DE112010003161T5

DE112010003161T5 - Behälter, Behälteranordnungsverfahren und Messverfahren

Info

Publication number: DE112010003161T5
Application number: DE112010003161T
Authority: DE
Inventors: Eiji Kato; Shigeki Nishina; Kodo Kawase
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2009-05-15
Filing date: 2010-05-11
Publication date: 2012-07-05
Also published as: US20100321682A1; JPWO2010131762A1; WO2010131762A1

Abstract

Ein Behälter 10 gemäß der vorliegenden Erfindung beinhaltet zumindest einen Teil eines Prüfobjekts 1, welches von einem Terahertz-Wellen-Messgerät gemessen werden soll. Der Behälter 10 beinhaltet ein Spaltteil 11, welches innerlich zumindest einen Teil des Prüfobjekts 1 anordnet, und einen Einfassungsteil 12, welcher einen ersten ebenen Oberflächenteil S1 und einen zweiten ebenen Oberflächenteil S2 beinhaltet, und das Spaltteil 11 zwischen dem ersten ebenen Oberflächenteil S1 und dem zweiten ebenen Oberflächenteil S2 anordnet, wobei der Spaltteil 11 eingeschlossen wird. Weiterhin gilt eine Beziehung n1 – 0,1 ≤ n2 ≤ n1 + 0,1, wobei n2 einen Brechungsindex des Einfassungsteils bezeichnet, und n1 einen Brechungsindex des Prüfobjekts. Weiterhin kreuzen sich der erste ebene Oberflächenteil und eine Ausbreitungsrichtung der Terahertz-Welle in einem rechten Winkel.

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung betrifft die Tomographie unter Verwendung einer elektromagnetischen Welle (deren Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz ist) wie z. B. eine Terahertzwelle (deren Frequenz zum Beispiel ≥ 0,03 THz und ≤ 10 THz ist).
STAND DER TECHNIK
Die Computertomographie (CT) ist ein gebräuchliches Verfahren zum Erlangen tomographischer Informationen von einem Prüfobjekt. Dieses Verfahren wird Röntgen-CT genannt wenn ein Generator und ein Detektor für Röntgenstrahlen verwendet werden. Mit der Röntgen-CT ist es möglich tomographische Informationen eines menschlichen Körpers auf zerstörungsfreie und kontaktfreie Art zu erhalten.
Jedoch ist es schwierig für die Röntgen-CT interne Zustände (wie z. B. Effekte und Formänderungen) von industriellen Produkten zu detektieren, welche aus Halbleitern, Kunststoffen, Keramiken, Hölzern und Papier konstruiert sind (später „Rohmaterialien” genannt). Der Grund hierfür liegt in der Eigenschaft der Röntgenstrahlen, dass sie eine hohe Transmissionseigenschaft für jegliche Materialien besitzen.
Auf der anderen Seite pflanzt sich die Terahertzwelle durch die Rohmaterialien der industriellen Produkte wie oben beschrieben geeignet fort. Daher wird die CT ausgeführt während ein Generator und ein Detektor der Terahertzwelle verwendet werden. Im weiteren Verlauf „Terahertz-CT” genannt, sodass die CT interne Zustände von industriellen Produkten detektieren kann. Patentdokument 1 ( US-Patent-Nummer: 7,119,339 ) und das Nicht-Patentdokument 1 (S. Wang et al.; „pulsed trahertz tompgraphy" J. Phys. D, Vol. 37 (2004) R1-R36) beschreiben die Terahertz-CT.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Jedoch wird beim Terahertz-CT die Terahertzwelle gebrochen, wenn die Teraherztwelle schräg in das Prüfobjekt einfällt oder von diesem emitiert wird und somit nicht gerade hindurchwandert. Aus diesem Grund wird angenommen, dass der Brechungsindex der umgebenden Luft des Prüfobjekts eins ist und der Brechungsindex des Prüfobjekts für die Terahertz-CT größer als 1 ist. 13 zeigt erwartete Strahlengänge der Terahertzwelle wenn der Brechungsindex eines konventionellen Prüfobjekts 1,4 ist und der Brechungsindex der umgebenden Luft des Prüfobjekts 1 ist. Mit Bezug auf 13 ist es gewünscht, dass die Terahertzwelle, welche von der linken Seite durch das Prüfobjekt (device under test, DUT) hindurch tritt, abgelenkt wird.
Aufgrund der Tatsache, dass die Terahertzwelle nicht geradlinig wandert, kann die Terahertzwelle einen Detektor nicht erreichen und es kann daher kein Bild des DUT mit ausreichender Sensitivität erzeugt werden.
Aufgrund der Tatsache, dass sich die Terahertzwelle darüber hinaus nicht geradlinig fortbewegt, kann sich eine detektierte Terahertzwelle nicht geradlinig vor der Ankunft durch das DUT hindurch bewegt haben. Wenn daher ein Bild des DUT aus der detektierten Terahertzwelle erzeugt wird, können Artefakte wie behindernde Schatten und Pseudobilder im Bild auftreten.
Daher ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung die Refraktion der elektromagnetischen Wellen einschließlich der Terahertzwelle durch das DUT zu beschränken, wenn eine elektromagnetische Welle (wenn die Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz ist) einschließlich der Terahertzwelle einem DUT zur Messung zugeführt wird.
Gemäß der vorliegenden Erfindung beinhaltet ein Behälter, der zumindest einen Teil des Prüfobjekts beinhaltet, welcher von einem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemessen werden soll: einen Spaltteil, der zumindest einen Teil des Prüfobjekts innenseitig anordnet; und ein Einfassungsteil einschließend einen ersten ebenen Oberflächenteil und einen zweiten ebenen Oberflächenteil der den Spaltteil zwischen dem ersten ebenen Oberflächenteil und dem zweiten ebenen Oberflächenteil anordnet wobei der Spaltteil eingeschlossen wird, wobei eine Beziehung n1 – 0,1 ≤ n2 ≤ n1 + 0,1 gilt, wobei n2 einen Brechungsindex des Einfassungsteils bezeichnet und n1 einen Brechungsindex des Prüfobjekts; und das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gibt eine elektromagnetische Welle in Richtung des Prüfobjekts aus, welche eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt.
Bezüglich des so konstruierten Behälters beinhaltet zumindest einen Teil des von einem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät zu messenden Prüfobjekts beinhaltet ordnet ein Spaltteil zumindest einen Teil des Prüfobjekts innenseitig an. Ein Einfassungsteil beinhaltet einen ersten ebenen Oberflächenteil und einen zweiten ebenen Oberflächenteil und ordnet den Spaltteil zwischen dem ersten ebenen Oberflächenteil und dem zweiten ebenen Oberflächenteil an, wobei der Spaltteil eingeschlossen wird. Eine Beziehung n1 – 0,1 ≤ n2 ≤ n1 + 0,1 gilt, wobei n2 einen Brechungsindex des Einfassungsteils bezeichnet und n1 einen Brechungsindex des Prüfobjekts. Das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gibt eine elektromagnetische Welle in Richtung des Prüfobjekts aus, die eine Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz besitzt.
In Bezug auf den Behälter der vorliegenden Erfindung kann eine Kontur einer glatten Form des Spaltteils einen Bogen beinhalten.
In Bezug auf den Behälter der vorliegenden Erfindung kann sich ein Radius der Kontur der glatten Form des Spaltteils verändern entsprechend der Höhe des Spaltteils.
Gemäß dem Behälter der vorliegenden Erfindung kann der Einfassungsteil entlang einer Trennoberfläche geteilt werden; und die Trennfläche kann sich mit dem Spaltteil schneiden.
Der Behälter gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Einsatzteil beinhalten, das in einen Raum zwischen dem Prüfobjekt und dem Spaltteil eingesetzt ist, wobei eine Kontur der glatten Form eines integrierten Körpers des Prüfobjekts und des Einsatzstücks konzentrisch ist mit einer Kontur einer glatten Form des Spaltteils; und eine Beziehung n1 – 0,1 ≤ n3 ≤ n1 + 0,1 gilt, wobei n3 einen Brechungsindex des Einsatzstücks bezeichnet und n1 den Brechungsindex des Prüfobjekts.
Gemäß dem Behälter der vorliegenden Erfindung kann ein Abstand zwischen der Kontur der glatten Form des integrierten Körpers des Prüfobjekts und dem Einsatzstück und der Kontur der glatten Form des Spaltteils gleich sein, oder weniger als ein Viertel der Wellenlänge der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät in Richtung des Prüfobjekts ausgegeben wird.
Der Behälter der vorliegenden Erfindung kann ein Füllmaterial beinhalten, das in den Raum zwischen dem Prüfobjekt und dem Spaltteil gefüllt wird, wobei eine Beziehung n1 – 0,1 ≤ n4 ≤ n1 + 0,1 gilt, wobei n4 einen Brechungsindex des Füllmaterials bezeichnet und n1 den Brechungsindex des Prüfobjekts.
Gemäß dem Behälter der vorliegenden Erfindung kann ein Abstand zwischen einer Kontur einer glatten Form des Prüfobjekts und einer Kontur einer glatten Form des Spaltteils gleich oder kleiner sein als ein Viertel der Wellenlänge der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät in Richtung des Prüfobjekts ausgegeben wird.
Gemäß der vorliegenden Erfindung beinhaltet ein Behälteranordnungsverfahren zum Anordnen des Behälters gemäß der vorliegenden Erfindung welcher das Prüfobjekt zum Messen durch ein Elektromagnetische-Wellen-Messgerät beinhaltet, einen Schritt des Anordnens des Behälters sodass der erste glatte Oberflächenteil eine Ausbreitungsrichtung der elektromagnetischen Wellen welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät in Richtung des Prüfobjekts ausgegeben wurde in dem rechten Winkel schneidet.
Ein Behälteranordnungsverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung zum Anordnen eines Behälters gemäß der vorliegenden Erfindung welcher ein Prüfobjekt zum Messen durch das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, beinhaltet einen Schritt des Anordnens des Behälters sodass der erste ebene Oberflächenteil eine Ausbreitungsrichtung der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät in Richtung des Prüfobjekts ausgegeben wird, in einem Winkel von größer 0° und kleiner 90° schneidet.
Ein Messverfahren zum Messen des Prüfobjekts gemäß der vorliegenden Erfindung welches in einem Behälter gemäß der vorliegenden Erfindung enthalten ist, welches unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts beinhaltet: Einen Ausgabeschritt der Ausgabe einer elektromagnetischen Welle durch das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät; und einen Detektionsschritt des Detektierens der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromgnetische-Wellen-Messgerät durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, wobei sich der Behälter und das Prüfobjekt horizontal im Verhältnis zu einem Strahlengang der elektromagnetischen Welle bewegen während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden.
Ein Messverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung des Prüfobjekts welches in einem Behälter gemäß der vorliegenden Erfindung enthalten ist unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgerät beinhaltet: Einen Ausgabeschritt des Ausgebens der elektromagnetischen Welle durch das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät; und einen Detektionsschritt des Detektierens der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, wobei sich ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle in Bezug auf den Behälter horizontal bewegt während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden.
Ein Messverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung zum Messen des Prüfobjekts, welches in einem Behälter gemäß der vorliegenden Erfindung enthalten ist unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, beinhaltet: einen Ausgabeschritt des Ausgebens der elektromagnetischen Welle durch das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät; und einen Detektionsschritt des Detektierens der elektromagnetischen Welle, welche durch das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, wobei das Prüfobjekt um eine Linie herum rotiert, welche sich in vertikaler Richtung als eine Rotationsachse ausdehnt, während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden.
Ein Messverfahren gemäß der vorlegenden Erfindung zum Messen des Prüfobjekts, welches in einem Behälter gemäß der vorlegenden Erfindung enthalten ist unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, beinhaltet: einen Ausgabeschritt des Ausgebens der elektromagnetischen Welle durch das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät; und einen Detektionsschritt des Detektierens der elektromagnetischen Welle, welche durch das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät durch das Prilfobjekt hindurch übertragen wurde, wobei der Behälter und ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle um eine Linie herum rotieren, welche sich in vertikaler Richtung als eine Rotationsachse ausdehnt während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden.
Ein Messverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung zum Messen eines Prüfobjekts welches in einem Behälter gemäß der vorliegenden Erfindung enthalten ist, unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, beinhaltet: einen Ausgabeschritt des Ausgebens der elektromagnetischen Welle durch das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät und einen Detektionsschritt des Detektierens der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät durch das Prüfobjekt hindurch übertragen wurde, wobei sich der Behälter und ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle vertikal in Bezug auf das Prüfobjekt bewegen während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden.
Ein Messverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung zum Messen des Prüfobjekts welches in dem Behälter gemäß der vorliegenden Erfindung enthalten ist unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts, beinhaltet: Einen Ausgabeschritt des Ausgebens der elektromagnetischen Welle durch ein Elektromagnetische-Wellen-Messgerät; und einen Detektionsschritt des Detektierens der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät durch das Prüfobjekt übertragen wurde, wobei sich der Behälter und das Prüfobjekt vertikal bewegen in Bezug auf einen Strahlengang der elektromagnetischen Welle während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden.
Ein Messverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung zum Messen des Prüfobjekts welches in dem Behälter gemäß der vorliegenden Erfindung beinhaltet ist unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts, beinhaltet: Einen Ausgabeschritt des Ausgeben der elektromagnetischen Welle durch das elektromagnetische Wellen Prüfgerät; und ein Detektionsschritt des Detektierens der elektromagnetischen Welle, welche durch das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät durch das Prüfobjekt übertragen wurde, wobei sich das Prüfobjekt vertikal in Bezug auf den Behälter und einen Strahlengang der elektromagnetischen Welle bewegt während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden.
Ein Messverfahren gemäß der vorliegenden. Erfindung zum Messen des Prüfobjekts welches in dem Behälter gemäß der vorliegenden Erfindung enthalten ist unter Verwendung eines Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts, beinhaltet: Einen Ausgabeschritt des Ausgebens der elektromagnetischen Welle durch ein Elektromagnetische-Wellen-Messgerät und einen Detektionsschritt des Detektierens der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät durch das Prüfgerät hindurch übertragen wurde, wobei sich ein Strahlengang der elektromagnetischen Welle in Bezug auf den Behälter und das Prüfobjekt vertikal bewegt während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden.
KURZE BESCHREIBUNG DER FIGUREN
1 ist eine Draufsicht auf einen Behälter 10 gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
2 ist eine Draufsicht auf einen Zustand in welchem wenigstens ein Teil des Prüfobjekts (device under test, DUT) 1 in dem Behälter 10 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung enthalten ist und eine Terahertzwelle auf den Behälter 10 einstrahlt;
3 ist eine vergrößerte Draufsicht des DUT 1 und des Spaltteils 11 wenn zumindest ein Teil des DUT 1 in dem Behälter 10 enthalten ist;
4(a) und 4(b) sind Draufsichten auf den Behälter 10 und das Terahertzwellenmessgerät zum Beschreiben des Betriebs der zweiten Ausführungsform;
5(a) und 5(b) sind Draufsichten auf den Behälter 10 und das Terahertzwellenmessgerät zum Beschreiben des Betriebs der dritten Ausführungsform;
6(a) und 6(b) sind Draufsichten auf den Behälter 10 und das Terahertzwellenmessgerät zum Beschreiben des Betriebs der vierten Ausführungsform;
7(a) und 7(b) sind Frontansichten des Behälters 10 und des Terahertzwellenmessgeräts gemäß der fünften Ausführungsform;
8(a) und 8(b) sind Frontansichten des Behälters 10 und des Terahertzwellenmessgeräts gemäß der sechsten Ausführungsform;
9 ist eine Draufsicht auf einen Zustand in welchem zumindest ein Teil des DUT 1 in dem Behälter 10 gemäß der siebten Ausführungsform gelagert ist und die Terahertzwelle auf den Behälter 10 einstrahlt;
10 ist eine Draufsicht auf einen Zustand in welchem zumindest ein Teil des DUT 1 in dem Behälter 10 gemäß der achten Ausführungsform gelagert ist und die Terahertzwelle auf den Behälter 10 einstrahlt;
11 ist eine Draufsicht auf einen Zustand in welchem zumindest ein Teil des DUT 1 in denn Behälter 10 gelagert ist und die Terahertzwelle auf den Behälter 10 einstrahlt.
12(a) und 12(b) sind Ansichten, wenn das DUT 1 in dem Behälter gemäß der zehnten Ausführungsform gelagert ist in welchem 12(a) ein Querschnitt ist und 12(b) eine Draufsicht; und
13 zeigt erwartete Strahlengänge der Terahertzwelle, wenn der Brechungsindex eines gewöhnlichen Prüfobjekts 1,4 und der Brechungsindex der das Prüfobjekt umgebenden Luft i ist.
ART UND WEISE ZUM AUSFÜHREN DER ERFINDUNG
Nun wird eine Beschreibung der Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung gegeben in Bezug auf die Figuren.
Erste Ausführungsform
1 ist eine Draufsicht auf einen Behälter 10 gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
2 ist eine Draufsicht auf einen Zustand, in welchem zumindest ein Teil eines Prüfobjekts (device under test, DUT) 1 in dem Behälter 10 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung gelagert ist und eine Terahertzwelle auf den Behälter 10 einstrahlt.
In Bezug auf 2 beinhaltet ein Terahertzwellenmessgerät (Elektromagnetische-Wellen-Messgerät) ein Terahertzwellenausgabegerät 2 und einen Terahertzwellendetektor 4. Das Terahertzwellenausgabegerät 2 gibt die Terahertzwelle aus. Der Terahertzwellendetektor 4 detektiert die Terahertzwelle welche durch das DUT 1 und den Behälter 10 hindurch übertragen wurde.
Es soll angemerkt werden, dass das Terahertzwellenmessgerät (Elektromagnetische-Wellen-Messgerät) die Terahertzwelle wie oben beschrieben einsetzt um als eine elektromagnetische Welle ausgegeben und detektiert zu werden (die Frequenz der Terahertzwelle ist zum Beispiel ≥ 0,03 THz und ≤ 10 THz). Jedoch sind die von dem Terahertzwellenmessgerät (Elektromagnetische-Wellen-Messgerät) auszugebenden und zu detektierenden elektromagnetischen Wellen nicht auf die Terahertzwellen beschränkt, und können elektromagnetische Wellen sein, deren Frequenz ≥ 0,01 THz und ≤ 100 THz ist.
Der Behälter 10 beinhaltet zumindest einen Teil des DUT 1 der von dem Terahertzwellenmessgerät gemessen werden soll. Es soll angemerkt werden, dass der Behälter 10 das DUT 1 teilweise (siehe 7(a) und 7(b)) oder gänzlich (siehe 8(a) und 8(b)) beinhalten kann.
Der Behälter 10 beinhaltet einen Spaltteil 11 und einen Einfassungsteil 12. Der Spaltteil 11 ist ein kreisrunder Spalt mit einer Radius r von oben betrachtet (siehe 1). Zumindest ein Teil des DUT 1 ist innerhalb des Spaltteils 11 angeordnet (siehe 2).
Der Einfassungsteil 12 beinhaltet einen ersten ebenen Oberflächenteil S1 und einen zweiten ebenen Oberflächenteil S2. Es soll angemerkt werden, dass der erste ebene Oberflächenteil S1 und der zweite ebene Oberflächenteil S2 in den 1 und 2 durch gerade Linien repräsentiert wird. Dies liegt in der Tatsache begründet, dass 1 und 2 Draufsichten sind. Der Behälter 10 hat eigentlich eine Dicke (siehe 7(a), 7(b), 8(a) und 8(b)) und daher sind der erste ebene Oberflächenteil S1 und der zweite ebene Oberflächenteil S2 keine geraden Linien sondern ebene Oberflächen.
Es soll angemerkt werden, dass der erste ebene Oberflächenteil S1 und der zweite ebene Oberflächenteil S2 parallel zueinander sind.
Der Spaltteil 11 ist zwischen dem ersten ebenen Oberflächenteil S1 und dem zweiten ebenen Oberflächenteil S2 angeordnet. Der Einfassungsteil 12 fasst den Spaltteil 11 ein. Aus diesem Grund wird ein Brechungsindex des DUT 1 als n1 bezeichnet und ein Brechungsindex des Einfassungsteils 12 als n2. Weiterhin gilt hier eine Beziehung n1 – 0,1 n2 ≤ n1 + 0,1. Es ist bevorzugt, dass eine Beziehung n1 = n2 gilt. Weiterhin können in und n2 nicht gleich dem Brechungsindex (wie z. B. 1) der den Behälter 10 umgebenden Luft sein.
Es soll angemerkt werden, dass das Material des Einfassungsteils 12 ein Hartzmaterial wie z. B. Teflon (eingetragene Marke), Polyethylen und dergleichen sein kann. Diese Hartzmaterialien können üblicherweise nicht für die Messung eines Strahlengangs im sichtbaren Lichtspektrum oder dem Infrarot-Lichtspektrum eingesetzt werden. Jedoch zeigen diese Hartzmaterialien eine geringe Absorptionsrate und Streuung des Strahlengangs der Terahertzwelle und können daher für die Messung mit Hilfe der Terahertzwelle eingesetzt werden.
3 ist eine vergrößerte Draufsicht des DUT 1 und des Spaltteils 11, wenn zumindest ein Teil des DUT 1 in dem Behälter 10 gelagert ist. Der Abstand zwischen einer Kontur einer glatten Form (Form von oben betrachtet) des DUT 1 und einer Kontur einer glatten Form (Form von oben betrachtet) des Spaltteils 11 ist mit g bezeichnet. Die Form des DUT 1 wie von oben betrachtet ist dann ein Kreis mit einem Radius r–g. Das DUT 1 ist daher ein Zylinder welcher eine Bodenfläche in Form eines Kreises mit dem Radius r–g besitzt.
Es ist bevorzugt, dass eine Beziehung g ≤ λ/4 gilt. Es soll angemerkt werden, dass λ die Wellenlänge der Terahertzwelle bezeichnet welche von dem Terahertzwellenausgabegerät 2 des Teraherzwellenmessgeräts in Richtung des DUT 1 ausgeben wird. Wenn die Beziehung g ≤ λ/4 gilt, ist es möglich eine Luftschicht in dem Spalt zwischen der Kontur des DUT 1 und der Kontur der glatten Form des Spaltteils 11 davon abzuhalten die Terahertzwelle zu reflektieren. Die Reflektion der Terahertzwelle führt zu einem Verlust der Terahertzwelle und das Bereitstellen der Beziehung g ≤ λ/4 führt zu einer Beschränkung des Verlusts der Terahertzwelle.
Es soll in Bezug auf 2 angemerkt werden, dass der erste ebene Oberflächenteil S1 eine Ausbreitungsrichtung der Terahertzwelle welche von dem Terahertzwellenausgabegerät des Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts in Richtung des DUT 1 ausgeben wird in dem rechten Winkel schneidet. Der Behälter 10 ist wie oben beschrieben angeordnet um das DUT 1 mit dem Terahertzwellenmessgerät zu messen.
Nun wird eine Beschreibung eines Betriebs der ersten Ausführungsform gegeben.
Mit Bezug auf 2 gibt das Terahertzwellenausgabegerät 2 des Terahertzwellenmessgeräts die Terahertzwelle aus. Die Terahertzwelle, welche von dem Terahertzwellenausgabegerät 2 ausgegeben wird strahlt in einem rechten Winkel auf den ersten ebenen Oberflächenteil S1. Als ein Ergebnis wird die Terahertzwelle nicht gebrochen, sondern bereitet sich geradlinig aus und tritt in den Einfassungsteil 12 ein.
Aus diesem Grund ist die Dicke der Luftschicht zwischen der Kontur des DUT 1 und der Kontur der glatten Form des Spaltteils 11 vernachlässigbar. Weiterhin gilt die Beziehung (Brechungsindex n1 des DUT 1) = (Brechungsindex n2 des Einfassungsteils 12).
Die Terahertzwelle welche in den Einfassungsteil 12 eingetreten ist, ist nicht gebrochen sondern tritt geradlinig in das DUT 1. Die Terahertzwelle pflanzt sich weiterhin durch das DUT 1 hindurch fort und fällt in den Einfassungsteil 12 ein. Dann tritt die Terahertzwelle geradlinig in den Einfassungsteil 12 ein und pflanzt sich durch den zweiten ebenen Oberflächenteil S2 fort. Letztendlich pflanzt sich die Terahertzwelle, welche durch das Terahertzwellenausgabegerät 2 ausgegeben wurde, durch den Einfassungsteil 12 und das DUT 1 fort, während sie sich fortwährend geradlinig ausbreitet und in den Terahertzwellendetektor 4 einfällt.
Der Terahertzwellendetektor 4 detektiert die einfallende Terahertzwelle. Als ein Ergebnis wird das DUT 1 gemessen. Z. B. beinhaltet das DUT 1 die Inhalte 1a und 1b. Die Terahertzwelle pflanzt sich in Bezug auf 2 durch den Inhalt 1b fort und dadurch werden die Position und dergleichen des Inhalts 1b gemäß einem Ergebnis der Detektion der Terahertzwelle enthüllt. Obwohl der Betrieb der ersten Ausführungsform beschrieben ist während angenommen wird, dass die Beziehung (Brechungsindex n1 des DUT1) = (Brechungsindex n2 des Einfassungsteils 12) gilt, nur grob berücksichtigt werden, dass sich die Terahertzwelle welche durch das Terahertzwellenausgabegerät 2 ausgegeben wurde durch das Einfassungsteil 12 und das DUT 1 fortwährend geradlinig ausbreitet, solange die Beziehung n1 – 0,1 ≤ n2 ≤ n1 + 0,1 gilt.
Gemäß der ersten Ausführungsform ist es möglich die Terahertzwelle davon abzuhalten durch das DUT 1 gebrochen zu werden, wenn das DUT 1 unter Bereitstellung der Terahertzwelle gemessen wird.
Zweite Ausführungsform
Eine zweite Ausführungsform ist ein Verfahren zum Scannen des DUT 1 in horizontaler Richtung (X-Richtung) unter Verwendung des Behälters 10 gemäß der ersten Ausführungsform.
Die Konfigurationen des Behälters 10 und des Terahertzwellenmessgeräts gemäß der zweiten Ausführungsform sind dieselben wie bei der ersten Ausführungsform und daher wird auf eine Beschreibung verzichtet.
Eine Beschreibung wird nun für einen Betrieb der zweiten Ausführungsform gegeben. 4(a) und 4(b) sind Draufsichten des Behälters 10 und des Terahertzwellenmessgeräts zum Beschreiben des Betriebs der zweiten Ausführungsform.
Im Bezug auf 4(a) gibt das Terahertzwellenausgabegerät 2 des Terahertzwellenmessgeräts die Terahertzwelle aus (im Weiteren „Ausgabeschritt” genannt). Die ausgegebene Terahertzwelle pflanzt sich durch den Einfassungsteil 12 und das DUT 1 fort, während es sich wie in der ersten Ausführungsform beschrieben geradlinig fortbewegt und von dem Terahertzwellendetektor 4 des Terahertzwellenmessgeräts detektiert wird (im Weiteren „Detektionsschritt” genannt). Als ein Ergebnis wird das DUT 1 mit dem Terahertzwellenmessgerät gemessen. Im Bezug auf 4(a) pflanzt sich die Terahertzwelle durch den Inhalt 1b fort und dadurch werden die Position und dergleichen des Inhalts 1b gemäß einem Ergebnis der Detektion der Terahertzwelle enthüllt.
Es soll angemerkt werden, dass die Strahlengänge der optischen Welle mit P1 und P2 bezeichnet werden. Der Strahlengang P1 ist ein Pfad der elektromagnetischen Welle, welche sich von der Ausgabe der Terahertzwelle durch das Terahertzwellenausgabegerät 2 ausbreitet zum Einfall in den Behälter 10. Der Strahlengang P2 ist ein Pfad der Terahertzwelle die sich von der Übertragung der Terahertzwelle durch den Einfassungsteil 12 und das DUT 1 zu der Ankunft am Terahertzwellendetektor 4 ausbreitet.
Während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden, bewegen sich der Behälter 10 und das DUT 1 in horizontaler Richtung (nach unten in den 4(a) und 4(b)) im Bezug auf die Strahlengänge P1 und P2 der Terahertzwelle.
Der Strahlengang P2 schneidet dann den Inhalt 1a wie in 4(b) gezeigt. Die Terahertzwelle pflanzt sich durch den Inhalt 1a fort und dadurch werden die Position und dergleichen des Inhalts 1a gemäß einem Ergebnis der Detektion der Terahertzwelle enthüllt.
Das DUT 1 gemäß der zweiten Ausführungsform kann in horizontaler Richtung (X-Richtung) gescannt werden. Als ein Ergebnis kann das DUT 1 tomographisch gemessen werden.
Ein ähnlicher Effekt kann zur Verfügung gestellt werden, wenn sich die Strahlengänge P1 und P2 der Terahertzwelle horizontal im Bezug auf den Behälter 10 und das DUT 1 bewegen (nach oben in 4(a) und 4(b)) während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden. Um die Strahlengänge P1 und P2 der Terahertzwelle zu bewegen, können das Terahertzwellenausgabegerät 2 und der Terahertzwellendetektor 4 bewegt werden.
Dritte Ausführungsform
Eine dritte Ausführungsform ist ein Verfahren zum Scannen des DUT 1 unter Verwendung des Behälters 10 gemäß der ersten Ausführungsform während das DUT 1 rotiert wird.
Die Konfigurationen des Behälters 10 und des Terahertzwellenmessgeräts gemäß der dritten Ausführungsform sind dieselben wie bei der ersten Ausführungsform und daher wird auf eine Beschreibung verzichtet. Nun wird eine Beschreibung des Betriebs der dritten Ausführungsform gegeben. 5(a) und 5(b) sind Draufsichten des Behälters 10 und des Terahertzwellenmessgeräts zum Beschreiben des Betriebs der dritten Ausführungsform. Es soll angemerkt werden, dass die Definitionen des Ausgabeschritts, des Detektionsschritts und der optischen Pfade P1 und P2 dieselben sind wie bei der zweiten Ausführungsform. Mit Bezug auf 5(a) ist der Ausgabeschritt ausgeführt. Die ausgegebene Terahertzwelle pflanzt sich durch den Einfassungsteil 12 und das DUT 1 fort während sie sich geradlinig fortbewegt wie in der ersten Ausführungsform beschrieben. Dann wird der Detektionsschritt ausgeführt. Als ein Ergebnis wird ein bestimmter Teil des DUT 1 von dem Terahertzwellenmessgerät gemessen.
Während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden, rotiert das DUT 1 um eine Linie A, welche sich vertikal ausdehnt (Z-Richtung) (siehe 7(a) und 7(b), 8(a) und 8(b)) als eine Rotationsachse (Linie A muss kein reales Teil sein). Z. B. rotiert das DUT 1 entgegen dem Uhrzeigersinn. Dann ist das DUT 1 angeordnet wie in 5(b) gezeigt. Der Teil des DUT 1, welcher sich mit dem Strahlengang P2 kreuzt unterscheidet sich von dem Fall in 5(b) und dem Fall in
5(a). Daher können im Fall von 5(b) bzw. von 5(a) unterschiedliche Teile des DUT 1 gemessen werden.
Gemäß der dritten Ausführungsform kann das DUT 1 gescannt werden während das DUT 1 rotiert wird. Als ein Ergebnis kann das DUT 1 tomographisch gemessen werden.
Vierte Ausführungsform
Eine vierte Ausführungsform ist ein Verfahren zum Scannen des DUT 1 während der Behälter 10 und die Strahlengänge P1 und P2 der Terahertzwelle rotiert werden unter Verwendung des Behälters 10 gemäß der ersten Ausführungsform. Die Konfigurationen des Behälters 10 und des Terahertzwellenmessgeräts gemäß der vierten Ausführungsform sind dieselben wie bei der ersten Ausführungsform und daher wird auf eine Beschreibung verzichtet.
Nun wird eine Beschreibung eines Betriebs der vierten Ausführungsform gegeben. 6(a) und 6(b) sind Draufsichten auf den Behälter 10 und das Terahertzwellenmessgerät zum Beschreiben des Betriebs der vierten Ausführungsform. Es soll angemerkt werden, dass die Definitionen des Ausgabeschritts, des Detektionsschritts und der Strahlengänge P1 und P2 dieselben sind wie in der zweiten Ausführungsform. Im Bezug auf 6(a) wird der Ausgabeschritt ausgeführt. Die ausgegebene Terahertzwelle pflanzt sich durch den Einfassungsteil 12 und das DUT 1 fort, während sie sich geradlinig wie in der ersten Ausführungsform beschrieben fortbewegt. Dann wird der Detektionsschritt ausgeführt. Als ein Ergebnis wird ein bestimmter Teil des DUT 1 von dem Terahertzwellenmessgerät gemessen. Während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden rotieren der Behälter 10 und die Strahlengänge P1 und P2 der Terahertzwelle um eine Linie A welche sich in vertikaler Richtung ausdehnt (Z-Richtung) (siehe 7(a), 7(b), 8(a) und 8(b)) als eine Rotationsachse. Z. B. können sie entgegen dem Uhrzeigersinn rotieren. Das DUT 1 ist dann angeordnet wie in 6(b) gezeigt. Der Teil des DUT 1, welcher sich mit dem Strahlengang P2 kreuzt ist unterschiedlich in den Fällen von 6(b) und 6(a). Daher können in dem Fall von 6(b) bzw. dem Fall in 6(a) unterschiedliche Teile des DUT 1 gemessen werden.
Gemäß der vierten Ausführungsform kann das DUT 1 gescannt werden während der Behälter 10 und die Strahlengänge P1 und P2 der Terahertzwelle rotiert werden. Als ein Ergebnis kann das DUT 1 tomographisch gemessen werden.
Fünfte Ausführungsform
Eine fünfte Ausführungsform ist ein Verfahren zum Scannen des DUT 1 in vertikaler Richtung (Z-Richtung) unter Verwendung des Behälters 10 gemäß der ersten Ausführungsform.
7(a) und 7(b) sind Frontansichten des Behälters 10 und des Terahertzwellenmessgeräts gemäß der fünften Ausführungsform. Die Konfigurationen des Behälters 10 und des Terahertzwellenmessgeräts gemäß der fünften Ausführungsform sind größtenteils dieselben wie bei der ersten Ausführungsform. Jedoch ist das DUT 1 zylindrisch und ein Teil des DUT 1 ist in dem Spaltteil 11 des Behälters 10 gelagert.
Nun wird eine Beschreibung des Betriebs der fünften Ausführungsform gegeben. Es soll angemerkt werden, dass die Definitionen des Ausgabeschritts, des Detektionsschritts und der Strahlengänge P1 und P2 dieselben sind wie bei der zweiten Ausführungsform.
Im Bezug auf 7(a) wird der Ausgabeschritt ausgeführt. Die ausgegebene Terahertzwelle pflanzt sich durch das Einfassungsteil 12 und das DUT 1 fort während es sich wie in der ersten Ausführungsform beschrieben geradlinig fortbewegt. Dann wird der Detektionsschritt ausgeführt. Als ein Ergebnis wird der untere Teil von dem Terahertzwellenmessgerät gemessen.
Während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden, bewegen sich der Behälter 10 und die Strahlengänge P1 und P2 der Terahertzwelle in vertikaler Richtung (aufwärts in 7(a) und 7(b)) mit Bezug auf das DUT 1. Dann kreuzt sich der Strahlengang P2 mit einem oberen Teil des DUT 1 wie in 7(b) gezeigt. Als ein Ergebnis wird der obere Teil des DUT 1 von dem Terahertzwellenmessgerät gemessen. Zum Bewegen der Strahlengänge P1 und P2 der Terahertzwelle ist es nur notwendig das Terahertzwellenausgabegerät 2 und den Terahertzwellendetektor 4 zu bewegen. Gemäß der fünften Ausführungsform kann das DUT 1 in vertikaler Richtung (Z-Richtung) gescannt werden. Als ein Ergebnis kann das DUT 1 tomographisch gemessen werden.
Während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden kann sich das DUT 1 in vertikaler Richtung mit Bezug auf den Behälter 10 und die Strahlengänge P1 und P2 der Terahertzwelle bewegen.
Sechste Ausführungsform
Eine sechste Ausführungsform ist ein Verfahren zum Scannen des DUT 1 in vertikaler Richtung (Z-Richtung) unter Verwendung eines Behälters 10 gemäß der ersten Ausführungsform.
8(a) und 8(b) sind Frontansichten des Behälters 10 und des Terahertzwellenmessgeräts gemäß der sechsten Ausführungsform. Die Konfigurationen des Behälters 10 und des Terahertzwellenmessgeräts gemäß der sechsten Ausführungsform sind weitestgehend identisch mit denen der ersten Ausführungsform. Jedoch ist das DUT 1 zylindrisch und das DUT 1 ist zur Gänze in dem Spalt 11 des Behälters 10 gelagert. Nun wird eine Beschreibung eines Betriebs der sechsten Ausführungsform gegeben. Es soll angemerkt werden, dass die Definitionen des Ausgabeschritts, des Detektionsschritts und der Strahlengänge P1 und P2 dieselben sind, wie bei der zweiten Ausführungsform. Im Bezug auf 8(a) wird der Ausgabeschritt ausgeführt. Die ausgegebene Terahertzwelle pflanzt sich durch das Einfassungsteil 12 und das DUT 1 hindurch fort während sie ich wie in der ersten Ausführungsform beschrieben geradlinig fortbewegt. Dann wird der Detektionsschritt ausgeführt. Als ein Ergebnis wird der untere Teil des DUT 1 von dem Terahertzwellenmessgerät gemessen.
Während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden, bewegen sich der Behälter 10 das DUT 1 in vertikaler Richtung (nach unten in 8(a) und 8(b)) mit Bezug auf die Strahlengänge P1 und P2 der Terahertzwelle. Der Strahlengang P2 kreuzt sich dann mit einem oberen Teil des DUT 1 wie in 8(b) gezeigt. Als ein Ergebnis wird der obere Teil des DUT 1 von dem Terahertzwellenmessgerät gemessen. Gemäß der sechsten Ausführungsform kann das DUT 1 in der vertikalen Richtung (Z-Richtung) gescannt werden. Als ein Ergebnis kann das DUT 1 tomographisch gemessen werden.
Während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden, können sich die Strahlengänge P1 und P2 der Terahertzwelle in Vertikaler Richtung in Bezug auf den Behälter 10 und das DUT 1 bewegen.
Siebte Ausführungsform
Der Behälter 10 gemäß der siebten Ausführungsform unterscheidet sich von dem Behälter 10 gemäß der ersten Ausführungsform dahingehend, dass der Behälter 10 gemäß der siebten Ausführungsform ein Einsatzstück 20 beinhaltet. Es soll angemerkt werden, dass der Behälter 10 gemäß der siebten Ausführungsform zum Scannen des DUT 1 eingesetzt werden kann, wie in der zweiten bis sechsten Ausführungsform beschrieben. Weiterhin kann ein Verfahren wie in einer achten Ausführungsform verwendet werden als eine Anordnung des Behälters 10 gemäß der siebten Ausführungsform (s. 10). 9 ist eine Draufsicht auf einen Zustand in welchem zumindest ein Teil des DUT 1 in dem Behälter 10 enthalten ist gemäß der siebten Ausführungsform und die Terahertzwelle auf den Behälter 10 einstrahlt.
Das Terahertzwellenmessgerät ist identisch mit dem der ersten Ausführungsform und daher wird auf eine Beschreibung verzichtet.
Die Form des DUT 1 ist von oben betrachtet eine Form welche man erhält in dem man einen Teil des Kreises mit dem Radius r–g (siehe 3) entfernt. In 9 ist die Form des DUT 1 von oben betrachtet ein Ellipsoid mit einer längeren Achse r–g. Daher ist das DUT 1 ein elliptischer Zylinder welcher eine Bodenfläche eines Ellipsoiden mit der größeren Achse r–g besitzt.
Das Einsatzstück 20 wird in den Raum zwischen dem DUT 1 und dem Spaltteil 11 eingesetzt. Eine Kontur einer glatten Form (Form wie von oben betrachtet) eines integrierten Körpers des DUT 1 und des Einsatzstücks 20 ist der Kreis mit dem Radius r–g. Daher bilden das DUT und das Einsatzstück 20 den Zylinder welcher eine kreisrunde Bogenfläche mit dem Radius r–g besitzt. Die Kontur der glatten Form (Kreis mit dem Radius r–g) des integrierten Körpers von DUT 1 und dem Einsatzstück 20 formt konzentrische Kreise entlang der Kontur (Kreis mit dem Radius r) der glatten Form des Spaltteils 11. Es soll angemerkt werden, dass die Beziehung g ≤ λ/4 wie in der ersten Ausführungsform bevorzugt gilt.
Es soll angemerkt werden, dass g einen Abstand zwischen der Kontur (Kreis mit denn Radius r–g) der glatten Form des integrierten Körpers von dem DUT 1 und dem Einsatzstück 20 und die Kontur (Kreis mit Radius r) der glatten Form des Spaltteils 11 bezeichnet. λ bezeichnet die Wellenlänge der Teraherztwelle welche von dem Terahertzwellenausgabegerät 2 des Terahertzwellenmessgeräts in Richtung des DUT 1 ausgegeben wird.
Aus diesem Grund wird der Brechungsindex des DUT 1 mit n1 bezeichnet und ein Brechungsindex des Einsatzstücks 20 mit n3. Es gilt dann eine Beziehung n1 – 0,1 ≤ n3 ≤ n1 + 0,1. Bevorzugt gilt die Beziehung n1 = n3. Weiterhin können n1 und n3 nicht gleich dem Brechungsindex (wie z. B. 1) der den Behälter 10 umgebenden Luft sein.
Ein Betrieb der siebten Ausführungsform ist annähernd derselbe wie bei der ersten Ausführungsform jedoch unterscheidet sich die siebte Ausführungsform von der ersten Ausführungsform in einem Punkt, dass sich die Terahertzwelle auch durch das Einsatzstück 20 fortpflanzt. Wenn die Dicke g der Luftschicht vernachlässigt wird und eine Beziehung n1 = n2 = n3 gilt, dann pflanzt sich die Teraherztwelle, welche von dem Terahertzwellenausgabegerät ausgeben wurde durch den Einfassungsteil 12, das Einsatzstück 20 und das DUT 1 fort während sie sich geradlinig ausbreitet.
Gemäß der siebten Ausführungsform werden dieselben Effekte erlangt wie in der ersten Ausführungsform.
Desweiteren kann gemäß der siebten Ausführungsform das DUT 1 – auch wenn das DUT 1 kein Zylinder ist aber das Einsatzstück 20 dazu dient das DUT 1 und das Einsatzstück 20 in einen Zylinder zu integrieren – wie ein Zylinder behandelt werden. Z. B. können die dritte Ausführungsform (siehe 5(a) und 5(b)) und die vierte Ausführungsform (siehe 6(a) und 6(b)) angewendet werden wenn das DUT 1 nicht zylindrisch ist.
Die Beschreibung der siebten Ausführungsform wurde gegeben unter der Annahme, dass das DUT 1 ein elliptischer Zylinder ist. Jedoch kann das DUT 1 kein Rotationskörper sein, wie z. B. ein elliptischer Zylinder. Es ist nur notwendig für den integrierten Körper des DUT 1 und des Einsatzstücks 20 einen Zylinder zu formen. Weiterhin kann der Behälter 10 anstelle des Einsatzstücks 20 ein Füllmaterial (z. B. eine Flüssigkeit wie Öl) beinhalten, welche in den Raum zwischen dem DUT 1 und dem Spaltteil 11 gefüllt wird. Wenn ein Brechungsindex des Füllmaterials mit n4 bezeichnet wird und der Brechungsindex des DUT 1 mit n1 dann gilt eine Beziehung n1 – 0,1 ≤ n4 ≤ n1 + 0,1. Es ist bevorzugt, dass eine Beziehung n1 = n4 gilt. Weiterhin können n1 und n4 nicht gleich sein zu dem Brechungsindex (wie z. B. 1) der den Behälter 10 umgebenden Luft.
Achte Ausführungsform
Die achte Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform in der Anordnung des Behälters 10 gemäß der ersten Ausführungsform in Bezug auf das Terahertzwellenmessgerät. 10 ist eine Draufsicht auf einen Zustand in welchem zumindest ein Teil des DUT 1 in dem Behälter 10 gemäß der achten Ausführungsform enthalten ist und die Terahertzwelle auf den Behälter 10 einstrahlt.
Die Konfigurationen des Behälters 10 und des Terahertzwellenmessgeräts sind dieselben wie in der ersten Ausführungsform und es wird daher auf eine Beschreibung verzichtet. Es soll angemerkt werden, dass in Bezug auf 10 der erste flache Oberflächenteil S1 die Ausbreitungsrichtung der Terahertzwelle, welche von dem Terahertzwellenausgabegerät 2 des Terahertzwellenmessgeräts in Richtung des DUT 1 in einem Winkel α abgegeben wurde, schneidet, welcher größer 0° und kleiner 90° ist. Der Behälter 10 ist wie oben beschrieben angeordnet, um das DUT 1 mit dem Terahertzwellenmessgerät zu messen. Nun wird eine Beschreibung eines Betriebs der achten Ausführungsform gegeben.
Im Bezug auf 10 gibt das Terahertzwellenausgabegerät 2 des Terahertzwellenmessgeräts die Terahertzwelle aus. Die Terahertzwelle welche von dem Terahertzwellenausgabegerät 2 ausgegeben wurde, strahlt auf den ersten ebenen Oberflächenteil S1 ein. Aus diesem Grund wird die Terahertzwelle gebrochen und bereitet sich dann geradlinig innerhalb des Einfassungsstücks 12 aus. Aus diesem Grund ist die Dicke der Luftschicht zwischen der Kontur des DUT 1 und der Kontur der glatten Form des Spaltteils 11 vernachlässigbar. Weiterhin gilt die Beziehung (Brechungsindex n1 des DUT 1) = (Brechungsindex n2 des Einfassungsteils 12).
Die Terahertzwelle welche sich in das Einfassungsteil 12 hinein ausgebreitet hat, wird nicht gebrochen sondern breitet sich innerhalb des DUT 1 geradlinig aus. Weiterhin pflanzt sich die Terahertzwelle durch das DUT 1 hindurch fort und fällt in den Einfassungsteil 12 ein. Dann bewegt sich die Terahertzwelle geradlinig innerhalb des Einfassungsteils 12 und pflanzt sich durch das zweite ebene Oberflächenteil S2 fort. Aus diesem Grund wird die Terahertzwelle gebrochen und breitet sich in einer Richtung parallel zu der Ausbreitungsrichtung der Terahertzwelle welche von dem Terahertzwellenausgabegerät 2 ausgegeben wurde, fort und fällt in den Terahertzwellendetektor 4 ein.
Schlißlich ist der Strahlengang der Terahertzwelle, welcher von dem Terahertzwellenausgabegerät 2 ausgegeben wurde, um einen vorgegebenen Abstand (Off-set) verschoben und die Terahertzwelle fällt in den Terahertzwellendetektor 4 ein. Der Terahertzwellendetektor 4 detektiert die einfallende Terahertzwelle. Als ein Ergebnis wird das DUT 1 gemessen. Z. B. beinhaltet das DUT 1 die Inhalte 1a und 1b. Mit Bezug auf 10 pflanzt sich die Terahertzwelle durch den Inhalt 1b hindurch fort und dadurch werden die Position und dergleichen des Inhalts 1b gemäß einem Ergebnis der Detektion der Terahertzwelle enthüllt. Obwohl der Betrieb der achten Ausführungsform beschrieben wurde während angenommen wird, dass die Beziehung (Brechungsindex n1 von DUT 1) = (Brechungsindex n2 des Einfassungsteils 12) gilt, wird ein annähernd identischer Betrieb zur Verfügung gestellt, solange die Beziehung n1 – 0,1 ≤ n2 ≤ n1 + 0,1 gilt.
Gemäß der achten Ausführungsform ist es möglich die Terahertzwelle davon abzuhalten von dem DUT 1 gebrochen zu werden wenn das DUT 1 unter Bereitstellung einer Terahertzwelle gemessen wird.
Weiterhin wird der Strahlengang der Terahertzwelle gemäß der achten Ausführungsform, welche von dem Terahertzwellenausgabegerät 2 ausgegeben wurde, verschoben um einen vorgegebenen Abstand (Offset) und die Terahertzwelle fällt in den Terahertzwellendetektor 4 ein. Als ein Ergebnis ist die achte Ausführungsform geeignet für einen Fall in welchem der Terahertzwellendetektor 4 nicht in der Ausbreitungsrichtung der Terahertzwelle, welche von dem Terahertzwellenausgabegerät 2 ausgeben wurde, vorhanden ist.
Neunte Ausführungsform
Eine neunte Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform dahingehend, dass die Einfassungsteile 12a und 12b) entlang von Trennflächen D1 und D2 getrennt werden können. Es soll angemerkt werden, dass der Behälter 10 gemäß der neunten Ausführungsform verwendet werden kann, um das DUT 1 zu scannen, wie in der zweiten bis sechsten Ausführungsform beschrieben. Weiterhin kann das Verfahren, welches in der achten Ausführungsform (siehe 10) beschrieben wurde, als eine Anordnung des Behälters 10 gemäß der neunten Ausführungsform eingesetzt werden.
11 ist eine Draufsicht eines Zustandes, in welchem zumindest ein Teil des DUT 1 in dem Behälter 10 gemäß der neunten Ausführungsform enthalten ist und die Terahertzwelle auf den Behälter 10 einstrahlt.
Die Konfigurationen des Behälters 10 und des Terahertzwellenmessgeräts sind annähernd identisch mit der ersten Ausführungsform. Es soll angemerkt werden, dass der Behälter 10 die Einfassungsteile 12a und 12b anstelle des Einfassungsteils 12 beinhaltet. Die Einfassungsteile 12a und 12b können entlang der Trennflächen D1 und D2 getrennt werden. Weiterhin kreuzen sich die Trennflächen D1 und D2 mit dem Spaltteil 11. Es soll angemerkt werden, dass die Trennflächen D1 und D2 voneinander getrennt werden können, wie in 11 gezeigt. Weiterhin können die Einfassungsteile 12a und 12b miteinander gekoppelt werden über Kopplungsmittel, welche nicht gezeigt sind. In dem Fall, welcher in 11 gezeigt ist, beinhaltet die Kontur einer glatten Form des Spaltteils 11 einen linksseitig und einen rechtsseitig herausstehenden Bogen.
Ein Betrieb der neunten Ausführungsform ist derselbe wie bei der ersten Ausführungsform, und daher wird auf eine Beschreibung desselben verzichtet.
Mit dem Behälter 10 gemäß der neunten Ausführungsform kann das DUT 1 leicht in dem Spaltteil 11 gelagert werden, da die Einfassungsteile 12a und 12b entlang der Trennflächen D1 und D2 getrennt werden können. Zum Beispiel werden die Einfassungsteile 12a und 12b entlang der Trennflächen D1 und D2 getrennt, und das DUT 1 wird dann im Inneren des Spaltteils 11 gelagert. Dann werden die Einfassungsteile 12a und 12b mit Hilfe von Kopplungsmitteln, welche nicht gezeigt sind, miteinander gekoppelt.
Zehnte Ausführungsform
Gemäß einer zehnten Ausführungsform ist der Behälter 10 angepasst an einen Fall, in welchem das DUT 1 durch mehrere Zylinder konstruiert wurde. Es soll angemerkt werden, dass der Behälter 10 gemäß der zehnten Ausführungsform eingesetzt werden kann, um das DUT 1 zu scannen, wie in den Ausführungsformen zwei bis sechs beschrieben. Weiterhin kann, als eine Anordnung des Behälters 10 gemäß der zehnten Ausführungsform, das Verfahren, welches in der achten Ausführungsform beschrieben wurde (siehe 10), eingesetzt werden.
12(a) und 12(b) sind Ansichten, wenn das DUT 1 in dem Behälter 10 gemäß der zehnten Ausführungsform gelagert ist, wobei 12(a) ein Querschnitt ist und 12(b) eine Draufsicht. Es soll angemerkt werden, dass der Spalt zwischen dem Behälter 10 und dem Spaltteil 11 zum Zwecke der Illustration in 12(a) weggelassen wurde.
In Bezug auf 12(a) ist das DUT 1 durch drei Zylinder konstruiert, und der Durchmesser einer Bodenfläche verändert sich entsprechend der Höhe. Es gilt eine Beziehung (Durchmesser der Bodenfläche des obersten Zylinders) > (Durchmesser der Bodenfläche des unteren Zylinders) > (Durchmesser der Bodenfläche des mittleren Zylinders). Es ist nur notwendig für das DUT 1, einen rotationssymmetrischen Körper zu bilden, und das DUT 1 kann ein Sphäroid sein. Es soll angemerkt werden, dass die Mittelachse des rotationssymmetrischen Körpers mit der Linie A zusammenfallen muss.
Aus diesem Grund verändert sich ein Radius einer Kontur einer glatten Form des Spaltteils 11 entsprechend der Höhe des Spaltteils 11. Dies entspricht dem Fall, dass der Durchmesser der Bodenfläche des DUT 1 sich entsprechend der Höhe verändert.
In Bezug auf 12(b) können die Einfassungsteile 12a und 12b entlang der Trennflächen D1 und D2 getrennt werden. Weiterhin kreuzen sich die Trennflächen D1 und D2 mit dem Spaltteil 11 (welcher ähnlich zu der neunten Ausführungsform ist). Als ein Ergebnis kann das DUT 1 leicht in dem Spaltteil 11 gelagert werden. Zum Beispiel werden die Einfassungsteile 12a und 12b entlang der Trennflächen D1 und D2 getrennt und dann das DUT 1 innerhalb des Spaltteils 11 gelagert. Dann werden die Einfassungsteile 12a und 12b mit einander gekoppelt mit Hilfe von Kopplungsmitteln, welche nicht gezeigt sind.
Es soll angemerkt werden, dass die Positionen des Terahertzwellenausgabegeräts 2 und des Terahertzwellendetektors 4 des Terahertzwellenmessgeräts und die Positionen der Strahlengänge P1 und P2 in 12(b) ähnlich denen in 11 sind, und daher wird auf eine Beschreibung verzichtet.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

US 7119339 [0004]

Zitierte Nicht-Patentliteratur

S. Wang et al.; „pulsed trahertz tompgraphy” J. Phys. D, Vol. 37 (2004) R1-R36 [0004]

Claims

Behälter (10), welcher zumindest einen Teil eines Prüfobjekts (1) beinhaltet, welches von einem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät gemessen werden soll, aufweisend: ein Spaltteil (11), welches zumindest einen Teil des Prüfobjekts (1) im Inneren anordnet, und ein Einfassungsteil (12), welches einen ersten ebenen Oberflächenteil (S1) und einen zweiten ebenen Oberflächenteil (S2) aufweist und das Spaltteil (11) zwischen dem ersten ebenen Oberflächenteil (S1) und dem zweiten ebenen Oberflächenteil (S2) anordnet, wobei das Spaltteil (11) eingeschlossen wird, wobei: eine Beziehung n1 – 0,1 ≤ n2 ≤ n1 + 0,1 gilt, wobei n2 einen Brechungsindex des Einfassungsteils (12) und n1 einen Brechungsindex des Prüfobjekts (1) bezeichnet und das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät eine elektromagnetische Welle in Richtung des Prüfobjekts ausgibt, welche eine Frequenz größer gleich 0,01 THz und kleiner gleich 100 THz besitzt.
Behälter (10) gemäß Anspruch 1, wobei eine Kontur einer glatten Form des Spaltteils (11) einen Bogen beinhaltet.
Behälter (10) gemäß Anspruch 2, wobei sich ein Radius der Kontur der glatten Form des Spaltteils (11) entsprechend der Höhe des Spaltteils (11) verändert.
Behälter (10) gemäß Anspruch 1, wobei: das Einfassungsteil (12) entlang einer Trennfläche (D1, D2) getrennt werden kann, und sich die Trennfläche (D1, D2) mit dem Spaltteil (11) schneidet.
Behälter (10) gemäß Anspruch 1, aufweisend ein Einsatzstück (20), welches in einen Raum zwischen dem Prüfobjekt (1) und dem Spaltteil (11) eingesetzt wird, wobei: eine Kontur einer glatten Form eines integrierten Körpers, bestehend aus dem Prüfobjekt (1) und dem Einsatzstück (20) konzentrisch mit einer Kontur einer glatten Form des Spaltteils (11) ist; und eine Beziehung n1 – 0,1 ≤ n3 ≤ n1 + 0,1 gilt, wobei n3 einen Brechungsindex des Einsatzstücks (20) und n1 den Brechungsindex des Prüfobjekts (1) bezeichnet.
Behälter (10) gemäß Anspruch 5, wobei ein Abstand zwischen der Kontur der glatten Form des integrierten Körpers, bestehend aus Prüfobjekt (1) und Einsatzstück (20) und der Kontur der glatten Form des Spaltteils (11) kleiner gleich einem Viertel der Wellenlänge der elektromagnetischen Welle ist, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät in Richtung des Prüfobjekts (1) ausgegeben wird.
Behälter (10) gemäß Anspruch 1, aufweisend ein Füllmaterial, welches in einen Raum zwischen dem Prüfobjekt (1) und dem Spaltteil (11) gefüllt ist, wobei eine Beziehung n1 – 0,1 ≤ n4 ≤ n1 + 0,1 gilt, wobei n4 einen Brechungsindex des Füllmaterials und n1 den Brechungsindex des Prüfobjekts (1) bezeichnet.
Behälter (10) gemäß Anspruch 1, wobei ein Abstand zwischen einer Kontur einer glatten Form des Prüfobjekts (1) und einer Kontur einer glatten Form des Spaltteils (11) kleiner gleich einem Viertel der Wellenlänge der elektromagnetischen Welle ist, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät in Richtung des Prüfobjekts (1) ausgegeben wird.
Behälteranordnungsverfahren zum Anordnen eines Behälters (10) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8, welcher das Prüfobjekt (1) zum Messen durch ein Elektromagnetische-Wellen-Messgerät beinhaltet, aufweisend einen Schritt des Anordnens des Behälters (10), so dass der erste ebene Oberflächenteil (S1) eine Ausbreitungsrichtung der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät in Richtung des Prüfobjekts (1) ausgegeben wird, in einem rechten Winkel schneidet.
Behälteranordnungsverfahren zum Anordnen eines Behälters (10) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8, welcher das Prüfobjekt (1) zum Messen mit einem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät beinhaltet, aufweisend einen Schritt des Anordnens des Behälters (10), so dass der erste ebene Oberflächenteil (S1) eine Ausbreitungsrichtung der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät in Richtung des Prüfobjekts ausgegeben wurde, in einem Winkel von größer 0 Grad und kleiner 90 Grad schneidet.
Messverfahren zum Messen des Prüfobjekts (1), welches in einem Behälter (10) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8 enthalten ist, unter Verwendung des Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts, aufweisend: einen Ausgabeschritt des Ausgebens der elektromagnetischen Welle durch das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, und einen Detektionsschritt des Detektierens der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät durch das Prüfobjekt (1) hindurch übertragen wurde, wobei sich der Behälter (10) und das Prüfobjekt (1) in horizontaler Richtung in Bezug auf einen Strahlengang (P1, P2) der elektromagnetischen Welle verschieben, während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden.
Messverfahren zum Messen eines Prüfobjekts (1), welches in einem Behälter (10) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8 enthalten ist, unter Verwendung des Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts, aufweisend: einen Ausgabeschritt des Ausgebens der elektromagnetischen Welle durch das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, und einen Detektionsschritt des Detektierens der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät durch das Prüfobjekt (1) hindurch übertragen wurde, wobei sich ein Strahlengang (P1, P2) der elektromagnetischen Welle horizontal in Bezug auf den Behälter (10) verschiebt, während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden.
Messverfahren zum Messen eines Prüfobjekts (1), welches in dem Behälter (10) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8 enthalten ist, unter Verwendung des Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts, aufweisend: einen Ausgabeschritt des Ausgebens der elektromagnetischen Welle durch das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, und einen Detektionsschritt des Detektierens der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät durch das Prüfobjekt (1) hindurch übertragen wurde, wobei das Prüfobjekt (1) um eine Linie herum rotiert, welche sich vertikal ausdehnt als eine Rotationsachse, während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden.
Messverfahren zum Messen des Prüfobjekts (1), welches in einem Behälter (10) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8 enthalten ist, unter Verwendung des Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts, aufweisend: einen Ausgabeschritt zum Ausgeben der elektromagnetischen Welle durch das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, und einen Detektionsschritt zum Detektieren der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät durch das Prüfobjekt (1) hindurch übertragen wurde, wobei der Behälter (10) und ein Strahlengang (P1, P2) der elektromagnetischen Welle um eine Linie herum rotieren, welche sich vertikal als eine Rotationsachse ausdehnt, während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden.
Messverfahren zum Messen des Prüfobjekts (1), welches in einem Behälter (10) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8 enthalten ist, unter Verwendung des Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts, aufweisend: einen Ausgabeschritt zum Ausgeben der elektromagnetischen Welle durch das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, und einen Detektionsschritt zum Detektieren der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät durch das Prüfobjekt (1) hindurch übertragen wurde, wobei sich der Behälter (10) und ein Strahlengang (P1, P2) der elektromagnetischen Welle vertikal in Bezug auf das Prüfobjekt (1) verschieben, während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden.
Messverfahren zum Messen des Prüfobjekts (1), welches in dem Behälter (10) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8 enthalten ist, unter Verwendung des Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts, aufweisend: einen Ausgabeschritt zum Ausgeben der elektromagnetischen Welle durch das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, und einen Detektionsschritt zum Detektieren der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät durch das Prüfobjekt (1) hindurch übertragen wurde, wobei sich der Behälter (10) und das Prüfobjekt (1) in vertikaler Richtung in Bezug auf einen Strahlengang (P1, P2) der elektromagnetischen Welle verschieben, während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden.
Messverfahren zum Messen des Prüfobjekts (1), welches in einem Behälter (10) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8 enthalten ist, unter Verwendung des Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts, aufweisend: einen Ausgabeschritt zum Ausgeben der elektromagnetischen Welle durch das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, und einen Detektionsschritt zum Detektieren der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät durch das Prüfobjekt (1) hindurch übertragen wurde, wobei sich das Prüfobjekt (1) in vertikaler Richtung in Bezug auf den Behälter (10) und einen Strahlengang (P1, P2) der elektromagnetischen Welle bewegt, während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden.
Messverfahren zum Messen des Prüfobjekts (1), welches in dem Behälter (10) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8 enthalten ist, unter Verwendung des Elektromagnetische-Wellen-Messgeräts, aufweisend: einen Ausgabeschritt zum Ausgeben der elektromagnetischen Welle durch das Elektromagnetische-Wellen-Messgerät, und einen Detektionsschritt zum Detektieren der elektromagnetischen Welle, welche von dem Elektromagnetische-Wellen-Messgerät durch das Prüfobjekt (1) hindurch übertragen wurde, wobei sich ein Strahlengang (P1, P2) der elektromagnetischen Welle vertikal in Bezug auf den Behälter (10) und das Prüfobjekt (1) bewegt, während der Ausgabeschritt und der Detektionsschritt ausgeführt werden.