JPWO2010044429A1 - 液滴塗布方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
塗布ヘッドに設けたノズルから吐出されて前記塗布範囲に塗布された複数の液滴をまとめて撮像する工程と、
撮像した前記複数の液滴の画像に基づいて、それら液滴の全体の塗布積面積を求める工程と、
求められた塗布面積に基づいて前記ノズルからの液滴の吐出量を調整する工程を有し、
前記塗布ヘッドのノズルから基板上の所定の塗布範囲に前記複数の液滴を吐出するとき、前記ノズルから吐出される前記複数の液滴を前記所定の塗布範囲内の同一位置に滴下させることを特徴とする液滴塗布方法を提供することにある。
ノズルを備えた塗布ヘッドと基板とを前記基板の表面に沿う方向で相対移動させる移動手段と、
前記ノズルから吐出されて基板上の所定の塗布範囲に塗布された複数の液滴をまとめて撮像する撮像部と、
撮像部で撮像した前記複数の液滴の画像に基づいて、それら液滴の全体の塗布面積を求める検査部と、
前記塗布ヘッド、移動手段、撮像部及び検査部を制御する制御部を有し、
前記制御部は、塗布ヘッドのノズルから前記所定の塗布範囲に複数の液滴を吐出するとき、前記ノズルから吐出される上記複数の液滴を前記所定の塗布範囲内の同一位置に滴下させるように前記塗布ヘッドと前記移動手段の駆動を制御することを特徴とする液滴塗布装置を提供することにある。
液滴塗布装置1は、図1に示す如く、塗布対象物である製品用基板Kが水平状態(図1中、基板Kの表面がX軸方向とそれに直交するY軸方向に沿う状態)で載置される移動テーブル2と、その移動テーブル2を保持してY軸方向に移動させるY軸移動機構3と、そのY軸移動機構3を介して移動テーブル2をX軸方向に移動させるX軸移動機構4と、移動テーブル2上の基板Kに向けてインク等の塗布液を液滴Eとして吐出する複数の塗布ヘッド5と、基板K上の液滴Eを撮像する撮像部6と、その撮像部6により撮像された液滴Eの画像に基づく検査を行なう検査部7と、撮像部6により撮像された液滴Eの画像を表示する表示部8と、それらのY軸移動機構3、X軸移動機構4、各塗布ヘッド5、撮像部6及び検査部7等を制御する制御部9を備えている。
製品用基板Kとは別に用意される検査用基板KAを用いる。検査用基板KAは、製品用基板Kの1つの凹部K2と同じ形状で同じ大きさの塗布範囲Aが定められている。この塗布範囲Aに滴下されるべき液滴数を製品用基板Kの1つの凹部K2に塗布される液滴数(例えば5滴)とする。尚、検査用基板KAの表面を撥水性とすることが好ましい。なお、塗布範囲Aは、検査用基板KA上に物理的に設けるものでも、仮想的に設けられるもので良い。
(1)吐出工程
移動テーブル2に検査用基板KAを載置し、Y軸移動機構3、X軸移動機構4を制御して塗布ヘッド5に対して検査用基板KAをその表面に沿う方向(XY方向)で相対的に移動させ、塗布ヘッド5の直下に検査用基板KAの各塗布範囲Aを順次位置付け、塗布ヘッド5の各ノズル11から検査用基板KAの各塗布範囲Aに対して複数の液滴E(例えばE1〜E5)を滴下する。
撮像部6の直下に検査用基板KAの各塗布範囲Aを順次位置付け、ノズル11から吐出されて各塗布範囲Aに滴下して一体化した複数の液滴E1〜E5を塗布範囲A毎に撮像する。
検査部7により、撮像部6が撮像した複数の液滴E1〜E5が一体化した画像に基づいて、その画像が円形であるか否かを判別する。
制御部9により、各ノズル11から吐出される複数の液滴E1〜E5の塗布量が互いに同一になるように、各ノズル11からの液滴Eの吐出量を調整する。
Claims (9)
- 基板上の所定の塗布範囲に液滴を塗布する液滴塗布方法であって、
塗布ヘッドに設けたノズルから吐出されて前記塗布範囲に塗布された複数の液滴をまとめて撮像する工程と、
撮像した前記複数の液滴の画像に基づいて、それら液滴の全体の塗布積面積を求める工程と、
求められた塗布面積に基づいて前記ノズルからの液滴の吐出量を調整する工程を有し、
前記塗布ヘッドのノズルから基板上の所定の塗布範囲に前記複数の液滴を吐出するとき、前記ノズルから吐出される前記複数の液滴を前記所定の塗布範囲内の同一位置に滴下させることを特徴とする液滴塗布方法。 - 前記基板は液滴の塗布状態を検査するための検査用基板であり、
この検査用基板で液滴の塗布状態を検査した後、その検査に基づいて溶液が塗布される製品用基板には塗布ヘッドのノズルから吐出される複数の液滴を塗布するために区画された凹部が設けられ、
前記検査用基板の所定の塗布範囲に滴下される液滴数が製品用基板の1つの凹部に塗布される液滴数である請求項1に記載の液滴塗布方法。 - 前記基板の所定の塗布範囲に塗布された複数の液滴の画像が円形でないとき、前記複数の液滴中に、塗布ヘッドのノズルから吐出される液滴に吐出方向が鉛直線に対し斜めに吐出された液滴を含むものと判定する請求項1又は2に記載の液滴塗布方法。
- 前記塗布ヘッドが複数のノズルを備え、前記調整工程では、各ノズルから吐出される複数の液滴の塗布量が互いに同一になるように各ノズルからの液滴の吐出量を調整することを特徴とする請求項3に記載の液滴塗布方法。
- 基板上の所定の塗布範囲に液滴を塗布する液滴塗布装置であって、
ノズルを備えた塗布ヘッドと基板とを前記基板の表面に沿う方向で相対移動させる移動手段と、
前記ノズルから吐出されて基板上の所定の塗布範囲に塗布された複数の液滴をまとめて撮像する撮像部と、
撮像部で撮像した前記複数の液滴の画像に基づいて、それら液滴の全体の塗布面積を求める検査部と、
前記塗布ヘッド、移動手段、撮像部及び検査部を制御する制御部を有し、
前記制御部は、塗布ヘッドのノズルから前記所定の塗布範囲に複数の液滴を吐出するとき、前記ノズルから吐出される上記複数の液滴を前記所定の塗布範囲内の同一位置に滴下させるように前記塗布ヘッドと前記移動手段の駆動を制御することを特徴とする液滴塗布装置。 - 前記基板が検査用基板であり、
この検査用基板とは異なる製品用基板が塗布ヘッドのノズルから吐出される複数の液滴を塗布するために区画された凹部を有し、
検査用基板の所定の塗布範囲に滴下される液滴数が製品用基板の1つの凹部に塗布される液滴数である請求項5に記載の液滴塗布装置。 - 前記制御部は、前記撮像部によって撮像された前記複数の液滴の画像が円形でないとき、前記複数の液滴中に、吐出方向が鉛直線に対し斜めに吐出された液滴を含むものと判定することを特徴とする請求項5又は6に記載の液滴塗布装置。
- 前記制御部は、前記検査部によって求められた塗布面積に基づいて前記ノズルからの液滴の吐出量を調整することを特徴とする請求項5に記載の液滴塗布装置。
- 前記塗布ヘッドが複数のノズルを備え、前記制御部は、各ノズルから吐出される複数の液滴の塗布量が互いに同一になるように各ノズルからの液滴の吐出量を調整することを特徴とする請求項8に記載の液滴塗布装置。
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