JPWO2009081647A1 - 弾性表面波装置 - Google Patents
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Abstract
Description
1a…LiNbO3基板の上面
1b…溝
2…フォトレジスト
2A…フォトレジストパターン
3…IDT電極
4…SiO2層
11…弾性表面波装置
12,13…反射器
Claims (4)
- 複数本の溝が上面に形成された圧電基板と、
前記溝内に形成されているPtを主体とするIDT電極と、
前記圧電基板及びIDT電極を覆うように形成されており、上面が平坦であるSiO2層とを備える弾性表面波装置において、
前記圧電基板において励振されるレイリー波による応答が利用されており、前記圧電基板は、オイラー角が(0°±5°,208°〜228°,0°±5°)の範囲内にあるLiNbO3基板であることを特徴とする弾性表面波装置。 - 前記IDT電極が、PtまたはPtを主体とする合金からなる膜に、Ti、Ni、Cr、NiCr、Al及びAlCuからなる群から選択された1種の金属を主体とする合金からなる膜が積層されている積層金属膜であって、全体としてPtを主体とする積層金属膜である、請求項1に記載の弾性表面波装置。
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