JPWO2013168444A1 - 円板形ワーク用外周研磨装置 - Google Patents
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Abstract
Description
しかし、この研磨装置は、ワークに対する前記研磨具の接触角度を次第に変化させながらエッジを研磨するもので、前記特許文献1に記載の外周研磨装置とは構成及び作用が基本的に相違しているため、その技術をこの外周研磨装置にそのまま適用することはできない。
前記エッジ研磨ユニットは、前記研磨部材が交換可能に取り付けられた研磨部材取付体と、該研磨部材取付体を傾動自在に支持する取付体支持部と、前記研磨部材取付体の傾斜角度を前記研磨部材の作業面がワークのエッジと平行をなすように調整する取付体用角度調整機構と、前記研磨部材の作業面を前記ワークのエッジに押し付けて研磨荷重を加える荷重付与手段と、前記取付体支持部を前記軸線に対して傾斜する直線(揺動直線)に沿って移動自在に支持する揺動支持ベースと、前記取付体支持部を前記直線に沿って揺動させる揺動機構と、前記揺動支持ベースを傾動自在に支持するベース支持部と、前記揺動支持ベースの傾斜角度を前記直線が前記ワークのエッジと平行をなすように調整するベース用角度調整機構と、前記ベース支持部を垂直方向及び水平方向に位置補正可能に支持する基台部とを有する。
この場合に、前記取付体支持部が、前記揺動支持ベースに前記直線に沿って移動自在に支持された揺動スライドベースと、該揺動スライドベースに前記直線と直交する方向に移動自在に支持されたスライド部材とを有し、該スライド部材は前記荷重付与手段に連結され、該スライド部材に前記研磨部材取付体が支持されていることが望ましい。
図1に示す外周研磨装置は、半導体ウエハのような円板形ワークWの表裏両面の外周縁部に形成された傾斜面状のエッジEa,Eb(図4参照)を研磨するためのもので、前記ワークWを水平に保持して垂直な軸線L1の回りに回転させるチャック手段1と、前記ワークWの表面(上面)側のエッジEaを研磨する表面側のエッジ研磨ユニット2Aと、前記ワークWの裏面(下面)側のエッジEbを研磨する裏面側のエッジ研磨ユニット2Bとを有している。図1には、前記エッジ研磨ユニット2A,2BでエッジEa,Ebを研磨している状態が示されている。
前記作業面10aには、研磨材スラリーの流れを良くするための複数のスラリー溝を形成しても良い。
前記研磨部材10を交換する理由は、作業面角度γがθに等しい研磨部材は、弧状の作業面10aの断面形状が、ベベル角度θのエッジと平行に向けたとき該エッジに面接触するように形成されていて、ベベル角度θ1のエッジと平行に向けても該エッジに面接触させることができないためである。このため前記研磨部材を、作業面角度が研磨するワークのベベル角度に等しいものに交換するのである。
なお、前述の角度調整を行う際には、角度調整作業を行い易くするために、前記水平位置補正機構53及び垂直位置補正機構54にて前記チャック手段1から離間する方向に位置を調整してもよい。
2A 表面側のエッジ研磨ユニット
2B 裏面側のエッジ研磨ユニット
10 研磨部材
10a 作業面
10b 基準面
11 研磨部材取付体
12 取付体支持部
13 取付体用角度調整機構
14 荷重付与手段
15 揺動支持ベース
16 揺動機構
17 ベース支持部
18 ベース用角度調整機構
19 基台部
21 第1枢軸
29 揺動スライドベース
30 スライド部材
43 第2枢軸
51 第1基台部分
52 第2基台部分
53 水平位置補正機構
54 垂直位置補正機構
W ワーク
Ea 表面側のエッジ
Eb 裏面側のエッジ
L1 軸線
L2 揺動直線
γ 作業面角度
β,δ 傾斜角度
θ,θ1 ベベル角度
Claims (5)
- 円板形ワークの表面及び裏面の外周部分に形成された傾斜面状のエッジを研磨するための外周研磨装置において、
前記外周研磨装置は、前記ワークを保持して軸線の回りに回転させるチャック手段と、前記ワークの表面側及び裏面側のエッジを研磨部材の弧状をした作業面で研磨する表面側及び裏面側のエッジ研磨ユニットとを有し、
前記表面側及び裏面側のエッジ研磨ユニットは、前記研磨部材が交換可能に取り付けられた研磨部材取付体と、該研磨部材取付体を傾動自在に支持する取付体支持部と、前記研磨部材取付体の傾斜角度を前記研磨部材の作業面がワークのエッジと平行をなすように調整する取付体用角度調整機構と、前記研磨部材の作業面を前記ワークのエッジに押し付けて研磨荷重を加える荷重付与手段と、前記取付体支持部を前記軸線に対して傾斜する直線に沿って移動自在に支持する揺動支持ベースと、前記取付体支持部を前記直線に沿って揺動させる揺動機構と、前記揺動支持ベースを傾動自在に支持するベース支持部と、前記揺動支持ベースの傾斜角度を前記直線が前記ワークのエッジと平行をなすように調整するベース用角度調整機構と、前記ベース支持部を垂直方向及び水平方向に位置補正可能に支持する基台部とを有する、
ことを特徴とする円板形ワーク用外周研磨装置。 - 前記研磨部材は、該研磨部材の基準面と前記作業面とのなす角度である作業面角度がワークのベベル角度と等角度であるように形成され、該研磨部材を前記研磨部材取付体に取り付けて前記基準面を水平に向けることにより前記作業面がワークのエッジと平行をなすように構成されたことを特徴とする請求項1に記載の円板形ワーク用外周研磨装置。
- 前記研磨部材取付体は、前記取付体支持部にワークの軸線と直交する第1枢軸を中心に傾動自在に支持され、前記揺動支持ベースは、前記ベース支持部に前記第1枢軸と平行する第2枢軸を中心に傾動自在に支持されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の円板形ワーク用外周研磨装置。
- 前記取付体支持部が、前記揺動支持ベースに前記直線に沿って移動自在に支持された揺動スライドベースと、該揺動スライドベースに前記直線と直交する方向に移動自在に支持されたスライド部材とを有し、該スライド部材は前記荷重付与手段に連結され、該スライド部材に前記研磨部材取付体が支持されていることを特徴とする請求項3に記載の円板形ワーク用外周研磨装置。
- 前記基台部は、定位置に配置された第1基台部分と、該第1基台部分に水平方向に移動自在に支持されて前記ベース支持部を垂直方向に移動自在に支持する第2基台部分と、該第2基台部分の水平方向位置を補正する水平位置補正機構と、該第2基台部分に対する前記ベース支持部の垂直方向位置を補正する垂直位置補正機構とを有することを特徴とする請求項1から4の何れかに記載の円板形ワーク用外周研磨装置。
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