JPWO2010131762A1 - 収容具、収容具配置方法および測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
しかし、半導体、プラスチック、セラミック、木材および紙など(以下、「原材料」という)から構成される工業製品の内部状態(例えば、欠陥や歪み)を検出することは、X線CTによれば困難である。X線が、あらゆる物質に対して透過性が高いためである。
一方、テラヘルツ波は、先に述べた工業製品の原材料をほどよく透過する。このため、テラヘルツ波の発生器と検出器を用いて、CT法を実行すれば(以下、「テラヘルツ波CT法」という)工業製品の内部状態を検出できる。テラヘルツ波CT法については、特許文献1(米国特許第7119339号明細書)、非特許文献1(S.Wang et al.,“Pulsed terahertz tomography,”J.Phys.D,Vol 37(2004)R1−R36)に記載がある。
第13図は、従来技術にかかる被測定物の屈折率が1.4、被測定物の周囲の空気の屈折率が1の場合に想定されるテラヘルツ波の光路を示す図である。第13図を参照して、被測定物(DUT:Device Under Test)に左から入射したテラヘルツ波が、被測定物により屈折することがわかる。
テラヘルツ波が直進しないことにより、検出器にテラヘルツ波が到達できず、充分な感度で被測定物の画像を取得できなくなることがある。
また、テラヘルツ波が直進しないことにより、検出されたテラヘルツ波が、被測定物を直進して到達したものではない場合も起こりうる。このため、検出されたテラヘルツ波から被測定物の画像を取得すると、障害陰影および擬似画像などのアーチファクトが画像に現れる可能性がある。
そこで、本発明は、テラヘルツ波を含む電磁波(周波数が0.01[THz]以上100[THz]以下)を被測定物に与えて測定する際に、テラヘルツ波を含む電磁波が被測定物により屈折することを抑制することを課題とする。
本発明にかかる収容具は、電磁波測定装置により測定される被測定物の少なくとも一部を収容する収容具であって、前記被測定物の少なくとも一部がその内部に配置される空隙部と、第一平面部分と第二平面部分とを有し、前記第一平面部分と前記第二平面部分との間に前記空隙部が配置され、前記空隙部を包囲する包囲部と、を備え、前記包囲部の屈折率をn2、前記被測定物の屈折率をn1としたときに、n1−0.1≦n2≦n1+0.1であり、前記電磁波測定装置は、前記被測定物に向けて0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波を出力するように構成される。
上記のように構成された、電磁波測定装置により測定される被測定物の少なくとも一部を収容する収容具によれば、空隙部は、前記被測定物の少なくとも一部がその内部に配置される。包囲部が、第一平面部分と第二平面部分とを有し、前記第一平面部分と前記第二平面部分との間に前記空隙部が配置され、前記空隙部を包囲する。しかも、前記包囲部の屈折率をn2、前記被測定物の屈折率をn1としたときにn1−0.1≦n2≦n1+0.1である。さらに、前記電磁波測定装置は、前記被測定物に向けて0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波を出力する。
なお、本発明にかかる収容具は、前記空隙部の平面形状の輪郭が、円弧を含むようにしてもよい。
なお、本発明にかかる収容具は、前記空隙部の平面形状の輪郭の半径が、前記空隙部の高さに応じて変化するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる収容具は、前記包囲部が分割面に沿って分割可能であり、前記分割面が前記空隙部と交差するようにしてもよい。
なお、本発明にかかる収容具は、前記被測定物と前記空隙部との間の空間に挿入される挿入部材を備え、前記被測定物と前記挿入部材とが一体となったものの輪郭が、前記空隙部の平面形状の輪郭と同心円状になり、前記挿入部材の屈折率をn3、前記被測定物の屈折率をn1としたときにn1−0.1≦n3≦n1+0.1であるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる収容具は、前記被測定物と前記挿入部材とが一体となったものの平面形状の輪郭と、前記空隙部の平面形状の輪郭との距離が、前記電磁波測定装置から前記被測定物に向けて出力された電磁波の波長の四分の一以下であるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる収容具は、前記被測定物と前記空隙部との間の空間に充填される充填材を備え、前記充填材の屈折率をn4、前記被測定物の屈折率をn1としたときに、n1−0.1≦n4≦n1+0.1であるようにしてもよい。
なお、本発明にかかる収容具は、前記被測定物の平面形状の輪郭と、前記空隙部の平面形状の輪郭との距離が、前記電磁波測定装置から前記被測定物に向けて出力された電磁波の波長の四分の一以下であるようにしてもよい。
本発明にかかる収容具配置方法は、前記被測定物を収容した収容具を、前記電磁波測定装置による前記被測定物の測定のために配置する収容具配置方法であって、前記第一平面部分が、前記電磁波測定装置から前記被測定物に向けて出力された電磁波の進行方向に対して、直角に交差するように、前記収容具を配置する工程を備えるように構成される。
本発明にかかる収容具配置方法は、前記被測定物を収容した収容具を、前記電磁波測定装置による前記被測定物の測定のために配置する収容具配置方法であって、前記第一平面部分が、前記電磁波測定装置から前記被測定物に向けて出力された電磁波の進行方向に対して、0度を超え90度未満の角度で交差するように、前記収容具を配置する工程を備えるように構成される。
本発明にかかる測定方法は、収容具に収容された前記被測定物を、前記電磁波測定装置により測定する方法であって、前記電磁波測定装置により、電磁波を出力する出力工程と、前記電磁波測定装置により、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する検出工程と、を備え、前記出力工程および前記検出工程が行われている間に、前記収容具および前記被測定物が、前記電磁波の光路に対して水平方向に動くように構成される。
本発明にかかる測定方法は、収容具に収容された前記被測定物を、前記電磁波測定装置により測定する方法であって、前記電磁波測定装置により、電磁波を出力する出力工程と、前記電磁波測定装置により、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する検出工程と、を備え、前記出力工程および前記検出工程が行われている間に、前記電磁波の光路が、前記収容具に対して水平方向に動くように構成される。
本発明にかかる測定方法は、収容具に収容された前記被測定物を、前記電磁波測定装置により測定する方法であって、前記電磁波測定装置により、電磁波を出力する出力工程と、前記電磁波測定装置により、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する検出工程と、を備え、前記出力工程および前記検出工程が行われている間に、前記被測定物が、上下方向に伸びる直線を回転軸として、回転するように構成される。
本発明にかかる測定方法は、収容具に収容された前記被測定物を、前記電磁波測定装置により測定する方法であって、前記電磁波測定装置により、電磁波を出力する出力工程と、前記電磁波測定装置により、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する検出工程と、を備え、前記出力工程および前記検出工程が行われている間に、前記収容具および前記電磁波の光路が、上下方向に伸びる直線を回転軸として、回転するように構成される。
本発明にかかる測定方法は、収容具に収容された前記被測定物を、前記電磁波測定装置により測定する方法であって、前記電磁波測定装置により、電磁波を出力する出力工程と、前記電磁波測定装置により、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する検出工程と、を備え、前記出力工程および前記検出工程が行われている間に、前記収容具および前記電磁波の光路が、前記被測定物に対して、上下方向に動くように構成される。
本発明にかかる測定方法は、収容具に収容された前記被測定物を、前記電磁波測定装置により測定する方法であって、前記電磁波測定装置により、電磁波を出力する出力工程と、前記電磁波測定装置により、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する検出工程と、を備え、前記出力工程および前記検出工程が行われている間に、前記収容具および前記被測定物が、前記電磁波の光路に対して、上下方向に動くように構成される。
本発明にかかる測定方法は、収容具に収容された前記被測定物を、前記電磁波測定装置により測定する方法であって、前記電磁波測定装置により、前記電磁波を出力する出力工程と、前記電磁波測定装置により、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する検出工程と、を備え、前記出力工程および前記検出工程が行われている間に、前記収容具および前記電磁波の光路に対して、前記被測定物が、上下方向に動くように構成される。
本発明にかかる測定方法は、収容具に収容された前記被測定物を、前記電磁波測定装置により測定する方法であって、前記電磁波測定装置により、前記電磁波を出力する出力工程と、前記電磁波測定装置により、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する検出工程と、を備え、前記出力工程および前記検出工程が行われている間に、前記収容具および前記被測定物に対して、前記電磁波の光路が、上下方向に動くように構成される。
第2図は、本発明の第一の実施形態にかかる収容具10に被測定物1の少なくとも一部が収容され、収容具10にテラヘルツ波が照射されたときの平面図である。
第3図は、収容具10に被測定物1の少なくとも一部が収容されたときの、被測定物1および空隙部11の拡大平面図である。
第4図は、第二の実施形態の動作を説明するための収容具10およびテラヘルツ波測定装置の平面図である。
第5図は、第三の実施形態の動作を説明するための収容具10およびテラヘルツ波測定装置の平面図である。
第6図は、第四の実施形態の動作を説明するための収容具10およびテラヘルツ波測定装置の平面図である。
第7図は、第五の実施形態にかかる収容具10およびテラヘルツ波測定装置の正面図である。
第8図は、第六の実施形態にかかる収容具10およびテラヘルツ波測定装置の正面図である。
第9図は、第七の実施形態にかかる収容具10に被測定物1の少なくとも一部が収容され、収容具10にテラヘルツ波が照射されたときの平面図である。
第10図は、第八の実施形態にかかる収容具10に被測定物1の少なくとも一部が収容され、収容具10にテラヘルツ波が照射されたときの平面図である。
第11図は、第九の実施形態にかかる収容具10に被測定物1の少なくとも一部が収容され、収容具10にテラヘルツ波が照射されたときの平面図である。
第12図は、第十の実施形態にかかる収容具10に被測定物1が収容されたときの断面図(第12図(a))および平面図(第12図(b))である。
第13図は、従来技術にかかる被測定物の屈折率が1.4、被測定物の周囲の空気の屈折率が1の場合に想定されるテラヘルツ波の光路を示す図である。
第一の実施形態
第1図は、本発明の第一の実施形態にかかる収容具10の平面図である。第2図は、本発明の第一の実施形態にかかる収容具10に被測定物1の少なくとも一部が収容され、収容具10にテラヘルツ波が照射されたときの平面図である。
第2図を参照して、テラヘルツ波測定装置(電磁波測定装置)は、テラヘルツ波出力器2、テラヘルツ波検出器4を有する。テラヘルツ波出力器2は、テラヘルツ波を出力する。テラヘルツ波検出器4は、被測定物1および収容具10を透過したテラヘルツ波を検出する。
なお、テラヘルツ波測定装置(電磁波測定装置)は、出力および検出する電磁波として、上記のようにテラヘルツ波(周波数が例えば、0.03[THz]以上10[THz]以下)を採用している。しかし、テラヘルツ波測定装置(電磁波測定装置)が出力および検出する電磁波は、テラヘルツ波に限らず、周波数が0.01[THz]以上100[THz]以下の電磁波であればよい。
収容具10は、テラヘルツ波測定装置により測定される被測定物1の少なくとも一部を収容する。なお、収容具10は、被測定物1の一部を収容している場合(第7図参照)もあれば、被測定物1の全部を収容している場合(第8図参照)もある。
収容具10は、空隙部11、包囲部12を有する。空隙部11は、上から見れば、半径rの円形の隙間である(第1図参照)。被測定物1の少なくとも一部が空隙部11の内部に配置される(第2図参照)。
包囲部12は、第一平面部分S1と第二平面部分S2とを有する。なお、第1図および第2図においては、第一平面部分S1と第二平面部分S2とは直線として図示されている。これは、第1図および第2図が平面図だからである。実際には、収容具10は厚みを有しているので(第7図および第8図参照)、第一平面部分S1と第二平面部分S2とは、直線ではなく平面である。なお、第一平面部分S1と第二平面部分S2とは平行である。
第一平面部分S1と第二平面部分S2との間に空隙部11が配置されている。包囲部12は、空隙部11を包囲する。ここで、被測定物1の屈折率をn1とし、包囲部12の屈折率をn2とする。すると、n1−0.1≦n2≦n1+0.1である。なお、n1=n2であることが好ましい。また、n1およびn2は、収容具10の周囲の空気の屈折率(例えば、1)と等しくなくてもよい。
なお、包囲部12の材料は、テフロン(登録商標)やポリエチレン等の樹脂材料でもよい。これらの樹脂材料は、可視光または赤外光領域の光線による測定では通常使用できない。しかし、これらの樹脂材料は、テラヘルツ波の光線の吸収や散乱が少ない為に、テラヘルツ波による測定では使用可能である。
第3図は、収容具10に被測定物1の少なくとも一部が収容されたときの、被測定物1および空隙部11の拡大平面図である。被測定物1の平面形状(上から見たときの形状)の輪郭と、空隙部11の平面形状(上から見たときの形状)の輪郭との距離をgとする。すると、被測定物1を上から見たときの形状は、半径r−gの円である。よって、被測定物1は、底面が半径r−gの円である円柱である。
なお、g≦λ/4であることが好ましい。ただし、λは、テラヘルツ波測定装置のテラヘルツ波出力器2から被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波の波長である。g≦λ/4であれば、被測定物1の輪郭と、空隙部11の平面形状の輪郭との隙間の空気層によるテラヘルツ波の反射を抑制できる。テラヘルツ波の反射はテラヘルツ波の損失につながるので、g≦λ/4とすることはテラヘルツ波の損失の抑制につながる。
なお、第2図を参照して、第一平面部分S1が、テラヘルツ波測定装置のテラヘルツ波出力器2から被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波の進行方向に対して、直角に交差する。テラヘルツ波測定装置による被測定物1の測定を行うために、上記のように収容具10を配置する。
次に、第一の実施形態の動作を説明する。
第2図を参照して、テラヘルツ波測定装置のテラヘルツ波出力器2によりテラヘルツ波が出力される。テラヘルツ波出力器2から出力されたテラヘルツ波は、第一平面部分S1に垂直に照射される。このため、テラヘルツ波は屈折しないで、直進して、包囲部12の内部を進行していく。
ここで、被測定物1の輪郭と、空隙部11の平面形状の輪郭との隙間の空気層の厚さは薄いので無視する。さらに、(被測定物1の屈折率n1)=(包囲部12の屈折率n2)とする。
すると、包囲部12の内部を進行していったテラヘルツ波は、被測定物1の内部をも屈折しないで、直進していく。さらに、テラヘルツ波は、被測定物1を透過し、包囲部12に入射する。さらに、テラヘルツ波は、包囲部12の内部を直進し、第二平面部分S2を通過する。結局、テラヘルツ波出力器2から出力されたテラヘルツ波は、そのまま直進しながら、包囲部12および被測定物1を透過して、テラヘルツ波検出器4に入射される。
テラヘルツ波検出器4は、入射されたテラヘルツ波を検出する。これにより、被測定物1が測定される。例えば、被測定物1は内容物1a、1bを有する。第2図によれば、テラヘルツ波は内容物1bを透過するので、テラヘルツ波の検出結果から内容物1bの位置などが判明する。
なお、(被測定物1の屈折率n1)=(包囲部12の屈折率n2)として、第一の実施形態の動作を説明したが、n1−0.1≦n2≦n1+0.1であれば、おおよそ、テラヘルツ波出力器2から出力されたテラヘルツ波が、そのまま直進しながら、包囲部12および被測定物1を透過していくものとみなすことができる。
第一の実施形態によれば、テラヘルツ波を被測定物1に与えて測定する際に、テラヘルツ波が被測定物1により屈折することを抑制できる。
第二の実施形態
第二の実施形態は、第一の実施形態にかかる収容具10を使用して水平方向(X方向)に被測定物1を走査する方法である。
第二の実施形態にかかる収容具10およびテラヘルツ波測定装置の構成は第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
次に、第二の実施形態の動作を説明する。第4図は、第二の実施形態の動作を説明するための収容具10およびテラヘルツ波測定装置の平面図である。
第4図(a)を参照して、テラヘルツ波測定装置のテラヘルツ波出力器2により、テラヘルツ波が出力される(以下、「出力工程」という)。出力されたテラヘルツ波は、第一の実施形態で説明したように、直進しながら、包囲部12および被測定物1を透過して、テラヘルツ波測定装置のテラヘルツ波検出器4により検出される(以下、「検出工程」という)。これにより、被測定物1がテラヘルツ波測定装置によって測定される。第4図(a)によれば、テラヘルツ波は内容物1bを透過するので、テラヘルツ波の検出結果から内容物1bの位置などが判明する。
なお、テラヘルツ波の光路をP1、P2とする。ただし、光路P1は、テラヘルツ波出力器2から出力され、収容具10に入射されるまでのテラヘルツ波の光路である。光路P2は、包囲部12および被測定物1の内部を透過して、テラヘルツ波検出器4に到達するまでのテラヘルツ波の光路である。
出力工程および検出工程が行われている間に、収容具10および被測定物1が、テラヘルツ波の光路P1、P2に対して水平方向(第4図における下側)に動く。すると、第4図(b)に示すように、光路P2が、内容物1aと交差する。よって、テラヘルツ波は内容物1aを透過するので、テラヘルツ波の検出結果から内容物1aの位置などが判明する。
第二の実施形態によれば、水平方向(X方向)に被測定物1を走査することができる。これにより、被測定物1を断層測定することができる。
なお、出力工程および検出工程が行われている間に、テラヘルツ波の光路P1、P2が、収容具10および被測定物1に対して水平方向(第4図における上側)に動くようにしても、同様な効果が得られる。テラヘルツ波の光路P1、P2を動かすためには、テラヘルツ波出力器2およびテラヘルツ波検出器4を動かせばよい。
第三の実施形態
第三の実施形態は、第一の実施形態にかかる収容具10を使用して、被測定物1を回転させながら被測定物1を走査する方法である。
第三の実施形態にかかる収容具10およびテラヘルツ波測定装置の構成は第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
次に、第三の実施形態の動作を説明する。第5図は、第三の実施形態の動作を説明するための収容具10およびテラヘルツ波測定装置の平面図である。なお、出力工程、検出工程、光路P1、P2の定義は、第二の実施形態と同様である。
第5図(a)を参照して、出力工程が行われる。出力されたテラヘルツ波は、第一の実施形態で説明したように、直進しながら、包囲部12および被測定物1を透過する。そして、検出工程が行われる。これにより、被測定物1のある部分が、テラヘルツ波測定装置によって測定される。
出力工程および検出工程が行われている間に、被測定物1が、上下方向(Z方向)に伸びる直線A(第7図および第8図を参照)を回転軸として、回転する(直線Aが実在する部材でなくてもよい)。例えば、被測定物1が反時計回りに回転する。すると、被測定物1は、第5図(b)に示すような配置となる。被測定物1における光路P2と交差する部分が、第5図(b)の場合と第5図(a)の場合とでは異なる。よって、第5図(b)の場合と第5図(a)の場合とでは、被測定物1の異なる部分を測定できる。
第三の実施形態によれば、被測定物1を回転させながら被測定物1を走査することができる。これにより、被測定物1を断層測定することができる。
第四の実施形態
第四の実施形態は、第一の実施形態にかかる収容具10を使用して、収容具10およびテラヘルツ波の光路P1、P2を回転させながら被測定物1を走査する方法である。
第四の実施形態にかかる収容具10およびテラヘルツ波測定装置の構成は第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
次に、第四の実施形態の動作を説明する。第6図は、第四の実施形態の動作を説明するための収容具10およびテラヘルツ波測定装置の平面図である。なお、出力工程、検出工程、光路P1、P2の定義は、第二の実施形態と同様である。
第6図(a)を参照して、出力工程が行われる。出力されたテラヘルツ波は、第一の実施形態で説明したように、直進しながら、包囲部12および被測定物1を透過する。そして、検出工程が行われる。これにより、被測定物1のある部分が、テラヘルツ波測定装置によって測定される。
出力工程および検出工程が行われている間に、収容具10およびテラヘルツ波の光路P1、P2が、上下方向(Z方向)に伸びる直線A(第7図および第8図を参照)を回転軸として、回転する。例えば、反時計回りに回転する。すると、被測定物1は、第6図(b)に示すような配置となる。被測定物1における光路P2と交差する部分が、第6図(b)の場合と第6図(a)の場合とでは異なる。よって、第6図(b)の場合と第6図(a)の場合とでは、被測定物1の異なる部分を測定できる。
第四の実施形態によれば、収容具10およびテラヘルツ波の光路P1、P2を回転させながら被測定物1を走査することができる。これにより、被測定物1を断層測定することができる。
第五の実施形態
第五の実施形態は、第一の実施形態にかかる収容具10を使用して、被測定物1を上下方向(Z方向)に走査する方法である。
第7図は、第五の実施形態にかかる収容具10およびテラヘルツ波測定装置の正面図である。第五の実施形態にかかる収容具10およびテラヘルツ波測定装置の構成は第一の実施形態とほぼ同様である。ただし、被測定物1は円筒形であり、被測定物1の一部が、収容具10の空隙部11に収容されている。
次に、第五の実施形態の動作を説明する。なお、出力工程、検出工程、光路P1、P2の定義は、第二の実施形態と同様である。
第7図(a)を参照して、出力工程が行われる。出力されたテラヘルツ波は、第一の実施形態で説明したように、直進しながら、包囲部12および被測定物1を透過する。そして、検出工程が行われる。これにより、被測定物1の下方の部分が、テラヘルツ波測定装置によって測定される。
出力工程および検出工程が行われている間に、収容具10およびテラヘルツ波の光路P1、P2が、被測定物1に対して上下方向(第7図における上側)に動く。すると、第7図(b)に示すように、光路P2が、被測定物1の上方の部分と交差する。これにより、被測定物1の上方の部分が、テラヘルツ波測定装置によって測定される。なお、テラヘルツ波の光路P1、P2を動かすためには、テラヘルツ波出力器2およびテラヘルツ波検出器4を動かせばよい。
第五の実施形態によれば、上下方向(2方向)に被測定物1を走査することができる。これにより、被測定物1を断層測定することができる。
なお、出力工程および検出工程が行われている間に、収容具10およびテラヘルツ波の光路P1、P2に対して、被測定物1が上下方向に動くようにしてもよい。
第六の実施形態
第六の実施形態は、第一の実施形態にかかる収容具10を使用して、被測定物1を上下方向(Z方向)に走査する方法である。
第8図は、第六の実施形態にかかる収容具10およびテラヘルツ波測定装置の正面図である。第六の実施形態にかかる収容具10およびテラヘルツ波測定装置の構成は第一の実施形態とほぼ同様である。ただし、被測定物1は円筒形であり、被測定物1の全部が、収容具10の空隙部11に収容されている。
次に、第六の実施形態の動作を説明する。なお、出力工程、検出工程、光路P1、P2の定義は、第二の実施形態と同様である。
第8図(a)を参照して、出力工程が行われる。出力されたテラヘルツ波は、第一の実施形態で説明したように、直進しながら、包囲部12および被測定物1を透過する。そして、検出工程が行われる。これにより、被測定物1の下方の部分が、テラヘルツ波測定装置によって測定される。
出力工程および検出工程が行われている間に、収容具10および被測定物1が、テラヘルツ波の光路P1、P2に対して上下方向(第8図における下側)に動く。すると、第8図(b)に示すように、光路P2が、被測定物1の上方の部分と交差する。これにより、被測定物1の上方の部分が、テラヘルツ波測定装置によって測定される。
第六の実施形態によれば、上下方向(Z方向)に被測定物1を走査することができる。これにより、被測定物1を断層測定することができる。
なお、出力工程および検出工程が行われている間に、収容具10および被測定物1に対して、テラヘルツ波の光路P1、P2が上下方向に動くようにしてもよい。
第七の実施形態
第七の実施形態にかかる収容具10は、挿入部材20を備える点が、第一の実施形態にかかる収容具10と異なる。なお、第七の実施形態にかかる収容具10を使用して、第二から第六の実施形態において説明した被測定物1の走査を行うことができる。また、第七の実施形態にかかる収容具10の配置形態として、第八の実施形態おいて説明する方法(第10図参照)をとることができる。
第9図は、第七の実施形態にかかる収容具10に被測定物1の少なくとも一部が収容され、収容具10にテラヘルツ波が照射されたときの平面図である。
テラヘルツ波測定装置は、第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
被測定物1を上から見たときの形状は、半径r−g(第3図参照)の円が部分的に欠落したものである。第9図においては、被測定物1を上から見たときの形状は、r−gが長半径の楕円である。よって、被測定物1は、底面が長半径r−gの楕円である楕円柱である。
挿入部材20は、被測定物1と空隙部11との間の空間に挿入される。被測定物1と挿入部材20とが一体となったものの平面形状(上から見たときの形状)の輪郭は、半径r−gの円である。よって、被測定物1および挿入部材20が、底面が半径r−gの円である円柱を構成する。被測定物1と挿入部材20とが一体となったものの平面形状の輪郭(半径r−gの円)が、空隙部11の平面形状の輪郭(半径rの円)と同心円となる。なお、g≦λ/4であることが好ましいことは第一の実施形態と同様である。
ただし、gは、被測定物1と挿入部材20とが一体となったものの平面形状の輪郭(半径r−gの円)と、空隙部11の平面形状の輪郭(半径rの円)との距離である。λは、テラヘルツ波測定装置のテラヘルツ波出力器2から被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波の波長である。
ここで、被測定物1の屈折率をn1とし、挿入部材20の屈折率をn3とする。すると、n1−0.1≦n3≦n1+0.1である。なお、n1=n3であることが好ましい。また、n1およびn3は、収容具10の周囲の空気の屈折率(例えば、1)と等しくなくてもよい。
第七の実施形態の動作は、第一の実施形態の動作とほぼ同様である。ただし、第七の実施形態においては、テラヘルツ波が挿入部材20をも透過する点が第一の実施形態と異なる。なお、空気層の厚さgを無視し、n1=n2=n3であるとすれば、テラヘルツ波出力器2から出力されたテラヘルツ波が、そのまま直進しながら、包囲部12、挿入部材20および被測定物1を透過していく。
第七の実施形態によれば、第一の実施形態と同様な効果を奏する。
しかも、第七の実施形態によれば、被測定物1が円柱でなくても、挿入部材20により、被測定物1と挿入部材20とが一体となって円柱を構成することで、被測定物1を円柱として取り扱うことができる。例えば、第三の実施形態(第5図参照)および第四の実施形態(第6図参照)を、被測定物1が円柱でなくても適用できるようになる。
なお、第七の実施形態においては、被測定物1が楕円柱であるとして説明を行っている。しかし、被測定物1は、楕円柱のような回転体でなくてもよい。被測定物1と挿入部材20とが一体となったものが円柱となればよい。
また、収容具10は、挿入部材20にかえて、被測定物1と空隙部11との間の空間に充填される充填材(例えば、オイルなどの液体)を備えてもよい。ただし、充填材の屈折率をn4、被測定物1の屈折率をn1としたときに、n1−0.1≦n4≦n1+0.1である。なお、n1=n4であることが好ましい。また、n1およびn4は、収容具10の周囲の空気の屈折率(例えば、1)と等しくなくてもよい。
第八の実施形態
第八の実施形態は、第一の実施形態にかかる収容具10のテラヘルツ波測定装置に対する配置法が第一の実施形態と異なる。
第10図は、第八の実施形態にかかる収容具10に被測定物1の少なくとも一部が収容され、収容具10にテラヘルツ波が照射されたときの平面図である。
収容具10およびテラヘルツ波測定装置の構成は第一の実施形態と同様であり、説明を省略する。
ただし、第10図を参照して、第一平面部分S1が、テラヘルツ波測定装置のテラヘルツ波出力器2から被測定物1に向けて出力されたテラヘルツ波の進行方向に対して、0度を超え90度未満の角度αで交差する。テラヘルツ波測定装置による被測定物1の測定を行うために、上記のように収容具10を配置する。
次に、第八の実施形態の動作を説明する。
第10図を参照して、テラヘルツ波測定装置のテラヘルツ波出力器2によりテラヘルツ波が出力される。テラヘルツ波出力器2から出力されたテラヘルツ波は、第一平面部分S1に照射される。ここで、テラヘルツ波は屈折してから、包囲部12の内部を直進していく。
ここで、被測定物1の輪郭と、空隙部11の平面形状の輪郭との隙間の空気層の厚さは薄いので無視する。さらに、(被測定物1の屈折率n1)=(包囲部12の屈折率n2)とする。
すると、包囲部12の内部を進行していったテラヘルツ波は、被測定物1の内部をも屈折しないで、直進していく。さらに、テラヘルツ波は、被測定物1を透過し、包囲部12に入射する。さらに、テラヘルツ波は、包囲部12の内部を直進し、第二平面部分S2を通過する。この際、テラヘルツ波は屈折し、テラヘルツ波出力器2から出力されたテラヘルツ波の進行方向と平行な方向に進行し、テラヘルツ波検出器4に入射される。
結局、テラヘルツ波出力器2から出力されたテラヘルツ波は、所定の距離(オフセット)だけ光路が移動して、テラヘルツ波検出器4に入射される。
テラヘルツ波検出器4は、入射されたテラヘルツ波を検出する。これにより、被測定物1が測定される。例えば、被測定物1は内容物1a、1bを有する。第10図によれば、テラヘルツ波は内容物1bを透過するので、テラヘルツ波の検出結果から内容物1bの位置などが判明する。
なお、(被測定物1の屈折率n1)=(包囲部12の屈折率n2)として、第八の実施形態の動作を説明したが、n1−0.1≦n2≦n1+0.1であれば、おおよそ、同様な動作である。
第八の実施形態によれば、テラヘルツ波を被測定物1に与えて測定する際に、テラヘルツ波が被測定物1により屈折することを抑制できる。
しかも、第八の実施形態によれば、テラヘルツ波出力器2から出力されたテラヘルツ波は、所定の距離(オフセット)だけ光路が移動して、テラヘルツ波検出器4に入射される。このため、第八の実施形態は、テラヘルツ波出力器2から出力されたテラヘルツ波の進行方向上に、テラヘルツ波検出器4が無い場合に適している。
第九の実施形態
第九の実施形態は、包囲部12a、12bが分割面D1、D2に沿って分割可能である点が第一の実施形態と異なる。なお、第九の実施形態にかかる収容具10を使用して、第二から第六の実施形態において説明した被測定物1の走査を行うことができる。また、第九の実施形態にかかる収容具10の配置形態として、第八の実施形態おいて説明した方法(第10図参照)をとることができる。
第11図は、第九の実施形態にかかる収容具10に被測定物1の少なくとも一部が収容され、収容具10にテラヘルツ波が照射されたときの平面図である。
収容具10およびテラヘルツ波測定装置の構成は第一の実施形態とほぼ同様である。ただし、収容具10は、包囲部12にかえて、包囲部12a、12bを備える。包囲部12a、12bは分割面D1、D2に沿って分割可能である。また、分割面D1、D2は、空隙部11と交差する。なお、第11図に示すように分割面D1、D2とは離れていてもよい。また、包囲部12a、12bは、互いに、図示省略した連結手段により連結される。第11図の場合、空隙部11の平面形状の輪郭は、左に凸の円弧と、右に凸の円弧を含む。
第九の実施形態の動作は、第一の実施形態の動作と同様であり説明を省略する。
第九の実施形態にかかる収容具10によれば、包囲部12a、12bは分割面D1、D2に沿って分割可能であるため、空隙部11の内部に被測定物1を収容しやすい。例えば、包囲部12a、12bは分割面D1、D2に沿って分割してから、空隙部11の内部に被測定物1を収容する。その後、包囲部12a、12bを、互いに、図示省略した連結手段により連結すればよい。
第十の実施形態
第十の実施形態にかかる収容具10は、被測定物1が複数の円柱からなる場合に対応したものである。なお、第十の実施形態にかかる収容具10を使用して、第二から第六の実施形態において説明した被測定物1の走査を行うことができる。また、第十の実施形態にかかる収容具10の配置形態として、第八の実施形態おいて説明した方法(第10図参照)をとることができる。
第12図は、第十の実施形態にかかる収容具10に被測定物1が収容されたときの断面図(第12図(a))および平面図(第12図(b))である。なお、第12図(a)においては、図示の便宜上、収容具10と空隙部11との間の隙間を省略している。
第12図(a)を参照して、被測定物1は三個の円柱からなり、高さに応じて底面の直径が変化している。(最高部の円柱の底面の直径)>(最低部の円柱の底面の直径)>(中央部の円柱の底面の直径)となっている。なお、被測定物1は回転体であればよく、例えば楕円体でもよい。ただし、その回転体の中心軸は直線Aに一致している必要がある。
ここで、空隙部11の平面形状の輪郭の半径が、空隙部11の高さに応じて変化している。これにより、被測定物1が、その高さに応じて底面の直径が変化していることに対応している。
第12図(b)を参照して、包囲部12a、12bは分割面D1、D2に沿って分割可能である。また、分割面D1、D2は、空隙部11と交差する(第九の実施形態と同様)。これにより、空隙部11の内部に被測定物1を収容しやすい。例えば、包囲部12a、12bは分割面D1、D2に沿って分割してから、空隙部11の内部に被測定物1を収容する。その後、包囲部12a、12bを、互いに、図示省略した連結手段により連結すればよい。
なお、第12図(b)において、テラヘルツ波測定装置のテラヘルツ波出力器2およびテラヘルツ波検出器4の位置および光路P1、P2の位置は、第11図と同様であり、説明を省略する。
Claims (18)
- 電磁波測定装置により測定される被測定物の少なくとも一部を収容する収容具であって、
前記被測定物の少なくとも一部がその内部に配置される空隙部と、
第一平面部分と第二平面部分とを有し、前記第一平面部分と前記第二平面部分との間に前記空隙部が配置され、前記空隙部を包囲する包囲部と、
を備え、
前記包囲部の屈折率をn2、前記被測定物の屈折率をn1としたときに、
n1−0.1≦n2≦n1+0.1
であり、
前記電磁波測定装置は、前記被測定物に向けて0.01[THz]以上100[THz]以下の周波数の電磁波を出力する、
収容具。 - 請求項1に記載の収容具であって、
前記空隙部の平面形状の輪郭が、円弧を含む、
収容具。 - 請求項2に記載の収容具であって、
前記空隙部の平面形状の輪郭の半径が、前記空隙部の高さに応じて変化する、
収容具。 - 請求項1に記載の収容具であって、
前記包囲部が分割面に沿って分割可能であり、
前記分割面が前記空隙部と交差する、
収容具。 - 請求項1に記載の収容具であって、
前記被測定物と前記空隙部との間の空間に挿入される挿入部材を備え、
前記被測定物と前記挿入部材とが一体となったものの輪郭が、前記空隙部の平面形状の輪郭と同心円状になり、
前記挿入部材の屈折率をn3、前記被測定物の屈折率をn1としたときに、
n1−0.1≦n3≦n1+0.1
である収容具。 - 請求項5に記載の収容具であって、
前記被測定物と前記挿入部材とが一体となったものの平面形状の輪郭と、前記空隙部の平面形状の輪郭との距離が、
前記電磁波測定装置から前記被測定物に向けて出力された前記電磁波の波長の四分の一以下である、
収容具。 - 請求項1に記載の収容具であって、
前記被測定物と前記空隙部との間の空間に充填される充填材を備え、
前記充填材の屈折率をn4、前記被測定物の屈折率をn1としたときに、
n1−0.1≦n4≦n1+0.1
である収容具。 - 請求項1に記載の収容具であって、
前記被測定物の平面形状の輪郭と、前記空隙部の平面形状の輪郭との距離が、
前記電磁波測定装置から前記被測定物に向けて出力された前記電磁波の波長の四分の一以下である、
収容具。 - 前記被測定物を収容した請求項1ないし8のいずれか一項に記載の収容具を、前記電磁波測定装置による前記被測定物の測定のために配置する収容具配置方法であって、
前記第一平面部分が、前記電磁波測定装置から前記被測定物に向けて出力された前記電磁波の進行方向に対して、直角に交差するように、前記収容具を配置する工程を備えた収容具配置方法。 - 前記被測定物を収容した請求項1ないし8のいずれか一項に記載の収容具を、前記電磁波測定装置による前記被測定物の測定のために配置する収容具配置方法であって、
前記第一平面部分が、前記電磁波測定装置から前記被測定物に向けて出力された前記電磁波の進行方向に対して、0度を超え90度未満の角度で交差するように、前記収容具を配置する工程を備えた収容具配置方法。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の収容具に収容された前記被測定物を、前記電磁波測定装置により測定する方法であって、
前記電磁波測定装置により、前記電磁波を出力する出力工程と、
前記電磁波測定装置により、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する検出工程と、
を備え、
前記出力工程および前記検出工程が行われている間に、前記収容具および前記被測定物が、前記電磁波の光路に対して水平方向に動く、
測定方法。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の収容具に収容された前記被測定物を、前記電磁波測定装置により測定する方法であって、
前記電磁波測定装置により、前記電磁波を出力する出力工程と、
前記電磁波測定装置により、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する検出工程と、
を備え、
前記出力工程および前記検出工程が行われている間に、前記電磁波の光路が、前記収容具に対して水平方向に動く、
測定方法。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の収容具に収容された前記被測定物を、前記電磁波測定装置により測定する方法であって、
前記電磁波測定装置により、前記電磁波を出力する出力工程と、
前記電磁波測定装置により、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する検出工程と、
を備え、
前記出力工程および前記検出工程が行われている間に、前記被測定物が、上下方向に伸びる直線を回転軸として、回転する、
測定方法。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の収容具に収容された前記被測定物を、前記電磁波測定装置により測定する方法であって、
前記電磁波測定装置により、前記電磁波を出力する出力工程と、
前記電磁波測定装置により、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する検出工程と、
を備え、
前記出力工程および前記検出工程が行われている間に、前記収容具および前記電磁波の光路が、上下方向に伸びる直線を回転軸として、回転する、
測定方法。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の収容具に収容された前記被測定物を、前記電磁波測定装置により測定する方法であって、
前記電磁波測定装置により、前記電磁波を出力する出力工程と、
前記電磁波測定装置により、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する検出工程と、
を備え、
前記出力工程および前記検出工程が行われている間に、前記収容具および前記電磁波の光路が、前記被測定物に対して、上下方向に動く、
測定方法。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の収容具に収容された前記被測定物を、前記電磁波測定装置により測定する方法であって、
前記電磁波測定装置により、前記電磁波を出力する出力工程と、
前記電磁波測定装置により、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する検出工程と、
を備え、
前記出力工程および前記検出工程が行われている間に、前記収容具および前記被測定物が、前記電磁波の光路に対して、上下方向に動く、
測定方法。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の収容具に収容された前記被測定物を、前記電磁波測定装置により測定する方法であって、
前記電磁波測定装置により、前記電磁波を出力する出力工程と、
前記電磁波測定装置により、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する検出工程と、
を備え、
前記出力工程および前記検出工程が行われている間に、前記収容具および前記電磁波の光路に対して、前記被測定物が、上下方向に動く、
測定方法。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の収容具に収容された前記被測定物を、前記電磁波測定装置により測定する方法であって、
前記電磁波測定装置により、前記電磁波を出力する出力工程と、
前記電磁波測定装置により、前記被測定物を透過した前記電磁波を検出する検出工程と、
を備え、
前記出力工程および前記検出工程が行われている間に、前記収容具および前記被測定物に対して、前記電磁波の光路が、上下方向に動く、
測定方法。
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