JPWO2007116501A1 - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
半導体装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2007116501A1 JPWO2007116501A1 JP2008509652A JP2008509652A JPWO2007116501A1 JP WO2007116501 A1 JPWO2007116501 A1 JP WO2007116501A1 JP 2008509652 A JP2008509652 A JP 2008509652A JP 2008509652 A JP2008509652 A JP 2008509652A JP WO2007116501 A1 JPWO2007116501 A1 JP WO2007116501A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- conductive pad
- insulating film
- protective insulating
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 67
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 52
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 100
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims abstract description 70
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 70
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 36
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 79
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 54
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 44
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 38
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims description 31
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 30
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 21
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 19
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 14
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 5
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims 14
- 238000002161 passivation Methods 0.000 abstract description 65
- 230000035515 penetration Effects 0.000 abstract description 16
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 13
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 65
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 47
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 28
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 27
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 27
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 26
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 26
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 26
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 25
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 25
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 25
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 24
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 21
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 19
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 19
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 18
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 18
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 16
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 13
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 12
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 11
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 10
- 229910018182 Al—Cu Inorganic materials 0.000 description 9
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 9
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 9
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 8
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 7
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 7
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 6
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 6
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 5
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 5
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 4
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910019899 RuO Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004121 SrRuO Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 2
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 238000001552 radio frequency sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 2
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 2
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 2
- 208000005156 Dehydration Diseases 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- -1 for example Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/02—Bonding areas ; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L24/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
- H01L22/34—Circuits for electrically characterising or monitoring manufacturing processes, e. g. whole test die, wafers filled with test structures, on-board-devices incorporated on each die, process control monitors or pad structures thereof, devices in scribe line
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/02—Bonding areas ; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/03—Manufacturing methods
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L28/00—Passive two-terminal components without a potential-jump or surface barrier for integrated circuits; Details thereof; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L28/40—Capacitors
- H01L28/55—Capacitors with a dielectric comprising a perovskite structure material
- H01L28/57—Capacitors with a dielectric comprising a perovskite structure material comprising a barrier layer to prevent diffusion of hydrogen or oxygen
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B53/00—Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B53/00—Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors
- H10B53/30—Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors characterised by the memory core region
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B53/00—Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors
- H10B53/40—Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors characterised by the peripheral circuit region
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/0212—Auxiliary members for bonding areas, e.g. spacers
- H01L2224/02122—Auxiliary members for bonding areas, e.g. spacers being formed on the semiconductor or solid-state body
- H01L2224/02163—Auxiliary members for bonding areas, e.g. spacers being formed on the semiconductor or solid-state body on the bonding area
- H01L2224/02165—Reinforcing structures
- H01L2224/02166—Collar structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/04042—Bonding areas specifically adapted for wire connectors, e.g. wirebond pads
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/05001—Internal layers
- H01L2224/05075—Plural internal layers
- H01L2224/0508—Plural internal layers being stacked
- H01L2224/05085—Plural internal layers being stacked with additional elements, e.g. vias arrays, interposed between the stacked layers
- H01L2224/05089—Disposition of the additional element
- H01L2224/05093—Disposition of the additional element of a plurality of vias
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/05001—Internal layers
- H01L2224/05075—Plural internal layers
- H01L2224/0508—Plural internal layers being stacked
- H01L2224/05085—Plural internal layers being stacked with additional elements, e.g. vias arrays, interposed between the stacked layers
- H01L2224/05089—Disposition of the additional element
- H01L2224/05093—Disposition of the additional element of a plurality of vias
- H01L2224/05096—Uniform arrangement, i.e. array
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/05001—Internal layers
- H01L2224/05099—Material
- H01L2224/051—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/05117—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 400°C and less than 950°C
- H01L2224/05124—Aluminium [Al] as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/0555—Shape
- H01L2224/05552—Shape in top view
- H01L2224/05553—Shape in top view being rectangular
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/0556—Disposition
- H01L2224/05567—Disposition the external layer being at least partially embedded in the surface
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/0556—Disposition
- H01L2224/05571—Disposition the external layer being disposed in a recess of the surface
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/0556—Disposition
- H01L2224/05571—Disposition the external layer being disposed in a recess of the surface
- H01L2224/05572—Disposition the external layer being disposed in a recess of the surface the external layer extending out of an opening
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/532—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body characterised by the materials
- H01L23/53204—Conductive materials
- H01L23/53209—Conductive materials based on metals, e.g. alloys, metal silicides
- H01L23/53228—Conductive materials based on metals, e.g. alloys, metal silicides the principal metal being copper
- H01L23/53238—Additional layers associated with copper layers, e.g. adhesion, barrier, cladding layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/532—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body characterised by the materials
- H01L23/5329—Insulating materials
- H01L23/53295—Stacked insulating layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01005—Boron [B]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01007—Nitrogen [N]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01013—Aluminum [Al]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01014—Silicon [Si]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01015—Phosphorus [P]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01018—Argon [Ar]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01022—Titanium [Ti]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01029—Copper [Cu]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01033—Arsenic [As]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/0104—Zirconium [Zr]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01041—Niobium [Nb]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01044—Ruthenium [Ru]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/0105—Tin [Sn]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01057—Lanthanum [La]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01073—Tantalum [Ta]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01074—Tungsten [W]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01078—Platinum [Pt]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01082—Lead [Pb]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/049—Nitrides composed of metals from groups of the periodic table
- H01L2924/0504—14th Group
- H01L2924/05042—Si3N4
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1306—Field-effect transistor [FET]
- H01L2924/13091—Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/1901—Structure
- H01L2924/1904—Component type
- H01L2924/19041—Component type being a capacitor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
Description
FeRAMにおいて、キャパシタ膜の特性劣化は、外部から浸入する水分・水素の影響が大きい。これら水分・水素の浸入経路を調査したところ、導電パッドに生じた亀裂から装置内部に多量に染み込んでいることが判ってきた。この導電パッドの亀裂は、検査機器の探針(プローブ)を用いたFeRAMの各種検査に起因して発生する。即ち、当該検査は、装置最上層の緩衝防止膜(ポリイミドやノボラック樹脂等)に形成された開口から露出する導電パッドの表面にプローブを直接的に当接させて行われる。当該検査としては、FeRAM等の半導体メモリに固有の試験を要する。詳細には、装置の動作が正常に行われるか否かを調べる試験に加え、データの書き込み及び読み出しの良否を判定するためのリテンション試験及び最終的な確認試験を行う。そのため、各試験時におけるプローブによる導電パッドへの複数回の当接により、導電パッドに亀裂等が発生することが多い。
この点、特許文献1,2には、検査機器のプローブを用いた検査後に、導電パッドを覆いその上層で延在する再配線を形成し、導電パッドの上方から離間した箇所に、外部接続用の電極を設ける構成が開示されている。しかしながらこの場合、以下に説明するような問題が新たに発生する。
以下、本発明を適用した具体的な諸実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。以下の諸実施形態では、本発明をFeRAMに適用した場合について例示するが、キャパシタ構造に通常の誘電体膜を用いた半導体メモリにも適用可能である。
本実施形態では、強誘電体キャパシタ構造の下部電極上及び上部電極上にそれぞれ導電プラグが形成されて導通がとられる構成の、いわゆるプレーナ型のFeRAMを例示する。
図1A〜図10は、第1の実施形態によるプレーナ型のFeRAMの構成をその製造方法と共に工程順に示す概略断面図である。
詳細には、シリコン半導体基板10の表層に例えばSTI(Shallow Trench
Isolation)法により素子分離構造11を形成し、素子活性領域を確定する。
次に、素子活性領域に不純物、ここではホウ素(B)を例えばドーズ量3.0×1013/cm2、加速エネルギー300keVの条件でイオン注入し、ウェル12を形成する。
詳細には、MOSトランジスタ20を覆うように、保護膜21及び層間絶縁膜22を順次堆積する。ここで、保護膜21としては、シリコン酸化膜を材料とし、CVD法により膜厚20nm程度に堆積する。層間絶縁膜22としては、例えばプラズマSiON膜(膜厚200nm程度)、プラズマSiN膜(膜厚80nm程度)及びプラズマTEOS−NSG膜(膜厚600nm程度)を順次成膜した積層構造を形成し、積層後、CMPにより層間絶縁膜22の表層を例えば200nm程度研磨して平坦化する。
詳細には、先ずスパッタ法により例えば膜厚が20nm程度のTi膜及び膜厚が150nm程度のPt膜を順次堆積させ、Ti膜及びPt膜の積層構造に下部電極層24を形成する。
なお、強誘電体膜25の材料としては、PZTの代わりに、Pb1−xLaxZr1−yTiyO3(0<x<1,0<y<1)、SrBi2(TaxNb1−x)2O9(0<x<1)、Bi4Ti2O12等を用いても良い。
なお、上部電極層26の材料として、IrO2の代わりにIr、Ru、RuO2、SrRuO3、その他の導電性酸化物やこれらの積層構造としても良い。
詳細には、上部電極層26をリソグラフィー及びそれに続くドライエッチングにより複数の電極形状に加工して、上部電極31をパターン形成する。
詳細には、先ず強誘電体膜25を上部電極31に整合させて若干上部電極31よりも大きいサイズとなるように、リソグラフィー及びそれに続くドライエッチングにより加工する。
詳細には、強誘電体キャパシタ構造30を覆うように、層間絶縁膜33を形成する。ここで、層間絶縁膜33としては、例えばプラズマTEOS−NSG膜を膜厚1500nm程度に堆積した後、CMPにより膜厚が1000nm程度となるまで研磨する。CMPの後に、層間絶縁膜33の表面の窒化を目的として、例えばN2Oのプラズマアニール処理(例えば350℃で2分間)を施す。
先ず、強誘電体キャパシタ構造30へのビア孔34a,35aを形成する。
詳細には、リソグラフィー及びそれに続くドライエッチングとして、上部電極31の表面の一部が露出するまで層間絶縁膜33に施す加工と、下部電極32の表面の一部が露出するまで層間絶縁膜33に施す加工とを同時に実行し、それぞれの部位に例えば約0.5μm径のビア孔34a,35aを同時形成する。これらビア孔34a,35aの形成時には、上部電極31及び下部電極32がそれぞれエッチングストッパーとなる。
詳細には、ソース/ドレイン領域18をエッチングストッパーとして、当該ソース/ドレイン領域18の表面の一部が露出するまで第2の層間絶縁膜33、水素拡散防止23b、上層膜23a、層間絶縁膜22、及び保護膜21をリソグラフィー及びそれに続くドライエッチングにより加工し、例えば約0.3μm径のビア孔36aを形成する。
先ず、通常の酸化膜のエッチング換算で数10nm、ここでは10nm程度に相当するRF前処理を行った後、ビア孔34a,35a,36aの各壁面を覆うように、スパッタ法により例えばTiN膜を膜厚75nm程度に堆積して、下地膜(グルー膜)41を形成する。そして、CVD法によりグルー膜41を介してビア孔34a,35a,36aを埋め込むように例えばW膜を形成する。その後、CMPにより第2の層間絶縁膜33をストッパーとしてW膜及びグルー膜41を研磨し、ビア孔34a,35a,36a内をグルー膜41を介してWで埋め込むプラグ34,35,36を形成する。
詳細には、先ず、全面に例えばPVD法によりバリアメタル膜42、配線膜43及びバリアメタル膜44を堆積する。バリアメタル膜42としては、スパッタ法により例えばTiN膜を膜厚150nm程度に成膜する。配線膜43としては、例えばAl合金膜(ここではAl−Cu膜)を膜厚550nm程度に成膜する。バリアメタル膜44としては、スパッタ法により例えばTi膜(膜厚5nm程度)及びTiN(膜厚150nm程度)を順次成膜する。ここで、配線膜43の構造は、同一ルールのFeRAM以外のロジック部と同じ構造とされているため、配線の加工や信頼性上の問題はない。
詳細には、第1の配線45を覆うように、第2の層間絶縁膜33上に保護膜46を成膜する。保護膜46は、強誘電体キャパシタ構造30を形成した後の多層工程により当該強誘電体キャパシタ30の強誘電体膜25の受けるダメージ(強誘電体膜25に対する水分・水素の浸入等)を抑制するためのものであり、金属酸化膜、例えばアルミナ(Al2O3)を材料として例えばスパッタ法により膜厚20nm程度に形成する。
詳細には、先ず、水素拡散防止膜46を介して第1の配線45(及び耐湿リング45a)を覆うように層間絶縁膜47及びその上層膜47aを形成する。
第1の配線45の表面の一部が露出するまで、上層膜47a、層間絶縁膜47、及び水素拡散防止膜46をリソグラフィー及びそれに続くドライエッチングにより加工して、例えば約0.25μm径のビア孔48aを形成する。次に、このビア孔48aの壁面を覆うように下地膜(グルー膜)49を形成した後、CVD法によりグルー膜49を介してビア孔48aを埋め込むようにW膜を形成する。そして、上層膜47aをストッパーとして例えばW膜及びグルー膜49を研磨し、ビア孔48a内をグルー膜49を介してWで埋め込むプラグ48を形成する。
先ず、全面に例えばPVD法により配線膜51及びバリアメタル膜52を堆積する。配線膜51としては、例えばAl合金膜(ここではAl−Cu膜)を膜厚550nm程度に成膜する。バリアメタル膜52としては、スパッタ法により例えばTi膜(膜厚5nm程度)及びTiN(膜厚150nm程度)を順次成膜する。ここで、配線膜51の構造は、同一ルールのFeRAM以外のロジック部と同じ構造とされているため、配線の加工や信頼性上の問題はない。
詳細には、先ず、配線53(及び耐湿リング53a)を覆うように層間絶縁膜54及びその上層膜54aを形成する。
第2の配線53の表面の一部が露出するまで、上層膜54a及び層間絶縁膜54をリソグラフィー及びそれに続くドライエッチングにより加工して、ビア孔55aを形成する。次に、このビア孔55aの壁面を覆うように下地膜(グルー膜)56を形成した後、CVD法によりグルー膜56を介してビア孔55aを埋め込むようにW膜を形成する。そして、上層膜54aをストッパーとして例えばW膜及びグルー膜56を研磨し、ビア孔55a内をグルー膜56を介してWで埋め込むプラグ55を形成する。
先ず、全面に例えばPVD法により配線膜61及びバリアメタル膜62を堆積する。配線膜61としては、例えばAl合金膜(ここではAl−Cu膜)を膜厚500nm程度に成膜する。バリアメタル膜62としては、スパッタ法により例えばTiNを膜厚150nm程度に成膜する。ここで、配線膜61の構造は、同一ルールのFeRAM以外のロジック部と同じ構造とされているため、配線の加工や信頼性上の問題はない。
詳細には、先ず、CVD法等によりプラズマTEOS−NSG膜を膜厚100nm程度に堆積し、下層絶縁膜64を形成する。そして、下層絶縁膜64の表面の窒化を目的として、例えばN2Oのプラズマアニール処理(例えば350℃で2分間)を施す。
詳細には、リソグラフィー及びドライエッチングによりパシベーション膜66を加工し、第1の導電パッド60の表面の一部を露出させる開口66aを形成する。なお、図7〜図10では、第1の導電パッド60及びその周囲の様子を示す平面図を添付する。
詳細には、開口66aの内壁面を覆うように、例えばPVD法により、パシベーション膜66上にAl合金膜(ここではAl−Cu膜:膜厚500nm程度)及びTiN膜(膜厚150nm程度)を積層する。そして、これらTiN膜及びAl合金膜をリソグラフィー及びそれに続くドライエッチングによりパターニングする。この場合、平面視で第1の導電パッド60よりも若干サイズが小さくなる程度に、第1の導電パッド60と同様の略矩形状となるように、当該パターニングを実行する。これにより、パシベーション膜66の開口66aの内壁底面(即ち第1の導電パッド60の表面)及び内壁側面からパシベーション膜66上にかけて覆い、平面視で第1の導電パッド60の形成領域に包含される第2の導電パッド70が形成される。この第2の導電パッド70は、ボンディングワイヤ等が接続される外部接続用パッドである。
以下、第1の実施形態の緒変形例について説明する。これらの変形例では、第1の実施形態と同様にプレーナ型のFeRAMを開示するが、第2の導電パッドの形態が若干異なる点で相違する。以下、第1の実施形態で開示した構成部材等と同様のものについては同符号を付して詳しい説明を省略する。
図11A〜図11Dは、第1の実施形態の変形例1によるプレーナ型のFeRAMの構成をその製造方法(主要工程のみ)と共に工程順に示す概略断面図である。なお、図11A〜図11Dでは、第1及び第2の導電パッド及びその周辺のみを示す。
詳細には、例えば感光性ポリイミドを膜厚3μm程度に塗布し、上層絶縁膜65上を覆うように緩衝防止膜71を形成する。このとき、パシベーション膜66(下層絶縁膜64及び上層絶縁膜65)、及び緩衝防止膜71が順次積層されてなる3層構造の保護絶縁膜が形成される。ここで、非感光性ポリイミドを用いる場合には、非感光性ポリイミド上にレジストパターンを形成し、専用現像液で非感光性ポリイミドを溶解する。その後、例えば横型炉で緩衝防止膜71に例えば310℃でN2ガスを100リットル/分の流量で40分間の熱処理を施し、ポリイミドを硬化させる。なお、緩衝防止膜71の材料として、ポリイミドの代わりに例えばノボラック樹脂を用いても良い。
詳細には、リソグラフィー及びドライエッチングにより緩衝防止膜71及びパシベーション膜66を加工し、第1の導電パッド60の表面の一部を露出させる開口72を形成する。
詳細には、開口72の内壁面を覆うように、例えばPVD法により、緩衝防止膜71上にAl合金膜(ここではAl−Cu膜:膜厚500nm程度)及びTiN膜(膜厚150nm程度)を積層する。そして、これらTiN膜及びAl合金膜をリソグラフィー及びそれに続くドライエッチングによりパターニングする。この場合、平面視で第1の導電パッド60よりも若干サイズが小さくなる程度に、第1の導電パッド60と同様の略矩形状となるように、当該パターニングを実行する。これにより、緩衝防止膜71及びパシベーション膜66の開口72の内壁底面(即ち第1の導電パッド60の表面)及び内壁側面から緩衝防止膜71上にかけて覆い、平面視で第1の導電パッド60の形成領域に包含される第2の導電パッド73が形成される。この第2の導電パッド73は、ボンディングワイヤ等が接続される外部接続用パッドである。
図12A〜図12Cは、第1の実施形態の変形例2によるプレーナ型のFeRAMの構成をその製造方法(主要工程のみ)と共に工程順に示す概略断面図である。なお、図12A〜図12Cでは、第1及び第2の導電パッド及びその周辺のみを示す。
詳細には、先ず、第2の導電パッド70を覆うように第1のパシベーション膜66上に、CVD法等によりプラズマTEOS−NSG膜を膜厚100nm程度に堆積し、下層絶縁膜74を形成する。そして、下層絶縁膜74の表面の窒化を目的として、例えばN2Oのプラズマアニール処理(例えば350℃で2分間)を施す。
詳細には、リソグラフィー及びドライエッチングにより第2のパシベーション膜76を加工し、第2の導電パッド70の表面の一部を露出させる開口76aを形成する。
本例では、第1の実施形態の変形例2によるプレーナ型のFeRAMの構成に加え、上層膜54a以降に形成する上層の所定部位に、水素拡散防止膜を形成する。
そして、水素拡散防止膜77、上層膜54a、及び層間絶縁膜54に開口したビア孔55aを充填するプラグ55を形成し、第1の導電プラグ60、第1のパシベーション膜66を順次形成する。
そして、水素拡散防止膜78上に上層絶縁膜75を形成した後、上層絶縁膜75、水素拡散防止膜78、及び下層絶縁膜74に開口76aを形成した後、開口71aを有する緩衝防止膜71を形成する。
従って、強誘電体膜25への水分・水素の浸入が可及的に抑止され、強誘電体膜25の高い強誘電特性が十分に保持される。
本実施形態では、強誘電体キャパシタ構造の下部電極下及び上部電極上にそれぞれ導電プラグが形成されて導通がとられる構成の、いわゆるスタック型のFeRAMを例示する。
図14A〜図24は、第2の実施形態によるスタック型のFeRAMの構成をその製造方法と共に工程順に示す概略断面図である。
詳細には、シリコン半導体基板110の表層に例えばSTI(Shallow Trench
Isolation)法により素子分離構造111を形成し、素子活性領域を確定する。
次に、素子活性領域に不純物、ここではホウ素(B)を例えばドーズ量3.0×1013/cm2、加速エネルギー300keVの条件でイオン注入し、ウェル112を形成する。
詳細には、MOSトランジスタ120を覆うように、保護膜121、層間絶縁膜122、及び上部絶縁膜123を順次形成する。ここで、保護膜121としては、シリコン酸化膜を材料とし、CVD法により膜厚20nm程度に堆積する。層間絶縁膜122としては、例えばプラズマSiO膜(膜厚20nm程度)、プラズマSiN膜(膜厚80nm程度)及びプラズマTEOS膜(膜厚1000nm程度)を順次成膜した積層構造を形成し、積層後、CMPにより膜厚が700nm程度となるまで研磨する。上部絶縁膜123としては、シリコン窒化膜を材料とし、CVD法により膜厚100nm程度に堆積する。
詳細には、先ず、スパッタ法により例えば膜厚が150nm〜200nm程度にPt膜を堆積し、下部電極層124を形成する。
上部電極層126としては、先ず反応性スパッタ法により、例えば導電性酸化物であるIrO2膜126aを膜厚200nm程度に形成する。その後、IrO2膜126aをアニール処理する。このアニール処理の条件としては、Ar/O2ガスをArが2.0リットル/分、O2が0.02リットル/分の流量で供給しながら、例えば650℃〜850℃で10秒間〜60秒間実行する。そして、IrO2膜126a上に、当該IrO2膜126aのキャップ膜として機能する貴金属膜、ここではPt膜126bをスパッタ法により膜厚100nm程度に形成する。IrO2膜126a及びPt膜126bから上部電極層126が構成される。なお、上部電極層126において、IrO2膜126aの代わりにIr、Ru、RuO2、SrRuO3、その他の導電性酸化物やこれらの積層構造としても良い。また、Pt膜126bの形成を省略することも可能である。
詳細には、TiN膜128については、上部電極層126上にスパッタ法等により膜厚200nm程度に堆積形成する。シリコン酸化膜129については、TiN膜128上に、例えばTEOSを用いたCVD法により膜厚1000nm程度に堆積形成する。ここで、TEOS膜の代わりにHDP膜を形成しても良い。なお、シリコン酸化膜129上に更にシリコン窒化膜を形成しても好適である。
詳細には、シリコン酸化膜129上にレジストを塗布し、このレジストをリソグラフィーにより電極形状に加工して、レジストマスク101を形成する。
詳細には、レジストマスク101をマスクとしてシリコン酸化膜129をドライエッチングする。このとき、レジストマスク101の電極形状に倣ってシリコン酸化膜129がパターニングされ、ハードマスク129aが形成される。また、レジストマスク101のエッチングされて厚みが減少する。
詳細には、レジストマスク101及びハードマスク129aをマスクとして、TiN膜128をドライエッチングする。このとき、ハードマスク129aの電極形状に倣ってTiN膜128がパターニングされる。また、レジストマスク101は、当該エッチング中に自身がエッチングされて薄くなる。その後、灰化処理等によりレジストマスク101を除去する。
詳細には、ハードマスク129a及びTiN膜128をマスクとし、上部絶縁膜123をエッチングストッパーとして、上部電極層126、強誘電体膜125、及び下部電極層124をドライエッチングする。このとき、TiN膜128の電極形状に倣って、上部電極層126、強誘電体膜125、及び下部電極層124がパターニングされる。また、ハードマスク129aは、当該エッチング中に自身がエッチングされて薄くなる。その後、ハードマスク129aを全面ドライエッチング(エッチバック)によりエッチング除去する。
詳細には、マスクとして用いられたTiN膜128をウェットエッチングにより除去する。このとき、下部電極131上に強誘電体膜125、上部電極132が順次積層され、強誘電体膜125を介して下部電極131と上部電極132とが容量結合する強誘電体キャパシタ構造130を完成させる。この強誘電体キャパシタ構造130においては、下部電極131がプラグ119と接続され、当該プラグ119を介してソース/ドレイン118と下部電極131とが電気的に接続される。
詳細には、先ず、強誘電体キャパシタ構造130の全面を覆うように、金属酸化物、例えばアルミナ(Al2O3)を材料として、スパッタ法により膜厚20nm〜50nm程度に堆積し、水素拡散防止膜133を形成する。その後、水素拡散防止膜133をアニール処理する。
詳細には、リソグラフィー及びそれに続くドライエッチングにより層間絶縁膜134及び水素拡散防止膜133をパターニングし、上部電極132の表面の一部を露出させるビア孔135aを形成する。
詳細には、先ず、ビア孔135aの壁面を覆うように、スパッタ法により例えばTi膜及びTiN膜を膜厚20nm程度及びに膜厚50nm程度に順次堆積して、下地膜(グルー膜)135bを形成する。
詳細には、先ず、層間絶縁膜134上の全面にスパッタ法等によりバリアメタル膜142、配線膜143及びバリアメタル膜144を堆積する。バリアメタル膜142としては、スパッタ法により例えばTiN膜を膜厚150nm程度に成膜する。配線膜143としては、例えばAl合金膜(ここではAl−Cu膜)を膜厚550nm程度に成膜する。バリアメタル膜144としては、スパッタ法により例えばTi膜(膜厚5nm程度)及びTiN(膜厚150nm程度)を順次成膜する。ここで、配線膜143の構造は、同一ルールのFeRAM以外のロジック部と同じ構造とされているため、配線の加工や信頼性上の問題はない。
詳細には、先ず、第1の配線145(及び耐湿リング145a)を覆うように層間絶縁膜146及びその上層膜146aを形成する。
第1の配線145の表面の一部が露出するまで、上層膜146a及び層間絶縁膜146をリソグラフィー及びそれに続くドライエッチングにより加工して、例えば約0.25μm径のビア孔147aを形成する。次に、このビア孔147aの壁面を覆うように下地膜(グルー膜)148を形成した後、CVD法によりグルー膜148を介してビア孔147aを埋め込むようにW膜を形成する。そして、上層膜146aをストッパーとして例えばW膜及びグルー膜148を研磨し、ビア孔147a内をグルー膜148を介してWで埋め込むプラグ147を形成する。
先ず、全面にスパッタ法等により配線膜151及びバリアメタル膜152を堆積する。配線膜152としては、例えばAl合金膜(ここではAl−Cu膜)を膜厚550nm程度に成膜する。バリアメタル膜152としては、スパッタ法により例えばTi膜(膜厚5nm程度)及びTiN(膜厚150nm程度)を順次成膜する。ここで、配線膜151の構造は、同一ルールのFeRAM以外のロジック部と同じ構造とされているため、配線の加工や信頼性上の問題はない。
詳細には、先ず、配線153(及び耐湿リング153a)を覆うように層間絶縁膜154及びその上層膜154aを形成する。
第2の配線153の表面の一部が露出するまで、上層膜154a及び層間絶縁膜154をリソグラフィー及びそれに続くドライエッチングにより加工して、ビア孔155aを形成する。次に、このビア孔155aの壁面を覆うように下地膜(グルー膜)156を形成した後、CVD法によりグルー膜156を介してビア孔155aを埋め込むようにW膜を形成する。そして、上層膜154aをストッパーとして例えばW膜及びグルー膜156を研磨し、ビア孔155a内をグルー膜156を介してWで埋め込むプラグ155を形成する。
先ず、全面に例えばPVD法により配線膜161及びバリアメタル膜162を堆積する。配線膜161としては、例えばAl合金膜(ここではAl−Cu膜)を膜厚500nm程度に成膜する。バリアメタル膜162としては、スパッタ法により例えばTiNを膜厚150nm程度に成膜する。ここで、配線膜161の構造は、同一ルールのFeRAM以外のロジック部と同じ構造とされているため、配線の加工や信頼性上の問題はない。
詳細には、先ず、CVD法等によりプラズマTEOS−NSG膜を膜厚100nm程度に堆積し、下層絶縁膜164を形成する。そして、下層絶縁膜164の表面の窒化を目的として、例えばN2Oのプラズマアニール処理(例えば350℃で2分間)を施す。
詳細には、リソグラフィー及びドライエッチングによりパシベーション膜166を加工し、第1の導電パッド160の表面の一部を露出させる開口166aを形成する。なお、図21〜図24では、第1の導電パッド160及びその周囲の様子を示す平面図を添付する。
詳細には、開口166aの内壁面を覆うように、例えばPVD法により、パシベーション膜166上にAl合金膜(ここではAl−Cu膜:膜厚500nm程度)及びTiN膜(膜厚150nm程度)を積層する。そして、これらTiN膜及びAl合金膜をリソグラフィー及びそれに続くドライエッチングによりパターニングする。この場合、平面視で第1の導電パッド160よりも若干サイズが小さくなる程度に、第1の導電パッド160と同様の略矩形状となるように、当該パターニングを実行する。これにより、パシベーション膜166の開口166aの内壁底面(即ち第1の導電パッド160の表面)及び内壁側面からパシベーション膜166上にかけて覆い、平面視で第1の導電パッド160の形成領域に包含される第2の導電パッド170が形成される。この第2の導電パッド170は、ボンディングワイヤ等が接続される外部接続用パッドである。
Claims (26)
- 半導体基板の上方に形成されており、下部電極と上部電極とにより強誘電体からなるキャパシタ膜を挟持してなるキャパシタ構造と、
前記キャパシタ構造の上方に形成されており、前記キャパシタ構造と電気的に接続されてなる配線構造と、
下方に前記キャパシタ構造の存しない局所的な形成領域で前記配線構造と電気的に接続されており、検査機器のプローブが直接的に当接することで各種の試験が施された第1の導電パッドと、
前記第1の導電パッド及び前記配線構造を覆い、前記第1の導電パッドの表面における前記検査の部位のみを露出させる開口を有する第1の保護絶縁膜と、
前記第1の保護絶縁膜上から前記開口の内壁面にかけて覆って前記第1の導電パッドと電気的に接続され、前記第1の導電パッドの前記形成領域に整合する位置に形成されており、外部との電気的接続を図る第2の導電パッドと
を含むことを特徴とする半導体装置。 - 前記第2の導電パッドは、前記第1の導電パッドよりも小さく、前記第1の導電パッドの前記形成領域に包含される形状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1の保護絶縁膜は、前記開口を除く前記半導体基板の上方全面を覆うように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1の導電パッド及び前記第2の導電パッドは、共に同一の導電材料からなることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1の導電パッド及び前記第2の導電パッドは、共に矩形状に形成されてなることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第2の導電パッドは、前記第1の導電パッドと直接的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1の保護絶縁膜は、酸化膜上に窒化膜が積層されてなる2層構造に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第2の導電パッド及び前記第1の保護絶縁膜を覆い、前記第2の導電パッドの表面における前記外部との電気的接続の部位のみを露出させる開口を有する緩衝防止膜を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1の保護絶縁膜は、酸化膜、窒化膜、及び緩衝防止膜が順次積層されてなる3層構造に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第2の導電パッド及び前記第1の保護絶縁膜を覆い、前記第2の導電パッドの表面における前記外部との電気的接続の部位のみを露出させる開口を有する第2の保護絶縁膜と、
前記第2の保護絶縁膜を覆い、前記第2の導電パッドの表面における前記外部との電気的接続の部位のみを露出させる開口を有する緩衝防止膜と
を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第1の保護絶縁膜及び前記第2の保護絶縁膜は、共に酸化膜上に窒化膜が積層されてなる2層構造に形成されていることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置。
- 前記第1の保護絶縁膜における前記酸化膜下である第1の領域と、
前記第1の保護絶縁膜における前記酸化膜上と前記窒化膜下との間である第2の領域と、
前記第1の保護絶縁膜における前記窒化膜上と、前記第2の保護絶縁膜における前記酸化膜下との間である第3の領域と、
前記第2の保護絶縁膜における前記酸化膜上と前記窒化膜下との間である第4の領域と、
前記第2の保護絶縁膜における前記窒化膜上である第5の領域と
から選択された少なくとも1種の領域を覆うように形成されており、前記キャパシタ膜への水分及び水素の浸入を防止する水素拡散防止膜を更に含むことを特徴とする請求項11に記載の半導体装置。 - 前記第2の領域及び前記第4の領域にそれぞれ前記水素拡散防止膜が形成されていることを特徴とする請求項12に記載の半導体装置。
- 半導体基板の上方に、下部電極と上部電極とにより強誘電体からなるキャパシタ膜を挟持してなるキャパシタ構造を形成する工程と、
前記キャパシタ構造の上方に、前記キャパシタ構造と電気的に接続されるように配線構造を形成する工程と、
下方に前記キャパシタ構造の存しない局所的な形成領域において、前記配線構造と電気的に接続されるように第1の導電パッドを形成する工程と、
前記第1の導電パッド及び前記配線構造を覆うように第1の保護絶縁膜を形成した後、前記第1の保護絶縁膜に、前記第1の導電パッドの表面における検査の部位のみを露出させる開口を形成する工程と、
前記開口から、検査機器のプローブを前記第1の導電パッドの表面に直接的に当接することにより、各種の試験を行う工程と、
前記第1の保護絶縁膜上から前記開口の内壁面にかけて覆って前記第1の導電パッドと電気的に接続され、前記第1の導電パッドの前記形成領域に整合する位置に、外部との電気的接続を図る第2の導電パッドを形成する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第2の導電パッドを、前記第1の導電パッドよりも小さく、前記第1の導電パッドの前記形成領域に包含される形状に形成することを特徴とする請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の保護絶縁膜を、前記開口を除く前記半導体基板の上方全面を覆うように形成することを特徴とする請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の導電パッド及び前記第2の導電パッドを、共に同一の導電材料から形成することを特徴とする請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の導電パッド及び前記第2の導電パッドを、共に矩形状に形成することを特徴とする請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の導電パッドを、前記第1の導電パッドと直接的に接続されるように形成することを特徴とする請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の保護絶縁膜を、酸化膜上に窒化膜が積層されてなる2層構造に形成することを特徴とする請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の導電パッド及び前記第1の保護絶縁膜を覆うように緩衝防止膜を形成した後、前記緩衝防止膜に、前記第2の導電パッドの表面における前記外部との電気的接続の部位のみを露出させる開口を形成する工程を更に含むことを特徴とする請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の保護絶縁膜を、酸化膜、窒化膜、及び緩衝防止膜が順次積層されてなる3層構造に形成することを特徴とする請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の導電パッド及び前記第1の保護絶縁膜を覆うように第2の保護絶縁膜を形成した後、前記第2の保護絶縁膜に、前記第2の導電パッドの表面における前記外部との電気的接続の部位のみを露出させる開口を形成する工程と、
前記第2の保護絶縁膜を覆うように緩衝防止膜を形成した後、前記緩衝防止膜に、前記第2の導電パッドの表面における前記外部との電気的接続の部位のみを露出させる開口を形成する工程と
を更に含むことを特徴とする請求項14に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1の保護絶縁膜及び前記第2の保護絶縁膜を、共に酸化膜上に窒化膜を積層してなる2層構造に形成することを特徴とする請求項23に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の保護絶縁膜における前記酸化膜下である第1の領域と、
前記第1の保護絶縁膜における前記酸化膜上と前記窒化膜下との間である第2の領域と、
前記第1の保護絶縁膜における前記窒化膜上と、前記第2の保護絶縁膜における前記酸化膜下との間である第3の領域と、
前記第2の保護絶縁膜における前記酸化膜上と前記窒化膜下との間である第4の領域と、
前記第2の保護絶縁膜における前記窒化膜上である第5の領域と
から選択された少なくとも1種の領域を覆うように、前記キャパシタ膜への水分及び水素の浸入を防止する水素拡散防止膜を形成する工程を更に含むことを特徴とする請求項24に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2の領域及び前記第4の領域にそれぞれ前記水素拡散防止膜を形成することを特徴とする請求項25に記載の半導体装置の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2006/306942 WO2007116501A1 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | 半導体装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007116501A1 true JPWO2007116501A1 (ja) | 2009-08-20 |
JP5353237B2 JP5353237B2 (ja) | 2013-11-27 |
Family
ID=38580810
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008509652A Expired - Fee Related JP5353237B2 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | 半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5353237B2 (ja) |
WO (1) | WO2007116501A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5401817B2 (ja) * | 2008-03-25 | 2014-01-29 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
JP5553923B2 (ja) * | 2013-06-14 | 2014-07-23 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP6478395B2 (ja) * | 2015-03-06 | 2019-03-06 | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 | 半導体装置 |
JP7117260B2 (ja) * | 2019-03-18 | 2022-08-12 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置とその製造方法 |
KR20210041363A (ko) | 2019-10-07 | 2021-04-15 | 삼성전자주식회사 | 다이 대 웨이퍼 접합 구조 및 이를 이용한 반도체 패키지 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04102367A (ja) * | 1990-08-21 | 1992-04-03 | Seiko Epson Corp | 半導体装置、半導体メモリ及び半導体装置の製造方法 |
JPH0855850A (ja) * | 1994-03-11 | 1996-02-27 | Ramtron Internatl Corp | 硬質セラミック材料等を用いた不活性化方法及び構造 |
JP2003142491A (ja) * | 2001-11-08 | 2003-05-16 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2003297869A (ja) * | 2002-04-05 | 2003-10-17 | Rohm Co Ltd | バンプ電極を備えている電子部品及びその製造方法 |
JP2004186321A (ja) * | 2002-12-02 | 2004-07-02 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の評価方法および評価用デバイスの作製方法 |
JP2005175204A (ja) * | 2003-12-11 | 2005-06-30 | Fujitsu Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
-
2006
- 2006-03-31 JP JP2008509652A patent/JP5353237B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-03-31 WO PCT/JP2006/306942 patent/WO2007116501A1/ja active Application Filing
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04102367A (ja) * | 1990-08-21 | 1992-04-03 | Seiko Epson Corp | 半導体装置、半導体メモリ及び半導体装置の製造方法 |
JPH0855850A (ja) * | 1994-03-11 | 1996-02-27 | Ramtron Internatl Corp | 硬質セラミック材料等を用いた不活性化方法及び構造 |
JP2003142491A (ja) * | 2001-11-08 | 2003-05-16 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2003297869A (ja) * | 2002-04-05 | 2003-10-17 | Rohm Co Ltd | バンプ電極を備えている電子部品及びその製造方法 |
JP2004186321A (ja) * | 2002-12-02 | 2004-07-02 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の評価方法および評価用デバイスの作製方法 |
JP2005175204A (ja) * | 2003-12-11 | 2005-06-30 | Fujitsu Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2007116501A1 (ja) | 2007-10-18 |
JP5353237B2 (ja) | 2013-11-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5141550B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP4998262B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP5399232B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4954898B2 (ja) | 半導体装置 | |
JPWO2007074530A1 (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
US8742479B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
US20060175642A1 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
JP4791191B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP5353237B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US8367541B2 (en) | Semiconductor device suitable for a ferroelectric memory and manufacturing method of the same | |
US7652377B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method of the same | |
KR100684704B1 (ko) | 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
US20060054948A1 (en) | Semiconductor memory device and method of manufacturing the same | |
JP4703937B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5785523B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP4985401B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP5202846B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2011135116A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120403 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120604 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130326 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130626 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20130703 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130730 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130812 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5353237 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |