JP5434352B2 - 表面検査装置および表面検査方法 - Google Patents
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Description
なお、前記照明部は、前記基板の前記半導体パターンで回折光が発生するように、前記照明光を前記基板の表面に照射し、前記検出部は、前記半導体パターンで反射した前記照明光の回折強度を検出して前記検出信号を出力してもよい。
また、前記照明部は、前記照明光として略直線偏光を前記基板の表面に照射し、前記検出部は、前記半導体パターンで反射した前記照明光の偏光変化を検出して前記検出信号を出力してもよい。
また、前記基板は、異なる箇所に同じ露光条件で形成された前記半導体パターンを有し、前記判定部は、前記同じ露光条件で形成された前記半導体パターンの互いに対応する前記部分のそれぞれにおける前記検出強度の平均強度を用いて、前記判定を行ってもよい。
また、前記相関関係が関数近似を用いて求められていてもよい。
また、前記照明部は、前記照明光として略平行な光束を用いて、前記基板の前記半導体パターンが形成された面の全面を一括照明し、前記検出部は、前記全面からの光を一括して検出してもよい。
なお、前記基板の前記半導体パターンで回折光が発生するように、前記照明光を前記基板の表面に照射し、前記半導体パターンで反射した前記照明光の回折強度を検出して前記検出信号を出力してもよい。
また、前記照明光として略直線偏光を前記基板の表面に照射し、前記半導体パターンで反射した前記照明光の偏光変化を検出して前記検出信号を出力してもよい。
また、前記基板は、異なる箇所に同じ露光条件で形成された前記半導体パターンを有し、前記同じ露光条件で形成された前記半導体パターンの互いに対応する前記部分のそれぞれにおける前記検出強度の平均強度を用いて、前記判定を行ってもよい。
また、関数近似を用いて前記相関関係を求めてもよい。
また、前記照明光として略平行な光束を用いて、前記基板の前記半導体パターンが形成された面の全面を一括照明し、前記全面からの光を一括して検出してもよい。
10 ウェハ(10a 条件振りウェハ) 20 照明系(照明部)
30 受光系 35 撮像装置(検出部)
40 画像処理部(演算部) 50 露光装置
Claims (18)
- 露光により形成された半導体パターンを有する基板に照明光を照射する照明部と、
前記半導体パターンで反射した照明光の回折強度または偏光変化を検出して検出信号を出力する検出部と、
前記半導体パターンを形成する時のフォーカスオフセットと該パターンからの前記検出信号の検出強度との相関関係において前記検出強度が最大となるフォーカスオフセットに基づいて、前記露光時の像面の状態を判定する判定部とを備え、
前記判定部は、1回の露光により形成される前記半導体パターンの複数の部分のそれぞれにおける前記検出強度が最大となるフォーカスオフセットに基づいて、前記露光時の像面の状態を判定することを特徴とする表面検査装置。 - 前記照明部は、前記基板の前記半導体パターンで回折光が発生するように、前記照明光を前記基板の表面に照射し、
前記検出部は、前記半導体パターンで反射した前記照明光の回折強度を検出して前記検出信号を出力することを特徴とする請求項1に記載の表面検査装置。 - 前記照明部は、前記照明光として略直線偏光を前記基板の表面に照射し、
前記検出部は、前記半導体パターンで反射した前記照明光の偏光変化を検出して前記検出信号を出力することを特徴とする請求項1または2に記載の表面検査装置。 - 前記照明光として紫外光を用いることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の表面検査装置。
- 前記基板は、異なる箇所に同じ露光条件で形成された前記半導体パターンを有し、
前記判定部は、前記同じ露光条件で形成された前記半導体パターンの互いに対応する前記部分のそれぞれにおける前記検出強度の平均強度を用いて、前記判定を行うことを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の表面検査装置。 - 前記相関関係が関数近似を用いて求められていることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の表面検査装置。
- 前記判定部は、前記露光時の像面の状態として前記露光時の像面傾斜を判定することを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の表面検査装置。
- 前記判定部により判定された前記露光時の像面の状態を、該露光を行った露光装置に入力可能な信号に変換して出力する信号出力部をさらに備えることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の表面検査装置。
- 前記照明部は、前記照明光として略平行な光束を用いて、前記基板の前記半導体パターンが形成された面の全面を一括照明し、
前記検出部は、前記全面からの光を一括して検出することを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の表面検査装置。 - 露光により形成された半導体パターンを有する基板に照明光を照射し、
前記半導体パターンで反射した照明光の回折強度または偏光変化を検出して検出信号を出力し、
前記半導体パターンを形成する時のフォーカスオフセットと該パターンからの前記検出信号の検出強度との相関関係において前記検出強度が最大となるフォーカスオフセットに基づいて、前記露光時の像面の状態を判定し、
前記判定の際、1回の露光により形成される前記半導体パターンの複数の部分のそれぞれにおける前記検出強度が最大となるフォーカスオフセットに基づいて、前記露光時の像面の状態を判定することを特徴とする表面検査方法。 - 前記基板の前記半導体パターンで回折光が発生するように、前記照明光を前記基板の表面に照射し、
前記半導体パターンで反射した前記照明光の回折強度を検出して前記検出信号を出力することを特徴とする請求項10に記載の表面検査方法。 - 前記照明光として略直線偏光を前記基板の表面に照射し、
前記半導体パターンで反射した前記照明光の偏光変化を検出して前記検出信号を出力することを特徴とする請求項10または11に記載の表面検査方法。 - 前記照明光として紫外光を用いることを特徴とする請求項10から12のいずれか一項に記載の表面検査方法。
- 前記基板は、異なる箇所に同じ露光条件で形成された前記半導体パターンを有し、
前記同じ露光条件で形成された前記半導体パターンの互いに対応する前記部分のそれぞれにおける前記検出強度の平均強度を用いて、前記判定を行うことを特徴とする請求項10から13のいずれか一項に記載の表面検査方法。 - 関数近似を用いて前記相関関係を求めることを特徴とする請求項10から14のいずれか一項に記載の表面検査方法。
- 前記露光時の像面の状態として前記露光時の像面傾斜を判定することを特徴とする請求項10から15に記載の表面検査方法。
- 前記判定した前記露光時の像面の状態を、該露光を行った露光装置に入力可能な信号に変換して出力することを特徴とする請求項10から16のいずれか一項に記載の表面検査方法。
- 前記照明光として略平行な光束を用いて、前記基板の前記半導体パターンが形成された面の全面を一括照明し、
前記全面からの光を一括して検出することを特徴とする請求項10から17のいずれか一項に記載の表面検査方法。
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