JP4550164B2 - 搬送装置及び真空処理装置 - Google Patents
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Description
図5に示すように、この搬送装置100においては、図示しない駆動源の回転動力が、駆動軸101及びこの駆動軸101に取り付けられた駆動ギア102に伝達され、さらに、駆動ギア102及びこの駆動ギア102と噛み合う従動ギア103を介して従動軸104に伝達されるようになっている。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記第1、第2、第3及び第4のアームのアーム長が同一であることを特徴とする。
請求項3記載の発明は、請求項1又は2のいずれか1項記載の発明において、前記第1の動力伝達機構は、前記第1又は第2のアームの一方の端部A、Bに設けられた第1のプーリと、前記第3又は第4のアームの一方の端部E、Fに設けられた第2のプーリとを有し、前記第1のプーリと前記第2のプーリとが伝達ベルトによって連結されていることを特徴とする。
請求項4記載の発明は、請求項1乃至3のいずれか1項記載の発明において、前記第2の動力伝達機構は、前記第1又は第2のアームの他方の端部C、Dに設けられた第3のプーリと、前記連結軸に設けられた第4のプーリとを有し、前記第3のプーリと前記第4のプーリとが伝達ベルトによって連結されていることを特徴とする。
請求項5記載の発明は、請求項4記載の発明において、前記第1のプーリの直径と、前記第2のプーリの直径と、前記第3のプーリの直径とが同一であり、前記第4のプーリの直径が、前記第1〜第3のプーリの直径の2倍であることを特徴とする。
請求項6記載の発明は、請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の搬送装置を用いて真空処理槽内の搬送を行うように構成されていることを特徴とする真空処理装置である。
また、本発明によれば、第3及び第4のアームの他方の端部G、Hが所定の連結軸によって同心状に連結されていることから、アーム長を変化させるための複雑な補正機構を用いることなく第3及び第4のアームに駆動軸の回転動力を与えることができ、その結果、簡素な構成で第1〜第4のアームの動作速度を速くすることが可能になる。
しかも、本発明にあっては、第2の動力伝達機構によって第1又は第2のアームの他方の端部C、Dにおける回転動力を前記連結軸に伝達するように構成されていることから、例えばこの連結軸に取り付けたキャリアが回転してしまうことなく所定の搬送ラインに沿って直進性良く移動させることができ、また、死点位置近傍においてもキャリアを円滑に移動させることができる。
さらに、本発明によれば、第1の動力伝達機構によって駆動源の動力が効率良く各アームに伝達されるので、より円滑かつ高速で動作させることが可能になる。
さらにまた、本発明において、第1の動力伝達機構を第1及び第2のプーリとベルトによって構成すれば、薄型で軽量の搬送機構を提供することが可能になる。
加えて、本発明において、第2の動力伝達機構を第3及び第4のプーリとベルトによって構成すれば、薄型で軽量の搬送機構を提供することが可能になる。
この場合、第1のプーリの直径と、第2のプーリの直径と、第3のプーリの直径とを同一とし、第4のプーリの直径を、第1〜第3のプーリの直径の2倍となるように構成すれば、第1のアームの回転角度と、第3のアームに対する第4のプーリの回転角度を一致させることができ、これにより第4のプーリに連結軸に固定した例えばキャリアを連結軸を中心に回転することなく搬送ライン上を直進性良く移動させることができる。
一方、本発明の真空処理装置によれば、小型で処理対象物の搬送速度の大きい真空処理装置を提供することができる。
図1に示すように、本実施の形態の搬送装置1は、例えば真空処理槽(図示せず)内における処理対象物の搬送を行うもので、同心状に配設した第1及び第2の駆動軸11、12を有し、これら各駆動軸11、12は、独立した第1及び第2の駆動源M1、M2からそれぞれ時計回り方向又は反時計回り方向の回転動力が伝達されるように構成されている。
この第2の動力伝達機構5は、第1のアーム21の他方の端部Cに固定され第3のアーム23の支軸23aを中心として回転可能な第3のプーリ(駆動部)53を有している。
まず、第1のアーム21と第2のアーム22の開き角が180度の状態、即ち死点位置にある状態から、第1のアーム21と第2のアーム22の開き角が小さくなるように第1の駆動軸11と第2の駆動軸12を逆方向に所定の角度θだけ回転させると、第1のアーム21と第2のアーム22は、それぞれ逆方向に同一の角度θだけ回転する。
ここでは、第1のアーム21と第2のアーム22の開き角が死点位置における180度から少し小さくなった状態を考える。
例えば、上記第1及び第2の動力伝達機構のプーリとベルトの代わりにスプロケットとチェーンを用いることも可能である。
Claims (6)
- 第1、第2、第3及び第4のアームを有する搬送装置であって、
前記第1のアームは、一方の端部Aが第1の駆動軸に固定され、
前記第2のアームは、一方の端部Bが、前記第1の駆動軸と同心状に配設された第2の駆動軸に固定され、
前記第3のアームは、一方の端部Eが前記第1のアームの他方の端部Cにおいて支軸を中心に回転可能に連結され、
前記第4のアームは、一方の端部Fが前記第2のアームの他方の端部Dにおいて支軸を中心に回転可能に連結され、
前記第3及び第4のアームの他方の端部G、Hが所定の連結軸を中心に回転可能に連結され、
前記第1又は第2のアームの駆動軸の回転動力を前記第3又は第4のアームに伝達するための第1の動力伝達機構と、
前記第1又は第2のアームの他端部における回転動力を前記連結軸に伝達するための第2の動力伝達機構とを備え、
前記第1の動力伝達機構は、前記第1又は第2のアームの一方の端部A、Bに設けられた駆動部と、前記第3又は第4のアームの一方の端部E、Fに設けられた従動部とを有し、前記駆動部と前記従動部とが所定の動力伝達部材によって連結され、
前記第2の動力伝達機構は、前記第1又は第2のアームの他方の端部C、Dに設けられた駆動部と、前記連結軸に設けられた従動部とを有し、前記駆動部と前記従動部とが所定の動力伝達部材によって連結されていることを特徴とする搬送装置。 - 前記第1、第2、第3及び第4のアームのアーム長が同一であることを特徴とする請求項1記載の搬送装置。
- 前記第1の動力伝達機構は、前記第1又は第2のアームの一方の端部A、Bに設けられた第1のプーリと、前記第3又は第4のアームの一方の端部E、Fに設けられた第2のプーリとを有し、前記第1のプーリと前記第2のプーリとが伝達ベルトによって連結されていることを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項記載の搬送装置。
- 前記第2の動力伝達機構は、前記第1又は第2のアームの他方の端部C、Dに設けられた第3のプーリと、前記連結軸に設けられた第4のプーリとを有し、前記第3のプーリと前記第4のプーリとが伝達ベルトによって連結されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の搬送装置。
- 前記第1のプーリの直径と、前記第2のプーリの直径と、前記第3のプーリの直径とが同一であり、前記第4のプーリの直径が、前記第1〜第3のプーリの直径の2倍であることを特徴とする請求項4記載の搬送装置。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の搬送装置を用いて真空処理槽内の搬送を行うように構成されていることを特徴とする真空処理装置。
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JPH09283588A (ja) * | 1996-04-08 | 1997-10-31 | Hitachi Ltd | 基板搬送装置及び基板の搬送方法 |
JP2000042970A (ja) * | 1998-07-31 | 2000-02-15 | Kobe Steel Ltd | 多関節アーム式搬送装置 |
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