JPWO2015137263A1 - 耐水性に優れた窒化アルミニウム粉末 - Google Patents
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Abstract
Description
サーマルインターフェースマテリアルとは、半導体素子の発生する熱をヒートシンクまたは筐体等に逃がす経路の熱抵抗を緩和するための材料であり、シート、ゲル、グリース、放熱基板、半導体封止材など多様な形態が用いられている。一般に、このサーマルインターフェースマテリアルは熱伝導性のフィラーを、エポキシ、シリコーンの様な樹脂に分散した複合材料で、フィラーとしてはシリカやアルミナが多く用いられている。しかし、シリカ、アルミナの熱伝導率は各々1W/mK、30W/mK程度であり、アルミナを用いた複合材料でも、その熱伝導率は1〜3W/mK程度に留まっている。
このような問題を解決するための手段として、特許文献1には、酸化アルミニウム被膜もしくはリン酸系被膜を有する窒化アルミニウム粉末を、有機珪素系カップリング剤、有機燐酸系カップリング剤またはホスフェート基含有の有機チタン系カップリング剤で処理する方法が提案されている。
また、特許文献2には、リン酸、リン酸の金属塩又は炭素数が12以下の有機基を有する有機リン酸で窒化アルミニウム粉末を処理する方法が提案されている。
また、処理剤として、リン酸などのリン系化合物により処理された窒化アルミニウム粉末を用いた場合には、回路に対する腐食性が懸念されるため、その溶出量は可及的に低い事が要求されている。
更に、窒化アルミニウムは樹脂との親和性に問題があり、樹脂との混合時に粘度が高くなりすぎるため、多量の窒化アルミニウムを樹脂に配合することができず、また、樹脂との間にボイドが発生してしまい、熱伝導率が高くならない等の問題点を有している。
本発明の他の目的は、樹脂に配合したときの増粘も有効に抑制されている窒化アルミニウム粉末を提供することにある。
本発明のさらに他の目的は、上記の窒化アルミニウム粉末を得るために使用される表面処理剤、及び上記窒化アルミニウム粉末が配合されており、高い熱伝導率を有する放熱用複合材料を提供することにある。
(1)前記窒化アルミニウム粉末1gを50gのイオン交換水に浸漬し、密封容器中で120℃、24時間保持した時のリンの溶出量が5ppm以下に抑制されていること、
(2)前記窒化アルミニウム粉末2gを100gのイオン交換水に浸漬し、密封容器中で120℃に保持したとき、pHが10に到達する時間で示される耐水時間が6時間以上であること、
という特性を有しており、特に、用いるアルキルホスホン酸のアルキル基の炭素数の調整により、耐水性がより高められていることが好ましく、例えば、
(3)前記耐水時間が2日以上であること、
さらには、
(4)前記耐水時間が5日以上であること、
が好ましい。
かかる表面処理剤においては、
(5)前記アルキルホスホン酸が有するアルキル基の炭素数が10〜30、特に14〜30の範囲にあること、
が好ましい。
本発明によれば、さらに、前述した窒化アルミニウム粉末と樹脂とを含む放熱用複合材料が提供される。
本発明のAlN粉末は、アルキルホスホン酸を用いての表面処理により得られるものであるが、この表面処理に供されるAlN粉末(即ち、原料AlN粉末)は、特に限定されず公知の窒化アルミニウム粉末が用いられる。
原料として用いるAlNの製造方法としては、直接窒化法、還元窒化法、気相合成法などがあるが、本発明において、原料AlN粉末としては、いずれの方法により製造されたものを用いることができる。
また、このような原料AlN粉末は、その粒子表面に酸化アルミニウム層が形成されているものであってもよく、酸化アルミニウム層の形成は、良好な耐水性を得るために好適である。
また、直接窒化法および気相合成法では、窒化工程後に粉砕工程があり、粉砕時に新たに生成する表面が雰囲気中の酸素と反応して酸化アルミニウム層が形成される。但し、このようにして形成される酸化アルミニウム層は高い耐水性を得るためには不十分な場合があり、その様な時には、粉砕後の窒化アルミニウム粉末を大気中に放置することにより酸化アルミニウム層を形成することも可能である。さらに、酸化アルミニウム層を形成する好ましい方法としては、粉砕後の窒化アルミニウム粉末を酸素含有雰囲気中で400℃〜1000℃、好ましくは500℃〜900℃で加熱することにより、所望の酸化アルミニウム層を形成することが可能である。
本発明では、アルキルホスホン酸を表面処理剤として使用する。
このアルキルホスホン酸は、下記式(1);
R−P(=O)(OH)2 (1)
式中、
Rはアルキル基である、
で表される有機リン系化合物であり、上記のアルキル基Rは、直鎖状であっても分岐鎖状であってもよい。
即ち、水の侵入により、耐水性の低下ばかりか、アルキルホスホン酸がAlN表面から脱離し易くなり、この結果、リンの溶出量も多くなってしまう。しかるに、炭素数が多くなり、アルキル鎖が長くなると、AlNとアルキルホスホン酸との界面に水が浸入しにくくなり、この結果、耐水性が向上するばかりか、リンの溶出性も低く抑えることが可能になるものと思われる。
即ち、一般の有機物の熱伝導率は、AlNよりはるかに低いことから理解されるように、アルキル鎖が長くなると、AlN表面での有機物(アルキル基)の被覆厚さが大きくなり、この結果、このAlN粒子と樹脂との界面での熱抵抗も大きくなってしまうためと本発明者等は推察している。
このようなリン酸系化合物とアルキルホスホン酸と相違は、明確に解明されているわけではないが、おそらく、AlN表面に存在する塩基性点の触媒作用により、AlN表面に担持されたリン酸系化合物が、僅かな水分の存在によって加水分解してしまうが、アルキルホスホン酸では、このような加水分解が生じ難いため、このような相違が生じるものと思われる。
上述したアルキルホスホン酸を用いての原料AlN粉末の表面処理は、この粉末に、乾式法或いは湿式法でアルキルホスホン酸を接触させることにより行うことができる。
即ち、得られる表面処理AlN粉末における炭素含量が上記範囲よりも少ないと、良好な耐水性を得ることができず、上記範囲よりも多いと、この表面処理AlN粉末を樹脂に分散させたときの複合材料の熱伝導率が低下する恐れがある。
一般的には、湿式法により表面処理が行われる。少量のアルキルホスホン酸の使用により、均一に表面処理を行うことができるため、工業的に有利だからである。
水;
メタノール、エタノール、1−プロパノール、2−プロパノール、1−ブタノール、2−ブタノール、イソブタノール等のアルコール類;
ギ酸メチル、ギ酸エチル、ギ酸プロピル、ギ酸ブチル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル等のエステル類;
アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン類;
ジオキサン、ジエチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルなどのエーテル類;
メチレンクロライド、クロロホルムなどの含ハロゲン類;
即ち、上記のメジアン径/一次粒子径比は、二次粒子(凝集体)を形成する一次粒子の数を意味し、この比を上記範囲とすることでアルキルホスホン酸に表面処理が均一に効果的に行われる。
混合撹拌時間は、得られる表面処理窒化アルミニウム粉末における炭素含量前述した範囲となる程度に設定される。
このような乾燥は、これに限定されるものではないが、一般に、常圧オーブン、減圧オーブン、スプレードライヤー、媒体流動乾燥機、乾燥機構を備えた揺動ミキサー、プロシェアミキサーなどにより行われる。
このようにアルキルホスホン酸を処理剤として用いての表面処理により得られる本発明のAlN粉末(以下、耐水性窒化アルミニウム粉末と呼ぶことがある)は、炭素含量が0.4〜2.0質量%、特に0.5〜1.8質量%の範囲にあり、良好な耐水性を有する。
例えば、その耐水時間は、6時間以上であり、用いるアルキルスルホン酸のアルキル基の炭素数によっては、1日以上、さらには2日以上と長く、5日以上のものもある。
本発明の耐水性AlN粉末は、その高い熱伝導率を利用して、樹脂と混合して放熱用複合材料として好適に使用される。
このような目的に使用される樹脂としては、特に制限されるものではないが、以下の熱可塑性樹脂が代表的である。
ポリエチレン、ポリプロピレン、
エチレン−プロピレン共重合体、ポリメチルペンテン、
ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリ酢酸ビニル、
エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリビニルアルコール、
ポリアセタール、フッ素樹脂(ポリフッ化ビニリデン、
ポリテトラフルオロエチレン等)、
ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、
ポリエチレン2,6ナフタレート、ポリスチレン、
ポリアクリロニトリル、スチレン−アクリロニトリル共重合体、
ABS樹脂、ポリフェニレンエーテル(PPE)樹脂、
変性PPE樹脂、脂肪族ポリアミド類、芳香族ポリアミド類、
ポリイミド、ポリアミドイミド、
ポリメタクリル酸類(ポリメタクリル酸メチル等のポリメタクリル酸エステル)、
ポリアクリル酸類、ポリカーボネート、
ポリフェニレンスルフィド、ポリサルホン、
ポリエーテルサルホン、ポリエーテルニトリル、
ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、
ポリケトン、液晶ポリマー、アイオノマーなど。
勿論、熱可塑性樹脂以外にも、エポキシ類、アクリル類、ウレタン類、シリコーン類、フェノール類、イミド類、熱硬化型変性PPE類、および熱硬化型PPE類などの熱硬化性樹脂を使用することもできる。
以下の実験で用いた試験方法を以下に示す。
AlN粉末2gとイオン交換水100gを容量120mlのポリテトラフルオロエチレン製密封容器(PFA耐圧ジャー:フロン工業社製)に入れ、120℃で静置し、6時間後、12時間後、24時間後およびそれ以降の水のpHをpH試験紙にて測定した。
pH10以上となるまでの時間を耐水時間とし、6時間未満、6時間以上12時間未満、12時間以上24時間未満、1日およびそれ以上の日数として記録した。
AlN粉末2.0gとエポキシ樹脂(ZX−1059:新日鉄化学社製)0.91gを乳鉢で混合した後、レオメーター(AR2000ex:TA Instruments社製)を用い、25.5℃にて複合材料の粘度を測定した。
AlN粉末2.00gと、エポキシ樹脂(JER807:三菱化学社製)0.37gおよびエポキシ樹脂硬化剤(JERキュア113:三菱化学社製)0.12gとを乳鉢で混合した後、直径15mmの穴のあいた厚さ15mmのポリテトラフルオロエチレン製モールドに充填した。
このポリテトラフルオロエチレン板の両面からPETフィルムと厚さ1mmのポリテトラフルオロエチレン板で挟み、熱プレス器(アズワン社製)を用い80℃、20MPaにて3時間加熱した。
モールドから硬化したサンプルを取出し、回転研磨機を用いてサンプルの厚さが1.0〜1.1mmの間となるように研磨した。
このサンプルの熱伝導率を熱伝導率計(PS−7:理学電気株式会社製)にて測定した。
表面処理前のAlN粉末と表面処理後のAlN粉末(耐水性AlN粉末)について、酸素気流中、1350℃にて、CO2ガスが発生しなくなるまで焼成し、発生したCO2ガス量から炭素分析装置(例えば、EMIA−110:堀場製作所社製)を用いて炭素含有量を定量し、下記式により、耐水性AlN粉末の炭素含量を算出した。
炭素含有量=(A−B)/C
A:表面処理後の炭素量
B:表面処理前の炭素量
C:表面処理後のAlN粉末の質量
即ち、この炭素量は、アルキルホスホン酸による表面処理によって増加した炭素量の割合を示し、表面処理量に対応する。
AlN粉末1gおよび水50gを密封容器に投入後、120℃にて24時間静置した。遠心分離器(SN−1050:アズワン社製)を用いて固液分離を行い、この後、フィルターを用いて更に固体成分を除去し、得られた溶出液を適宜希釈し、1%の硝酸溶液とした。
この硝酸溶液をICP発光分析装置(iCAP 6500:Thermo Scientific社製)にて発光分析し、リンの溶出量を定量し、上記溶出液における濃度(ppm)として表示した。
AlN粉末H:
BET比表面積2.6m2/g,トクヤマ社製グレードH
AlN粉末UM:
BET比表面積1.1m2/g,東洋アルミニウム社製UM
AlN粉末JD:
BET比表面積2.2m2/g,東洋アルミニウム社製JD
また、実験に用いたアルキルホスホン酸としては、全て和光純薬者製のものを使用し、超音波洗浄機としては、アズワン社製USD−2Rを用いた。
デシルホスホン酸0.6g、イソプロパノール(トクヤマ社製IPA−SE)30gをサンプル瓶に入れて密栓し混合後、40℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った。
次いで、AlN粉末H30gを、上記のサンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合した。次いで、40℃に加熱した超音波洗浄機にて、この混合液に10分間超音波照射を行った後、サンプル瓶内のスラリーをシャーレに移し、オーブンにて200℃にて3時間真空乾燥した。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
ドデシルホスホン酸0.75g、水20gおよびエタノール(試薬特級:和光純薬社製)15gをサンプル瓶に入れて密栓し混合後、40℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った。
次いで、AlN粉末H30gをサンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合し、さらに、40℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った後、実施例1と同様にして真空乾燥した。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
ドデシルホスホン酸0.60g、水21gおよびイソプロパノール9g(IPA−SE:トクヤマ社製)をサンプル瓶に入れて密栓し混合後、40℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った。
次いで、AlN粉末UM30gをサンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合し、さらに40℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った後、実施例1と同様にして真空乾燥した。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
ドデシルホスホン酸0.45g、イソプロパノール30g(IPA−SE:トクヤマ社製)をサンプル瓶に入れて密栓し混合後、40℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った。
次いで、AlN粉末JD30gをサンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合した。40℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った後、実施例1と同様にして真空乾燥した。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
テトラデシルホスホン酸0.54g、水30gをサンプル瓶に入れて密栓し混合後、50℃に加熱した超音波洗浄機を用いて10分間超音波照射を行った。
次いで、AlN粉末H15gおよびAlN粉末UM15gをサンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合し、さらに、50℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った後、実施例1と同様にして真空乾燥を行った。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
ヘキサデシルホスホン酸0.30g、水24gおよびイソプロパノール6g(IPA−SE:トクヤマ社製)をサンプル瓶に入れて密栓し混合後、70℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った。
次いで、AlN粉末H15gおよびAlN粉末UM15gをサンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合し、さらに、50℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った後、実施例1と同様にして真空乾燥を行った。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
ヘキサデシルホスホン酸0.60g、水24gおよびメタノール(試薬特級:和光純薬社製)16gをサンプル瓶に入れて密栓し混合後、70℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った。
次いで、AlN粉末H30gをサンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合し、さらに50℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った後、実施例1と同様にして真空乾燥した。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
ヘキサデシルホスホン酸0.75g、水40gをサンプル瓶に入れて密栓し混合後、70℃に加熱した超音波洗浄機を用いて10分間超音波照射を行った。
ついで、AlN粉末H30gをサンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合し、さらに50℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った後、実施例1と同様にして真空乾燥した。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
オクタデシルホスホン酸(和光純薬社製)0.27g、水40gをサンプル瓶に入れて密栓し混合後、80℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った。
次いで、AlN粉末H30gをサンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合し、さらに50℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った後、実施例1と同様にして真空乾燥した。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
オクタデシルホスホン酸0.36g、水30gおよびエタノール(試薬特級:和光純薬社製)10gをサンプル瓶に入れて密栓し混合後、80℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った。
次いで、AlN粉末H30gをサンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合し、さらに50℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った後、実施例1と同様にして真空乾燥した。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
オクタデシルホスホン酸0.45g、水30gおよびイソプロパノール(IPA−SE:トクヤマ社製)10gをサンプル瓶に入れて密栓し混合後、50℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った。
次いで、AlN粉末JD30gをサンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合し、さらに、50℃に加熱した超音波洗浄機(USD−2R:アズワン社製)にて10分間超音波照射を行った後、実施例1と同様にして真空乾燥した。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
ブチルホスホン酸0.60g、水30gをサンプル瓶に入れて密栓し混合後、40℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った。
次いで、AlN粉末H30gをサンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合し、さらに40℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った後、実施例1と同様にして真空乾燥した。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
オクチルホスホン酸0.30g、水30gをサンプル瓶に入れて密栓し混合後、40℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った。
次いで、AlN粉末H30gをサンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合し、さらに40℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った後、実施例1と同様にして真空乾燥した。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
オクチルホスホン酸0.45g、水30gをサンプル瓶に入れて密栓し混合後、40℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った。
次いで、AlN粉末H30gをサンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合し、さらに、40℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った後、実施例1と同様にして真空乾燥した。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
表面処理のために用意したAlN粉末Hについて、測定した耐水性及びこのAlN粉末Hを用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表1に示す。
表面処理のために用意したAlN粉末JDについて、その物性及び量を表1に示し、測定した耐水性及びこのAlN粉末JDを用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
ドデシルホスホン酸0.12g、水30gをサンプル瓶に入れて密栓し混合後、40℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った。
次いで、AlN粉末H30gを上記サンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合し、さらに、40℃に加熱した超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った後、実施例1と同様にして真空乾燥した。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
ドデシルホスホン酸1.50g、エタノール(試薬特級:和光純薬社製)30gをサンプル瓶に入れて密栓し混合後、超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った。
次いで、AlN粉末H30gを上記サンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合し、さらに、超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った後、実施例1と同様にして真空乾燥した。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
オクタデシルホスホン酸0.09g、エタノール(試薬特級:和光純薬社製)30gをサンプル瓶に入れて密栓し混合後、超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った。
次いで、AlN粉末H30gを上記サンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合し、さらに超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った後、実施例1と同様にして真空乾燥した。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
オクタデシルホスホン酸1.20g、エタノール(試薬特級:和光純薬社製)30gをサンプル瓶に入れて密栓し混合後、超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った。
次いで、窒化アルミニウム粉末H30gを上記サンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合し、さらに超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った後、実施例1と同様にして真空乾燥した。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
2−エチルヘキシルリン酸として、SC有機化学社製のPhoslexA−8を用意した。
上記の2−エチルヘキシルリン酸0.60g、エタノール(試薬特級:和光純薬社製)30gをサンプル瓶に入れて密栓し混合後、超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った。
次いで、窒化アルミニウム粉末H30gを上記サンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合し、さらに超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った後、サンプル瓶内のスラリーをシャーレに移し、オーブンにて80℃にて13時間乾燥した。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
ドデシルリン酸として、東邦化学社製ML−200を用意した。
上記のドデシルリン酸0.45g、エタノール(試薬特級:和光純薬社製)30gをサンプル瓶に入れて密栓し混合後、超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った。
次いで、AlN粉末H30gをサンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合し、超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った後、サンプル瓶内のスラリーをシャーレに移し、オーブンにて200℃にて3時間真空乾燥を行った。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
オクタデシルリン酸として、SC有機化学社製PhoslexA−18を用意した。
上記のオクタデシルリン酸0.60g、エタノール(試薬特級:和光純薬社製)30gをサンプル瓶に入れて密栓し混合後、超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った。
次いで、AlN粉末H30gをサンプル瓶に加えて密栓後、1分間振って混合し、超音波洗浄機にて10分間超音波照射を行った後、サンプル瓶内のスラリーをシャーレに移し、オーブンにて200℃にて3時間真空乾燥を行った。
上記の表面処理に用いたAlN粉末及び表面処理剤の種類、その物性及び量を表1に示し、得られた表面処理AlN粉末の耐水性、リンの溶出量、並びにこの表面処理AlN粉末を用いて作製した複合材料の粘度と熱伝導率を表2に示す。
Ex:実施例
Com:比較例
Dav:平均粒径
BET:BET比表面積
Claims (9)
- アルキルホスホン酸により表面処理され、炭素を0.4〜2.0質量%の量で含んでいる窒化アルミニウム粉末。
- 前記窒化アルミニウム粉末1gを50gのイオン交換水に浸漬し、密封容器中で120℃、24時間保持した時のリンの溶出量が5ppm以下に抑制されている請求項1に記載の窒化アルミニウム粉末。
- 前記窒化アルミニウム粉末2gを100gのイオン交換水に浸漬し、密封容器中で120℃に保持したとき、pHが10に到達する時間で示される耐水時間が6時間以上である請求項2に記載の窒化アルミニウム粉末。
- 前記耐水時間が2日以上である請求項3に記載の窒化アルミニウム粉末。
- 前記耐水時間が5日以上である請求項4に記載の窒化アルミニウム粉末。
- アルキルホスホン酸からなる窒化アルミニウム粉末用表面処理剤。
- 前記アルキルホスホン酸が有するアルキル基の炭素数が10〜30の範囲にある請求項6に記載の窒化アルミニウム粉末用表面処理剤。
- 前記アルキルホスホン酸が有するアルキル基の炭素数が14〜30の範囲にある請求項7に記載の窒化アルミニウム粉末用表面処理剤。
- 請求項1に記載の窒化アルミニウム粉末と樹脂とを含む放熱用複合材料。
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