KR100509599B1 - 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 및 이를 이용한플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 - Google Patents

플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 및 이를 이용한플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 전극에 인가되는 전압에 따라 가스방전이 발생하고, 자외선의 방사에 의하여 형광체를 여기시켜 화상을 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 불순가스를 제거할 수 있는 게터물질을 포함하여 형성되며, 방전거리를 유지하고 셀간의 전기적 광학적 크로스 토크를 방지하기 위한 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽을 제공한다. 또한, 불순가스를 제거할 수 있는 게터물질을 포함하는 격벽재료를 이용하여 격벽을 형성하는 단계; 상기 격벽이 형성된 기판을 봉착하는 단계; 상기 격벽에 포함된 게터물질을 환원시키기 위하여 수소가스를 주입하는 단계: 및 상기 수소가스를 배기하고 방전가스를 주입하는 단계;를 포함하여 가스방전을 이용하여 화상을 표시하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 제공한다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 및 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법{Barrier for the plasma display panel and Method for the plasma display panel using the barrier}
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽에 관한 것이다.
통상적으로 플라즈마 디스플레이 패널은 가스방전현상을 이용하여 화상을 표시하기 위한 것으로서, 표시용량, 휘도, 콘트라스트, 잔상, 시야각 등의 각종 표시능력이 우수하기 때문에 CRT를 대체할 수 있는 장치로 각광을 받고 있다. 이러한 플라즈마 디스플레이 장치는 전극에 인가되는 직류 또는 교류 전압을 인가하면, 전극 사이에서 가스 방전이 발생하고, 여기서 수반된 자외선 방사로 인하여 형광체가 여기되고 발광함으로써 화상이 표시되는 평판 표시 소자이다.
도 1a는 일반적인 교류형 플라즈마 디스플레이 패널의 분해 사시도이며, 도 1b는 도 1a의 일부 분해 사시도이며, 도 1c는 패널이 봉착된 후 배기관이 형성된 플라즈마 디스플레이 패널의 단면도를 도시한 것이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 플라즈마 디스플레이 패널(10)은 유리와 같은 투명한 전면기판(11)과 배면기판(12)을 구비한다.
상기 전면기판(11)에는 스트립 형상의 유지전극(13)과 버스전극(14)이 형성되고, 그 위에 유전체층(15)과 보호막층(16)이 차례로 적층된다. 여기서 상기 유지전극(13)은 공통전극(13a)과 주사전극(13b)으로 구성된다.
상기 배면기판(12)에는 스트립형상의 어드레스 전극(23), 격벽(17) 및 형광체층(18)이 형성된다. 배면기판(12)의 가장자리에는 패널 봉착을 하기 위하여 프리트글라스(19)가 도포되고, 그 내측에는 불순가스의 배기 및 방전가스의 주입 등을 위한 배기구(24)가 형성된다.
이러한 구조를 가지는 기판(11,12)은 배면기판(12)의 외주부에 도포된 프리트글라스를 가열 용융시켜 상호 봉착하게 된다.
도 1c를 참조하면, 패널(10)이 봉착된 후에는 패널 내부의 공간에는 불순 가스로 가득차 있으므로 이러한 공기를 배기하고 방전의 효율을 높일 수 있도록 적정한 방전가스로 공기를 대체하게 된다.
이러한 배기공정으로는 배기관(25)으로 연통된 배기구(24)를 통하여 패널내부의 불순가스를 강제적으로 배출하여 배기하게 된다.
그런데, 패널(10) 내부의 방전공간(20)의 폭과 높이는 수십 내지 수백 마이크로미터(㎛)의 영역 즉, 실질적으로 모세관에 가까운 좁은 영역을 형성하기 때문에, 충분한 진공도를 달성하기 위해서 상당한 시간이 소요되며 배기시간의 지연으로 인한 패널의 제작공정에 큰 지장을 준다.
또한, 패널(10)의 방전공간(20)으로부터 불순가스가 충분히 배기되지 못한 경우에는 수분이나 산소 또는 수소 등의 불순가스의 존재로 인하여 가스방전이 저해되어 충분한 자외선을 낼수 없을 뿐만 아니라, 방전 개시에 요구되는 방전개시 전압을 상승시키게 된다. 즉, 형광체에 도달하는 자외선 수가 감소하기 때문에 휘도가 떨어지고 효율이 나빠지며, 나아가 패널의 점등 자체가 불가능해 질 수도 있다.
더욱이, 비록 방전가스 주입 단계에서 소정의 방전 가스가 주입되어 있다고 하더라도, 방전공간(20)에 노출되는 형광체층(18), 격벽(17) 그리고 보호막층(16)은 다량의 불순가스를 흡착하거나 또는 결합하는 재질로 이루어져 있기 때문에, 패널 제작 후에 제작된 후에 점등 방전을 개시하면 그 내벽에 흡착된 다량의 불순가스등이 방출되어 패널내부가 다시 오염되는 결과가 된다. 따라서, 이러한 불순가스들로 인하여 패널의 특성 즉, 휘도나 효율은 떨어지고 플라즈마 디스플레이 패널의 수명이 단축된다.
본 발명은 위와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 플라즈마 디스플레이 패널 내부의 불순 가스를 신속하고 용이하게 제거함으로써 디스플레이 패널 내의 가스 순도를 조속히 달성하는 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 일측면에 따른 일실시예로서, 전극에 인가되는 전압에 따라 가스방전이 발생하고, 자외선의 방사에 의하여 형광체를 여기시켜 화상을 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서, 불순가스를 제거할 수 있는 게터물질을 포함하여 형성되며, 방전거리를 유지하고 셀간의 전기적 광학적 크로스 토크를 방지하기 위한 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽을 제공한다. 여기서, 상기 게터물질은 그 표면에 형성될 수 있으며, 상기 게터물질은 텅스텐(W), 티타늄(Ti), 지르코늄(Zi), 바나늄(V), 철(Fe), 알루미늄(Al) 및 그 합금으로 구성된 그룹중에서 선택된 어느 하나를 성분으로 하는 산화물일 수 있다.
본 발명의 다른 실시예로서 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽은, 납을 주성분으로 하는 글라스 재료로 형성된 제1의 격벽층과; 상기 제1의 격벽층의 표면에 게터물질로 형성된 제2의 격벽층을 구비한다.
본 발명의 다른 측면에 따른 일 실시예로서, 불순가스를 제거할 수 있는 게터물질을 포함하는 격벽재료를 이용하여 격벽을 형성하는 단계; 상기 격벽이 형성된 기판을 봉착하는 단계; 상기 격벽에 포함된 게터물질을 환원시키기 위하여 수소가스를 주입하는 단계: 및 상기 수소가스를 배기하고 방전가스를 주입하는 단계;를 포함하여 가스방전을 이용하여 화상을 표시하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 제공한다. 여기서, 상기 격벽은, 납을 주성분으로 하는 글라스 재료로 형성된 제1의 격벽층과, 상기 제1의 격벽층의 표면에 게터물질로 형성된 제2의 격벽층을 구비하여 형성될 수 있다.
이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 일 실시예로서 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 및 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 플라즈마 디스플레이 패널의 단면도를 도시한 것이다. 여기서, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조부호는 동일한 기능을 하는 동일한 구성요소를 가리킨다.
도 2를 참조하면, 전면기판(11)에는 유지전극(13)과 버스전극(14)이 형성되고, 그 위에 유전체층(15)과 보호층(16)이 차례로 적층된다.
배면기판(12)에는 스트립형상의 어드레스 전극(23)이 형성된다. 도시되지는 않았으나, 상기 어드레스전극(23)이 형성된 배면기판(12)의 표면에는 유전체층(미도시)이 형성될 수도 있다.
상기 어드레스전극(23) 사이에는 방전거리를 유지하고 셀간의 전기적 광학적 크로스 토크를 방지하기 위한 격벽(117)이 형성된다.
상기 격벽(117)은 본 발명의 일특징부를 구성하는데 그 일예로서, 샌드블라팅법에 의한 제조방법을 도 3a 내지 도 3e를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 3a를 참조하면, 어드레스 전극(23)이 형성된 기판(12)에 격벽재료 페이스트를 도포한 후 건조 과정을 통해서 소정 두께로 전면에 적층하여 격벽 재료 페이스트의 적층부(117a)를 형성한다.
격벽 재료의 페이스트는, 본 발명의 분야에서 통상적으로 사용되는 격벽재료로서 제1재료와 게터물질로서 제2재료를 혼합한 것을 사용한다.
상기 제1재료는 본 발명의 분야에서 채용할 수 있는 것이면 제한이 없으며 예컨데, 납유리계열 즉, 납(Pb)을 주성분으로 하는 글라스 분말을 사용할 수 있다.
상기 게터물질은 텅스텐(W), 티타늄(Ti), 지르코늄(Zi), 바나늄(V), 철(Fe), 알루미늄(Al) 또는 그 합금을 주성분으로 하는 산화물이며, 그 분말을 제2재료로서 이용한다. 여기서, 상기 제2의 재료는 후속 공정으로서 패널의 봉착후 배기과정에서 수분이나 탄소 또는 질소 등의 불순가스를 흡착하여 배기시간 등을 줄이기 위하여 사용되는 것이며, 따라서 패널 내부의 불순가스를 흡착할 수 있도록 격벽의 표면에 존재할 수 있는 범위내에서 그 함량을 자유로이 변화할 수 있다. 또한, 후술하는 바와 같이, 패널의 봉착후 수소(H2)가 혼합된 가스를 사용하여 배기공정을 수행하여 텅스텐 산화물(WO3)와 같은 게터물질을 환원반응시킴으로써 배기 중의 게터링 작용도 가능하게 된다. 나아가, 패널의 봉지작업 후 점등방전을 개시하면, 다공성의 형광체층(18) 또는 보호막층(16)에 흡착 또는 결합된 다량의 불순 가스가 방출하게 되는데 이를 흡수하여 제거할 수도 있다.
도 3b를 참조하면, 상기 격벽 재료 페이스트의 적층부(117a)에 포토레지스트(101)를 도포하고, 그 위에 노광용 마스크(103)를 씌운 상태에서 노광을 실시한다.
상기 마스크(103)에는 광의 투과부(103a)와 차광부(103b)가 형성되어 있다. 여기서, 마스크(103)의 투과부(103a)는 후속 공정으로서 격벽이 형성될 위치에 대응하는 곳에 배치된다. 노광을 실시하면 광을 받은 포토레지스트(101)의 부분은 경화되는 반면에 다른 부분은 경화되지 아니하게 된다. 여기서 상기 포토레지스트로서 이용될수 있는 재료중에는 드라이 필름 레지스트(dry film resist;DFR)를 사용하는 것이 바람직하다.
도 3c를 참조하면, 노광에 의하여 경화된 포토레지스트 패턴(101b)과 경화되지 않은 포토레지스트 패턴(101a)을 구비한 격벽재료페이스트 적층부(117a)에 샌드블라스팅 공정을 실시한다. 샌드블라스팅 공정은 샌드와 같은 연마 입자를 고압 분사하여 불필요한 부분을 제거하는 방식으로 수행된다.
연마입자(105)는 경화된 포토레지스트 패턴(101b)에서는 차폐되고, 경화되지 않은 포토레지스트 패턴(101a)과 충돌하면서 마모시켜 나간다.
도 3d를 참조하면, 샌드블라스팅 공정에 의해서 형성된 격벽(117)위에 광경화된 포토레지스트 패턴(101b)이 잔류하므로 이를 제거한다. 그 제거방법은 여러 가지가 있을 수 있으며, 예컨데 박리과정에 의하여 제거할 수 있다. 박리과정은 박리장비를 이용하여 염기성인 박리액을 산성인 DFR에 통과시키면, 산염기 중화반응에 따라 광경화된 포토레지스트가 박리되므로 이를 제거할 수 있게 된다.
도3e에 도시된 바와 같이, 격벽(117)이 형성된 기판(12)이 소성과정을 거치면 소정의 스트라이프 타입의 격벽(310)으로 된다.
이와같이 제1재료와 제2재료를 혼합한 격벽재로페이스트를 이용하여 격벽을 형성하는 공정으로서, 도 3a 내지 도3e를 참조하여 상술된 샌드블라스팅 공정은 일예로서 예시된 것에 불과하며, 본 발명의 분야에서 통상적으로 사용되는 방법이면 제한없이 사용될 수 있다. 또한, 상기 제1재료와 제2재료를 혼합한 격벽재료페이스트를 이용하여 격벽을 형성하는 공정으로는 샌드블라스팅 공정이외에 인쇄법 등과 같이 본 발명의 기술분야에서 통상 사용되는 방법을 이용하는 것이라면 제한없이 사용될 수 있다.
도 2를 참조하면, 격벽이 형성된 배면기판(12)에는 형광체층(18)이 형성되고, 그 가장자리에는 패널의 봉착을 위하여 프리트글라스(19)가 디스펜싱법 등에 의하여 도포되고, 그 내측에는 불순가스의 배기 및 방전가스의 주입 등을 위하여 가스의 배기구(24)가 형성된다. 프리트글라스는 전면기판(11)의 가장자리에 형성될 수도 있다.
배면기판(12)의 외부에는 배기구(24)를 통하여 패널의 내부와 연통되도록 글라스관과 같은 배기관(25)이 봉착된다.
그리고, 전면기판(11)과 배면기판(12)은 서로 대향하도록 정렬된 상태에서 클립 등과 구속치구(미도시)에 의하여 가압된 상태로 고정된다.
이와 같은 패널조립체는 봉착실로 이동되어 봉착 배기 및 방전가스 주입이 이루어지게 된다. 즉, 프리트글라스는 저융점 글라스를 이용하기 때문에, 기판(11,12)의 재료로 이용되는 글라스의 용융점 이하의 소정의 온도로 봉착실 등의 내부에서 가열하면 프리트글라스가 용융되고 구속치구의 가압력에 의하여 기판(11,12)이 상호 융접됨으로써 봉착된다.
그리고, 봉착실은 본 기술분야에서 통상 사용될 수 있는 장치라면 제한없이 사용될 수 있는데, 진공 펌프 장치나 가스 주입 장치가 설치됨으로써, 필요에 따라 진공화하거나 가스를 주입할 수 있도록 되어 있으며, 진공화 및 가스 주입과는 별도로 또는 그와 함께, 패널의 배기관을 통하여 패널 내부의 진공화 및 가스 주입을 수행할 수 있도록 되어 있다.
도 4는 봉착실내에 삽입된 플라즈마 디스플레이 패널의 봉착 및 배기과정을 설명하기 위하여 도시한 것이다. 여기서, 앞서 도시된 도면과 동일한 참조부호는 동일한 기능을 하는 동일한 부재를 가리킨다.
도 4을 참조하면, 봉착실(200)은 기밀이 유지되는 공간이며, 패널조립체를 가열하기 위한 소정의 히터(201)가 설치되며, 배관(211,212)과 밸브(221,222,223,224,225,226)등을 통하여 진공배기장치(230), 수소가스주입장치(231) 및 방전가스주입장치(232) 등과 연결된다.
봉착실(200)로 삽입된 패널조립체는 그 배기관(25)과 배기헤드(26)와 연결되어 봉착, 배기 및 가스 주입이 이루어지게 된다.
이와 같은 장치에 따른 본 발명에 따른 일예로서 봉착, 배기 및 가스 주입과정을 설명하면 다음과 같다.
봉착실(200) 내부는 배기를 위한 소정의 온도 예컨데, 300℃이상의 적정온도가 유지되도록 히터(201)로 가열하고, 밸브(221,222,223,224)를 조정하여 진공배기장치(230)를 작동시켜 진공 펌프(미도시)등을 구동함으로써 봉착실(200)과 패널조립체의 내부로부터 불순가스를 배기한다. 여기서, 제1밸브(221),제2밸브(222) 및 제4밸브(224)는 개방된 상태이며, 제3밸브(223)는 폐쇄된다.
그리고 히터(201)를 이용하여 봉착실을 봉착온도 즉, 400℃ 내지 450℃이상의 고온으로 상승시켜 프리트글라스(19)를 용융시킨다. 프리트글라스(19)가 용융되면 클립 등의 가압력에 의하여 기판(11,12)은 융접됨으로써 봉착된다. 이때, 프리트글라스(19)가 용융되어 융접되어질 때, 그 최초 두께보다 약간 얇아지게 되어 격벽(117)이 대향하는 기판(11,12)의 내표면에 밀착되어질 수 있다.
소정의 시간이 지나면, 봉착실(200)과 패널조립체 내부의 배기를 중단하고, 패널조립체 내부에 수소(H2)가스 또는 수소(H2)가 혼합된 가스를 주입한다. 수소가스 또는 수소가 혼합된 가스를 주입하는 것은 격벽에 포함된 텅스텐 산화물(W03)과 같이 게터 물질을 활성화시키기 위한 것으로, 배기중 수소(H2) 또는 수소가 포함된 가스를 사용하여 텅스텐 산화물과 같은 게터 물질을 환원반응시킴으로써 게터링 작용을 용이하게 하기 위한 것이다. 여기서, 제1밸브(221), 제3밸브(223) 및 제5밸브(225)가 개방된 상태에서 수소가스 주입장치(231)가 작동된다. 이때의 주입압력은 환원반응을 위하여 필요한 압력으로서 예컨데, 10 내지 760 Torr가 되도록 한다.
패널조립체의 내부에 주입된 수소가스 등이 소정의 압력에 도달한 후에 다시 패널조립체의 내부를 배기한다. 수소가스의 주입 및 배기는 필요에 따라 수회 반복할 수 있으며, 2회 이상 하는 것이 바람직하다.
그 다음에, 봉착실(200)의 온도가 상온영역에 도달하기까지 냉각시킨 후에 패널조립체 내부에 방전가스를 100 내지 700 Torr정도로 주입한다. 여기서, 제6밸브(226)와 제3밸브(223)와 제1밸브(221)가 개방된다.
패널조립체의 내부에 소정의 방전가스가 주입된 후에는 봉지작업을 수행한다. 상기 봉지작업은 플라즈마 버너 또는 전열장치 등을 이용하여 유리 등으로 된 배기관(26)을 용융하면서 압축함으로써 수행한다.
이와 같이 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널에서는 일예로서 공지의 격벽재료로서 제1재료와 게터물질로서 제2재료가 혼합된 격벽재료 페이스트를 이용하여 격벽을 형성하고, 패널의 봉착후 수소가 혼합된 가스를 사용하여 배기공정을 수행하여 게터물질을 환원반응시킴으로써 게터링 작용을 할 수 있도록 하는 설명을 하고 있으나, 본 발명은 여기에 한정되는 것은 아니다.
도 5는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 다른 실시예를 도시한 것이다. 여기서, 앞서 도시된 도면과 동일한 참조부호는 동일한 기능을 하는 동일한 구성요소를 의미한다.
도 5를 참조하면, 기본적으로는 도 4와 동일하나 제1의 격벽층과 상기 제1의 격벽층위에 게터물질이나 또는 게터물질이 포함된 재료로 이루어진 제2의 격벽층이 형성되는 것이 서로 다르다.
이러한 격벽층을 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
어드레스 전극(23)이 형성된 기판(12)에 제1의 격벽층(227a)을 형성한다.
제1의 격벽층(227a)의 격벽재료는 본 발명의 분야에서 통상적으로 사용되는 격벽재료로서 예컨데, 납유리계열 즉, 납(Pb)을 주성분으로 하는 글라스 분말을 사용한다. 상기 격벽재료를 이용하여 격벽을 형성하는 공정으로는 도 3a 내지 도3e를 참조하여 설명된 샌드블라스팅 공정이 이용될 수 있으며, 그 이외에도 인쇄법이나 포토리소그래피법 등과 같이 본 발명의 기술분야에서 통상 사용되는 방법을 이용하는 것이라면 제한없이 사용될 수 있다
제1의 격벽층(227a)이 형성되면, 그 위에 게터물질이나 이를 포함하는 재료를 이용하여 제2의 격벽층(227b)을 형성한다.
상기 게터물질은 텅스텐(W), 티타늄(Ti), 지르코늄(Zi), 바나늄(V), 철(Fe), 알루미늄(Al) 또는 그 합금을 주성분으로 하는 산화물을 이용하며, 그 형성방법은 제1의 격벽층(227a)위에 제2의 격벽층(227b)이 도포되어 형성될 수 있는 경우라면 제한없이 사용될 수 있으며, 그 일예로서 스크린 인쇄법을 설명하면 다음과 같다.
소정형상의 제1의 격벽층(227a)이 형성된 기판(12)상에 1회 내지 2회에 걸쳐서 게터물질로 이루어진 격벽재료를 인쇄한다. 즉, 스크린(미도시)에 제1의 격벽층(227a)의 표면에 게터물질이 도포되도록 통공부를 형성하고 이를 인쇄하고, 소정시간동안 건조시킨후에, 다시 소성공정을 거치면 제2의 격벽층(227b)이 형성된다.
제1격벽층(227a)과 제2격벽층(227b)이 형성된 후에는 도 2 및 도 4를 참조로 하여 설명된 바와 같이, 형광체층(18)이 형성되고, 봉착, 배기 및 방전가스를 주입하고 봉지작업을 함으로써 플라즈마 디스플레이 패널을 제조한다.
이와 같이, 통상의 격벽재료를 이용하여 제1의 격벽층(227a)을 형성하고 그 위에 게터물질로 이루어진 제2의 격벽층(227b)을 형성하면, 방전공간(20)에 존재하는 불순가스와 접촉하는 게터물질층의 면적이 더욱 확대되어 보다 효율적으로 게터링을 수행할 수 있게 되는 이점이 있다. 여기서, 형광체층(18)은 제1격벽층(227a)위에 형성되고 있으나, 상기 형광체층(18)은 다공성을 가지는 것이므로, 불순가스가 상기 형광체층(18)을 통과할 수 있고, 따라서 제2격벽층(227b)에 의하여 불순가스가 제거될 수 있게 된다.
본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널에 의하면, 패널의 봉착후 배기과정에서 수분이나 탄소 또는 질소 등의 불순가스를 흡착하여 배기시간 등을 줄이며, 패널의 봉착후 수소가 혼합된 가스를 사용하여 배기공정을 수행하여 게터물질을 환원반응시킴으로써 배기 중의 게터링 작용이 가능하며, 패널의 점등방전과 더블어 형광체층 또는 보호막층 등으로부터 방출되는 다량의 불순 가스를 제거할 수 있게 되며, 충분한 진공도를 유지하기 때문에 고품질의 플라즈마 디스플레이 패널을 제조할 수 있고 그 휘도를 향상시키고 제품의 사용수명을 연장시킬 수 있으며, 그 생산성이 향상될 수 있다.
도 1a, 도 1b 및 도 1c는 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널을 도시한 것이며.
도 2는 본 발명에 따른 일실시예로서 격벽이 형성된 플라즈마 디스플레이 패널의 단면도이며,
도 3a 내지 도 3e는 본 발명에 따른 일예로서 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽을 제조하는 방법을 도시한 것이며,
도 4는 플라즈마 디스플레이 패널을 봉착실에 삽입하여 봉착 및 배기 과정을 설명하기 위하여 도시한 것이며, 그리고
도 5는 본 발명에 따른 다른 실시예로서 격벽이 형성된 플라즈마 디스플레이 패널을 도시한 단면도이다.
< 도면의 주요 부호에 대한 간단한 설명 >
11.12 기판 13, 23. 전극
15. 유전체층 117. 격벽
19. 프리트 글라스 20. 방전공간
24. 배기구 25. 배기관
26. 배기헤드 200. 봉착실
230. 진공배기장치 231. 수소가스 주입장치
232. 방전가스 주입장치

Claims (6)

  1. 전극에 인가되는 전압에 따라 가스방전이 발생하고, 자외선의 방사에 의하여 형광체를 여기시켜 화상을 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널에 있어서,
    납을 주성분으로 하는 글라스 재료로 형성된 제1의 격벽층과;
    상기 제1의 격벽층의 표면에 게터물질로 형성된 제2의 격벽층을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 게터물질은 텅스텐(W), 티타늄(Ti), 지르코늄(Zi), 바나늄(V), 철(Fe), 알루미늄(Al) 및 그 합금으로 구성된 그룹중에서 선택된 어느 하나를 성분으로 하는 산화물인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽.
  4. 삭제
  5. 불순가스를 제거할 수 있는 게터물질을 포함하는 격벽재료를 이용하여 격벽을 형성하는 단계;
    상기 격벽이 형성된 기판을 봉착하는 단계;
    상기 격벽에 포함된 게터물질을 환원시키기 위하여 수소가스를 주입하는 단계: 및
    상기 수소가스를 배기하고 방전가스를 주입하는 단계;를 포함하여 가스방전을 이용하여 화상을 표시하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
  6. 제5항에 있어서
    상기 격벽은,
    납을 주성분으로 하는 글라스 재료로 형성된 제1의 격벽층과,
    상기 제1의 격벽층의 표면에 게터물질로 형성된 제2의 격벽층을 구비하여 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.
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