The method according to claim 19, 상기 이동부 하측면에 너트결합체를 더 마련하고,Further providing a nut coupling on the lower side of the moving part, 상기 구동부는 상기 너트결합체와 나사결합하여 연동하는 스크류사프트와, 상기 스크류사프트를 회전시키는 모터를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치.The driving unit is a lighting test device of the flat panel display panel inspection device inspection unit comprising a screw shaft for screwing and interlocking with the nut coupling, and a motor for rotating the screw shaft. 청구항 16에 있어서, 상기 위치설정수단은, The method according to claim 16, wherein the positioning means, 상기 평판디스플레이 패널의 정렬마크를 촬영하는 카메라와, 상기 카메라에 의해 촬영된 정렬마크를 모니터에 표시된 기준마크와 일치시켜 상기 워크테이블의 기준 좌표값을 설정하고 상기 기준 좌표값에 따라 상기 워크테이블을 구동하는 제어부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사 부의 점등 테스트 장치.The reference table displayed on the monitor is set by matching a camera photographing the alignment mark of the flat panel display panel with the reference mark displayed on the monitor, and setting the reference table value of the work table according to the reference coordinate value. A lighting test device for a flat panel display panel inspection device inspection unit comprising a control unit for driving. 삭제delete 패널공급부로부터 이송받은 평판디스플레이 패널을 워크테이블에 위치시켜 평판디스플레이 패널의 점등 상태를 테스트하는 평판디스플레이 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법에 있어서,In the lighting test method of the flat panel display inspection device inspection unit for placing the flat panel display panel transferred from the panel supply unit to the work table to test the lighting state of the flat panel display panel, 상기 검사장치 검사부의 사각플레이트에 구비된 플레이트에 설치되되, 프로브를 구비한 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 위치를 변화시키는 단계; Installing a probe plate provided on a square plate of the inspection device inspection unit and changing a position of the probe plate having a probe to correspond to a size of a flat panel display panel; 상기 프로브플레이트 상에 장착된 프로브와 워크테이블에 안착된 평판디스플레이 패널 상의 패드를 마이크로스코프를 이용하여 정렬시키는 단계;Aligning the probe on the probe plate with the pad on the flat panel display panel seated on the worktable using a microscope; 상기 정렬이 이루어진 후, 카메라를 이동시켜 모니터 상에 표시된 기준마크와 상기 평판디스플레이 패널 상에 표시된 정렬마크를 일치시켜 카메라를 세팅시키는 단계;After the alignment is made, setting the camera by moving the camera to match the reference mark displayed on the monitor with the alignment mark displayed on the flat panel display panel; 상기 카메라를 세팅한 후, 상기 평판디스플레이 패널이 놓여지는 워크테이블의 기준 좌표값을 제어부의 메모리에 저장하는 단계;After setting the camera, storing reference coordinate values of a work table on which the flat panel display panel is placed in a memory of a controller; 상기 메모리 상에 저장된 기준 좌표값에 따라 후속 평판디스플레이 패널이 로딩된 워크테이블을 이동시켜 평판디스플레이 패널을 계속해서 검사하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법.And continuously inspecting the flat panel display panel by moving a worktable loaded with a subsequent flat panel display panel according to a reference coordinate value stored in the memory. 청구항 23에 있어서,The method according to claim 23, 상기 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 변화 위치시키는 단계는,Positioning the probe plate to correspond to the size of the flat panel display panel, 상기 플레이트와 프로브플레이트 사이에 적어도 하나의 보조플레이트를 상기 본체의 개구부 중심 방향으로 연속해서 탈부착함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법.And at least one auxiliary plate is continuously attached to and detached from the plate and the probe plate toward the opening center of the main body. 청구항 23에 있어서,The method according to claim 23, 상기 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 변화 위치시키는 단계는,Positioning the probe plate to correspond to the size of the flat panel display panel, 상기 플레이트와 프로브플레이트 사이에 구비된 수직구동부를 구동시켜 프로브플레이트를 상기 평판디스플레이 패널 상측까지 전후진 이동시킴으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법.And driving the vertical drive unit provided between the plate and the probe plate to move the probe plate back and forth to the upper side of the flat panel display panel. 청구항 23에 있어서,The method according to claim 23, 상기 프로브플레이트를 평판디스플레이 패널 사이즈에 대응하도록 변화 위치시키는 단계는,Positioning the probe plate to correspond to the size of the flat panel display panel, 상기 평판디스플레이 패널 상측에 상기 프로브플레이트의 프로브를 위치시키 도록 소정 길이로 형성된 프로브플레이트를 상기 플레이트에 장착함으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법. And a probe plate having a predetermined length mounted on the plate to position the probe of the probe plate above the flat panel display panel. 청구항 23항에 있어서, The method of claim 23, wherein 상기 프로브플레이트 상에 장착된 프로브와 워크테이블에 안착된 평판디스플레이 패널 상의 패드를 마이크로스코프를 이용하여 정렬시키는 단계는,Aligning a probe mounted on the probe plate with a pad on a flat panel display panel mounted on a work table using a microscope, 상기 사각플레이트 제1변의 플레이트에 위치된 프로브플레이트 상에 포함된 프로브를 상기 평판디스플레이 패널의 제1변과 정렬시키는 제1과정과,A first process of aligning a probe included on a probe plate positioned on a plate of the square plate with a first side of the flat panel display panel; 상기 사각플레이트 제2변의 플레이트에 위치된 프로브플레이트 상에 포함된 프로브를 상기 평판디스플레이 패널의 제2변과 정렬시키는 제2과정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법.And a second process of aligning the probe included on the probe plate positioned on the plate of the second plate of the square plate with the second side of the flat panel display panel. . 청구항 27에 있어서,The method of claim 27, 상기 제1 과정은 상기 평판디스플레이 패널이 놓여지는 워크테이블을 이동시켜 정렬하고, 상기 제2 과정은 사각플레이트 상에 마련되는 이동기구를 구동시켜 정렬하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법.The first process is to move and align the worktable on which the flat panel display panel is placed, and the second process is to turn on the alignment of the flat panel display panel inspection device inspection unit characterized in that by driving the moving mechanism provided on the square plate Testing method. 청구항 27에 있어서,The method of claim 27, 상기 제1 과정과 제2 과정은 상기 사각플레이트 상에 마련되는 이동기구를 구동시켜 정렬하는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법.The first process and the second process is a lighting test method of the flat panel display panel inspection device inspection unit, characterized in that by driving the alignment mechanism provided on the rectangular plate. 청구항 23에 있어서, 카메라를 이동시켜 모니터 상에 표시된 기준마크와 상기 평판디스플레이 패널 상에 표시된 정렬마크를 일치시켜 카메라를 세팅시키는 단계는,The method of claim 23, wherein the setting of the camera by moving the camera to match the reference mark displayed on the monitor with the alignment mark displayed on the flat panel display panel includes: 상기 보조플레이트 또는 상기 프로브플레이트 상에 설치되는 카메라가 상기 정렬마크를 촬영하여 상기 모니터 상에 표시하는 과정과, Displaying the alignment mark on the monitor by the camera installed on the auxiliary plate or the probe plate; 상기 카메라를 이동시켜 상기 정렬마크를 기준마크에 일치시키는 과정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 방법.And moving the camera to match the alignment mark to a reference mark.

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