JP2658297B2 - 防塵膜の取付け方法 - Google Patents
防塵膜の取付け方法Info
- Publication number
- JP2658297B2 JP2658297B2 JP28921388A JP28921388A JP2658297B2 JP 2658297 B2 JP2658297 B2 JP 2658297B2 JP 28921388 A JP28921388 A JP 28921388A JP 28921388 A JP28921388 A JP 28921388A JP 2658297 B2 JP2658297 B2 JP 2658297B2
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- Japan
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- mask
- film
- frame
- dust
- dustproof film
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 半導体装置の製造工程において用いられるホトマス
ク、特に防塵膜をレチクルマスク表面へ取付ける方法に
関し、 防塵膜の交換に際し被防塵マスクから接着されたフレ
ームを、容易に剥離できる防塵膜の取付け方法の提供を
目的とし、 一方に防塵膜が展着されたフレームを接着することに
よって、塵埃が表面に付着するのを防止するマスクの防
塵方法において、フレームを接着するに先立って被防塵
マスクの表面に、ポリビニルアルコール（以下PVAと略
称する）皮膜が形成されるように構成する。
ク、特に防塵膜をレチクルマスク表面へ取付ける方法に
関し、 防塵膜の交換に際し被防塵マスクから接着されたフレ
ームを、容易に剥離できる防塵膜の取付け方法の提供を
目的とし、 一方に防塵膜が展着されたフレームを接着することに
よって、塵埃が表面に付着するのを防止するマスクの防
塵方法において、フレームを接着するに先立って被防塵
マスクの表面に、ポリビニルアルコール（以下PVAと略
称する）皮膜が形成されるように構成する。
本発明は半導体装置の製造工程において用いられるホ
トマスクに係り、特に防塵膜をレチクルマスク表面へ取
付ける方法に関する。
トマスクに係り、特に防塵膜をレチクルマスク表面へ取
付ける方法に関する。
半導体装置の歩留りを低下させる最大の要因は塵埃の
付着であり、特にホトマスクを形成する際の基準となる
レチクルマスクに塵埃が付着すると、ホトマスクに欠陥
が生じ正常なパターンの形成が不可能になる。かかるマ
スク表面への塵埃の付着を防止する手段として一般に、
ペリクル膜と称する防塵膜がマスク表面に取付けられて
いる。
付着であり、特にホトマスクを形成する際の基準となる
レチクルマスクに塵埃が付着すると、ホトマスクに欠陥
が生じ正常なパターンの形成が不可能になる。かかるマ
スク表面への塵埃の付着を防止する手段として一般に、
ペリクル膜と称する防塵膜がマスク表面に取付けられて
いる。
しかし取付け方法に不備があると防塵膜を交換する際
にマスクが損傷を受ける。そこでマスクを損傷すること
なく容易に防塵膜が交換できる取付け方法の実現が望ま
れている。
にマスクが損傷を受ける。そこでマスクを損傷すること
なく容易に防塵膜が交換できる取付け方法の実現が望ま
れている。
第３図は従来の防塵膜の取付け方法を示す側断面図で
ある。
ある。
図において従来の防塵膜の取付け方法はレチクルマス
ク１の両面に、レチクルマスク１の四方を取り囲むフレ
ーム２が接着され、ニトロセルロースからなる極く薄い
防塵膜、即ちペリクル膜３がフレーム２の反対側の端面
に展着されている。なおレチクルマスク１とフレーム２
の間に介在する４は接着剤である。
ク１の両面に、レチクルマスク１の四方を取り囲むフレ
ーム２が接着され、ニトロセルロースからなる極く薄い
防塵膜、即ちペリクル膜３がフレーム２の反対側の端面
に展着されている。なおレチクルマスク１とフレーム２
の間に介在する４は接着剤である。
このようにレチクルマスク１の四方をフレーム２で取
り囲み、光をよく通す防塵膜３をレチクルマスク１から
離れた位置に設けることによって、レチクルマスク１の
表面への塵埃の付着を防止することができる。また防塵
膜３の表面に塵埃が付着してもレチクルマスク１から離
れていて輪郭がぼけるため、塵埃が小さければホトマス
クを形成する際の障害にはならない。
り囲み、光をよく通す防塵膜３をレチクルマスク１から
離れた位置に設けることによって、レチクルマスク１の
表面への塵埃の付着を防止することができる。また防塵
膜３の表面に塵埃が付着してもレチクルマスク１から離
れていて輪郭がぼけるため、塵埃が小さければホトマス
クを形成する際の障害にはならない。
しかし長期間使用すると防塵膜３の表面に付着する塵
埃が増加し、レチクルマスク１からフレーム２を外して
防塵膜３を交換しなければならない。しかるに従来の取
付け方法ではフレーム２が直接レチクルマスク１に接着
されているため、レチクルマスク１から外す際にフレー
ム２が変形し再使用が不可能な場合がある。またレチク
ルマスク１からフレーム２を外す際にマスク面に傷がつ
いたり、レチクルマスク１に残った接着剤によってマス
ク面が汚染されたりする等の問題があった。
埃が増加し、レチクルマスク１からフレーム２を外して
防塵膜３を交換しなければならない。しかるに従来の取
付け方法ではフレーム２が直接レチクルマスク１に接着
されているため、レチクルマスク１から外す際にフレー
ム２が変形し再使用が不可能な場合がある。またレチク
ルマスク１からフレーム２を外す際にマスク面に傷がつ
いたり、レチクルマスク１に残った接着剤によってマス
ク面が汚染されたりする等の問題があった。
本発明の目的は防塵膜の交換に際し被防塵マスクから
接着されたフレームを、容易に剥離できる防塵膜の取付
け方法を提供することにある。
接着されたフレームを、容易に剥離できる防塵膜の取付
け方法を提供することにある。
第１図は本発明になる防塵膜の取付け方法を示す側断
面図である。なお全図を通し同じ対象物は同一記号で表
している。
面図である。なお全図を通し同じ対象物は同一記号で表
している。
上記課題は一方に防塵膜３が展着されたフレーム２を
接着することによって、塵埃が表面に付着するのを防止
するマスク１の防塵方法において、フレーム２を接着す
るに先立って被防塵マスク１の表面に、PVA皮膜５が形
成される本発明になる防塵膜の取付け方法により達成さ
れる。
接着することによって、塵埃が表面に付着するのを防止
するマスク１の防塵方法において、フレーム２を接着す
るに先立って被防塵マスク１の表面に、PVA皮膜５が形
成される本発明になる防塵膜の取付け方法により達成さ
れる。
第１図において接着に先立って被防塵マスクの表面に
PVA皮膜を形成しておくことによって、防塵膜の交換に
際しフレームおよび接着剤の被防塵マスクからの剥離が
極めて容易になり、被防塵マスクとフレームの損傷が少
ない防塵膜の取付け方法を実現することができる。
PVA皮膜を形成しておくことによって、防塵膜の交換に
際しフレームおよび接着剤の被防塵マスクからの剥離が
極めて容易になり、被防塵マスクとフレームの損傷が少
ない防塵膜の取付け方法を実現することができる。
以下添付図により本発明の実施例について説明する。
なお第２図はフレームとレチクルマスクの接合部を示す
図である。
なお第２図はフレームとレチクルマスクの接合部を示す
図である。
本発明にある防塵膜の取付け方法では第１図に示す如
く、レチクルマスク１の両面にPVA皮膜５がスピンコー
ト法によって形成され、レチクルマスク１の四方を取り
囲むフレーム２は接着剤４を用いて、PVA皮膜５を挟ん
でレチクルマスク１に接着されている。
く、レチクルマスク１の両面にPVA皮膜５がスピンコー
ト法によって形成され、レチクルマスク１の四方を取り
囲むフレーム２は接着剤４を用いて、PVA皮膜５を挟ん
でレチクルマスク１に接着されている。
またフレーム２の反対側の端面にはニトロセルロース
からなる防塵膜３が展着されている。PVA皮膜５および
ニトロセルロースからなる防塵膜３は光をよく通し、か
かる膜を設けることによってレチクルマスクの機能が阻
害されることは無い。
からなる防塵膜３が展着されている。PVA皮膜５および
ニトロセルロースからなる防塵膜３は光をよく通し、か
かる膜を設けることによってレチクルマスクの機能が阻
害されることは無い。
レチクルマスク１の両面に形成されたPVA皮膜５は水
溶性で、レチクルマスクからフレームを外して防塵膜を
交換する際は、レチクルマスクを水に浸すことによって
フレームが接着剤と共に容易に剥離され、レチクルマス
ク１から外す際にフレーム２が変形すると、マスク面に
傷がついたり接着剤でマスク面が汚染されたりする等の
障害が無くなる。
溶性で、レチクルマスクからフレームを外して防塵膜を
交換する際は、レチクルマスクを水に浸すことによって
フレームが接着剤と共に容易に剥離され、レチクルマス
ク１から外す際にフレーム２が変形すると、マスク面に
傷がついたり接着剤でマスク面が汚染されたりする等の
障害が無くなる。
その他に従来の防塵膜の取付け方法ではレチクルマス
ク１と、フレーム２および防塵膜３で囲まれた空間は完
全に密封されており、露光時の熱によって内部の温度が
上昇し空気が膨張すると、防塵膜３が盛り上がってマス
ク形成を阻害する場合がある。
ク１と、フレーム２および防塵膜３で囲まれた空間は完
全に密封されており、露光時の熱によって内部の温度が
上昇し空気が膨張すると、防塵膜３が盛り上がってマス
ク形成を阻害する場合がある。
しかし本発明になる防塵膜の取付け方法では第２図に
示す如く、スピンコート法によって形成されたPVA皮膜
５の表面には凹凸６があり、レチクルマスク１とフレー
ム２および防塵膜３で囲まれた空間の空気は、この凹凸
６と接着剤４とで形成される隙間を通して出入りするこ
とができ、内部温度の上昇によって空気が膨張しても防
塵膜３が盛り上がることは無い。
示す如く、スピンコート法によって形成されたPVA皮膜
５の表面には凹凸６があり、レチクルマスク１とフレー
ム２および防塵膜３で囲まれた空間の空気は、この凹凸
６と接着剤４とで形成される隙間を通して出入りするこ
とができ、内部温度の上昇によって空気が膨張しても防
塵膜３が盛り上がることは無い。
ちなみに発明者らが行った実験によればPVA皮膜５の
膜厚が、5000Å程度のときにフレーム２の接着や剥離が
最も円滑に行われる。しかもこのときの表面における凹
凸には約1000Åの高低差があり、レチクルマスクとフレ
ームおよび防塵膜で囲まれた空間に、この凹凸の間を通
して空気を出入りさせることが充分可能である。なお同
時に塵埃も出入りするがその程度の大きさの塵埃は実用
上問題にはならない。
膜厚が、5000Å程度のときにフレーム２の接着や剥離が
最も円滑に行われる。しかもこのときの表面における凹
凸には約1000Åの高低差があり、レチクルマスクとフレ
ームおよび防塵膜で囲まれた空間に、この凹凸の間を通
して空気を出入りさせることが充分可能である。なお同
時に塵埃も出入りするがその程度の大きさの塵埃は実用
上問題にはならない。
このように接着に先立って被防塵マスクの表面にPVA
皮膜を形成しておくことによって、防塵膜の交換に際し
フレームおよび接着剤の被防塵マスクからの剥離が極め
て容易になり、被防塵マスクとフレームの損傷が少ない
防塵膜の取付け方法を実現することができる。
皮膜を形成しておくことによって、防塵膜の交換に際し
フレームおよび接着剤の被防塵マスクからの剥離が極め
て容易になり、被防塵マスクとフレームの損傷が少ない
防塵膜の取付け方法を実現することができる。
以上の如く本発明によれば防塵膜の交換に際し被防塵
マスクから接着されたフレームを、容易に剥離できる防
塵膜の取付け方法を提供することができる。
マスクから接着されたフレームを、容易に剥離できる防
塵膜の取付け方法を提供することができる。
第１図は本発明になる防塵膜の取付け方法を示す側断面
図、 第２図はフレームとレチクルマスクの接合部を示す図、 第３図は従来の防塵膜の取付け方法を示す側断面図、 である。図において １はレチクルマスク、２はフレーム、 ３は防塵膜、４は接着剤、 ５はPVA皮膜、６は凹凸、 をそれぞれ表す。
図、 第２図はフレームとレチクルマスクの接合部を示す図、 第３図は従来の防塵膜の取付け方法を示す側断面図、 である。図において １はレチクルマスク、２はフレーム、 ３は防塵膜、４は接着剤、 ５はPVA皮膜、６は凹凸、 をそれぞれ表す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 有賀 隆 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 義本 英司 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 二村 誠也 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 森尻 勝 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】一方に防塵膜（３）が展着されたフレーム
（２）を接着することによって、塵埃が表面に付着する
のを防止するマスク（１）の防塵方法において、 フレーム（２）を接着するに先立ち被防塵マスク（１）
の表面に、ポリビニルアルコール皮膜（５）が形成され
ることを特徴とする防塵膜の取付け方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28921388A JP2658297B2 (ja) | 1988-11-16 | 1988-11-16 | 防塵膜の取付け方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28921388A JP2658297B2 (ja) | 1988-11-16 | 1988-11-16 | 防塵膜の取付け方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02135346A JPH02135346A (ja) | 1990-05-24 |
| JP2658297B2 true JP2658297B2 (ja) | 1997-09-30 |
Family
ID=17740245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28921388A Expired - Lifetime JP2658297B2 (ja) | 1988-11-16 | 1988-11-16 | 防塵膜の取付け方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2658297B2 (ja) |
-
1988
- 1988-11-16 JP JP28921388A patent/JP2658297B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02135346A (ja) | 1990-05-24 |
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