JPWO2009139108A1 - 弾性境界波装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(発明の効果)
2…圧電基板
3…第1の媒質層
4…第2の媒質層
5…IDT電極
6,7…反射器
図2は、弾性境界波装置1において、第1の媒質層3としてのSiO2膜の規格化膜厚を47.5%、44.7%、42.2%、40.0%、38.0%及び36.2%とした場合の各インピーダンス特性を示す図である。ここで、LiNbO3単結晶からなる圧電基板2としては、結晶方位がオイラー角で(0°,105°,0°)のLiNbO3を用いた。また、IDT電極5を含む電極構造を、Pt膜、Al膜及びPt膜をこの順序で積層した積層金属膜により構成し、その規格化膜厚を、Pt/Al/Pt=1.1%/8.6%/1.1%とした。また、IDT電極5における電極指の対数は60、デューティ比は0.5、それぞれのSiO2規格化膜厚に対応した境界波の波長λはそれぞれ1.6μm、1.7μm、1.8μm、1.9μm、2.0μm、2.1μmとした。反射器6,7における電極指の本数は50とした。第2の媒質層4としてのSiON膜の規格化膜厚は158%とした。なお、上記では、IDT電極を構成する膜の規格化膜厚とSiON膜の規格化膜厚はλ=1.9μmにおける規格化膜厚を示した。
図2における周波数(MHz)は上記電極波長λを用いて、音速V(m/秒)=λ(μm)×f(MHz)により音速V(m/秒)に変換できる。
次に、IDT電極5のデューティを0.4、0.45、0.5、0.55及び0.6とされていることを除いては、第1の実験例と同様にして、複数種の弾性境界波装置を作製した。これらの弾性境界波装置における高次モードの位相特性を図5に示す。
圧電基板2側から、順に、IDT電極5を含む電極を、Pt/Al/Ptの順序で積層してなる積層金属膜により形成した。ここで、Al膜の規格化膜厚を8.6%とし、両側のPt膜の規格化膜厚の合計は一定とし、第1の媒質層3側のPt膜の規格化膜厚を2.2%、1.65%、1.1%、0.55%または0%と変化させた。なお、両側のPt膜の規格化膜厚の合計は2.2%とした。
IDT電極5を含む電極を、圧電基板2側からAl膜/Pt膜/Al膜の順に、Al、Pt及びAlをこの順序で積層した積層金属膜により形成した。ここでは、両側のAl膜の膜厚の合計は規格化膜厚で8.6%と一定とし、Pt膜の規格化膜厚は2.2%とし、第1の媒質層3側のAlの規格化膜厚を0%、2.04%、4.08%、6.12%または8.6%と変化させ、複数種の弾性境界波装置を作製した。
Claims (9)
- 圧電基板と、
前記圧電基板上に積層されており、誘電体からなる第1の媒質層と、
前記第1の媒質層の上面に積層されており、第1の媒質層を形成している前記誘電体とは音速が異なる誘電体からなる第2の媒質層と、
前記圧電基板と、前記第1の媒質層との界面に配置されたIDT電極とを備える弾性境界波装置であって、
前記圧電基板の速い横波バルク波の音速をV1、弾性境界波の高次モードの***振点の音速をVaとしたときに、Va>V1であることを特徴とする、弾性境界波装置。 - 前記高次モードの共振点の音速をVrとしたとき、Vr>V1である、請求項1に記載の弾性境界波装置。
- 前記第2の媒質層の音速が、前記第1の媒質層の音速よりも速い、請求項1または2に記載の弾性境界波装置。
- 前記圧電基板がLiNbO3単結晶またはLiTaO3単結晶からなる、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 前記第1の媒質層の音速が、前記LiNbO3の遅い横波音速と、第2の媒質層の音速の内速い方の音速よりも遅い、請求項4に記載の弾性境界波装置。
- 前記第1の媒質層が、SiO2またはSiONからなる、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 前記第2の媒質層が、SiO2、SiN、SiON、AlN、AlO、Si、SiC、DLC(ダイヤモンドドライクカーボン)及びポリシリコンからなる群から選択された少なくとも1種の材料からなる、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 前記IDT電極が、Al、Ti、Fe、Cu、Ag、Ta、Au及びPtからなる群から選択された1種の金属または該金属を主体とする合金からなる金属膜を含む、請求項1〜7のいずれか1項に記載の弾性境界波装置。
- 前記IDT電極が、Al、Ti、Fe、Cu、Ag、Ta、Au及びPtからなる群から選択された1種の金属または該金属を主体とする合金からなる複数種の金属膜を積層してなる積層金属膜からなる請求項8に記載の弾性境界波装置。
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Citations (3)
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---|---|---|---|---|
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