JP5871550B2 - 搬送ロボット及び真空装置 - Google Patents
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Description
しかし、搬送機構を二つ設ける場合には、搬送機構同士の接触を避けるために搬送機構を上下に配置する必要があり、その結果、搬送ロボットを配置する真空装置の高さが高くなるという問題がある。
本発明では、前記上側搬送部及び前記下側搬送部が、それぞれ二つの載置部を有している場合にも効果的である。
また、本発明は、真空槽と、前記真空槽内に設けられた、上述したいずれかの搬送ロボットとを有する真空装置である。
また、搬送物の搬送時における振動をできるだけ少なくすることができる。
図1(a)は、本発明に係る搬送ロボットの実施の形態の構成を示す平面図、図1(b)は、同搬送ロボットの構成を示す正面図である。
図2は、第1〜第3の駆動軸の構成を示す断面図である。図3は、同搬送ロボットの上側搬送機構を示す平面図、図4は、同搬送ロボットの下側搬送機構を示す平面図である。
ここで、第1の駆動軸11は、最も内側に配置され、その周囲に第2の駆動軸12及び第3の駆動軸13が配置され、回転軸Oを中心として水平方向に回転するように構成されている。
第2の駆動軸12は、段付きの形状に形成され、その上部に第1の連結部12aが設けられ、第1の連結部12aの下方に第1の連結部12aより径の大きな第2の連結部12bが設けられている。
第1の上側駆動アーム21の他方の端部(先端部)には、第1の上側従動アーム31の一方の端部(基端部)が、第1の上側駆動アーム21の下方において支軸Aを中心として水平方向に回転自在に取り付けられている。
なお、支軸AC間の軸間距離と回転軸O及び支軸B間の距離が、支軸BC間の軸間距離と回転軸O及び支軸A間の距離より長くなるように構成されている。
この第2の上側平行クランク機構5は、第1の上側平行クランク機構4の第2の上側従動アーム32と、第3の上側従動アーム33と、第4の上側従動アーム34と、第5の上側従動アームである上側エンドエフェクタ40の一部36によって構成されている。
これら第3及び第4の上側従動アーム33,34は、第2の上側駆動アーム22及び第1の上側従動アーム31と軸間距離が同一となるように構成されている。
そして、このような構成により、第2の上側平行クランク機構5の動作先端部の支軸D、Eが基板搬送方向Pに沿って直進し、回転軸O上を通過するようになっている。
ここで、第1の下側駆動アーム51は第3の駆動軸13に連結され、第2の下側駆動アーム52は、第2の駆動軸12の第2の連結部12bに連結されている。
なお、支軸FH間の軸間距離と回転軸O及び支軸G間の距離が、支軸GH間の軸間距離と回転軸O及び支軸F間の距離より長くなるように構成されている。
この第2の下側平行クランク機構7は、第1の下側平行クランク機構6の第2の下側従動アーム62と、第3の下側従動アーム63と、第4の下側従動アーム64と、下側エンドエフェクタ70の一部66によって構成されている。
これら第3及び第4の下側従動アーム63、64は、第2の下側駆動アーム52及び第1の下側従動アーム61と軸間距離が同一となるように構成されている。
そして、このような構成により、第2の下側クランク機構7の動作先端部の支軸I、Jが基板搬送方向Pに沿って直進し、回転軸O上を通過するようになっている。
まず、図5に示す原点位置から上側搬送機構を伸長させる場合について、図6〜図10を参照して説明する。
本実施の形態の場合、第2の駆動軸12には、下側搬送機構1Bの第2の下側駆動アーム52が固定されているため、この第2の下側駆動アーム52も時計回り方向に所定角度回転する。
そして、以上の動作により、図10に示すように、上側搬送機構1Aが伸長するとともに、下側搬送機構1Bが所定角度旋回した状態になる。
この場合は、図11に示すように、第2の駆動軸12を反時計回り方向に所定角度回転させると同時に、図12に示すように、第1の駆動軸を反時計回り方向に同じ角度回転させる。
本実施の形態の場合、第2の駆動軸12には、上側搬送機構1Aの第2の上側駆動アーム22が固定されているため、この第2の上側駆動アーム22も反時計回り方向に所定角度回転する。
また、上側搬送機構1Aが回転軸Oを中心として、反時計回り方向に所定角度旋回し、図14に示す姿勢になる。
なお、下側搬送機構1Bの下側エンドエフェクタ70は、上側搬送機構1Aの第1の上側平行クランク機構4と第2の上側平行クランク機構5の間の高さ位置に設けられているため、上側搬送機構1Aには接触しない。
なお、搬送ロボット1を旋回させる場合には、ホームポジションの状態において、第1〜第3の駆動軸11〜13を同時に同一方向へ同じ角度回転させればよい。
例えば、上記実施の形態では、上側搬送機構1Aと下側搬送機構1Bの対応するアームの軸間距離が同一となるようにしたが、本発明はこれに限られず、上側搬送機構1Aと下側搬送機構1Bとにおいて各アームの軸間距離を異なるように構成することもできる。
さらに、上記実施の形態では、各エンドエフェクタにそれぞれ載置部を二つ設けたが、本発明はこれに限られず、一つ又は三つ以上設けることもできる。
1A…上側搬送機構
1B…下側搬送機構
4…第1の上側平行クランク機構
5…第2の上側平行クランク機構
6…第1の下側平行クランク機構
7…第2の下側平行クランク機構
10…基板
11…第1の駆動軸
12…第2の駆動軸
13…第3の駆動軸
21…第1の上側駆動アーム
22…第2の上側駆動アーム
40…上側エンドエフェクタ(上側搬送部)
51…第1の下側駆動アーム
52…第2の下側駆動アーム
70…下側エンドエフェクタ(下側搬送部)
Claims (3)
- 所定の回転軸を中心として水平面内で回転可能に設けられた第1、第2及び第3の駆動軸と、
前記第1の駆動軸に固定された第1の上側駆動アームと、前記第1の上側駆動アームの下方において前記第2の駆動軸に固定された第2の上側駆動アームと、
前記第1及び第2の上側駆動アームの先端部にそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第1の上側従動アーム及び第2の上側従動アームとからなる第1の上側平行クランク機構と、
前記第1の上側平行クランク機構の上方に配置され、前記第2の上側従動アームと、当該第2の上側従動アームの両端部においてそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第3の上側従動アーム及び第4の上側従動アームと、当該第3の上側従動アーム及び第4の上側従動アームの先端部にそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第5の上側従動アームとからなる第2の上側平行クランク機構と、
前記第5の上側従動アームの先端部に取り付けられた上側搬送部とを有する上側搬送機構と、
前記第2の上側駆動アームの下方において前記第3の駆動軸に固定された第1の下側駆動アームと、前記第2の上側駆動アームの下側で且つ前記第1の下側駆動アームの上側において前記第2の駆動軸に前記第2の上側駆動アームに対して所定の角度で固定された第2の下側駆動アームと、
前記第1及び第2の下側駆動アームの先端部にそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第1の下側従動アーム及び第2の下側従動アームとからなる第1の下側平行クランク機構と、
前記第2の下側従動アームと、当該第2の下側従動アームの両端部においてそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第3の下側従動アーム及び第4の下側従動アームと、当該第3の下側従動アーム及び第4の下側従動アームの先端部にそれぞれ水平面内において回転可能に連結された第5の下側従動アームとからなる第2の下側平行クランク機構と、
前記第5の下側従動アームの先端部で、前記第1の上側平行クランク機構と前記第2の上側平行クランク機構の間の高さ位置に設けられ、他の部材に接触しないように形成された下側搬送部とを有する下側搬送機構と、を有し、
前記上側搬送機構を伸縮させる際、前記第2の駆動軸と前記第3の駆動軸を同一方向に回転させ、かつ、前記下側搬送機構を伸縮させる際、前記第1の駆動軸と前記第2の駆動軸を同一方向に回転させるように構成されている搬送ロボット。 - 前記上側搬送部及び前記下側搬送部が、それぞれ二つの載置部を有している請求項1記載の搬送ロボット。
- 真空槽と、
前記真空槽内に設けられた請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の搬送ロボットとを有する真空装置。
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