JPH09258156A - Inspecting device for liquid crystal display panel - Google Patents
Inspecting device for liquid crystal display panelInfo
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- JPH09258156A JPH09258156A JP8092977A JP9297796A JPH09258156A JP H09258156 A JPH09258156 A JP H09258156A JP 8092977 A JP8092977 A JP 8092977A JP 9297796 A JP9297796 A JP 9297796A JP H09258156 A JPH09258156 A JP H09258156A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネルの
良否を検査する装置に関に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for inspecting the quality of a liquid crystal display panel.
【０００２】[0002]
【従来の技術】液晶表示パネルの欠陥は、点欠陥、線欠
陥、班欠陥、色度欠陥等、多種多様に存在することが知
られている。これらの欠陥は、液晶表示パネルを駆動さ
せてその液晶表示パネルからの光を利用して検査され
る。2. Description of the Related Art It is known that there are various types of defects in liquid crystal display panels, such as point defects, line defects, spot defects, and chromaticity defects. These defects are inspected by driving the liquid crystal display panel and using light from the liquid crystal display panel.
【０００３】このような液晶表示パネルの自動検査装置
は、一般に、液晶表示パネルを測定ステーションに水平
の状態に載置し、その液晶表示パネルを駆動させつつ、
その液晶表示パネルをその上方からテレビカメラで撮影
すなわち撮像し、そのテレビカメラの出力信号をコンピ
ュータで処理することにより検査する。[0003] Such an automatic inspection apparatus for a liquid crystal display panel generally puts the liquid crystal display panel on a measuring station in a horizontal state and drives the liquid crystal display panel while driving the liquid crystal display panel.
The liquid crystal display panel is photographed, that is, imaged from above, with a television camera, and the output signal of the television camera is processed by a computer for inspection.
【０００４】しかし、従来の自動検査装置では、テレビ
カメラを測定ステージの上方に設けているから、検査装
置の高さ寸法が大きい。特に、大型の液晶表示パネル用
の検査装置のように、テレビカメラの視野を広くしなけ
ればならない検査装置においては、測定ステージとテレ
ビカメラとの間の寸法が大きくなるから、検査装置の高
さ寸法が建築物の一階分の高さ寸法より大きくなり、建
造物を改造しなければならない。However, in the conventional automatic inspection apparatus, since the television camera is provided above the measurement stage, the height of the inspection apparatus is large. In particular, in an inspection apparatus that requires a wide field of view of a television camera, such as an inspection apparatus for a large liquid crystal display panel, the dimension between the measurement stage and the television camera becomes large, so that the height of the inspection apparatus is increased. The dimensions will be larger than the height of one floor of the building, and the building must be remodeled.
【０００５】[0005]
【解決しようとする課題】本発明の目的は、検査装置の
高さ寸法を小さくすることにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to reduce the height dimension of an inspection device.
【０００６】[0006]
【解決手段、作用、効果】本発明の液晶表示パネルの検
査装置は、液晶表示パネルを配置する測定ステージと、
該測定ステージに配置された液晶表示パネルを撮像する
テレビカメラと、前記液晶表示パネルからの光を前記テ
レビカメラに向けるべく前記光の光路を上下方向に対し
角度を有する方向へ変更する光路変更手段とを含む。A liquid crystal display panel inspection apparatus according to the present invention comprises: a measuring stage for arranging a liquid crystal display panel;
A television camera for picking up an image of the liquid crystal display panel arranged on the measuring stage, and an optical path changing means for changing the optical path of the light to direct the light from the liquid crystal display panel to the television camera at an angle with the vertical direction. Including and
【０００７】本発明によれば、液晶表示パネルからの光
の光路を光路変更手段により水平方向へ変更するから、
テレビカメラを測定ステージの上方に設ける必要がな
く、したがって従来の装置に比べ、装置の高さ寸法が小
さくなる。According to the present invention, since the optical path of the light from the liquid crystal display panel is changed in the horizontal direction by the optical path changing means,
There is no need to provide a television camera above the measuring stage, thus reducing the height dimension of the device compared to conventional devices.
【０００８】さらに、前記光路変更手段を該光路変更手
段に対する光の入射角および反射角を変更可能に支持す
る支持手段を含むことが好ましい。このようにすれば、
光路変更手段への光の入射角および光路変更手段からの
光の反射角を変更することにより、テレビカメラの視野
を変更することができる。Further, it is preferable that the optical path changing means further includes a supporting means for supporting the optical path changing means so that an incident angle and a reflection angle of light with respect to the optical path changing means can be changed. If you do this,
The field of view of the television camera can be changed by changing the angle of incidence of light on the optical path changing means and the angle of reflection of light from the optical path changing means.
【０００９】好ましい実施例においては、前記測定ステ
ージは、液晶表示パネルを水平の状態または傾斜した状
態に受ける受け部を有する。また、前記光路変更手段
は、前記光路を水平方向へ変更する。さらに、前記光路
変更手段は、該光路変更手段による光路の変更方向と直
角の水平方向へ伸びる軸線の周りに角度的回転されるこ
とにより、入射角および反射角を変更される。In a preferred embodiment, the measuring stage has a receiving portion for receiving the liquid crystal display panel in a horizontal state or an inclined state. Further, the optical path changing means changes the optical path in the horizontal direction. Further, the optical path changing means changes the incident angle and the reflection angle by being angularly rotated about an axis extending in a horizontal direction perpendicular to the direction of changing the optical path by the optical path changing means.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】図１〜図３を参照するに、検査装
置１０は、液晶表示パネル１２を検査する本体部１４
と、液晶表示パネル１２を本体部１４に配置しかつ本体
部１４から取り除くローダ部１６と、本体部１４に配置
された液晶表示パネル１２を自動的に検査するテスター
部１８とを含む。ローダ部１６は本体部１４の右側に配
置されており、テスター部１８は本体部１４の左側に配
置されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Referring to FIGS. 1 to 3, an inspection apparatus 10 includes a main body 14 for inspecting a liquid crystal display panel 12. FIG.
And a loader section 16 for disposing the liquid crystal display panel 12 on the main body section 14 and removing the liquid crystal display panel 12 from the main body section 14, and a tester section 18 for automatically inspecting the liquid crystal display panel 12 disposed on the main body section 14. The loader unit 16 is disposed on the right side of the main unit 14, and the tester unit 18 is disposed on the left side of the main unit 14.
【００１１】本体部１４は、アングル材のような複数の
鋼材と、該鋼材に複数のねじ部材により取り付けられて
内部空間を外部空間から区画する複数のパネルとにより
形成されたフレームすなわち筐体２０を備える。本体部
１４内には、測定ステージ２２と、検査用のプローブユ
ニット２４と、液晶表示パネル１２からの光２６の光路
を変更する光路変更手段２８とが配置されている。The main body portion 14 is a frame or housing 20 formed by a plurality of steel materials such as angle materials and a plurality of panels attached to the steel materials by a plurality of screw members to partition the internal space from the external space. Equipped with. In the main body 14, a measurement stage 22, a probe unit 24 for inspection, and an optical path changing unit 28 for changing the optical path of the light 26 from the liquid crystal display panel 12 are arranged.
【００１２】筐体２０の前面上部は測定ステージ２２お
よび液晶表示パネル１２を目視するための開口とされて
おり、該開口は筐体２０に蝶着された一対の扉３０によ
り両開き式に開放可能に閉鎖されている。An upper portion of the front surface of the casing 20 is an opening for viewing the measuring stage 22 and the liquid crystal display panel 12, and the opening can be opened in a double-opening manner by a pair of doors 30 hinged to the casing 20. Has been closed to.
【００１３】測定ステージ２２は、液晶表示パネル１２
をほぼ水平の状態に支持する上向きの受け部２２ａを有
する。受け部２２ａの位置は、三次元的に（前後、左右
および上下の３方向へ）調整可能である。受け部２２ａ
は、また、受け部２２ａ上の液晶表示パネル１２と垂直
の軸線の周りの回転角度を調整可能である。The measuring stage 22 is a liquid crystal display panel 12.
Has an upward receiving portion 22a that supports the main body in a substantially horizontal state. The position of the receiving portion 22a can be adjusted three-dimensionally (in the front-back, left-right, and up-down directions). Receiving part 22a
In addition, the rotation angle around the axis line perpendicular to the liquid crystal display panel 12 on the receiving portion 22a can be adjusted.
【００１４】プローブユニット２４は、測定ステージ２
２の受け部２２ａの上側に配置されており、また液晶表
示パネル１２の端子に当接される検査用の複数のプロー
ブを備えており、さらに測定ステージ２２上の液晶表示
パネル１２を開口側から目視するための矩形の開口を有
する。The probe unit 24 includes the measurement stage 2
2 is provided on the upper side of the receiving portion 22a, and is provided with a plurality of probes for inspection that are brought into contact with the terminals of the liquid crystal display panel 12. Further, the liquid crystal display panel 12 on the measurement stage 22 is opened from the opening side. It has a rectangular opening for visual inspection.
【００１５】図３に示すように、光路変更手段２８は、
測定ステージ２２上の液晶表示パネル１２からの光２６
をテスター部１８の上部に向けてほぼ水平に指向させる
ように、筐体２０の内側に取付金具３２により変位不能
に組み付けられている。光路変更手段２８は、光２６の
光路を９０度変更する。As shown in FIG. 3, the optical path changing means 28 is
Light 26 from the liquid crystal display panel 12 on the measurement stage 22
Is attached to the inside of the housing 20 by a mounting member 32 so as not to be displaceable so as to orient the object toward the upper part of the tester portion 18 substantially horizontally. The optical path changing unit 28 changes the optical path of the light 26 by 90 degrees.
【００１６】図示の例では、測定ステージ２２上の液晶
表示パネル１２に垂直の軸線に対する光路変更手段２８
の傾斜角度は、４５度であるが、他の角度であってもよ
く、したがって光路変更手段２８に対する光２６の入射
角および反射角は４５度以外の角度であってもよい。ま
た光路変更手段２８は、図示の例では反射鏡であるが、
プリズムのような他の手段であってもよい。In the illustrated example, the optical path changing means 28 with respect to the axis line vertical to the liquid crystal display panel 12 on the measuring stage 22.
Is 45 degrees, but may be another angle, and therefore, the incident angle and the reflection angle of the light 26 with respect to the optical path changing unit 28 may be angles other than 45 degrees. The optical path changing unit 28 is a reflecting mirror in the illustrated example.
Other means such as a prism may be used.
【００１７】カセット設置台３４と、架台３６と、該架
台に左右方向へ移動可能に受けられたロボット３８とを
備える。カセット設置台３４は、複数の液晶表示パネル
を収容した複数のカセット４０を上面に受ける。ロボッ
ト３８は、検査のたびに、検査すべき液晶表示パネルを
カセット設置台３４上の適宜なカセット４０から取り出
して測定ステージ２２に搬送し、検査の終了した液晶表
示パネルを測定ステージ２２から受け取ってカセット設
置台３４上の所定のカセット４０に移すまたは戻す。The cassette mounting table 34, a gantry 36, and a robot 38 movably received in the gantry in the left-right direction are provided. The cassette mounting table 34 receives a plurality of cassettes 40 containing a plurality of liquid crystal display panels on an upper surface. The robot 38 takes out the liquid crystal display panel to be inspected from the appropriate cassette 40 on the cassette mounting table 34 and transports the liquid crystal display panel to be inspected to the measurement stage 22 every time the inspection is performed. Transfer or return to a predetermined cassette 40 on the cassette mounting table 34.
【００１８】テスター部１８の上部には、カメラステー
ジ４２が配置されている。カメラステージ４２は、テレ
ビカメラ４４をその光軸がほぼ水平となる姿勢に支持す
る取付部４２ａを有する。カメラステージ４２の取付部
４２ａの位置は、三次元的に（前後、左右および上下の
３方向へ）調整可能である。テレビカメラ４４は、その
光軸が光路変更手段２８による反射光の軸線と一致する
ように、光路変更手段２８から測定ステージ２２上の液
晶表示パネル１２と平行の水平方向へ離れた箇所に横向
きに支持されている。取付部４２ａは、また、テレビカ
メラ４４の光軸の周りの回転角度を調整可能である。A camera stage 42 is arranged above the tester section 18. The camera stage 42 has a mounting portion 42a that supports the television camera 44 in a position where its optical axis is substantially horizontal. The position of the mounting portion 42a of the camera stage 42 can be adjusted three-dimensionally (in the front-back, left-right, and up-down three directions). The television camera 44 is placed laterally at a position apart from the optical path changing means 28 in the horizontal direction parallel to the liquid crystal display panel 12 on the measurement stage 22 so that its optical axis coincides with the axis of the reflected light by the optical path changing means 28. It is supported. The mounting portion 42a can also adjust the rotation angle of the television camera 44 around the optical axis.
【００１９】検査時、筐体２０の開口が扉３０により閉
鎖されて筐体２０内が外部の光から遮断された状態で、
測定ステージ２２上の液晶表示パネル１２が駆動され
る。これにより、液晶表示パネル１２からの光２６は光
路変更手段２８により反射されてテレビカメラ４４に向
けて指向されており、液晶表示パネル１２の像は光路変
更手段２８によりテレビカメラ４４に反射されている。At the time of inspection, in a state where the opening of the housing 20 is closed by the door 30 and the inside of the housing 20 is shielded from external light,
The liquid crystal display panel 12 on the measurement stage 22 is driven. Thus, the light 26 from the liquid crystal display panel 12 is reflected by the optical path changing unit 28 and directed to the television camera 44, and the image of the liquid crystal display panel 12 is reflected by the television camera 44 by the optical path changing unit 28. I have.
【００２０】上記の状態で、テレビカメラ４４が駆動さ
れて液晶表示パネル１２を光路変更手段２８を介して撮
影すなわち撮像する。テレビカメラ４４の出力信号は、
図示しない処理回路において液晶表示パネル１２の良否
の判定に用いられる。検査時、筐体２０の開口が扉３０
により閉鎖されているから、外部の光が筐体２０内へ入
ることがなく、したがって液晶表示パネル１２をテレビ
カメラ４４により正しく撮像することができる。In the above state, the television camera 44 is driven to take a picture of the liquid crystal display panel 12 via the optical path changing means 28. The output signal of the TV camera 44 is
It is used by a processing circuit (not shown) to determine the quality of the liquid crystal display panel 12. At the time of inspection, the opening of the housing 20 is the door 30
As a result, external light does not enter the housing 20, so that the liquid crystal display panel 12 can be properly imaged by the television camera 44.
【００２１】検査装置１０によれば、液晶表示パネル１
２からの光２６の光路を光路変更手段２８により水平方
向へ変更するから、テレビカメラ４４を測定ステージ２
２の上方に設ける必要がなく、したがってテレビカメラ
を測定ステージの上方に設けた装置に比べ、装置の高さ
寸法が小さくなる。According to the inspection device 10, the liquid crystal display panel 1
Since the optical path of the light 26 from 2 is changed in the horizontal direction by the optical path changing means 28, the TV camera 44 is moved to the measuring stage 2.
2 does not need to be provided above the device, so that the height of the device is smaller than that of the device in which the television camera is provided above the measuring stage.
【００２２】上記の検査装置１０では、光路変更手段２
８を取付金具３２により筐体２０に変位不能に組み付け
ているが、光路変更手段２８に対する光２６の入射角お
よび反射角を変更することができるように、光路変更手
段２８を筐体２０に組み付けてもよい。In the above inspection apparatus 10, the optical path changing means 2
Although 8 is fixed to the housing 20 by the mounting bracket 32, the optical path changing means 28 is attached to the housing 20 so that the incident angle and the reflection angle of the light 26 with respect to the optical path changing means 28 can be changed. May be.
【００２３】図４に示す実施例では、第１のブラケット
５０を１以上のねじ部材により筐体２０に組み付け、光
路変更手段２８を第２のブラケット５２に支持させ、第
２のブラケット５２をボルト５４とこれに螺合されたナ
ット５６とにより第１のブラケット５０に組み付けてい
る。ボルト５４は、光路変更手段２８による反射光の進
行方向と直交する水平方向へ伸びるが、光路変更手段２
８の反射面と平行に斜めに伸びてもよい。In the embodiment shown in FIG. 4, the first bracket 50 is attached to the housing 20 by one or more screw members, the optical path changing means 28 is supported by the second bracket 52, and the second bracket 52 is bolted. The first bracket 50 is assembled with 54 and a nut 56 screwed thereto. The bolt 54 extends in the horizontal direction orthogonal to the traveling direction of the reflected light by the optical path changing means 28, but the optical path changing means 2
8 may extend obliquely in parallel with the reflecting surface.
【００２４】図４に示す実施例において、第１および第
２のブラケット５０，５２は、常時はボルト５４とナッ
ト５６とにより変位不能に結合されている。しかし、ボ
ルト５４とナット５６との螺合を緩め、第１のブラケッ
ト５２を矢印５８ａまたは５８ｂの方向へ角度的に回転
させると、光路変更手段２８に対する光２６の入射角お
よび反射角が変化し、テレビカメラ４４による視野すな
わち撮像範囲が変化する。したがって、テレビカメラ４
４による撮像範囲を変更または調整することができる。In the embodiment shown in FIG. 4, the first and second brackets 50 and 52 are always connected by a bolt 54 and a nut 56 so as not to be displaced. However, when the screwing of the bolt 54 and the nut 56 is loosened and the first bracket 52 is angularly rotated in the direction of the arrow 58a or 58b, the incident angle and the reflection angle of the light 26 with respect to the optical path changing means 28 change. The field of view of the television camera 44, that is, the imaging range changes. Therefore, the TV camera 4
The imaging range of 4 can be changed or adjusted.
【００２５】第１および第２のブラケット５０，５２を
ボルト５４とナット５６とにより変位不能に結合させる
代わりに、第２のブラケット５２をパルスモータのよう
な回転源により角度的に回転移動させるようにしてもよ
い。この場合、ボルト５４の代わりに枢軸を用い、該枢
軸に第２のブラケット５２を固定し、枢軸を回転源によ
り角度的に回転させるようにしてもよいし、第２のブラ
ケット５２を枢軸に回転可能に支持させ、第２のブラケ
ット５２を回転源により角度的に回転させるようにして
もよい。Instead of connecting the first and second brackets 50 and 52 in a non-displaceable manner with bolts 54 and nuts 56, the second bracket 52 is rotationally moved angularly by a rotation source such as a pulse motor. You may In this case, a pivot may be used instead of the bolt 54, the second bracket 52 may be fixed to the pivot, and the pivot may be angularly rotated by a rotation source. Alternatively, the second bracket 52 may be rotated about the pivot. The second bracket 52 may be supported so that it can be angularly rotated by a rotation source.
【００２６】上記の実施例においては、液晶表示パネル
１２を測定ステージ２２にほぼ水平の状態に受けるが、
液晶表示パネルを測定ステージ２２に傾斜した状態に受
けるようにしてもよい。そのような検査装置の一実施例
を図５および図６に示す。In the above embodiment, the liquid crystal display panel 12 is received by the measuring stage 22 in a substantially horizontal state.
The liquid crystal display panel may be received in a state inclined to the measurement stage 22. An example of such an inspection apparatus is shown in FIGS.
【００２７】図５および図６に示す検査装置６０におい
ては、ローダ部１６を本体部１４の後側に配置し、テス
ター部１８を本体部１４の左側に配置している。筐体２
０の前側上部は傾斜した傾斜部６２とされており、傾斜
部６２は測定ステージ２２およびプローブユニット２４
の配置位置に対応する箇所に開口を有する。プローブユ
ニット２４は、測定ステージ２２の受け部２２ａに対し
傾斜部６２の開口の側に配置されている。In the inspection device 60 shown in FIGS. 5 and 6, the loader section 16 is arranged on the rear side of the main body section 14, and the tester section 18 is arranged on the left side of the main body section 14. Case 2
The upper part of the front side of 0 is an inclined part 62 that is inclined, and the inclined part 62 includes the measurement stage 22 and the probe unit 24.
Has an opening at a position corresponding to the arrangement position. The probe unit 24 is arranged on the side of the opening of the inclined portion 62 with respect to the receiving portion 22 a of the measurement stage 22.
【００２８】測定ステージ２２およびプローブユニット
２４は、液晶表示パネル１２を受け部２２ａで水平線お
よび鉛直線に対し斜めに受けるように、傾斜されてい
る。受け部２２ａも、筐体２０の傾斜部６２と平行とな
るように、斜め上向きとされている。したがって、液晶
表示パネル１２は前方および上方に向く状態に支持され
る。The measuring stage 22 and the probe unit 24 are tilted so that the liquid crystal display panel 12 is received by the receiving portion 22a obliquely with respect to the horizontal line and the vertical line. The receiving portion 22a is also inclined upward so as to be parallel to the inclined portion 62 of the housing 20. Therefore, the liquid crystal display panel 12 is supported so as to face forward and upward.
【００２９】図５および図６の実施例の場合、受け部２
２ａの位置は、傾斜部６２と平行の面内の互いに直交す
る２つの軸線の方向と、測定ステージ２２の上面に対し
直交する軸線の方向とに三次元的に調整可能である。ま
た、受け部２２ａは、受け部２２ａ上の液晶表示パネル
１２と垂直の軸線の周りの回転角度を調整可能である。In the case of the embodiment of FIGS. 5 and 6, the receiving portion 2
The position of 2a can be three-dimensionally adjusted in the direction of two axes orthogonal to each other in the plane parallel to the inclined portion 62 and the direction of the axes orthogonal to the upper surface of the measurement stage 22. Further, the receiving portion 22a can adjust the rotation angle around an axis line perpendicular to the liquid crystal display panel 12 on the receiving portion 22a.
【００３０】傾斜部６２の開口は、測定ステージ２２お
よびプローブユニット２４より大きい面積を有してお
り、また筐体２０内を外部から遮光する箱状のシールド
カバー６４により開閉可能に閉鎖されている。カバー６
４は、図示の例では、上部において１以上のヒンジ６６
により筐体２０に枢軸運動可能に組み付けられている。
しかし、カバー６４を図５において、左端部、右端部、
下部、斜め上部、斜め下部等、他の部位において筐体２
０に蝶着してもよい。The opening of the inclined portion 62 has an area larger than that of the measuring stage 22 and the probe unit 24, and is openably and closably closed by a box-shaped shield cover 64 that shields the inside of the housing 20 from the outside. . Cover 6
4 is one or more hinges 66 at the top in the example shown.
, So that it can be pivotally mounted to the housing 20.
However, in FIG. 5, the cover 64 has a left end portion, a right end portion,
The housing 2 is provided at another portion such as a lower portion, a diagonally upper portion, and a diagonally lower portion.
You may butterfly on 0.
【００３１】光路変更手段２８は、カバー６４に支持さ
れている。光路変更手段２８は、測定ステージ２２上の
液晶表示パネル１２からの光２６をテスター部１８の上
部に向けてほぼ水平に指向させるように、カバー６４の
内側に変位不能に組み付けられている。光路変更手段２
８は、光２６の光路を９０度変更する。The optical path changing means 28 is supported by the cover 64. The optical path changing means 28 is immovably mounted inside the cover 64 so that the light 26 from the liquid crystal display panel 12 on the measurement stage 22 is directed substantially horizontally toward the upper portion of the tester portion 18. Optical path changing means 2
8 changes the optical path of the light 26 by 90 degrees.
【００３２】自動検査時、筐体２０の開口６４は、図５
および図６に実線で示すように、カバー６４により閉鎖
されている。このため、光路変更手段２８は、図５およ
び図５に破線で示すように、測定ステージ２２に配置さ
れた液晶表示パネル１２からの光２６をテレビカメラ４
４に向けて指向させる第１の位置に移動されており、ま
たその液晶表示パネル１２の像をテレビカメラ４４に反
射させている。この状態で、液晶表示パネル１２が駆動
され、テレビカメラ４４が光路変更手段２８を介して液
晶表示パネル１２を撮影すなわち撮像する。At the time of automatic inspection, the opening 64 of the housing 20 is opened as shown in FIG.
And, as shown by the solid line in FIG. 6, it is closed by a cover 64. For this reason, the optical path changing means 28 transmits the light 26 from the liquid crystal display panel 12 arranged on the measurement stage 22 to the television camera 4 as shown by broken lines in FIGS. 5 and 5.
4 has been moved to the first position for directing the liquid crystal display panel 12 toward the display 4, and the image of the liquid crystal display panel 12 is reflected by the television camera 44. In this state, the liquid crystal display panel 12 is driven, and the television camera 44 takes an image of the liquid crystal display panel 12 via the optical path changing means 28, that is, an image.
【００３３】目視検査時、カバー６４が図６において２
点鎖線で示すようにヒンジ６６の枢軸線の周りに回転さ
れて、傾斜部６２の開口が開放される。これにより、光
路変更手段２８が液晶表示パネル１２から光路変更手段
２８への入射光路から外れた第２の位置へ移動されるか
ら、測定ステージ２２上の液晶表示パネル１２を開口か
ら肉眼で目視し、検査することができる。カバー６４
は、液晶表示パネル１２を目視することを妨げない位置
に図示しない適宜なストッパにより解除可能に維持され
る。At the time of visual inspection, the cover 64 is 2 in FIG.
The opening of the inclined portion 62 is opened by being rotated around the pivot axis of the hinge 66 as shown by the dotted line. As a result, the optical path changing unit 28 is moved from the liquid crystal display panel 12 to the second position deviated from the optical path incident on the optical path changing unit 28, so that the liquid crystal display panel 12 on the measurement stage 22 can be visually observed through the opening. Can be inspected. Cover 64
Is releasably maintained by a suitable stopper (not shown) at a position where the viewing of the liquid crystal display panel 12 is not prevented.
【００３４】人手による目視検査は、テレビカメラを用
いる自動検査において欠陥であるか否かの判定が困難な
場合に行ってもよいし、それ以外の場合、たとえば検査
すべき液晶表示パネルが少ない場合に行ってもよい。後
者の場合、液晶表示パネル１２を人手により、測定ステ
ージ２２に配置し、測定ステージ２２から取り除いても
よい。また、目視検査により不良と判断された液晶表示
パネルを、ロボット３８を利用することなく、人手によ
り測定ステージ２２または受渡し機構から取り除いても
よい。The visual inspection by hand may be performed when it is difficult to determine whether or not there is a defect in an automatic inspection using a television camera. In other cases, for example, when there are few liquid crystal display panels to be inspected. You may go to In the latter case, the liquid crystal display panel 12 may be manually placed on the measurement stage 22 and removed from the measurement stage 22. Further, the liquid crystal display panel determined to be defective by the visual inspection may be manually removed from the measurement stage 22 or the delivery mechanism without using the robot 38.
【００３５】検査装置６０によれば、開口が筐体２０の
前面上方に形成されており、また液晶表示パネル１２が
水平線および鉛直線に対し傾斜した姿勢にすなわち開口
と対向する姿勢に支持されるから、液晶表示パネル１２
を検査装置１０の正面において斜め上方から目視するこ
とができ、したがって液晶表示パネル１２を容易にかつ
正しく目視することができる。According to the inspection device 60, the opening is formed above the front surface of the housing 20, and the liquid crystal display panel 12 is supported in a posture inclined with respect to the horizontal line and the vertical line, that is, in a posture facing the opening. From the liquid crystal display panel 12
Can be visually observed obliquely from above in front of the inspection apparatus 10, and therefore, the liquid crystal display panel 12 can be easily and correctly visually observed.
【００３６】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、光路変更手段２８による光路の変更方向は、正
確な水平方向である必要はなく、斜めであってもよい。
また、検査装置６０において、光路変更手段２８を支持
するカバー６４を、筐体２０の傾斜部６２に対し左右ま
たは上下の方向へ移動させるようにしてもよいし、筐体
２０から取り外すようにしてもよい。さらに、光路変更
手段２８を他の手段に支持させてもよい。The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the direction in which the optical path is changed by the optical path changing unit 28 does not need to be an accurate horizontal direction, and may be oblique.
Further, in the inspection device 60, the cover 64 that supports the optical path changing unit 28 may be moved in the left-right direction or the vertical direction with respect to the inclined portion 62 of the housing 20, or may be removed from the housing 20. Good. Further, the optical path changing means 28 may be supported by other means.
【図１】本発明に係る検査装置の実施例を示す正面図で
ある。FIG. 1 is a front view showing an embodiment of an inspection device according to the present invention.
【図２】図１の検査装置の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the inspection device of FIG.
【図３】光路変更手段のための支持手段の一実施例を示
す図である。FIG. 3 is a view showing one embodiment of a support means for an optical path changing means.
【図４】光路変更手段のための支持手段の他の実施例を
示す図である。FIG. 4 is a view showing another embodiment of the supporting means for the optical path changing means.
【図５】本発明に係る検査装置の他の実施例を示す正面
図である。FIG. 5 is a front view showing another embodiment of the inspection device according to the present invention.
【図６】図５の検査装置の平面図である。6 is a plan view of the inspection device of FIG.
１０，６０ 検査装置 １２ 液晶表示パネル １４ 本体部 １６ ローダ部 １８ テスター部 ２０ 筐体 ２２ 測定ステージ ２４ 検査用のプローブユニット ２６ 液晶表示パネルからの光 ２８ 光路変更手段 ３２ 光路変更手段のための取付金具 ４２ カメラステージ ４４ テレビカメラ ５０，５１ ブラケット ５４ ボルト ５６ ナット ６４ シールドカバー ２２ａ 液晶表示パネルのための受け部 10, 60 Inspection apparatus 12 Liquid crystal display panel 14 Main body section 16 Loader section 18 Tester section 20 Housing 22 Measuring stage 24 Probe unit for inspection 26 Light from liquid crystal display panel 28 Optical path changing means 32 Mounting bracket for optical path changing means 42 camera stage 44 television camera 50, 51 bracket 54 bolt 56 nut 64 shield cover 22a receiving part for liquid crystal display panel
Claims (3)
と、該測定ステージに配置された液晶表示パネルを撮像
するテレビカメラと、前記液晶表示パネルからの光を前
記テレビカメラに向けるべく前記光の光路を上下方向に
対し角度を有する方向へ変更する光路変更手段とを含
む、液晶表示パネルの検査装置。1. A measurement stage on which a liquid crystal display panel is arranged, a television camera for photographing the liquid crystal display panel arranged on the measurement stage, and an optical path of the light for directing light from the liquid crystal display panel to the television camera. And an optical path changing means for changing the light path to a direction having an angle with respect to the vertical direction.
手段に対する光の入射角および反射角を変更可能に支持
する支持手段を含む、請求項１に記載の検査装置。2. The inspection apparatus according to claim 1, further comprising support means for supporting the optical path changing means so that an incident angle and a reflection angle of light with respect to the optical path changing means can be changed.
水平の状態または傾斜した状態に受ける受け部を有す
る、請求項１または２に記載の検査装置。3. The inspection apparatus according to claim 1, wherein the measurement stage has a receiving portion that receives the liquid crystal display panel in a horizontal state or an inclined state.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8092977A JPH09258156A (en) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | Inspecting device for liquid crystal display panel |
| KR1019970007942A KR100247260B1 (en) | 1996-03-25 | 1997-03-10 | A test device of lcd panel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8092977A JPH09258156A (en) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | Inspecting device for liquid crystal display panel |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09258156A true JPH09258156A (en) | 1997-10-03 |
Family
ID=14069462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8092977A Pending JPH09258156A (en) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | Inspecting device for liquid crystal display panel |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09258156A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100334485C (en) * | 2003-08-04 | 2007-08-29 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | Camera treatment device for display panel |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06202060A (en) * | 1992-12-28 | 1994-07-22 | Sharp Corp | Inspecting device for liquid crystal display panel |
| JPH06291937A (en) * | 1993-04-01 | 1994-10-18 | Mitsubishi Electric Corp | Color picture input device |
| JPH0736005A (en) * | 1993-07-20 | 1995-02-07 | Fujitsu Ltd | Inspecting device for liquid crystal panel |
| JPH0784229A (en) * | 1993-09-14 | 1995-03-31 | Advantest Corp | Liquid crystal panel inspecting device |
-
1996
- 1996-03-25 JP JP8092977A patent/JPH09258156A/en active Pending
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040510 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040518 |
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