KR100547909B1

KR100547909B1 - 평판 디스플레이 패널용 기판 건조장치

Info

Publication number: KR100547909B1
Application number: KR1020030044938A
Authority: KR
Inventors: 박용석
Original assignee: 주식회사 디엠에스
Priority date: 2003-07-03
Filing date: 2003-07-03
Publication date: 2006-01-31
Also published as: KR20050004672A

Abstract

평판 디스플레이 패널의 건조 등에 이용될 수 있으며, 세정 장비의 길이(사이즈)를 최소화할 수 있고, 세정액 또는 순수(D.I water) 등을 효과적으로 제거할 수 있는 건조장치를 개시한다. 이러한 건조장치는 에어 분사에 의하여 기판을 건조하는 건조장치에 있어서, 상기 기판의 상부 또는 하부에 에어를 분사할 수 있도록 배치되고, 1회 이상 절곡되어 볼록부 또는 오목부를 가지며, 상기 기판의 진행 방향에 대하여 경사각을 가지는 메인 에어 나이프; 상기 메인 에어 나이프의 절곡된 부분의 볼록부 측에 배치되어 상기 기판에 에어를 분사하는 서브 에어 나이프를 포함한다. 따라서, 본 발명은 메인 에어 나이프를 절곡하여 기판의 이송 방향과 경사각을 이루면서 에어를 분사하고, 이와 동시에 상기 메인 에어 나이프의 볼록부에는 에어를 분사할 수 있는 또 다른 서브 에어 나이프를 배치하거나, 상기 메인 에어 나이프의 오목부에는 세정액의 석션이 이루어지는 흡입기를 배치하여, 세정 장비의 길이를 줄이면서도 충분한 건조가 이루어져 제품의 품질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

에어 나이프, 건조, 세정, 기판, 석션, 에어 분사

Description

평판 디스플레이 패널용 기판 건조장치{Glass panel drier for flat display panel}

도 1은 본 발명에 따른 제1 실시 예를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.

도 2는 본 발명에 따른 제2 실시 예를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.

본 발명은 평판 디스플레이 패널용 기판 건조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판 디스플레이 패널의 건조 등에 이용될 수 있으며, 세정 장비의 길이를 최소화할 수 있고, 세정액 또는 순수(D.I water) 등을 효과적으로 제거할 수 있는 건조장치에 관한 것이다.

일반적으로 에어나이프에 관련한 건조장치는 평판 디스플레이 패널에 남아있는 세정액 등을 공기로 불어내어 건조시키는 것으로, 세정 장비의 길이를 줄이면서 건조 효율을 극대화할 수 있는 기술적 구성이 대한민국 등록특허공보 등록번호10-0366552호에 개시되어 있다. 상기 공보에 개시된 기술은 본 출원인 출원하여 등록된 것으로, 기판의 위쪽 또는 아래쪽에 배치되는데, 상기 기판의 진행 방향에 대하여 건조장치(통상 에어 나이프라고도 함)가 대략 45°의 각도에 가까운 각을 유지하면서 에어의 분사가 이루어지도록 절곡된 형태로 이루어진 기술이 개시되어 있다. 이러한 기술은 세정 장비의 길이를 최대한 줄이면서도 건조 효율을 극대화시킬 수 있는 것이다.

그러나 건조장치가 절곡되어 기판이 진행되는 방향에 대하여 볼록한 부분은 주변에 비하여 상대적으로 넓은 기판 면적에 에어의 분사가 이루어지는데, 건조장치의 볼록한 부분에서 분사되는 에어의 양은 인접되는 위치에서 분사되는 에어의 양과 동일하여 건조 후 기판에 얼룩이 남을 수 있는 문제점을 가지고 있다.

따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판의 진행방향에 대하여 절곡된 형태로 배치되는 건조장치의 볼록한 부분 측의 기판에서 세정액 등이 인접하는 부분과 동일하게 제거되어 건조 효율을 향상시킬 수 있으며, 동시에 세정 장비의 길이(사이즈)를 줄일 수 있는 평판 디스플레이 패널의 기판 건조장치를 제공하는데 있다.

또한, 본 발명은 기판의 진행 방향에 대하여 절곡된 형태로 배치되는 건조장치의 오목한 부분 측의 기판에서 세정액 등이 몰리는 경우 이 세정액을 신속히 제거하여 세정 장비의 길이(사이즈)를 줄이면서 건조 효율을 향상시키는 평판 디스플레이 패널의 기판 건조장치를 제공하는데 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 에어 분사에 의하여 기판을 건조하는 건조장치에 있어서, 상기 기판의 상부 또는 하부에 에어를 분사할 수 있도록 배치되고, 1회 이상 절곡되어 볼록부 또는 오목부를 가지며, 상기 기판의 진행 방향에 대하여 경사각을 가지는 메인 에어 나이프; 상기 메인 에어 나이프의 절곡된 부분의 볼록부 측에 배치되어 상기 기판에 에어를 분사하는 서브 에어 나이프를 포함하는 평판 디스플레이 패널의 기판 건조장치를 제공한다.

이와 같이 이루어지는 본 발명은 메인 에어 나이프의 돌출부분을 지나는 기판의 세정액 등을 별도의 서브 에어 나이프에서 분사되는 에어에 의하여 건조가 될 수 있다. 또한, 메인 에어 나이프의 오목한 부분의 기판에 몰리는 세정액 등이 흡입기에 의하여 석션되어 신속한 건조를 이룰 수 있다. 이러한 본 발명은 세정 장비의 크기를 줄이면서도 기판의 건조 효과를 극대화시킬 수 있는 이점이 있다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명에 따른 제1 실시 예를 설명하기 위한 건조 장치를 도시한 도면으로, 이송롤러(R)에 의하여 이송되는 기판(G), 상기 기판(G)의 일면에 배치되어 에어를 분사함으로서 상기 기판(G)에 도포되어 있는 세정액 등을 불어낼 수 있는 메인 에어 나이프(1), 그리고 상기 메인 에어 나이프(1)의 볼록부(1a) 측에 배치되어 상기 기판(G)에 묻어 있는 세정액 등을 불어내는 서브 에어 나이프(3)를 도시하고 있다.

상기 메인 에어 나이프(1)는 기판(G)의 진행 방향(실선 화살표로 표시)에 대하여 일정한 각(a)을 이루도록 경사진 상태로 배치된다. 상기 메인 에어 나이프(1)는 종래 기술에서 언급한 통상의 구조로 이루어질 수 있으므로 에어가 분사되는 구조 및 경사진 상태의 효과에 대한 상세한 설명은 생략한다.

상기 메인 에어 나이프(1)가 꺽어져(절곡되어) 있는 볼록부(1a)에는 상기 서 브 에어 나이프(3)가 배치된다.

상기 서브 에어 나이프(3)는 상기 메인 에어 나이프(1)에 별도의 결합수단에 의하여 결합될 수도 있고, 세정 장비를 이루는 쳄버(도시생략)에 결합되어 배치될 수 도 있다. 어떠한 경우이든 본 발명에서는 상기 서브 에어 나이프(3)가 상기 메인 에어 나이프(1)의 절곡된 볼록부(1a) 측에 배치되는 것이 중요하다.

상기 서브 에어 나이프(3)는 상기 메인 에어 나이프(1)와 같은 구조로 이루어질 수도 있으며, 별도로 에어를 분사시킬 수 있는 통상의 에어분사장치(도시생략)로 이루어지는 것도 가능하다.

이와 같이 이루어지는 본 발명의 건조장치는, 이송롤러(R)를 따라 화살표 방향으로 기판(G)이 이송될 때 상기 기판(G)에 도포되어 있는 세정액 등을 건조시키기 위하여 상기 메인 에어 나이프(1) 및 상기 서브 에어 나이프(3)에서 공기가 분사된다. 물론 상기 메인 에어 나이프(1) 및 상기 서브 에어 나이프(3)에 공급되는 공기는 통상으로 이루어질 수 있는 별도의 공기 공급장치(도시생략)에 의하여 공급되는 것이다.

그러면 상기 메인 에어 나이프(1)에서 분사되는 에어는 상기 기판(G)의 일면에 분사되어 세정액 등이 기판(G)의 양측 또는 기판(G)의 이송 방향과 반대 방향으로 세정액 등이 흘러나가면서 상기 기판(G)의 건조가 이루어진다(점선 화살표 방향).

이와 동시에 상기 서브 에어 나이프(1)에서도 또 다른 에어가 분사되어 상기 메인 에어 나이프(1)의 절곡된 볼록부(1a) 측의 기판(G)에 남을 수 있는 세정액 등 이 상기 기판(G)의 이송 방향과 반대 방향으로 흘러나가면서 건조가 이루어진다.

따라서 본 발명은 기판(G)의 이동 방향과 이루는 각(a)을 최적화하여 세정 장비의 길이를 줄일 수 있으면서도 건조 효율을 향상시켜 최고의 품질을 유지할 수 있는 이점이 있다.

도 2는 본 발명에 따른 제2 실시 예를 설명하기 위한 도면으로, 이송롤러(R) 및 상기 이송롤러(R)에 안착되어 이송되는 기판(G), 그리고 메인 에어 나이프(1), 서브 에어 나이프(3, 5), 흡입기(7)를 도시하고 있다.

본 발명의 제2 실시 예는 제1 실시 예와 비교하여 다른 점만을 설명하고, 상술한 제2 실시 예와 동일한 부분은 상술한 제1 실시 예의 설명으로 대치한다.

본 발명의 제2 실시 예에서 상기 메인 에어 나이프(1)는 3번 절곡된 구조를 가지고 있다. 즉 상기 메인 에어 나이프(1)는 제1, 2 볼록부(1a, 1b) 및 오목부(1c)를 구비하고 있다. 이것은 기판(G)의 종류 및 세정 작업 조건에 따라 메인 에어 나이프(1)의 형상을 얼마든지 바꾸어 다양하게 적용할 수 있음을 보여주는 것이다. 물론, 상기 메인 에어 나이프(1)의 구조는 본 발명의 제2 실시 예에 도시한 예에 한정되는 것은 아니며, 1번 이상 절곡되거나 꺾어진 구조로 이루어지는 것이 가능하다.

본 발명의 제2 실시 예에서는 상기 서브 에어 나이프(3, 5)가 두개의 볼록부(1a, 1b)에 배치되며, 이는 제1 실시 예와 구성 및 작용 효과가 동일하므로 상기 서브 에어 나이프(3, 5)에 대한 설명은 상술한 제1 실시 예의 설명으로 대치한다.

상기 메인 에어 나이프(1)에 형성된 오목부(1c)에는 기판(G)에 존재하는 세정액 등을 석션(suction)할 수 있는 흡입기(7)가 배치된다. 상기 흡입기(7)는 기판(G)에 모이는 세정액 등을 석션하여 외부로 배출할 수 있는 통상의 구조를 가진다. 그리고 상기 흡입기(7)는 상기 메인 에어 나이프(1)의 오목부(1c)에 결합될 수 도 있으며, 세정 장비를 이루는 쳄버(도시생략)에 결합될 수 있다. 상기 흡입기(7)는 단지 상기 메인 에어 나이프(1)의 오목부(1c)에 세정액이 몰리는 경우 이를 신속하게 흡입하여 배출할 수 있는 위치에 배치되는 것이 바람직하다.

이러한 상기 흡입기(7)의 작용으로 상기 메인 에어 나이프(1)의 오목부(1c) 측에서 기판(G)에 몰리는 세정액 등을 신속하게 제거할 수 있어 특정 부분에서 얼룩이 생기는 것을 방지하고, 건조 효율을 향상시킬 수 있는 것이다.

이와 같이 본 발명은 메인 에어 나이프를 절곡하여 기판의 이송 방향과 경사각을 이루면서 에어를 분사하고, 이와 동시에 상기 메인 에어 나이프의 볼록부에는 에어를 분사할 수 있는 또 다른 서브 에어 나이프를 배치하거나, 상기 메인 에어 나이프의 오목부에는 세정액의 석션이 이루어지는 흡입기를 배치하여, 세정 장비의 길이(사이즈)를 줄이면서도 충분한 건조가 이루어져 제품의 품질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims

기판을 이송시키는 기판 이송장치, 기판 이송장치에 의하여 이송되는 기판의 상부 또는 하부에 배치되어 상기 기판에 에어를 분사하여 기판을 건조하게 하는 에어 나이프, 상기 에어 나이프에 압축 에어를 공급하는 에어 공급 장치들을 포함하는 평판 디스플레이 패널용 기판 건조장치를 포함하며,

상기 에어 나이프는

1회 이상 꺾어져 볼록부 또는 오목부를 가지며, 상기 기판의 진행 방향에 대하여 경사각을 가지는 메인 에어 나이프;

상기 메인 에어 나이프의 절곡된 부분의 볼록부 측에 배치되어 상기 기판에 에어를 분사하는 서브 에어 나이프;

상기 메인 에어 나이프의 오목부 측에 배치되어 상기 기판에 묻어 있는 세정액을 흡입하는 흡입기;

를 포함하는 평판 디스플레이 패널용 기판 건조장치.
제1항에 있어서, 상기 메인 에어 나이프는 꺽어진 부분이 3부분인 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 패널용 기판 건조장치.
삭제