JPWO2009091034A1 - 表面検査装置および表面検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
10 ウェハ(被検基板)
12 繰り返しパターン
20 照明光学系(各照明部)
30 集光光学系
32 受光側偏光フィルタ(偏光変換部)
40 CCDカメラ(各検出部)
45 画像処理検査部(検査部および条件設定部)
46 データベース部
L1 直線偏光(第1の直線偏光)
L2 楕円偏光
L3 偏光成分
L4 直線偏光(第2の直線偏光)
Claims (6)
- 所定の繰り返しパターンを有する被検基板の表面に検査光を照射する検査光照明部と、
前記検査光が照射された前記被検基板の表面からの回折光を検出する回折光検出部と、
前記被検基板の表面に第1の直線偏光を照射する偏光照明部と、
前記第1の直線偏光が照射された前記被検基板の表面からの反射光を前記第1の直線偏光と振動方向が異なる第2の直線偏光に変換する偏光変換部と、
前記第2の直線偏光を検出する偏光検出部と、
前記回折光検出部で検出された前記回折光および、前記偏光検出部で検出された前記第2の直線偏光に基づいて、前記繰り返しパターンにおける異常の有無を検査する検査部とを備え、
前記検査部は、前記異常の原因毎に予め求められた前記異常の原因の大きさと前記回折光の輝度との相関および、前記異常の原因の大きさと前記第2の直線偏光の輝度との相関に基づいて、前記異常の原因を特定することを特徴とする表面検査装置。 - 前記繰り返しパターンは露光装置を用いて形成されており、
前記露光装置におけるフォーカスのズレ量と前記回折光の輝度との相関および、前記フォーカスのズレ量と前記第2の直線偏光の輝度との相関、並びに、前記露光装置におけるドーズのズレ量と前記回折光の輝度との相関および、前記ドーズのズレ量と前記第2の直線偏光の輝度との相関をそれぞれ求めてデータベースを作成するデータベース部を備え、
前記検査部は、前記回折光検出部で検出された前記回折光の輝度を前記データベース上の前記回折光の輝度と照合するとともに、前記偏光検出部で検出された前記第2の直線偏光の輝度を前記データベース上の前記第2の直線偏光の輝度と照合することにより、前記フォーカスのズレ量または前記ドーズのズレ量を求めることを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。 - 前記回折光が発生するように装置条件を設定する条件設定部を備え、
前記異常の原因の大きさと前記回折光の輝度との相関は、前記条件設定部により設定変更されて得られた複数の前記装置条件に基づく前記回折光毎に求められることを特徴とする請求項1もしくは請求項2に記載の表面検査装置。 - 所定の繰り返しパターンを有する被検基板の表面に検査光を照射する第1のステップと、
前記検査光が照射された前記被検基板の表面からの回折光を検出する第2のステップと、
前記被検基板の表面に第1の直線偏光を照射する第3のステップと、
前記第1の直線偏光が照射された前記被検基板の表面からの反射光を前記第1の直線偏光と振動方向が異なる第2の直線偏光に変換する第4のステップと、
前記第2の直線偏光を検出する第5のステップと、
前記第2のステップで検出された前記回折光および、前記第5のステップで検出された前記第2の直線偏光に基づいて、前記繰り返しパターンにおける異常の有無を検査する第6のステップとを有し、
前記第6のステップにおいて、前記異常の原因毎に予め求められた前記異常の原因の大きさと前記回折光の輝度との相関および、前記異常の原因の大きさと前記第2の直線偏光の輝度との相関に基づいて、前記異常の原因を特定することを特徴とする表面検査方法。 - 前記繰り返しパターンは露光装置を用いて形成されており、
前記露光装置におけるフォーカスのズレ量と前記回折光の輝度との相関および、前記フォーカスのズレ量と前記第2の直線偏光の輝度との相関、並びに、前記露光装置におけるドーズのズレ量と前記回折光の輝度との相関および、前記ドーズのズレ量と前記第2の直線偏光の輝度との相関をそれぞれ求めてデータベースを作成するプレステップを有し、
前記第6のステップにおいて、前記第2のステップで検出された前記回折光の輝度を前記データベース上の前記回折光の輝度と照合するとともに、前記第5のステップで検出された前記第2の直線偏光の輝度を前記データベース上の前記第2の直線偏光の輝度と照合することにより、前記フォーカスのズレ量または前記ドーズのズレ量を求めることを特徴とする請求項4に記載の表面検査方法。 - 前記回折光が発生するように装置条件を設定するサブステップを有し、
前記異常の原因の大きさと前記回折光の輝度との相関は、前記サブステップで設定変更されて得られた複数の前記装置条件に基づく前記回折光毎に求められることを特徴とする請求項4もしくは請求項5に記載の表面検査方法。
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