KR100253662B1 - 모듈레이터와 모듈레이터를 구비하는 전광센서 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 모듈레이터와 모듈레이터를 구비하는 전광센서에 관한 것으로, LCD 패널의 결함을 진단하기 위하여 모듈레이터를 LCD 패널에 접근하는 과정에서 야기되는 이물질에 의해 모듈레이터의 손상을 방지하기 위한 것으로, 소정 크기의 전압이 인가되고, 입사되는 광을 전계에 따른 소정의 비율로 방사하는 몸체와, 상기 몸체에 설치된 광반사수단과, 상기 광반사수단이 있는 방향으로 분사홀이 형성되어 있는 튜브상태의 블로워를 포함하는 모듈레이터와, 상기 블로워의 내부공간과 연결되어 상기 블로워로 기체를 주입하는 기체공급수단과, 상기 모듈레이터에 입사되는 광을 공급하는 광원과, 상기 모듈레이터에서 방사되는 광을 영상신호로 바꾸는 신호처리수단과, 상기 영상신호를 영상으로 보여주는 영상신호 처리장치를 포함하며, 모듈레이터의 수명을 연장시킬 수 있고, 모듈레이터 손상에 의한 LCD 패널의 불량 발생을 억제할 수 있다.

Description

모듈레이터와 모듈레이터를 구비하는 전광센서
본 발명은 모듈레이터(modulator)와 모듈레이터를 구비하는 전광센서(electro-optic sensor)에 관한 것으로 특히, LCD(Liquid Crystal Display) 패널등과 같은 반도체 장치의 결함 정도를 탐지하는데 사용되는 모듈레이터와 이 모듈레이터를 구비하는 전광센서에 관한 것이다.
LCD 패널은 유리기판 상에 매트릭스 형상으로 배열되어 있는 다수의 박막트랜지스터와 이에 연결되는 투명화소전극과 같은 전도성 화소셀을 가지고 있다. 제조가 완료된 LCD 패널은 표면에 직접 접촉하지 않고 패널의 결함정도를 탐지할 수 있는 전광센서등에 의하여 양·불량정도가 진단된다.
도 1은 종래의 기술에 의한 전광센서를 개략적으로 도시한 것이다.
전광센서는 탐지용 광원을 공급하는 광원(14)과, 입사되는 광을 전계의 크기에 따라 소정의 비율로 산란 및 투과하여 방사시키는 모듈레이터(10)와, 모듈레이터(10)에서 방사된 광을 집속하는 렌즈(lense)(16)와, 렌즈(16)에 의하여 집속된 반사광을 아날로그 영상신호(analog video signal)로 바꾸는 CCD 카메라(17)와, 아날로그 영상신호를 디지털 영상신호(digital video signal)로 바꾸는 이미지 프로세서(image processor)(18)를 구비하고 있다. 또한, 광원(14)과 모듈레이터(10)의 사이에는 광의 경로를 조절하는 빔스플리트(beam split)(12)가 설치되어 있다.
모듈레이터에 대하여 모듈레이터의 일 예를 보여주는 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
육면체 형상을 가지는 모듈레이터 몸체(10-2)가 지지부재(10-1)에 지지되어 있고, 모듈레이터 몸체(10-2)의 하단에는 금속박막으로 형성된 미러 코팅(mirror coating)(10-3)이 부착되어 있다. 모듈레이터 몸체(10-2)에는 외부의 전압에 공토으로 연결되어 기준전압을 생성할 수 있도록 하기 위한 전극(도면 미표시)과, 모듈레이터 몸체에 형성된 전계의 크기에 따라 광의 산란 혹은, 투과정도를 결정하는 전광물질부(도면 미표시)를 구비하고 있다.
따라서, 상술한 모듈레이터에 입사된 광은 모듈레이터 몸체(10-2)를 통과한 후, 미러 코팅(10-3)에 반사되어 다시 모듈레이터 몸체(10-2)를 통과하여 외부로 방사된다. 이 때, 모듈레이터 몸체(10-2)를 통과하는 광은 전계의 크기에 따라 산란 및 투과된다. 따라서, 광이 지나가는 공간에 형성된 전계의 의하여 모듈레이터(10)에 입사되는 광은 소정의 비율로 감소된 양으로 모듈레이터(10)에서 방사된다.
종래의 전광센서의 작동을 도 1과 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
LCD 패널의 탐지를 위하여 LCD 패널의 상부 공간에 소정의 간격을 두고 상술한 전광센서를 위치시킨다. 이 후, LCD 패널에 패널 탐지를 위한 전압(이하 탐지전압이라 함)을 인가하고, 모듈레이터(10)에도 소정의 전압을 인가하여 모듈레이터에 기준전압을 만든다. LCD 패널에 인가된 탐지 전압에 의하여 LCD 패널을 구성하는 각 화소셀은 그 제조 상태의 양·불량 정도에 따라 각기 다른 전압을 가지게 된다. 그 결과, 각 화소셀에 대응되는 부분의 모듈레이터 부분의 전계는 각각 다른 크기로 형성된다. 이 때, 모듈레이터(10)에 광을 입사시키면 정상 화소셀과 불량 화소셀에 대응되는 모듈레이터의 각 부분에서 각기 다른 양으로 방사된다.
모듈레이터(10)에 의해 다른 양으로 방사되는 각각의 광은 렌즈(16)에 집속되고, CCD 카메라(17)에 의해 아날로그 영상신호로 바뀐 후, 이미지 프로세서(18)에 의하여 디지털 영상신호로 바뀐 다음, 중앙연산장치(도면 미표시)에 의한 영상처리에 의하여 모니터(20)에 LCD 패널의 상태를 보여준다. 모니터는 전광센서의 언급한 작동에 의하여 정상셀과 불량셀을 구분하여 LCD 패널의 상태는 보여줌으로써, LCD 패널의 결함정도를 진단해 준다.
상기와 같이 비접촉식으로 작업을 진행하는 종래의 전광센서는 피탐지 물체인 LCD 패널과 모듈레이터의 최하단인 미러 코팅 사이의 간격을 약 20㎛정도로 좁게 하여 탐지작업을 진행한다. 따라서 LCD 패널 상에 이 보다 큰 이물질이 위치하게 될 경우에 모듈레이터의 미러 코팅은 LCD 패널상의 이물질과 접촉하게 되어 흠이 생기거나 벗겨지는 등 손상을 받게 된다. 이와 같은 미러 코팅의 손상은 모듈레이터의 수명을 단축시킨다. 또한, 미러 코팅의 손상에 의하여 모듈레이터 몸체에서 유액이 흘러 나와 LCD 패널에 떨어져 제작이 완료된 LCD 패널의 불량을 야기시킨다.
본 발명은 모듈레이터 주변의 이물질을 제거할 수 있도록 소정의 방향으로 기체를 불어넣을 수 있는 블로워(blower)를 모듈레이터에 설치하여 LCD 패널의 결함을 진단하는 과정시, 블로워를 이용한 건식세정을 통하여 모듈레이터가 이물질에 의해 손상받는 것을 방지하려 하는 것이다.
이를 위한 본 발명은 소정 크기의 전압이 인가되고, 입사되는 광을 전계에 따라 소정의 비율로 방사하는 몸체와, 상기 몸체에 설치된 광반사수단과, 상기 광반사수단이 있는 방향으로 분사홀이 형성된 블로워를 포함하는 모듈레이터이다.
또한, 본 발명은 소정 크기의 전압이 인가되고, 입사되는 광을 전계에 따른 소정의 비율로 방사하는 몸체와, 상기 몸체에 설치된 광반사수단과, 상기 광반사수단이 있는 방향으로 분사홀이 형성되어 있는 블로워를 포함하는 모듈레이터와, 상기 블로워의 내부공간과 연결되어 상기 블로워로 기체를 주입하는 기체공급수단과, 상기 모듈레이터에 입사되는 광을 공급하는 광원과, 상기 모듈레이터에서 방사되는 광을 영상신호로 바꾸는 신호처리수단과, 상기 영상신호를 영상으로 보여주는 영상신호 처리장치를 포함하는 전광센서이다.
도 1은 종래의 기술에 의한 전광센서의 개략도
도 2는 종래의 기술에 의한 모듈레이터의 개략도
도 3은 본 발명에 의한 모듈레이터의 개략도
도 4는 본 발명에 의한 전광센서의 개략도
이하, 본 발명을 실시예을 통하여 설명하면 다음과 같다.
도 3은 본 발명에 의하여 블로워가 추가로 설치되어 있는 모듈레이터의 개략도를 나타낸 것이다.
기본적인 구조는 도 2에 나타낸 종래의 모듈레이터 구조와 같다. 즉, 소정의 형상, 예를 들어 육면체 형상을 가지는 투명한 모듈레이터 몸체(30-2)가 소정의 형상, 예를 들어 원판 형상의 지지부재(30-1)에 지지되어 있고, 모듈레이터 몸체(30-2)의 하단에는 금속박막으로 형성된 미러 코팅(mirror coating)(30-3)이 설치되어 있다. 상기 모듈레이터 몸체(30-2)는 외부의 전압에 공통으로 연결되어 기준전압을 만드는 전극부(도면 미표시) 및 모듈레이터 몸체(30-2)에 형성된 전계의 크기에 따라 광의 산란 혹은, 투과정도를 결정하는 전광물질부(도면 미표시)를 구비하고 있다.
그러나 본 발명은 상술된 구조에 지지부재(30-1)의 하면에 모듈레이터 몸체(30-2)를 둘러싸는 소정의 형상, 예를 들어 사각형상을 가지되, 기체공급수단(도면 미표시)과 연결되어 있는 튜브상태의 블로워(39)가 더 설치되어 있는 것이 특징이다. 블로워(39)는 소정의 위치에 다수의 분사홀(40)이 형성되어 있어서, 블로워(39)의 내부공간이 외부공간에 개방되어 있다. 따라서, 기체공급수단(도면 미표시)에서 기체가 소정의 압력으로 블로워(39)로 주입되면, 기체는 블로워(39)의 내부공간을 흐르면서, 블로워(39)에 형성된 분사홀(40)을 통하여 외부공간으로 분출된다. 이 때, 분출된 기체는 모듈레이터 주변의 이물질등을 불어내는 방식으로 모듈레이터 주변 공간을 건식세정한다. 블로워(39)를 상술된 모듈레이터(30)에 착탈식으로 설치하도록 제조하게 될 경우 반영구적으로 사용할 수 있다.
상술한 본 발명의 실시예에서는 블로워(39)를 모듈레이터 몸체의 형상에 따라 사각형상으로 하여 제조하였지만, 이를 다양화하여 삼각형이나 오각형등의 다각형, 혹은 원형으로 제조할 수 있다. 또한, 블로워를 SUS, Teflon, Poly Urethane등의 여러재질로 제조할 수 있다.
도 4는 본 발명에 의하여 개선된 모듈레이터를 구비하는 전광센서의 개략도이다.
상술된 바와 같은 본 발명에 의한 블로워(39)가 설치되어 있는 모듈레이터(30)가 위치하고, 모듈레이터(30)에 입사광을 공급하는 광원(34)이 소정의 위치에 있다. 그리고, 모듈레이터(30)에서 방사되는 광을 집속하는 렌즈(36)와, 렌즈(36)에 의하여 집속된 광을 아날로그 영상신호로 바꾸는 CCD 카메라(37)와, 아날로그 영상신호를 디지털 영상신호로 바꾸는 이미지 프로세서(38)가 위치하고 있다. 광원(34)과 모듈레이터(30)의 사이 공간에는 광을 소정의 방향으로 반사 및 투과시켜 주는 빔스플리트(32)가 설치되어 있다.
도 3과 도 4를 참조하여 본 발명에 의한 전광센서의 작동을 설명하면 다음과 같다.
LCD 패널의 상부 공간에 모듈레이터(30)의 블로워(39)에 소정의 기체 예를 들어, 질소를 지속적으로 불어넣는 상태의 전광센서를 위치시킨다. 이 때, LCD 패널의 탐지를 위하여, 모듈레이터(30)의 미러 코팅(30-3)이 LCD 패널과 약 20㎛정도의 간격을 두도록 가깝게 대응시킨다. 이 때, 블루워(39)에 소정의 압력으로 기체를 주입하게 되면, 기체는 블로워(39)의 내부공간을 흐르면서 분사홀(40)을 통하여 블루워(39)의 외부공간으로 분사된다. 블로워(39)에서 분사되는 기체에 의하여 모듈레이터(30)의 주변에 위치한 이물질은 모듈레이터의 주변공간에서 멀어지게 된다. 그 결과, 모듈레이터의 하부에 대응되는 LCD 패널 부분은 블루워(39)의 기체에 의해 세정되어 클리닝(cleaning)된 상태가 된다. 따라서 모듈레이터는 미러 코팅(30-3)의 손상 염려 없이 안전하게 LCD 패널에 근접시킬 수 있다. 이 때, 블로워(39)에 기체를 연속적으로 혹은, 펄스젯트(pulse jet) 형식으로 주입할 수 있다.
블로워(39)의 분사홀(40)을 미러 코팅(30-3)이 위치한 방향을 향하도록 형성하되, LCD 패널 상의 이물질이 분사홀을 통하여 분사된 기체에 의하여 멀리 이동되어 제거될 수 있도록 한다. 또한, 이물질의 효율적인 제거를 위하여 분사홀(40)을 수직방향 즉, 미러 코팅(30-3)이 있는 방향을 기준으로 30∼60도 정도의 각도로 떨어진 부분에 위치하도록 형성하는 것이 유리하고, 블루워로 주입되는 기체의 압력을 높이는 것이 유리하다. 펄스젯트 형식으로 기체를 주입할 경우에는 펄스값은 클수록 유리하다.
이 후, LCD 패널과 모듈레이터에 탐지를 위한 전압을 인가하는 등의 후속작업을 종래의 통상적인 경우와 같이 진행한다. 즉, 블로워(39)를 통하여 분사된 기체에 의하여 건식세정되어 클리닝 상태가 된 LCD 패널에 패널 탐지를 위한 전압(이하 탐지전압이라 함)을 인가하고, 모듈레이터(30)에도 기준 전압을 인가한다. LCD 패널에 인가된 탐지 전압은 LCD 패널을 구성하는 각 화소에 제조 상태에 따라 각기 다른 크기를 가지는 전압을 나타낸다. 각 화소는 그 양·불량 정도에 따라 각기 다른 전압(이하, 정상 화소셀이 가지는 전압을 제 1 전압이라 하고, 불량한 화소셀이 가지는 전압을 제 2 전압이라 함)을 가지게 된다. 그 결과, 모듈레이터(30)와 그 주변공간에는 기준전압과 제 1 전압 혹은, 기준전압과 제 2 전압의 차이에 따른 전계가 형성된다.
이와 같은 상태에서 광을 모듈레이터(39)에 입사시키면, 입사된 광은 모듈레이터(30)에 형성된 전계의 크기에 의존하여 소정의 비율로 그 양이 감소되어 방사된다. 따라서 정상 화소셀에 대응되는 모듈레이터 부분에서 방사되는 광량과 불량한 화소셀에 대응되는 모듈레이터 부분에서 방사되는 광량은 차이가 생긴다.
모듈레이터(30)에 의해 각기 다른 양으로 방사되는 각각의 광은 렌즈(36)에 집속되고, CCD 카메라(37)에 의해 아날로그 영상신호로 바뀐 후, 이미지 프로세서(38)에 의하여 디지털 영상신호로 바뀐 다음, 영상신호 처리장치(도면 미표시)에 의한 영상처리에 의하여 모니터(50)에 LCD 패널의 상태를 보여준다. 모니터는 전광센서의 언급한 작동에 의하여 정상셀과 불량셀을 구분하여 LCD 패널의 상태는 보여줌으로써, LCD 패널의 결함정도를 진단해 준다.
상술한 본 발명의 실시예에서는 이물질을 제거하기 위한 수단으로 블로워를 별도로 마련하여 모듈레이터에 설치하였지만, 상기 모듈레이터 몸체를 지지하는 지지부재를 블로워로도 이용할 수 있다. 즉, 기체의 통로가 되는 내부공간이 형성되도록 지지부재를 제조하되, 이 지지부재의 내부공간에 기체공급수단을 연결하며, 지지부재의 소정의 위치에 분사홀을 형성함으로써 본 발명의 목적을 성취할 수 있다. 이 경우, 별도의 블로워 수단을 추가로 설치하지 않아도 되기 때문에 LCD 패널의 상부에 위치하게 되는 탐지 프레임과의 공간적인 간섭에 영향을 받지 않는다.
본 발명은 LCD 패널의 진단을 위하여 전광센서의 모듈레이터를 LCD 패널에 접근하는 과정에서 LCD 패널 상의 이물질이 모듈레이터의 미러 코팅에 접촉하여 발생하는 모듈레이터의 손상을 방지함으로써, 모듈레이터의 수명을 연장시킬 수 있다. 또한, 본 발명은 모듈레이터가 손상되면서 발생하는 액상의 물질이 LCD 패널을 오염시키는 등의 LCD 패널의 불량 발생을 억제할 수 있다.

Claims (13)

  1. 소정 크기의 전압이 인가되고, 입사되는 광을 전계에 따라 소정의 비율로 방사하는 몸체와,
    상기 몸체에 설치된 광반사수단과,
    상기 광반사수단이 있는 방향으로 분사홀이 형성된 블로워를 포함하는 모듈레이터.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 몸체에 설치되되, 상기 광반사수단의 맞은편에 위치하여 상기 몸체를 지지하는 지지부재를 더 포함하는 것이 특징인 모듈레이터.
  3. 청구항 2에 있어서, 상기 블로워는 상기 지지부재의 하면에 위치하여 상기 몸체를 둘러싸는 튜브상태인 것이 특징인 모듈레이터.
  4. 청구항 2에 있어서, 상기 블로워는 상기 지지부재의 내부에 위치하여 상기 지지부재의 외부공간에 상기 분사홀만을 노출시키는 것이 특징인 모듈레이터.
  5. 청구항 1, 3 또는 4에 있어서, 상기 블로워의 상기 분사홀은 상기 광반사수단이 있는 방향을 기준으로 30∼60정도의 각에 위치하는 것이 특징인 모듈레이터.
  6. 청구항 3에 있어서, 상기 블로워는 상기 몸체에 착탈식으로 설치되는 것이 특징인 모듈레이터.
  7. 소정 크기의 전압이 인가되고, 입사되는 광을 전계에 따른 소정의 비율로 방사하는 몸체와, 상기 몸체에 설치된 광반사수단과, 상기 광반사수단이 있는 방향으로 분사홀이 형성되어 있는 블로워를 포함하는 모듈레이터와,
    상기 블로워의 내부공간과 연결되어 상기 블로워로 기체를 주입하는 기체공급수단과,
    상기 모듈레이터에 입사되는 광을 공급하는 광원과,
    상기 모듈레이터에서 방사되는 광을 영상신호로 바꾸는 신호처리수단과,
    상기 영상신호를 영상으로 보여주는 영상신호 처리장치를 포함하는 전광센서.
  8. 청구항 7에 있어서, 상기 몸체에 설치되되, 상기 광반사수단의 맞은편에 위치하여 상기 몸체를 지지하는 지지부재를 더 포함하는 것이 특징인 전광센서.
  9. 청구항 8에 있어서, 상기 블로워는 상기 지지부재의 하면에 위치하여 상기 몸체를 둘러싸는 튜브상태인 것이 특징인 전광센서.
  10. 청구항 8에 있어서, 상기 블로워는 상기 지지부재의 내부에 위치하여 상기 지지부재의 외부공간에 상기 분사홀만을 노출시키는 것이 특징인 전광센서.
  11. 청구항 7에 있어서, 상기 기체공급수단에서 상기 블로워로 주입하는 기체는 질소인 것이 특징인 전광센서.
  12. 청구항 7에 있어서, 상기 기체공급수단에서 상기 블로워로 기체를 연속적으로 주입하는 것이 특징인 전광센서.
  13. 청구항 7에 있어서, 상기 기체공급수단에서 상기 블로워로 기체를 펄스젯트 형식으로 주입하는 것이 특징인 전광센서.
KR1019980004531A 1998-02-16 1998-02-16 모듈레이터와 모듈레이터를 구비하는 전광센서 KR100253662B1 (ko)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101115879B1 (ko) * 2009-12-11 2012-02-22 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3468755B2 (ja) * 2001-03-05 2003-11-17 石川島播磨重工業株式会社 液晶駆動基板の検査装置
CN103274604B (zh) * 2013-04-23 2015-05-06 北京京东方光电科技有限公司 一种基板加热设备
KR20160061548A (ko) * 2014-11-21 2016-06-01 삼성디스플레이 주식회사 어레이 테스트 모듈레이터 및 이를 포함하는 박막트랜지스터 기판 검사 장치

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS593703B2 (ja) * 1977-12-16 1984-01-25 三菱電機株式会社 エア−カ−テンノズル
JPS6124232A (ja) * 1984-07-13 1986-02-01 Hitachi Ltd パタ−ン検査方法
JPH0314408U (ko) * 1989-06-27 1991-02-14
US5124635A (en) * 1990-02-15 1992-06-23 Photon Dynamics, Inc. Voltage imaging system using electro-optics
US5097201A (en) * 1990-02-15 1992-03-17 Photon Dynamics, Inc. Voltage imaging system using electro-optics
JPH03270246A (ja) * 1990-03-20 1991-12-02 Fujitsu Ltd 半導体装置の試験装置
US5285150A (en) * 1990-11-26 1994-02-08 Photon Dynamics, Inc. Method and apparatus for testing LCD panel array
US5170127A (en) * 1991-02-19 1992-12-08 Photon Dynamics, Inc. Capacitance imaging system using electro-optics
JP3273973B2 (ja) * 1991-09-10 2002-04-15 フォトン・ダイナミクス・インコーポレーテッド アクティブマトリックス液晶ディスプレイ基板の検査装置およびその検査方法並びに検査装置用電気光学素子
US5465052A (en) * 1991-09-10 1995-11-07 Photon Dynamics, Inc. Method of testing liquid crystal display substrates
US5406213A (en) * 1991-09-10 1995-04-11 Photon Dynamics, Inc. Instrument for testing liquid crystal display base plates
JPH06102295A (ja) * 1992-07-28 1994-04-15 Hewlett Packard Co <Hp> 非接触型プローブおよび非接触電圧測定装置
JPH06336154A (ja) * 1993-05-28 1994-12-06 Toyo Netsu Kogyo Kk シート清掃装置
JP3317801B2 (ja) * 1994-01-12 2002-08-26 浜松ホトニクス株式会社 ２次元電圧検出装置
US5892561A (en) * 1995-10-18 1999-04-06 Fujitsu Limited LC panel with reduced defects having adhesive smoothing layer on an exterior surface of the substrate(s)
JP3434977B2 (ja) * 1996-07-09 2003-08-11 シャープ株式会社 液晶ディスプレイ基板の検査装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101115879B1 (ko) * 2009-12-11 2012-02-22 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치

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