KR100858337B1 - Inspection Apparatus - Google Patents

Abstract

본 발명의 검사장치는 노이즈 광(光)을 확실하게 차단하여 측정 정밀도의 향상을 도모하기 위한 것이다. 본 발명은, 검사대상 판(板)을 배면에서 비추어 검사를 행하는 검사장치이다. 상기 검사대상 판을 그 가장자리에서 지지하는 패널 리시버와, 상기 패널 리시버에 지지된 상기 검사대상 판의 배면을 비추는 백라이트와, 상기 패널 리시버에 지지된 상기 검사대상 판의 가장자리의 상기 백라이트 쪽에 위치하고 상기 검사대상 판의 표시 영역의 바깥쪽으로 새는 빛을 차단하는 차광부재를 갖춘다. 상기 패널 리시버에 지지된 상기 검사대상 판과 상기 백라이트와의 사이에, 상기 백라이트로부터의 빛을 확산시키는 확산판을 갖춘다. 상기 차광부재는 상기 확산판의 가장자리에 일체적으로 설치한다.

검사장치, 액정패널, 노이즈 광, 백라이트, 차광부재, 확산판

The inspection apparatus of the present invention aims to improve the measurement accuracy by reliably blocking noise light. This invention is a test | inspection apparatus which performs a test by illuminating the board | substrate to be examined from the back surface. A panel receiver for supporting the inspection object plate at an edge thereof, a backlight for reflecting the back surface of the inspection object plate supported by the panel receiver, and being positioned on the backlight side of an edge of the inspection object plate supported by the panel receiver; A light blocking member for blocking light leaking out of the display area of the target plate is provided. A diffuser plate is provided between the inspection object plate supported by the panel receiver and the backlight to diffuse light from the backlight. The light blocking member is integrally installed at an edge of the diffusion plate.

Inspection device, liquid crystal panel, noise light, backlight, light blocking member, diffuser plate

Description

검사장치{Inspection Apparatus}Inspection Device {Inspection Apparatus}

도1은 본 발명에 따른 패널 지지기구를 나타내는 정면 단면도이다.1 is a front sectional view showing a panel support mechanism according to the present invention.

도2는 종래의 패널 지지기구를 나타내는 정면 단면도이다.2 is a front sectional view showing a conventional panel support mechanism.

도3은 종래의 패널 지지기구를 나타내는 요부 확대도이다.3 is an enlarged view illustrating main parts of a conventional panel support mechanism.

도4는 본 발명에 따른 패널 지지기구를 나타내는 평면도이다.4 is a plan view showing a panel support mechanism according to the present invention.

도5는 도4의 A-A 단면도이다.5 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

도6은 본 발명에 따른 패널 지지기구를 나타내는 일부 파단 사시도이다.6 is a partially broken perspective view showing a panel support mechanism according to the present invention.

도7은 본 발명에 따른 패널 지지기구의 차광부재를 나타내는 요부 확대 단면도이다.7 is an enlarged cross-sectional view of a main portion showing the light blocking member of the panel support mechanism according to the present invention.

도8은 액정패널을 나타내는 평면도이다.8 is a plan view showing a liquid crystal panel.

도9는 액정패널을 나타내는 측면도이다.9 is a side view showing a liquid crystal panel.

도10은 본 발명에 따른 차광부재가 가장자리에 일체적으로 설치된 확산판을 나타내는 사시도이다.10 is a perspective view illustrating a diffusion plate in which a light blocking member according to the present invention is integrally installed at an edge thereof.

도11은 본 발명의 변형예를 나타내는 요부 확대도이다.Fig. 11 is an enlarged view illustrating main parts showing a modification of the present invention.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *Description of the main symbols in the drawings

11: 베이스 판 12: 지주11: base plate 12: prop

13: 패널 지지기구 14: 액정패널13: panel support mechanism 14: liquid crystal panel

14A: 유리기판 14B: 표시부14A: glass substrate 14B: display unit

14C: 띠 영역 14D: 단자부14C: Band area 14D: Terminal part

15: 백라이트 16: 하우징15: backlight 16: housing

17: 형광관 20: 고정 베이스17: fluorescent tube 20: fixed base

21: 가동(可動) 베이스 22: 스토퍼 핀21: movable base 22: stopper pin

23: 패널 클램프(clamp) 24: 위치결정기구23: panel clamp 24: positioning mechanism

25: 차광 커버 26: 차광부재25: shading cover 26: shading member

27: 확산판 28: 개구27: diffusion plate 28: opening

30: 가변개구 32: 패널 리시버(receiver)30: variable opening 32: panel receiver

34: 결합장치 36: 제1 레일34: coupling device 36: first rail

37: 제1 가이드 38: 연결부재37: first guide 38: connecting member

39: 제2 레일 40: 제2 가이드39: second rail 40: second guide

41: 구동부 43: 볼나사41: drive unit 43: ball screw

44: 구동 모터 45: 너트44: drive motor 45: nut

46: 제3 레일 47: 제3 가이드46: third rail 47: third guide

51: 기판 52: 위치규제 플레이트(plate)51: substrate 52: positioning plate

53: 위치결정 플레이트 55: 긴 구멍53: positioning plate 55: long hole

56: 둥근 구멍 57: 나사56: round hole 57: screw

58: 나사 60: 나사구멍58: screw 60: screw hole

62: 커버 설치부재 63: 핀 구멍62: cover mounting member 63: pin hole

64: 결합 핀64: coupling pin

발명의 분야Field of invention

본 발명은, 액정표시패널과 같은 검사대상 판을 배면에서 비추어 검사를 행하는 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus for performing inspection by illuminating an inspection object plate such as a liquid crystal display panel from the back side.

발명의 배경Background of the Invention

액정표시패널 등을 검사하는 검사장치에서는, 크기가 다른 패널의 검사를 할 때는 접촉자 유닛 및 검사 스테이지의 양자의 교환을 하지 않으면 안 되어, 그 작업이 번잡하였다. 이것을 해소하기 위해, 특허문헌 1에 기재된 발명이 제안되어 있다. 상기 특허문헌 1의 발명에서는, 베이스를 가동식(可動式)으로 하여, 패널의 치수가 다름에 따라 개구의 크기를 조정함과 동시에 접촉자 유닛의 위치를 조정함으로써, 접촉자 유닛이나 검사 스테이지의 교환을 하지 않고 대응할 수 있도록 하였다.In an inspection apparatus for inspecting a liquid crystal display panel or the like, when inspecting a panel having a different size, the contact unit and the inspection stage must be exchanged, and the work is complicated. In order to eliminate this, the invention described in patent document 1 is proposed. In the invention of Patent Document 1, the base is movable, and the size of the opening is adjusted as the panel is different, and the position of the contact unit is adjusted, thereby not changing the contact unit or inspection stage. You can respond without.

[특허문헌 1] 일본 특개2006-119031호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-119031

그런데, 상기 종래의 검사장치에서는, 검사대상인 패널의 치수가 커지면, 빛이 새는 문제가 생겨버린다.By the way, in the said conventional test | inspection apparatus, the problem of light leaking will arise when the dimension of the panel which is a test object becomes large.

특허문헌 1에 있어서는, 확산판을 가동 베이스 쪽이 아니고, 고정 베이스 쪽에 설치하고 있지만, 이런 경우, 확산판에서 확산된 빛이 검사 패널의 가장자리의 단부(端部)에도 도달해버려, 상기 단부에서 샌 빛이 노이즈 광으로 되어 버린다.In Patent Literature 1, the diffusion plate is provided not on the movable base side but on the fixed base side. In this case, the light diffused from the diffuser plate reaches the edge of the edge of the inspection panel. The leaked light becomes noise light.

또, 확산판이 검사 패널의 근방에 설치되는 경우도 있다. 이 예를 도2 및 도3에 나타내었다.In addition, a diffusion plate may be provided in the vicinity of the inspection panel. This example is shown in FIGS. 2 and 3.

도면 중의 1은 가동 베이스이다. 가동 베이스(1)의 안쪽에는 패널 리시버(2)가 설치되어 있다. 상기 패널 리시버(2)의 상단부에는 단차(段差)가 설치되어 상단의 윗 지지면(3)과 하단의 아래 지지면(4)이 설치되어 있다. 윗 지지면(3)에는 패널(5)이 놓여 있다. 아래 지지면(4)에는 확산판(6)이 놓여 있다.1 in the figure is a movable base. The panel receiver 2 is provided inside the movable base 1. A step is provided at the upper end of the panel receiver 2, and the upper support surface 3 at the upper end and the lower support surface 4 at the lower end are provided. The panel 5 is placed on the upper support surface 3. A diffuser plate 6 is placed on the lower support surface 4.

패널(5)은, 유리기판(5A)과, 상기 유리기판(5A)의 전 영역을 덮는 표시부(5B)와, 상기 표시부(5B)의 외주에 설치된 검은 둘레인 띠 영역(5C)과, 상기 띠 영역(5C)의 외주에 설치된 단자부(5D)로 구성되어 있다.The panel 5 includes a glass substrate 5A, a display portion 5B covering the entire region of the glass substrate 5A, a strip region 5C which is a black periphery provided on the outer periphery of the display portion 5B, and It consists of the terminal part 5D provided in the outer periphery of 5 A of strip | belt area | regions.

확산판(6)은 그 표면에 미세한 요철을 다수 설치하여 구성되어 있다. 확산판(6)의 배면 쪽에서 입사한 빛은, 표면의 미세한 요철에서 산란하여 확산된다. 확산된 빛의 일부는 패널(5)의 단자부(5D)에도 입사하지만, 여기에서는 화살표(7)의 새는 빛과 같이, 각 전극의 사이에서 외부로 새어 버린다.The diffusion plate 6 is formed by providing a plurality of fine irregularities on the surface thereof. Light incident from the back side of the diffuser plate 6 is scattered and diffused by fine irregularities on the surface. A part of the diffused light also enters the terminal portion 5D of the panel 5, but here, like the leaking light of the arrow 7, it leaks out between the electrodes.

그리고, 상기 새는 빛은 검사에서 노이즈 광이 되어, 검사 정밀도를 악화시켜 버린다.The leaked light becomes noise light during inspection, which degrades inspection accuracy.

본 발명은 상술한 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 검사대상 판의 가장자리에서 새는 노이즈 광을 확실하게 제거하여 검사 정밀도를 향상시키는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to reliably remove noise light leaking from an edge of an inspection object plate to improve inspection accuracy.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.The above and other objects of the present invention can be achieved by the present invention described below.

발명의 요약Summary of the Invention

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 검사대상 판을 배면에서 비추어 검사를 행하는 검사장치로서, 상기 검사대상 판을 그 가장자리에서 지지하는 패널 리시버와, 상기 패널 리시버에 지지된 상기 검사대상 판의 배면을 비추는 백라이트와, 상기 패널 리시버에 지지된 상기 검사대상 판의 가장자리의 상기 백라이트 쪽에 위치하고 상기 검사대상 판의 표시 영역의 바깥쪽으로 새는 빛을 차단하는 차광부재를 갖추어 구성하였다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, this invention is a test | inspection apparatus which test | inspects the board | substrate to be examined from the back, The panel receiver which supports the said board | substrate to test at the edge, and the back of the said board | substrate to be supported by the said panel receiver. And a light blocking member that is positioned on the backlight side of the edge of the inspection target plate supported by the panel receiver and blocks light leaking out of the display area of the inspection target plate.

상기 구성에 의해, 차광부재가 상기 검사대상 판의 가장자리의, 표시 영역의 바깥쪽으로 새는 빛을 차단하여, 상기 검사대상 판의 가장자리에서 새는 노이즈 광 을 확실하게 제거한다. 이에 의해, 노이즈 광이 검사대상 판의 표면을 촬영하는 카메라나 검사를 하는 작업자 쪽으로 새는 일이 없어진다.By the above configuration, the light shielding member blocks light leaking out of the display area at the edge of the inspection object plate, thereby reliably removing noise light leaking at the edge of the inspection object plate. Thereby, noise light will not leak to the camera which photographs the surface of a board | substrate to be examined, or an operator who performs inspection.

상기 패널 리시버에 지지된 상기 검사대상 판과 상기 백라이트와의 사이에는, 상기 백라이트로부터의 빛을 확산시키는 확산판을 갖추고, 상기 차광부재가 상기 확산판의 가장자리에 일체적으로 설치되는 것이 바람직하다.It is preferable that a diffusion plate is provided between the inspection object plate supported by the panel receiver and the backlight to diffuse light from the backlight, and the light blocking member is integrally provided at an edge of the diffusion plate.

상기 구성에 의해, 상기 확산판을 설치함으로써, 상기 차광부재도 동시에 설치된다.With the above configuration, the light blocking member is also provided at the same time by providing the diffusion plate.

상기 검사장치는, 개구를 갖추고 장치 본체 쪽에 설치되는 고정 베이스와, 상기 고정 베이스 위에 4개 조합시켜 사각형상으로 그리고 상기 검사대상 판의 치수에 맞추어 이동 가능하게 배치되어 그 안쪽 둘레 쪽에 상기 패널 리시버를 형성하는 가동 베이스를 갖추어 구성되는 것이 바람직하다.The inspection device includes a fixed base having an opening and installed on the main body of the apparatus, and a combination of four fixed bases on the fixed base, the panel receiver being movable in a square shape and in accordance with the dimensions of the inspection target plate. It is preferable to comprise the movable base to form.

상기 구성에 의해, 가동 베이스를 가동시켜, 상기 검사대상 판에 맞춘 치수의 상기 패널 리시버를 형성하고, 상기 차광부재로 상기 검사대상 판의 표시 영역의 바깥쪽으로 새는 빛을 차단한다.With the above configuration, the movable base is operated to form the panel receiver having a size that matches the inspection object plate, and the light shielding member blocks light leaking out of the display area of the inspection object plate.

상기 차광부재에는 상기 백라이트의 빛을 흡수하거나, 또는 산란시키는 표면 처리를 실시하는 것이 바람직하다.The light blocking member is preferably subjected to a surface treatment for absorbing or scattering light of the backlight.

상기 구성에 의해, 표면 처리한 차광부재에 샌 빛이 닿으면, 그 빛은 상기 차광부재에서 흡수되거나 또는 산란되어, 카메라 등에 도달하는 일이 없어진다.With the above configuration, when the light which hits the light-shielding member subjected to the surface treatment is absorbed or scattered by the light-shielding member, it does not reach the camera or the like.

발명의 상세한 설명Detailed description of the invention

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명한다. 본 실시형태에서 검사장치는, 백라이트의 빛이 검사대상 판의 바깥쪽으로부터 새 노이즈 광이 되는 것을 방지하여 측정 정밀도를 향상시키기 위한 장치이다. 검사대상 판은 사각형의 형상을 갖는 판재이다. 그 한 예로서 여기에서는 액정패널을 예로 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described. In the present embodiment, the inspection apparatus is an apparatus for preventing the light of the backlight from becoming new noise light from the outside of the inspection object plate and improving the measurement accuracy. The plate to be inspected is a plate having a rectangular shape. As one example thereof, the liquid crystal panel will be described as an example.

본 발명은, 액정패널을 지지하는 검사 스테이지 등을 갖춘 검사장치 모두에 적용할 수 있다. 검사 스테이지는, 도5에 나타낸 바와 같이, X, Y 및 Z의 3방향으로 변위시킴과 동시에 Z방향으로 연장하는 θ축선 주위로 회전시키는 기구를 갖춘 스테이지 본체(도시하지 않음), 상기 스테이지 본체에 설치되는 베이스 판(11), 상기 베이스 판(11)에 지주(12)를 통하여 일정 간격을 두고 지지되는 패널 지지기구(13), 이들 베이스 판(11)과 패널 지지기구(13)와의 사이에 설치되어 액정패널(14)(도7 참조)을 배면에서 비추는 백라이트(15) 등을 갖추어 구성되어 있다. 또한, 백라이트(15)는 하우징(16)과, 상기 하우징(16) 내에 평행하게 배설된 복수개의 형광관(17)으로 구성되고, 후술하는 고정 베이스(20)의 개구(28) 전체를 조사한다.Industrial Applicability The present invention can be applied to all inspection apparatuses provided with an inspection stage for supporting a liquid crystal panel. As shown in Fig. 5, the inspection stage includes a stage body (not shown) having a mechanism for displacing in three directions of X, Y, and Z, and rotating around the θ axis extending in the Z direction, and the stage body. The base plate 11 to be installed, the panel support mechanism 13 supported by the base plate 11 at predetermined intervals through the support 12, and between these base plate 11 and the panel support mechanism 13 It is provided and the backlight 15 etc. which illuminates the liquid crystal panel 14 (refer FIG. 7) from the back surface is comprised. In addition, the backlight 15 is composed of a housing 16 and a plurality of fluorescent tubes 17 disposed in parallel in the housing 16 and irradiates the entire opening 28 of the fixed base 20 described later. .

본 발명의 특징은, 이와 같은 검사장치에 있어서, 상기 검사 스테이지의 위쪽에 설치되는 패널 지지기구(13)에서의 백라이트(15)의 노이즈 광의 문제를 개량한 점에 있다. 이 때문에, 이하에서는, 패널 지지기구(13)를 중심으로 설명한다. 도1은 본 발명에 따른 패널 지지기구를 나타내는 정면 단면도, 도4는 본 발명에 따른 패널 지지기구를 나타내는 평면도, 도5는 도4의 A-A 단면도, 도6은 본 발명에 따른 패널 지지기구를 나타내는 일부 파단 사시도, 도7은 본 발명에 따른 패널 지 지기구의 차광부재를 나타내는 요부 확대 단면도, 도8은 액정패널을 나타내는 평면도, 도9는 액정패널을 나타내는 측면도, 도10은 본 발명에 따른 차광부재가 가장자리에 일체적으로 설치된 확산판을 나타내는 사시도이다.A feature of the present invention is that in such an inspection apparatus, the problem of noise light of the backlight 15 in the panel support mechanism 13 provided above the inspection stage is improved. For this reason, it demonstrates centering around the panel support mechanism 13 below. 1 is a front sectional view showing a panel support mechanism according to the present invention, FIG. 4 is a plan view showing a panel support mechanism according to the present invention, FIG. 5 is an AA sectional view of FIG. 4, and FIG. 6 shows a panel support mechanism according to the present invention. 7 is a partially broken perspective view, FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view showing main parts of a light blocking member of a panel supporting apparatus according to the present invention, FIG. 8 is a plan view showing a liquid crystal panel, FIG. 9 is a side view showing a liquid crystal panel, and FIG. 10 is a light blocking member according to the present invention. It is a perspective view which shows the diffuser plate integrally provided in the edge.

패널 지지기구(13)는, 액정패널(14)을 그 배면에서 백라이트(15)로 조사하면서 상기 액정패널(14)의 전극과 접촉자(프로브)를 서로 접촉시키기 위해, 액정패널(14)을 정확하게 위치 결정하여 지지하는 기구이다. 패널 지지기구(13)는, 도4∼6에 나타낸 바와 같이 주로, 베이스 판(11)의 지주(12)에 설치되는 고정 베이스(20)와, 상기 고정 베이스(20) 위에 4개 조합시켜 사각형상으로 액정패널(14)의 치수에 맞추어 이동 가능하게 배치된 가동 베이스(21)와, 각 가동 베이스(21) 중 서로 이웃하는 2개에 설치되고 액정패널(14)의 가장자리에 접하여 상기 액정패널(14)의 위치를 결정하는 스토퍼 핀(22)과, 상기 스토퍼 핀(22)과 마주보는 위치에 액정패널(14)을 끼워 설치되고 스토퍼 핀(22)과 더불어 액정패널(14)을 끼워 지지하는 패널 클램프(23)와, 상기 스토퍼 핀(22) 및 패널 클램프(23)를 각각 지지한 상태로 각 가동 베이스(21)에 위치 결정하여 설치되는 위치결정기구(24)와, 노이즈 광을 차단하는 차광 커버(25)와, 액정패널(14)의 가장자리에서 바깥쪽으로 새는 빛을 차단하는 차광부재(26)를 갖추어 구성되어 있다.The panel support mechanism 13 accurately fixes the liquid crystal panel 14 so that the electrodes of the liquid crystal panel 14 and the contacts (probes) are brought into contact with each other while irradiating the liquid crystal panel 14 with the backlight 15 from the rear thereof. Positioning and supporting mechanism. As shown in Figs. 4 to 6, the panel support mechanism 13 is mainly formed by combining four fixed bases 20 provided on the support 12 of the base plate 11 and the fixed bases 20, and forming a quadrilateral. The movable base 21 and the movable base 21 arranged in a shape so as to be movable in accordance with the dimensions of the liquid crystal panel 14 and two movable bases 21 adjacent to each other and in contact with the edge of the liquid crystal panel 14 are contacted with the liquid crystal panel. The stopper pin 22 which determines the position of 14, and the liquid crystal panel 14 are installed in the position facing the stopper pin 22, and the liquid crystal panel 14 with the stopper pin 22 is fitted. A panel clamp 23, a positioning mechanism 24 which is installed and positioned on each movable base 21 in a state where the stopper pin 22 and the panel clamp 23 are supported, respectively, and blocks noise light. Light shielding cover 25 and a light shielding portion to block light leaking outward from the edge of the liquid crystal panel 14 It consists equipped with a 26.

고정 베이스(20)는 전체가 사각형상으로 형성되어 있다. 고정 베이스(20)의 중앙에는 백라이트(15)로부터의 빛을 받아들이는 사각형의 개구(28)가 설치되어 있다. 상기 개구(28)는 고정 베이스(20)의 두께방향으로 관통하여 설치되고, 검사 가능한 액정패널(14) 중 최대 치수의 액정패널(14)에 맞춘 크기로 설정되어 있다.The fixed base 20 is formed in a rectangular shape as a whole. In the center of the fixed base 20, a rectangular opening 28 that receives light from the backlight 15 is provided. The opening 28 penetrates in the thickness direction of the fixed base 20 and is set to a size that matches the liquid crystal panel 14 having the largest dimension among the inspectable liquid crystal panels 14.

각 가동 베이스(21)는 그 전체 형상을, 긴 판상으로 형성하고 있다. 가동 베이스(21)의 전체 길이는, 개구(28)의 대응하는 가장자리의 길이 이상으로 설정되어 있다. 4개의 가동 베이스(21)가 조합되어 가변개구(30)가 형성되어 있다. 즉, 하나의 가동 베이스(21)의 길이방향의 한쪽 끝 면이 상대쪽 가동 베이스(21)의 측면에 접함으로써 사각형의 가변개구(30)를 형성하고 있다. 게다가, 각 가동 베이스(21)는 그 길이방향의 한쪽 끝 면과 상대쪽 측면과의 사이에서, 상대쪽의 측면을 따라 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 이에 의해, 작은 액정패널(14)에 대응한 작은 가변개구(30)에서 상기 개구(28)와 거의 같은 큰 가변개구(30)까지, 그 크기를 임의로 조정할 수 있도록 되어 있다.Each movable base 21 forms the whole shape in elongate plate shape. The entire length of the movable base 21 is set to be equal to or greater than the length of the corresponding edge of the opening 28. Four movable bases 21 are combined to form a variable opening 30. That is, one end surface in the longitudinal direction of one movable base 21 is in contact with the side surface of the counterpart movable base 21 to form a rectangular variable opening 30. Moreover, each movable base 21 is slidably supported along the opposite side between one end surface in the longitudinal direction and the opposite side. As a result, the size can be arbitrarily adjusted from the small variable opening 30 corresponding to the small liquid crystal panel 14 to the large variable opening 30 almost equal to the opening 28.

각 가동 베이스(21)에는 도6에 나타낸 바와 같이, 서로 조합됨으로써 액정패널(14)을 고정 베이스(20)와 평행하게 받는 패널 리시버(32)가 형성되어 있다. 가동 베이스(21)는, 두꺼운 평판상으로 형성되고, 그 평판의 안쪽 끝에 서서 판상으로 패널 리시버(32)가 형성되어 있다. 이에 의해, 가동 베이스(21)와 패널 리시버(32)는 그 단면형상이 L자형으로 형성되어 있다. 4개의 가동 베이스(21)가 서로 조합됨으로써 4개의 패널 리시버(32)가 액정패널(14)을 지지하는 가변개구(30)를 형성한다.As shown in Fig. 6, panel movable points 32 are formed in each movable base 21 to combine the liquid crystal panel 14 in parallel with the fixed base 20 by being combined with each other. The movable base 21 is formed in the form of a thick flat plate, and the panel receiver 32 is formed in the shape of a plate standing on the inner end of the flat plate. Thereby, the cross-sectional shape of the movable base 21 and the panel receiver 32 is formed in L shape. By combining the four movable bases 21 with each other, the four panel receivers 32 form the variable openings 30 that support the liquid crystal panel 14.

각 가동 베이스(21)는 각 결합장치(34)에 의해 고정 베이스(20)에 결합되어 있다. 결합장치(34)는 가동 베이스(21)를 고정 베이스(20)와 평행한 면내에서 이차원적으로 이동 가능하게 지지하고 있다.Each movable base 21 is coupled to the fixed base 20 by each coupling device 34. The coupling device 34 supports the movable base 21 to be movable two-dimensionally in the plane parallel to the fixed base 20.

상기 결합장치(34)는, 각 가동 베이스(21)의 길이방향과 직교하는 방향(제1 방향)으로 연장하도록 고정 베이스(20)의 윗면에 설치된 제1 레일(36)과, 상기 제1 레일(36)에 이동 가능하게 결합된 제1 가이드(37)와, 상기 제1 가이드(37)의 위쪽에 일체적으로 설치된 연결부재(38)와, 가동 베이스(21)의 길이방향(제2 방향)을 따라 가동 베이스(21)의 아래면에 일체적으로 설치된 제2 레일(39)과, 상기 제2 레일(39)에 이동 가능하게 결합됨과 동시에 상기 연결부재(38)에 일체적으로 설치된 2개의 제2 가이드(40)와, 고정 베이스(20)의 윗면에 설치된 상태로 상기 연결부재(38)에 연결되어 연결부재(38) 및 그 위쪽의 구조물을 제1 레일(36)을 따라 제1 방향으로 이동시키는 구동부(41)를 갖추어 구성되어 있다.The coupling device 34 includes a first rail 36 provided on an upper surface of the fixed base 20 so as to extend in a direction (first direction) perpendicular to the longitudinal direction of each movable base 21, and the first rail. The first guide 37 movably coupled to the 36, the connecting member 38 integrally provided above the first guide 37, and the longitudinal direction of the movable base 21 (second direction). A second rail 39 integrally installed on the bottom surface of the movable base 21 along the) and the second rail 39 is movably coupled to the second rail 39 and at the same time installed integrally on the connecting member 38. Two guides 40 and the fixing base 20 are connected to the connecting member 38 in a state of being installed on the upper surface of the connecting member 38 and the structure above the first rail 36 along the first rail 36. The drive part 41 which moves to a direction is comprised.

구동부(41)는, 제1 레일(36)을 따라 회전 가능하게 배설된 볼나사(43)와, 상기 볼나사(43)를 회전 구동하는 구동 모터(44)와, 볼나사(43)에 비틀어 박힌 상태로 연결부재(38)에 고정되고 볼나사(43)의 회전에 의해 제1 레일(36)을 따라 연결부재(38)를 이동시키는 너트(45)로 구성되어 있다.The drive part 41 is twisted by the ball screw 43 arrange | positioned rotatably along the 1st rail 36, the drive motor 44 which rotationally drives the said ball screw 43, and the ball screw 43. FIG. The nut 45 is fixed to the connecting member 38 in a studded state and moves the connecting member 38 along the first rail 36 by the rotation of the ball screw 43.

게다가, 가동 베이스(21)의 아래쪽 면에는 상기 제2 레일(39)과 나란히 제3 레일(46)이 일체적으로 설치되어 있다. 상기 제3 레일(46)에는 제3 가이드(47)가 이동 가능하게 결합되어 있다. 그리고, 상기 제3 가이드(47)는 가동 베이스(21)의 한쪽 끝에 일체적으로 설치되어 있다. 이에 의해, 각 가동 베이스(21)는 그 길이방향의 한쪽 끝 면과, 직교하는 상대쪽 가동 베이스(21)의 측면과의 사이에서, 상대쪽의 측면을 따라 이동 가능하게 지지되어 있다. 그리고 4개의 가동 베이스(21) 모두가 이 구조로 서로 결합되어 있다. 그 결과, 4개의 가동 베이스(21)로 형성되는 가변개구(30)는, 작은 액정패널(14)에 대응한 작은 가변개구(30)에서 큰 액정패 널(14)에 대응한 큰 가변개구(30)까지, 그 크기를 임의로 조정할 수 있도록 되어 있다. 구체적으로는, 4개의 구동부(41)를 동시에 작동시켜, 4개의 가동 베이스(21)를 동시에 이동시킴으로써, 가변개구(30)의 크기를 임의로 조정할 수 있도록 되어 있다.In addition, a third rail 46 is integrally provided on the lower surface of the movable base 21 in parallel with the second rail 39. The third guide 47 is movably coupled to the third rail 46. The third guide 47 is integrally provided at one end of the movable base 21. Thereby, each movable base 21 is supported so that a movement is possible along the opposite side surface between the one end surface of the longitudinal direction, and the side surface of the opposing movable base 21 orthogonal. And all four movable bases 21 are combined with each other in this structure. As a result, the variable opening 30 formed of the four movable bases 21 has a large variable opening corresponding to the large liquid crystal panel 14 at the small variable opening 30 corresponding to the small liquid crystal panel 14. Up to 30), the size can be arbitrarily adjusted. Specifically, the size of the variable opening 30 can be arbitrarily adjusted by simultaneously operating the four driving units 41 and simultaneously moving the four movable bases 21.

위치결정기구(24)는, 도4 및 도5에 나타낸 바와 같이, 상기 스토퍼 핀(22) 및 패널 클램프(23)를 각각 지지한 상태로 각 가동 베이스(21)에 위치 결정하여 설치하기 위한 기구이다. 스토퍼 핀(22)을 지지하는 위치결정기구(24)도, 패널 클램프(23)를 지지하는 위치결정기구(24)도 동일한 구성을 갖기 때문에, 여기에서는 패널 클램프(23)를 지지하는 위치결정기구(24)를 도4에 기초하여 설명한다.As shown in Figs. 4 and 5, the positioning mechanism 24 is a mechanism for positioning and installing each movable base 21 while supporting the stopper pin 22 and the panel clamp 23, respectively. to be. Since the positioning mechanism 24 supporting the stopper pin 22 and the positioning mechanism 24 supporting the panel clamp 23 also have the same configuration, the positioning mechanism supporting the panel clamp 23 is here. (24) will be described based on FIG.

위치결정기구(24)는, 기판(51)과, 위치규제 플레이트(52)와, 위치결정 플레이트(53)로 구성되어 있다.The positioning mechanism 24 is composed of a substrate 51, a positioning plate 52, and a positioning plate 53.

기판(51)은, 상기 패널 클램프(23)를 지지하기 위한 판재이다. 기판(51)은 사각형 평판상으로 형성되어 있다. 패널 클램프(23)는 기판(51)의 한 변을 따라 설치되어 있다. 기판(51)에는 긴 구멍(55)과, 둥근 구멍(56)이 설치되어 있다.The board | substrate 51 is a board | plate material for supporting the said panel clamp 23. As shown in FIG. The substrate 51 is formed in a rectangular flat plate shape. The panel clamp 23 is provided along one side of the substrate 51. The board | substrate 51 is provided with the long hole 55 and the round hole 56. As shown in FIG.

긴 구멍(55)은, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향을 따라 길게 형성되어 있다. 게다가 긴 구멍(55)은, 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향을 따라 2개 나란히 설치되어 있다. 각 긴 구멍(55)은, 기판(51)을 위치규제 플레이트(52)에 고정하는 나사(57)를 지나게 하기 위한 구멍이다. 긴 구멍(55)은 상기 긴 구멍(55)을 지난 나사(57)가 긴 구멍(55) 내에서 이동할 수 있음에 따라, 후술하는 위치규제 플레이트(52)의 나사구멍(60)에 비틀어 박힌 나사(57)에 대하여, 기 판(51)을 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향으로 다소 이동할 수 있도록 되어 있다.The long hole 55 is formed long along the direction parallel to the edge of the liquid crystal panel 14. In addition, two long holes 55 are provided at the edges of the liquid crystal panel 14 side by side in parallel with each other. Each long hole 55 is a hole for passing the screw 57 which fixes the board | substrate 51 to the positioning plate 52. As shown in FIG. The long hole 55 is a screw screwed into the screw hole 60 of the positioning plate 52 to be described later, as the screw 57 past the long hole 55 can move in the long hole 55. With respect to 57, the substrate 51 can be moved somewhat in the direction parallel to the edge of the liquid crystal panel 14.

둥근 구멍(56)은, 기판(51)을 위치결정 플레이트(53)에 고정하는 나사(58)를 지나게 하여 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향의 위치 결정을 하기 위한 구멍이다. 둥근 구멍(56)은, 나사(58)의 크기에 맞추어 형성되고, 나사(58)와의 사이에서 흔들림이 없도록 그 내경이 설정되어 있다.The round hole 56 is a hole for positioning in the direction parallel to the edge of the liquid crystal panel 14 by passing the screw 58 for fixing the substrate 51 to the positioning plate 53. The round hole 56 is formed in accordance with the size of the screw 58, and the inner diameter thereof is set so that there is no shaking between the screw 58.

위치규제 플레이트(52)는, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 접하는 패널 클램프(23)을 지지한 상기 기판(51)을, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향으로는 이동 가능하게 그리고 상기 가장자리에 직교하는 방향으로는 설정 위치에서 고정하여 지지하기 위한 플레이트이다. 위치규제 플레이트(52)는 구체적으로는, 좁고 긴 판재로 구성되고, 가동 베이스(21)의 패널 리시버(32)를 따라 고정되어 있다. 좁고 긴 판상의 위치규제 플레이트(52)에는, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향을 따라, 그 전체 길이에 걸쳐서 일렬로 나사구멍(60)이 다수 설치되어 있다. 각 나사구멍(60)은 긴 구멍(55)의 길이와 거의 같은 간격으로 설정되어 있다. 이에 의해, 한 나사구멍(60)에 나사(57)가 비틀어 박힌 상태로 기판(51)이 긴 구멍(55)을 따라 이동할 수 있는 범위와, 이웃하는 나사구멍(60)에 나사(57)가 비틀어 박힌 상태로 기판(51)이 긴 구멍(55)을 따라 이동할 수 있는 범위가 서로 겹쳐, 위치규제 플레이트(52)의 전체 길이의 모든 위치에서 기판(51)을 고정할 수 있도록 되어 있다.The positioning plate 52 allows the substrate 51 supporting the panel clamp 23 in contact with the edge of the liquid crystal panel 14 to be movable in a direction parallel to the edge of the liquid crystal panel 14. It is a plate for fixing and supporting at a setting position in the direction orthogonal to the said edge. Specifically, the positioning plate 52 is composed of a narrow and long plate, and is fixed along the panel receiver 32 of the movable base 21. In the narrow and long plate-shaped positioning plate 52, a plurality of screw holes 60 are provided in a line over the entire length of the liquid crystal panel 14 along the side-by-side direction. Each screw hole 60 is set at an interval substantially equal to the length of the long hole 55. Thereby, the range which the board | substrate 51 can move along the long hole 55 in the state which screw 57 was twisted in one screw hole 60, and the screw 57 in the adjacent screw hole 60 The range where the board | substrate 51 can move along the long hole 55 in the twisted state overlaps each other, and it is possible to fix the board | substrate 51 in all the positions of the full length of the positioning plate 52. As shown in FIG.

위치결정 플레이트(53)는, 위치규제 플레이트(52)에 나란히 배설되어 위치규 제 플레이트(52)에 지지된 상기 기판(51)을, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향의 위치 결정을 하여 지지하기 위한 플레이트이다. 위치결정 플레이트(53)는 좁고 긴 판재로 구성되어 있다. 위치결정 플레이트(53)에는, 기판(51)의 둥근 구멍(56)을 지난 나사(58)가 비틀어 박혀지는 나사구멍이, 기판(51)의 설치 위치에 맞추어 하나 또는 복수개 설치된다. 여기에서는, 액정패널(14)의 짧은 변 쪽에 맞추어 하나의 나사구멍이 위치결정 플레이트(53)에 설치되어 있다.The positioning plate 53 is arranged side by side in the positioning plate 52 and supports the positioning of the substrate 51 supported in the positioning plate 52 in the direction parallel to the edge of the liquid crystal panel 14. Plate for supporting. The positioning plate 53 is composed of a narrow and long plate. The positioning plate 53 is provided with one or a plurality of screw holes in which the screws 58 passing through the round holes 56 of the substrate 51 are screwed in, in accordance with the mounting position of the substrate 51. Here, one screw hole is provided in the positioning plate 53 along the short side of the liquid crystal panel 14.

위치결정 플레이트(53)의 양쪽 끝에는, 결합부로서의 핀 구멍(63)이 설치되어 있다. 가동 베이스(21) 쪽에는, 핀 구멍(63)에 대응하는 위치에, 2개의 결합 핀(64)이 설치되어 있다. 이들 핀 구멍(63) 및 결합 핀(64)은 위치결정 플레이트(53)의 나사구멍이 설치 위치에 정합(整合)하도록, 위치 결정되어 있다. 이에 의해, 기판(51) 위의 패널 클램프(23)가 정확한 위치에 위치 결정되도록 되어 있다.At both ends of the positioning plate 53, pinholes 63 as engagement portions are provided. On the movable base 21 side, two engaging pins 64 are provided at positions corresponding to the pin holes 63. These pin holes 63 and coupling pins 64 are positioned so that the screw holes of the positioning plate 53 are matched to the installation position. As a result, the panel clamp 23 on the substrate 51 is positioned at the correct position.

위치결정 플레이트(53)로는, 설정이 다른 복수 종류의 플레이트가 준비된다. 구체적으로는, 액정패널(14)의 치수에 따라 설정된 패널 클램프(23)의 설치 수에 따른 개수의 나사구멍(42)이 설치된 복수 종류의 플레이트가 준비된다. 이들 위치결정 플레이트(53)는, 핀 구멍(63) 및 결합 핀(64)에 의해 용이하게 교체된다. 위치결정 플레이트(53)의 길이는 각 가동 베이스(21)에 따라 다르게 해도 좋고, 모두 같게 해도 좋다.As the positioning plate 53, a plurality of kinds of plates having different settings are prepared. Specifically, a plurality of types of plates provided with a number of screw holes 42 in accordance with the number of mounting of the panel clamps 23 set in accordance with the dimensions of the liquid crystal panel 14 are prepared. These positioning plates 53 are easily replaced by the pin holes 63 and the engaging pins 64. The length of the positioning plate 53 may differ depending on each movable base 21, or may all be the same.

또한, 스토퍼 핀(22)을 지지하는 위치결정기구(24)도 상기와 동일하게 구성되어 있다.Moreover, the positioning mechanism 24 which supports the stopper pin 22 is also comprised similarly to the above.

차광 커버(25)는, 고정 베이스(20)의 개구(28)보다도 가동 베이스(21)의 가 변개구(30)가 작아졌을 때 그 가동 베이스(21)의 바깥둘레 쪽(4개의 패널 리시버(32)로 형성되는 가변개구(30)의 바깥둘레 쪽)에 생기는 극간(隙間)으로부터 새는 상기 백라이트의 빛을 차단하는 부재, 즉 노이즈 광을 차단하는 부재이다. 상기 차광 커버(25)는, 장방형의 평판상 부재로 구성되어 있다. 차광 커버(25)는, 각 가동 베이스(21)의 패널 리시버(32)와 같은 길이로, 그리고 극간이 최대인 때와 같거나 그보다 큰 폭으로 설정되어 있다. 차광 커버(25)는, 각 가동 베이스(21) 중 패널 리시버(32)와 반대쪽에, 커버 설치부재(62)를 통하여 바깥둘레 쪽으로 연장하여 설치되어 있다.The light shielding cover 25 has an outer circumferential side of the movable base 21 (four panel receivers) when the variable opening 30 of the movable base 21 is smaller than the opening 28 of the fixed base 20. It is a member that blocks the light of the backlight, that is, the noise light, which leaks from the gap that occurs at the outer circumference side of the variable opening 30 formed by 32). The said light shielding cover 25 is comprised by the rectangular flat plate member. The light shielding cover 25 is set to the same length as the panel receiver 32 of each movable base 21, and to the width | variety equal to or larger than when the clearance gap is maximum. The light shielding cover 25 extends toward the outer periphery through the cover attachment member 62 on the opposite side to the panel receiver 32 among the movable bases 21.

차광 커버(25)의 백라이트(15)쪽 면에는, 백라이트(15)의 빛을 흡수하거나, 또는 산란시키는 표면 처리가 실시되고 있다. 이 표면 처리로는, 구체적으로는 차광 커버(25)의 백라이트(15)쪽 면을 검게 도포하거나, 비로드를 붙이거나, 젖빛유리(간유리)와 같이 표면에 가는 요철을 설치한다. 이에 의해, 노이즈 광을 흡수하거나 산란시켜, 화상 촬영용 카메라에 노이즈 광이 입사하지 않도록 하고 있다.Surface treatment for absorbing or scattering light from the backlight 15 is applied to the backlight 15 side surface of the light shielding cover 25. As this surface treatment, specifically, the surface of the backlight 15 side of the light shielding cover 25 is apply | coated black, a non-rod is attached, or the unevenness | corrugation which is thin to a surface like frosted glass (inter glass) is provided. As a result, the noise light is absorbed or scattered so that the noise light does not enter the image photographing camera.

차광부재(26)는, 후술하는 액정패널(14)의 표시부(14B)(표시영역)의 바깥쪽으로 새는 빛을 차단하는 부재이다. 차광부재(26)는, 패널 리시버(32)에 지지된 액정패널(14)의 가장자리의 백라이트(15) 쪽에 위치하여 설치되어 있다. 구체적으로는, 후술하는 확산판(27)이 상기 액정패널(14)의 가장자리의 백라이트(15) 쪽에 위치하여 설치되어 있다. 그리고, 차광부재(26)는 상기 확산판(27)의 가장자리에 일체적으로 설치되어 있다.The light shielding member 26 is a member that blocks light leaking out of the display portion 14B (display area) of the liquid crystal panel 14 described later. The light blocking member 26 is provided on the backlight 15 side of the edge of the liquid crystal panel 14 supported by the panel receiver 32. Specifically, the diffusion plate 27 described later is disposed on the backlight 15 side of the edge of the liquid crystal panel 14. The light blocking member 26 is integrally provided at the edge of the diffusion plate 27.

액정패널(14)은, 도8 및 도9에 나타낸 바와 같이, 유리기판(14A)과, 상기 유 리기판(14A)의 전 영역을 덮는 표시부(14B)와, 상기 표시부(14B)의 바깥 가장자리에 설치된 검은 둘레인 띠 영역(14C)과, 상기 띠 영역(14C)의 외주 중 서로 이웃하는 2개의 변에 설치된 단자부(14D)로 구성되어 있다.As shown in Figs. 8 and 9, the liquid crystal panel 14 includes a glass substrate 14A, a display portion 14B covering the entire area of the glass substrate 14A, and an outer edge of the display portion 14B. The strip | belt area | region 14C which is a black circumference provided in this, and the terminal part 14D provided in two adjacent sides of the outer periphery of the strip | belt area 14C are comprised.

상기 확산판(27)은, 종래 기술과 동일하게, 그 표면에 미세한 요철을 다수 설치하여 구성되어 있다. 확산판(27)의 배면 쪽에서 입사한 빛은, 표면의 미세한 요철에서 산란하여 확산된다. 확산된 빛의 일부는 액정패널(14)의 띠 영역(14C)의 외주나 단자부(14D)에도 입사하려고 하지만, 이들 빛은 차광부재(26)에서 차단된다.The diffusion plate 27 is constituted by providing a plurality of fine irregularities on the surface thereof in the same manner as in the prior art. Light incident from the back side of the diffusion plate 27 is scattered and diffused by fine irregularities on the surface. A part of the diffused light tries to enter the outer circumference of the band region 14C of the liquid crystal panel 14 or the terminal portion 14D, but these lights are blocked by the light blocking member 26.

상기 차광부재(26)는, 도1, 7, 10에 나타낸 바와 같이, 상기 액정패널(14)의 가장자리의 띠 영역(14C)과 단자부(14D)를 덮도록, 사각고리 형상으로 형성되어 있다. 게다가, 띠 영역(14C)이 같은 폭으로 액정패널(14)의 전 둘레에 걸쳐 설치되어 있는데 반해, 단자부(14D)는 서로 이웃하는 2개의 변에만 설치되어 있기 때문에, 차광부재(26)는 단자부(14D)가 있는 변(도10중의 A1)에서 두껍고, 단자부(14D)가 없는 변(도10 중의 A2)에서 얇게 형성되어 있다. 이에 의해, 차광부재(26)는 띠 영역(14C)과 단자부(14D)를 모두 덮어, 표시부(14B)에만 빛이 닿도록 되어 있다.As shown in Figs. 1, 7, and 10, the light blocking member 26 is formed in a rectangular ring shape so as to cover the band region 14C and the terminal portion 14D of the edge of the liquid crystal panel 14. In addition, the band region 14C is provided over the entire circumference of the liquid crystal panel 14 with the same width, whereas the terminal portion 14D is provided only at two adjacent sides, so that the light shielding member 26 has a terminal portion. It is thick on the side with 14D (A1 in FIG. 10) and thin on the side (A2 in FIG. 10) without the terminal portion 14D. Thereby, the light shielding member 26 covers all the strip | belt area | region 14C and the terminal part 14D, and light reaches only the display part 14B.

패널 리시버(32)의 상단부에는, 도1 및 도7에 나타낸 바와 같이, 단차(段差)가 설치되어, 상단의 윗 지지면(32A)과, 하단의 아래 지지면(32B)이 설치되어 있다. 윗 지지면(32A)에는 액정패널(14)이 놓인다. 아래 지지면(32B)에는 확산판(27)이 놓인다. 그리고, 아래 지지면(32B)에 확산판(27)이 놓임으로써, 확산판(27)에 일체적으로 설치된 차광부재(26)가 액정패널(14)의 띠 영역(14C)과 단자부(14D)를 덮어, 표시부(14B)만을 확산판(27)(백라이트(15)) 쪽으로 개방하도록 되어 있다.Steps are provided on the upper end of the panel receiver 32, and the upper support surface 32A at the upper end and the lower support surface 32B at the lower end are provided. The liquid crystal panel 14 is placed on the upper support surface 32A. A diffuser plate 27 is placed on the lower support surface 32B. Then, the diffusion plate 27 is placed on the lower support surface 32B so that the light shielding member 26 integrally provided on the diffusion plate 27 provides the band region 14C and the terminal portion 14D of the liquid crystal panel 14. The cover 14B is opened so that only the display portion 14B is opened toward the diffusion plate 27 (backlight 15).

상기 차광부재(26)에는, 백라이트(15)의 빛을 흡수하거나, 또는 산란시키는 표면 처리가 실시되어 있다. 이 표면 처리로는, 구체적으로는 차광부재(26)의 표면을 검게 도포하거나, 비로드를 붙이거나, 젖빛유리와 같이 표면에 가는 요철을 설치한다. 이에 의해, 빛을 흡수하거나 산란시켜, 빛이 단자부(14D) 등으로부터 외부로 새지 않도록 되어 있다.The light shielding member 26 is subjected to a surface treatment for absorbing or scattering the light of the backlight 15. As this surface treatment, specifically, the surface of the light shielding member 26 is apply | coated black, a non-rod is attached, or thin unevenness | corrugation is provided in the surface like frosted glass. As a result, the light is absorbed or scattered so that the light does not leak out from the terminal portion 14D or the like.

이상과 같이 구성된 패널 지지기구(13)에서는, 다음과 같이 작용한다. 또한, 검사장치 전체의 작용은, 종래의 검사장치와 동일하기 때문에, 여기에서는 패널 지지기구(13)의 작용을 중심으로 설명한다.In the panel support mechanism 13 comprised as mentioned above, it acts as follows. In addition, since the operation | movement of the whole test | inspection apparatus is the same as that of the conventional test | inspection apparatus, it demonstrates centering | focusing on the action | action of the panel support mechanism 13 here.

우선, 액정패널(14)의 치수에 맞추어 패널 지지기구(13)의 가동 베이스(21)를 조정한다. 구체적으로는, 구동부(41)의 구동 모터(44)로 볼나사(43)를 회전시켜, 너트(45)를 이동시킨다. 너트(45)의 이동은, 제1 레일(36) 및 제1 가이드(37)에 의해 규제된다. 제1 가이드(37), 제2 레일(39) 및 제2 가이드(40)는 연결부재(38)로 고정되고, 너트(45)와 일체가 되어 이동한다. 제2 레일(39)과 제3 레일(46)은 가동 베이스(21)에 고정되어 있다.First, the movable base 21 of the panel support mechanism 13 is adjusted according to the dimension of the liquid crystal panel 14. Specifically, the ball screw 43 is rotated by the drive motor 44 of the drive part 41 to move the nut 45. Movement of the nut 45 is regulated by the first rail 36 and the first guide 37. The first guide 37, the second rail 39, and the second guide 40 are fixed by the connecting member 38 and move integrally with the nut 45. The second rail 39 and the third rail 46 are fixed to the movable base 21.

이에 의해, 연결부재(38)에 고정된 제2 가이드(40)가 제2 레일(39)를 통하여 가동 베이스(21)를 이동시킨다. 또, 상기 가동 베이스(21)와 직교하는 가동 베이스(21)의 제3 가이드(47)는, 제3 레일(46)에 결합해 있고, 직교하는 가동 베이스(21)는 너트(45)의 이동에 따라 이동한다. 한편, 직교하는 가동 베이스(21)는 너트(45)의 이동방향에 직교하는 방향으로는 자유롭게 이동할 수 있다.As a result, the second guide 40 fixed to the connecting member 38 moves the movable base 21 through the second rail 39. Moreover, the 3rd guide 47 of the movable base 21 orthogonal to the said movable base 21 is couple | bonded with the 3rd rail 46, and the orthogonal movable base 21 moves the nut 45 To move accordingly. On the other hand, the movable base 21 orthogonal can move freely in the direction orthogonal to the moving direction of the nut 45.

상기 동작이, 4개의 구동부(41)에서 동시에 일어나, 각 가동 베이스(21)가 서로 접하는 한쪽 가동 베이스(21)와의 관계로 구동(驅動)쪽이 되고, 다른쪽 가동 베이스(21)와의 관계로 종동(從動)쪽이 되어, 4개의 가동 베이스(21)를 서로 비켜 놓는다. 이에 의해, 도4와 같이, 각 가동 베이스(21)의 패널 리시버(32)의 윗 지지면(32A)에서 액정패널(14)을 그 아래쪽부터 지지하고, 스토퍼 핀(22)과 패널 클램프(23)로 액정패널(14)을 위치 결정하여 지지한다.The above operation occurs at the same time in the four drive units 41, and the movable bases 21 are driven in relation to one movable base 21 in contact with each other, and in relation to the other movable bases 21. It becomes a driven side, and moves four movable bases 21 mutually. Thereby, as shown in FIG. 4, the liquid crystal panel 14 is supported from the lower side by the upper support surface 32A of the panel receiver 32 of each movable base 21, and the stopper pin 22 and the panel clamp 23 are supported. Position and support the liquid crystal panel 14.

이 때, 패널 리시버(32)의 아래 지지면(32B)에는, 확산판(27)의 단부의 차광부재(26)가 결합하여 지지되어 있다.At this time, the light shielding member 26 at the end of the diffusion plate 27 is supported by being supported by the lower support surface 32B of the panel receiver 32.

치수가 다른 액정패널(14)의 경우는, 가동 베이스(21)를 물려서 다시 조정한다. 이 경우는, 구동부(41)의 구동 모터(44)로 볼나사(43)를 회전시키고, 너트(45), 연결부재(38), 제2 가이드(40), 제2 레일(39)을 통하여 가동 베이스(21)를 이동시킨다. 상기 동작이 4개의 구동부(41)에서 동시에 일어나고, 4개의 가동 베이스(21)를 서로 비켜 놓아, 예를 들어 도4와 같이 작은 치수의 액정패널(14)에 맞춘다.In the case of the liquid crystal panel 14 with a different dimension, the movable base 21 is bitten and adjusted again. In this case, the ball screw 43 is rotated by the drive motor 44 of the drive part 41, and the nut 45, the connection member 38, the 2nd guide 40, and the 2nd rail 39 are rotated. The movable base 21 is moved. The above operation takes place simultaneously in the four driving units 41, and the four movable bases 21 are moved away from each other to fit the liquid crystal panel 14 having a small dimension as shown in FIG.

이와 동시에, 확산판(27)도 작은 치수의 것으로 변경하여 설치한다.At the same time, the diffusion plate 27 is also provided with a small one.

이 때, 스토퍼 핀(22)과 패널 클램프(23)는, 액정패널(14)에 맞지 않게 되기 때문에, 위치결정기구(24)로 다시 조정한다. 이 경우는, 우선 나사(57)와 나사(58)를 느슨하게 하여 기판(51)을 떼어낸다. 이어서, 위치결정 플레이트(53)를 액정패널(14)에 대응한 것으로 교체한다.At this time, since the stopper pin 22 and the panel clamp 23 do not fit the liquid crystal panel 14, the stopper pin 22 and the panel clamp 23 are adjusted by the positioning mechanism 24 again. In this case, first, the screw 57 and the screw 58 are loosened, and the board | substrate 51 is removed. Subsequently, the positioning plate 53 is replaced with the one corresponding to the liquid crystal panel 14.

계속해서, 나사(57)를 긴 구멍(55)을 지나게 하여 위치규제 플레이트(52)의 나사구멍(60)에 비틀어 박아, 기판(51)의 대충 위치를 결정한다. 계속해서, 기판(51)을 긴 구멍(55)의 범위에서 물려, 둥근 구멍(56)과 나사구멍(42)을 정합시키고, 나사(58)를 둥근 구멍(56)을 지나게 하여 나사구멍(42)에 비틀어 박는다. 이어서, 나사(57)와 나사(58)를 조여 기판(51)을 고정한다.Subsequently, the screw 57 is passed through the long hole 55 and twisted into the screw hole 60 of the positioning plate 52 to determine the rough position of the substrate 51. Subsequently, the board | substrate 51 is bitten in the range of the long hole 55, the round hole 56 and the screw hole 42 are matched, and the screw 58 passes through the round hole 56, and the screw hole 42 is carried out. Twist) Next, the board | substrate 51 is fixed by tightening the screw 57 and the screw 58.

상기 동작을, 스토퍼 핀(22)과 패널 클램프(23)의 모두에 대하여 행하여, 스토퍼 핀(22)과 패널 클램프(23)를 액정패널(14)에 대하여 최적의 위치에 맞춘다.The above operation is performed on both the stopper pin 22 and the panel clamp 23 to adjust the stopper pin 22 and the panel clamp 23 to the optimum position with respect to the liquid crystal panel 14.

한편, 가동 베이스(21)를 작은 치수의 액정패널(14)에 맞추어 이동시켜 가변개구(30)를 작게 하면, 상기 가동 베이스(21)의 바깥둘레 쪽과 고정 베이스(20)의 개구와의 사이에 극간(61)(도7 참조)이 생기지만, 상기 극간(61)은 상기 차광 커버(25)로 덮인다. 이에 의해, 상기 극간(61)으로부터 상기 백라이트(15)의 빛이 새는 것을 방지한다.On the other hand, when the movable base 21 is moved in accordance with the liquid crystal panel 14 having a small dimension and the variable opening 30 is made smaller, the gap between the outer circumference of the movable base 21 and the opening of the fixed base 20 is reduced. A gap 61 (see FIG. 7) is formed in the gap, but the gap 61 is covered with the light shielding cover 25. This prevents light from the backlight 15 from leaking out from the gap 61.

이 상태로 검사가 행해지는데, 이 때, 백라이트(15)의 빛은 확산판(27)에서 확산되어 액정패널(14)의 표시부(14B)의 전 영역에 균등하게 조사된다.In this state, the inspection is performed. At this time, the light of the backlight 15 diffuses from the diffusion plate 27 and is evenly irradiated to all the regions of the display portion 14B of the liquid crystal panel 14.

한쪽 액정패널(14)의 단부에서는, 차광부재(26)에 의해 빛이 흡수 또는 반사되어, 액정패널(14)의 띠 영역(14C) 및 단자부(14D)로 침입하는 것을 방지한다.At the end of one of the liquid crystal panels 14, light is absorbed or reflected by the light blocking member 26 to prevent intrusion into the band region 14C and the terminal portion 14D of the liquid crystal panel 14.

이상과 같이, 차광부재(26)가 액정패널(14)의 가장자리의, 표시 영역(표시부(14B))의 바깥쪽(띠 영역(14C) 및 단자부(14D))으로 새는 빛을 차단하고, 액정패널(14)의 가장자리로부터 새는 노이즈 광을 확실하게 제거하기 때문에, 노이즈 광이 액정패널(14)의 표면을 촬영하는 카메라 등으로 새는 일이 없어지고, 노이즈 광을 확실하게 차단하여, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.As described above, the light blocking member 26 blocks light leaking to the outside (the strip region 14C and the terminal portion 14D) outside the display region (the display portion 14B) at the edge of the liquid crystal panel 14, and the liquid crystal Since the noise light leaking from the edge of the panel 14 is reliably removed, the noise light is not leaked by a camera or the like photographing the surface of the liquid crystal panel 14, and the noise light is reliably cut off, so that the measurement accuracy Improvement can be aimed at.

상기 확산판(27)을 설치함으로써, 차광부재(26)도 동시에 설치되기 때문에, 차광부재(26)의 장착이 용이해진다. 특히, 치수가 다른 액정패널(14)에 대응하여 검사장치를 다시 설정하는 경우, 그 액정패널(14)에 대응한 확산판(27)을 장착하는 것만으로, 차광부재(26)도 동시에 장착되기 때문에, 차광부재(26)의 장착이 용이해진다.By providing the diffusion plate 27, the light blocking member 26 is also provided at the same time, so that the mounting of the light blocking member 26 is facilitated. In particular, when the inspection apparatus is set again in response to the liquid crystal panel 14 having different dimensions, the light shielding member 26 is also mounted at the same time only by mounting the diffusion plate 27 corresponding to the liquid crystal panel 14. Therefore, mounting of the light shielding member 26 becomes easy.

가동 베이스(21)를 가동시켜, 액정패널(14)에 맞춘 치수의 패널 리시버(32)를 형성한 후에, 차광부재(26)로 액정패널(14)의 표시부(14B)의 바깥쪽으로 새는 빛을 차단하기 때문에, 치수가 다른 액정패널(14)에 대해서도, 상기 액정패널(14)의 가장자리로부터 새는 노이즈 광을 확실하게 제거할 수 있다. 이에 의해, 노이즈 광이 액정패널(14)의 표면을 촬영하는 카메라 등으로 새는 일이 없어지고, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.After the movable base 21 is operated to form the panel receiver 32 having a size matched with the liquid crystal panel 14, light is leaked out of the display portion 14B of the liquid crystal panel 14 by the light blocking member 26. Since it blocks, the noise light leaking from the edge of the said liquid crystal panel 14 can also be removed reliably also about the liquid crystal panel 14 with a different dimension. Thereby, noise light is not leaked by the camera etc. which image | photograph the surface of the liquid crystal panel 14, and the measurement precision can be improved.

또, 표면 처리한 차광부재(26)로 빛을 흡수하거나 산란시켜, 노이즈 광이 카메라 등으로 도달하는 일이 없어지기 때문에, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.Moreover, since the light shielding member 26 which surface-treated was absorbed or scattered and noise light does not reach a camera etc., the measurement precision can be improved.

가동 베이스(21)의 바깥둘레 쪽과 고정 베이스(20)의 개구(28)와의 사이에 생기는 극간은, 상기 차광 커버(25)로 덮여져, 상기 극간으로부터 상기 백라이트(15)의 빛이 새는 것을 방지할 수 있기 때문에, 노이즈 광을 확실하게 차단하고, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.The gap between the outer circumferential side of the movable base 21 and the opening 28 of the fixed base 20 is covered with the light shielding cover 25, so that the light of the backlight 15 leaks from the gap. Since it can prevent, noise noise can be blocked reliably and the measurement precision can be improved.

위치결정기구(24)를, 스토퍼 핀(22) 또는 패널 클램프(23)를 지지하는 기판(51)과; 상기 액정패널(14)의 가장자리에 접하는 스토퍼 핀(22) 또는 패널 클램 프(23)를 지지한 상기 기판(51)을, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향으로는 이동 가능하게 그리고 상기 가장자리에 직교하는 방향으로는 설정 위치에서 고정하여 지지하는 위치규제 플레이트(52)와; 상기 위치규제 플레이트(52)에 나란히 배설되고 위치규제 플레이트(52)에 지지된 상기 기판(51)을, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향의 위치 결정을 하여 지지하는 위치결정 플레이트(53);를 갖추어 구성하고, 위치규제 플레이트(52)로, 상기 스토퍼 핀(22) 또는 패널 클램프(23)를 지지한 상기 기판(51)을, 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향으로는 이동 가능하게 그리고 상기 가장자리에 직교하는 방향으로는 설정 위치에서 고정하여 지지하고, 위치결정 플레이트(53)로, 상기 기판(51)을, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향의 위치 결정을 하여 지지하기 때문에, 패널 지지기구(13) 위의 액정패널(14)을 정확하게 지지할 수 있게 된다. 그리고 액정패널(14)이 정확하게 지지되고, 노이즈 광을 확실하게 차단하기 때문에, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.A substrate 51 for supporting the positioning mechanism 24 with the stopper pin 22 or the panel clamp 23; The substrate 51 supporting the stopper pin 22 or the panel clamp 23 in contact with the edge of the liquid crystal panel 14 is movable in a direction parallel to the edge of the liquid crystal panel 14 and the A position regulating plate 52 fixed and supported at a set position in a direction perpendicular to the edge; Positioning plate 53 for supporting the substrate 51 disposed in parallel with the positioning plate 52 and supported by the positioning plate 52 by positioning in the direction parallel to the edge of the liquid crystal panel 14. The substrate 51 supporting the stopper pin 22 or the panel clamp 23 in the direction parallel to the edge of the liquid crystal panel 14 by the positioning plate 52. It is possible to fix and support at a set position in a direction perpendicular to the edge, and to position the substrate 51 in a direction parallel to the edge of the liquid crystal panel 14 with the positioning plate 53. Since it supports, the liquid crystal panel 14 on the panel support mechanism 13 can be correctly supported. And since the liquid crystal panel 14 is correctly supported and the noise light is blocked reliably, the measurement precision can be improved.

또, 상기 기판(51)이, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향으로 길게 형성되고, 상기 기판(51)을 상기 위치규제 플레이트(52)에 고정하는 나사를 지나게 하는 긴 구멍(55)과; 상기 기판(51)을 상기 위치결정 플레이트(53)에 고정하는 나사를 지나게 하여 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향의 위치 결정을 하는 둥근 구멍(56);을 갖추고, 상기 위치규제 플레이트(52)가, 상기 기판(51)의 긴 구멍(55)을 지난 나사(57)가 비틀어 박히는 나사구멍(60)을, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향으로 복수개 갖추고, 상기 위치결정 플레이트(53) 가, 상기 기판(51)의 둥근 구멍(56)을 지난 나사(58)가 비틀어 박히는 나사구멍(42)을, 상기 기판(51)의 설치 위치에 맞추어 하나 또는 복수개 갖추고, 상기 위치규제 플레이트(52)의 나사구멍(60)에 나사(57)를 비틀어 박고, 상기 위치결정 플레이트(53)의 나사구멍(42)에 나사(58)를 비틀어 박는 것만으로, 패널 지지기구(13) 위의 액정패널(14)을 정확하고 용이하게 지지할 수 있게 된다. 그리고 액정패널(14)이 정확하게 지지되고, 노이즈 광을 확실하게 차단하기 때문에, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.In addition, the substrate 51 is elongated in the direction parallel to the edge of the liquid crystal panel 14, the long hole 55 to pass through the screw for fixing the substrate 51 to the positioning plate 52 and; And a round hole 56 that passes through the screw that fixes the substrate 51 to the positioning plate 53 to position the edge of the liquid crystal panel 14 in a side-by-side direction. 52 is provided with a plurality of screw holes 60 in which the screws 57 past the long holes 55 of the substrate 51 are screwed in the direction parallel to the edge of the liquid crystal panel 14, and the positioning plate 53 is provided with one or more screw holes 42 in which the screws 58 passing through the round holes 56 of the substrate 51 are screwed in accordance with the installation position of the substrate 51. Only by screwing the screw 57 into the screw hole 60 of the plate 52 and twisting the screw 58 into the screw hole 42 of the positioning plate 53, the panel support mechanism 13 The liquid crystal panel 14 can be accurately and easily supported. And since the liquid crystal panel 14 is correctly supported and the noise light is blocked reliably, the measurement precision can be improved.

또, 치수가 다른 액정패널(14)에 대해서는, 위치결정 플레이트(53)를 교환하는 것만으로, 스토퍼 핀(22)과 패널 클램프(23)를 정확하고 용이하게 위치 결정할 수 있게 된다. 그리고 정확하고 용이하게 위치 결정된 스토퍼 핀(22)과 패널 클램프(23)로 액정패널(14)이 정확하게 지지되고, 노이즈 광을 확실하게 차단하기 때문에, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.In addition, for the liquid crystal panel 14 having different dimensions, the stopper pin 22 and the panel clamp 23 can be accurately and easily positioned only by replacing the positioning plate 53. And since the liquid crystal panel 14 is correctly supported by the stopper pin 22 and the panel clamp 23 which were correctly and easily positioned, the noise light is blocked reliably, and the measurement precision can be improved.

상기 위치결정 플레이트(53)에 핀 구멍(63)이 설치됨과 동시에, 상기 가동 베이스(21)에 상기 핀 구멍(63)이 결합하는 결합 핀(64)이 설치되고, 상기 나사구멍(42)의 배설 위치를 바꾼 복수의 위치결정 플레이트(53)를, 액정패널(14)의 치수에 따라 적절히 갈아붙이도록 했기 때문에, 패널 지지기구(13) 위의 액정패널(14)을, 그 치수가 변해도 정확하고 용이하게 지지할 수 있게 된다. 그리고 액정패널(14)이 정확하게 지지되고, 노이즈 광을 확실하게 차단하기 때문에, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.A pin hole 63 is provided in the positioning plate 53, and a coupling pin 64 to which the pin hole 63 is coupled is provided in the movable base 21, and the screw hole 42 Since the plurality of positioning plates 53 which changed the excretion position were appropriately changed in accordance with the dimensions of the liquid crystal panel 14, the liquid crystal panel 14 on the panel support mechanism 13 is accurate even if its dimensions change. And can be easily supported. And since the liquid crystal panel 14 is correctly supported and the noise light is blocked reliably, the measurement precision can be improved.

[변형예][Modification]

상기 실시형태에서는, 가동 베이스(21)로 개구의 크기를 바꾸어 치수가 다른 액정패널(14)에 대응하는 구조의 검사장치를 예로 설명하였으나, 개구의 크기가 바뀌지 않는 검사장치에도 본 발명을 제공할 수 있다. 이 경우도 상기 실시형태와 동일한 작용, 효과를 나타낼 수 있다.In the above embodiment, an inspection apparatus having a structure corresponding to the liquid crystal panel 14 having different dimensions by changing the size of the opening with the movable base 21 is described as an example, but the present invention can also be provided to an inspection apparatus in which the size of the opening does not change. Can be. Also in this case, the same effects and effects as in the above embodiment can be exhibited.

또, 차광부재(26)의 확산판(27)에의 설치 구조로는, 도11과 같이, 차광부재(26)의 하부와, 확산판(27)의 단부에, 각각 결합 단부(段部)(26A, 27A)를 설치하여 서로 결합 고정하도록 해도 좋다. 차광부재(26)와 확산판(27)의 결합수단은 특별히 문제되지 않는다.Moreover, as an attachment structure of the light shielding member 26 to the diffuser plate 27, as shown in FIG. 11, the lower end of the light shielding member 26 and the edge part of the diffuser plate 27 are respectively combined edges ( 26A and 27A) may be provided to be fixed to each other. The coupling means of the light blocking member 26 and the diffusion plate 27 is not particularly problematic.

본 발명은, 상기 실시형태에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 다양하게 변경할 수 있다.The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit thereof.

상기 차광부재가, 상기 검사대상 판의 가장자리의, 표시 영역의 바깥쪽으로 새는 빛을 차단하여, 상기 검사대상 판의 가장자리에서 새는 노이즈 광을 확실하게 제거하기 때문에, 노이즈 광이 검사대상 판의 표면을 촬영하는 카메라 등에 새는 일이 없어지고, 노이즈 광을 확실하게 차단하여 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.Since the light blocking member blocks light leaking to the outside of the display area at the edge of the inspection target plate and reliably removes noise light leaking at the edge of the inspection target plate, the noise light removes the surface of the inspection target plate. No leaking to a camera or the like to be photographed can be prevented, and noise light can be reliably cut off to improve measurement accuracy.

상기 확산판을 설치함으로써, 상기 차광부재도 동시에 설치되기 때문에, 차광부재의 장착이 용이해진다.By providing the diffusion plate, since the light blocking member is also provided at the same time, the mounting of the light blocking member becomes easy.

가동 베이스를 가동시켜, 상기 검사대상 판에 맞춘 치수의 상기 패널 리시버를 형성한 후에, 상기 차광부재로 상기 검사대상 판의 표시 영역의 바깥쪽으로 새는 빛을 차단하기 때문에, 치수가 다른 상기 검사대상 판에 대해서도 그 검사대상 판의 가장자리에서 새는 노이즈 광을 확실하게 제거할 수 있다. 이에 의해, 노이즈 광이 검사대상 판의 표면을 촬영하는 카메라 등에 새는 일이 없어지고, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.After the movable base is actuated to form the panel receiver having the size matched with the plate to be inspected, the light blocking member blocks light leaking to the outside of the display area of the plate to be inspected. In addition, noise light leaking from the edge of the inspection target plate can be reliably removed. Thereby, noise light does not leak to the camera etc. which image | photograph the surface of the board | substrate to be tested, and the measurement precision can be improved.

또, 표면 처리한 차광부재로 빛을 흡수하거나 또는 산란시켜, 노이즈 광이 카메라 등에 도달하는 일이 없어지기 때문에, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.In addition, since light is absorbed or scattered by the surface-treated light shielding member, noise light does not reach the camera or the like, and therefore, measurement accuracy can be improved.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications and variations of the present invention can be readily used by those skilled in the art, and all such variations or modifications can be considered to be included within the scope of the present invention.

Claims (4)

삭제delete 검사대상 판을 배면에서 비추어 검사를 행하는 검사장치로서,An inspection apparatus for performing inspection by illuminating the inspection target plate from the back, 상기 검사대상 판을 그 가장자리에서 지지하는 패널 리시버;A panel receiver supporting the inspection object plate at an edge thereof; 상기 패널 리시버에 지지된 상기 검사대상 판의 배면을 비추는 백라이트;A backlight that illuminates a rear surface of the inspection object plate supported by the panel receiver; 상기 패널 리시버에 지지된 상기 검사대상 판의 가장자리의 상기 백라이트 쪽에 위치하여 상기 검사대상 판의 표시 영역의 바깥쪽으로 새는 빛을 차단하는 차광부재; 및A light blocking member positioned on the backlight side of the edge of the inspection target plate supported by the panel receiver to block light leaking out of the display area of the inspection target plate; And 상기 패널 리시버에 지지된 상기 검사대상 판과 상기 백라이트와의 사이에, 상기 백라이트로부터의 빛을 확산시키는 확산판;A diffusion plate configured to diffuse light from the backlight between the inspection object plate supported by the panel receiver and the backlight; 를 갖추어 구성되며,Is configured with 상기 차광부재는 상기 확산판의 가장자리에 일체적으로 설치된 것을 특징으로 하는 검사장치.And the light blocking member is integrally installed at an edge of the diffusion plate. 검사대상 판을 배면에서 비추어 검사를 행하는 검사장치로서,An inspection apparatus for performing inspection by illuminating the inspection target plate from the back, 상기 검사대상 판을 그 가장자리에서 지지하는 패널 리시버;A panel receiver supporting the inspection object plate at an edge thereof; 상기 패널 리시버에 지지된 상기 검사대상 판의 배면을 비추는 백라이트;A backlight that illuminates a rear surface of the inspection object plate supported by the panel receiver; 상기 패널 리시버에 지지된 상기 검사대상 판의 가장자리의 상기 백라이트 쪽에 위치하여 상기 검사대상 판의 표시 영역의 바깥쪽으로 새는 빛을 차단하는 차광부재;A light blocking member positioned on the backlight side of the edge of the inspection target plate supported by the panel receiver to block light leaking out of the display area of the inspection target plate; 개구를 갖추고 장치 본체 쪽에 설치되는 고정 베이스; 및A fixed base having an opening and installed on the apparatus body side; And 상기 고정 베이스 위에 4개 조합시켜 사각형상으로 그리고 상기 검사대상 판의 치수에 맞추어 이동 가능하게 배치되고 그 안쪽 둘레 쪽에 상기 패널 리시버를 형성하는 가동 베이스;A movable base arranged in combination on four of the fixed bases so as to be movable in a square shape and in accordance with the dimensions of the inspection object plate and forming the panel receiver on an inner circumferential side thereof; 를 갖추어 구성된 것을 특징으로 하는 검사장치.Inspection device characterized in that the configuration. 검사대상 판을 배면에서 비추어 검사를 행하는 검사장치로서,An inspection apparatus for performing inspection by illuminating the inspection target plate from the back, 상기 검사대상 판을 그 가장자리에서 지지하는 패널 리시버;A panel receiver supporting the inspection object plate at an edge thereof; 상기 패널 리시버에 지지된 상기 검사대상 판의 배면을 비추는 백라이트; 및A backlight that illuminates a rear surface of the inspection object plate supported by the panel receiver; And 상기 패널 리시버에 지지된 상기 검사대상 판의 가장자리의 상기 백라이트 쪽에 위치하여 상기 검사대상 판의 표시 영역의 바깥쪽으로 새는 빛을 차단하는 차광부재;A light blocking member positioned on the backlight side of the edge of the inspection target plate supported by the panel receiver to block light leaking out of the display area of the inspection target plate; 를 갖추어 구성되며, Is configured with 상기 차광부재에, 상기 백라이트의 빛을 흡수하거나 산란시키는 표면 처리를 실시한 것을 특징으로 하는 검사장치.And a surface treatment for absorbing or scattering the light of the backlight.

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