JP2019114603A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】金属製の部材を用いることなく、気体の流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供する。【解決手段】基板収納容器に取り付けられるバルブ体４０は、筒状の弾性体４４と、弾性体４４の一方側を被着する第１被着部４１０が形成された第１筒部４１と、弾性体４４の他方側を被着する第２被着部４３０が形成された第２筒部４３と、第１筒部４１と第２筒部４３とで形成される内部空間Ｓと、を有し、第１被着部４１０は、容器本体１０の外部に連通する第１連通孔４１１が形成され、第２筒部４２は、容器本体１０の内部に連通する第２連通孔４３１が、弾性体４４よりも外側の内部空間Ｓ側に形成されており、第１被着部４１０又は第２被着部４３０と、弾性体４４とが離間することで、容器本体１０に対する気体の流通を制御するものである。【選択図】図３

Description

本発明は、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体を備えた基板収納容器に関する。

基板を収納する基板収納容器は、容器本体と、容器本体の開口を閉止する蓋体と、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体を備えている。このバルブ体は、チェックバルブ機能を有するもので、弁体と、弁体を開閉させる金属製の弾性部材と、を有している（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。

バルブ体のチェックバルブ機能は、一方向の気体の流通を制御するものであるから、気体の流通方向に応じて、バルブ体自体が取り替えられたり、弁体及び弾性部材が組み替えられたりしている。

特開２００８−０６６３３０号公報 特開２００４−１７９４４９号公報

ところで、基板収納容器は、基板を気密状態で収納するために、バルブ体から気体が供給され、また、バルブ体を介して排出されるが、収納する基板の加工時に、基板に付着した残留物質も、供給した気体とともに排出されることがある。そのため、バルブ体の金属製の弾性部材などが、残留物質によって腐食されることがあった。

そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、金属製の部材を用いることなく、気体の流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供することを目的とする。

（１）本発明に係る１つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、筒状の弾性体と、前記弾性体の一方側を被着する第１被着部が形成された第１筒部と、前記弾性体の他方側を被着する第２被着部が形成された第２筒部と、前記第１筒部と前記第２筒部とで形成される内部空間と、を有し、前記第１被着部は、前記容器本体の外部に連通する第１連通孔が形成され、前記第２筒部は、前記容器本体の内部に連通する第２連通孔が、前記弾性体よりも外側の内部空間側に形成されており、前記第１被着部又は前記第２被着部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御するものである。
（２）本発明に係る別の１つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、筒状の弾性体と、前記弾性体の一方側を被着する第１被着部が形成された第１筒部と、前記弾性体の他方側を被着する第２被着部が形成された第２筒部と、前記第１筒部と前記第２筒部とで形成される内部空間と、を有し、前記第１筒部は、前記容器本体の外部に連通する第１連通孔が、前記弾性体よりも外側の内部空間側に形成され、前記第２被着部は、前記容器本体の内部に連通する第２連通孔が形成されており、前記第１被着部又は前記第２被着部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御するものである。
（３）本発明に係る別の１つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、筒状の弾性体と、前記弾性体の一方側を被着する第１被着部が形成された第１筒部と、前記弾性体の他方側を被着する第２被着部が形成された第２筒部と、前記第１筒部と前記第２筒部とで形成される内部空間と、前記第１被着部と前記第２被着部の間に位置するとともに、前記弾性体が接離する栓部と、を有し、前記第１被着部は、前記容器本体の外部に連通する第１連通孔が形成され、前記第２筒部は、前記容器本体の内部に連通する第２連通孔が、前記第２被着部よりも外側に形成され、前記弾性体は、前記栓部よりも前記第２被着部側に、第３連通孔が形成されており、前記栓部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御するものである。
（４）本発明に係る別の１つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、筒状の弾性体と、前記弾性体の一方側を被着する第１被着部が形成された第１筒部と、前記第１筒部との間に内部空間を形成する第２筒部と、前記第１筒部に形成され、前記弾性体の他方側を被着する栓部と、を有し、前記第１被着部は、前記容器本体の外部に連通する第１連通孔が形成され、前記第２筒部は、前記容器本体の内部に連通する第２連通孔が形成されており、前記栓部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御するものである。
（５）本発明に係る別の１つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、筒状の弾性体と、前記弾性体の一方側を被着する第１被着部が形成された第１筒部と、前記弾性体の他方側を被着する第２被着部が形成された第２筒部と、前記第１筒部と前記第２筒部とで形成される内部空間と、前記第１被着部と前記第２被着部の間に位置するとともに、前記弾性体が接離する栓部と、を有し、前記第１筒部は、前記容器本体の外部に連通する第１連通孔が、前記弾性体よりも外側の内部空間側に形成され、前記第２被着部は、前記容器本体の内部に連通する第２連通孔が形成され、前記弾性体は、前記栓部よりも前記第１被着部側に、第３連通孔が形成されており、前記栓部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御するものである。
（６）本発明に係る別の１つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、筒状の弾性体と、前記弾性体の他方側を被着する第２被着部が形成された第２筒部と、第２筒部との間に内部空間を形成する第１筒部と、前記第２筒部に形成され、前記弾性体の一方側を被着する栓部と、を有し、前記第１筒部は、前記容器本体の外部に連通する第１連通孔が形成され、前記第２被着部は、前記容器本体の内部に連通する第２連通孔が形成されており、前記栓部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御するものである。
（７）本発明に係る別の１つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、筒状の弾性体と、前記弾性体を外面に被着する第１被着部が形成された第１筒部と、前記第１筒部との間に内部空間を形成する第２筒部と、を有し、前記第１被着部は、前記容器本体の外部に連通する第１連通孔が形成されるとともに、前記第１連通孔と前記外面とを連通する第４連通孔が形成され、前記第２筒部は、前記容器本体の内部に連通する第２連通孔が形成されており、前記第４連通孔と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御するものである。
（８）本発明に係る別の１つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、前記バルブ体は、筒状の弾性体と、前記弾性体を外面に被着する第２被着部が形成された第２筒部と、前記第２筒部との間に内部空間を形成する第１筒部と、を有し、前記第２被着部は、前記容器本体の内部に連通する第２連通孔が形成されるとともに、前記第２連通孔と前記外面とを連通する第４連通孔が形成され、前記第１筒部は、前記容器本体の外部に連通する第１連通孔が形成されており、前記第４連通孔と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御するものである。

本発明によれば、金属製の部材を用いることなく、気体の流通を制御できるバルブ体を備える基板収納容器を提供することができる。

本発明に係る実施形態の基板収納容器を示す概略分解斜視図である。 第１実施形態のバルブ体を示す、（ａ）断面斜視図、（ｂ）断面図である。 基板収納容器に取り付けられた第１実施形態のバルブ体の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。 基板収納容器に取り付けられた第２実施形態のバルブ体の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。 基板収納容器に取り付けられた第３実施形態のバルブ体の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。 基板収納容器に取り付けられた第４実施形態のバルブ体の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。 第５実施形態のバルブ体を示す、（ａ）断面斜視図、（ｂ）断面図である。 基板収納容器に取り付けられた第５実施形態のバルブ体の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。 基板収納容器に取り付けられた第６実施形態のバルブ体の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。 基板収納容器に取り付けられた第７実施形態のバルブ体の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。 基板収納容器に取り付けられた第８実施形態のバルブ体の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。 弾性体の取り付け構造を示す概略断面図であり、（ａ）変形例１、（ｂ）変形例２である。 基板収納容器に取り付けられた第９実施形態のバルブ体を示す、（ａ）取り付け状態、（ｂ）概略断面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。

図１は、本発明に係る実施形態の基板収納容器１を示す概略分解斜視図である。
図１に示すように、基板収納容器１は、基板Ｗを収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉止する蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０との間に設けられる環状のパッキン３０と、を備えている。

容器本体１０は、箱状体であり、開口１１が正面に形成されたフロントオープン型である。開口１１は、外側に広がるように段差をつけて屈曲形成され、その段差部の面が、パッキン３０が接触するシール面１２として、開口１１の正面の内周縁に形成されている。なお、容器本体１０は、３００ｍｍ径や４５０ｍｍ径の基板Ｗの挿入操作を行い易いことから、フロントオープン型が好ましいが、開口１１が下面に形成されたボトムオープン型であってもよい。

容器本体１０の内部の左右両側には、支持体１３が配置されている。支持体１３は、基板Ｗの載置及び位置決めをする機能を有している。支持体１３には、複数の溝が高さ方向に形成され、いわゆる溝ティースを構成している。そして、基板Ｗは、同じ高さの左右２か所の溝ティースに載置されている。支持体１３の材料は、容器本体１０と同様のものであってもよいが、洗浄性や摺動性を高めるために、異なる材料が用いられてもよい。

また、容器本体１０の内部の後方（奥側）には、リアリテーナ（図示なし）が配置されている。リアリテーナは、蓋体２０が閉止された場合に、後述するフロントリテーナと対となって、基板Ｗを保持する。ただし、本実施形態のようにリアリテーナを備えることなく、支持体１３が、溝ティースの奥側に、例えば、「く」字状や直線状をした基板保持部を有することで、フロントリテーナと基板保持部とで基板Ｗを保持するようなものであってもよい。これらの支持体１３やリアリテーナは、容器本体１０にインサート成形や嵌合などにより設けられている。

基板Ｗは、この支持体１３に支持されて容器本体１０に収納される。なお、基板Ｗの一例としては、シリコンウェーハが挙げられるが特に限定されず、例えば、石英ウェーハ、ガリウムヒ素ウェーハなどであってもよい。

容器本体１０の天井中央部には、ロボティックフランジ１４が着脱自在に設けられている。清浄な状態で基板Ｗを気密収納した基板収納容器１は、工場内の搬送ロボットで、ロボティックフランジ１４を把持されて、基板Ｗを加工する工程ごとの加工装置に搬送される。

また、容器本体１０の両側部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルハンドル１５がそれぞれ着脱自在に装着されている。

そして、容器本体１０の内部の底面には、給気部１６と排気部１７とが設けられており、容器本体１０の外部の底面には、後述するバルブ体４０，５０が取り付けられている。これらは、蓋体２０によって閉止された基板収納容器１の内部に、給気部１６から窒素ガスなどの不活性気体やドライエアーを供給し、必要に応じて排気部１７から排出することで、基板収納容器１の内部の気体を置換したり、低湿度の気密状態を維持したり、基板Ｗ上の不純物質を吹き飛ばしたりして、基板収納容器１の内部の清浄性を保つようになっている。なお、気体を給気部１６から給気するだけでなく、排気部１７を負圧（真空）発生装置に接続し、強制的に排気部１７から気体を排出することもある。

さらに、排気部１７から排気された気体を検知することで、基板収納容器１の内部が導入された気体で置換されたか確認することができる。なお、給気部１６及び排気部１７は、基板Ｗを底面へ投影した位置から外れた位置にあるのが好ましいが、給気部１６及び排気部１７の数量や位置は、図示したものに限らず、容器本体１０の底面の四隅部に位置していてもよい。また、給気部１６及び排気部１７は、蓋体２０の側に取り付けられてもよい。

一方、蓋体２０は、容器本体１０の開口１１の正面に取り付けられる、略矩形状のものである。蓋体２０は、図示しない施錠機構を有しており、容器本体１０に形成された係止穴（図示なし）に係止爪が嵌入することで施錠されるようになっている。また、蓋体２０は、中央部に基板Ｗの前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ（図示なし）が着脱自在に装着又は一体形成されている。

このフロントリテーナは、支持体１３の溝ティース及び基板保持部などと同様に、ウェーハが直接接触する部位であるため、洗浄性や摺動性が良好な材料が用いられている。フロントリテーナも、蓋体２０にインサート成形や嵌合などで設けることができる。

そして、蓋体２０には、パッキン３０を取り付ける取付溝２１が形成されている。より詳しくは、蓋体２０の容器本体１０側の面には、開口１１の段差部より小さい凸部２２が環状に形成されることで、断面略Ｕ字状の取付溝２１が環状に形成されている。この凸部２２は、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた時、開口１１の段差部より奥に入り込む。

これらの容器本体１０及び蓋体２０の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。この熱可塑性樹脂は、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子などからなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤などが更に適宜添加されてもよい。

つぎに、パッキン３０は、蓋体２０の正面形状（及び容器本体１０の開口１１の形状）に対応した環状のものであり、本実施形態では、矩形枠状のものである。ただし、環状のパッキン３０は、蓋体２０への取り付け前の状態で、円環（リング）状であってもよい。

パッキン３０は、容器本体１０のシール面１２と蓋体２０との間に配置され、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた際に、シール面１２と蓋体２０とに密着して基板収納容器１の気密性を確保し、基板収納容器１への外部からの塵埃、湿気などの侵入を低減させるとともに、内部から外部への気体の漏れを低減させるものである。

パッキン３０の材料としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性材を用いることができる。これらの材料には、密着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウムなどからなる充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂が所定量選択的に添加されてもよい。

ここで、第１実施形態のバルブ体４０について説明する。図２は、第１実施形態のバルブ体４０を示す、（ａ）断面斜視図、（ｂ）断面図である。図３は、基板収納容器１に取り付けられた第１実施形態のバルブ体４０の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。

バルブ体４０は、容器本体１０に対する気体の流通を制御するもので、容器本体１０に取り付けられた際に、図示されない気体流路を介して給気部１６と連通している。

バルブ体４０は、容器本体１０のリブ１８０によって形成された貫通孔１８（図３参照）に下方から嵌められる固定筒４１と、貫通孔１８にシール部材４５を介して上方から嵌入されて、固定筒４１に上方から螺合により着脱自在に組み合わされる保持筒４２と、を有している。これにより、固定筒４１と保持筒４２との間には、内部空間Ｓが形成される。

固定筒４１は、容器本体１０の内部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、固定筒４１の内周面には、保持筒４２を取り付けるための取り付け用の螺子溝４１２が螺刻形成されている。また、固定筒４１の外周面には、半径外方向に延びるリング状のフランジ４１３が周設されており、リブ１８０の開口周縁部に接触するようになっている。

さらに、固定筒４１には、第１被着部４１０が、底部中心に底部から立ち上がって、保持筒４２に向かって延びて円柱状に形成されている。また、第１被着部４１０の内側には、容器本体１０の外部に連通する第１連通孔４１１が形成されている。

一方、保持筒４２は、容器本体１０の外部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、保持筒４２の外周面には、半径外方向に延びるリング状のフランジ４２３が周設されており、貫通孔１８の開口周縁に接触している。さらに、保持筒４２の外周面には、固定筒４１へ取り付けるための螺子溝４２２が螺刻形成され、この螺子溝４２２が固定筒４１の螺子溝４１２と螺合する。ただし、固定筒４１及び保持筒４２は、螺合でなく、圧入や係止などの他の方法で互いに取り付けられてもよい。

また、保持筒４２は、容器本体１０の内部に連通する側に、気体流通用の複数の通気口４２１を区画する区画リブ４２４が格子状又は放射状に配設されていて、この区画リブ４２４の裏面（固定筒４１側）には、後述するフィルタ４６を収納する収納空間が形成されている。

なお、保持筒４２は、外周面にシール部材４５が装着されており、保持筒４２と貫通孔１８の内周面との間から、容器本体１０の内部に侵入する外気や洗浄液を遮断し、また、容器本体１０の内部から漏れる気体を遮断することができる。

ところで、バルブ体４０は、保持筒４２の内周壁にシール部材４７を介して取り付けられ、保持筒４２との間にフィルタ４６を保持する中蓋筒４３も有している。つまり、固定筒４１と、保持筒４２に取り付けられた中蓋筒３３との間に、内部空間Ｓが形成されている。

中蓋筒４３は、容器本体１０の外部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、容器本体１０の内部側に、フィルタ４６が載置されるようになっている。また、中蓋筒４３の外周面には突起が形成されており、保持筒４２の内周面側に形成された係止溝と係止することで、中蓋筒４３は、保持筒４２に連結され取り付けられている。

さらに、この中蓋筒４３には、第２被着部４３０が、天部中心に天部から立ち下がって、固定筒４１に向かって延びて円柱状に形成されている。また、第２被着部４３０の外側（内部空間Ｓに晒される側）には、容器本体１０の内部に連通する第２連通孔４３１が形成されている。なお、第１実施形態では、第２被着部４３０を中実の円柱状としたが、先端を中実の円錐台状に形成してもよい。さらに、第２被着部４３０の固定筒４１側が円形凹状に窪んで（略中空になって）いてもよい。

上述した固定筒４１、保持筒４２及び中蓋筒４３は、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂を材料として成形されている。また、シール部材４５，４７には、例えば、フッ素ゴム、ＮＢＲゴム、ウレタンゴム、ＥＰＤＭゴム、シリコーンゴムなどの材料から形成された、Ｏリングなどが用いられている。

さらに、バルブ体４０は、第１被着部４１０と、第２被着部４３０と、を覆う弾性体４４を有している。弾性体４４は、第１被着部４１０又は第２被着部４３０の少なくとも小さい方の外径と、等しいか小さい内径の内部通路を有する円筒状であり、弾性体４４の一方側端部及び他方側端部は、それぞれ第１被着部４１０及び第２被着部４３０に取り付けられている。なお、弾性体４４を引き伸ばした状態で取り付けることにより、弾性体４４の内径は、小さくなるため、第１被着部４１０又は第２被着部４３０の外径と等しい内径であっても、第１被着部４１０又は第２被着部４３０に対する密着性が向上する。

弾性体４４の材料としては、各種ゴムや熱可塑性エラストマー樹脂などを用いることができる。例えば、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどを用いることができる。

そして、フィルタ４６は、供給又は排出される気体を濾過するものであり、四フッ化エチレン、ポリエステル繊維、フッ素樹脂などからなる多孔質膜、ガラス繊維などからなる分子濾過フィルタ、活性炭繊維などの濾材に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタなどから選択される。

フィルタ４６は、保持筒４２と中蓋筒４３との間に、１枚又は複数枚保持されている。なお、複数枚のフィルタ４６を用いる場合は、同種類のものであってもよいが、性質の異なるものを組み合わせた方が、パーティクル以外に、有機物の汚染なども防止することができるため、より好ましい。例えば、フィルタ４６は、容器本体１０を洗浄する際に、水や洗浄液などの液体が滞留しないように、液体の通過を抑制する機能も奏するため、フィルタ４６の一方に疎水性又は親水性の材料を用いて、液体の透過を更に抑制してもよい。

最後に、第１実施形態のバルブ体４０が、気体の流通を制御する状態を説明する。
図３（ａ）において、第１連通孔４１１に陽圧が加わらないか、第２連通孔４３１に陽圧が加わると、弾性体４４は、第１被着部４１０及び第２被着部４３０に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。

逆に、図３（ｂ）に矢印で示したように、第１連通孔４１１に所定値以上の陽圧が加わると、弾性体４４は、陽圧の大きさに応じて弾性変形し膨らむことで、第１被着部４１０又は第２被着部４３０との間に隙間Ｃを形成する。そして、第１連通孔４１１側からの気体は、この隙間Ｃを通過し、内部空間Ｓに開放されて、第２連通孔４３１側へ流通し、容器本体１０の内部に供給される。

このように、第１実施形態のバルブ体４０は、外部からの気体の流通のみを可能とすることができる。このとき、気体の流通が可能となる圧力の所定値は、弾性体４４の材料、硬度や厚み、第１被着部４１０と第２被着部４３０との間隔を変更することで調節可能である。また、例えば、第１実施形態では、弾性体４４の厚みを、第１被着部４１０側よりも第２被着部４３０側を薄く形成しており、弾性体４４と第２被着部４３０との間に隙間Ｃが形成されるように構成しているが、逆に、弾性体４４と第１被着部４１０との間に隙間Ｃが形成されてもよい。さらに、第１被着部４１０又は第２被着部４３０の先端を円錐台状に形成した場合は、弾性体４４は、第１被着部４１０又は第２被着部４３０の外周面と面接触でなく、ほぼ円環状の線接触になるため、より低い圧力で弾性体４４と第１被着部又は第２被着部４３０との間に隙間Ｃを形成することができる。

（第２実施形態）
つぎに、第２実施形態のバルブ体１４０について説明する。図４は、基板収納容器１に取り付けられた第２実施形態のバルブ体１４０の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。

バルブ体１４０は、第１実施形態のバルブ体４０と同様に、固定筒４１と、保持筒４２と、中蓋筒１４３と、を有している。これらの構成は、基本的に第１実施形態のバルブ体４０と同一であるから、ほぼ同一の部分については説明を省略し、異なる部分について詳細に説明する。

中蓋筒１４３には、第２被着部４３０が、天部中心に天部から立ち下がって、固定筒４１に向かって延びて円柱状に形成されている。また、第２被着部４３０の外側（内部空間Ｓに面する側）には、容器本体１０の内部に連通する第２連通孔４３１が形成されている。

さらに、第２被着部４３０には、支柱４８が垂下され、支柱４８の先端に円板状の栓部４９が形成されている。ただし、逆に、支柱４８が第１被着部４１０の側からステーなどで支持されて、第１被着部４１０よりも第２被着部４３０側に突出するように形成されてもよい。

この円板状の栓部４９は、第１被着部４１０と第２被着部４３０との間に位置するとともに、第１被着部４１０又は第２被着部４３０の少なくとも小さい方の外径と等しいか、外径よりも大きい直径を有している。なお、第２実施形態では、第１被着部４１０の外径、第２被着部４３０の外径、及び円板状の栓部４９の外径は、すべて等しい直径で形成されている。

弾性体１４４は、円板状の栓部４９に密着するように、第１被着部４１０と、第２被着部４３０とに渡って取り付けられている。さらに、弾性体１４４には、円板状の栓部４９よりも第２被着部４３０側に少なくとも１つの第３連通孔１４４１が形成されている。

最後に、第２実施形態のバルブ体１４０が、気体の流通を制御する状態を説明する。
図４（ａ）において、第１連通孔４１１に陽圧が加わらないか、第２連通孔４３１に陽圧が加わると、弾性体１４４は、円板状の栓部４９に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。

逆に、図４（ｂ）に矢印で示したように、第１連通孔４１１に所定値以上の陽圧が加わると、弾性体４４は、陽圧の大きさに応じて弾性変形し膨らむことで、円板状の栓部４９との間に隙間Ｃを形成する。そして、第１連通孔４１１側からの気体は、この隙間Ｃを通過し、内部空間Ｓに開放されて、第２連通孔４３１側へ流通し、容器本体１０の内部に供給される。

このように、第２実施形態のバルブ体１４０は、外部からの気体の流通のみを可能とすることができる。このとき、気体の流通が可能となる圧力の所定値は、弾性体１４４の材料、硬度や厚み、第１被着部４１０と第２被着部４３０との間隔、円板状の栓部４９の位置を変更することで調節可能である。

（第３実施形態）
つぎに、第３実施形態のバルブ体２４０について説明する。図５は、基板収納容器１に取り付けられた第３実施形態のバルブ体２４０の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。

バルブ体２４０は、第１実施形態のバルブ体４０と同様に、固定筒２４１と、保持筒４２と、中蓋筒４３と、を有している。これらの構成は、基本的に第１実施形態のバルブ体４０と同一であるから、ほぼ同一の部分については説明を省略し、異なる部分について詳細に説明する。

固定筒２４１には、支柱４８がステーなどで支持され、支柱４８の先端に円板状の栓部４９が形成されている。この円板状の栓部４９は、第１被着部４１０と第２被着部４３０との間に位置するとともに、第１被着部４１０又は第２被着部４３０の少なくとも小さい方の外径と等しいか、外径よりも大きい直径を有している。なお、第３実施形態では、第１被着部４１０の外径及び円板状の栓部４９の外径は、等しい直径で形成されている。

中蓋筒４３には、第２被着部４３０が、天部中心に天部から立ち下がって、固定筒２４１に向かって延びて円柱状に形成されている。ただし、この第２被着部４３０は、中蓋筒４３を他の実施形態での流用を可能にするために、存在するもので、本実施形態では必ずしも必須の構成ではない。

弾性体４４は、円板状の栓部４９に密着するように、第１被着部４１０と、円板状の栓部４９とのみに渡って取り付けられている。

最後に、第３実施形態のバルブ体２４０が、気体の流通を制御する状態を説明する。
図５（ａ）において、第１連通孔４１１に陽圧が加わらないか、第２連通孔４３１に陽圧が加わると、弾性体４４は、円板状の栓部４９に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。

逆に、図５（ｂ）に矢印で示したように、第１連通孔４１１に所定値以上の陽圧が加わると、弾性体１４４は、陽圧の大きさに応じて弾性変形し膨らむことで、円板状の栓部４９との間に隙間Ｃを形成する。そして、第１連通孔４１１側からの気体は、この隙間Ｃを通過し、内部空間Ｓに開放されて、第２連通孔４３１側へ流通し、容器本体１０の内部に供給される。

このように、第３実施形態のバルブ体２４０は、外部からの気体の流通のみを可能とすることができる。このとき、気体の流通が可能となる圧力の所定値は、弾性体４４の材料、硬度や厚み、第１被着部４１０と円板状の栓部４９との間隔を変更することで調節可能である。

（第４実施形態）
つぎに、第４実施形態のバルブ体３４０について説明する。図６は、基板収納容器１に取り付けられた第４実施形態のバルブ体３４０の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。

バルブ体３４０は、第１実施形態のバルブ体４０と同様に、固定筒３４１と、保持筒４２と、中蓋筒４３と、を有している。これらの構成は、基本的に第１実施形態のバルブ体４０と同一であるから、ほぼ同一の部分については説明を省略し、異なる部分について詳細に説明する。

固定筒３４１には、第１被着部４１０が、底部中心に底部から立ち上がって、保持筒４２に向かって延びて円柱状に形成されている。また、第１被着部４１０の外周面には、少なくとも１つの第４連通孔１４１１が形成されており、第１被着部４１０の先端には、円板状の栓部４９が形成されている。この円板状の栓部４９は、第１被着部４１０の外径と等しい直径を有している。

中蓋筒４３には、第２被着部４３０が、天部中心に天部から立ち下がって、固定筒３４１に向かって延びて円柱状に形成されている。ただし、この第２被着部４３０は、中蓋筒４３を他の実施形態での流用を可能にするために、存在するもので、本実施形態では必ずしも必須の構成ではない。

弾性体４４は、第１被着部４１０及び円板状の栓部４９の外周面に密着し、第４連通孔１４１１を閉止するように、第１被着部４１０に取り付けられている。

最後に、第４実施形態のバルブ体３４０が、気体の流通を制御する状態を説明する。
図６（ａ）において、第１連通孔４１１に陽圧が加わらないか、第２連通孔４３１に陽圧が加わると、弾性体４４は、第４連通孔１４１１に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。

逆に、図６（ｂ）に矢印で示したように、第１連通孔４１１に所定値以上の陽圧が加わると、弾性体４４は、陽圧の大きさに応じて弾性変形し膨らむことで、第４連通孔１４１１から離間し、さらに、円板状の栓部４９との間に隙間Ｃを形成する。そして、第１連通孔４１１側からの気体は、この第４連通孔１４１１及び隙間Ｃを通過し、内部空間Ｓに開放されて、第２連通孔４３１側へ流通し、容器本体１０の内部に供給される。

このように、第４実施形態のバルブ体３４０は、外部からの気体の流通のみを可能とすることができる。このとき、気体の流通が可能となる圧力の所定値は、弾性体４４の材料、硬度や厚み、第４連通孔１４１１の総開口面積を変更することで調節可能である。

（第５実施形態）
つぎに、第５実施形態のバルブ体５０について説明する。図７は、第５実施形態のバルブ体５０を示す、（ａ）断面斜視図、（ｂ）断面図である。図８は、基板収納容器１に取り付けられたバルブ体５０の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。

バルブ体５０は、容器本体１０に対する気体の流通を制御するもので、容器本体１０に取り付けられた際に、図示されない気体流路を介して排気部１７と連通している。

バルブ体５０は、図７に示すように、容器本体１０のリブ１８０によって形成された貫通孔１８（図８参照）に下方から嵌められる固定筒５４１と、貫通孔１８にシール部材４５を介して上方から嵌入されて、固定筒５４１に上方から螺合により着脱自在に組み合わされる保持筒４２と、を有している。これにより、固定筒５４１と保持筒４２との間には、内部空間Ｓが形成される。

固定筒５４１は、容器本体１０の内部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、固定筒５４１の内周面には、保持筒４２を取り付けるための取り付け用の螺子溝４１２が螺刻形成されている。また、固定筒４１の外周面には、半径外方向に延びるリング状のフランジ４１３が周設されており、リブ１８０の開口周縁部に接触するようになっている。

さらに、固定筒５４１には、第１被着部４１０が、底部中心に底部から立ち上がって、保持筒４２に向かって延びて円柱状に形成されている。また、第１被着部４１０の外側（内部空間Ｓに晒される側）には、容器本体１０の外部に連通する第１連通孔４１１が形成されている。なお、第５実施形態では、第１被着部４１０を中実の円柱状としたが、先端を中実の円錐台状に形成してもよい。さらに、第１被着部４１０の保持筒４２側が円形凹状に窪んで（略中空になって）いてもよい。

一方、保持筒４２は、容器本体１０の外部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、保持筒４２の外周面には、半径外方向に延びるリング状のフランジ４２３が周設されており、貫通孔１８の開口周縁に接触している。さらに、保持筒４２の外周面には、固定筒５４１へ取り付けるための螺子溝４２２が螺刻形成され、この螺子溝４２２が固定筒５４１の螺子溝４１２と螺合する。ただし、固定筒５４１及び保持筒４２は、螺合でなく、圧入や係止などの他の方法で互いに取り付けられてもよい。

また、保持筒４２は、容器本体１０（底面）の内部側に、気体流通用の複数の通気口４２１を区画する区画リブ４２４が格子状又は放射状に配設されていて、この区画リブ４２４の裏面には、後述するフィルタ４６を収納する収納空間が形成されている。

なお、保持筒４２は、外周面にシール部材４５が装着されており、保持筒４２と貫通孔１８の内周面との間から、容器本体１０の内部に侵入する外気や洗浄液を遮断し、また、容器本体１０の内部から漏れる気体を遮断することができる。

ところで、バルブ体５０は、保持筒４２の内周壁にシール部材４７を介して取り付けられ、保持筒４２との間にフィルタ４６を保持する中蓋筒５４３も有している。

中蓋筒５４３は、容器本体１０の外部側が開口した有底円筒状に形成されているとともに、容器本体１０の内部側に、フィルタ４６が載置されるようになっている。また、中蓋筒５４３の外周面には突起が形成されており、保持筒４２の内周面側に形成された係止溝と係止することで、中蓋筒５４３は、保持筒４２に連結され取り付けられている。

さらに、この中蓋筒５４３には、第２被着部４３０が、天部中心に天部から立ち下がって、固定筒５４１に向かって延びて円柱状に形成されている。また、第２被着部４３０の内側には、容器本体１０の内部に連通する第２連通孔４３１が形成されている。

さらに、バルブ体５０は、第１被着部４１０と、第２被着部４３０と、を覆う弾性体４４を有している。弾性体４４は、第１被着部４１０又は第２被着部４３０の少なくとも小さい方の外径と等しいか小さい内径の内部通路を有する円筒状であり、弾性体４４の一方側端部及び他方側端部は、それぞれ第１被着部４１０及び第２被着部４３０に取り付けられている。なお、弾性体４４を引き伸ばした状態で取り付けることにより、弾性体４４の内径は、小さくなるため、第１被着部４１０又は第２被着部４３０の外径と等しい内径であっても、第１被着部４１０又は第２被着部４３０に対する密着性が向上する。

最後に、第５実施形態のバルブ体５０が、気体の流通を制御する状態を説明する。
図８（ａ）において、第２連通孔４３１に陽圧が加わらないか、第１連通孔４１１に陽圧が加わると、弾性体４４は、第１被着部４１０及び第２被着部４３０に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。

逆に、図８（ｂ）に矢印で示したように、第２連通孔４３１に所定値以上の陽圧が加わると、弾性体４４は、陽圧の大きさに応じて弾性変形し膨らむことで、第１被着部４１０又は第２被着部４３０との間に隙間Ｃを形成する。そして、第２連通孔４３１側からの気体は、この隙間Ｃを通過し、内部空間Ｓに開放されて、第１連通孔４１１側へ流通し、容器本体１０の外部に排気される。

このように、第５実施形態のバルブ体５０は、内部からの気体の流通のみを可能とすることができる。このとき、気体の流通が可能となる圧力の所定値は、弾性体４４の材料、硬度や厚み、第１被着部４１０と第２被着部４３０との間隔を変更することで調節可能である。また、例えば、本実施形態では、弾性体４４の厚みを、第１被着部４１０側よりも第２被着部４３０側を薄く形成しており、弾性体４４と第２被着部４３０との間に隙間Ｃが形成されるように構成しているが、逆に、弾性体４４と第１被着部４１０との間に隙間Ｃが形成されてもよい。さらに、第１被着部４１０又は第２被着部４３０の先端を円錐台状に形成した場合は、弾性体４４は、第１被着部４１０又は第２被着部４３０の外周面と面接触でなく、ほぼ円環状の線接触になるため、より低い圧力で弾性体４４と第１被着部４１０又は第２被着部４３０との間に隙間Ｃを形成することができる。

（第６実施形態）
つぎに、第６実施形態のバルブ体１５０について説明する。図９は、基板収納容器１に取り付けられた第６実施形態のバルブ体１５０の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。

バルブ体１５０は、第５実施形態のバルブ体５０と同様に、固定筒６４１と、保持筒４２と、中蓋筒５４３と、を有している。これらの構成は、基本的に第５実施形態のバルブ体５０と同一であるから、ほぼ同一の部分については説明を省略し、異なる部分について詳細に説明する。

固定筒６４１には、支柱４８がステーなどで支持され、支柱４８の先端に円板状の栓部４９が形成されている。この円板状の栓部４９は、第１被着部４１０と第２被着部４３０との間に位置するとともに、第１被着部４１０又は第２被着部４３０の少なくとも小さい方の外径と等しいか、外径よりも大きい直径を有している。なお、第６実施形態では、第１被着部４１０の外径、第２被着部４３０の外径、及び円板状の栓部４９の外径は、すべて等しい直径で形成されている。

弾性体１４４は、円板状の栓部４９に密着するように、第１被着部４１０と、第２被着部４３０とに渡って取り付けられている。さらに、弾性体１４４には、円板状の栓部４９よりも第１被着部４１０側に少なくとも１つの第３連通孔１４４１が形成されている。

最後に、第６実施形態のバルブ体１５０が、気体の流通を制御する状態を説明する。
図９（ａ）において、第２連通孔４３１に陽圧が加わらないか、第１連通孔４１１に陽圧が加わると、弾性体１４４は、円板状の栓部４９に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。

逆に、図９（ｂ）に矢印で示したように、第２連通孔４３１に所定値以上の陽圧が加わると、弾性体１４４は、陽圧の大きさに応じて弾性変形し膨らむことで、円板状の栓部４９との間に隙間Ｃを形成する。そして、第２連通孔４３１側からの気体は、この隙間Ｃを通過し、内部空間Ｓに開放されて、第１連通孔４１１側へ流通し、容器本体１０の外部に排気される。

このように、第６実施形態のバルブ体１５０は、内部からの気体の流通のみを可能とすることができる。このとき、気体の流通が可能となる圧力の所定値は、弾性体１４４の材料、硬度や厚み、第１被着部４１０と第２被着部４３０との間隔、円板状の栓部４９の位置を変更することで調節可能である。

（第７実施形態）
つぎに、第７実施形態のバルブ体２５０について説明する。図１０は、基板収納容器１に取り付けられた第７実施形態のバルブ体２５０の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。

バルブ体２５０は、第５実施形態のバルブ体５０と同様に、固定筒５４１と、保持筒４２と、中蓋筒６４３と、を有している。これらの構成は、基本的に第５実施形態のバルブ体５０と同一であるから、ほぼ同一の部分については説明を省略し、異なる部分について詳細に説明する。

固定筒５４１には、第１被着部４１０が、底部中心に底部から立ち上がって、保持筒４２に向かって延びて円柱状に形成されている。ただし、この第１被着部４１０は、固定筒５４１を他の実施形態での流用を可能にするために、存在するもので、本実施形態では必ずしも必須の構成ではない。

中蓋筒６４３には、支柱４８がステーなどで支持されて、支柱４８の先端に円板状の栓部４９が形成されている。この円板状の栓部４９は、第１被着部４１０と第２被着部４３０との間に、第２被着部４３０から離間して位置するとともに、第２被着部４３０の外径と等しいか、外径よりも大きい直径を有している。なお、第７実施形態では、第１被着部４１０の外径及び円板状の栓部４９の外径は、すべて等しい直径で形成されている。

弾性体４４は、円板状の栓部４９に密着するように、第２被着部４３０と、円板状の栓部４９とのみに渡って取り付けられている。

最後に、第７実施形態のバルブ体２５０が、気体の流通を制御する状態を説明する。
図１０（ａ）において、第２連通孔４３１に陽圧が加わらないか、第１連通孔４１１に陽圧が加わると、弾性体４４は、円板状の栓部４９に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。

逆に、図１０（ｂ）に矢印で示したように、第２連通孔４３１に所定値以上の陽圧が加わると、弾性体４４は、陽圧の大きさに応じて弾性変形し膨らむことで、円板状の栓部４９との間に隙間Ｃを形成する。そして、第２連通孔４３１側からの気体は、この隙間Ｃを通過し、内部空間Ｓに開放されて、第１連通孔４１１側へ流通し、容器本体１０の外部に排気される。

このように、第７実施形態のバルブ体２５０は、内部からの気体の流通のみを可能とすることができる。このとき、気体の流通が可能となる圧力の所定値は、弾性体４４の材料、硬度や厚み、第２被着部４３０と円板状の栓部４９との間隔を変更することで調節可能である。

（第８実施形態）
つぎに、第８実施形態のバルブ体３５０について説明する。図１１は、基板収納容器１に取り付けられた第８実施形態のバルブ体３５０の、（ａ）気体流通を遮断した状態、（ｂ）気体流通を可能にした状態、をそれぞれ示す概略断面図である。

バルブ体３５０は、第５実施形態のバルブ体５０と同様に、固定筒５４１と、保持筒４２と、中蓋筒７４３と、を有している。これらの構成は、基本的に第５実施形態のバルブ体５０と同一であるから、ほぼ同一の部分については説明を省略し、異なる部分について詳細に説明する。

固定筒５４１には、第１被着部４１０が、底部中心に底部から立ち上がって、保持筒４２に向かって延びて円柱状に形成されている。ただし、この第１被着部４１０は、固定筒５４１を他の実施形態での流用を可能にするために、存在するもので、本実施形態では必ずしも必須の構成ではない。

中蓋筒７４３には、第２被着部４３０が、天部中心に天部から立ち下がって、固定筒５４１に向かって延びて円柱状に形成されている。また、第２被着部４３０の外周面には、少なくとも１つの第４連通孔１４３１が形成されており、第２被着部４３０の先端には、円板状の栓部４９が形成されている。この円板状の栓部４９は、第２被着部４３０の外径と等しい直径を有している。

弾性体４４は、第２被着部４３０及び円板状の栓部４９の外周面に密着し、第４連通孔１４３１を閉止するように、第３被着部４３０に取り付けられている。

最後に、第８実施形態のバルブ体３５０が、気体の流通を制御する状態を説明する。
図１１（ａ）において、第２連通孔４３１に陽圧が加わらないか、第１連通孔４１１に陽圧が加わると、弾性体４４は、第４連通孔１４３１に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。

逆に、図１１（ｂ）に矢印で示したように、第２連通孔４３１に所定値以上の陽圧が加わると、弾性体４４は、陽圧の大きさに応じて弾性変形し膨らむことで、第４連通孔１４３１から離間し、さらに、円板状の栓部４９との間に隙間Ｃを形成する。そして、第２連通孔４３１側からの気体は、この第４連通孔１４３１及び隙間Ｃを通過し、内部空間Ｓに開放されて、第１連通孔４１１側へ流通し、容器本体１０の外部に排気される。

このように、第８実施形態のバルブ体３５０は、内部からの気体の流通のみを可能とすることができる。このとき、気体の流通が可能となる圧力の所定値は、弾性体４４の材料、硬度や厚み、第４連通孔１４３１の総開口面積を変更することで調節可能である。

以上説明したとおり、本発明に係る第１実施形態〜第８実施形態の基板収納容器１は、バルブ体４０，１４０，２４０，３４０，５０，１５０，２５０，３５０は、第１被着部４１０、第２被着部４３０又は円板状の栓部４９との間に隙間Ｃを形成するか、又は密着する弾性体４４，１４４を有するものであり、容器本体１０に対する気体の流通を制御するものである。

これにより、バルブ体４０，１４０，２４０，３４０，５０，１５０，２５０，３５０の一方側から気体が導入され（陽圧になり）、所定の圧力値になると、弾性体４４が膨らみ、第１被着部４１０、第２被着部４３０又は円板状の栓部４９との間に隙間Ｃを形成するため、導入された気体は、内部空間Ｓを経由してバルブ体４０，１４０，２４０，３４０，５０，１５０，２５０，３５０の他方側へ流通されることになる。

また、基板収納容器１は、金属性の部材を用いないバルブ体４０，１４０，２４０，３４０，５０，１５０，２５０，３５０を備えているため、収納する基板Ｗに金属腐食性の残留物質があったとしても、金属腐食の問題が起こらず、バルブ体４０，１４０，２４０，３４０，５０，１５０，２５０，３５０が作動しないようなことが起こり難い。

くわえて、各実施形態の基板収納容器１を用いて湿度保持試験を行ったが、時間の経過による湿度低下は、従来のものに対して特に大きな差は見られなかった。

以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。

（変形例）
第１実施形態及び第５実施形態において、バルブ体４０，５０は、固定筒４１，５４１と保持筒４２との間に形成される内部空間Ｓに、水溜まりを防止する別部品として形成されたリング部材６０を有してもよい（図２（ｂ）参照）。ただし、このリング部材６０は、弾性体４４の変形、第１連通孔４１１，第２連通孔４３１を塞がないような形状で、できる限り内部空間Ｓを埋めるものがよい。また、このリング部材６０は、第２〜４実施形態及び第６〜８実施形態に適用してもよい。この場合も、弾性体４４の変形、第１連通孔４１１，第２連通孔４３１，第３連通孔１４４１，第４連通孔１４１１，１４３１を塞がないような形状で、できる限り内部空間Ｓを埋めるものがよい。

また、第１実施形態及び第５実施形態において、弾性体４４は、第１被着部４１０及び第２被着部４３０を覆うように取り付けられたが、弾性体４４の取り付け構造は、これに限らない。
図１２は、弾性体４４の取り付け構造を示す概略断面図であり、（ａ）変形例１、（ｂ）変形例２である。

変形例１では、弾性体４４は、第１被着部４１０及び第２被着部４３０のいずれか一方の内側に嵌められるように取り付けられている。このとき、弾性体４４は、第１被着部４１０及び第２被着部４３０の端面に相当する位置で係止できるように、段差部が形成されてもよい。

変形例２では、第１被着部４１０の先端にリング状溝４１０ａが形成されており、このリング状溝４１０ａに弾性体４４の端部を嵌入することで、弾性体４４が取り付けられてもよい。なお、第１被着部４１０に変形例１を、第２被着部４３０に変形例２を適用するように、第１被着部４１０及び第２被着部４３０で、異なってもよい。そして、これらの取り付け構造は、上記各実施形態の第１被着部４１０又は第２被着部４３０に適用してもよい。

また、上記実施形態では、第１被着部４１０の外径、第２被着部４３０の外径、及び／又は円板状の栓部４９の外径は、すべて等しい直径で形成されていたが、円板状の栓部４９の外径が、第１被着部４１０の外径又は第２被着部４３０の外径の少なくとも一方よりも大きければ、異なる直径で形成されてもよい。また、第１被着部４１０、第２被着部４３０及び弾性体４４，１４４は、円筒状に限らず、円板状の栓部４９と弾性体４４とが密着することで、容器本体１０に対する気体の流通を制御できれば、どのような形状であってもよく、例えば、多角形でれば、弾性体４４の円形の直径に相当する相当内径が、円板状の栓部４９の相当外径と等しいか小さければよい。

さらに、上記各実施形態では、保持筒４２は、貫通孔１８に嵌められた固定筒４１の内側に組み合わされたが、逆に、固定筒４１が、貫通孔１８に嵌められた保持筒４２の内側に組み合わされてもよい。また、バルブ体４０，５０は中蓋筒４３，５４３を有したが、中蓋筒４３，５４３を有さず、第２被着部４３０が保持筒４２に直接形成されてもよい。この場合、円板状の栓部４９は、固定筒４１又は保持筒４２から支柱４８を介して設けられ、また、フィルタ４６は、保持筒４２に直接接着又は溶着されるとよい。

くわえて、上記各実施形態において、フィルタ４６は、バルブ体４０，５０とは別に、気体供給源から、容器本体１０の内部の気体放出口までの気体流路中に配置してもよい。

ところで、第１実施形態〜第４実施形態及び第５実施形態〜第８実施形態では、バルブ体４０，５０は、容器本体１０及び蓋体２０の少なくとも一方に形成された貫通孔１８に取り付けられるように構成されたが、容器本体１０などに設けられ気体流路（配管）、例えば、給気部１６又は排気部１７の少なくとも一方に連通する気体流路の途中に取り付けられるように構成されてもよい。

（第９実施形態）
図１３は、基板収納容器１に取り付けられた第９実施形態のバルブ体８４０を示す、（ａ）取り付け状態、（ｂ）概略断面図である。
例えば、第９実施形態の給気用のバルブ体８４０は、第４実施形態のバルブ体３４０を、気体流路の途中に取り付けたものに相当し、略二重パイプ状の構造になっている。

第１筒部３４１は、第４実施形態の固定筒３４１とほぼ同一の構成であり、第２筒部７４３は、第８実施形態の中蓋筒７４３とほぼ同一の構成であり、互いに内部空間Ｓを形成するように組み合わされている。弾性体４４は、第１被着部４１０の第４連通孔１４１１を閉止し、第２被着部４３０の第４連通孔１４３１を開放するように、取り付けられている。なお、バルブ体８４０を、排気用に組み替える場合は、弾性体４４を第２被着部４３０側に取り付けるとよい。

また、第１筒部３４１には、気体導入部７０に連通する配管の一端が連結され、第２筒部７４３には、給気部１６又は排気部１７に連通する配管の一端が連結されている。各配管は、剛性の高い樹脂製の配管であっても、可撓性を有するチューブであってもよい。また、気体導入部７０からバルブ体８４０まで、好ましくは給気部１６又は排気部１７までの配管は、気体導入部７０側が低くなるように設けられているとよい。

そして、第９実施形態のバルブ体８４０では、第１実施形態と同様に、第１連通孔４１１に所定値以上の陽圧が加わると、弾性体４４は、陽圧の大きさに応じて弾性変形し膨らむことで、第４連通孔１４１１から離間し、さらに、円板状の栓部４９との間に隙間Ｃを形成する。そして、第１連通孔４１１側からの気体は、この第４連通孔１４１１及び隙間Ｃを通過し、内部空間Ｓに開放されて、第４連通孔１４３１を介して第２連通孔４３１側へ流通し、容器本体１０の内部に供給される。

第９実施形態の基板収納容器１であっても、金属性の部材を用いないバルブ体８４０を備えているため、収納する基板Ｗに金属腐食性の残留物質があったとしても、金属腐食の問題が起こらず、バルブ体８４０が作動しないようなことが起こり難い。

また、気体導入部７０からバルブ体８４０までの距離が長く、また、気体導入部７０の内部通路と、配管とが略直角方向に屈曲しているため、容器本体１０を液体で洗浄した場合でも、バルブ体８４０まで液体が届き難くなり、容器本体１０の乾燥後の水残りを防止することができる。そして、バルブ体８４０（弾性体４４）よりも奥側の給気部１６及び排気部１７には、液体が届くことがない。

１ 基板収納容器
１０ 容器本体、１１ 開口、１２ シール面、１３ 支持体、１４ ロボティックフランジ、１５ マニュアルハンドル、１６ 給気部、１７ 排気部、１８ 貫通孔、１８０ リブ
２０ 蓋体、２１ 取付溝、２２ 凸部
３０ パッキン
４０，１４０，２４０，３４０，８４０ バルブ体（給気用）
４１，２４１，３４１，５４１，６４１ 固定筒（第１筒部）、４１０ 第１被着部、４１１ 第１連通孔、４１２ 螺子溝、４１３ フランジ、１４１１ 第４連通孔
４２ 保持筒（第２筒部）、４２１ 通気口、４２２ 螺子溝、４２３ フランジ、４２４ 区画リブ
４３，１４３，５４３，６４３，７４３ 中蓋筒（第２筒部）、４３０ 第２被着部、４３１ 第２連通孔、１４３１ 第４連通孔
４４，１４４ 弾性体、１４４１ 第３連通孔
４５ シール部材、４６ フィルタ、４７ シール部材、４８ 支柱、４９ 栓部
５０，１５０，２５０，３５０ バルブ体（排気用）
６０ リング部材
７０ 気体導入部
Ｗ 基板
Ｃ 隙間
Ｓ 内部空間

Claims (19)

1. 基板を収納する容器本体と、
   前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
   前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
   前記バルブ体は、
   筒状の弾性体と、
   前記弾性体の一方側を被着する第１被着部が形成された第１筒部と、
   前記弾性体の他方側を被着する第２被着部が形成された第２筒部と、
   前記第１筒部と前記第２筒部とで形成される内部空間と、を有し、
   前記第１被着部は、前記容器本体の外部に連通する第１連通孔が形成され、
   前記第２筒部は、前記容器本体の内部に連通する第２連通孔が、前記弾性体よりも外側の内部空間側に形成されており、
   前記第１被着部又は前記第２被着部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御する
   ことを特徴とする基板収納容器。
2. 前記弾性体は、前記第１連通孔に陽圧が加わる場合に、膨らむことで前記第１被着部又は前記第２被着部との間に隙間を形成して、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第２連通孔に陽圧が加わる場合か前記第１連通孔に陽圧が加わらない場合に、前記第１被着部及び前記第２被着部と密着して、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断する
   ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
3. 基板を収納する容器本体と、
   前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
   前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
   前記バルブ体は、
   筒状の弾性体と、
   前記弾性体の一方側を被着する第１被着部が形成された第１筒部と、
   前記弾性体の他方側を被着する第２被着部が形成された第２筒部と、
   前記第１筒部と前記第２筒部とで形成される内部空間と、を有し、
   前記第１筒部は、前記容器本体の外部に連通する第１連通孔が、前記弾性体よりも外側の内部空間側に形成され、
   前記第２被着部は、前記容器本体の内部に連通する第２連通孔が形成されており、
   前記第１被着部又は前記第２被着部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御する
   ことを特徴とする基板収納容器。
4. 前記弾性体は、前記第２連通孔に陽圧が加わる場合に、膨らむことで前記第１被着部又は前記第２被着部との間に隙間を形成して、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第１連通孔に陽圧が加わる場合か前記第２連通孔に陽圧が加わらない場合に、前記第１被着部及び前記第２被着部と密着して、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断する
   ことを特徴とする請求項３に記載の基板収納容器。
5. 基板を収納する容器本体と、
   前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
   前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
   前記バルブ体は、
   筒状の弾性体と、
   前記弾性体の一方側を被着する第１被着部が形成された第１筒部と、
   前記弾性体の他方側を被着する第２被着部が形成された第２筒部と、
   前記第１筒部と前記第２筒部とで形成される内部空間と、
   前記第１被着部と前記第２被着部の間に位置するとともに、前記弾性体が接離する栓部と、を有し、
   前記第１被着部は、前記容器本体の外部に連通する第１連通孔が形成され、
   前記第２筒部は、前記容器本体の内部に連通する第２連通孔が、前記第２被着部よりも外側に形成され、
   前記弾性体は、前記栓部よりも前記第２被着部側に、第３連通孔が形成されており、
   前記栓部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御する
   ことを特徴とする基板収納容器。
6. 基板を収納する容器本体と、
   前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
   前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
   前記バルブ体は、
   筒状の弾性体と、
   前記弾性体の一方側を被着する第１被着部が形成された第１筒部と、
   前記第１筒部との間に内部空間を形成する第２筒部と、
   前記第１筒部に形成され、前記弾性体の他方側を被着する栓部と、を有し、
   前記第１被着部は、前記容器本体の外部に連通する第１連通孔が形成され、
   前記第２筒部は、前記容器本体の内部に連通する第２連通孔が形成されており、
   前記栓部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御する
   ことを特徴とする基板収納容器。
7. 前記弾性体は、前記第１連通孔に陽圧が加わる場合に、膨らむことで前記栓部との間に隙間を形成して、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第２連通孔に陽圧が加わる場合か前記第１連通孔に陽圧が加わらない場合に、前記栓部と密着して、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断する
   ことを特徴とする請求項５又は６に記載の基板収納容器。
8. 基板を収納する容器本体と、
   前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
   前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
   前記バルブ体は、
   筒状の弾性体と、
   前記弾性体の一方側を被着する第１被着部が形成された第１筒部と、
   前記弾性体の他方側を被着する第２被着部が形成された第２筒部と、
   前記第１筒部と前記第２筒部とで形成される内部空間と、
   前記第１被着部と前記第２被着部の間に位置するとともに、前記弾性体が接離する栓部と、を有し、
   前記第１筒部は、前記容器本体の外部に連通する第１連通孔が、前記弾性体よりも外側の内部空間側に形成され、
   前記第２被着部は、前記容器本体の内部に連通する第２連通孔が形成され、
   前記弾性体は、前記栓部よりも前記第１被着部側に、第３連通孔が形成されており、
   前記栓部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御する
   ことを特徴とする基板収納容器。
9. 基板を収納する容器本体と、
   前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
   前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
   前記バルブ体は、
   筒状の弾性体と、
   前記弾性体の他方側を被着する第２被着部が形成された第２筒部と、
   第２筒部との間に内部空間を形成する第１筒部と、
   前記第２筒部に形成され、前記弾性体の一方側を被着する栓部と、を有し、
   前記第１筒部は、前記容器本体の外部に連通する第１連通孔が形成され、
   前記第２被着部は、前記容器本体の内部に連通する第２連通孔が形成されており、
   前記栓部と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御する
   ことを特徴とする基板収納容器。
10. 前記弾性体は、前記第２連通孔に陽圧が加わる場合に、膨らむことで前記栓部との間に隙間を形成して、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第１連通孔に陽圧が加わる場合か前記第２連通孔に陽圧が加わらない場合に、前記栓部と密着して、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断する
    ことを特徴とする請求項８又は９に記載の基板収納容器。
11. 基板を収納する容器本体と、
    前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
    前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
    前記バルブ体は、
    筒状の弾性体と、
    前記弾性体を外面に被着する第１被着部が形成された第１筒部と、
    前記第１筒部との間に内部空間を形成する第２筒部と、を有し、
    前記第１被着部は、前記容器本体の外部に連通する第１連通孔が形成されるとともに、
    前記第１連通孔と前記外面とを連通する第４連通孔が形成され、
    前記第２筒部は、前記容器本体の内部に連通する第２連通孔が形成されており、
    前記第４連通孔と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御する
    ことを特徴とする基板収納容器。
12. 前記弾性体は、前記第１連通孔に陽圧が加わる場合に、膨らむことで前記第１被着部との間に隙間を形成して、前記第４連通孔を開放し、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第２連通孔に陽圧が加わる場合か前記第１連通孔に陽圧が加わらない場合に、前記第１被着部と密着して、前記第４連通孔を閉止し、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断する
    ことを特徴とする請求項１１に記載の基板収納容器。
    
13. 基板を収納する容器本体と、
    前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
    前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器であって、
    前記バルブ体は、
    筒状の弾性体と、
    前記弾性体を外面に被着する第２被着部が形成された第２筒部と、
    前記第２筒部との間に内部空間を形成する第１筒部と、を有し、
    前記第２被着部は、前記容器本体の内部に連通する第２連通孔が形成されるとともに、前記第２連通孔と前記外面とを連通する第４連通孔が形成され、
    前記第１筒部は、前記容器本体の外部に連通する第１連通孔が形成されており、
    前記第４連通孔と、前記弾性体とが離間することで、前記容器本体に対する前記気体の流通を制御する
    ことを特徴とする基板収納容器。
14. 前記弾性体は、前記第２連通孔に陽圧が加わる場合に、膨らむことで前記第２被着部との間に隙間を形成して、前記第４連通孔を開放し、前記容器本体に対する前記気体の流通を可能にするとともに、前記第１連通孔に陽圧が加わる場合か前記第２連通孔に陽圧が加わらない場合に、前記第２被着部と密着して、前記第４連通孔を閉止し、前記容器本体に対する前記気体の流通を遮断する
    ことを特徴とする請求項１３に記載の基板収納容器。
15. 前記バルブ体は、前記内部空間に水溜まりを防止する別部品として形成されたリング部材を有する
    ことを特徴とする請求項１から１４までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
16. 前記第１筒部は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒であり、
    前記第２筒部は、前記固定筒に組み合わされる保持筒である
    ことを特徴とする請求項１から１５までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
17. 前記第１筒部は、前記容器本体に形成された貫通孔に嵌められる固定筒であり、
    前記第２筒部は、前記固定筒に組み合わされる保持筒に連結された中蓋筒である
    ことを特徴とする請求項１から１５までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
18. 前記バルブ体は、前記気体を濾過するフィルタを有する
    ことを特徴とする請求項１から１７までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
19. 前記バルブ体は、前記容器本体に設けられた気体流路の途中に取り付けられている
    ことを特徴とする請求項１から１５までのいずれか１項に記載の基板収納容器。

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