KR100414874B1 - 박판수납용기 - Google Patents

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Abstract

다수의 반도체 웨이퍼(12)를 내부에 수납 지지하는 용기본체(13)과, 용기본체(13)내에 반도체 웨이퍼(12)를 수납한 상태에서 입구를 덮어 내부를 깨끗한 상태로 유지하는 뚜껑(14)와, 용기본체(13)과 뚜껑(14)와의 사이에 장착되는 개스킷을 구비한 캐리어박스이다. 용기본체(13) 등에 개구(26)을 설치하고, 이 개구(26)에 착탈가능하게 필터(27)을 장착한다. 필터(27)은 캐리어박스(11)내외에서 먼지 등을 제거하면서 기체의 통과를 허용하여 내압을 조정한다. 개구(26)과 필터(27)에서 내압조정기구(25)를 구성한다. 또한, 개스킷(36)에 기체의 통과를 허용하여 내외의 기압을 일치시킴과 동시에 먼지 등의 통과를 제한하는 기능을 구비하여도 좋다. 이상과 같이 하여, 가장 적절한 내압조정을 함과 동시에 재사용 및 재활용 처리를 용이하게 한다.

Description

박판수납용기
본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 박판을 다수개 내부에 수납지지하여 보관, 운반 등을 이행할 때에 주위의 기압 변화나 온도 변화에 따라서 내압을 조정하는 박판수납용기에 관한 것이다.
종래부터 주위의 기압이나 온도가 변화하는 상태에서 박판수납용기를 수송하는 경우에 발생하는 문제를 극복하기 위한 각종의 대책이 강구되어 왔다. 예를 들면, 비행기에 의한 수송의 경우, 화물실 내에서는 고공 비행중, 내부의 기압이 크게 저하해 버린다. 이 때문에, 박판수납용기를 기밀하게 해 두면, 외부 기압보다도 내부 기압이 현저히 높아져서, 용기가 평창해 버리거나, 용기내의 공기가 유출하여 지상에 내렸을 때 뚜껑을 열 수 없게 되는 경우가 있었다. 또한 수송중에 주위가 고온이 되는 경우도 상기와 동일한 현상이 발생하였다.
이와 같은 문제를 극복하는 대책의 하나로서, 일본 실용신안 공개 평2-49721호 공보 기재의 반도체 웨이퍼 수납용기가 제안되고 있다.
이 반도체 웨이퍼 수납용기(1)은 제11도 및 제12도에 도시한 바와 같이, 다수의 반도체 웨이퍼(2)를 수납 지지하는 용기본체(3)와 이 용기본체(3)의 상측에입구를 덮어 내부를 기밀하게 하는 뚜껑(4)과, 용기본체(3)의 측벽(3A)에 일체로 설치되어 용기본체(3)의 내외측에서 공기의 출입을 허용하는 분자여과필터(5)로 개략 구성되어 있다.
이 분자여과필터(5)를 설치함으로써 반도체 웨이퍼 수납용기(1)의 내측과 외측과의 사이에서 이 필터(5)를 통하여 공기가 출입하는 것이 가능하게 된다. 이결과, 외부 기압 등의 환경 변화에 따라 수납용기(1)의 내외측에서 기압의 변화가 발생하는 경우에도 수납용기(1)의 내압을 외압과 같은 값으로 유지하는 것이 가능하고, 반도체 웨이퍼 수납용기(1)가 팽창하는 등의 문제를 방지하는 것이 가능하다.
그런데, 상기 분자여과필터(5)의 경우는 공기의 통과 속도가 대단히 늦기 때문에, 비행기의 화물실 내 등에서 발생하는 기압 변화의 속도에 추종시킬 수 없다.
긴속한 추종을 가능하게 하는 데는 분자여과필터(5)의 면적을 넓게 하지않으면 안된다. 그러나, 용기본체(3)에 장착하는 경우에는 자연히 한계가 있기 때문에 결과적으로 분자여과필터(5)를 장착한 반도체 웨이퍼 수납용기(1)은 실용화되어 있지 않다.
또한, 반도체 웨이퍼 수납용기(1)는 그 내부에 반도체 웨이퍼(2)를 수납하기 전에 전체를 세정하지 않으면 안된다. 이 경우, 분자여과필터(5)를 반도체 웨이퍼 수납용기(1)에 장착한 그대로 이 수납용기(1)을 세정하면, 이 분자여과필터(5)에 먼지 등의 이물이 부착해 버린다. 이 분자여과필터(5)에 먼지 등이 부착한 그대로 반도체 웨이퍼 수납용기(1)을 사용하면, 분자여과필터(5)에 부착한 불순물이 수납용기(1)내에 산란되기 때문에, 이 상태에서는 사용할 수가 없다. 이 때문에, 미리 반도체 웨이퍼 수납용기(1)을 세정하여 두고, 그 후에 분자여과필터(5)를 장착하여 운반용으로 제공하지 않으면 안된다.
또한, 한 번 반도체 웨이퍼(2)의 운반에 사용한 반도체 웨이퍼 수납용기(1)에는 먼지 등이 다량으로 부착하기 때문에, 재사용할 때에는 반도체 웨이퍼 수납용기(1)를 재차 세정하지 않으면 안된다. 그러나, 상기와 같이 반도체 웨이퍼 수납용기(1)를 재차 세정하면, 상술한 바와 같이 분자여과필터(5)를 사용할 수 없게 될뿐만 아니라, 분자여과필터(5)는 용기본체(3)에 일체로 설치되어 있기 때문에 떼어낼 수 없다. 이 때문에 결과적으로 반도체 웨이퍼 수납용기(1)을 재사용할 수 없었다.
또한, 사용이 끝난 반도체 웨이퍼 수납용기(1)을 폐기하거나, 재활용할 경우에 있어서, 재료가 다른 부재를 분리할 필요가 있다. 이 때, 용기본체(3)과 뚜껑(4)과는 다른 재료로 형성되어 있어, 용이하게 분리하는 것이 가능하고, 그 후의 처리를 이행하는 것이 가능하지만, 분자여과필터(5)는 용기본체(3)에 일체로 장착되어 있기 때문에, 이들을 분리하는 것은 용이하지 않다. 이 때문에 그 후에 폐기하거나 재활용 처리가 어렵다고 하는 문제점이 있다.
본 발명은 이상의 문제점을 고려하여 구성된 것으로써 외부 기압의 변화속도에 긴속하게 추종하여 가장 적절한 내압 조정이 가능함과 동시에 재사용 및 재활용 처리 등이 용이한 박판수납용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 과제를 해결하기위하여 제1의 발명은 다수의 박판을 내부에 수납지지한 용기본체와, 이 용기본체내에 박판을 수납한 상태에서 입구를 덮어 내부를 깨끗한 상태로 유지하는 뚜껑을 구비한 박판수납용기에 있어서, 상기 용기본체 또는 뚜껑 또는 그들의 경계에 설치되어 내외측을 연통되게 연결하여 기체의 출입을 허용하여 내부의 기압을 조정하는 개구와, 이 개구에 착탈가능하게 장착되어 먼지 등을 제거하여 기체의 용이한 통과를 허용하는 필터로 이루어진 내압조정기구를 구비한 것을 특징으로 한다.
도1은 제1 실시형태에 있어서의 캐리어 박스의 전체구성을 도시한 분해사시도.
도2는 본 발명에 있어서의 필터를 도시한 사시도.
도3은 도2의 필터를 도시한 측면 단면도.
도4는 도1의 용기본체의 측면벽에 형성된 개구를 도시한 정면도.
도5는 제2 실시형태에 있어서의 캐리어 박스의 전체구성을 도시한 분해사시도.
도6은 제1 실시형태에 대한 변형예에 있어서의 필터를 도시한 사시도.
도7은 도6의 필터의 측면단면도.
도8은 도6의 필터가 감합되는 용기본체 측면벽의 개구를 도시한 정면도.
도9는 제1 실시형태에 대한 제2 변형예를 도시한 사시도.
도10은 제2 실시형태에 대한 변형예를 도시한 사시도.
도11은 종래의 박판수납용기를 도시한 사시도.
도12는 도11의 박판수납용기의 정면단면도.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
11, 35: 캐리어박스, 12: 반도체 웨이퍼
13: 용기본체, 14: 뚜껑
25:내압조정기구, 26:개구
27:필터, 36: 개스킷
제1의 발명에서는 용기본체 등에 설치된 개구에 의해 용기 내측과 외측이 상호 연통하게 연결되어 있기 때문에, 기체의 출입이 허용되어 용기 내외의 기압이 같아지도록 조정된다. 이 때, 개구에는 필터가 장착되어 있기 때문에, 용기의 내외를 출입하는 기체 중의 먼지 등은 이 필터에서 제거되며, 용기내에 먼지 등이 침입하는 일은 없다. 필터는 기체가 용이하게 통과할 수 있을 정도이고, 동시에 기체중의 먼지 등을 제거할 수 있는 정도의 것이 이용되고 있으므로, 외부 기압의 변화에 긴속하게 추종한다. 이로써 용기 내압을 가장 적절하게 조정한다.
용기를 재활용하기 위하여 세정을 이행할 때에는, 개구에 대하여 착탈가능하게 장착된 필터를 떼어내고, 용기만을 세정한 후에, 다시 필터를 개구에 장착한다. 재활용시에는 필터를 떼어, 다른 물질의 부재를 분별한다.
제2의 발명은 상기 필터가 상기 개구에 감합하는 통체와 이 통체의 한편에 설치되어 통체가 상기 개구에 감합한 상태에서, 개구의 연부의 일측면에 기밀하게 접하는 플랜지와, 상기 통체의 다른 쪽에 설치되어 통체가 상기 개구에 감합한 상태에서 상기 플랜지와 상호 겹쳐서 개구의 연부를 양측에서 끼워 지지하여 통체를개구에 고정 지지하는 계지조와, 상기 통체내에 장착되어 먼지 등을 제거하고, 기체의 용이한 통과를 허용하는 여과재로 구성되는 것을 특징으로 한다.
제2의 발명에서는 필터를 개구에 장착할 때는, 필터의 통체를 개구에 감합한다. 이 때, 통체에 설치된 계지조가 개구에 끼워 넣고, 이 개구의 연부의 다른 측면에 계지된다. 이것에 의해, 플랜지가 개구의 연부의 일측면에 기밀하게 접한 상태에서 필터가 개구에 고정된다.
제3의 발명은 다수의 박판을 내부에 수납 지지하는 용기본체와, 이 용기본체내에 박판을 수납한 상태에서 입구를 덮어 내부를 깨끗한 상태로 유지하는 뚜껑과, 상기 용기본체와 뚜껑과의 사이를 봉하는 개스킷(gasket)을 구비한 박판수납용기에 있어서, 상기 개스킷이 내외측 사이에서 기체의 통과를 허용하여 내부기압을 외부기압과 일치시킴과 동시에 먼지 등의 통과를 제한하는 기능을 구비하는 것을 특징으로 한다.
제3의 발명에 의해, 상기 개스킷이 기체의 통과를 허용하기 때문에 용기본체에 뚜껑이 장착된 상태에서 개스킷을 통하여 용기의 내외에서 기체가 출입한다. 이 기체의 출입은 용기의 밖같 둘레를 일회하는 전체둘레에서 이행된다. 기체가 출입하는 면적은 개스킷 전체이고, 용기의 밖같 둘레를 일회하는 길이이므로 결과적으로 넓은 면적에서 기체가 출입하게 된다. 이로써 용기 주위의 기압의 변화에 긴속하게 추종하고, 용기 내외에서 기압이 동일해 지도록 조정된다. 이 때, 개스킷은 먼지 등의 통과를 제한하기 때문에, 용기내에 먼지 등이 침입하는 일은 없다.
이로써 용기 내에서의 먼지 등의 침입을 방지하여, 깨끗한 상태를 유지한 그대로 용기 내압을 가장 적절한 상태로 조정한다.
(제1실시형태)
이하, 본 발명의 제1의 실시형태를 첨부도면에 기초하여 설명한다. 본 발명의 박판수납용기는 박판을 복수개 병렬로 수납 지지하는 용기이다. 이 박판은 반도체 웨이퍼, 기억디스크, 액정판 등이고, 먼지 등이 그 표면에 부착하는 것을 방지할 필요가 있는 박판이다. 본원의 박판수납용기는 상술한 바와 같은 박판을 수납하는 용기이기 때문에 내부가 밀봉구조로 되어 있다. 여기에서는 박판으로서 반도체 웨이퍼를 박판수납용기로서 다수의 반도체 웨이퍼를 지지한 웨이퍼 캐리어를 내부에 수용하는 반도체 웨이퍼용의 캐리어박스를 이용한 경우를 예를 들여 설명한다.
본 실시형태의 캐리어박스(11)은 도1에 나타난 바와 같이, 주로 내부에 반도체 웨이퍼(12)가 지지된 후술의 웨이퍼 캐리어(21)을 수납하는 용기본체(13)와, 이 용기본체(13)내에 상기 웨이퍼 캐리어(21)이 수납된 상태에서 수납본체(13)의 상측을 막는 뚜껑(14)과, 내부를 기밀하게 하여 깨끗한 상태를 유지하기 위하여 용기본체(13)과 뚜껑(14)와의 사이에 장착된 개스킷(15)를 구비하여 구성되고 있다.
용기본체(13)은 전체가 거의 사각형상으로 형성되어 있다. 용기본체(13)의 주위 둘레 상측단에는 개스킷(15)가 감합되어 캐리어 박스(11)내를 기밀하게 유지하기 위한 링형태의 홈(13A)이 형성되어 있다. 용기본체(13)의 상측 중, 대향하는 2개의 측면에는 계지조(16)이 설치되어 있다. 이 계지조(16)은 후술하는 뚜껑(14)의 계지편(18)과 서로 뚜껑(14)를 용기본체(13)에 고정하는 고정수단(19)를 구성한다.
뚜껑(14)는 얕은 접시모양으로 형성되고, 그 주위 둘레 하단부에 개스킷(15)가 감합되어 캐리어박스(11)내를 기밀하게 유지하기 위한 링형태의 홈(14A)이 형성되어 있다. 뚜껑(14)중 용기본체(13)의 각 계지조(16)에 대향하는 위치에는 계지조(16)과 함께 고정수단(19)를 구성하는 계지편(18)이 각각 설치되어 있다.
반도체 웨이퍼(12)는 웨이퍼 캐리어(21)에 지지된다. 이 웨이퍼 캐리어(21)은 그 지지용 립(rib)(21A)에 의해 다수의 반도체 웨이퍼(12)를 같은 간격으로 지지한다. 이 웨이퍼 캐리어(21)가 다수의 반도체 웨이퍼(12)를 지지한 상태에서 용기본체(13)내에 수납되고, 이 상측에서 박판 누름 부재(22)가 장착되고, 뚜껑(14)으로 덮혀진다. 그리고, 뚜껑(14)의 계지편(18)이 용기본체(13)의 계지조(16)에 계지되므로, 뚜껑(14)가 용기본체(13)에 고정된다. 이로써 용기본체(13)과 뚜껑(14)에서 웨이퍼 캐리어(21)와 박판 누름 부재(22)가 지지되고, 이 웨이퍼 캐리어(21)와 박판누름부재(22)에서 각 반도체 웨이퍼(12)가 지지된다. 이 결과, 각 반도체 웨이려(12)는 캐리어 박스(11)에 외부에서 충격이 가해져도 진동하는 일이 없고, 안정하게 반송된다.
용기본체(13)의 측면벽(13B)에는 내압조정기구(25)가 설치되어 있다. 이 내압조정기구(25)는 용기본체(13)의 측면벽(13B)에 형성된 개구(26)와, 이 개구(26)에 착탈 가능하게 장착된 필터(27)로 구성되어 있다.
개구(26)은 도4에 도시한 바와 같이, 용기본체(13)의 측면벽(13B)를 원형상으로 관통 형성되어, 용기본체(13)의 내외측을 연통되게 연결하고 있다. 이것에 의해 용기본체(13)의 내측과 외측에서 기체의 출입을 허용하고, 내부의 기압과 외부기압이 같아지도록 조정된다. 이 개구(26)의 상하에는 후술하는 필터(27)의 계지조(30)을 끼워넣기 위한 계지홈(26A)가 설치되어 있다. 그리고, 개구(26)을 통하여 용기본체(13)의 내측과 외측에서 출입하는 기체는 캐리어 박스(11)의 주위의 공기와 캐리어 박스(11)의 내부로 봉입되는 기체이다. 이 캐리어 박스(11)내에 봉입되는 기체로서는 질소 가스 등이 있다.
필터(27)은 개구(26)을 통하여 용기본체(13)의 내외측에서 기체가 출입할 때에 외부의 기체 중에 포함되는 먼지 등을 제거하고 기체만의 통과를 허용한다. 이 필터(27)은 먼지 등의 제거가 가능할 정도의 성능을 가지며, 기체가 원활하게 통하도록 설정되어 있다. 즉, 개구(26)을 통하여 기체가 용기본체(13 의 내외측에서 출입할 때에 그다지 큰 저항을 받지 않고, 용이하게 기체가 통과할 수 있을 정도의 성능으로 설정되어 있다. 이 필터(27)은 구체적으로는 도2 및 도3에 도시한 바와 같이 통체(28)과 플랜지(29)와 계지조(30)과 여과재(31)로 구성되어 있다.
통체(28)은 원통상으로 형성되고, 그 직경은 개구(26)의 내경과 거의 같은 크기로 설정되어 이 개구(26)에 감합된다.
플랜지(29)는 몸체(28)의 한 쪽(도면 중의 하방)에 형성되어 있고, 통체(28)가 개구(26)에 감합된 상태에서 개구(26)의 연부의 일측면에 접하도록 되어 있다. 플랜지(29)의 내측면에는 링형상의 개스킷(33)이 설치되어 있다. 이 개스킷(33)은 통체(28)가 개구(26)에 감합하여 플랜지(29)가 개구(26)의 연부의 일측면에 접하는 상태에서 이 플랜지(29)와 개구(26)의 연부에 압접하여, 이들의 사이를 기밀하게 밀봉한다.
계지조(30)은 통체(28)의 다른 쪽에 상호 대향되게 2개가 외향으로 돌출형성되어 있다. 각 계지조(30)은 단면이 쐐기상으로 형성되어 있다. 즉, 계지조(30)중 플랜지(29)측의 면이 경사지게 형성되어 있다. 이 경사는 필터(27)을 용기본체(13)의 측면벽(13B)에 고정하기 위한 것이다. 즉, 각 계지조(30)을 개구(26)의 계지홈(26A)에 맞춘 상태에서 통체(28)을 개구(26)에 감합하여 전체를 회동시키면, 계지조(30)의 경사면이 개구(26) 연부의 다른 측면에 압접한다. 이에 따라, 플랜지(29)와 계지조(30)의 사이에서 개구(26)의 연부가 끼워 지지되고, 필터(27)이 용기본체(13)의 측면벽(13B)에 고정된다.
여과재(31)은 몸체(28)내에 장착되고, 이 통체(28)내를 통과하는 기체중에서 먼지 등을 제거하도록 되어 있다. 즉, 캐리어박스(11)의 주위의 기체가 개구(26)을 통하여 캐리어박스(11)내에 유입할 때에 이 기체중의 먼지 등을 제거하여 기체만을 통과시키도록 되어 있다. 이 여과재(31)은 상술한 바와 같이 먼지 등을 제거하여 기체가 원활하게 통할 수 있을 정도의 성능으로 설정되어 있다. 즉, 개구(26)을 통하여 기체가 용기본체(13)의 내외측에서 출입할 때에, 여과재(31)이 그다지 큰 저항이 되지 않고 기체가 용이하게 통과할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 여과재(31)을 기체가 용이하게 통과하여, 캐리어박스(11)의 주위의 기압이 급격히 변화하여도 긴속하게 대응할 수 있도록 되어 있다.
이상과 같이 구성된 캐리어박스(11)은 다음과 같이 하여 반도체 웨이퍼(12)의 반송용으로 제공된다.
우선, 용기본체(13) 및 뚜껑(14)가 형성된 후, 표면에 부착한 이물질 등을제거하기 위하여 세정된다. 필터(27)은 용기본체(13)이 세정된 후에 장착된다. 이 필터(27)의 장착은 다음과 같이 하여 이행한다. 필터(27)의 통체(28)의 각 계지조(30)을 개구(26)의 계지홈(26A)에 맞춘 상태에서 통체(28)을 개구(26)에 삽입한다. 플랜지(29)가 용기본체(13)의 측면벽(13B)에 맞닿아진 상태에서 전체를 회동시킨다.
이것에 의해 플랜지(29)와 계지조(30)이 개구(26)의 연부를 사이에 끼워지지하고, 필터(27)가 개구(26)에 끼워져 접합된 상태에서 용기본체(13)의 측면벽(13B)에 고정된다.
다음으로 웨이퍼 캐리어(21)에 다수의 반도체 웨이퍼(12)을 삽입하고, 이 웨이퍼 캐리어(21)을 캐리어박스(11)의 용기본체(13)내에 삽입한다. 또한, 각 반도체 웨이퍼(12)의 상측에, 이들을 상측에서 눌러 지지하는 박판 누름 부재(22)를 장치하고, 그 위에 뚜껑(14)를 입힌다. 또한, 이 뚜껑(14)를 상측에서 누르며, 뚜껑(14)의 계지편(18)을 용기본체(13)의 계지조(16)에 계지시킨다. 이것에 의해, 용기본체(13)과 뚜껑(14)가 내부의 반도체 웨이퍼(12)를 지지한 상태에서 서로 고정된다.
이 상태에서 캐리어박스(11)을 비행기 등으로 수출한다. 이 때, 캐리어 박스(11)의 주위의 기압이 저하하면, 상대적으로 캐리어박스(11)의 내압이 높아져 간다. 이것에 동반하여, 내압조정기구(25)의 필터(27)에서 캐리어박스(11)내의 기체가 유출되고, 캐리어 박스(11)의 내압과 외부 기압이 거의 동일한 값으로 유지된다.
다음으로 비행기가 지상에 내리는 것에서 상대적으로 캐리어 박스(11)의 내압이 낮아 지지만, 이 경우는 필터(27)을 통하여 외부의 기체가 캐리어 박스(11)내에 유입된다. 이 때, 기체중의 먼지 등은 필터(27)에서 제거된다. 이것에 의해 캐리어박스(11)의 내압과 외기압이 거의 같은 값으로 유지된다.
다음, 이 반도체 웨이퍼(12)의 반송에 제공된 캐리어박스(11)은 재사용할 때에 세정된다. 이 경우는 우선, 필터(27)을 떼어낸다. 구체적으로는 필터(27)을 상기 장착 시와 반대 방향으로 회동시켜 계지조(30)과 개구(26)의 계지홈(26A)을 맞춘후, 외부로 끌러낸다. 떼어낸 필터(27)은 먼지 등이 없는 곳에 보관한다. 그리고, 나머지 용기본체(13), 뚜껑(14) 등을 세정하는 세정이 끝나면 상술된 바와 같이 필터(27)을 장착하고, 다시 반도체 웨이퍼(12)의 반송용으로 제공된다.
또한 사용이 끝난 캐리어박스(11)은 재활용하거나 폐기하거나 한다. 그때, 각각의 부품은 각각 재질에 따라 분류한다.
특히, 재활용할 때는 엄밀히 분류하지 않으면 안되지만, 용기본체(13)과 재질이 다른 필터(27)은 상기의 동작에 의해 용기본체(13)에서 용이하게 떼어낼 수 있다. 그리고, 재질에 따라 분별하여 그 후의 처리를 한다.
이상과 같이 필터(27)의 여과재(31)의 성능을 캐리어 박스(11)의 내외 사이에서 기체가 출입할 때에 큰 저항이 되지 않는 정도로 설정한 것이므로, 캐리어박스(11)의 주위의 기압이 급격히 변화하여도 긴속히 대응할 수 있게 된다. 이 결과, 캐리어박스(11)의 내압이 외부 기압의 변화속도에 긴속히 추종하여, 가장 적절한 내압 조정이 가능하게 된다.
또한, 필터(27)을 용기본체(13)에서 용이하게 떼어내는 것이 가능하므로, 재사용이나 재활용 등의 처리가 쉬워진다.
(제2실시형태)
이하, 본 발명의 제2의 실시형태를 첨부도면에 기초하여 설명한다. 본 실시형태에서도 상기 제1의 실시형태와 같이 박판수납용기로서 캐리어박스를 이용한다. 이 캐리어박스의 전체 구성은 상기 제1의 실시형태의 캐리어박스와 거의 같다. 이 때문에 동일부분에는 동일부호를 붙이고 그 설명을 생략한다.
본 실시형태의 캐리어 박스(35)는 도5에 도시한 바와 같이, 주로 용기본체(13)과, 뚜껑(14)와, 용기본체(13)과 뚜껑(14)와의 사이에 장착되어 내부를 깨끗한 상태로 유지하는 개스킷(36)을 구비하여 구성되어 있다.
용기본체(13)의 구성은 내압조정기구(25)를 설치하지 않는 점을 제외하고, 상기 제1실시형태의 용기본체(13)과 같다. 뚜껑(14)의 구성은 상기 제1실시형태의 뚜껑(14)와 같다. 각 링형태의 홈(13A)(14A)은 폭이 얕게 형성되고, 이들에 감합된 개스킷(36)이 각 링형태의 홈(13A)(14A)의 사이에서 넓은 면적에 걸쳐서 외부공기와 접하도록 구성되어 있다.
개스킷(36)은 뚜껑(14)로 덮여진 용기본체(13)의 내외측 사이에서 기체의 통과를 허용하여 내부 기압을 외부 기압과 일치시킴과 동시에 먼지 등의 통과를 제한하는 기능을 구비하고 있다. 즉, 개스킷(36)은 용기본체(13)의 내외측 사이를 기밀하게 밀봉하지 않아 공기 등의 기체를 통과시켜 내부 기압과 외부 기압을 일치시키는 기능을 구비하고 있다. 또한, 개스킷(36)은 먼지 등의 통과를 제한하고, 용기본체(13)내에 수납된 반도체 웨이퍼(12)의 표면에 불순물이 부착하는 것을 방지한다.
이 개스킷(36)은 다공질재로 형성되어 있다. 즉, 개스킷(36)의 내측면과 외측면이 연통하도록 연결된다. 연속적인 다수의 미세한 구멍을 가지는 재료로 형성되어 있다. 이 미세한 구멍으로서는 바람직하게는 0.5∼1.0㎛ 정도로 설정한다. 이것은 제거하는 먼지 등보다도 작은 값으로서의 일례이며, 0.5㎛보다도 작은 먼지 등이 캐리어 박스(35)의 주위에 부유하는 경우에는 구멍의 크기를 더욱 작게 형성한다.
개스킷(36)의 재료로서는 불소계 수지나 올레핀계 수지 등이 이용된다. 이들의 수지를 재료로서 다공질의 개스킷(36)이 발포 형성된다. 또한, 극세섬유를 이용한 직포 또는 부지포에 의해 개스킷(36)을 형성하여도 좋다.
이상과 같이 구성된 캐리어 박스(35)는 다음과 같이 하여 반도체 웨이퍼(12)의 반송용으로 제공된다.
우선, 상기 제1실시형태와 같이, 용기본체(13) 및 뚜껑(14)가 형성된 후, 표면에 부착한 물질 등을 제거하기위하여 세정된다. 개스킷(36)은 용기본체(13) 등이 세정된 후에 장착된다.
다음으로 반도체 웨이퍼(12)를 지지한 웨이퍼 캐리어(21)을 캐리어 박스(35)의 용기본체(13)내에 삽입하고, 그 위에서 박판누름부재(22)를 장치하고, 그 위에 뚜껑(14)를 입힌다. 이 때, 개스킷(36)은 용기본체(13)과 뚜껑(14)와의 사이에 충분한 면적을 외기에 드러낸 상태에서 각 링형태의 홈(13A)(14A)에 감합한다.
다음으로, 이 뚜껑(14)를 상측에서 누르고, 뚜껑(14)의 계지편(18)을 용기본체(13)의 계지조(16)에 계지시킨다. 이것에 의해, 용기본체(13)과 뚜껑(14)가 내부의 반도체 웨이퍼(12)를 지지한 상태에서 서로 고정된다.
이 상태에서 상기 제1의 실시형태와 같이 하여 수송한다. 이 때, 캐리어박스(35)의 주위의 기압이 저하하면, 개스킷(36)의 전체 둘레에서 캐리어 박스(35)내의 기체가 유출되고, 캐리어박스(35)의 내부 기압과 외부 기압이 거의 같은 값으로 유지된다. 또한, 캐리어박스(35)의 내압이 낮아지면, 상기의 경우와 반대로, 개스킷(36)을 통하여 외부의 기체가 캐리어박스(35)내에 유입된다. 이 때, 기체 중의 먼지 등은 개스킷(36)에서 제거된다. 이것에 의해, 캐리어박스(35)는 그 내부의 깨끗한 상태를 유지한 채, 내압과 외기압이 거의 같은 값으로 유지된다.
그리고, 수송중에 캐리어박스(35)의 주위의 온도가 크게 변화한 경우도 같다.
다음으로, 이 반도체 웨이퍼(12)의 반송에 제공된 캐리어 박스(35)는 재사용시에 세정된다. 이 경우는 개스킷(36)을 떼어낸다. 떼어낸 개스킷(36)은 재사용이 가능하면, 먼지 등이 없는 곳에 보관한다. 먼지 등의 부착이 격심한 경우는 새로운 개스킷을 이용한다. 용기본체(13), 뚜껑(14) 등은 세정된다. 세정이 끝나면, 개스킷(36)을 장착하고, 다시 반도체 웨이퍼(12)의 반송용에 제공시킨다.
또한, 재활용할 때에는 용기본체(13)과 물질이 다른 개스킷(36)을 분별한다. 이 개스킷(36)은 원래 용기본체(13)과 다른 부재이고, 용기본체(13)에서 용이하게 떼어낼 수 있다. 그리고, 재질에 따라 분별하여 그 후의 처리를 이행한다.
이상과 같이 개스킷(36)을 다공질 재료로 형성하고, 그 전체에서 케리어 박스(35)의 내외측 사이에서의 기체의 통과만을 허용하고, 내부 기압을 외부기압과 일치시키도록 한 것이므로, 캐리어박스(35)의 주위의 기압이 급격히 변화하여도 긴속하게 대응할 수 있게 된다. 이 결과, 상기 제1실시형태와 같이 캐리어 박스(35)의 내압이 외부 기압의 변화에 긴속히 추종하고, 내부의 깨끗한 상태를 유지한 그대로, 가장 적절한 내압조정이 가능하게 된다.
개수켓(36)은 용기본체(13)과 다른 부재이며, 용기본체(13)에서 용이하게 떼어내는 것이 가능하므로, 재사용이나 재활용 등의 처리가 용이하게 된다.
(1) 상기 각 실시형태에서는 박판수납용기로서 반도체 웨이퍼(12)를 지지하는 캐리어박스(11)(35)을 예로 설명하였지만, 다른 박판을 수납 지지하는 박판수납 용기의 경우도 상기 각 실시형태와 같은 작용, 효과를 이룬다.
(2) 상기 제1실시형태에서는 필터(27)을 개구(26)에 고정하기위한 계지조(30)을 원통상의 통체(28)의 직경 방향의 외향으로 돌출시켜 2개 형성하였지만, 도6에서 도8에 나타낸 바와 같이, 3개를 형성시켜도 좋다.
여기에서는 필터(41)의 통체(42)의 선단부(도6 중의 상단부)에 3개의 계지조(43)을 설치하고 있다. 이 계지조(43)은 통체(42)에서 상측으로 세워서 형성된 다리부(44)와, 이 다리부(44)의 상단부에 외측으로 돌출되어 형성된 조부(45)로 구성되어 있다. 각 다리부(44)는 내측으로 휘는 것이 가능하도록 탄성을 갖도록 구성되어 있다. 그 밖의 구성은 상기 실시형태와 같다. 개구(46)은 도8에 도시한 바와 같이, 원형상으로 뚫려 형성된다.
이하의 구성에 의해 필터(41)을 장착할 때는 3개의 계지조(43)의 부분을 개구(46)에 감합하여 밀어 넣는다. 이것에 의해 3개의 계지조(43)이 서로 내측으로 휘어지고, 개구(46)내에 밀어 넣는다.
떼어낼 때는 3개의 계지조(43)을 서로 내측으로 휘게하여 개구(46)에서 밀어낸다. 이것에 의해, 필터(41)은 개구(46)에서 용이하게 떼어내는 것이 가능하다. 이상으로 부터, 상기 제1실시형태와 같은 작용, 효과를 꾀하는 것이 가능하다.
또한, 이 경우에 있어서, 몸체(42)를 사각통상 등의 다른 형태로 하여도 좋다. 이 경우, 개구(46)도 사각통상 등의 형상이 형성된다.
(3) 상기 제1실시형태에서는 내압조정기구(25)의 개구(26)을 용기본체(13)의 측면벽(13B)에 설치하였지만, 이 개구(26)의 배설위치는 용기본체(13) 및 뚜껑(14)의 어디에도 좋다. 또한, 도9에 도시한 바와 같이, 용기본체(13)과 뚜껑(14)에 각각 반원상의 계지홈(51)(52)를 설치하고, 이 사이에 상기 실시형태와 같은 필터(53)을 설치하도록 하여도 좋다. 이것에 의하여도, 상기 실시형태와 같은 작용, 효과를 이루는 것이 가능하다.
(4) 상기 제2의 실시형태에서는 용기본체(13)이 상방으로 개구한 캐리어 박스(35)를 예로 설명하였지만, 도10에 나타난 바와 같이, 전방으로 개구된 구성의 개리어 박스(55)에서도 좋다. 이 경우, 용기본체(56)은 전방으로 개구하여 두고, 뚜껑(57)은 용기본체(56)의 개구의 측부에 회동가능하게 장착된다. 그리고, 용기본체(56)의 개구주변으로 개스킷(58)이 장착된다. 이것에 의해, 상기 제2실시형태와 같은 작용, 효과를 꾀하는 것이 가능하다.
(5) 상기 각 실시형태에서는 용기본체(13)에 웨이퍼(21)을 다른 부재로서 장착하였지만, 용기본체에 지지용 립을 직접 설치하고, 웨이퍼 캐리어와 용기본체를 일체로 한 구성에서도 좋다. 이 경우도 상기와 같은 작용, 효과를 이루는 것이 가능하다.
(6) 제1 실시형태의 내압조정기구(25)와 제2 실시형태의 개스킷(36)을 동일하게 설치하여도 좋다.
이상 상술한 바와 같이, 본 발명의 박판수납용기에 의하면, 다음과 같은 효과를 이루는 것이 가능하다.
(1) 내압조정기구의 필터의 성능을 먼지 등의 제거가 가능함과 동시에 기체의 통과시에 그다지 큰 저항이 되지 않을 정도로 설정한 것이므로, 용기의 주위의 기압이 급격히 변화하여도 긴속히 추종하는 것이 가능하게 된다. 이 결과, 박판수납용기를 가장 적절한 내압으로 조정하는 것이 가능하게 된다.
(2) 필터를 용기본체 등에서 용이하게 떼어내는 것이 가능하므로, 재사용이나 재활용 등의 처리가 용이하게 된다.
(3) 개스킷에 내외측 사이에서 기체의 통과를 허용하여 내부기압을 외부기압과 일치시킴과 동시에 먼지 등의 통과를 제한하는 기능을 구비하므로, 박판수납용기의 주위의 기압이 급격히 변화하여도 긴속히 대응할 수 있게 된다. 이 결과, 박판수납용기의 내압이 외부 기압의 변화에 긴속하게 추종하고, 내부의 깨끗한 상태를 유지한 채, 가장 적절한 내압조정이 가능하게 된다.
(4) 개스킷은 용기본체 및 뚜껑은 다른 부재이고, 용기본체 등에서 용이하게떼어내는 것이 가능하므로, 재사용이나 재활용 등의 처리가 용이하다.

Claims (1)

  1. 다수의 박판을 내부에 수납지지하는 용기본체와, 이 용기본체내에 박판을 수납한 상태에서 입구를 덮어 내부를 깨끗한 상태로 유지하는 뚜껑과, 상기 용기본체와 뚜껑의 사이에 장착되는 개스킷을 구비한 박판수납용기에 있어서,
    상기 개스킷이 내외측 사이에서 기체의 통과를 허용하여 내부기압을 외부기압과 일치시킴과 동시에 먼지 등의 통과를 제한하는 기능을 구비한 것을 특징으로 하는 박판수납용기.
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