KR0179385B1

KR0179385B1 - 진공처리장치

Info

Publication number: KR0179385B1
Application number: KR1019930006916A
Authority: KR
Inventors: 쓰도무 히로키
Original assignee: 이노우에 아키라; 도오교오 에레구토론 가부시끼가이샤; 이노우에 쥰이치; 도오교오 에레구토론 야마나시 가부시끼가이샤
Priority date: 1992-04-28
Filing date: 1993-04-24
Publication date: 1999-05-01
Also published as: US5306380A; JP3030160B2; KR930022122A; JPH05304112A

Abstract

LCD기판의 진공처리장치는, 3개의 처리실을 구비한다. 처리실은 각각의 게이트를 통하여 제1로드로크실에 접속된다. 제1로드로크실에는 또한 게이트를 통하여 제2로드로크실이 접속된다. 제2로드로크실은 대기분위기에 설치된 반송부재와 게이트를 통하여 대향한다. 제1로드로크실내에는, 처리실 및 제2로드로크실 사이에서 기판을 반송하는 신축아암과, 기판을 일시적으로 유지하는 스토어부재가 설치된다. 스토어부재 및 아암은 회전가능한 베이스로 지지된다. 스토어부재는 기판을 지지하기 위한 4개의 레벨을 구비하고, 아암지지부재에 대하여 상하 구동부재를 통하여 지지된다.

Description

진공처리장치

제1도는 본 발명의 1실시예의 진공처리장치의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도.

제2도는 기판반송아암 및 기판 스토어부재를 나타낸 사시도.

제3도는 상기 아암 및 스토어부재를 지지하는 베이스의 구동기구를 나타낸 부분도.

제4도는 상기 아암 및 스토어부재의 구동기구를 나타낸 사시도.

제5도는 상기 아암의 내부구조를 나타낸 단면도.

제6a도 내지 제6e도는 제1도의 상기 아암 및 스토어부재의 동작을 나타낸 설명도.

제7도는 스토어부재의 변경예를 개략적으로 나타낸 사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 제1로드로크실 2 : 제2로드로크실

3a,3b,3c : 진공처리실 4 : 게이트밸브

5a,5b : 카세트 6 : 반송부재

7 : 기판반송아암 7a : 제1아암소자

7b : 제2아암소자 7c : 제3아암소자

8 : 스토어부재 9,16,26 : 베이스

11 : 마운트 12 : 승강핀

15a,15b : 아암 17,104,152 : 돌기

22 : 래크 24 : 포지셔너

28a,28b : 로울러 32 : 다이부재

34 : 실린더 36,68,84,98 : 커버

38 : 시일 42,88,102 : 베어링

43 : 프레임 44,54,56 : 모터

46,48,58,64,72,78,86,94 : 풀리 52,62,76,92 : 타이밍벨트

66,82,96,116,122,124 : 셔프트 112 : 중공셔프트

114 : 나사통 118,126,128 : 나사

132,134 : 가이드통 142 : 바닥판

144,146,148 : 지지프레임 162 : 스토어부재

164 : 아암 S : LCD기판

A : 화살표

본 발명은, 진공처리장치에 관한 것으로서, 특히 LCD기판의 처리장치에 있어서 사용되는 로드로크실내에 설치되는 반송아암의 개량에 관한 것이다.

종래부터, 반도체 디바이스의 제조공정 및 액정표시장치(LCD)의 제조공정 등에 있어서는, 감압분위기하에서 반도체 웨이퍼나 LCD기판에, 에칭, 애씽 등의 소정의 처리를 하는 진공처리실(process chamber)을 여러개 설비한, 소위 멀티챔버형의 진공처리장치가 사용되고 있다.

이와 같은 진공처리장치에서는, 내부에 반송아암 등의 기판 반송기구가 설치된 예비진공실(로드로크실:load lock chamber)의 둘레에, 여러개 예컨대 3개의 진공처리실이 설치된다. LCD기판 등의 피처리기판은 상기 로드로크실내의 반송아암에 의하여 각 처리실에 반입·반출되어, 소정의 처리가 실시된다.

처리가 종료한 기판을 처리실로부터 반출하고, 처리를 할 다음 기판을 이 처리실로 반입할 경우, 하나의 반송아암으로 같은 작업을 하면 시간이 걸리고, 스루푸트의 저하를 초래한다. 그래서, 로드로크실내 예컨대 2개의 반송아암은 2단으로 겹치듯이 설치하고, 스루푸트의 향상을 도모한 진공처리장치도 알려져 있다.

그런데, 로드로크실내에 여러개의 반송아암을 설치하면, 로드로크실 및 반송아암(S)이 삽입될 진공처리실이 대형화한다. 이것은, 장치 전체의 대형화 및 제조코스트의 증대를 초래한다. 또, 반송아암은, 먼지의 발생원이 되기 때문에 수가 증가하는 것은 바람직하지 않다.

따라서, 본 발명의 목적은, 장치의 대형화 및 제조코스트의 증대를 초래하는 일 없이, 스루푸트의 향상을 도모할 수 있는 진공처리장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 제1의 시점에 관한 진공처리장치는:감압분위기하에서 피처리기판에 처리를 하는 제1처리실과, 상기 제1처리실내에 설치된, 기판을 재치하기 위한 제1재치수단과, 감압분위기하에서 피처리기판에 처리를 하는 제2처리실과, 상기 제2처리실내에 설치된, 기판을 재치하기 위한 제2재치수단과, 상기 제1 및 제2처리실에 각각 게이트를 통하여 접속된 로드로크실과, 상기 로드로크실내에 설치된, 기판을 유지하기 위한 스토어부재와, 상기 로드로크실내에 설치된, 기판을 반송하기 위한 신축아암과, 상기 아암은 상기 제1 및 제2재치수단 및 상기 스토어부재 사이에서 기판을 반송가능한 것과, 상기 아암을 지지함과 동시에, 상기 제1 및 제2처리실에 대면하도록 구동하는 아암지지부재와를 구비한다.

본 발명의 제2의 시점에 의한 진공처리장치는:감압분위기하에서 피처리기판에 처리를 하는 처리실과, 상기 처리실내에 설치된, 기판을 재치하기 위한 재치수단과, 기판이 대기하기 위한 대기부와, 상기 대기부에 설치된, 기판을 유지하기 위한 유지수단과, 상기 처리실 및 상기 대기부에 각각 게이트를 통하여 접속된 로드로크실과, 상기 로드로크실내에 설치된, 기판을 유지하기 위한 스토어부재와, 상기 스토어부재가 여러개의 기판을 지지하기 위한 여러개의 레벨을 구비하는 것과, 상기 로드로크실내에 설치된, 기판을 반송하기 위한 신축아암과, 상기 아암은 상기 재치수단, 유지수단 및 상기 스토어부재 사이에서 기판을 반송가능한 것과, 상기 스토어부재 및 상기 아암을 지지하고 또한 이들과 함께 일체적으로 회전가능한 아암지지수단과, 상기 아암지지수단은 상기 아암을 상기 처리실 및 상기 대기부에 대면하도록 구동하는 것과, 상기 스토어부재를 상기 아암지지부재에 대하여 상하로 구동하는 구동수단과, 상기 구동수단을 통하여 상기 스토어부재가 상기 아암지지부재에 지지되는 것과를 구비한다.

본 발명의 진공처리장치에서는, LCD기판 등의 피처리기판을 처리실에 반입·반출하는 아암과, 기판을 유지가능하게 구성된 스토어부재가, 로드로크실내에 설치된다. 따라서, 단시간에 효율적으로 기판의 반입·반출작업을 할 수 있다. 예컨대, 처리가 종료한 기판을 처리실로부터 꺼내어, 다음의 기판을 이 처리실내에 반입하는 것 같은 경우, 미리, 스토어부재에 다음에 처리를 할 기판을 재치하여 놓거나, 혹은 처리실로부터 반출한 기판을 이 스토어부재에 재치한다. 로드로크실내에 스토어부재를 설치할 뿐이므로, 여러개의 아암을 설치하는 경우에 비하여, 장치의 대형화나 제조코스트의 증대를 초래하는 일도 없고, 또, 먼지의 발생원을 적게할 수 있다.

[실시예]

이하, 본 발명은, 도시한 실시예를 참조하여 설명한다. 이 실시예는, 본 발명은 LCD기판의 에칭처리, 에씽처리 등을 하는 진공처리장치에 적용한 예이다.

제1도에 도시한 본 실시예 장치에 있어서, 제1로드로크실(예비진공실)(1)과, 제2로드로크실(2)이 연이어 설치된다. 제1로드로크실(1)의 주위에는, 여러개 예컨대 3개의 진공처리실(3a),(3b),(3c)이 설치된다. 제1로드로크실(1)과 제2로드로크실(2)과의 사이, 제1로드로크실(1)과 각 처리실(3a),(3b),(3c)과의 사이 및 제2로드로크실(2)과 바깥쪽을 연이어 통하는 개구부에는, 이들 사이를 긴밀하게 밀폐가능하게 구성된 게이트밸브(4)가 각각 사이에 끼워진다.

각 처리실(3a),(3b),(3c)에는, LCD기판(S)을 재치하기 위한 마운트(11)가 설치된다. 마운트(11)에는, 기판(S)을 지지하기 위한 4개의 승강핀(12)이 설치된다.

제2로드로크실(2)의 바깥쪽(도면중 아래쪽)에는, 대기분위기로 설치된 반송부재(6)가 설치된다. 반송부재(6)의 양쪽에는, LCD기판을 수용하는 카세트를 재치하기 위한 승강테이블(도시하지 않음)이 설치된다. 도면에서는 각 승강테이블에 각각 카세트(5a),(5b)가 설치된 상태가 도시되어 있다. 카세트(5a),(5b)중, 한쪽(에컨대 카세트 5a)은 이제부터 처리를 할 기판을 수용하고, 다른쪽(예컨대 카세트 5b)은 처리가 종료한 기판을 수용한다.

반송부재(6)는, 상하로 겹쳐진 2개의 아암(15a),(15b)과, 이것들을 일체적으로 진출 및 퇴피 및 회전가능하게 지지할 베이스(16)를 구비한다. 각 아암(15a),(15b)위에는, 기판을 지지하는 4개의 돌기(17)가 형성된다. 돌기(17)는 마찰계수가 높은 합성고무제의 탄성체로 이루어지고, 기판 지지중에 기판이 어긋나거나 혹은 어긋나 떨어지는 것을 방지하도록 되어 있다. 반송부재(6)는, 2개의 아암(15a),(15b)에 의하여, 2개의 기판을 한 번에 반송한다. 즉, 각 카세트(5a),(5b)에 대하여, 2개의 기판이 한 번에 꺼내지거나 혹은 삽입된다. 각 카세트(5a),(5b)의 높이는 상기 승강테이블에 의하여 조정되고, 기판꺼내기 혹은 삽입위치가 설정된다.

제2로드로크실(2)내에는, 반송부재(6)의 2개의 아암(15a),(15b)에 대응하여 2단의 레벨을 가지는 1쌍의 래크(rack)(22)가 설치된다. 래크(22)에 의하여, 제2로드로크실(2)내에는 2개의 LCD기판이 한 번에 유지된다. 래크(22)는 승강 가능하고, 후술하는 기판반송아암(7)이, 2개의 기판중의 하나를 선택적으로 꺼낼 수 있도록 되어 있다.

제2로드로크실(2)에는 또 기판의 얼라이먼트를 하기 위한 1쌍의 포지셔너(24)가 설치된다. 포지셔너(24)는, 기판의 대각선의 연장선상에서 상호 대향하듯이 설치된다. 각 포지셔너(24)는, 도면중 화살표(A)방향으로 이동가능한 베이스(26)와, 베이스(26)위에 자유회전가능하게 지지된 1쌍의 로울러(28a),(28b)를 구비한다. 포지셔너(24)는, 래크(22)에 지지된 2개의 기판을 대각선방향으로 끼워넣는 형태로, 기판의 얼라이먼트를 한다. 제2로드로크실(2)에는 또, 기판의 얼라이먼트를 확인하기 위한 광학적 센서(도시하지 않음)가 설치된다.

제1로드로크실(1)내에는, 기판반송아암(6)과, 여러개의 LCD기판을 유지가능하게 구성된 스토어부재(storing member)(8)가 설치된다. 제2도에 도시한 바와 같이 아암(7) 및 스토어부재(8)는, 회전이 자유로운 베이스(9)에 지지된다.

베이스(9)의 구동시스템의 개요를 도시한 제3도를 참조하면 알 수 있는 바와 같이, 베이스(9)는 제1로드로크실(1)의 다이부재(32)를 관통하는 실린더(34)위에 고정된다. 실린더(34)는, 다이부재(32) 아래에서, 다이부재(32)에 대하여 고정된 원통형 커버(36)에 덮힌다. 실린더(34)와 커버(36)와의 사이에는 시일(38), 예컨대 자성유체시일과, 베어링(42)이 설치된다.

커버(36)에는, 프레임(43)을 통하여 모터(44)가 고정된다. 모터(44)의 출력셔프트에 부착된 풀리(46)는, 실린더(34)의 하부에 설치된 풀리(48)와, 타이밍벨트(52)를 통하여 접속된다. 따라서, 모터(44)에 의하여, 실린더(34) 및 베이스(9)가 회전구동된다.

실린더(34)의 하부에는 아암(7)을 구동하기 위한 모터(54)와, 스토어부재(8)를 승강시키기 위한 모터(56)가 부착된다. 모터(54),(56)는, 실린더(34)의 회전시에는, 실린더(34)와 일체로 되어서 선회한다.

제4도에 도시한 바와같이, 모터(54)의 출력셔프트는 베이스(9)내에 설치된 풀리(58)에 접속된다. 풀리(58)에는, 베이스(9)내에 설치된 타이밍벨트(62)가 맞물리고, 또, 타이밍벨트(62)는, 베이스의 선단의 아암(7)을 접속한 부분에 설치된 풀리(64)와 맞물린다.

제5도에 도시한 바와같이, 풀리(64)는, 아암(7)의 제1아암소자(7a)의 회전축이 되는 셔프트(66)의 하단부에 고정 설치된다. 셔프트(66)의 상단부는 제1아암소자(7a)에 고정된다. 셔프트(66)를 덮고 원통형 커버(68)가 설치된다. 커버(68)의 하단부는 베이스(9)에 고정되고, 상단부에는 풀리(72)가 설치된다. 셔프트(66)와 베이스(9) 및 커버(68)와의 사이에는 베어링(74)이 설치된다.

풀리(72)에는, 제1아암소자(7a)내에 설치된 타이밍벨트(76)가 맞물리고, 또, 타이밍벨트(76)는, 제1아암소자(7a)의 선단의 제2아암소자(7b)를 접속한 부분에 설치된 풀리(78)와 맞물린다. 풀리(78)는, 제2아암소자(7b)의 회전축이 되는 셔프트(82)의 하단부에 고정설치된다.

셔프트(82)의 상단부는 제2아암소자(7b)에 고정된다. 셔프트(82)를 덮는 원통형 커버(84)가 설치된다. 커버(84)의 하단부는 제1아암소자(7a)에 고정되고, 상단부에는 풀리(86)가 설치된다. 셔프트(82)와 커버(84)와의 사이에는 베어링(88)이 설치된다.

풀리(86)에는, 제2아암소자(7b)내에 설치된 타이밍벨트(92)가 맞물리고, 또, 타이밍벨트(92)는, 제2아암소자(7b)의 선단의 제3아암소자(7c)를 접속한 부분에 설치된 풀리(94)와 맞물린다. 풀리(94)는, 제3아암소자(7c)의 회전축이 되는 셔프트(96)의 하단부에 고정설치된다. 셔프트(96)의 상단부는 제3아암소자(7c)에 고정된다. 셔프트(96)를 덮고 원통형 커버(98)가 설치된다. 커버(98)의 하단부는 제2아암소자(7b)에 고정된다. 셔프트(96)와 커버(98)와의 사이에는 베어링(102)이 설치된다.

제3아암소자(7c)는 제2도에 도시한 바와같은 I자형의 형상을 하고, 그 정상부와 바닥부에는, 각각 기판(S)을 지지하기 위한 돌기(104)가 형성된다. 돌기(104)는 마찰계수가 높은 합성고무제의 탄성체로 이루어지고, 기판지지중에 기판이 어긋나거나 혹은 어긋나서 떨어지는 것을 방지하도록 되어 있다. 또한, 아암(7)의 동작에 관하여서는 후술한다.

제3도 및 제4도로 되돌아가서, 스토어부재(8)용의 모터(56)의 출력셔프트는, 실린더(34)내를 축방향으로 뻗는 원통형의 중공셔프트(112)에 접속된다. 중공셔프트(112)의 상부에는, 암나사가 형성된 관통구멍을 가지는 나사통(114)이 고정설치된다. 나사통(114)은 베이스(9)로부터 노출하고, 볼스크류가 형성된 셔프트(116)가 여기에 나사맞춤한다. 셔프트(116)의 정상부는, 나사(118)에 의하여 스토어부재(8)의 바닥판(142)에 고정된다.

스토어부재(8)의 바닥판(142)에는 또, 나사(126),(128)에 의하여 리니어가이드의 셔프트(122),(124)가 고정된다.

셔프트(122),(124)에는, 베이스(9)에 매설된 가이드통(132),(134)의 중심구멍을 관통하고, 실린더(34)내로 뻗어있다.

따라서, 모터(56)에 의하여 나사통(114)이 회전구동되면, 리니어가이드셔프트(122),(124)가 회전 멈춤으로서 기능하고, 스크류셔프트(116)가 스토어부재(8)와 일체가 되어서 베이스(9)에 대하여 승강한다.

제2도에 도시한 바와같이, 스토어부재(8)에는, 바닥판(142)에 부착된 3조의 지지프레임(144),(146),(148)이 설치된다. 지지프레임(144),(146),(148)은, LCD기판을 4개를 한 번에 수납할 수 있도록, 수평인 4단의 레벨을 형성한다. 각 지지프레임(144),(146),(148)의 각 레벨을 구성하는 지지판상에는 기판을 지지하기 위한 돌기(152)가 형성된다. 돌기(152)는 마찰계수가 높은 합성고무제의 탄성체로 이루어지고, 기판지지중에 기판의 어긋나거나 혹은 어긋나서 떨어지는 것을 방지하도록 되어 있다.

다음에 제6a도 내지 제6e도를 참조하여, 아암(7) 및 스토어부재(8)의 사용상태를 설명한다. 여기서는, 아암(7)에 의하여 LCD기판(S)을 처리실(3a)로부터 처리실(3c)에 이동시키는 경우를 예로 든다.

제6a도에 도시한 바와같이, 먼저 베이스(9)를 회전시켜서 아암(7)을 반출하는 부위(이 예에서는 처리실(3a))의 전방에 위치시킨다. 그리고 아암(7)을 신장시켜서 기판(S)을 제3아암소자(7c)위에 얹는다. 이때, 마운트(11)의 핀(12)(제1도 참조)의 승강을 이용하여, 핀(12)으로부터 아암(7)에 기판(S)을 받아 넘긴다.

다음에, 제6b도로부터 제6d도의 순서로, 아암(7)을 점점 줄이고, 기판(S)을 스토어부재(8)까지 반송한다. 이때, 스토어부재(8)의 높이를 미리 설정하여 높고, 기판(S)을 놓아야 할 레벨을 선택하여 둔다. 기판(S)을 스토어부재(8)까지 반송할 때는, 선택된 레벨이, 기판(S)의 하면보다 어느정도 아래에 있도록 스토어부재(8)를 위치결정한다. 그리고, 기판(S)이 스토어부재(8)까지 반송되어온 후, 스토어부재(8)를 상승시키고, 아암(7)위로부터 스토어부재(8)이 선택된 레벨의 지지판 위에 기판(S)을 옮긴다.

다음에, 제6e도에 도시한 바와같이, 베이스(9)를 회전시키고, 처리실(3c)의 전방에 아암(7)을 위치시킨다. 이때, 처리실(3c)내에 처리가 끝난 다른 기판이 남아 있는 경우는, 상술과 같은 형태로, 아암(7)에 의하여 이 다른 기판을 처리실(3c)로부터 꺼낸다. 이 꺼낸 다른 기판은, 스토어부재(8)를 승강시키고 다른 레벨의 지지판 위에 재치한다. 그리고, 처리실(3a)로부터 운반하여 온 기판(S)을 처리실(3c)내에 반입하고, 그 마운트(11)위에 배치한다.

또한, 예컨대 에칭처링에 있어서는, 각 처리실(3a),(3b),(3c)내에 설치된 마운트는 하부전극으로서 기능한다. 이 경우, 기판(S)은 이 하부전극 위에 소정방향, 소정위치에 정확하게 재치할 필요가 있다. 그런데, 3개의 처리실의 하부전극의 어느것인가가, 미리 결정된 위치로부터 어긋나게 설치되어 있는 경우도 있다. 이와 같은 경우, 티이칭에 의하여, 어긋남량을 미리 검출하고, 이에 의거하여, 스토어부재(8)에 기판을 재치할때의 아암(7)의 기판지지위치와, 스토어부재(8)로부터 동 기판을 받을 때의 아암(7)의 기판지지위치를 어긋나게 한다. 이에 의하여, 하부전극상의 기판의 위치를 조절할 수 있다. 이와같은 조절은, 아암(7)의 동작을 제어하는 컴퓨터의 소프트웨어에 의하여 할 수 있다.

다음에, 제1도를 참조하여, 진공처리장치 전체의 사용상태를 설명한다.

먼저, 반송부재(6)의 아암(15a),(15b)에 의하여, 카세트(5a)로부터 2개의 LCD기판을 한 번에 꺼낸다. 다음에, 아암(15a),(15b)을 제2로드로크실(2)쪽으로 90°선회시킨다. 그리고, 아암(15a),(15b)에 의하여, 제2로드로크실(2)내의 래크(22)에, 2개의 기판을 한 번에 받아 넘긴다.

이 뒤에, 제2로드로크실(2)의 배기를 하여서 내부를 소정의 진공도로 설정한다. 또, 이와 동시에, 포지셔너(24)에 의하여, 래크(22)위의 기판의 얼라이먼트를 한다. 그리고, 제1 및 제2로드로크실(1),(2)사이의 게이트(4)를 개방하고, 아암(7)에 의하여, 제2로드로크실(2)내의 2개의 기판을 차례로 아암(7)후방의 스토어부재(8)로 보낸다.

다음에, 아암(7)에 의하여, 제1로드로크실(1)로부터 소정의 처리실(3a),(3b),(3c)에 1개의 기판(S)을 반입하고, 처리를 실시한다. 또한, 각 처리실(3a),(3b),(3c)에 있어서는, 기판(S)을 차례로 이것들에 반송하고, 각각 상이한 처리, 예컨대 에칭처리, 애씽처리 등을 차례로 할 경우, 혹은, 각각 같은 처리를 동시에 병행하여서 하는 경우가 있다.

어느 경우에 있어서는, 연속하여 다수개의 LCD기판의 처리를 하는 경우는, 처리가 종료한 기판을 처리실(3a),(3b),(3c)로부터 반출하고, 다음의 기판을 처리실(3a),(3b),(3c)에 반입한다. 이때, 반입할 기판을 미리 스토어부재(8)의 한 레벨에 재치하여 놓고, 또, 반출한 다른 기판을 스토어부재(8)의 다른 레벨에 재치함으로써, 여러개의 아암(7)을 설비하는 경우와 대략같은 시간으로 기판의 반입, 반출을 할 수 있다.

그리고, 소정의 처리가 모두 종료하면, 아암(7)에 의하여 이 기판(S)을 제2로드로크실(2)에 반출하고, 제2로드로크실(2)로부터 반송부재(6)에 의하여 외부에 반송하여 카세트(5b)에 수용한다.

상술한 바와같이, 본 실시예의 진공처리장치에서는, 스토어부재(8)에 의하여, 여러개의 아암(7)을 비치할 경우와 대략 같은 시간에 LCD기판(S)의 반입, 반출을 할 수 있다. 이에 의하여, 스루푸트의 향상을 도모할 수 있다. 또, 여러개의 아암(7)을 설치할 경우에 비하여, 제1로드로크실(1)의 용적, 처리실(3a),(3b),(3c)의 용적 게이트밸브(4)의 개구면적 등을 적게할 수 있고, 장치의 대형화, 제조코스트의 증대를 억제할 수 있다.

제7도는, 본 발명에 관계된 스토어부재의 다른 예를 도시한다.

이 실시예의 스토어부재(162)는, 상술한 기판반송아암(7)과 같은 모양으로 작동하는 아암(164) 상부에 있어서, 제1로드로크실(1)의 천정부에 지지된다. 스토어부재(162)는, 아암(164)과 동기하여 회전가능함과 동시에, 승강가능하게 설치된다.

이 실시예에 의하면, 제1로드로크실(1)을 더욱 소형화할 수 있고, 또 따라서, 원가절감화를 도모할 수 있다. 스토어부재(162)는 하나의 LCD기판(S)만을 지지가능하기 때문에, 기판의 반입, 반출에 요하는 시간은 상술한 실시예의 경우보다는 길어진다. 그러나, 스토어부재를 갖지 않은 경우에 비하면, 작업시간단축을 도모할 수 있고, 스루푸트의 향상을 도모할 수 있다.

Claims

감압분위기하에서 피처리기판에 처리를 하는 제1처리실(3a)과, 상기 제1처리실(3a)내에 설치된, 기판(S)을 재치하기 위한 제1재치수단과, 감압분위기하에서 피처리기판에 처리를 하는 제2처리실(3b)과, 상기 제2처리실(3b)내에 설치된, 기판(S)을 재치하기 위한 제2재치수단과, 상기 제1 및 제2처리실(3a),(3b)에 각각 게이트를 통하여 접속된 로드로크실로 이루어진 진공처리장치에 있어서, 상기 로드로크실내에 설치된, 기판(S)을 유지하기 위한 스토어부재(8)와, 상기 로드로크실내에 설치된, 상기 제1 및 제2재치수단 및 상기 스토어부재(8) 사이에서 기판(S)을 반송하기 위한 신축아암과, 상기 아암을 지지함과 동시에, 상기 제1 및 제2처리실에 대면하도록 구동하는 아암지지부재를 구비한 진공처리장치.
제1항에 있어서, 상기 로드로크실과 게이트를 통하여 접속된, 기판(S)이 대기하기 위한 대기부와, 상기 대기부에 설치된, 기판(S)을 유지하기 위한 유지수단을 더욱 구비하고, 상기 아암은 상기 제1 및 제2재치수단, 상기 유지수단 및 상기 스토어부재(8) 사이에서 기판(S)을 반송가능한 진공처리장치.
제2항에 있어서, 상기 아암지지부재가 상기 아암과 함께 일체적으로 회전가능한 부재로 이루어지는 진공처리장치.
제3항에 있어서, 상기 스토어부재(8)가 상기 아암지지부재에 지지되고, 상기 아암과 함께 일체적으로 회전가능한 진공처리장치.
제4항에 있어서, 상기 스토어부재(8)가 여러개의 기판(S)을 지지하기 위한 여러개의 레벨을 구비하는 진공처리장치.
제5항에 있어서, 상기 스토어부재(8)를 상기 아암지지부재에 대하여 상하로 구동하는 구동수단과, 상기 구동수단을 통하여 상기 스토어부재(8)가 상기 아암지지부재에 지지되는 것을 더욱 구비하는 진공처리장치.
제6항에 있어서, 상기 아암과 상기 스토어부재(8)가, 상기 아암지지부재의 회전중심을 끼고 대향하도록 설치되는 진공처리장치.
제7항에 있어서, 게이트를 통하여 상기 로드로크실에 접속되어 감압분위기하에서 피처리기판에 처리를 하는 제3처리실과, 상기 제3처리실내에 설치된, 기판(S)을 재치하기 위한 제3재치수단을 더욱 구비하고, 상기 제1,제2 및 제3처리실 및 상기 대기부가, 상기 로드로크실의 주위에 각각 90℃ 간격으로 설치되는 진공처리장치.
제8항에 있어서, 상기 대기부가 보조 로드로크실내에 형성되는 진공처리장치.
제1항에 있어서, 상기 아암이 선단에 LCD기판을 지지하기 위한 지지부를 구비하는 진공처리장치.
감압분위기하에서 피처리기판에 처리를 하는 처리실과, 상기 처리실내에 설치된, 기판을 재치하기 위한 재치수단과, 기판이 대기하기 위한 대기부와, 상기 대기부에 설치된, 기판을 유지하기 위한 유지수단과, 상기 처리실 및 상기 대기부에 각각 게이트를 통하여 접속된 로드로크실로 이루어지는 진공처리장치에 있어서, 상기 로드로크실내에 설치된, 여러개의 기판을 지지하기 위한 여러개의 레벨을 구비하여 기판을 유지하기 위한 스토어부재와, 상기 로드로크실내에 설치된, 상기 재치수단, 유지수단 및 상기 스토어부재 사이에서 기판을 반송하기 위한 신축아암과, 상기 스토어부재 및 상기 아암을 지지하고 또한 이들과 함께 일체적으로 회전가능하며, 상기 아암을 상기 처리실 및 상기 대기부에 대면하도록 구동하는 아암지지수단과, 상기 스토어부재를 상기 아암지지부재에 대하여 상하로 구동하며, 상기 스토어부재가 상기 아암지지부재에 지지되는 구동수단을 구비하는 진공처리장치.
제11항에 있어서, 상기 아암과 상기 스토어부재가, 상기 아암지지부재의 회전중심을 끼고 대향하도록 설치되는 진공처리장치.
제11항에 있어서, 상기 대기부가 보조로드로크실내에 형성되는 진공처리장치.
제11항에 있어서, 상기 아암이 선단에 LCD기판을 지지하기 위한 지지부를 구비하는 진공처리장치.
제11항에 있어서, 상기 재치수단 및 상기 유지수단이, 상기 기판을 상하로 이동시키는 승강지지수단을 각각 구비하고, 상기 승강지지수단이 상기 아암이 뻗은 상태에서 상기 아암과 서로 간섭하지 않도록 설치되는 진공처리장치.
제11항에 있어서, 상기 대기부와, 상기 유지수단상에서 기판의 얼라이먼트를 하기 위한 포지셔너를 더욱 구비하는 진공처리장치.