KR0164946B1

KR0164946B1 - 마스크 보호장치

Info

Publication number: KR0164946B1
Application number: KR1019950024036A
Authority: KR
Inventors: 미노루 후지타; 히로아끼 나까가와
Original assignee: 고다 시게노리; 미쓰이세끼유 가가꾸고오교오 가부시끼가이샤
Priority date: 1994-08-11
Filing date: 1995-08-04
Publication date: 1999-01-15
Also published as: KR960008411A; CA2154600C; EP0696760B1; CA2154600A1; DE69506054T2; JPH08106156A; JP3445685B2; US5601955A; EP0696760A1; DE69506054D1

Abstract

프레임의 한 쪽 개구 단면을 투명한 박막으로 폐색하고, 프레임에 통기구멍을 형성하여, 이 통기구멍의 단면적 보다도 큰 통기면적을 갖는 필터를 프레임에 부착하여 통기구멍을 덮는다. 여기서 필터의 통기면적이라 함은 필터에서 가스가 유통 가능한 유효부분의 면적을 말한다. 필터를 프레임에 부착할 때는 필터를 프레임으로부터 소정 치수만큼 떨어져서 부착한다. 종래에는 필터를 프레임으로부터 떨어지게 하지 않고 부착했으며, 이 경우의 필터의 통기면적은 통기구멍의 단면적과 거의 동일하게 되나, 필터를 프레임으로부터 떨어져서 부착하면 필터의 통기면적을 통기구멍의 단면적보다도 크게 할 수 있으므로 종래보다도 가스의 통기량이 크게 된다. 이에 따라 온도변화나 압력변화에 대한 마스크 보호장치의 응답성이 향상한다.

Description

마스크 보호장치

제1도는 본 발명의 제1실시예에 의한 마스크 보호장치의 외관 사시도.

제2도는 본 발명의 제1실시예에 의한 마스크 보호장치의 요부 단면도.

제3도는 본 발명의 제1실시예에 의한 마스크 보호장치의 요부 정면도.

제4도는 본 발명의 제2실시예에 의한 마스크 보호장치에 사용되는 필터수단의 단면도.

제5도는 본 발명의 제2실시예에 의한 마스크 보호장치의 요부 정면도.

제6도는 본 발명의 제3실시예에 의한 마스크 보호장치의 요부 단면도.

제7도는 본 발명의 제4실시예에 의한 마스크 보호장치의 요부 단면도.

본 발명은 집적회로의 제조공정에서의 포토리소그래피(photolithography)공정에서 사용되는 마스크 또는 레티클(reticle)(이하 마스크라 한다)에 진애등이 부착하는 것을 방지할 목적으로 사용되는 마스크 보호장치에 관한 것이다.

마스크라 함은 포토리소그래피공정에서 설계된 레이아우트 패턴을 반도체 웨이퍼상에서 전사하는 데 사용하는 원판을 말한다.

포토리소그래피공정에서 마스크상에 진애가 부착하면, 이것이 반도체 웨이퍼상에 투영되어 불량제품이 될 우려가 있다. 이러한 문제를 해소하고, 마스크상에 진애가 부착하는 것을 방지하기 위하여 마스크 보호장치가 사용되게 되었다.

이 마스크 보호장치는 마스크의 레이아우트 패턴을 둘러싸는 크기의 프레임을 가지며, 이 프레임의 한쪽 개구 단면을 투명한 박막으로 폐색하여 구성되어 있다. 마스크 보호장치는 프레임의 다른 쪽 개구 단면을 점착테이프등의 접착수단으로 마스크에 접착함으로써 마스크에 장착되고, 마스크로부터 일정한 간격을 두고 배치된 박막으로 마스크를 덮어서, 마스크에 진애등이 부착하지 않도록 하고 있다.

이와같이 마스크 보호장치를 마스크상에 접착한 상태에서는 내부가 극히 기밀성이 좋은 상태가 되기 때문에, 기압변화나 온도변화에 의해 박막이 부푼다거나, 움푹 들어가는 일이 있다. 이와같이 박막이 부푼다거나 움푹 들어가면 막의 광학적 특성을 변화시킨다거나, 요철(凹凸)의 정도가 심하면 박막이 마스크에 접촉한다거나, 마스크 및 마스크 보호장치를 수납하는 케이스의 뚜껑에 박막이 닿아서 박막이 손상하게도 된다.

상기의 문제에 대처하기 위하여 일본국 실공소 63-39703호 공보(US P-4833051)에서는 마스크 보호장치의 프레임에 적어도 1개의 통기구멍을 형성함과 동시에 통기구멍을 필터로 막아서 진애등의 침입을 방지하도록 한 마스크 보호장치가 제안되어 있다. 이 마스크 보호장치에 의하면 마스크상에 부착한 상태에서 마스크 보호장치가 통기성을 가지기 때문에 온도변화나 압력변화에 의해 박막이 부푼다거나, 움푹 들어 가는 것을 해소할 수가 있다.

그러나 상기 공보 기재의 마스크 보호장치에서는 필터를 프레임의 외면에 직접 접합하여 통기구멍을 막도록 하고 있기 때문에 통기량이 비교적 적고, 온도변화나 압력변화에 대한 응답성이 그다지 좋지 않았었다.

본 발명은 프레임에 통기구멍을 형성한 마스크 보호장치에 대해 개량을 가하여 온도변화나 압력변화에 대한 응답성을 좋게 하고자 하는 것이다.

이 응답성의 개량에는 통기구멍의 단면적을 증가시키든가, 또는 통기구멍의 수를 늘이는 것도 생각할 수 있다.

그러나, 통기구멍의 면적을 크게 하면 프레임의 강도가 손상되고, 마스크 보호장치를 마스크에 부착하기 위하여 프레임을 마스크상에 눌렀을 때에 프레임이 변형하기 쉬워져서 바람직하지 못하다. 한편, 통기구멍의 수를 늘이게 되면 구멍을 뚫는데 수고가 듦과 동시에 각 통기구멍에 각각 필터를 부착하는 수고가 들어 바람직하지 못하다.

본 발명은 필터의 통기면적을 증대함으로써 필터를 통과하는 가스통과량을 증대시켜, 따라서 통기구멍을 통과하는 가스의 통과속도를 증대시켜서, 이에 따라 온도변화나 압력변화에 대한 응답성을 향상시킨 마스크 보호장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 마스크 보호장치의 하나는 (a) 마스크의 레이아우트 패턴을 포위할 수 있는 크기의 프레임과, (b) 상기 프레임의 한쪽 개구단을 막도록 부착된 박막과, (c) 상기 프레임의 다른쪽 개구단면을 마스크상에 접착시키는 접착수단과, (d) 상기 프레임에 형성되어 프레임의 내외를 연통시키는 도중에 구부러짐이 없이 직선인 통기구멍과, (e) 상기 통기구멍의 단면적보다도 큰 통기면적을 가지며, 양면에 제2접착수단을 갖춘 스페이서를 거쳐서 프레임에 일정한 간격을 가지고 통기구멍을 덮도록 부착된 필터수단을 갖추고 있다.

그리고 이 명세서에 필터수단의 통기면적이라 함은 필터수단에서 가스가 유통가능한 유효부분의 면적을 말한다.

통기구멍의 단면형상은 일반적으로 원형이나 4각형이지만, 특히 그것에 한정되는 것은 아니며, 타원형이나 다각형이라도 좋다.

프레임의 형상은 원통형이어도 좋고, 구형 통형상이어도 좋으며, 형상은 특히 한정되지 않는다. 요는 양단을 개구시켜서 페루프형상으로 하면 된다.

필터수단과 프레임과의 떨어진 치수가 너무 짧으면 프레임 내외의 차압이 커졌을 때 그 차압에 의해 필터수단이 휘어져서 프레임을 누르게 되어 필터수단의 실질적인 통기면적이 작아지는 경우가 있다. 이와같은 사태가 되는 것을 회피하고, 온도변화나 압력변화에 의한 마스크 보호장치의 박막의 부풀음을 확실히 방지하기 위하여 필터수단과 프레임과의 떨어진 치수는 50μm이상으로 하는 것이 좋고, 바람직하기는 50~1000μm로 하는 것이 좋으며, 특히 바람직하기는 100~500μm로 하는 것이 좋다.

상기 필터수단은 양면에 제2의 접착수단을 갖춘 스페이서를 통해 프레임에 부착시키도록 하여도 좋다. 이와같이 하면 스페이서의 두께를 소망하는 치수로 설정함으로써 필터수단을 프레임으로부터 소망하는 거리만큼 쉽게 떨어지게 할 수가 있다.

이 마스크 보호장치에서는 필터수단의 통기면적을 연통구멍의 단면적보다도 크게 설정하고, 또한 필터수단과 프레임 사이에 일정한 간격을 마련하였으므로 필터 수단을 통과하는 가스의 통과량이 종래의 마스크 보호장치보다도 훨씬 크게 된다. 그 결과, 온도변화나 압력변화에 대한 마스크 보호장치의 응답성이 향상하여 마스크 보호장치가 부푼다거나 움푹 들어 가는 일이 없어진다.

필터수단의 통기면적을 크게 함으로써 필터수단에 진애가 부착하여 필터수단이 막히는 가능성을 적게한다.

본 발명의 마스크 보호장치중의 다른 하나는 (a) 마스크의 레이아우트패턴을 포위할 수 있는 크기의 프레임과, (b) 상기 프레임의 한쪽 개구단을 막도록 부착된 박막과, (c) 상기 프레임의 다른쪽 개구단면을 마스크상에 접착시키는 접착수단과, (d) 상기 프레임에 형성되어, 프레임의 내외면중 어느 한쪽 면에 개구하는 도중에 구부러짐 없이 직선인 통기구멍과, (e) 상기 프레임의 내외면의 나머지 한쪽면에 형성되어, 상기 통기구멍 보다도 큰 단면적을 가지며, 상기 통기구멍에 연통하는 오목 홈과, (f) 상기 오목 홈을 덮도록 프레임에 부착된 필터수단을 갖추고 있다.

상기 오목 홈의 단면형상은 특히 한정되지 않으며, 원형이어도 좋고, 구형이어도 좋다, 오목 홈은 그 단면적이 깊이에 상관없이 균일하게 되도록 형성하여도 좋고, 개구측에 접근함에 따라 단면적이 점차 커지도록 형성하여도 좋다. 어느 경우일지라도 프레임의 강도를 손상하지 않도록 깊이를 설정한다. 일반적으로 홈의 깊이는 0.05mm~1.5mm로 하는 것이 좋다.

이 마스크 보호장치에서는 통기구멍보다도 큰 단면적의 오목 홈을 형성하고, 이 오목 홈을 덮도록 필터수단을 부착하였으므로, 필터수단의 통기면적을 크게 할 수가 있고, 필터수단을 통과하는 가스의 통과량이 종래의 마스크 보호장치보다도 휠씬 크게 된다. 그 결과, 온도변화나 압력변화에 대한 마스크 보호장치의 응답성이 향상하여, 마스크 보호장치의 박막이 부풀거나 움푹 들어가는 일이 없어진다.

필터수단의 통기면적이 커짐으로써 필터수단에 진애가 부착하여 필터수단이 막히는 일이 적어진다.

이 마스크 보호장치의 경우에는 프레임과의 사이에 틈새를 두지 않고 필터수단을 프레임에 부착할 수가 있기 때문에 프레임으로부터 돌출하는 필터수단의 내미는 정도를 적게할 수 있다.

본 발명의 마스크 보호장치중의 또다른 하나는 (a) 마스크의 레이아우트 패턴을 포위할 수 있는 크기의 프레임과, (b) 상기 프레임의 한쪽 개구단을 막도록 부착된 박막과, (c) 상기 프레임의 다른쪽 개구단면을 마스크상에 접착시키는 접착수단과, (d) 상기 프레임에 형성되어 프레임의 내외를 연통시키는 도중에 구부러짐 없이 직선인 통기구멍과, (e) 바닥이 있는 통형상을 하며, 바닥부가 상기 프레임에 부착되고, 바닥부에 상기 통기구멍에 연통된 관통구멍이 설비되고, 개구단측의 개구면적이 상기 통기구멍의 단면적보다도 큰 필터지지 프레임과, (f) 상기 필터지지 프레임의 개구단을 덮도록 부착된 필터수단을 갖추고 있다.

상기 필터지지 프레임의 단면형상은 특히 한정되지 않으며, 원형이어도 좋고, 구형이어도 좋다.

관통구멍의 단면적의 크기는 통기구멍의 단면적과 거의 동일하든가 그 이상인 것이 바람직하다.

이 마스크 보호장치에는 개구면적이 통기구멍의 단면적보다도 큰 필터지지 프레임의 개구단에 필터수단을 부착하였으므로 필터수단의 통기면적을 크게할 수가 있어, 필터수단을 통과하는 가스의 통과량이 종래의 마스크 보호장치보다도 훨씬 커진다. 그 결과, 온도변화나 압력변화에 대한 마스크 보호장치의 응답성이 향상하여 마스크 보호장치의 박막이 부풀거나 움푹 들어 가는 일이 없어진다.

이 마스크 보호장치의 경우에는 필터지지 프레임의 높이치수를 바꿈으로써 필터수단을 프레임으로부터 소망하는 거리만큼 떨어지게 할 수가 있다.

필터지지 프레임을 강체로 형성하면 필터지지 프레임을 잡고 이것을 상기 프레임에 눌러서 부착시키기가 용이해진다.

상기 어느 마스크 보호장치에서도 프레임을 마스크에 접착시키는 접착수단으로서, 예를들어 점착층이나, 양면에 점착면을 갖춘 양면점착테이프를 채용할 수가 있다. 특히 필요는 없으나 마스크와의 접착측에는 박리종이를 부착해두고, 마스크에 부착하기 직전에 이 박리종이를 떼어내서 접착면을 노출시키도록 하는 것이 편리하다.

상기 어느 마스크 보호장치의 경우에도 필터수단을 프레임의 외측에 부착하는 것이 부착의 용이성면에서 바람직하며, 필터 수단에 의한 진애의 영향을 적게 할 수 있는 점에서도 바람직하다.

상기 어느 마스크 보호장치의 경우에도 필터수단의 통기면적을 통기구멍의 단면적의 2~5000배, 바람직하기는 5~3000배, 특히 바람직하기는 10~2000배로 하는 것이 좋다.

[실시예]

이하에 본 발명의 바람직한 구체예를 도면에 의거해서 설명한다.

[실시예 1]

본 발명의 마스크 보호장치의 제1실시예를 제1도~제3도에 의거해서 설명한다.

마스크 보호장치(6)는 마스크(9)에 레이아우트 패턴을 둘러싸는 크기의 구형 통형상의 주벽부로 되는 프레임(3)과, 프레임(3)의 상측 단면에 접착체(11)에 붙여서 상측 개구를 막는 투명한 박막(4)과, 프레임(3)의 하측 단면에 접착된 박리종이가 붙은 양면점착테이프(접착수단)(5)와, 프레임(3)의 측면에 뚫린 통기구멍(1)과, 통기구멍(1)을 둘러싼 링형상의 양면점착테이프(8)에 의해 프레임(3)의 외측면에 부착된 진애 제거용의 원형의 필터(필터수단)(2)로 구성되어 있다.

또한 제2도에 나타낸 바와같이 통기구멍의 형상은 도중에 구부러짐이 없는 직선이다.

이 마스크 보호장치(6)를 마스크(9)에 장착할 경우에는 양면점착테이프(5)로부터 박리종이를 떼어내고 마스크(9)의 레이아우트 패턴을 프레임(3)으로 둘러싸도록 위치를 결정하여, 박리종이를 떼어내서 노출시킨 상기 양면점착테이프(5)의 점착면을 마스크(9)위에 눌러서 접착한다.

이 실시예와 같이 필터(2)를 양면점착테이프(8)를 통해 부착시킴으로써 필터(2)와 프레임(3)의 외측면 사이에 일정 간격의 틈새를 형성하면 필터(2)에서 가스가 흐르는 유효부분의 면적, 즉 필터(2)의 통기면적이 필터와 프레임의 외측면 사이에 틈새를 형성하지 않고 직접 프레임의 외측면에 필터를 부착한 종래의 것보다도 훨씬 증대한다.

이 실시예에서의 필터(2)의 통기면적을 A(㎡), 필터(2)를 통과하는 가스이동계수를 K(m/sec)라 하면, 필터(2)를 통과하는 가스의 통과량 Q(㎥/sec)는 Q=A·K가 된다. 즉 가스의 통과량 Q는 필터의 통기면적의 증가에 비례하여 증대한다.

그런데 종래와 같이 통기구멍이 개구한 프레임의 외측면에 직접 필터를 부착한 경우에는 통기구멍의 단면적이 a(㎡)이면 필터의 통기면적도 거의 a(㎡)가 된다.

여기서 Aa이므로 이 실시예의 마스크 보호장치(6)쪽이 종래의 것보다도 가스의 통과량이 커지게 되어 온도변화나 압력변화에 대한 응답성도 좋다.

또 필터(2)의 통기면적이 증대하면 진애의 부착에 의해 필터(2)가 막히는 가능성도 적어진다.

[실시예 2]

본 발명의 마스크 보호장치의 제2실시예를 제4도 및 제5도에 의거해서 설명한다. 또 이하의 설명에서는 제1실시예와 동일 태양부분에는 동일 부호를 붙여서 설명을 생략하고, 제2실시예가 제1실시예와 상이한 점에 대해서만 설명한다.

제4도 및 제5도에 나타낸 바와같이 이 실시예에서의 필터(13)는 장방향으로 형성되어 있으며, 필터(13)의 표면에는 보호네트(14)가 적층되고, 필터(13)의 이면에는 보강기재(스페이서)(15)의 양면에 접착제층(제2의 접착수단)(16)을 갖춘 양면점착테이프(17)가 붙여 있다.

이 필터(13)는 제5도에 나타낸 바와같이 양면점착테이프(17)를 통기구멍(1)의 둘레를 싸도록 위치하게 하고, 이 양면점착테이프(17)로 프레임(3)의 외측면에 접합하여 부착된다.

이 제2실시예의 경우에는 필터(13)에서 양면점착테이프(17)의 내측부분이 가스유통가능한 부분이며, 이 부분의 면적이 즉 통기면적이 된다. 이 통기면적은 통기구멍(1)의 단면적보다도 크게 설정되어 있다.

이 제2실시예에서도 필터(13)를 양면점착테이프(17)를 통해 부착시킴으로써 필터(13)와 프레임(3) 외측면 사이에 일정간격의 틈새가 형성된다. 이에 따라 필터(13)의 통기면적은 필터와 프레임의 외측면 사이에 틈새를 형성하지 않고 직접 프레임의 외측면에 필터를 부착한 종래의 것보다도 휠씬 증대한다.

따라서, 이 제2실시예의 마스크 보호장치 쪽이 종래의 것보다도 가스의 통과량이 많아, 온도변화나 압력변화에 대한 응답성이 종래보다도 향상한다.

[실시예 3]

본 발명의 마스크 보호장치의 제3실시예를 제6도에 의거해서 설명한다. 또 이하의 설명에서는 제1실시예와 동일 태양부분에는 동일 부호를 붙여서 설명을 생략하고, 제3실시예가 제1실시예와 상이한 점에 대해서만 설명한다.

이 제3실시예에서의 마스크 보호장치에서는 프레임(3)의 외측면에 원형 또는 구형의 오목 홈(19)을 형성하고, 오목 홈(19)의 바닥부에 통기구멍(21)을 뚫고, 필터(22)를 접착제로 오목 홈(19)의 주위 가장자리에 직접 붙여서, 필터(22)로 오목 홈(19)의 개구부를 덮고 있다.

이 제3실시예의 경우에는 프레임(3)의 외측면에 오목홈(19)을 형성함으로써 필터(22)의 통기면적이 오목홈(19)의 개구단 면적과 거의 동일하게 되어, 통기구멍(21)의 단면적보다도 크게 된다.

따라서, 이 제3실시예의 마스크 보호장치 쪽이 종래의 것보다도 가스의 통과량이 많아져서 온도변화나 압력변화에 대한 응답성이 종래보다도 향상한다.

[실시예 4]

본 발명의 마스크 보호장치의 제4실시예를 제7도에 의거해서 설명한다. 또 이하의 설명에서는 제1실시예와 동일 태양부분에는 동일 부호를 붙여서 설명을 생략하고, 제4실시예가 제1실시예와 상이한 점에 대해서만 설명한다.

이 제4실시예에서는 바닥이 있는 원형 또는 구형 통 형상으로 된 필터 프레임(26)이 접착제(27)에 의해 프레임(3)에 접합되고, 필터 프레임(26)의 바닥부에 프레임(3)의 통기구멍(1)과 동심형상으로 배치되고 또 통기구멍(1)과 거의 같은 내경의 관통구멍(24)를 형성하여, 필터 프레임(26)의 개구 단면에 필터(25)를 접착하여 이 개구부를 막고 있다.

이 실시예의 경우에는 필터(25)의 통기면적은 필터 프레임(26)의 개구면적과 거의 동일하게 되고, 통기구멍(1)의 단면적보다도 크게 된다.

따라서, 이 제4실시예의 마스크 보호장치 쪽이 종래의 것보다도 가스의 통과량이 많아져서 온도변화나 압력변화에 대한 응답성이 종래보다도 향상한다.

[비교실험결과]

본 발명의 마스크 보호장치와 종래의 마스크 보호장치에 대하여 비교실험을 실시하였다. 이 비교실험에서는 본 발명의 마스크 보호장치로서 제4도 및 제5도에 나타낸 제2실시예의 것을 사용하였다. 이하, 이 비교실험결과를 기재한다.

[본 발명의 마스크 보호장치의 경우]

비교실험에 사용한 제2실시예의 보호장치의 사양은 다음과 같다. 프레임(3)의 치수는 세로 120mm, 가로 98mm, 높이 6.3mm이며, 통기구멍(1)은 내경은 0.5mm이고, 필터(13)는 PTFE(polytetrafluoroethylene)제로서, 구체적으로는 자판고아텍스주식회사제의 제품명 포토마스크벤트이다.

제5도에 나타낸 바와같이 상기 필터(13)를 통기구멍(1)을 덮도록 하여 프레임(3)에 양면점착테이프(17)로 부착하여 마스크 보호장치로 하고, 이 마스크 보호장치를 마스크(9)에 부착하였다. 이때 필터(13)와 프레임(3)의 외측면사이의 간격은 150μm이고, 필터(13)의 통기면적은 3.2㎟이었다.

이 마스크 보호장치가 장착된 마스크(9)를 가열로에 수용하고, 상온 25℃로부터 50℃까지 15분 걸려서 가열한 결과, 박막(4)에 하등의 부풀음이 발생하지 않았다.

[종래의 마스크 보호장치의 경우]

필터는 상기 필터(13)와 같은 것, 즉 PTFE(polytetrafluoroethylene)제이며, 구체적으로는 자판고어텍스주식회사제의 제품명 포토마스크벤트를 사용하고, 이 필터를 프레임의 외측면에 직접 접착제로 접착하여 프레임에 형성된 내경 0.5mm의 통기구멍을 덮었다. 이때 필터와 프레임의 외측면 사이의 간격은 10μm이며, 필터의 통기면적은 0.2㎟로서 통기구멍의 단면적과 실질적으로 같았다.

이 종래의 마스크 보호장치가 장착된 마스크를 가열로에 수용하고, 상기한 가열조건과 같게 상온 25℃로부터 50℃까지 15분 걸려서 가열한 결과, 마스크 보호장치의 박막에 부풀음이 발생하였다. 이 박막의 부풀음을 해소하는데는 50℃를 유지하면서 방치한 경우에 50분 이상을 요하였다.

Claims

(a) 마스크의 레이아우트 패턴을 포위할 수 있는 크기의 프레임과, (b) 상기 프레임의 한쪽 개구단을 막도록 부착된 박막과, (c) 상기 프레임의 다른쪽 개구단면을 마스크상에 접착시키는 접착수단과, (d) 상기 프레임에 형성되어 프레임의 내외를 연통시키는 도중에 구부러짐이 없이 직선인 통기구멍과, (e) 상기 통기구멍의 단면적보다도 큰 통기면적을 가지며, 양면에 제2접착수단을 갖춘 스페이서를 거쳐서 프레임에 일정한 간격을 가지고 통기구멍을 덮도록 부착된 필터수단을 갖춘 마스크 보호장치.
제1항에 있어서, 상기 필터수단이 프레임의 외측에 부착된 마스크 보호장치.
제1항에 있어서, 상기 필터수단과 프레임이 50μm이상 떨어져 있는 마스크 보호장치.
(a) 마스크의 레이아우트 패턴을 포위할 수 있는 크기의 프레임과, (b) 상기 프레임의 한쪽 개구단을 막도록 부착된 박막과, (c) 상기 프레임의 다른 쪽 개구단면을 마스크상에 접착시키는 접착수단과, (d) 상기 프레임에 형성되어, 프레임의 내외면중 어느 한쪽 면에 개구하는 도중에 구부러짐 없이 직선인 통기구멍과, (e) 상기 프레임의 내외면의 나머지 한쪽면에 형성되어, 상기 통기구멍 보다도 큰 단면적을 가지며, 상기 통기구멍에 연통하는 오목 홈과, (f) 상기 오목 홈을 덮도록 프레임에 부착된 필터수단을 갖춘 마스크 보호장치에 있어서, 상기 오목 홈의 깊이가 1.5mm이하인 것이 특징인 마스크 보호장치.
제 4항에 있어서, 상기 필터수단이 프레임의 외측에 부착된 마스크 보호장치.
(a) 마스크의 레이아우트 패턴을 포위할 수 있는 크기의 프레임과, (b) 상기 프레임의 한쪽 개구단을 막도록 부착된 박막과, (c) 상기 프레임의 다른 쪽 개구단면을 마스크상에 접착시키는 접착수단과, (d) 상기 프레임에 형성되어 프레임의 내외를 연통시키는 도중에 구부러짐 없이 직선인 통기구멍과, (e) 바닥이 있는 통형상을 하며, 바닥부가 상기 프레임에 부착되고, 이 바닥부에 상기 통기구멍에 연결된 관통구멍을 설치하고, 개구단측의 개구면적이 상기 통기구멍의 단면적보다도 큰 필터지지 프레임과, (f) 상기 필터지지 프레임의 개구단에 부착되어 개구를 덮는 필터수단을 갖춘 마스크 보호장치.
제6항에 있어서, 상기 필터지지 프레임의 관통구멍의 단면적의 크기가 통기구멍의 단면적과 동일하거나 그 이상인 마스크 보호장치.
제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 필터수단이 프레임의 외측에 부착된 마스크 보호장치.