KR100858337B1 - Inspection Apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명의 검사장치는 노이즈 광(光)을 확실하게 차단하여 측정 정밀도의 향상을 도모하기 위한 것이다. 본 발명은, 검사대상 판(板)을 배면에서 비추어 검사를 행하는 검사장치이다. 상기 검사대상 판을 그 가장자리에서 지지하는 패널 리시버와, 상기 패널 리시버에 지지된 상기 검사대상 판의 배면을 비추는 백라이트와, 상기 패널 리시버에 지지된 상기 검사대상 판의 가장자리의 상기 백라이트 쪽에 위치하고 상기 검사대상 판의 표시 영역의 바깥쪽으로 새는 빛을 차단하는 차광부재를 갖춘다. 상기 패널 리시버에 지지된 상기 검사대상 판과 상기 백라이트와의 사이에, 상기 백라이트로부터의 빛을 확산시키는 확산판을 갖춘다. 상기 차광부재는 상기 확산판의 가장자리에 일체적으로 설치한다.
검사장치, 액정패널, 노이즈 광, 백라이트, 차광부재, 확산판
The inspection apparatus of the present invention aims to improve the measurement accuracy by reliably blocking noise light. This invention is a test | inspection apparatus which performs a test by illuminating the board | substrate to be examined from the back surface. A panel receiver for supporting the inspection object plate at an edge thereof, a backlight for reflecting the back surface of the inspection object plate supported by the panel receiver, and being positioned on the backlight side of an edge of the inspection object plate supported by the panel receiver; A light blocking member for blocking light leaking out of the display area of the target plate is provided. A diffuser plate is provided between the inspection object plate supported by the panel receiver and the backlight to diffuse light from the backlight. The light blocking member is integrally installed at an edge of the diffusion plate.
Inspection device, liquid crystal panel, noise light, backlight, light blocking member, diffuser plate
Description
도1은 본 발명에 따른 패널 지지기구를 나타내는 정면 단면도이다.1 is a front sectional view showing a panel support mechanism according to the present invention.
도2는 종래의 패널 지지기구를 나타내는 정면 단면도이다.2 is a front sectional view showing a conventional panel support mechanism.
도3은 종래의 패널 지지기구를 나타내는 요부 확대도이다.3 is an enlarged view illustrating main parts of a conventional panel support mechanism.
도4는 본 발명에 따른 패널 지지기구를 나타내는 평면도이다.4 is a plan view showing a panel support mechanism according to the present invention.
도5는 도4의 A-A 단면도이다.5 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.
도6은 본 발명에 따른 패널 지지기구를 나타내는 일부 파단 사시도이다.6 is a partially broken perspective view showing a panel support mechanism according to the present invention.
도7은 본 발명에 따른 패널 지지기구의 차광부재를 나타내는 요부 확대 단면도이다.7 is an enlarged cross-sectional view of a main portion showing the light blocking member of the panel support mechanism according to the present invention.
도8은 액정패널을 나타내는 평면도이다.8 is a plan view showing a liquid crystal panel.
도9는 액정패널을 나타내는 측면도이다.9 is a side view showing a liquid crystal panel.
도10은 본 발명에 따른 차광부재가 가장자리에 일체적으로 설치된 확산판을 나타내는 사시도이다.10 is a perspective view illustrating a diffusion plate in which a light blocking member according to the present invention is integrally installed at an edge thereof.
도11은 본 발명의 변형예를 나타내는 요부 확대도이다.Fig. 11 is an enlarged view illustrating main parts showing a modification of the present invention.
* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *Description of the main symbols in the drawings
11: 베이스 판 12: 지주11: base plate 12: prop
13: 패널 지지기구 14: 액정패널13: panel support mechanism 14: liquid crystal panel
14A: 유리기판 14B: 표시부14A:
14C: 띠 영역 14D: 단자부14C:
15: 백라이트 16: 하우징15: backlight 16: housing
17: 형광관 20: 고정 베이스17: fluorescent tube 20: fixed base
21: 가동(可動) 베이스 22: 스토퍼 핀21: movable base 22: stopper pin
23: 패널 클램프(clamp) 24: 위치결정기구23: panel clamp 24: positioning mechanism
25: 차광 커버 26: 차광부재25: shading cover 26: shading member
27: 확산판 28: 개구27: diffusion plate 28: opening
30: 가변개구 32: 패널 리시버(receiver)30: variable opening 32: panel receiver
34: 결합장치 36: 제1 레일34: coupling device 36: first rail
37: 제1 가이드 38: 연결부재37: first guide 38: connecting member
39: 제2 레일 40: 제2 가이드39: second rail 40: second guide
41: 구동부 43: 볼나사41: drive unit 43: ball screw
44: 구동 모터 45: 너트44: drive motor 45: nut
46: 제3 레일 47: 제3 가이드46: third rail 47: third guide
51: 기판 52: 위치규제 플레이트(plate)51: substrate 52: positioning plate
53: 위치결정 플레이트 55: 긴 구멍53: positioning plate 55: long hole
56: 둥근 구멍 57: 나사56: round hole 57: screw
58: 나사 60: 나사구멍58: screw 60: screw hole
62: 커버 설치부재 63: 핀 구멍62: cover mounting member 63: pin hole
64: 결합 핀64: coupling pin
발명의 분야Field of invention
본 발명은, 액정표시패널과 같은 검사대상 판을 배면에서 비추어 검사를 행하는 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus for performing inspection by illuminating an inspection object plate such as a liquid crystal display panel from the back side.
발명의 배경Background of the Invention
액정표시패널 등을 검사하는 검사장치에서는, 크기가 다른 패널의 검사를 할 때는 접촉자 유닛 및 검사 스테이지의 양자의 교환을 하지 않으면 안 되어, 그 작업이 번잡하였다. 이것을 해소하기 위해, 특허문헌 1에 기재된 발명이 제안되어 있다. 상기 특허문헌 1의 발명에서는, 베이스를 가동식(可動式)으로 하여, 패널의 치수가 다름에 따라 개구의 크기를 조정함과 동시에 접촉자 유닛의 위치를 조정함으로써, 접촉자 유닛이나 검사 스테이지의 교환을 하지 않고 대응할 수 있도록 하였다.In an inspection apparatus for inspecting a liquid crystal display panel or the like, when inspecting a panel having a different size, the contact unit and the inspection stage must be exchanged, and the work is complicated. In order to eliminate this, the invention described in patent document 1 is proposed. In the invention of Patent Document 1, the base is movable, and the size of the opening is adjusted as the panel is different, and the position of the contact unit is adjusted, thereby not changing the contact unit or inspection stage. You can respond without.
[특허문헌 1] 일본 특개2006-119031호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-119031
그런데, 상기 종래의 검사장치에서는, 검사대상인 패널의 치수가 커지면, 빛이 새는 문제가 생겨버린다.By the way, in the said conventional test | inspection apparatus, the problem of light leaking will arise when the dimension of the panel which is a test object becomes large.
특허문헌 1에 있어서는, 확산판을 가동 베이스 쪽이 아니고, 고정 베이스 쪽에 설치하고 있지만, 이런 경우, 확산판에서 확산된 빛이 검사 패널의 가장자리의 단부(端部)에도 도달해버려, 상기 단부에서 샌 빛이 노이즈 광으로 되어 버린다.In Patent Literature 1, the diffusion plate is provided not on the movable base side but on the fixed base side. In this case, the light diffused from the diffuser plate reaches the edge of the edge of the inspection panel. The leaked light becomes noise light.
또, 확산판이 검사 패널의 근방에 설치되는 경우도 있다. 이 예를 도2 및 도3에 나타내었다.In addition, a diffusion plate may be provided in the vicinity of the inspection panel. This example is shown in FIGS. 2 and 3.
도면 중의 1은 가동 베이스이다. 가동 베이스(1)의 안쪽에는 패널 리시버(2)가 설치되어 있다. 상기 패널 리시버(2)의 상단부에는 단차(段差)가 설치되어 상단의 윗 지지면(3)과 하단의 아래 지지면(4)이 설치되어 있다. 윗 지지면(3)에는 패널(5)이 놓여 있다. 아래 지지면(4)에는 확산판(6)이 놓여 있다.1 in the figure is a movable base. The
패널(5)은, 유리기판(5A)과, 상기 유리기판(5A)의 전 영역을 덮는 표시부(5B)와, 상기 표시부(5B)의 외주에 설치된 검은 둘레인 띠 영역(5C)과, 상기 띠 영역(5C)의 외주에 설치된 단자부(5D)로 구성되어 있다.The panel 5 includes a
확산판(6)은 그 표면에 미세한 요철을 다수 설치하여 구성되어 있다. 확산판(6)의 배면 쪽에서 입사한 빛은, 표면의 미세한 요철에서 산란하여 확산된다. 확산된 빛의 일부는 패널(5)의 단자부(5D)에도 입사하지만, 여기에서는 화살표(7)의 새는 빛과 같이, 각 전극의 사이에서 외부로 새어 버린다.The
그리고, 상기 새는 빛은 검사에서 노이즈 광이 되어, 검사 정밀도를 악화시켜 버린다.The leaked light becomes noise light during inspection, which degrades inspection accuracy.
본 발명은 상술한 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 검사대상 판의 가장자리에서 새는 노이즈 광을 확실하게 제거하여 검사 정밀도를 향상시키는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to reliably remove noise light leaking from an edge of an inspection object plate to improve inspection accuracy.
본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.The above and other objects of the present invention can be achieved by the present invention described below.
발명의 요약Summary of the Invention
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 검사대상 판을 배면에서 비추어 검사를 행하는 검사장치로서, 상기 검사대상 판을 그 가장자리에서 지지하는 패널 리시버와, 상기 패널 리시버에 지지된 상기 검사대상 판의 배면을 비추는 백라이트와, 상기 패널 리시버에 지지된 상기 검사대상 판의 가장자리의 상기 백라이트 쪽에 위치하고 상기 검사대상 판의 표시 영역의 바깥쪽으로 새는 빛을 차단하는 차광부재를 갖추어 구성하였다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, this invention is a test | inspection apparatus which test | inspects the board | substrate to be examined from the back, The panel receiver which supports the said board | substrate to test at the edge, and the back of the said board | substrate to be supported by the said panel receiver. And a light blocking member that is positioned on the backlight side of the edge of the inspection target plate supported by the panel receiver and blocks light leaking out of the display area of the inspection target plate.
상기 구성에 의해, 차광부재가 상기 검사대상 판의 가장자리의, 표시 영역의 바깥쪽으로 새는 빛을 차단하여, 상기 검사대상 판의 가장자리에서 새는 노이즈 광 을 확실하게 제거한다. 이에 의해, 노이즈 광이 검사대상 판의 표면을 촬영하는 카메라나 검사를 하는 작업자 쪽으로 새는 일이 없어진다.By the above configuration, the light shielding member blocks light leaking out of the display area at the edge of the inspection object plate, thereby reliably removing noise light leaking at the edge of the inspection object plate. Thereby, noise light will not leak to the camera which photographs the surface of a board | substrate to be examined, or an operator who performs inspection.
상기 패널 리시버에 지지된 상기 검사대상 판과 상기 백라이트와의 사이에는, 상기 백라이트로부터의 빛을 확산시키는 확산판을 갖추고, 상기 차광부재가 상기 확산판의 가장자리에 일체적으로 설치되는 것이 바람직하다.It is preferable that a diffusion plate is provided between the inspection object plate supported by the panel receiver and the backlight to diffuse light from the backlight, and the light blocking member is integrally provided at an edge of the diffusion plate.
상기 구성에 의해, 상기 확산판을 설치함으로써, 상기 차광부재도 동시에 설치된다.With the above configuration, the light blocking member is also provided at the same time by providing the diffusion plate.
상기 검사장치는, 개구를 갖추고 장치 본체 쪽에 설치되는 고정 베이스와, 상기 고정 베이스 위에 4개 조합시켜 사각형상으로 그리고 상기 검사대상 판의 치수에 맞추어 이동 가능하게 배치되어 그 안쪽 둘레 쪽에 상기 패널 리시버를 형성하는 가동 베이스를 갖추어 구성되는 것이 바람직하다.The inspection device includes a fixed base having an opening and installed on the main body of the apparatus, and a combination of four fixed bases on the fixed base, the panel receiver being movable in a square shape and in accordance with the dimensions of the inspection target plate. It is preferable to comprise the movable base to form.
상기 구성에 의해, 가동 베이스를 가동시켜, 상기 검사대상 판에 맞춘 치수의 상기 패널 리시버를 형성하고, 상기 차광부재로 상기 검사대상 판의 표시 영역의 바깥쪽으로 새는 빛을 차단한다.With the above configuration, the movable base is operated to form the panel receiver having a size that matches the inspection object plate, and the light shielding member blocks light leaking out of the display area of the inspection object plate.
상기 차광부재에는 상기 백라이트의 빛을 흡수하거나, 또는 산란시키는 표면 처리를 실시하는 것이 바람직하다.The light blocking member is preferably subjected to a surface treatment for absorbing or scattering light of the backlight.
상기 구성에 의해, 표면 처리한 차광부재에 샌 빛이 닿으면, 그 빛은 상기 차광부재에서 흡수되거나 또는 산란되어, 카메라 등에 도달하는 일이 없어진다.With the above configuration, when the light which hits the light-shielding member subjected to the surface treatment is absorbed or scattered by the light-shielding member, it does not reach the camera or the like.
발명의 상세한 설명Detailed description of the invention
이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명한다. 본 실시형태에서 검사장치는, 백라이트의 빛이 검사대상 판의 바깥쪽으로부터 새 노이즈 광이 되는 것을 방지하여 측정 정밀도를 향상시키기 위한 장치이다. 검사대상 판은 사각형의 형상을 갖는 판재이다. 그 한 예로서 여기에서는 액정패널을 예로 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described. In the present embodiment, the inspection apparatus is an apparatus for preventing the light of the backlight from becoming new noise light from the outside of the inspection object plate and improving the measurement accuracy. The plate to be inspected is a plate having a rectangular shape. As one example thereof, the liquid crystal panel will be described as an example.
본 발명은, 액정패널을 지지하는 검사 스테이지 등을 갖춘 검사장치 모두에 적용할 수 있다. 검사 스테이지는, 도5에 나타낸 바와 같이, X, Y 및 Z의 3방향으로 변위시킴과 동시에 Z방향으로 연장하는 θ축선 주위로 회전시키는 기구를 갖춘 스테이지 본체(도시하지 않음), 상기 스테이지 본체에 설치되는 베이스 판(11), 상기 베이스 판(11)에 지주(12)를 통하여 일정 간격을 두고 지지되는 패널 지지기구(13), 이들 베이스 판(11)과 패널 지지기구(13)와의 사이에 설치되어 액정패널(14)(도7 참조)을 배면에서 비추는 백라이트(15) 등을 갖추어 구성되어 있다. 또한, 백라이트(15)는 하우징(16)과, 상기 하우징(16) 내에 평행하게 배설된 복수개의 형광관(17)으로 구성되고, 후술하는 고정 베이스(20)의 개구(28) 전체를 조사한다.Industrial Applicability The present invention can be applied to all inspection apparatuses provided with an inspection stage for supporting a liquid crystal panel. As shown in Fig. 5, the inspection stage includes a stage body (not shown) having a mechanism for displacing in three directions of X, Y, and Z, and rotating around the θ axis extending in the Z direction, and the stage body. The
본 발명의 특징은, 이와 같은 검사장치에 있어서, 상기 검사 스테이지의 위쪽에 설치되는 패널 지지기구(13)에서의 백라이트(15)의 노이즈 광의 문제를 개량한 점에 있다. 이 때문에, 이하에서는, 패널 지지기구(13)를 중심으로 설명한다. 도1은 본 발명에 따른 패널 지지기구를 나타내는 정면 단면도, 도4는 본 발명에 따른 패널 지지기구를 나타내는 평면도, 도5는 도4의 A-A 단면도, 도6은 본 발명에 따른 패널 지지기구를 나타내는 일부 파단 사시도, 도7은 본 발명에 따른 패널 지 지기구의 차광부재를 나타내는 요부 확대 단면도, 도8은 액정패널을 나타내는 평면도, 도9는 액정패널을 나타내는 측면도, 도10은 본 발명에 따른 차광부재가 가장자리에 일체적으로 설치된 확산판을 나타내는 사시도이다.A feature of the present invention is that in such an inspection apparatus, the problem of noise light of the
패널 지지기구(13)는, 액정패널(14)을 그 배면에서 백라이트(15)로 조사하면서 상기 액정패널(14)의 전극과 접촉자(프로브)를 서로 접촉시키기 위해, 액정패널(14)을 정확하게 위치 결정하여 지지하는 기구이다. 패널 지지기구(13)는, 도4∼6에 나타낸 바와 같이 주로, 베이스 판(11)의 지주(12)에 설치되는 고정 베이스(20)와, 상기 고정 베이스(20) 위에 4개 조합시켜 사각형상으로 액정패널(14)의 치수에 맞추어 이동 가능하게 배치된 가동 베이스(21)와, 각 가동 베이스(21) 중 서로 이웃하는 2개에 설치되고 액정패널(14)의 가장자리에 접하여 상기 액정패널(14)의 위치를 결정하는 스토퍼 핀(22)과, 상기 스토퍼 핀(22)과 마주보는 위치에 액정패널(14)을 끼워 설치되고 스토퍼 핀(22)과 더불어 액정패널(14)을 끼워 지지하는 패널 클램프(23)와, 상기 스토퍼 핀(22) 및 패널 클램프(23)를 각각 지지한 상태로 각 가동 베이스(21)에 위치 결정하여 설치되는 위치결정기구(24)와, 노이즈 광을 차단하는 차광 커버(25)와, 액정패널(14)의 가장자리에서 바깥쪽으로 새는 빛을 차단하는 차광부재(26)를 갖추어 구성되어 있다.The
고정 베이스(20)는 전체가 사각형상으로 형성되어 있다. 고정 베이스(20)의 중앙에는 백라이트(15)로부터의 빛을 받아들이는 사각형의 개구(28)가 설치되어 있다. 상기 개구(28)는 고정 베이스(20)의 두께방향으로 관통하여 설치되고, 검사 가능한 액정패널(14) 중 최대 치수의 액정패널(14)에 맞춘 크기로 설정되어 있다.The fixed
각 가동 베이스(21)는 그 전체 형상을, 긴 판상으로 형성하고 있다. 가동 베이스(21)의 전체 길이는, 개구(28)의 대응하는 가장자리의 길이 이상으로 설정되어 있다. 4개의 가동 베이스(21)가 조합되어 가변개구(30)가 형성되어 있다. 즉, 하나의 가동 베이스(21)의 길이방향의 한쪽 끝 면이 상대쪽 가동 베이스(21)의 측면에 접함으로써 사각형의 가변개구(30)를 형성하고 있다. 게다가, 각 가동 베이스(21)는 그 길이방향의 한쪽 끝 면과 상대쪽 측면과의 사이에서, 상대쪽의 측면을 따라 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 이에 의해, 작은 액정패널(14)에 대응한 작은 가변개구(30)에서 상기 개구(28)와 거의 같은 큰 가변개구(30)까지, 그 크기를 임의로 조정할 수 있도록 되어 있다.Each
각 가동 베이스(21)에는 도6에 나타낸 바와 같이, 서로 조합됨으로써 액정패널(14)을 고정 베이스(20)와 평행하게 받는 패널 리시버(32)가 형성되어 있다. 가동 베이스(21)는, 두꺼운 평판상으로 형성되고, 그 평판의 안쪽 끝에 서서 판상으로 패널 리시버(32)가 형성되어 있다. 이에 의해, 가동 베이스(21)와 패널 리시버(32)는 그 단면형상이 L자형으로 형성되어 있다. 4개의 가동 베이스(21)가 서로 조합됨으로써 4개의 패널 리시버(32)가 액정패널(14)을 지지하는 가변개구(30)를 형성한다.As shown in Fig. 6, panel
각 가동 베이스(21)는 각 결합장치(34)에 의해 고정 베이스(20)에 결합되어 있다. 결합장치(34)는 가동 베이스(21)를 고정 베이스(20)와 평행한 면내에서 이차원적으로 이동 가능하게 지지하고 있다.Each
상기 결합장치(34)는, 각 가동 베이스(21)의 길이방향과 직교하는 방향(제1 방향)으로 연장하도록 고정 베이스(20)의 윗면에 설치된 제1 레일(36)과, 상기 제1 레일(36)에 이동 가능하게 결합된 제1 가이드(37)와, 상기 제1 가이드(37)의 위쪽에 일체적으로 설치된 연결부재(38)와, 가동 베이스(21)의 길이방향(제2 방향)을 따라 가동 베이스(21)의 아래면에 일체적으로 설치된 제2 레일(39)과, 상기 제2 레일(39)에 이동 가능하게 결합됨과 동시에 상기 연결부재(38)에 일체적으로 설치된 2개의 제2 가이드(40)와, 고정 베이스(20)의 윗면에 설치된 상태로 상기 연결부재(38)에 연결되어 연결부재(38) 및 그 위쪽의 구조물을 제1 레일(36)을 따라 제1 방향으로 이동시키는 구동부(41)를 갖추어 구성되어 있다.The
구동부(41)는, 제1 레일(36)을 따라 회전 가능하게 배설된 볼나사(43)와, 상기 볼나사(43)를 회전 구동하는 구동 모터(44)와, 볼나사(43)에 비틀어 박힌 상태로 연결부재(38)에 고정되고 볼나사(43)의 회전에 의해 제1 레일(36)을 따라 연결부재(38)를 이동시키는 너트(45)로 구성되어 있다.The
게다가, 가동 베이스(21)의 아래쪽 면에는 상기 제2 레일(39)과 나란히 제3 레일(46)이 일체적으로 설치되어 있다. 상기 제3 레일(46)에는 제3 가이드(47)가 이동 가능하게 결합되어 있다. 그리고, 상기 제3 가이드(47)는 가동 베이스(21)의 한쪽 끝에 일체적으로 설치되어 있다. 이에 의해, 각 가동 베이스(21)는 그 길이방향의 한쪽 끝 면과, 직교하는 상대쪽 가동 베이스(21)의 측면과의 사이에서, 상대쪽의 측면을 따라 이동 가능하게 지지되어 있다. 그리고 4개의 가동 베이스(21) 모두가 이 구조로 서로 결합되어 있다. 그 결과, 4개의 가동 베이스(21)로 형성되는 가변개구(30)는, 작은 액정패널(14)에 대응한 작은 가변개구(30)에서 큰 액정패 널(14)에 대응한 큰 가변개구(30)까지, 그 크기를 임의로 조정할 수 있도록 되어 있다. 구체적으로는, 4개의 구동부(41)를 동시에 작동시켜, 4개의 가동 베이스(21)를 동시에 이동시킴으로써, 가변개구(30)의 크기를 임의로 조정할 수 있도록 되어 있다.In addition, a
위치결정기구(24)는, 도4 및 도5에 나타낸 바와 같이, 상기 스토퍼 핀(22) 및 패널 클램프(23)를 각각 지지한 상태로 각 가동 베이스(21)에 위치 결정하여 설치하기 위한 기구이다. 스토퍼 핀(22)을 지지하는 위치결정기구(24)도, 패널 클램프(23)를 지지하는 위치결정기구(24)도 동일한 구성을 갖기 때문에, 여기에서는 패널 클램프(23)를 지지하는 위치결정기구(24)를 도4에 기초하여 설명한다.As shown in Figs. 4 and 5, the
위치결정기구(24)는, 기판(51)과, 위치규제 플레이트(52)와, 위치결정 플레이트(53)로 구성되어 있다.The
기판(51)은, 상기 패널 클램프(23)를 지지하기 위한 판재이다. 기판(51)은 사각형 평판상으로 형성되어 있다. 패널 클램프(23)는 기판(51)의 한 변을 따라 설치되어 있다. 기판(51)에는 긴 구멍(55)과, 둥근 구멍(56)이 설치되어 있다.The board |
긴 구멍(55)은, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향을 따라 길게 형성되어 있다. 게다가 긴 구멍(55)은, 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향을 따라 2개 나란히 설치되어 있다. 각 긴 구멍(55)은, 기판(51)을 위치규제 플레이트(52)에 고정하는 나사(57)를 지나게 하기 위한 구멍이다. 긴 구멍(55)은 상기 긴 구멍(55)을 지난 나사(57)가 긴 구멍(55) 내에서 이동할 수 있음에 따라, 후술하는 위치규제 플레이트(52)의 나사구멍(60)에 비틀어 박힌 나사(57)에 대하여, 기 판(51)을 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향으로 다소 이동할 수 있도록 되어 있다.The
둥근 구멍(56)은, 기판(51)을 위치결정 플레이트(53)에 고정하는 나사(58)를 지나게 하여 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향의 위치 결정을 하기 위한 구멍이다. 둥근 구멍(56)은, 나사(58)의 크기에 맞추어 형성되고, 나사(58)와의 사이에서 흔들림이 없도록 그 내경이 설정되어 있다.The
위치규제 플레이트(52)는, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 접하는 패널 클램프(23)을 지지한 상기 기판(51)을, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향으로는 이동 가능하게 그리고 상기 가장자리에 직교하는 방향으로는 설정 위치에서 고정하여 지지하기 위한 플레이트이다. 위치규제 플레이트(52)는 구체적으로는, 좁고 긴 판재로 구성되고, 가동 베이스(21)의 패널 리시버(32)를 따라 고정되어 있다. 좁고 긴 판상의 위치규제 플레이트(52)에는, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향을 따라, 그 전체 길이에 걸쳐서 일렬로 나사구멍(60)이 다수 설치되어 있다. 각 나사구멍(60)은 긴 구멍(55)의 길이와 거의 같은 간격으로 설정되어 있다. 이에 의해, 한 나사구멍(60)에 나사(57)가 비틀어 박힌 상태로 기판(51)이 긴 구멍(55)을 따라 이동할 수 있는 범위와, 이웃하는 나사구멍(60)에 나사(57)가 비틀어 박힌 상태로 기판(51)이 긴 구멍(55)을 따라 이동할 수 있는 범위가 서로 겹쳐, 위치규제 플레이트(52)의 전체 길이의 모든 위치에서 기판(51)을 고정할 수 있도록 되어 있다.The
위치결정 플레이트(53)는, 위치규제 플레이트(52)에 나란히 배설되어 위치규 제 플레이트(52)에 지지된 상기 기판(51)을, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향의 위치 결정을 하여 지지하기 위한 플레이트이다. 위치결정 플레이트(53)는 좁고 긴 판재로 구성되어 있다. 위치결정 플레이트(53)에는, 기판(51)의 둥근 구멍(56)을 지난 나사(58)가 비틀어 박혀지는 나사구멍이, 기판(51)의 설치 위치에 맞추어 하나 또는 복수개 설치된다. 여기에서는, 액정패널(14)의 짧은 변 쪽에 맞추어 하나의 나사구멍이 위치결정 플레이트(53)에 설치되어 있다.The
위치결정 플레이트(53)의 양쪽 끝에는, 결합부로서의 핀 구멍(63)이 설치되어 있다. 가동 베이스(21) 쪽에는, 핀 구멍(63)에 대응하는 위치에, 2개의 결합 핀(64)이 설치되어 있다. 이들 핀 구멍(63) 및 결합 핀(64)은 위치결정 플레이트(53)의 나사구멍이 설치 위치에 정합(整合)하도록, 위치 결정되어 있다. 이에 의해, 기판(51) 위의 패널 클램프(23)가 정확한 위치에 위치 결정되도록 되어 있다.At both ends of the
위치결정 플레이트(53)로는, 설정이 다른 복수 종류의 플레이트가 준비된다. 구체적으로는, 액정패널(14)의 치수에 따라 설정된 패널 클램프(23)의 설치 수에 따른 개수의 나사구멍(42)이 설치된 복수 종류의 플레이트가 준비된다. 이들 위치결정 플레이트(53)는, 핀 구멍(63) 및 결합 핀(64)에 의해 용이하게 교체된다. 위치결정 플레이트(53)의 길이는 각 가동 베이스(21)에 따라 다르게 해도 좋고, 모두 같게 해도 좋다.As the
또한, 스토퍼 핀(22)을 지지하는 위치결정기구(24)도 상기와 동일하게 구성되어 있다.Moreover, the
차광 커버(25)는, 고정 베이스(20)의 개구(28)보다도 가동 베이스(21)의 가 변개구(30)가 작아졌을 때 그 가동 베이스(21)의 바깥둘레 쪽(4개의 패널 리시버(32)로 형성되는 가변개구(30)의 바깥둘레 쪽)에 생기는 극간(隙間)으로부터 새는 상기 백라이트의 빛을 차단하는 부재, 즉 노이즈 광을 차단하는 부재이다. 상기 차광 커버(25)는, 장방형의 평판상 부재로 구성되어 있다. 차광 커버(25)는, 각 가동 베이스(21)의 패널 리시버(32)와 같은 길이로, 그리고 극간이 최대인 때와 같거나 그보다 큰 폭으로 설정되어 있다. 차광 커버(25)는, 각 가동 베이스(21) 중 패널 리시버(32)와 반대쪽에, 커버 설치부재(62)를 통하여 바깥둘레 쪽으로 연장하여 설치되어 있다.The
차광 커버(25)의 백라이트(15)쪽 면에는, 백라이트(15)의 빛을 흡수하거나, 또는 산란시키는 표면 처리가 실시되고 있다. 이 표면 처리로는, 구체적으로는 차광 커버(25)의 백라이트(15)쪽 면을 검게 도포하거나, 비로드를 붙이거나, 젖빛유리(간유리)와 같이 표면에 가는 요철을 설치한다. 이에 의해, 노이즈 광을 흡수하거나 산란시켜, 화상 촬영용 카메라에 노이즈 광이 입사하지 않도록 하고 있다.Surface treatment for absorbing or scattering light from the
차광부재(26)는, 후술하는 액정패널(14)의 표시부(14B)(표시영역)의 바깥쪽으로 새는 빛을 차단하는 부재이다. 차광부재(26)는, 패널 리시버(32)에 지지된 액정패널(14)의 가장자리의 백라이트(15) 쪽에 위치하여 설치되어 있다. 구체적으로는, 후술하는 확산판(27)이 상기 액정패널(14)의 가장자리의 백라이트(15) 쪽에 위치하여 설치되어 있다. 그리고, 차광부재(26)는 상기 확산판(27)의 가장자리에 일체적으로 설치되어 있다.The
액정패널(14)은, 도8 및 도9에 나타낸 바와 같이, 유리기판(14A)과, 상기 유 리기판(14A)의 전 영역을 덮는 표시부(14B)와, 상기 표시부(14B)의 바깥 가장자리에 설치된 검은 둘레인 띠 영역(14C)과, 상기 띠 영역(14C)의 외주 중 서로 이웃하는 2개의 변에 설치된 단자부(14D)로 구성되어 있다.As shown in Figs. 8 and 9, the
상기 확산판(27)은, 종래 기술과 동일하게, 그 표면에 미세한 요철을 다수 설치하여 구성되어 있다. 확산판(27)의 배면 쪽에서 입사한 빛은, 표면의 미세한 요철에서 산란하여 확산된다. 확산된 빛의 일부는 액정패널(14)의 띠 영역(14C)의 외주나 단자부(14D)에도 입사하려고 하지만, 이들 빛은 차광부재(26)에서 차단된다.The
상기 차광부재(26)는, 도1, 7, 10에 나타낸 바와 같이, 상기 액정패널(14)의 가장자리의 띠 영역(14C)과 단자부(14D)를 덮도록, 사각고리 형상으로 형성되어 있다. 게다가, 띠 영역(14C)이 같은 폭으로 액정패널(14)의 전 둘레에 걸쳐 설치되어 있는데 반해, 단자부(14D)는 서로 이웃하는 2개의 변에만 설치되어 있기 때문에, 차광부재(26)는 단자부(14D)가 있는 변(도10중의 A1)에서 두껍고, 단자부(14D)가 없는 변(도10 중의 A2)에서 얇게 형성되어 있다. 이에 의해, 차광부재(26)는 띠 영역(14C)과 단자부(14D)를 모두 덮어, 표시부(14B)에만 빛이 닿도록 되어 있다.As shown in Figs. 1, 7, and 10, the
패널 리시버(32)의 상단부에는, 도1 및 도7에 나타낸 바와 같이, 단차(段差)가 설치되어, 상단의 윗 지지면(32A)과, 하단의 아래 지지면(32B)이 설치되어 있다. 윗 지지면(32A)에는 액정패널(14)이 놓인다. 아래 지지면(32B)에는 확산판(27)이 놓인다. 그리고, 아래 지지면(32B)에 확산판(27)이 놓임으로써, 확산판(27)에 일체적으로 설치된 차광부재(26)가 액정패널(14)의 띠 영역(14C)과 단자부(14D)를 덮어, 표시부(14B)만을 확산판(27)(백라이트(15)) 쪽으로 개방하도록 되어 있다.Steps are provided on the upper end of the
상기 차광부재(26)에는, 백라이트(15)의 빛을 흡수하거나, 또는 산란시키는 표면 처리가 실시되어 있다. 이 표면 처리로는, 구체적으로는 차광부재(26)의 표면을 검게 도포하거나, 비로드를 붙이거나, 젖빛유리와 같이 표면에 가는 요철을 설치한다. 이에 의해, 빛을 흡수하거나 산란시켜, 빛이 단자부(14D) 등으로부터 외부로 새지 않도록 되어 있다.The
이상과 같이 구성된 패널 지지기구(13)에서는, 다음과 같이 작용한다. 또한, 검사장치 전체의 작용은, 종래의 검사장치와 동일하기 때문에, 여기에서는 패널 지지기구(13)의 작용을 중심으로 설명한다.In the
우선, 액정패널(14)의 치수에 맞추어 패널 지지기구(13)의 가동 베이스(21)를 조정한다. 구체적으로는, 구동부(41)의 구동 모터(44)로 볼나사(43)를 회전시켜, 너트(45)를 이동시킨다. 너트(45)의 이동은, 제1 레일(36) 및 제1 가이드(37)에 의해 규제된다. 제1 가이드(37), 제2 레일(39) 및 제2 가이드(40)는 연결부재(38)로 고정되고, 너트(45)와 일체가 되어 이동한다. 제2 레일(39)과 제3 레일(46)은 가동 베이스(21)에 고정되어 있다.First, the
이에 의해, 연결부재(38)에 고정된 제2 가이드(40)가 제2 레일(39)를 통하여 가동 베이스(21)를 이동시킨다. 또, 상기 가동 베이스(21)와 직교하는 가동 베이스(21)의 제3 가이드(47)는, 제3 레일(46)에 결합해 있고, 직교하는 가동 베이스(21)는 너트(45)의 이동에 따라 이동한다. 한편, 직교하는 가동 베이스(21)는 너트(45)의 이동방향에 직교하는 방향으로는 자유롭게 이동할 수 있다.As a result, the
상기 동작이, 4개의 구동부(41)에서 동시에 일어나, 각 가동 베이스(21)가 서로 접하는 한쪽 가동 베이스(21)와의 관계로 구동(驅動)쪽이 되고, 다른쪽 가동 베이스(21)와의 관계로 종동(從動)쪽이 되어, 4개의 가동 베이스(21)를 서로 비켜 놓는다. 이에 의해, 도4와 같이, 각 가동 베이스(21)의 패널 리시버(32)의 윗 지지면(32A)에서 액정패널(14)을 그 아래쪽부터 지지하고, 스토퍼 핀(22)과 패널 클램프(23)로 액정패널(14)을 위치 결정하여 지지한다.The above operation occurs at the same time in the four
이 때, 패널 리시버(32)의 아래 지지면(32B)에는, 확산판(27)의 단부의 차광부재(26)가 결합하여 지지되어 있다.At this time, the
치수가 다른 액정패널(14)의 경우는, 가동 베이스(21)를 물려서 다시 조정한다. 이 경우는, 구동부(41)의 구동 모터(44)로 볼나사(43)를 회전시키고, 너트(45), 연결부재(38), 제2 가이드(40), 제2 레일(39)을 통하여 가동 베이스(21)를 이동시킨다. 상기 동작이 4개의 구동부(41)에서 동시에 일어나고, 4개의 가동 베이스(21)를 서로 비켜 놓아, 예를 들어 도4와 같이 작은 치수의 액정패널(14)에 맞춘다.In the case of the
이와 동시에, 확산판(27)도 작은 치수의 것으로 변경하여 설치한다.At the same time, the
이 때, 스토퍼 핀(22)과 패널 클램프(23)는, 액정패널(14)에 맞지 않게 되기 때문에, 위치결정기구(24)로 다시 조정한다. 이 경우는, 우선 나사(57)와 나사(58)를 느슨하게 하여 기판(51)을 떼어낸다. 이어서, 위치결정 플레이트(53)를 액정패널(14)에 대응한 것으로 교체한다.At this time, since the
계속해서, 나사(57)를 긴 구멍(55)을 지나게 하여 위치규제 플레이트(52)의 나사구멍(60)에 비틀어 박아, 기판(51)의 대충 위치를 결정한다. 계속해서, 기판(51)을 긴 구멍(55)의 범위에서 물려, 둥근 구멍(56)과 나사구멍(42)을 정합시키고, 나사(58)를 둥근 구멍(56)을 지나게 하여 나사구멍(42)에 비틀어 박는다. 이어서, 나사(57)와 나사(58)를 조여 기판(51)을 고정한다.Subsequently, the
상기 동작을, 스토퍼 핀(22)과 패널 클램프(23)의 모두에 대하여 행하여, 스토퍼 핀(22)과 패널 클램프(23)를 액정패널(14)에 대하여 최적의 위치에 맞춘다.The above operation is performed on both the
한편, 가동 베이스(21)를 작은 치수의 액정패널(14)에 맞추어 이동시켜 가변개구(30)를 작게 하면, 상기 가동 베이스(21)의 바깥둘레 쪽과 고정 베이스(20)의 개구와의 사이에 극간(61)(도7 참조)이 생기지만, 상기 극간(61)은 상기 차광 커버(25)로 덮인다. 이에 의해, 상기 극간(61)으로부터 상기 백라이트(15)의 빛이 새는 것을 방지한다.On the other hand, when the
이 상태로 검사가 행해지는데, 이 때, 백라이트(15)의 빛은 확산판(27)에서 확산되어 액정패널(14)의 표시부(14B)의 전 영역에 균등하게 조사된다.In this state, the inspection is performed. At this time, the light of the
한쪽 액정패널(14)의 단부에서는, 차광부재(26)에 의해 빛이 흡수 또는 반사되어, 액정패널(14)의 띠 영역(14C) 및 단자부(14D)로 침입하는 것을 방지한다.At the end of one of the
이상과 같이, 차광부재(26)가 액정패널(14)의 가장자리의, 표시 영역(표시부(14B))의 바깥쪽(띠 영역(14C) 및 단자부(14D))으로 새는 빛을 차단하고, 액정패널(14)의 가장자리로부터 새는 노이즈 광을 확실하게 제거하기 때문에, 노이즈 광이 액정패널(14)의 표면을 촬영하는 카메라 등으로 새는 일이 없어지고, 노이즈 광을 확실하게 차단하여, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.As described above, the
상기 확산판(27)을 설치함으로써, 차광부재(26)도 동시에 설치되기 때문에, 차광부재(26)의 장착이 용이해진다. 특히, 치수가 다른 액정패널(14)에 대응하여 검사장치를 다시 설정하는 경우, 그 액정패널(14)에 대응한 확산판(27)을 장착하는 것만으로, 차광부재(26)도 동시에 장착되기 때문에, 차광부재(26)의 장착이 용이해진다.By providing the
가동 베이스(21)를 가동시켜, 액정패널(14)에 맞춘 치수의 패널 리시버(32)를 형성한 후에, 차광부재(26)로 액정패널(14)의 표시부(14B)의 바깥쪽으로 새는 빛을 차단하기 때문에, 치수가 다른 액정패널(14)에 대해서도, 상기 액정패널(14)의 가장자리로부터 새는 노이즈 광을 확실하게 제거할 수 있다. 이에 의해, 노이즈 광이 액정패널(14)의 표면을 촬영하는 카메라 등으로 새는 일이 없어지고, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.After the
또, 표면 처리한 차광부재(26)로 빛을 흡수하거나 산란시켜, 노이즈 광이 카메라 등으로 도달하는 일이 없어지기 때문에, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.Moreover, since the
가동 베이스(21)의 바깥둘레 쪽과 고정 베이스(20)의 개구(28)와의 사이에 생기는 극간은, 상기 차광 커버(25)로 덮여져, 상기 극간으로부터 상기 백라이트(15)의 빛이 새는 것을 방지할 수 있기 때문에, 노이즈 광을 확실하게 차단하고, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.The gap between the outer circumferential side of the
위치결정기구(24)를, 스토퍼 핀(22) 또는 패널 클램프(23)를 지지하는 기판(51)과; 상기 액정패널(14)의 가장자리에 접하는 스토퍼 핀(22) 또는 패널 클램 프(23)를 지지한 상기 기판(51)을, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향으로는 이동 가능하게 그리고 상기 가장자리에 직교하는 방향으로는 설정 위치에서 고정하여 지지하는 위치규제 플레이트(52)와; 상기 위치규제 플레이트(52)에 나란히 배설되고 위치규제 플레이트(52)에 지지된 상기 기판(51)을, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향의 위치 결정을 하여 지지하는 위치결정 플레이트(53);를 갖추어 구성하고, 위치규제 플레이트(52)로, 상기 스토퍼 핀(22) 또는 패널 클램프(23)를 지지한 상기 기판(51)을, 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향으로는 이동 가능하게 그리고 상기 가장자리에 직교하는 방향으로는 설정 위치에서 고정하여 지지하고, 위치결정 플레이트(53)로, 상기 기판(51)을, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향의 위치 결정을 하여 지지하기 때문에, 패널 지지기구(13) 위의 액정패널(14)을 정확하게 지지할 수 있게 된다. 그리고 액정패널(14)이 정확하게 지지되고, 노이즈 광을 확실하게 차단하기 때문에, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.A
또, 상기 기판(51)이, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향으로 길게 형성되고, 상기 기판(51)을 상기 위치규제 플레이트(52)에 고정하는 나사를 지나게 하는 긴 구멍(55)과; 상기 기판(51)을 상기 위치결정 플레이트(53)에 고정하는 나사를 지나게 하여 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향의 위치 결정을 하는 둥근 구멍(56);을 갖추고, 상기 위치규제 플레이트(52)가, 상기 기판(51)의 긴 구멍(55)을 지난 나사(57)가 비틀어 박히는 나사구멍(60)을, 상기 액정패널(14)의 가장자리에 나란한 방향으로 복수개 갖추고, 상기 위치결정 플레이트(53) 가, 상기 기판(51)의 둥근 구멍(56)을 지난 나사(58)가 비틀어 박히는 나사구멍(42)을, 상기 기판(51)의 설치 위치에 맞추어 하나 또는 복수개 갖추고, 상기 위치규제 플레이트(52)의 나사구멍(60)에 나사(57)를 비틀어 박고, 상기 위치결정 플레이트(53)의 나사구멍(42)에 나사(58)를 비틀어 박는 것만으로, 패널 지지기구(13) 위의 액정패널(14)을 정확하고 용이하게 지지할 수 있게 된다. 그리고 액정패널(14)이 정확하게 지지되고, 노이즈 광을 확실하게 차단하기 때문에, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.In addition, the
또, 치수가 다른 액정패널(14)에 대해서는, 위치결정 플레이트(53)를 교환하는 것만으로, 스토퍼 핀(22)과 패널 클램프(23)를 정확하고 용이하게 위치 결정할 수 있게 된다. 그리고 정확하고 용이하게 위치 결정된 스토퍼 핀(22)과 패널 클램프(23)로 액정패널(14)이 정확하게 지지되고, 노이즈 광을 확실하게 차단하기 때문에, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.In addition, for the
상기 위치결정 플레이트(53)에 핀 구멍(63)이 설치됨과 동시에, 상기 가동 베이스(21)에 상기 핀 구멍(63)이 결합하는 결합 핀(64)이 설치되고, 상기 나사구멍(42)의 배설 위치를 바꾼 복수의 위치결정 플레이트(53)를, 액정패널(14)의 치수에 따라 적절히 갈아붙이도록 했기 때문에, 패널 지지기구(13) 위의 액정패널(14)을, 그 치수가 변해도 정확하고 용이하게 지지할 수 있게 된다. 그리고 액정패널(14)이 정확하게 지지되고, 노이즈 광을 확실하게 차단하기 때문에, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.A
[변형예][Modification]
상기 실시형태에서는, 가동 베이스(21)로 개구의 크기를 바꾸어 치수가 다른 액정패널(14)에 대응하는 구조의 검사장치를 예로 설명하였으나, 개구의 크기가 바뀌지 않는 검사장치에도 본 발명을 제공할 수 있다. 이 경우도 상기 실시형태와 동일한 작용, 효과를 나타낼 수 있다.In the above embodiment, an inspection apparatus having a structure corresponding to the
또, 차광부재(26)의 확산판(27)에의 설치 구조로는, 도11과 같이, 차광부재(26)의 하부와, 확산판(27)의 단부에, 각각 결합 단부(段部)(26A, 27A)를 설치하여 서로 결합 고정하도록 해도 좋다. 차광부재(26)와 확산판(27)의 결합수단은 특별히 문제되지 않는다.Moreover, as an attachment structure of the
본 발명은, 상기 실시형태에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 다양하게 변경할 수 있다.The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit thereof.
상기 차광부재가, 상기 검사대상 판의 가장자리의, 표시 영역의 바깥쪽으로 새는 빛을 차단하여, 상기 검사대상 판의 가장자리에서 새는 노이즈 광을 확실하게 제거하기 때문에, 노이즈 광이 검사대상 판의 표면을 촬영하는 카메라 등에 새는 일이 없어지고, 노이즈 광을 확실하게 차단하여 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.Since the light blocking member blocks light leaking to the outside of the display area at the edge of the inspection target plate and reliably removes noise light leaking at the edge of the inspection target plate, the noise light removes the surface of the inspection target plate. No leaking to a camera or the like to be photographed can be prevented, and noise light can be reliably cut off to improve measurement accuracy.
상기 확산판을 설치함으로써, 상기 차광부재도 동시에 설치되기 때문에, 차광부재의 장착이 용이해진다.By providing the diffusion plate, since the light blocking member is also provided at the same time, the mounting of the light blocking member becomes easy.
가동 베이스를 가동시켜, 상기 검사대상 판에 맞춘 치수의 상기 패널 리시버를 형성한 후에, 상기 차광부재로 상기 검사대상 판의 표시 영역의 바깥쪽으로 새는 빛을 차단하기 때문에, 치수가 다른 상기 검사대상 판에 대해서도 그 검사대상 판의 가장자리에서 새는 노이즈 광을 확실하게 제거할 수 있다. 이에 의해, 노이즈 광이 검사대상 판의 표면을 촬영하는 카메라 등에 새는 일이 없어지고, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.After the movable base is actuated to form the panel receiver having the size matched with the plate to be inspected, the light blocking member blocks light leaking to the outside of the display area of the plate to be inspected. In addition, noise light leaking from the edge of the inspection target plate can be reliably removed. Thereby, noise light does not leak to the camera etc. which image | photograph the surface of the board | substrate to be tested, and the measurement precision can be improved.
또, 표면 처리한 차광부재로 빛을 흡수하거나 또는 산란시켜, 노이즈 광이 카메라 등에 도달하는 일이 없어지기 때문에, 측정 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.In addition, since light is absorbed or scattered by the surface-treated light shielding member, noise light does not reach the camera or the like, and therefore, measurement accuracy can be improved.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications and variations of the present invention can be readily used by those skilled in the art, and all such variations or modifications can be considered to be included within the scope of the present invention.
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