JPWO2023282214A5

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Publication number: JPWO2023282214A5
Application number: JP2023533112A
Authority: JP
Filing date: 2022-07-01
Publication date: 2024-04-30

Claims

感光基板を走査方向に移動させながら、前記感光基板に露光パターンを露光する露光装置であって、
前記露光パターンに応じて制御される複数の第１素子を有する第１空間光変調器と、前記複数の第１素子を制御する第１コントローラおよび第１電源回路の一方と、を含む第１空間光変調ユニットと、
前記第１空間光変調器からの光を前記感光基板に照射する第１投影光学系と、
前記露光パターンに応じて制御される複数の第２素子を有する第２空間光変調器と、前記複数の第２素子を制御する第２コントローラおよび第２電源回路の一方と、を含む第２空間光変調ユニットと、
前記第２空間光変調器からの光を前記感光基板に照射する第２投影光学系と、を含み、
前記第１投影光学系と前記第２投影光学系とは、第１方向に並び、
前記第１コントローラおよび前記第１電源回路の前記一方と、前記第１空間光変調器とは、前記第１方向よりも前記走査方向に近い第２方向に並び、
前記第２コントローラおよび前記第２電源回路の前記一方と、前記第２空間光変調器とは、前記第１方向よりも前記走査方向に近い方向に並ぶ、
露光装置。
前記第１コントローラは、前記第１空間光変調器の前記第２方向における一方側に配置される一方側コントローラと、前記第１空間光変調器の前記第２方向における他方側に配置される他方側コントローラとを有する、または、前記一方側コントローラと、前記一方側コントローラと前記第２方向に交差する方向に並んで配置されるコントローラと、を有する、請求項１に記載の露光装置。
前記第１空間光変調ユニットは、前記第１電源回路および通信回路が搭載された第１基板を含み、
前記第１電源回路は、前記第１基板の外部に繋がる電源ケーブルに接続され、
前記通信回路は、前記第１基板の外部に繋がるデータ通信ケーブルに接続され、
前記第１電源回路及び前記通信回路は、前記第１空間光変調器と、前記第２方向に並ぶ、請求項１に記載の露光装置。
前記第１空間光変調ユニットは、前記第１コントローラを冷却するヒートシンクを含み、
前記第１基板の表側は、前記第１空間光変調器からの光が出射される側であり、
前記第１基板の裏側に、前記第１コントローラが搭載されている、
請求項３に記載の露光装置。
前記第１空間光変調器は、前記第１基板の前記裏側に配置されたペルチェ素子を介して、または、前記第１空間光変調器と前記ペルチェ素子の間の中間部および前記ペルチェ素子を介して、前記ヒートシンクに冷却される、請求項４に記載の露光装置。
前記感光基板を、前記第１投影光学系および前記第２投影光学系に対して前記走査方向に移動させるステージを、含み、
前記第１空間光変調器は、平面視において、前記複数の第１素子が配列される配列方向が前記走査方向と交差するように、前記第１基板に搭載される、請求項３から請求項５のいずれか１項に記載の露光装置。
感光基板を走査方向に移動させながら、前記感光基板に露光パターンを露光する露光装置に用いる空間光変調ユニットであって、
複数の素子を有する空間光変調器と、
前記露光パターンに応じて前記複数の素子を制御するコントローラと、
前記空間光変調器及び前記コントローラへ電力を供給する供給部と、
前記空間光変調器及び前記コントローラが搭載されたＳＬＭ基板と、を含み、
前記ＳＬＭ基板は、
前記空間光変調器が搭載され、前記供給部の一部が連結された第１基板と、
前記コントローラが搭載され、前記供給部の他部が連結された第２基板と、を含み、
前記第２基板のうち前記コントローラが搭載された第２面を含む平面は、前記第１基板のうち前記空間光変調器が搭載された第１面を含む平面と交差する、空間光変調ユニット。
前記ＳＬＭ基板は、前記第１基板と前記第２基板とを連結して屈曲する屈曲部を含み、
前記屈曲部は、前記第１基板の板厚及び前記第２基板の板厚より薄い板厚を有する、請求項７に記載の空間光変調ユニット。
前記ＳＬＭ基板は、芯層と、前記芯層を覆う表層とを含み、
前記屈曲部における前記芯層は露出している、請求項８に記載の空間光変調ユニット。
前記第２面は、前記走査方向に対して垂直である、請求項７に記載の空間光変調ユニット。
前記ＳＬＭ基板は、第３基板を含み、
前記第３基板における表側面を含む平面は、前記第１面と前記第２面の少なくとも１つと交差する、請求項７から請求項１０のいずれか１項に記載の空間光変調ユニット。
前記コントローラを冷却するヒートシンクを含み、
前記ＳＬＭ基板の表側は、前記空間光変調器からの光が出射される側であり、
前記ＳＬＭ基板の裏側に、前記コントローラが搭載されている、
請求項７に記載の空間光変調ユニット。
前記空間光変調器は、前記ＳＬＭ基板の裏側に配置されたペルチェ素子を介して、または、前記空間光変調器と前記ペルチェ素子の間の中間部および前記ペルチェ素子を介して、前記ヒートシンクに冷却される、請求項１２に記載の空間光変調ユニット。
感光基板を走査方向に移動させながら、前記感光基板に露光パターンを露光する露光装置に用いる空間光変調ユニットであって、
複数の素子を有する空間光変調器と、
前記露光パターンに応じて前記複数の素子を制御するコントローラと、
前記空間光変調器及び前記コントローラが搭載されたＳＬＭ基板と、
前記コントローラを冷却するヒートシンクと、を含み、
前記ＳＬＭ基板の表側は、前記空間光変調器からの光が出射される側であり、
前記ＳＬＭ基板の裏側に、前記コントローラが搭載されている、
空間光変調ユニット。
前記空間光変調器は、前記ＳＬＭ基板の裏側に配置されたペルチェ素子を介して、または、前記空間光変調器と前記ペルチェ素子の間の中間部および前記ペルチェ素子を介して、前記ヒートシンクに冷却される、請求項１４に記載の空間光変調ユニット。
前記ヒートシンクは、前記空間光変調器の反射面に直交する基準軸を中心に回動可能なＳＬＭステージに支持される、請求項１４または請求項１５に記載の空間光変調ユニット。
前記ヒートシンクは、前記感光基板の感光面に沿って、前記走査方向及び前記走査方向に交差する方向に移動可能なＳＬＭステージに支持される、請求項１４に記載の空間光変調ユニット。
前記ヒートシンクは、６自由度で移動可能なＳＬＭステージに支持される、請求項１４に記載の空間光変調ユニット。
前記ヒートシンクは、冷媒を通す流路を含み、
前記空間光変調器は、前記コントローラより、前記流路の上流側に配置される
請求項１４に記載の空間光変調ユニット。
複数の素子を有する空間光変調器と、露光パターンに応じて前記複数の素子を制御するコントローラと、前記空間光変調器及び前記コントローラが搭載されたＳＬＭ基板と、を有する空間光変調ユニットと、
感光基板を、前記空間光変調ユニットに対して、走査方向へ移動させる基板ステージと、
前記コントローラにより制御された前記複数の素子で形成されたパターンの像を、前記感光基板上に投影する投影光学系と、を含み、
前記コントローラと前記空間光変調器とは、平面視において前記走査方向に並んでＳＬＭ基板に搭載される、露光装置。
走査方向に基板を移動させながら前記基板を露光する露光装置であって、
フライアイレンズを含む照明光学系と、
前記フライアイレンズを通過した前記照明光学系からの光によって照明される空間光変調器と、
前記空間光変調器からの光を前記基板に照射する投影光学系と、
前記基板を前記投影光学系に対して前記走査方向に移動させるステージと、を含み、
前記照明光学系と前記空間光変調器とは、前記走査方向に並んで配置される、露光装置。
第１空間光変調器が搭載された第１基板と、
前記第１空間光変調器からの光を感光基板に照射する第１投影光学系と、
第２空間光変調器が搭載された第２基板と、
前記第２空間光変調器からの光を前記感光基板に照射する第２投影光学系と、を含み、
前記第１投影光学系と前記第２投影光学系とは、第１方向に並び、
前記第１基板の長手方向は前記第１方向と交差する方向を向き、
前記第２基板の長手方向は前記第１方向と交差する方向を向く、
露光装置。
前記感光基板を走査方向に移動させるステージを含み、
前記第１基板の前記長手方向は、前記第１方向よりも前記走査方向に近く、
前記第２基板の前記長手方向は、前記第１方向よりも前記走査方向に近い、
請求項２２に記載の露光装置。
前記第１基板には、前記第１空間光変調器を制御するコントローラおよび電源回路の一方が搭載され、
前記第１空間光変調器と、前記コントローラおよび前記電源回路の前記一方は前記第１基板の前記長手方向に並ぶ、
請求項２２または請求項２３に記載の露光装置。
前記第１空間光変調器を照明する照明光学系を含み、
前記照明光学系と、前記第１空間光変調器とは、前記走査方向に並ぶ、
請求項２３に記載の露光装置。
前記第１空間光変調器は前記第１基板の第１面側に設けられ、
前記コントローラおよび前記電源回路の前記一方は、前記第１基板に連結された第３基板の第１面側に設けられ、
前記第１基板の前記第１面を含む平面は、前記第３基板の前記第１面を含む平面と交差する、
請求項２４に記載の露光装置。
前記第１空間光変調器は、複数の素子を含み、
前記複数の素子が配列する配列方向は、前記走査方向と交差する、
請求項２３に記載の露光装置。