JP2019114603A - 基板収納容器 - Google Patents
基板収納容器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019114603A JP2019114603A JP2017245185A JP2017245185A JP2019114603A JP 2019114603 A JP2019114603 A JP 2019114603A JP 2017245185 A JP2017245185 A JP 2017245185A JP 2017245185 A JP2017245185 A JP 2017245185A JP 2019114603 A JP2019114603 A JP 2019114603A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- communication hole
- container
- gas
- elastic body
- cylindrical portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Check Valves (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
(2)本発明に係る別の1つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、筒状の弾性体と、前記弾性体の一方側を被着する第1被着部が形成された第1筒部と、前記弾性体の他方側を被着する第2被着部が形成された第2筒部と、前記第1筒部と前記第2筒部とで形成される内部空間と、を有し、前記第1筒部は、前記容器本体の外部に連通する第1連通孔が、前記弾性体よりも外側の内部空間側に形成され、前記第2被着部は、前記容器本体の内部に連通する第2連通孔が形成されており、前記第1被着部又は前記第2被着部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御するものである。
(3)本発明に係る別の1つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、筒状の弾性体と、前記弾性体の一方側を被着する第1被着部が形成された第1筒部と、前記弾性体の他方側を被着する第2被着部が形成された第2筒部と、前記第1筒部と前記第2筒部とで形成される内部空間と、前記第1被着部と前記第2被着部の間に位置するとともに、前記弾性体が接離する栓部と、を有し、前記第1被着部は、前記容器本体の外部に連通する第1連通孔が形成され、前記第2筒部は、前記容器本体の内部に連通する第2連通孔が、前記第2被着部よりも外側に形成され、前記弾性体は、前記栓部よりも前記第2被着部側に、第3連通孔が形成されており、前記栓部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御するものである。
(4)本発明に係る別の1つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、筒状の弾性体と、前記弾性体の一方側を被着する第1被着部が形成された第1筒部と、前記第1筒部との間に内部空間を形成する第2筒部と、前記第1筒部に形成され、前記弾性体の他方側を被着する栓部と、を有し、前記第1被着部は、前記容器本体の外部に連通する第1連通孔が形成され、前記第2筒部は、前記容器本体の内部に連通する第2連通孔が形成されており、前記栓部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御するものである。
(5)本発明に係る別の1つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、筒状の弾性体と、前記弾性体の一方側を被着する第1被着部が形成された第1筒部と、前記弾性体の他方側を被着する第2被着部が形成された第2筒部と、前記第1筒部と前記第2筒部とで形成される内部空間と、前記第1被着部と前記第2被着部の間に位置するとともに、前記弾性体が接離する栓部と、を有し、前記第1筒部は、前記容器本体の外部に連通する第1連通孔が、前記弾性体よりも外側の内部空間側に形成され、前記第2被着部は、前記容器本体の内部に連通する第2連通孔が形成され、前記弾性体は、前記栓部よりも前記第1被着部側に、第3連通孔が形成されており、前記栓部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御するものである。
(6)本発明に係る別の1つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、筒状の弾性体と、前記弾性体の他方側を被着する第2被着部が形成された第2筒部と、第2筒部との間に内部空間を形成する第1筒部と、前記第2筒部に形成され、前記弾性体の一方側を被着する栓部と、を有し、前記第1筒部は、前記容器本体の外部に連通する第1連通孔が形成され、前記第2被着部は、前記容器本体の内部に連通する第2連通孔が形成されており、前記栓部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御するものである。
(7)本発明に係る別の1つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、筒状の弾性体と、前記弾性体を外面に被着する第1被着部が形成された第1筒部と、前記第1筒部との間に内部空間を形成する第2筒部と、を有し、前記第1被着部は、前記容器本体の外部に連通する第1連通孔が形成されるとともに、前記第1連通孔と前記外面とを連通する第4連通孔が形成され、前記第2筒部は、前記容器本体の内部に連通する第2連通孔が形成されており、前記第4連通孔と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御するものである。
(8)本発明に係る別の1つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、筒状の弾性体と、前記弾性体を外面に被着する第2被着部が形成された第2筒部と、前記第2筒部との間に内部空間を形成する第1筒部と、を有し、前記第2被着部は、前記容器本体の内部に連通する第2連通孔が形成されるとともに、前記第2連通孔と前記外面とを連通する第4連通孔が形成され、前記第1筒部は、前記容器本体の外部に連通する第1連通孔が形成されており、前記第4連通孔と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御するものである。
図1に示すように、基板収納容器1は、基板Wを収納する容器本体10と、容器本体10の開口11を閉止する蓋体20と、容器本体10と蓋体20との間に設けられる環状のパッキン30と、を備えている。
図3(a)において、第1連通孔411に陽圧が加わらないか、第2連通孔431に陽圧が加わると、弾性体44は、第1被着部410及び第2被着部430に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。
つぎに、第2実施形態のバルブ体140について説明する。図4は、基板収納容器1に取り付けられた第2実施形態のバルブ体140の、(a)気体流通を遮断した状態、(b)気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。
図4(a)において、第1連通孔411に陽圧が加わらないか、第2連通孔431に陽圧が加わると、弾性体144は、円板状の栓部49に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。
つぎに、第3実施形態のバルブ体240について説明する。図5は、基板収納容器1に取り付けられた第3実施形態のバルブ体240の、(a)気体流通を遮断した状態、(b)気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。
図5(a)において、第1連通孔411に陽圧が加わらないか、第2連通孔431に陽圧が加わると、弾性体44は、円板状の栓部49に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。
つぎに、第4実施形態のバルブ体340について説明する。図6は、基板収納容器1に取り付けられた第4実施形態のバルブ体340の、(a)気体流通を遮断した状態、(b)気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。
図6(a)において、第1連通孔411に陽圧が加わらないか、第2連通孔431に陽圧が加わると、弾性体44は、第4連通孔1411に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。
つぎに、第5実施形態のバルブ体50について説明する。図7は、第5実施形態のバルブ体50を示す、(a)断面斜視図、(b)断面図である。図8は、基板収納容器1に取り付けられたバルブ体50の、(a)気体流通を遮断した状態、(b)気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。
図8(a)において、第2連通孔431に陽圧が加わらないか、第1連通孔411に陽圧が加わると、弾性体44は、第1被着部410及び第2被着部430に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。
つぎに、第6実施形態のバルブ体150について説明する。図9は、基板収納容器1に取り付けられた第6実施形態のバルブ体150の、(a)気体流通を遮断した状態、(b)気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。
図9(a)において、第2連通孔431に陽圧が加わらないか、第1連通孔411に陽圧が加わると、弾性体144は、円板状の栓部49に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。
つぎに、第7実施形態のバルブ体250について説明する。図10は、基板収納容器1に取り付けられた第7実施形態のバルブ体250の、(a)気体流通を遮断した状態、(b)気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。
図10(a)において、第2連通孔431に陽圧が加わらないか、第1連通孔411に陽圧が加わると、弾性体44は、円板状の栓部49に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。
つぎに、第8実施形態のバルブ体350について説明する。図11は、基板収納容器1に取り付けられた第8実施形態のバルブ体350の、(a)気体流通を遮断した状態、(b)気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。
図11(a)において、第2連通孔431に陽圧が加わらないか、第1連通孔411に陽圧が加わると、弾性体44は、第4連通孔1431に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。
第1実施形態及び第5実施形態において、バルブ体40,50は、固定筒41,541と保持筒42との間に形成される内部空間Sに、水溜まりを防止する別部品として形成されたリング部材60を有してもよい(図2(b)参照)。ただし、このリング部材60は、弾性体44の変形、第1連通孔411,第2連通孔431を塞がないような形状で、できる限り内部空間Sを埋めるものがよい。また、このリング部材60は、第2〜4実施形態及び第6〜8実施形態に適用してもよい。この場合も、弾性体44の変形、第1連通孔411,第2連通孔431,第3連通孔1441,第4連通孔1411,1431を塞がないような形状で、できる限り内部空間Sを埋めるものがよい。
図12は、弾性体44の取り付け構造を示す概略断面図であり、(a)変形例1、(b)変形例2である。
図13は、基板収納容器1に取り付けられた第9実施形態のバルブ体840を示す、(a)取り付け状態、(b)概略断面図である。
例えば、第9実施形態の給気用のバルブ体840は、第4実施形態のバルブ体340を、気体流路の途中に取り付けたものに相当し、略二重パイプ状の構造になっている。
10 容器本体、11 開口、12 シール面、13 支持体、14 ロボティックフランジ、15 マニュアルハンドル、16 給気部、17 排気部、18 貫通孔、180 リブ
20 蓋体、21 取付溝、22 凸部
30 パッキン
40,140,240,340,840 バルブ体(給気用)
41,241,341,541,641 固定筒(第1筒部)、410 第1被着部、411 第1連通孔、412 螺子溝、413 フランジ、1411 第4連通孔
42 保持筒(第2筒部)、421 通気口、422 螺子溝、423 フランジ、424 区画リブ
43,143,543,643,743 中蓋筒(第2筒部)、430 第2被着部、431 第2連通孔、1431 第4連通孔
44,144 弾性体、1441 第3連通孔
45 シール部材、46 フィルタ、47 シール部材、48 支柱、49 栓部
50,150,250,350 バルブ体(排気用)
60 リング部材
70 気体導入部
W 基板
C 隙間
S 内部空間
Claims (19)
- 基板を収納する容器本体と、
前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
前記バルブ体は、
筒状の弾性体と、
前記弾性体の一方側を被着する第1被着部が形成された第1筒部と、
前記弾性体の他方側を被着する第2被着部が形成された第2筒部と、
前記第1筒部と前記第2筒部とで形成される内部空間と、を有し、
前記第1被着部は、前記容器本体の外部に連通する第1連通孔が形成され、
前記第2筒部は、前記容器本体の内部に連通する第2連通孔が、前記弾性体よりも外側の内部空間側に形成されており、
前記第1被着部又は前記第2被着部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御する
ことを特徴とする基板収納容器。 - 前記弾性体は、前記第1連通孔に陽圧が加わる場合に、膨らむことで前記第1被着部又は前記第2被着部との間に隙間を形成して、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第2連通孔に陽圧が加わる場合か前記第1連通孔に陽圧が加わらない場合に、前記第1被着部及び前記第2被着部と密着して、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断する
ことを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器。 - 基板を収納する容器本体と、
前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
前記バルブ体は、
筒状の弾性体と、
前記弾性体の一方側を被着する第1被着部が形成された第1筒部と、
前記弾性体の他方側を被着する第2被着部が形成された第2筒部と、
前記第1筒部と前記第2筒部とで形成される内部空間と、を有し、
前記第1筒部は、前記容器本体の外部に連通する第1連通孔が、前記弾性体よりも外側の内部空間側に形成され、
前記第2被着部は、前記容器本体の内部に連通する第2連通孔が形成されており、
前記第1被着部又は前記第2被着部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御する
ことを特徴とする基板収納容器。 - 前記弾性体は、前記第2連通孔に陽圧が加わる場合に、膨らむことで前記第1被着部又は前記第2被着部との間に隙間を形成して、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第1連通孔に陽圧が加わる場合か前記第2連通孔に陽圧が加わらない場合に、前記第1被着部及び前記第2被着部と密着して、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断する
ことを特徴とする請求項3に記載の基板収納容器。 - 基板を収納する容器本体と、
前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
前記バルブ体は、
筒状の弾性体と、
前記弾性体の一方側を被着する第1被着部が形成された第1筒部と、
前記弾性体の他方側を被着する第2被着部が形成された第2筒部と、
前記第1筒部と前記第2筒部とで形成される内部空間と、
前記第1被着部と前記第2被着部の間に位置するとともに、前記弾性体が接離する栓部と、を有し、
前記第1被着部は、前記容器本体の外部に連通する第1連通孔が形成され、
前記第2筒部は、前記容器本体の内部に連通する第2連通孔が、前記第2被着部よりも外側に形成され、
前記弾性体は、前記栓部よりも前記第2被着部側に、第3連通孔が形成されており、
前記栓部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御する
ことを特徴とする基板収納容器。 - 基板を収納する容器本体と、
前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
前記バルブ体は、
筒状の弾性体と、
前記弾性体の一方側を被着する第1被着部が形成された第1筒部と、
前記第1筒部との間に内部空間を形成する第2筒部と、
前記第1筒部に形成され、前記弾性体の他方側を被着する栓部と、を有し、
前記第1被着部は、前記容器本体の外部に連通する第1連通孔が形成され、
前記第2筒部は、前記容器本体の内部に連通する第2連通孔が形成されており、
前記栓部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御する
ことを特徴とする基板収納容器。 - 前記弾性体は、前記第1連通孔に陽圧が加わる場合に、膨らむことで前記栓部との間に隙間を形成して、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第2連通孔に陽圧が加わる場合か前記第1連通孔に陽圧が加わらない場合に、前記栓部と密着して、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断する
ことを特徴とする請求項5又は6に記載の基板収納容器。 - 基板を収納する容器本体と、
前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
前記バルブ体は、
筒状の弾性体と、
前記弾性体の一方側を被着する第1被着部が形成された第1筒部と、
前記弾性体の他方側を被着する第2被着部が形成された第2筒部と、
前記第1筒部と前記第2筒部とで形成される内部空間と、
前記第1被着部と前記第2被着部の間に位置するとともに、前記弾性体が接離する栓部と、を有し、
前記第1筒部は、前記容器本体の外部に連通する第1連通孔が、前記弾性体よりも外側の内部空間側に形成され、
前記第2被着部は、前記容器本体の内部に連通する第2連通孔が形成され、
前記弾性体は、前記栓部よりも前記第1被着部側に、第3連通孔が形成されており、
前記栓部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御する
ことを特徴とする基板収納容器。 - 基板を収納する容器本体と、
前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
前記バルブ体は、
筒状の弾性体と、
前記弾性体の他方側を被着する第2被着部が形成された第2筒部と、
第2筒部との間に内部空間を形成する第1筒部と、
前記第2筒部に形成され、前記弾性体の一方側を被着する栓部と、を有し、
前記第1筒部は、前記容器本体の外部に連通する第1連通孔が形成され、
前記第2被着部は、前記容器本体の内部に連通する第2連通孔が形成されており、
前記栓部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御する
ことを特徴とする基板収納容器。 - 前記弾性体は、前記第2連通孔に陽圧が加わる場合に、膨らむことで前記栓部との間に隙間を形成して、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第1連通孔に陽圧が加わる場合か前記第2連通孔に陽圧が加わらない場合に、前記栓部と密着して、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断する
ことを特徴とする請求項8又は9に記載の基板収納容器。 - 基板を収納する容器本体と、
前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
前記バルブ体は、
筒状の弾性体と、
前記弾性体を外面に被着する第1被着部が形成された第1筒部と、
前記第1筒部との間に内部空間を形成する第2筒部と、を有し、
前記第1被着部は、前記容器本体の外部に連通する第1連通孔が形成されるとともに、
前記第1連通孔と前記外面とを連通する第4連通孔が形成され、
前記第2筒部は、前記容器本体の内部に連通する第2連通孔が形成されており、
前記第4連通孔と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御する
ことを特徴とする基板収納容器。 - 前記弾性体は、前記第1連通孔に陽圧が加わる場合に、膨らむことで前記第1被着部との間に隙間を形成して、前記第4連通孔を開放し、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第2連通孔に陽圧が加わる場合か前記第1連通孔に陽圧が加わらない場合に、前記第1被着部と密着して、前記第4連通孔を閉止し、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断する
ことを特徴とする請求項11に記載の基板収納容器。
- 基板を収納する容器本体と、
前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
前記バルブ体は、
筒状の弾性体と、
前記弾性体を外面に被着する第2被着部が形成された第2筒部と、
前記第2筒部との間に内部空間を形成する第1筒部と、を有し、
前記第2被着部は、前記容器本体の内部に連通する第2連通孔が形成されるとともに、前記第2連通孔と前記外面とを連通する第4連通孔が形成され、
前記第1筒部は、前記容器本体の外部に連通する第1連通孔が形成されており、
前記第4連通孔と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御する
ことを特徴とする基板収納容器。 - 前記弾性体は、前記第2連通孔に陽圧が加わる場合に、膨らむことで前記第2被着部との間に隙間を形成して、前記第4連通孔を開放し、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第1連通孔に陽圧が加わる場合か前記第2連通孔に陽圧が加わらない場合に、前記第2被着部と密着して、前記第4連通孔を閉止し、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断する
ことを特徴とする請求項13に記載の基板収納容器。 - 前記バルブ体は、前記内部空間に水溜まりを防止する別部品として形成されたリング部材を有する
ことを特徴とする請求項1から14までのいずれか1項に記載の基板収納容器。 - 前記第1筒部は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒であり、
前記第2筒部は、前記固定筒に組み合わされる保持筒である
ことを特徴とする請求項1から15までのいずれか1項に記載の基板収納容器。 - 前記第1筒部は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒であり、
前記第2筒部は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に連結された中蓋筒である
ことを特徴とする請求項1から15までのいずれか1項に記載の基板収納容器。 - 前記バルブ体は、前記気体を濾過するフィルタを有する
ことを特徴とする請求項1から17までのいずれか1項に記載の基板収納容器。 - 前記バルブ体は、前記容器本体に設けられた気体流路の途中に取り付けられている
ことを特徴とする請求項1から15までのいずれか1項に記載の基板収納容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017245185A JP7055949B2 (ja) | 2017-12-21 | 2017-12-21 | 基板収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017245185A JP7055949B2 (ja) | 2017-12-21 | 2017-12-21 | 基板収納容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019114603A true JP2019114603A (ja) | 2019-07-11 |
JP7055949B2 JP7055949B2 (ja) | 2022-04-19 |
Family
ID=67222796
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017245185A Active JP7055949B2 (ja) | 2017-12-21 | 2017-12-21 | 基板収納容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7055949B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7519281B2 (ja) | 2020-12-02 | 2024-07-19 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS281062Y1 (ja) * | 1951-10-17 | 1953-02-05 | ||
JPS4973722A (ja) * | 1972-10-19 | 1974-07-16 | ||
JP2000329241A (ja) * | 1999-05-21 | 2000-11-30 | Yokoyama Sanko Kk | バルブおよびバルブを備えた収納袋 |
JP2004146676A (ja) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 収納容器 |
JP2015142104A (ja) * | 2014-01-30 | 2015-08-03 | 村田機械株式会社 | パージ装置、パージストッカ、及び容器 |
-
2017
- 2017-12-21 JP JP2017245185A patent/JP7055949B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS281062Y1 (ja) * | 1951-10-17 | 1953-02-05 | ||
JPS4973722A (ja) * | 1972-10-19 | 1974-07-16 | ||
JP2000329241A (ja) * | 1999-05-21 | 2000-11-30 | Yokoyama Sanko Kk | バルブおよびバルブを備えた収納袋 |
JP2004146676A (ja) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 収納容器 |
JP2015142104A (ja) * | 2014-01-30 | 2015-08-03 | 村田機械株式会社 | パージ装置、パージストッカ、及び容器 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7519281B2 (ja) | 2020-12-02 | 2024-07-19 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7055949B2 (ja) | 2022-04-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6849180B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP4895222B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP2004146676A (ja) | 収納容器 | |
US11230427B2 (en) | Substrate storage container with umbrella-shaped seal lip | |
JP6922148B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP7055949B2 (ja) | 基板収納容器 | |
US11075099B2 (en) | Substrate storage container | |
JP6915203B2 (ja) | 基板収納容器 | |
KR102524025B1 (ko) | 가스 퍼지용 포트 | |
JP6870513B2 (ja) | 基板収納容器 | |
US20230274960A1 (en) | Substrate Storage Container | |
JP2020088278A (ja) | 基板収納容器 | |
JP2022088279A (ja) | 基板収納容器 | |
JP2024064564A (ja) | 基板収納容器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20201112 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211008 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211026 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211206 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220308 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220311 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7055949 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |