JP2010036064A - 液滴塗布装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 各ノズルから吐出されて基板に着弾する液滴の着弾面積に基づいて、各ノズルや各圧電素子の個体差に起因する各ノズルからの溶液吐出量を正しく検出すること。
【解決手段】 液滴塗布装置1において、塗布ヘッド5の各ノズルNから吐出される溶液として、実際の製品になる基板Kに塗布される溶液に比して乾燥しにくい検査溶液を用い、検査部7が求めた検査溶液の各液滴Eの着弾面積Aに基づいて、各ノズルNからの検査溶液の各液滴Eの着弾面積Aが互いに同一になるように各ノズルNからの検査溶液の吐出量を調整するもの。
【選択図】 図2
【解決手段】 液滴塗布装置1において、塗布ヘッド5の各ノズルNから吐出される溶液として、実際の製品になる基板Kに塗布される溶液に比して乾燥しにくい検査溶液を用い、検査部7が求めた検査溶液の各液滴Eの着弾面積Aに基づいて、各ノズルNからの検査溶液の各液滴Eの着弾面積Aが互いに同一になるように各ノズルNからの検査溶液の吐出量を調整するもの。
【選択図】 図2
Description
本発明は液滴塗布装置及び方法に関する。
インク等の液滴塗布装置として、特許文献1に記載の如く、基板に対して溶液を液滴として吐出させて塗布する複数のノズルを備えた塗布ヘッドを有してなるものがある。塗布ヘッドは、各ノズルに対応する圧電素子を備え、各圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて各ノズルから溶液を吐出する。このとき、塗布ヘッドの各ノズルからの溶液の吐出量を互いに同一にすることが必要とされる。ところが、各ノズルの個体差、各圧電素子の個体差等により、各圧電素子に同一の駆動電圧を印加しても、各ノズルからの溶液の吐出量は必ずしも同一にならない。
そこで、従来技術では、各ノズルからの溶液の吐出量を検出し、この検出結果に基づいて各圧電素子の印加電圧を調整することにより、各ノズルからの溶液の吐出量が互いに同一になるように調整している。
特開2004-136582号公報
従来技術では、各ノズルからの溶液の吐出量を、各ノズルから吐出されて基板に着弾した液滴の着弾面積(投影面積)から求めている。液滴の着弾面積と吐出量は概ね比例関係にある。
しかしながら、液晶表示パネルの製造工程でガラス基板にカラーフィルタや配向膜を形成する塗布装置等では、実際の製品になる基板に塗布される溶液は乾燥し易く、しかも、着弾した液滴周囲の雰囲気によって乾燥速度に差が生じ易い。そのため、乾燥の早い溶液は基板への着弾後の広がりが小さくて着弾面積が小さ目になり、乾燥の遅い溶液は基板への着弾後の広がりが大きくて着弾面積が大き目になる。従って、塗布ヘッドの一列をなす各ノズルから同時に吐出されて基板に直線一列状に着弾する各液滴のうち、例えば一列の両外側端に位置する液滴は外部雰囲気に広くさらされてその溶媒を揮散させ易くて乾燥し易く、この乾燥の影響によって着弾面積が小さ目になり易い。反対に、一列の中央側に位置する液滴は、周囲の液滴から揮散される溶媒によって形成される雰囲気によって乾燥が抑制されて着弾面積が大き目になり易い。
即ち、各ノズルから吐出されて基板に着弾する液滴の着弾面積は、各ノズルや各圧電素子の個体差に関係するだけでなく、当該液滴の乾燥状況にも影響される。よって、各ノズルから吐出されて基板に着弾する液滴の着弾面積に基づいて、各ノズルや各圧電素子の個体差に起因する各ノズルからの溶液吐出量を正しく検出することには困難がある。
本発明の課題は、各ノズルから吐出されて基板に着弾する液滴の着弾面積に基づいて、各ノズルや各圧電素子の個体差に起因する各ノズルからの溶液吐出量を正しく検出することにある。
請求項1の発明は、基板に対して溶液を液滴として吐出させて塗布する複数のノズルを備えた塗布ヘッドを有してなる液滴塗布装置において、塗布ヘッドの各ノズルから吐出される溶液として、実際の製品になる基板に塗布される溶液に比して乾燥しにくい検査溶液を用い、各ノズルから吐出されて基板に着弾した検査溶液の各液滴を撮像する撮像部と、撮像部が撮像した検査溶液の各液滴の画像に基づいて、各ノズルからの検査溶液の各液滴の着弾面積を求める検査部と、検査部が求めた検査溶液の各液滴の着弾面積に基づいて、各ノズルからの検査溶液の各液滴の着弾面積が互いに同一になるように各ノズルからの検査溶液の吐出量を調整する制御部とを有してなるようにしたものである。
請求項2の発明は、請求項1の発明において更に、前記検査溶液が、実際の溶液の溶質を高沸点溶媒に溶解させてなるようにしたものである。
請求項3の発明は、塗布ヘッドに設けた複数のノズルから溶液を液滴として吐出させて基板に塗布する液滴塗布方法において、塗布ヘッドの各ノズルから吐出される溶液として、実際の製品になる基板に塗布される溶液に比して乾燥しにくい検査溶液を用い、各ノズルから吐出されて基板に着弾した検査溶液の各液滴を撮像する撮像工程と、撮像工程で撮像した検査溶液の各液滴の画像に基づいて、各ノズルからの検査溶液の各液滴の着弾面積を求める検査工程と、検査工程で求めた検査溶液の各液滴の着弾面積に基づいて、各ノズルからの検査溶液の各液滴の着弾面積が互いに同一になるように各ノズルからの検査溶液の吐出量を調整する制御工程とを有してなるようにしたものである。
請求項4の発明は、請求項3の発明において更に、前記検査溶液が、実際の溶液の溶質を高沸点溶媒に溶解させてなるようにしたものである。
(請求項1、3)
(a)塗布ヘッドの各ノズルから吐出される溶液として、実際の製品になる基板に塗布される溶液に比して乾燥しにくい検査溶液を用い、各ノズルから吐出されて基板に着弾する液滴の着弾面積を求める。従って、塗布ヘッドの一列をなす各ノズルから同時に吐出されて基板に直線一列状に着弾する各液滴のうち、例えば一列の両外側端に位置する液滴は外部雰囲気に広くさらされても乾燥しにくく、その乾燥の影響によって着弾面積を小さ目にする如くがない。よって、各ノズルから吐出されて基板に着弾する液滴の乾燥状況に影響されることなく、当該液滴の着弾面積に基づいて各ノズルや各圧電素子の個体差に起因する各ノズルからの溶液吐出量を正しく求めることができる。これにより、各ノズルからの溶液の吐出量を正しく調整し、各ノズルからの溶液の吐出量を互いに同一にすることができる。
(a)塗布ヘッドの各ノズルから吐出される溶液として、実際の製品になる基板に塗布される溶液に比して乾燥しにくい検査溶液を用い、各ノズルから吐出されて基板に着弾する液滴の着弾面積を求める。従って、塗布ヘッドの一列をなす各ノズルから同時に吐出されて基板に直線一列状に着弾する各液滴のうち、例えば一列の両外側端に位置する液滴は外部雰囲気に広くさらされても乾燥しにくく、その乾燥の影響によって着弾面積を小さ目にする如くがない。よって、各ノズルから吐出されて基板に着弾する液滴の乾燥状況に影響されることなく、当該液滴の着弾面積に基づいて各ノズルや各圧電素子の個体差に起因する各ノズルからの溶液吐出量を正しく求めることができる。これにより、各ノズルからの溶液の吐出量を正しく調整し、各ノズルからの溶液の吐出量を互いに同一にすることができる。
(請求項2、4)
(b)上述(a)の検査溶液が、実際の溶液の溶質を高沸点溶媒に溶解させてなるものとすることにより、検査溶液として実際の溶液の性状に近いものを使用し、可及的に各ノズルからの実際の溶液の吐出量を互いに同一にすることができる。
(b)上述(a)の検査溶液が、実際の溶液の溶質を高沸点溶媒に溶解させてなるものとすることにより、検査溶液として実際の溶液の性状に近いものを使用し、可及的に各ノズルからの実際の溶液の吐出量を互いに同一にすることができる。
図1は液滴塗布装置を示す模式図、図2は検査部による検査状態を示す模式図である。
液滴塗布装置1は、図1に示す如く、塗布対象物である基板Kが水平状態(図1中、X軸方向とそれに直交するY軸方向に沿う状態)で載置される移動テーブル2と、その移動テーブル2を保持してY軸方向に移動させるY軸移動機構3と、そのY軸移動機構3を介して移動テーブル2をX軸方向に移動させるX軸移動機構4と、移動テーブル2上の基板Kに向けて配向膜材料やインク等の溶液を液滴Eとして吐出する複数の塗布ヘッド5と、基板K上の液滴Eを撮像する撮像部6と、その撮像部6により撮像された液滴Eの画像に基づく検査を行なう検査部7と、撮像部6により撮像された液滴Eの画像を表示する表示部8と、それらのY軸移動機構3、X軸移動機構4、各塗布ヘッド5、撮像部6及び検査部7等を制御する制御部9を備えている。
移動テーブル2は、Y軸移動機構3上に積層され、Y軸方向に移動可能に設けられている。この移動テーブル2はY軸移動機構3によりY軸方向に移動する。尚、移動テーブル2には、基板Kが自重により載置されるが、これに限るものではなく、例えば、その基板Kを保持するため、静電チャックや吸着チャック等の機構を設けるようにしても良い。このような移動テーブル2の端部には、各塗布ヘッド5の吐出を安定させるための吐出安定部2aが設けられている。この吐出安定部2aは、各塗布ヘッド5のダミー吐出用の受皿、及び各塗布ヘッド5の吐出面をワイプするワイプブレード等を有している。
Y軸移動機構3は、移動テーブル2をY軸方向に案内して移動させる機構である。このY軸移動機構3は制御部9に電気的に接続されており、その駆動が制御部9により制御される。尚、Y軸移動機構3としては、例えば、リニアモータを駆動源とするリニアモータ移動機構やモータを駆動源とする送りネジ移動機構等を用いる。
X軸移動機構4は、Y軸移動機構3をX軸方向に案内して移動させる機構である。このX軸移動機構4は制御部9に電気的に接続されており、その駆動が制御部9により制御される。尚、X軸移動機構4としては、例えば、リニアモータを駆動源とするリニアモータ移動機構やモータを駆動源とする送りネジ移動機構等を用いる。
塗布ヘッド5は、インク等の溶液を収容する液体タンク(図示せず)から供給される溶液を複数のノズルN(例えばN1〜N5)からそれぞれ液滴Eとして吐出するインクジェットヘッドである。この塗布ヘッド5は、液滴Eを吐出する複数のノズルNにそれぞれ対応する複数の圧電素子(図示せず)を内蔵している。各ノズルNは、所定のピッチ(間隔)で直線一列状に並べて吐出面に形成されている。例えば、ノズルNの数は数十個から数百個程度であり、ノズルNの直径は数μmから数十μm程度であり、更に、ノズルNのピッチは数十μmから数百μm程度である。
この塗布ヘッド5は制御部9に電気的に接続されており、その駆動が制御部9により制御される。塗布ヘッド5は、各圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて各ノズルNから液滴(インク滴)Eを吐出する。ここで、溶液は揮発性を有している。この溶液は、基板K上に残留物として残留する溶質と、その溶質を溶解(分散)させる溶媒とにより構成されている。例えば、溶液であるインクは、顔料、溶剤(インク溶剤)、分散剤及び添加剤等の各種の成分により構成されている。
更に、塗布ヘッド5は、回転機構(図示せず)によりθ方向(図1中、XY平面に沿う回転方向)に回転可能に支持されている。この塗布ヘッド5は、回転機構により、相対移動する基板Kの相対移動方向に対して所定の傾斜角度だけ傾けられ、その状態で塗布を行なう。尚、Y軸方向に相対移動する基板Kに対して塗布を行なう場合には、塗布ヘッド5の傾斜角度を変更することによって、X軸方向の液滴Eの塗布ピッチを調整することができる。また、液滴Eの吐出周波数(吐出タイミング)を変更することによって、Y軸方向の塗布ピッチを調整することができる。
撮像部6は、図2に示すように、基板K上に着弾した各液滴Eを撮像する撮像カメラであり、各液滴Eを検出する検出部として機能する。この撮像部6は検査部7及び制御部9に電気的に接続されており、その駆動は制御部9により制御され、撮像した各液滴Eの画像を検査部7に送信する。尚、撮像部6としては、例えばCCD(Charge Coupled Device)カメラ等を用いる。
検査部7は、撮像部6から送信された各液滴Eの画像(検出結果)に基づいて、基板K上に着弾した各液滴Eの各々の着弾面積(投影面積)を求める。更に、検査部7は、求めた各液滴Eの各々の着弾面積に基づいて各液滴Eの塗布量を求め、それらの液滴Eの塗布量が所定の許容範囲内にあるか否かを判断し、その検査結果を制御部9に送信する。ここで、その塗布量は、液滴Eの着弾面積と塗布量(滴下量)との関係式から算出される。例えば、液滴Eの着弾面積と塗布量とは比例関係にある。その関係式は検査部7が備える記憶部に格納されている。尚、検査部7としては、例えばコンピュータ等を用いる。
表示部8は、撮像した各液滴Eの画像等の各種画像を表示する表示装置である。この表示部8は電気的に検査部7に接続されている。尚、表示部8としては、例えば、液晶ディスプレイやCRTディスプレイ等を用いる。
制御部9は、各部を集中的に制御するマイクロコンピュータと、塗布に関する塗布情報や各種のプログラム等を記憶する記憶部と(いずれも図示せず)を備えている。塗布情報は、ドットパターン等の所定の塗布パターン、塗布ヘッド5の傾斜角度、塗布ヘッド5の吐出周波数及び基板Kの移動速度に関する情報等を含んでいる。この塗布情報としては、製造塗布用の塗布情報及び検査塗布用の塗布情報(検査用のパターン及び溶媒雰囲気形成用のパターンを含む)が記憶部に格納されている。
しかるに、液滴塗布装置1は、各ノズルNや圧電素子の個体差に起因する各ノズルNからの溶液の吐出量を正しく検査し、各ノズルNからの溶液の吐出量を正しく調整し、各ノズルNからの溶液の吐出量を互いに同一にするため、以下の構成を具備する。
(A)検査溶液
塗布ヘッド5の各ノズルNから吐出される溶液として、実際の製品になる基板Kに塗布される溶液に比して乾燥しにくい検査溶液を用いる。
塗布ヘッド5の各ノズルNから吐出される溶液として、実際の製品になる基板Kに塗布される溶液に比して乾燥しにくい検査溶液を用いる。
検査溶液は、実際の溶液の溶質(顔料等)を、高沸点溶媒に溶解されたものを採用できる。高沸点溶媒としては、上述の溶媒と同様の性状(粘度や表面張力)を有するものが好ましく、カラーフィルタの製造に用いるインクの場合、例えば1.3BGDA(沸点220℃)がある。
(B)検査調整手順
(1)吐出工程
塗布ヘッド5の各ノズルN(例えばN1〜N5)から基板Kに対して検査溶液を液滴E(例えばE1〜E5)として吐出する。
(1)吐出工程
塗布ヘッド5の各ノズルN(例えばN1〜N5)から基板Kに対して検査溶液を液滴E(例えばE1〜E5)として吐出する。
(2)撮像工程
撮像部6により、各ノズルNから吐出されて基板Kに着弾した検査溶液の各液滴Eを撮像する。
撮像部6により、各ノズルNから吐出されて基板Kに着弾した検査溶液の各液滴Eを撮像する。
(3)検査工程
検査部7により、撮像部6が撮像した検査溶液の各液滴Eの画像に基づいて、各ノズルNからの検査溶液の各液滴Eの着弾面積A(例えばA1〜A5)を求める。
検査部7により、撮像部6が撮像した検査溶液の各液滴Eの画像に基づいて、各ノズルNからの検査溶液の各液滴Eの着弾面積A(例えばA1〜A5)を求める。
(4)制御工程
制御部9により、検査部7が求めた検査溶液の各液滴Eの着弾面積Aに基づいて、各ノズルNからの検査溶液の各液滴Eの着弾面積Aが互いに同一になるように、各ノズルNからの検査溶液の吐出量を調整する。
制御部9により、検査部7が求めた検査溶液の各液滴Eの着弾面積Aに基づいて、各ノズルNからの検査溶液の各液滴Eの着弾面積Aが互いに同一になるように、各ノズルNからの検査溶液の吐出量を調整する。
例えば、塗布ヘッド5の一列をなす各ノズルNのうち、中央のノズルN(例えばN3)からの検査溶液の液滴E(例えばE3)の着弾面積A(例えばA3)を基準値とし、他のノズルN(例えばN1、N2、N4、N5)からの検査溶液の液滴E(例えばE1、E2、E4、E5)の着弾面積A(例えばA1、A2、A4、A5)が上述の基準値(例えばA3)に合致するように、それら他のノズルNのそれぞれに対応する圧電素子の印加電圧を調整し、それら他のノズルNからの検査溶液の吐出量を調整する。
本実施例によれば以下の作用効果を奏する。
(a)塗布ヘッド5の各ノズルNから吐出される溶液として、実際の製品になる基板Kに塗布される溶液に比して乾燥しにくい検査溶液を用い、各ノズルNから吐出されて基板Kに着弾する液滴Eの着弾面積を求める。従って、塗布ヘッド5の一列をなす各ノズルNから同時に吐出されて基板Kに直線一列状に着弾する各液滴Eのうち、例えば一列の両外側端に位置する液滴Eは外部雰囲気に広くさらされても乾燥しにくく、その乾燥の影響によって着弾面積を小さ目になる如くがない。よって、各ノズルNから吐出されて基板Kに着弾する液滴Eの乾燥状況に影響されることなく、当該液滴Eの着弾面積に基づいて各ノズルNや各圧電素子の個体差に起因する各ノズルNからの溶液吐出量を正しく求めることができる。これにより、各ノズルNからの溶液の吐出量を正しく調整し、各ノズルNからの溶液の吐出量を互いに同一にすることができる。
(a)塗布ヘッド5の各ノズルNから吐出される溶液として、実際の製品になる基板Kに塗布される溶液に比して乾燥しにくい検査溶液を用い、各ノズルNから吐出されて基板Kに着弾する液滴Eの着弾面積を求める。従って、塗布ヘッド5の一列をなす各ノズルNから同時に吐出されて基板Kに直線一列状に着弾する各液滴Eのうち、例えば一列の両外側端に位置する液滴Eは外部雰囲気に広くさらされても乾燥しにくく、その乾燥の影響によって着弾面積を小さ目になる如くがない。よって、各ノズルNから吐出されて基板Kに着弾する液滴Eの乾燥状況に影響されることなく、当該液滴Eの着弾面積に基づいて各ノズルNや各圧電素子の個体差に起因する各ノズルNからの溶液吐出量を正しく求めることができる。これにより、各ノズルNからの溶液の吐出量を正しく調整し、各ノズルNからの溶液の吐出量を互いに同一にすることができる。
(b)上述(a)の検査溶液が、実際の溶液の溶質を高沸点溶媒に溶解させてなるものとすることにより、検査溶液として実際の溶液の性状に近いものを使用し、可及的に各ノズルNからの実際の溶液の吐出量を互いに同一にすることができる。
以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。
1 液滴塗布装置
5 塗布ヘッド
6 撮像部
7 検査部
9 制御部
N ノズル
5 塗布ヘッド
6 撮像部
7 検査部
9 制御部
N ノズル
Claims (4)
- 基板に対して溶液を液滴として吐出させて塗布する複数のノズルを備えた塗布ヘッドを有してなる液滴塗布装置において、
塗布ヘッドの各ノズルから吐出される溶液として、実際の製品になる基板に塗布される溶液に比して乾燥しにくい検査溶液を用い、
各ノズルから吐出されて基板に着弾した検査溶液の各液滴を撮像する撮像部と、
撮像部が撮像した検査溶液の各液滴の画像に基づいて、各ノズルからの検査溶液の各液滴の着弾面積を求める検査部と、
検査部が求めた検査溶液の各液滴の着弾面積に基づいて、各ノズルからの検査溶液の各液滴の着弾面積が互いに同一になるように各ノズルからの検査溶液の吐出量を調整する制御部とを有してなることを特徴とする液滴塗布装置。 - 前記検査溶液が、実際の溶液の溶質を高沸点溶媒に溶解させてなる請求項1に記載の液滴塗布装置。
- 塗布ヘッドに設けた複数のノズルから溶液を液滴として吐出させて基板に塗布する液滴塗布方法において、
塗布ヘッドの各ノズルから吐出される溶液として、実際の製品になる基板に塗布される溶液に比して乾燥しにくい検査溶液を用い、
各ノズルから吐出されて基板に着弾した検査溶液の各液滴を撮像する撮像工程と、
撮像工程で撮像した検査溶液の各液滴の画像に基づいて、各ノズルからの検査溶液の各液滴の着弾面積を求める検査工程と、
検査工程で求めた検査溶液の各液滴の着弾面積に基づいて、各ノズルからの検査溶液の各液滴の着弾面積が互いに同一になるように各ノズルからの検査溶液の吐出量を調整する制御工程とを有してなることを特徴とする液滴塗布方法。 - 前記検査溶液が、実際の溶液の溶質を高沸点溶媒に溶解させてなる請求項3に記載の液滴塗布方法。
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JP2014505339A (ja) * | 2011-01-19 | 2014-02-27 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | シャットダウン機能を有するリチウム電池セパレーター |
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2008
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