KR100247260B1 - A test device of lcd panel - Google Patents

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KR100247260B1
KR100247260B1 KR1019970007942A KR19970007942A KR100247260B1 KR 100247260 B1 KR100247260 B1 KR 100247260B1 KR 1019970007942 A KR1019970007942 A KR 1019970007942A KR 19970007942 A KR19970007942 A KR 19970007942A KR 100247260 B1 KR100247260 B1 KR 100247260B1
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display panel
crystal display
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changing means
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유키히로 히라이
츠카사 쿠도
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가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
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Abstract

검사장치의 높이 치수를 작게 하기 위한 것이다. 액정 표시 패널의 검사장치는 액정표시패널(12)을 배치하는 측정 스테이지(22)와, 상기 측정 스테이지에 배치된 액정표시패널을 촬상하는 텔레비전카메라(42)와, 상기 액정표시패널로부터의 광(38)을 작업자에 의하여 육안 검사 위치 또는 상기 텔레비전카메라로 향하게 하기 위해 상기 광의 광로를 상하방향에 대해서 각도를 가지는 방향으로 변경하는 광로변경수단(36)을 포함한다.It is for reducing the height dimension of the inspection apparatus. The inspection apparatus of the liquid crystal display panel includes a measurement stage 22 for arranging the liquid crystal display panel 12, a television camera 42 for imaging the liquid crystal display panel disposed on the measurement stage, and light from the liquid crystal display panel. And an optical path changing means 36 for changing the optical path of the light to an angle with respect to the vertical direction in order to direct 38) to the naked eye inspection position or the television camera by the operator.

Description

액정표시패널의 검사장치Liquid crystal display panel inspection device

본 발명은 액정표시패널의 양호불량을 검사하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for inspecting a defective defect of a liquid crystal display panel.

액정표시패널의 결함은 점결함, 선결함, 얼룩결함, 색도결함 등 다종다양하게 존재하는 것이 알려져 있다. 이들 결함은 액정표시패널을 측정스테이지에 수평의 상태로 재치(載置)하고, 그의 액정표시패널을 점등 즉 구동시켜서 그의 액정표시패널로부터의 광을 이용해서 액정표시패널의 점등상태를 확인하는 것에 의해 검사된다.It is known that defects of the liquid crystal display panel exist in various ways such as point defects, predecessors, spot defects, and color defects. These defects are caused by placing the liquid crystal display panel in a horizontal state on the measurement stage, turning on, or driving, the liquid crystal display panel to confirm the lighting state of the liquid crystal display panel using the light from the liquid crystal display panel. Is inspected by

이와 같은 액정표시패널의 검사장치에는, 구동중의 액정표시패널을 그의 상방으로부터 텔레비전카메라로 촬영, 즉 촬상하고, 그의 텔레비전카메라의 출력신호를 컴퓨터로 처리해서 점등상태를 확인하는 자동검사장치와, 구동중의 액정표시패널을 작업자가 육안으로 점등상태를 확인하는 육안 검사장치이다.Such an inspection apparatus for a liquid crystal display panel includes an automatic inspection apparatus for photographing, or imaging, a driving liquid crystal display panel from above and processing the output signal of the television camera with a computer to check the lighting state; It is a visual inspection device that the operator visually checks the lighting state of the liquid crystal display panel while driving.

그러나, 종래의 자동검사장치에서는 텔레비전카메라를 측정스테이지상의 위쪽에 설치하고 있기 때문에, 검사장치의 높이 치수가 커진다. 특히, 대형의 액정표시패널용의 검사장치와 같이, 텔레비전카메라의 시야를 넓히지 않으면 안되는 검사장치에 있어서는, 측정스테이지와 텔레비전카메라와의 사이의 치수가 크게 되기 때문에, 검사장치의 높이 치수가 건축물의 한층 분의 높이 치수보다 크게되고, 건조물을 개선하지 않으면 안되었다.However, in the conventional automatic inspection apparatus, since the television camera is provided above the measurement stage, the height dimension of the inspection apparatus becomes large. In particular, in an inspection apparatus that needs to widen the field of view of a television camera, such as an inspection apparatus for a large liquid crystal display panel, since the dimension between the measuring stage and the television camera becomes large, the height dimension of the inspection apparatus is a building. It became bigger than the height dimension of one minute and had to improve dry matter.

또한, 텔레비전카메라를 이용하는 자동검사는, 검사능률은 높지만, 점결함, 얼룩결함 등, 일부의 결함에 대해서 이것이 실제로 결함인지 아닌지에 대해서의 판정이 곤란한 경우가 많다. 이것에 대해서, 사람에 의한 육안검사에 의하면, 텔레비전카메라를 사용하는 자동검사에 비해서 고감도로 검사할 수는 있지만, 검사기준이 애매하고, 또한 검사능률이 저하한다.In addition, the automatic inspection using a television camera has high inspection efficiency, but it is often difficult to determine whether or not this is actually a defect for some defects such as point defects and spot defects. On the other hand, according to the human visual inspection, the inspection can be performed with higher sensitivity than the automatic inspection using a television camera, but the inspection standard is ambiguous and the inspection efficiency is reduced.

그러므로, 텔레비전카메라를 이용하는 자동검사에 있어서 결함인지 아닌지의 판정이 곤란한 경우에, 사람에 의한 육안 검사를 하는 것이 좋다. 그리고, 종래의 자동검사장치에서는 텔레비전카메라 및 그의 지지수단 등, 자동검사를 위한 기기가 측정스테이지상의 액정표시패널의 관찰을 방해하고, 그래서 장치의 구조상으로 인해 육안검사가 곤란하다.Therefore, when it is difficult to determine whether or not a defect is found in the automatic inspection using a television camera, it is better to perform a visual inspection by a human. In the conventional automatic inspection apparatus, a device for automatic inspection, such as a television camera and its supporting means, obstructs the observation of the liquid crystal display panel on the measurement stage, and therefore visual inspection is difficult due to the structure of the apparatus.

본 발명의 주 목적은 검사장치의 높이 치수를 작게하는 것이다.The main object of the present invention is to reduce the height dimension of the inspection apparatus.

본 발명의 다른 목적은 텔레비전카메라를 이용하는 자동검사와 사람에 의한 육안검사를 선택적으로 행할 수 있도록 하는 것이다.Another object of the present invention is to be able to selectively perform an automatic inspection using a television camera and a visual inspection by a person.

본 발명의 액정표시패널의 검사장치는, 액정표시패널을 배치하는 측정스테이지와, 상기 측정스테이지에 배치된 액정표시패널을 촬상하는 텔레비전카메라와, 상기 액정표시패널로부터의 광을 작업자에 의해 육안검사위치 또는 상기 텔레비전카메라로 향하기 위한 상기 광의 광로를 상하방향에 대해서 각도를 가지는 방향으로 변경하는 광로변경수단을 포함한다.An inspection apparatus for a liquid crystal display panel according to the present invention includes a measurement stage for arranging a liquid crystal display panel, a television camera for imaging the liquid crystal display panel disposed on the measurement stage, and visual inspection of light from the liquid crystal display panel by an operator. And an optical path changing means for changing the position or the optical path of the light directed to the television camera in a direction having an angle with respect to the vertical direction.

본 발명에 의하면, 액정표시패널로부터의 광의 광로를 광로변경수단에 의해 상하방향에 대해서 각도를 가지는 방향으로 변경하기 때문에, 텔레비전카메라를 측정스테이지의 위쪽에 설치할 필요가 없고, 그러므로 종래의 장치에 비해서 장치의 높이 치수가 작게된다.According to the present invention, since the optical path of the light from the liquid crystal display panel is changed by the optical path changing means in a direction having an angle with respect to the vertical direction, it is not necessary to install the television camera on the upper side of the measuring stage, and therefore, compared with the conventional apparatus. The height dimension of the device becomes smaller.

또, 상기 광로변경수단을 상기 광로변경수단에 대하여 광로의 입사각 및 반사각을 변경가능하게 지지하는 지지수단을 포함할수 있다. 이것에 의하면, 광로변경수단으로의 광의 입사각 및 광로변경수단으로부터의 광의 반사각을 변경함으로서, 텔레비전카메라의 시야를 변경할 수 있다.In addition, the optical path changing means may include supporting means for supporting the optical path changing means so as to change the incident angle and the reflection angle of the optical path. According to this, the field of view of the television camera can be changed by changing the incident angle of the light to the optical path changing means and the reflection angle of the light from the optical path changing means.

상기 지지수단은, 상기 광로변경수단을, 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널로부터의 광을 상기 텔레비전카메라로 향하는 제 1 위치와, 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널과 상기 제 1 위치와의 사이의 광로 밖의 제 2 위치에 선택적으로 변위가능하게 지지하는 기능을 가질 수 있다.The support means includes: the optical path changing means, a first position where the optical path changing means directs light from the liquid crystal display panel to the television camera, and the optical path changing means is connected to the liquid crystal display panel and the first position. It may have a function of selectively displaceably supporting a second position outside the optical path therebetween.

상기와 같이 하면, 자동검사를 할 수 있고, 광로변경수단이 제 1 위치에 배치되어서 액정표시패널로부터의 광을 텔레비전카메라로 향하게 하기 때문에, 측정스테이지에 배치된 액정표시패널을 텔레비전카메라에 의해 광로변경수단을 거쳐서 촬영 즉, 촬상할 수 있다. 이것에 대해서, 육안검사를 할 수 있고, 광로변경수단이 제 2 위치로 배치되기 때문에, 자동검사를 위한 기기에 영향받지 않게 되고, 측정스테이지에 배치된 액정표시패널을 관찰할 수 있다. 그 결과, 텔레비전카메라를 이용하는 자동검사와 사람에 의한 육안검사를 선택적으로 행할 수 있다.In this case, the automatic inspection can be performed, and the optical path changing means is disposed at the first position so that the light from the liquid crystal display panel is directed to the television camera. Therefore, the liquid crystal display panel disposed on the measuring stage is moved by the optical camera. Photographing, that is, imaging can be performed via the changing means. On the other hand, the visual inspection can be performed, and since the optical path changing means is arranged in the second position, it is not influenced by the equipment for automatic inspection, and the liquid crystal display panel arranged on the measuring stage can be observed. As a result, automatic inspection using a television camera and visual inspection by a person can be selectively performed.

상기 측정스테이지는 액정표시패널을 수평의 상태 또는 경사진 상태로 지지하는 받침부를 가질 수 있다. 그리고, 상기 측정스테이지는 상기 액정표시패널을 경사지게한 상태로 지지하는 받침부를 갖고, 상기 광로변경수단은 상기 받침부로부터 상기 받침부상의 액정표시패널에 대해서 수직의 방향으로 이격된 장소에 배치되어 있는 것이 좋다. 이와 같이 하면, 받침부상의 액정표시패널을 그의 액정표시패널에 대해서 수직의 방향(예를 들면, 기울어진 위쪽)에서 관찰을 할 수 있고, 측정스테이지에 배치된 액정표시패널을 용이하게 또는 정확하게 관찰할 수 있다.The measuring stage may have a support portion for supporting the liquid crystal display panel in a horizontal state or an inclined state. The measuring stage has a supporting portion for supporting the liquid crystal display panel in an inclined state, and the optical path changing means is disposed at a position spaced apart from the supporting portion in a direction perpendicular to the liquid crystal display panel on the supporting portion. It is good. In this way, the liquid crystal display panel on the support portion can be observed in the direction perpendicular to the liquid crystal display panel (for example, inclined upward), and the liquid crystal display panel disposed on the measuring stage can be easily or accurately observed. can do.

양호한 실시예에 있어서는, 상기 지지수단은 상기 텔레비전카메라에 의한 촬상범위를 덮는 커버를 포함하고, 상기 광로변경수단은 상기 커버의 내측에 배치되어 있고, 상기 커버는 상기 광로변경수단을 제 1 위치와 상기 제 2 위치로 선택적으로 이동하기 위해서 변위가능하다. 이 경우에, 상기 커버를 검사장치의 광체(筐

Figure kpo00003
)와 힌지에 의해 결합해도 좋고, 검사장치의 광체에 이동 가능하게 결합시켜도 좋고, 또한 커버는 검사장치의 광체에 떼어낼 수 있게 결합해도 좋다.In a preferred embodiment, the supporting means includes a cover covering an image capturing range by the television camera, wherein the optical path changing means is disposed inside the cover, and the cover replaces the optical path changing means with the first position. Displaceable to selectively move to the second position. In this case, the cover is taken from the housing of the inspection apparatus.
Figure kpo00003
) And the hinge may be coupled to the housing of the inspection apparatus so as to be movable, and the cover may be detachably coupled to the housing of the inspection apparatus.

양호한 다른 실시예에 있어서는, 상기 지지수단은 상개 텔레비전카메라에 의한 촬상범위를 덮는 커버로서 상기 측정스테이지를 육안으로 관찰하는 개구를 가지는 커버와, 상기 개구를 개폐하는 덮개를 포함하고, 상기 광로변경수단은 상기 덮개의 내측에 배치되어 있고, 상기 덮개는 상기 광로변경수단을 상기 제 1 위치와 상기 제 2 위치로 선택적으로 이동하기 위해서 변위가능하다. 이 경에, 상기 덮개를 커버에 힌지에 의해 결합해도 좋고, 검사장치의 커버에 이동가능하게 결합해도 좋으며, 더욱이 검사장치의 커버에 떼어낼 수 있게 결합해도 좋다.In another preferred embodiment, the support means includes a cover covering an image capturing range by an upper television camera, the cover having an opening for visually observing the measuring stage, and a cover for opening and closing the opening. Is disposed inside the lid, and the lid is displaceable to selectively move the optical path changing means to the first position and the second position. In this case, the cover may be coupled to the cover by a hinge, may be movably coupled to the cover of the inspection apparatus, or may be coupled to be detachable from the cover of the inspection apparatus.

상기 지지수단은, 상기 광로변경수단을, 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널로부터의 광을 상기 텔레비전카메라로 향하는 제 1 위치와, 상기 액정표시패널로부터의 광을 작업자에 의한 육안검사위치로 향하는 제 2 위치로 선택적으로 변경가능하게 지지하는 기능을 가지고 있어도 좋다. 이와 같이 하면, 자동검사를 할 수 있고, 광로변경수단이 제 1 위치로 배치되어서 액정표시패널로부터의 광을 텔레비전카메라로 향하게 하기 때문에, 측정스테이지에 배치된 액정표시패널을 텔레비전카메라에 의해 광로변경수단을 통해서 촬상할 수 있다. 이것에 대해서, 육안검사를 할 수 있고, 광로변경수단이 제 2 위치로 배치되어서 액정표시패널로부터의 광을 작업자에 의해 육안검사위치로 향하게 하기 때문에, 측정스테이지에 배치된 액정표시패널을 광로변경수단을 거쳐서 관찰할 수 있다. 이 결과, 텔레비전카메라를 사용하는 자동검사와 사람에 의한 육안검사를 선택적으로 행할 수 있다.The supporting means includes the optical path changing means, the optical path changing means for directing light from the liquid crystal display panel to the television camera, and directing light from the liquid crystal display panel to a visual inspection position by an operator. It may have a function to selectively change to the second position. In this case, automatic inspection can be performed, and the optical path changing means is arranged in the first position so that the light from the liquid crystal display panel is directed to the television camera. Therefore, the liquid crystal display panel arranged on the measuring stage is changed by the television camera. Imaging can be performed through the means. On the other hand, the visual inspection can be performed, and since the optical path changing means is arranged at the second position to direct the light from the liquid crystal display panel to the human visual inspection position, the liquid crystal display panel arranged on the measuring stage is changed to the optical path. It can be observed by means. As a result, automatic inspection using a television camera and visual inspection by a person can be selectively performed.

상기 지지수단은 상기 광로변경수단을 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널로부터의 광을 작업자에 의한 육안검사위치로 향하게 하는 제 1 위치와, 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널과 상기 제 1 위치와의 사이의 광로 바깥으로 되는 제 2 위치로 선택적으로 변경가능하게 지지하는 기능을 가져도 좋다. 이와 같이 하면, 육안검사를 할 수 있고, 광로변경수단이 제 1 위치로 배치되어서 액정표시패널로부터의 광을 작업자에 의한 육안검사위치로 향하게 하기 때문에, 측정스테이지로 배치된 액정표시패널을 광로변경수단을 통해 관찰할 수 있다. 이것에 대해서, 자동검사를 할 수 있고, 광로변경수단이 제 2 위치로 배치되기 때문에, 광로변경수단에 영향을 받지 않고, 측정스테이지에 배치된 액정 표시패널을 텔레비전카메라에 의해 촬영 즉 촬상할 수 있다. 그 결과, 텔레비전카메라를 이용하는 자동검사와 사람에 의한 육안검사를 선택적으로 행할 수 있다.The support means includes a first position for directing the optical path changing means to direct light from the liquid crystal display panel to a visual inspection position by an operator, and the optical path changing means for the liquid crystal display panel and the first position. It may have a function of selectively changing support to a second position which is out of the optical path between and. In this way, the visual inspection can be performed, and the optical path changing means is arranged in the first position to direct the light from the liquid crystal display panel to the visual inspection position by the operator. Therefore, the liquid crystal display panel arranged in the measuring stage is changed to the optical path. It can be observed by means. On the other hand, since the automatic inspection can be performed and the optical path changing means is arranged in the second position, the liquid crystal display panel disposed on the measuring stage can be photographed, or captured, by the television camera without being affected by the optical path changing means. have. As a result, automatic inspection using a television camera and visual inspection by a person can be selectively performed.

제1도는 본 발명에 따른 검사장치의 제 1 실시예를 도시하는 정면도.1 is a front view showing a first embodiment of an inspection apparatus according to the present invention.

제2도는 제1도의 검사장치의 좌측면도.2 is a left side view of the inspection apparatus of FIG.

제3도는 제1도의 검사장치의 개구를 개방하는 위치에 커버를 변위시킨 상태를 도시하는 정면도.FIG. 3 is a front view showing a state where the cover is displaced at a position where the opening of the inspection apparatus of FIG. 1 is opened. FIG.

제4도는 제1도의 검사장치를 제2도에서 화살표 4 방향에서 본 도면.4 is a view of the inspection apparatus of FIG. 1 as viewed from the direction of arrow 4 in FIG.

제5도는 본 발명에 따른 검사장치의 제 2 실시예를 도시하는 정면도.5 is a front view showing a second embodiment of the inspection apparatus according to the present invention.

제6도는 제5도의 검사장치의 우측면도.6 is a right side view of the inspection apparatus of FIG.

제7도는 제5도의 검사장치의 개구를 개방하는 위치로 커버를 변위시킨 상태를 도시하는 정면도.FIG. 7 is a front view showing a state where the cover is displaced to a position in which the opening of the inspection apparatus of FIG. 5 is opened.

제8도는 본 발명에 따른 검사장치의 제 3 실시예를 도시하는 정면도.8 is a front view showing a third embodiment of the inspection apparatus according to the present invention;

제9도는 제8도의 검사장치의 우측면도.9 is a right side view of the inspection apparatus of FIG.

제10도는 제9도의 검사장치의 개구를 개방하는 위치에 덮개를 변위시킨 상태를 도시하는 정면도.FIG. 10 is a front view showing a state where the lid is displaced at a position for opening the opening of the inspection device of FIG. 9; FIG.

제11도는 제9도의 검사장치의 개구를 개방하는 위치에 덮개를 변위시킨 상태를 도시하는 우측면도.FIG. 11 is a right side view showing a state where the lid is displaced in a position to open the opening of the inspection device of FIG. 9; FIG.

제12도는 본 발명에 따른 검사장치의 제 4 실시예를 도시하는 정면도.12 is a front view showing a fourth embodiment of the inspection apparatus according to the present invention.

제13도는 제12도의 검사장치의 우측면도.13 is a right side view of the inspection apparatus of FIG.

제14도는 제12도의 검사장치의 덮개를 커버에서 떠낸 상태를 도시하는 정면도.14 is a front view showing a state where the cover of the inspection apparatus of FIG. 12 is removed from the cover.

제15도는 본 발명에 따른 검사장치의 제5 실시예를 도시하는 정면도.15 is a front view showing a fifth embodiment of the inspection apparatus according to the present invention;

제16도는 제15도의 검사장치의 평면도.16 is a plan view of the inspection apparatus of FIG.

제17도는 제15도의 검사장치에서 광로변경수단을 위한 지지수단의 일 실시예를 도시하는 도면.FIG. 17 shows an embodiment of support means for the optical path changing means in the inspection apparatus of FIG.

제18도는 광로변경수단을 위한 지지수단의 다른 실시예를 도시하는 도면.18 shows another embodiment of the support means for the light path changing means.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

10, 50, 60, 70, 80 : 검사장치 12 : 액정표시패널10, 50, 60, 70, 80: inspection device 12: liquid crystal display panel

14 : 본체부 16 : 로드부14 body portion 16 rod portion

18 : 테스터부 20 : 광체(筐

Figure kpo00002
)18: tester 20: the body (筐
Figure kpo00002
)

22 : 측정스테이지 24 : 검사용 프로브 유닛22: measuring stage 24: inspection probe unit

26 : 경사부 28 : 광체의 개구26 inclined portion 28 opening of the body

30 : 베이스 판 32 : 시일드커버30: base plate 32: seal cover

34 : 힌지 36 : 광로변경수단34: hinge 36: light path changing means

38 : 액정표시패널로부터의 광 40 : 카메라스테이지38: light from the liquid crystal display panel 40: camera stage

42 : 텔레비전카메라 52 : 레일42: television camera 52: rail

62 : 커버의 개구 64 : 덮개62: opening of the cover 64: cover

66 : 힌지 72 : 손잡이66: hinge 72: handle

84 : 광로변경수단의 부착쇠붙이 100, 102 : 광로변경수단 부착용 브리킷84: attachment bracket of the optical path changing means 100, 102: briquette for attaching the optical path changing means

104 : 볼트 106 : 너트104: bolt 106: nut

도 1 내지 도 4를 참조하면, 검사장치(10)는 텔레비전카메라를 사용하는 자동검사와 사람에 의한 육안검사를 선택적으로 할 수 있는 실시예이다.1 to 4, the inspection apparatus 10 is an embodiment in which an automatic inspection using a television camera and a visual inspection by a person can be selectively performed.

검사장치(10)는 액정표시패널(12)을 검사하는 본체부(14)와, 액정표시패널(12)을 본체부(14)에 배치하고 또한 본체부(14)로부터 제거한 로드부(16)와, 본체부(14)에 배치된 액정표시패널(12)을 자동적으로 검사하는 테스터부(18)를 포함한다. 로드부(16)는 본체부(14)의 후측에 배치되어 있고, 테스터부(18)는 본체부(14)의 좌측에 배치되어 있다.The inspection apparatus 10 includes a main body portion 14 for inspecting the liquid crystal display panel 12 and a rod portion 16 in which the liquid crystal display panel 12 is disposed on the main body portion 14 and removed from the main body portion 14. And a tester section 18 for automatically inspecting the liquid crystal display panel 12 disposed in the main body section 14. The rod part 16 is arrange | positioned at the rear side of the main-body part 14, and the tester part 18 is arrange | positioned at the left side of the main-body part 14. As shown in FIG.

본체부(14)는 앵글재와 같은 복수의 강재와, 상기 강재에 복수의 나사부재에 의해 부착되어 있는 내부공간을 외부공간으로부터 구획하는 복수의 패널에 의해 형성된 프레임 즉 광체(20)를 구비한다. 본체부(14)내에는 측정스테이지(22)와 검사용의 프로브 유닛(24)이 배치되어 있다. 광체(20)의 전측상부는 경사진 경사부(26)로 되어 있고, 경사부(26)는 측정스테이지(22) 및 프로브 유닛(24)의 배치위치에 대응하는 장소에 개구(28)를 갖는다.The main body portion 14 includes a frame formed by a plurality of steels, such as an angle material, and a plurality of panels partitioning an internal space attached to the steel material by a plurality of screw members from the external space, that is, the housing 20. . In the main body 14, the measuring stage 22 and the inspection probe unit 24 are arrange | positioned. The front upper part of the housing 20 is an inclined inclined portion 26, and the inclined portion 26 has an opening 28 at a position corresponding to the arrangement position of the measuring stage 22 and the probe unit 24. .

측정 스테이지(22)는 액정표시패널(12)을 수평선 및 연직선에 대해서 비스듬히 지지하도록, 상향으로 비스듬한 받침부(22a)를 가진다. 받침부(22a)는 광체(20)의 경사부(26)와 평행하다. 그리고, 액정표시패널(12)은 전방 및 상방으로 향하는 상태로 지지된다. 받침부(22a)의 위치는 3차원적으로 조정가능하다. 받침부(22a)의 위치의 조정의 방향은 경사부(26)와 평행한 면내의 상호 직교하는 2개의 축선의 방향과, 측정스테이지(22)의 상면에 대해서 직교하는 축선의 방향이다. 받침부(22a)는 또한 받침부(22a)상의 액정표시패널(12)과 수직의 축선 둘레의 회전각도를 조정 가능하다.The measurement stage 22 has a support 22a obliquely upward to support the liquid crystal display panel 12 at an angle with respect to the horizontal line and the vertical line. The supporting portion 22a is parallel to the inclined portion 26 of the housing 20. The liquid crystal display panel 12 is supported in a state of facing forward and upward. The position of the support part 22a is three-dimensionally adjustable. The direction of adjustment of the position of the support part 22a is the direction of the two mutually orthogonal axes in the plane parallel to the inclination part 26, and the direction of the axis line orthogonal to the upper surface of the measuring stage 22. As shown in FIG. The support part 22a can also adjust the rotation angle about the axis line perpendicular to the liquid crystal display panel 12 on the support part 22a.

프로브 유닛(24)은 측정스테이지(22)의 받침부(22a)에 대해서 개구(28)의 측에 배치되어 있고, 또한 액정표시패널(12)의 단자에 당접되어 있는 검사용의 복수의 프로브를 구비하고 있고, 더욱이 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)을 개구측에서 관찰하기위한 사각형의 개구를 가진다.The probe unit 24 is arranged on the side of the opening 28 with respect to the support part 22a of the measuring stage 22, and the probe for inspection which abuts on the terminal of the liquid crystal display panel 12 is carried out. And a rectangular opening for observing the liquid crystal display panel 12 on the measurement stage 22 from the opening side.

개구(28)는 측정스테이지(22) 및 프로브 유닛(24)보다 큰 면적을 가지고, 또한 광체(20)의 일부인 베이스판(30)에 형성되어 있다. 개구(28)는 광체(20)내를 외부로부터 차광하는 상자 형상의 시일드 커버(32)에 의해 개폐가능하게 폐쇄되어 있다. 커버(32)는 도시한 예에서는 상부에 있어서 1 이상의 힌지(34)에 의해 광체(20)에 피봇축 운동가능하게 조립되어 있다. 그리고, 커버(32)를 도 1에 있어서, 좌단부, 우단부, 하부, 경사진 상부, 경사진 하부 등, 다른 부위에 있어서 광체(20)에 나사장착해도 좋다.The opening 28 has a larger area than the measuring stage 22 and the probe unit 24 and is formed in the base plate 30 which is part of the housing 20. The opening 28 is closed so that opening and closing is possible by the box-shaped shield cover 32 which shields the inside of the housing 20 from the outside. The cover 32 is pivotally assembled to the housing 20 by one or more hinges 34 at the top in the illustrated example. And the cover 32 may be screwed to the housing 20 in other parts, such as a left end part, a right end part, a lower part, the inclined upper part, and the inclined lower part in FIG.

커버(32)는 광로변경수단(36)을 지지하고 있다. 광로변경수단(36)은 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)로부터의 광(38)을 테스터부(18)의 상부로 향해 거의 수평으로 지향시키도록, 커버(32)내의 내측에 변위가능하게 조립되어 있다. 광로변경수단(36)은 광(38)의 광로를 90도 변경한다. 도시의 예에서는, 광로변경수단(32)은 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)에 수직의 축선에 대해서 45도 경사진 반사경이다.The cover 32 supports the optical path changing means 36. The optical path changing means 36 is displaced inside the cover 32 so as to direct the light 38 from the liquid crystal display panel 12 on the measuring stage 22 almost horizontally toward the upper part of the tester 18. It is assembled as possible. The optical path changing means 36 changes the optical path of the light 38 by 90 degrees. In the example of illustration, the optical path changing means 32 is a reflecting mirror inclined 45 degrees with respect to the axis perpendicular to the liquid crystal display panel 12 on the measuring stage 22.

테스터부(18)의 상부에는 카메라스테이지(40)가 배치되어 있다. 카메라스테이지(40)는 텔레비전카메라(42)를 그의 광축이 거의 수평으로 되는 자세로 지지하는 부착부(40a)를 가진다. 카메라스테이지(40)의 부착부(40a)의 위치는 전후, 좌우 및 상하의 3방향으로, 즉, 3차원적으로 조정가능하다. 텔레비전카메라(42)는 그의 광축이 광로변경수단(36)에 의해 반사광의 축선과 일치하도록, 광로변경수단(36)으로부터 측정스테이지(22)상의 액정표시패널과 평행의 수평방향으로 이격된 장소에 횡방향으로 지지되어 있다. 부착부(40a)는 또한 텔레비전카메라(42)의 광축의 둘레의 회전각도를 조정가능하다.The camera stage 40 is disposed above the tester 18. The camera stage 40 has the attachment part 40a which supports the television camera 42 in the attitude which its optical axis becomes substantially horizontal. The position of the attachment portion 40a of the camera stage 40 is adjustable in three directions: front, rear, left and right, and up and down, that is, three-dimensionally. The television camera 42 is located at a position spaced in a horizontal direction parallel to the liquid crystal display panel on the measurement stage 22 from the optical path changing means 36 so that its optical axis coincides with the axis of the reflected light by the optical path changing means 36. It is supported in the lateral direction. The attachment portion 40a can also adjust the rotation angle around the optical axis of the television camera 42.

도시하지는 않지만, 로드부(16)에는 액정표시패널의 장진지구가 배치되어 있고, 경사부(26)의 내측에는 장진기구 및 측정스테이지(22)에 대해서 액정표시패널을 받아 전달하는 전달기구가 배치되어 있다. 액정표시패널(12)은 검사에 우선해서, 장진기구로부터 전달기구로 이동되고, 전달 기구에 의해 측정스테이지(22)에 배치된다. 또한, 검사를 종료한 액정표시패널(12)은 전달 기구에 의해 측정스테이지(22)로부터 제거되고, 전달 기구로부터 장진기구로 이동된다.Although not shown in the drawing, a long region of the liquid crystal display panel is disposed in the rod portion 16, and a delivery mechanism for receiving and transmitting the liquid crystal display panel with respect to the long region and the measuring stage 22 is disposed inside the inclined portion 26. It is. Prior to the inspection, the liquid crystal display panel 12 is moved from the mounting mechanism to the transmission mechanism, and is disposed on the measurement stage 22 by the transmission mechanism. In addition, the liquid crystal display panel 12 which has finished the inspection is removed from the measuring stage 22 by the transfer mechanism, and is moved from the transfer mechanism to the mounting mechanism.

자동검사시, 광체(20)의 개구(28)는 도 1 및 도 2에 실선으로 도시하고 또한 도 4에 2점쇄선으로 도시한 바와 같이, 커버(32)에 의해 폐쇄되어있다. 이 때문에, 광로변경수단(36)은 도 1 및 도 2에 파선으로 도시하고 또한 도 4에 실선으로 도시한 바와 같이, 측정스테이지(22)에 배치된 액정표시패널(12)로부터의 광(38)을 텔레비전카메라(42)로 향해서 지향시키는 제 1 위치로 이동되어 있고, 또한, 그의 액정표시패널(12)의 상을 텔레비전카메라(42)에 반사시킨다.In the automatic inspection, the opening 28 of the housing 20 is closed by the cover 32, as shown in solid lines in FIGS. 1 and 2 and in dashed-dotted lines in FIG. For this reason, the optical path changing means 36 is light 38 from the liquid crystal display panel 12 disposed on the measuring stage 22, as shown in broken lines in Figs. 1 and 2 and in solid lines in Fig. 4. ) Is moved to the first position to direct toward the television camera 42, and the image of the liquid crystal display panel 12 is reflected on the television camera 42.

상기의 상태에서, 액정표시패널(12)이 구동되고, 텔레비전카메라(42)가 광로 변경수단(36)을 통해서 액정표시패널(12)을 촬상한다. 텔레비전카메라(42)의 출력신호는 도시하지 않은 처리회로에서 액정표시패널(12)의 양호불량의 판정에 사용된다. 자동검사시, 개구(28)가 커버(32)에 의해 폐쇄되어 있기 때문에, 외부의 광이 광체(20)내로 들어가는 일이 없고, 그래서 액정표시패널(12)을 텔레비전카메라(42)에 의해 정확하게 촬상할 수 있다.In this state, the liquid crystal display panel 12 is driven, and the television camera 42 picks up the liquid crystal display panel 12 through the optical path changing means 36. The output signal of the television camera 42 is used for determination of poor quality of the liquid crystal display panel 12 in a processing circuit not shown. At the time of automatic inspection, since the opening 28 is closed by the cover 32, no external light enters the housing 20, so that the liquid crystal display panel 12 can be accurately moved by the television camera 42. I can image.

육안검사시, 커버(32)가 도 2에 있어서 2점쇄선으로 도시하고 또한 도 3에 실선으로 도시한 바와 같이 힌지(34)의 피봇축의 둘레로 회전되어, 광체(20)의 개구(28)가 개방된다. 이것에 의해, 광로변경수단(36)이 액정표시패널(12)로부터 광로변경수단(36)으로의 입사광로에서 벗어난 제 2 위치로 이동되기 때문에, 작업자는 육안검사위치에서 위치하고, 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)을 관찰하는 것을 방해하지 않는 위치로 도시하지 않은 적절한 스토퍼에 의해 해제가능하게 유지된다.During visual inspection, the cover 32 is rotated around the pivot axis of the hinge 34 as shown by the dashed-dotted line in FIG. 2 and as the solid line in FIG. 3 to open the opening 28 of the housing 20. Is opened. As a result, the optical path changing means 36 is moved to the second position deviating from the incident light path from the liquid crystal display panel 12 to the optical path changing means 36, whereby the operator is located at the visual inspection position and the measuring stage 22 It is held releasably by an appropriate stopper (not shown) in a position that does not prevent viewing of the liquid crystal display panel 12 on the ().

사람에 의한 육안검사는, 텔레비전카메라를 이용하는 자동검사에 있어서 결함인지 아닌지의 판정이 곤란한 경우에 행해도 좋고, 그 이외의 경우, 예를 들면, 검사될 액정표시패널이 적은 경우에 행해도 좋다. 후자의 경우, 액정표시패널(12)을 사람에 의해, 특정스테이지(22)에 배치하고, 측정스테이지(22)로부터 제거해도 좋다. 또한, 육안검사에 의해 불량으로 판정된 액정표시패널을 로드부(16)의 장진기구를 이용하지 않고, 사람에 의해 측정스테이지(22) 또는 전달 기구로부터 제거해도 좋다.A visual inspection by a person may be performed when it is difficult to determine whether or not it is a defect in an automatic inspection using a television camera, or in other cases, for example, when there are few liquid crystal display panels to be inspected. In the latter case, the liquid crystal display panel 12 may be disposed on the specific stage 22 by a person and removed from the measurement stage 22. In addition, the liquid crystal display panel judged to be defective by visual inspection may be removed from the measuring stage 22 or the delivery mechanism by a person without using the holding mechanism of the rod part 16.

검사장치(10)에 의하면, 액정표시패널(12)로부터의 광(38)의 광로를 광로변경수단(36)에 의해 수평방향으로 변경하기 때문에, 텔레비전카메라(42)를 측정스테이지(22)의 상방으로 설치할 필요가 없고, 그리고, 텔레비전카메라를 측정스테이지의 상방에 설치한 경우에 비해서, 장치의 높이 치수가 작게된다.According to the inspection apparatus 10, since the optical path of the light 38 from the liquid crystal display panel 12 is changed in the horizontal direction by the optical path changing means 36, the television camera 42 is moved to the measuring stage 22. It is not necessary to install upward, and the height dimension of the apparatus is smaller than when the television camera is installed above the measuring stage.

또한, 개구(28)가 광체(20)의 전면상방으로 형성되어 있고, 또한 액정표시패널(12)이 수평선 및 연직선에 대해서 경사된 자세로, 즉 개구(28)와 대향하는 자세로 지지되어 있기 때문에, 액정표시패널(12)을 검사장치(10)의 정면에서 경사진 상방로부터 관찰할 수 있고, 그리고 액정표시패널(12)을 용이하게 또한 정확하게 관찰할 수 있다.In addition, the opening 28 is formed above the front of the housing 20, and the liquid crystal display panel 12 is supported in a posture inclined with respect to the horizontal line and the vertical line, that is, in a posture opposite to the opening 28. Therefore, the liquid crystal display panel 12 can be observed from the inclined upper side in front of the inspection apparatus 10, and the liquid crystal display panel 12 can be easily and accurately observed.

도 5 내지 도 7을 참조하면, 검사장치(50)는 광체(20)의 경사부(26)에 평행하게 신장하는 한 쌍의 레일(52)을 설치하고, 커버(32)를 레일(52)에 이동가능하게 지지키기고 있다. 도시의 예에서는, 레일(52)은 개구(28)를 커버(32)에 의해 개폐할 수 있도록, 경사부(26)를 상하방향으로 간격을 두어 좌우방향으로 신장한다. 그리고, 레일(52)은 개구(28)를 커버(32)에 의해 개폐할 수 있는 한, 상하방향, 경사진 상하방향 등, 다른 방향으로 신장해도 좋다.5 to 7, the inspection apparatus 50 installs a pair of rails 52 extending parallel to the inclined portion 26 of the housing 20, and covers the cover 32 with the rails 52. It's movably supported. In the example of illustration, the rail 52 extends in the left-right direction at intervals in the up-down direction so that the opening 28 may be opened and closed by the cover 32. As shown in FIG. The rail 52 may extend in other directions, such as the vertical direction and the inclined vertical direction, as long as the opening 28 can be opened and closed by the cover 32.

자동검사시, 커버(32)는 도 5에 도시한 바와 같이, 광체(20)의 개구(28)를 폐쇄하는 위치로 이동된다. 이 때문에, 광로변경수단(36)은 측정스테이지에 배치된 액정표시패널(12)로부터의 광을 텔레비전카메라(42)로 향해서 지향시키는 제 1 위치로 이동시키고, 또한 그의 액정표시패널(12)의 상을 텔레비전카메라(42)에 반사 시킨다.In the automatic inspection, the cover 32 is moved to a position for closing the opening 28 of the housing 20, as shown in FIG. For this reason, the optical path changing means 36 moves the light from the liquid crystal display panel 12 disposed on the measuring stage to the first position for directing the light toward the television camera 42, and furthermore, The image is reflected on the television camera 42.

육안검사시, 커버(32)는 도 7에 도시한 바와 같이, 광체(20)의 개구(28)를 개방하는 위치로 이동시킨다. 이것에 의해, 광로변경수단(36)이 액정표시패널(12)로부터 광로변경수단(36)으로의 입사광로에서 벗어난 제 2 위치로 이동되기 때문에, 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)을 개구(28)로부터 육안으로 관찰하여 검사할 수 있다.During visual inspection, the cover 32 is moved to a position to open the opening 28 of the housing 20, as shown in FIG. As a result, the optical path changing means 36 is moved to the second position deviating from the incident light path from the liquid crystal display panel 12 to the optical path changing means 36, so that the liquid crystal display panel 12 on the measuring stage 22 is moved. Can be visually inspected from the opening 28 and inspected.

도 8 내지 도 11을 참조하면, 검사장치(60)는 사각형의 작은 창구멍, 즉 개구(62)를 커버(32)에 형성하고, 개구(62)를 개방가능하게 폐쇄하는 사각형의 덮개(64)를 힌지(66)에 의해 커버(32)에 부착하고, 광로변경수단(36)을 덮개(64)의 내측에 변위불능하게 부착하고, 커버(32)를 광체(20)의 개구를 폐쇄하도록 제거가능하게 광체(20)에 부착하고 있다.8 to 11, the inspection apparatus 60 forms a rectangular small window hole, that is, an opening 62 in the cover 32, and a rectangular cover 64 which opens the opening 62 so as to be openable. To the cover 32 by the hinge 66, the optical path changing means 36 is displaceably attached to the inside of the cover 64, and the cover 32 is removed to close the opening of the housing 20. It is attached to the housing 20 as much as possible.

커버(32)의 개구(62)는 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)을 관찰가능의 위치에 형성되어 있고, 광로변경수단(36)은 개구(62)가 덮개(64)에 의해 폐쇄할 때, 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)의 상을 텔레비전카메라(42)에 반사하도록 덮개(64)에 부착되어 있다. 도시한 예에서는, 덮개(64)는 우단부에 있어서 커버(32)에 나사장착되어 있다. 그리고, 덮개(64)를 다른 부위에서 커버(32)에 나사 장착해도 좋다. 커버(32)는 힌지(66)와 공동해서 개구(62)를 폐쇄한 상태로 해제가능하게 유지하는 멈춤구(68)를 가진다.The opening 62 of the cover 32 is formed at a position at which the liquid crystal display panel 12 on the measuring stage 22 can be observed, and the optical path changing means 36 has an opening 62 by the lid 64. When closing, the lid 64 is attached to the lid 64 so that the image of the liquid crystal display panel 12 on the measurement stage 22 is reflected on the television camera 42. In the example shown in figure, the cover 64 is screwed to the cover 32 in the right end part. The cover 64 may be screwed onto the cover 32 at another portion. The cover 32 has a stopper 68 that, in conjunction with the hinge 66, holds the opening 62 releasably in a closed state.

자동검사시, 덮개(64)는 도 8과 도 9에 도시한 바와 같이, 커버(32)의 개구(62)를 폐쇄하는 위치에 배치된다. 이 때문에, 광로변경수단(36)은 측정스테이지에 배치된 액정표시패널(12)로부터의 광을 텔레비전카메라(42)로 향해 지향시키는 제 1 위치로 이동되고, 또한 그의 액정표시패널(12)의 상을 텔레비전카메라(42)에 반사시킨다.In the automatic inspection, the lid 64 is disposed in a position to close the opening 62 of the cover 32, as shown in Figs. For this reason, the optical path changing means 36 is moved to the first position for directing the light from the liquid crystal display panel 12 disposed on the measurement stage toward the television camera 42, and the liquid crystal display panel 12 of the liquid crystal display panel 12 is moved. The image is reflected on the television camera 42.

육안검사시, 커버(32)는 도 10 및 도 11에 도시한 바와 같이, 덮개(64)의 개구(62)를 개방하는 위치로 변위된다. 이것에 의해, 광로변경수단(36)이 액정표시패널(12)로부터 광로변경수단(36)으로의 입사광로에서 벗어난 제 2 위치로 이동되기 때문에, 측정스테이지상의 액정표시패널(12)을 개구(62)로부터 육안으로 관찰하여 검사할 수 있다.During visual inspection, the cover 32 is displaced to a position to open the opening 62 of the cover 64, as shown in FIGS. 10 and 11. As a result, since the optical path changing means 36 moves to the second position deviating from the incident light path from the liquid crystal display panel 12 to the optical path changing means 36, the liquid crystal display panel 12 on the measurement stage is opened. 62) can be visually inspected.

상기의 실시예와 같이, 커버(32) 또는 덮개(64)를 광체(20) 또는 커버(32)에 제거 불능하게 조립하는 대신에, 커버(32) 또는 덮개(64)를 광체(20) 또는 커버(32)에 제거가능하게 조립해도 좋다.As in the above embodiment, instead of assembling the cover 32 or the cover 64 to the housing 20 or the cover 32 in an irremovable manner, the cover 32 or the cover 64 may be mounted on the housing 20 or the housing. The cover 32 may be detachably assembled.

도 12 내지 도 14에 도시하는 검사장치(70)는 덮개(64)에 한 쌍의 손잡이(72)를 설치하고, 덮개(64)를 커버(32)에 제거가능하게 조립하고 있다. 이 때문에, 광로변경수단(36)은 도 12 및 도 13에 도시한 바와 같이, 커버(32)의 개구(62)를 폐쇄하도록 덮개(64)를 커버(32)에 조립함으로써 제 1 위치로 이동되고, 도 14에 도시한 바와 같이 개구(62)를 개방하도록 덮개(64)를 커버(32)에서 떼어내므로서 제 2 위치로 이동된다.In the inspection apparatus 70 shown in FIGS. 12-14, the pair of handles 72 are attached to the cover 64, and the cover 64 is assembled to the cover 32 so that removal is possible. For this reason, the optical path changing means 36 moves to the first position by assembling the lid 64 to the cover 32 so as to close the opening 62 of the cover 32, as shown in Figs. As shown in FIG. 14, the cover 64 is moved to the second position by removing the cover 64 from the cover 32 so as to open the opening 62.

광로변경수단(36)은 덮개(64)가 커버(32)에 조립되어질 때, 측정스테이지에 배치된 액정표시패널(12)의 상을 텔레비전카메라(42)에 반사하지만, 덮개(64)가 커버(32)에서 떼어지면, 커버(32)와 함께 이동된다. 커버(32)에서 떼어낸 덮개(64)는 광체(20)에 횡방향으로 놓일 수 있다.The optical path changing means 36 reflects the image of the liquid crystal display panel 12 disposed on the measuring stage to the television camera 42 when the cover 64 is assembled to the cover 32, but the cover 64 covers the cover. When removed from 32, it is moved with the cover 32. The cover 64 removed from the cover 32 may be laterally placed on the housing 20.

상기의 각 실시예에서는 광로변경수단(36)은 광(38)을 텔레비전카메라(42)로 향해 지향시키도록 배치되어 있다. 그리고, 광로변경수단(36)을 이것이 광(38)을 텔레비전카메라(42)에 지향시키는 위치와, 사람에 의한 육안검사위치로 지향시키는 위치로 선택적으로 변위시키도록 광로변경수단(36)을 배치해도 좋다. 또한, 광로변경수단(36)을 이것이 광(38)을 육안검사위치로 지향시키는 위치와, 액정표시패널(12)로부터의 광이 광로변경수단(36)을 거치지 않고 텔레비전카메라(42)에 입사하는 것을 허용하는 위치로 선택적으로 변위시킬 수 있도록 광로변경수단(36)을 배치해도 좋다.In each of the above embodiments, the optical path changing means 36 is arranged to direct the light 38 toward the television camera 42. Then, the optical path changing means 36 is disposed so as to selectively displace the optical path changing means 36 to a position where it directs the light 38 to the television camera 42 and to a position where it directs to the human visual inspection position. You may also Further, the optical path changing means 36 causes the light 38 to be directed to the visual inspection position, and the light from the liquid crystal display panel 12 enters the television camera 42 without passing through the optical path changing means 36. The optical path changing means 36 may be disposed so as to be selectively displaced to a position that allows the use.

상기의 각 실시예는 광로변경수단(36)을 변위시키므로서, 자동검사와 육안검사를 선택적으로 행할 수 있다. 그리고 본 발명은 그와 같은 장치만을 한정하지 않고, 육안검사에는 불적합한 장치에도 적용할 수 있다.In each of the above embodiments, the automatic inspection and the visual inspection can be selectively performed by displacing the optical path changing means 36. The present invention is not limited to such a device, but can be applied to a device that is not suitable for visual inspection.

도 15 내지 도 17를 참조하면, 검사장치(80)는 육안검사시에는 적합하지 않지만, 자동검사시에는 적합한 장치의 일 실시예이다. 검사장치(80)는 로드부(16)를 본체부(14)의 우측에 배치하고, 테스트부(18)를 본체부(14)의 좌측에 배치하고 있다. 광체(20)는 그의 전면에 경사부를 가지지 않는다.15 to 17, the inspection apparatus 80 is not suitable for visual inspection, but is an embodiment of a suitable apparatus for automatic inspection. The inspection apparatus 80 arrange | positions the rod part 16 to the right side of the main-body part 14, and arrange | positions the test part 18 to the left side of the main-body part 14. FIG. The housing 20 does not have a slope in front of it.

광체(20)의 전면상부는 측정스테이지(22) 및 액정표시패널(12)을 관찰하기위한 개구로 되어 있고, 상기 개구는 광체(20)에 나사장착된 한 쌍의 문짝(82)에 의해 양쪽 개방식으로 개방가능하게 폐쇄되어있다. 측정스테이지(22)는 그의 받침부(22a)가상향으로 되고 또한 액정표시패널(12)을 받침부(22a)에 거의 수평의 상태로 지지하도록 본체부(14)에 배치되어 있고, 프로브 유닛(24)은 측정스테이지(22)의 받침부(22a)의 상측에 배치되어 있다.The upper part of the front surface of the housing 20 is an opening for observing the measuring stage 22 and the liquid crystal display panel 12, and the openings are opened by a pair of doors 82 screwed to the housing 20. It is openly open and closed. The measuring stage 22 is arranged on the main body 14 so that its supporting portion 22a is upward and supports the liquid crystal display panel 12 in a substantially horizontal state to the supporting portion 22a. 24 is disposed above the supporting portion 22a of the measuring stage 22.

도 17에 도시한 바와 같이, 광로변경수단(36)은 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)로부터의 광(38)을 테스터부(18)의 상부로 향해서 거의 수평으로 지향시키도록, 광체(20)의 내측에 부착쇠붙이(84)에 의해 변위불능하게 조립되어 있다. 광로변경수단(36)은 광(38)의 광로를 90도 변경한다.As shown in FIG. 17, the optical path changing means 36 directs the light 38 from the liquid crystal display panel 12 on the measuring stage 22 almost horizontally toward the upper portion of the tester 18. The inner side of the housing 20 is assembled in a non-displaceable manner by the mounting bracket 84. The optical path changing means 36 changes the optical path of the light 38 by 90 degrees.

로드부(16)는 카세트 설치대(86)와, 가대(88)와 상기 가대에 좌우방향으로 이동가능하게 수용된 로봇(90)을 구비한다. 카세트설치대(86)는 복수의 액정표시패널을 수용한 복수의 카세트(92)를 상면에 수용하다. 로봇(90)은 검사 때마다, 검사될 액정표시패널을 카세트설치대(86)상의 적당한 카세트(92)로부터 취출해서 측정스테이지(22)로 운반하고, 검사 종료한 액정표시패널을 측정스테이지(22)로 운반하고, 검사 종료한 액정표시패널을 측정스테이지(22)로부터 수취해서 카세트 설치대(86)상의 소정의 카세트(92)로 이동 또는 복귀한다.The rod portion 16 includes a cassette mount 86, a mount 88 and a robot 90 housed on the mount so as to be movable in the left and right directions. The cassette mounting base 86 accommodates a plurality of cassettes 92 containing a plurality of liquid crystal display panels on the upper surface. The robot 90 takes out the liquid crystal display panel to be inspected from the appropriate cassette 92 on the cassette mounting base 86 and carries it to the measurement stage 22 every time the inspection is performed, and carries out the inspection-ended liquid crystal display panel to the measurement stage 22. The liquid crystal display panel after the inspection is completed is received from the measuring stage 22 and moved or returned to a predetermined cassette 92 on the cassette mounting table 86.

카메라스테이지(40)는 테스터부(18)의 상부에 배치되어있다. 카메라스테이지(40)는 텔레비전카메라(42)를 그의 광축이 거의 수평으로되는 자세로 부착부(40a)에 지지한다. 텔레비전카메라(42)는 그의 광축이 광로변경수단(36)에 의해 반사광의 축선과 일치하도록, 광로변경수단(36)으로부터 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)과 평행의 수평방향으로 이격된 장소에 횡방향으로 향해 지지되어있다. 카메라스테이지(40)의 부착부(40a)의 위치는 3차원적으로(전후, 좌우 및 상하의 3방향으로)조정가능하다. 또한 부착부(40a)는 텔레비전카메라(42)의 광축의 둘레의 회전각도를 조정가능하다.The camera stage 40 is disposed above the tester unit 18. The camera stage 40 supports the television camera 42 to the attachment portion 40a in a position in which its optical axis is almost horizontal. The television camera 42 is spaced apart from the optical path changing means 36 in the horizontal direction parallel to the liquid crystal display panel 12 on the measurement stage 22 so that its optical axis coincides with the axis of the reflected light by the optical path changing means 36. Is supported in the transverse direction at the location. The position of the attachment portion 40a of the camera stage 40 is adjustable in three dimensions (in front, rear, left and right, and in three directions of up and down). The attachment portion 40a can also adjust the rotation angle around the optical axis of the television camera 42.

검사시, 광체(20)의 개구가 문짝(82)에 의해 폐쇄되어 광체(20)내부가 외부의 광으로부터 차단된 상태에서, 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)이 구동된다. 이것에 의해, 액정표시패널(12)로부터의 광(38)은 광로변경수단(36)에 의해 반사되어서 텔레비전카메라(42)로 향해 지향되고, 액정표시패널(12)의 상은 광로변경수단(36)에 의해 텔레비전카메라(42)에 반사된다.During the inspection, the liquid crystal display panel 12 on the measurement stage 22 is driven while the opening of the housing 20 is closed by the door 82 and the interior of the housing 20 is blocked from external light. As a result, the light 38 from the liquid crystal display panel 12 is reflected by the optical path changing means 36 and directed toward the television camera 42, and the image of the liquid crystal display panel 12 is directed to the optical path changing means 36. Reflected by the television camera 42.

상기의 상태에서, 텔레비전카메라(42)가 구동되어서 액정표시패널(12)을 광로변경수단(36)을 통해서 촬영 즉 촬상한다. 텔레비전카메라(42)의 출력신호는 도시하지 않은 처리회로에 있어서 액정표시패널(12)의 양호불량의 판정에 사용된다. 검사시, 광체(20)의 개구가 문짝(82)에 의해 폐쇄되어 있기 때문에, 외부의 광이 광체(20)내로 들어올 수 없고, 그래서 액정표시패널(12)을 텔레비전카메라(42)에 의해 정확히 촬상할 수 있다.In this state, the television camera 42 is driven to photograph, i.e., image the liquid crystal display panel 12 through the optical path changing means 36. The output signal of the television camera 42 is used to determine the poor quality of the liquid crystal display panel 12 in a processing circuit not shown. At the time of inspection, since the opening of the housing 20 is closed by the door 82, no external light can enter the housing 20, so that the liquid crystal display panel 12 is accurately opened by the television camera 42. I can image.

검사장치(80)에 의하면, 액정표시패널(12)로부터의 광(38)의 광로를 광로변경수단(36)에 의해 수평방향으로 변경하기 때문에, 텔레비전카메라(42)를 측정스테이지(22)의 상방으로 설치할 필요가 없고, 그래서 텔레비전카메라를 측정스테이지의 상방으로 설치한 장치에 비해서, 장치의 높이 치수가 작게된다.According to the inspection apparatus 80, since the optical path of the light 38 from the liquid crystal display panel 12 is changed in the horizontal direction by the optical path changing means 36, the television camera 42 is connected to the measuring stage 22. There is no need to install upward, so that the height dimension of the device is smaller than that of the device in which the television camera is installed above the measuring stage.

상기의 검사장치(80)에서는 광로변경수단(36)을 부착쇠붙이(84)에 의해 광체(20)에 변위불능하게 조립되어 있지만, 광로변경수단(36)에 대해 광(38)의 입사각 및 반사각을 변경할 수 있도록, 광로변경수단(36)을 지지수단에 의해 광체(20)에 조립해도 좋다.In the above inspection apparatus 80, the optical path changing means 36 is disassembled to the housing 20 by means of the fittings 84, but the angle of incidence and the reflection angle of the light 38 with respect to the optical path changing means 36 are fixed. The optical path changing means 36 may be assembled to the housing 20 by the supporting means so that can be changed.

도 18에 도시하는 지지수단의 실시예에서는 제 1 브리킷(100)을 1 이상의 나사부재에 의해 광체(20)에 조립하고, 광로변경수단(36)을 제 2 브리킷(102)에 지지시키고, 제 2 브리킷(102)을 볼트(104)와 이것에 나사결합된 너트(106)에 의해 제 1 브리킷(100)에 조립되어있다. 볼트(104)는 광로변경수단(36)에 의해 반사광의 진행방향과 직교하는 수평방향으로 신장하지만, 광로변경수단(36)의 반사면과 평행하게 비스듬하게 신장해도 좋다.In the embodiment of the supporting means shown in Fig. 18, the first briquette 100 is assembled to the housing 20 by one or more screw members, and the optical path changing means 36 is supported on the second briquette 102. The second briquette 102 is assembled to the first briquette 100 by the bolt 104 and the nut 106 screwed thereto. The bolt 104 extends in the horizontal direction orthogonal to the traveling direction of the reflected light by the optical path changing means 36, but may extend obliquely in parallel with the reflective surface of the optical path changing means 36.

브리킷(100, 102)은 통상 볼트(104)와 너트(106)에 의해 변위불능하게 결합되어 있다. 그리고, 볼트(104)와 너트(106)의 나사결합을 풀고, 제 1 브리킷(102)를 화살표(108a 또는 108b)의 방향으로 각도적으로 회전시키면, 광로변경수단(36)에 대한 광(38)의 입사각 및 반사각이 변화하고, 텔레비전카메라(42)에 의해 시야 즉 촬상범위가 변화한다. 그래서, 텔레비전카메라(42)에 의해 촬상범위를 변경 또는 조정할 수 있다.The briquettes 100, 102 are typically immovably coupled by bolts 104 and nuts 106. Then, when the bolt 104 and the nut 106 are unscrewed and the first briquette 102 is angularly rotated in the direction of the arrow 108a or 108b, the light on the optical path changing means 36 The incident angle and the reflection angle of 38 are changed, and the field of view, ie, the imaging range, is changed by the television camera 42. Thus, the image capturing range can be changed or adjusted by the television camera 42.

브리킷(100, 102)을 볼트(104)와 너트(106)에 의해 변위불능하게 결합시키는 대신에, 제 2 브리킷(102)을 펄스모터와 같은 회전원에 의해 각도적으로 회전이동 시키도록 해도 좋다. 이 경우, 볼트(104) 대신에, 피봇축을 이용하고, 상기 피봇축에 제 2 브리킷(102)을 고정하고, 피봇축을 회전원에 의해 각도적으로 회전시키도록 해도 좋고, 제 2 브리킷(102)을 피봇축에 회전가능하게 지지시키고, 제 2 브리킷(102)을 회전원에 의해 각도적으로 회전시키도록 해도 좋다.Instead of displacing the briquettes 100, 102 by means of the bolts 104 and the nuts 106, the second briquettes 102 are rotated angularly by a rotation source such as a pulse motor. You may also In this case, instead of the bolt 104, a pivot shaft may be used, the second briquette 102 may be fixed to the pivot shaft, and the pivot shaft may be rotated angularly by a rotational source. 102 may be rotatably supported on the pivot shaft, and the second briquette 102 may be rotated angularly by a rotation source.

광로변경수단(36)에 대한 광(38)의 입사각 및 반사각을 조정가능하게 광로변경수단(36)을 지지하는 지지수단은 자동검사에 적합한 검사장치(80)뿐만아니라, 자동검사 및 육안검사를 할 수 있는 검사장치(10, 50, 60, 70)에 설치해도 좋다. 또한, 광(38)을 거의 수평방향으로 지향시키도록 광로변경수단(36)을 배치하는 대신에, 광(38)을 연직방향 즉 상하방향이외의 다른 방향, 예를 들면, 비스듬한 상방, 비스듬한 하방 등으로 지향시키도록, 광로변경수단을 배치해도 좋다.The support means for supporting the optical path changing means 36 to adjust the incident angle and the reflection angle of the light 38 with respect to the optical path changing means 36 is not only an inspection device 80 suitable for automatic inspection, but also an automatic inspection and a visual inspection. You may install in the inspection apparatus 10, 50, 60, 70 which can be made. Further, instead of arranging the optical path changing means 36 to direct the light 38 in a substantially horizontal direction, the light 38 is directed in a direction other than the vertical direction, that is, the vertical direction, for example, obliquely upward and obliquely downward. The optical path changing means may be arranged so as to be oriented to the back.

도시한 예에서는, 어느 것도, 측정스테이지(22)상의 액정표시패널(12)에 수직의 축선에 대하는 광로변경수단(36)의 경사각도 및 광로변경수단(36)에 의한 광로의 변경각도는 각각 45도 및 90도 이외의 다른 각도로 해도 좋고, 그리고 광로변경수단(36)에 대하는 광(38)의 입사각 및 반사각은 45도 이외의 각도로 해도 좋다.In the illustrated example, neither of the inclination angles of the optical path changing means 36 with respect to the axis perpendicular to the liquid crystal display panel 12 on the measuring stage 22 and the angle of change of the optical paths by the optical path changing means 36 are respectively. The angles other than 45 degrees and 90 degrees may be sufficient, and the incident angle and the reflection angle of the light 38 with respect to the optical path changing means 36 may be angles other than 45 degrees.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않는다. 예를 들면, 검사장치(60)에 있어서, 광로변경수단(36)을 지지하는 덮개(64)를 광체(20)의 경사부(62)에 대해 좌우 또는 상하방향으로 이동시키도록 해도 좋고, 광체(20)에서 떼어내도록 해도 좋다. 또, 광로변경수단(36)을 커버(32), 덮개(64), 광체(20) 또는 브리킷(100, 102)에 부착하는 대신에, 광로변경수단(36)을 제 1 및 제 2 위치에 선택적으로 변위시키는 다른 지지수단을 광체(20)에 설치해도 좋다.The present invention is not limited to the above embodiment. For example, in the inspection apparatus 60, the cover 64 supporting the optical path changing means 36 may be moved left or right or up and down with respect to the inclined portion 62 of the housing 20. You may remove from (20). In addition, instead of attaching the optical path changing means 36 to the cover 32, the lid 64, the housing 20 or the briquettes 100 and 102, the optical path changing means 36 is placed in the first and second positions. May be provided in the housing 20 to selectively displace each other.

Claims (9)

액정표시패널(12)을 배치하는 측정스테이지(22)와, 상기 측정스테이지에 배치된 액정표시패널을 촬상하는 텔레비전카메라(42)와, 상기 액정표시패널로부터의 광(38)을 작업자에 의한 육안검사위치 또는 상기 텔레비전카메라로 향하게 하기 위해 상기 광의 광로를 상하방향에 대해 각도를 갖는 방향으로 변경하는 광로변경수단(36)을 포함하는 액정표시패널의 검사장치.The measurement stage 22 which arranges the liquid crystal display panel 12, the television camera 42 which image | photographs the liquid crystal display panel arrange | positioned at the said measurement stage, and the light 38 from the liquid crystal display panel by a human eye And an optical path changing means (36) for changing the optical path of the light to an angle with respect to the vertical direction to direct the inspection position or the television camera. 제 1 항에 있어서, 상기 광로변경수단(36)을 상기 광로변경수단에 대한 광의 입사각 및 반사각을 변경가능하게 지지하는 지지수단(20, 32, 64, 84, 100, 102, 104, 106)을 더 포함하는 액정표시패널의 검사장치.The support means (20, 32, 64, 84, 100, 102, 104, 106) for supporting the optical path changing means (36) so as to change the incident angle and the reflection angle of the light with respect to the optical path changing means. Inspection device of the liquid crystal display panel further comprising. 제2항에 있어서, 상기 지지수단(20, 32, 64, 84)은, 상기 광로변경수단(36)을, 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널(12)로부터의 광(38)을 상기 텔레비전카메라(42)로 향하게 하는 제 1 위치와, 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널과 상기 제 1 위치와의 사이의 광로 바깥으로 되는 제 2 위치로 선택적으로 변위가능하게 지지하는 액정표시패널의 검사장치.The television set according to claim 2, wherein the support means (20, 32, 64, 84) includes the optical path changing means (36), and the optical path changing means receives the light (38) from the liquid crystal display panel (12). Inspection of a liquid crystal display panel which is selectively displaceably supported at a first position facing the camera 42 and at a second position where the optical path changing means is outside the optical path between the liquid crystal display panel and the first position. Device. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 측정스테이지(22)는 액정표시패널(12)을 수평의 상태 또는 경사진 상태로 지지하는 받침부(22a)를 갖는 액정표시패널의 검사장치.4. The inspection apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the measuring stage 22 has a supporting portion 22a for supporting the liquid crystal display panel 12 in a horizontal state or an inclined state. . 제 3 항에 있어서, 상기 측정스테이지(22)는 액정표시패널(12)을 수평의 상태 또는 경사진 상태로 지지하는 받침부(22a)를 갖고, 상기 제 1 위치는 상기 받침부로부터 상기 받침부의 액정표시패널에 대해 수직의 방향으로 이격된 장소인 액정표시패널의 검사장치.4. The measuring stage (22) according to claim 3, wherein the measuring stage (22) has a supporting portion (22a) for supporting the liquid crystal display panel (12) in a horizontal state or an inclined state, wherein the first position is provided from the supporting portion to the supporting portion. An inspection apparatus for a liquid crystal display panel which is a place spaced in a direction perpendicular to the liquid crystal display panel. 제 2 항 또는 제 3 항 또는 제 5 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 지지수단은 상기 텔레비전카메라(42)에 의해 촬상범위를 덮는 커버(32)를 포함하고, 상기 광로변경수단(36)은 상기 커버의 내측에 배치되어 있고, 상기 커버는 상기 광로변경수단을 제 1 위치와 상기 제 2 위치로 선택적으로 이동하기 위해 변위가능한 액정표시패널의 검사장치.6. The support means according to any one of claims 2, 3, and 5, wherein the support means includes a cover 32 covering the imaging range by the television camera 42, and the optical path changing means 36 comprises: And a cover disposed inside the cover, the cover being displaceable to selectively move the optical path changing means to the first position and the second position. 제 2 항 또는 제 3 항 또는 제 5 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 지지수단은 상기 텔레비전카메라(42)에 의해 촬상범위를 덮는 커버(32)로서 상기 측정스테이지(22)를 관찰하는 개구(62)를 갖는 커버(32)와, 상기 개구를 개폐하는 덮개(64)를 포함하고, 상기 광로변경수단(36)은 상기 덮개의 내측에 배치되어 있고, 상기 덮개는 상기 광로변경수단을 상기 제 1 위치와 상기 제 2 위치로 선택적으로 이동하기 위해 변위가능한 액정표시패널의 검사장치.6. An opening 62 according to any one of claims 2, 3, and 5, wherein said support means observes said measuring stage 22 as a cover 32 covering said imaging range by said television camera 42. And a cover 64 for opening and closing the opening, wherein the optical path changing means 36 is disposed inside the cover, and the cover is configured to connect the optical path changing means to the first. And a liquid crystal display panel displaceable to selectively move to a position and to the second position. 제 2 항에 있어서, 상기 지지수단은, 상기 광로변경수단(36)을 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널(12)로부터의 광을 상기 텔레비전카메라(42)로 향하는 제 1 위치와, 상기 액정표시패널로부터의 광을 작업자에 의한 육안검사위치로 향하는 제 2 위치로 선택적으로 변위가능하게 지지하는 액정표시패널의 검사장치.3. The support means according to claim 2, wherein the support means includes a first position in which the optical path changing means 36 directs light from the liquid crystal display panel 12 to the television camera 42, and the liquid crystal. An inspection apparatus for a liquid crystal display panel for selectively displacing light from the display panel to a second position facing a visual inspection position by an operator. 제 2 항에 있어서, 상기 지지수단은, 상기 광로변경수단(36)을, 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널(12)로부터의 광을 작업자에 의한 육안 검사 위치로 향하는 제 1 위치와, 상기 광로변경수단이 상기 액정표시패널과 상기 제 1 위치와의 사이의 광로 바깥쪽으로 되는 제 2 위치에 선택적으로 변위가능하게 지지하는 액정표시패널의 검사장치.3. The support means according to claim 2, wherein the support means includes: the optical path changing means 36, a first position where the optical path changing means directs the light from the liquid crystal display panel 12 to a visual inspection position by an operator; And an optical path changing means for selectively displaceably supporting a second position at an outer side of the optical path between the liquid crystal display panel and the first position.
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