JPWO2013088548A1 - ウエハ搬送ロボット - Google Patents
ウエハ搬送ロボット Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2013088548A1 JPWO2013088548A1 JP2013549020A JP2013549020A JPWO2013088548A1 JP WO2013088548 A1 JPWO2013088548 A1 JP WO2013088548A1 JP 2013549020 A JP2013549020 A JP 2013549020A JP 2013549020 A JP2013549020 A JP 2013549020A JP WO2013088548 A1 JPWO2013088548 A1 JP WO2013088548A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- transmission
- parallel link
- arms
- parallel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
- B25J9/041—Cylindrical coordinate type
- B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
- B25J9/043—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm double selective compliance articulated robot arms [SCARA]
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/106—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
- B25J9/1065—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
第1の平行リンク(4)の動作を第2の平行リンク(5)に伝達する伝達アーム部(6)を設けた。伝達アーム部(6)は、アーム(61〜63)により、第2の平行アーム部(5)におけるアーム(53)とアーム(52)との間の角度が第1の平行アーム部(4)におけるアーム(41)とアーム(42)との間の角度に常に一致するように、第1の平行リンク(4)の動作を第2の平行リンク(5)に伝達する。
Description
DH=EF=GI ・・・式1
DE=FH ・・・式2
HG=DI=DH2 /FH ・・・式3
とする。
△HFD∽△HDGとなることから、
∠HFD=∠HDG ・・・式4
∠FDH=∠DGH ・・・式5
となる。
∠HFD=∠EDF ・・・式6
となる。
∠IGD=∠HDG ・・・式7
となる。
∠EDF=∠IGD ・・・式8
となる。
∠HDE=∠FDH−∠EDF ・・・式9
∠IGH=∠DGH−∠IGD ・・・式10
であるので、式5、式8、式9及び式10より、
∠HDE=∠IGH ・・・式11
となる。
∠IGH=∠HDI ・・・式12
となる。
∠HDE=∠HDI ・・・式13
となる。
∠HDE=∠JCD ・・・式14
∠HDI=∠LMK ・・・式15
であるから、式13、式14、式15より、
∠JCD=∠LMK ・・・式16
となり、ハンドリングアーム1が、線X上を移動することになる。
2−内軸
3−外軸
4−第1の平行リンク
5−第2の平行リンク
6−伝達アーム部
8−中軸
10,20−ウエハ搬送ロボット
100−ウエハ
∠IGH=∠HDI ・・・式12
となる。
Claims (4)
- 少なくとも内軸と外軸とを同軸上に備えた複軸駆動部と、
前記内軸及び前記外軸のそれぞれに第1の端部を固定した第1及び第2のアームと、前記第1及び第2のアームのそれぞれに平行に配置された第3及び第4のアームと、で構成される第1の平行リンクと、
前記第3及び第4のアームの何れか一方を共通アームとして共用する第2の平行リンクであって、前記共通アームに平行な第5のアームと、前記共通アーム及び前記第5のアームのそれぞれの第1の端部に両端を枢支された第6のアームと、前記共通アーム及び前記第5のアームのそれぞれの第2の端部に両端を枢支された第7のアームと、で構成される第2の平行リンクと、
前記共通アームに平行にして前記第5のアームに固定されてウエハが載置されるハンドリングアームと、
前記第6のアーム又は前記第7のアームのうち前記共通アームの第1の端部に前記第1のアーム又は前記第2のアームとともに枢支された従動アームと前記共通アームとの間の角度が前記第1のアームと前記第2のアームとの間の角度と一致するように、前記第1のアーム又は前記第2のアームの動作を前記従動アームに伝達する複数の伝達アームであって、互いに回動自在に連結された複数のアームと、
を備えたウエハ搬送ロボット。 - 前記ハンドリングアームは、前記第5のアームと一体に形成された請求項1に記載のウエハ搬送ロボット。
- 前記第1のアーム又は前記第2のアームのうち前記共通アームの第1の端部に前記従動アームとともに枢支された駆動アームが、前記共通アームの第1の端部から前記第1の平行リンクの外側に延出した延出部を備え、
前記複数の伝達アームは、第1〜第3の伝達アームで構成され、
前記第1の伝達アームは、第1の端部が前記延出部の開放端に枢支され、第2の端部が前記第2の伝達アームの第1の端部に枢支され、
前記第2の伝達アームは、第2の端部が前記共通アームの中間部に枢支され、
前記第3の伝達アームは、第1の端部が前記第1の伝達アームの中間部に枢支され、第2の端部が前記従動アームの中間部に枢支されており、
前記第1の伝達アーム及び前記第3の伝達アームの長さが、前記共通アームにおける前記第1の端部から前記第2の伝達アームの枢支位置までの長さに等しく、
前記第2の伝達アームの長さが、前記延出部の長さに等しい請求項1又は2に記載のウエハ搬送ロボット。 - 前記複軸駆動部は、さらに中軸を前記内軸及び前記外軸と同軸上に備え、
前記第1の平行リンク、前記第2の平行リンク、前記ハンドリングアーム及び前記複数の伝達アームを2組ずつ備えた請求項1乃至3の何れかに記載のウエハ搬送ロボット。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2011/079030 WO2013088548A1 (ja) | 2011-12-15 | 2011-12-15 | ウエハ搬送ロボット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013088548A1 true JPWO2013088548A1 (ja) | 2015-04-27 |
JP5993873B2 JP5993873B2 (ja) | 2016-09-14 |
Family
ID=48612034
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013549020A Active JP5993873B2 (ja) | 2011-12-15 | 2011-12-15 | ウエハ搬送ロボット |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9508581B2 (ja) |
JP (1) | JP5993873B2 (ja) |
KR (1) | KR101610280B1 (ja) |
WO (1) | WO2013088548A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150115136A (ko) * | 2014-04-02 | 2015-10-14 | 현대중공업 주식회사 | 기판 이송로봇 구동장치 및 이를 이용한 기판 이송방법 |
DE102015116582B4 (de) | 2015-09-30 | 2021-08-05 | Walter Maschinenbau Gmbh | Transportvorrichtung zum Transportieren eines Werkstücks |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000150617A (ja) * | 1998-11-17 | 2000-05-30 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置 |
WO2008059815A1 (fr) * | 2006-11-14 | 2008-05-22 | Ulvac, Inc. | Dispositif d'introduction de rotation, dispositif de transfert de substrat, appareil de traitement à vide |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3113729B2 (ja) | 1992-04-13 | 2000-12-04 | 日本真空技術株式会社 | 同軸駆動部を有する平行リンクロボット |
-
2011
- 2011-12-15 WO PCT/JP2011/079030 patent/WO2013088548A1/ja active Application Filing
- 2011-12-15 JP JP2013549020A patent/JP5993873B2/ja active Active
- 2011-12-15 US US14/365,431 patent/US9508581B2/en active Active
- 2011-12-15 KR KR1020147014514A patent/KR101610280B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000150617A (ja) * | 1998-11-17 | 2000-05-30 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置 |
WO2008059815A1 (fr) * | 2006-11-14 | 2008-05-22 | Ulvac, Inc. | Dispositif d'introduction de rotation, dispositif de transfert de substrat, appareil de traitement à vide |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20140087041A (ko) | 2014-07-08 |
WO2013088548A1 (ja) | 2013-06-20 |
US20140321957A1 (en) | 2014-10-30 |
JP5993873B2 (ja) | 2016-09-14 |
US9508581B2 (en) | 2016-11-29 |
KR101610280B1 (ko) | 2016-04-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20110135437A1 (en) | Horizontal multi-joint robot and transportation apparatus including the same | |
JP5545337B2 (ja) | ロボットアームおよびロボット | |
TWI581929B (zh) | Substrate transfer robot and its operation method | |
JP6630727B2 (ja) | 水平多関節ロボット | |
JP4473075B2 (ja) | 搬送ロボットおよびそのアーム構造体 | |
JP2009269122A (ja) | ワーク搬送用ロボット | |
US20200139542A1 (en) | Wrist of robot arm, and dual arm robot | |
JP4697791B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP5993873B2 (ja) | ウエハ搬送ロボット | |
JP6557475B2 (ja) | 産業用ロボット | |
US10629472B2 (en) | Material handling robot | |
JP3719354B2 (ja) | 搬送装置 | |
JP6606319B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JP7191564B2 (ja) | 産業用ロボット | |
JP5871550B2 (ja) | 搬送ロボット及び真空装置 | |
JP4284118B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
TW201720600A (zh) | 機械臂機構 | |
JP4489999B2 (ja) | 搬送装置及び真空処理装置 | |
JP2002273681A (ja) | 産業用ロボット | |
JP5075459B2 (ja) | 搬送装置 | |
JP4550164B2 (ja) | 搬送装置及び真空処理装置 | |
JP5550197B2 (ja) | 搬送装置 | |
JP2013084823A (ja) | 搬送ロボット及び真空装置 | |
JP4467770B2 (ja) | 搬送装置及び真空処理装置 | |
KR20050059518A (ko) | 링크 구동형 로봇아암 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150707 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150907 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160202 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160404 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160809 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160822 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5993873 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |