JPWO2007004551A1 - コンテナ搬送装置及びコンテナ搬送システム - Google Patents
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Abstract
Description
2 搬送ロボット
3 コンテナ
4 載置台
5 基板搬送装置
7 処理装置
8 ロードポート
9 ステージ
10 昇降手段
11 筐体
12 直動案内手段
13 ネジ軸
14 モータ
15 可動部材
16 第一アーム
17 第二アーム
18 アーム体
19 プーリ
20 軸受け
21 ベルト
22 回動軸
23 コンテナ保持手段
24 第一連結部材
25 第二連結部材
26 回動伝達手段
28 筐体
29 第三連結部材
30 第四連結部材
31 回転支軸
32 歯車
33 保持手段の筐体
34 ロータリーアクチュエータ
35 回動支軸
36 連結部材
37 保持部材
40 AGV
110 コンテナ
111 コンテナ横行搬送ベース
技術分野
[0001]
本発明は、高清浄な環境下で搬送され処理される基板等を収納するコンテナの搬送システムに関するものである。
背景技術
[0002]
一般に、LCDや半導体ウエハ等の基板は塵埃を嫌うため、その製造は高清浄な環境、いわゆるクリーンルームで行われる。このような製造工場では、薄膜形成前洗浄工程、薄膜形成工程、レジスト工程等の各種処理を行う複数の処理装置間で基板を運搬する必要があり、その搬送手段としてFOUP(Front Opening Unified Pod)とよばれるコンテナが用いられている。このコンテナは、内部の棚段上に25枚の基板を収納することができ、工場内を走行する自動搬送車(AGV(Automatic Guided Vehicle))、若しくは、工場の天井に敷設されたレールにつり下げられてモノレールのように走行するOHT(Overhead Hoist Transfer)で運搬される。
[0003]
各処理装置にはコンテナ載置台が備えられており、このコンテナ載置台と例えばAGVとの間でのコンテナの受け渡しは、処理装置若しくはAGVに備えられたロボット(ローダ・アンローダ)により行われている。また、コンテナ載置台上のコンテナから各処理装置への基板の搬送は、公知のスカラ型ロボットを用いて基板一枚毎に行われている。
[0004]
従来のコンテナ搬送装置の一例として、例えば特許文献1に記載のものがある。特許文献1に開示されているコンテナ搬送装置を、図11を参照して以下に説明する。このコンテナ搬送装置は、基板を収納したコンテナ110をロードするコンテナローダA1と、処理完了基板を収納するコンテナ110をアンロードするコンテナアンローダA2との間において、コンテナローダA1で空になったコンテナ110を移動、及び昇降動作させるコンテナ横行搬送ベース111を備えることで、複数のコンテナ110をロード/アンロードすることができ、コンテナ受け渡しのためにAGVを待たせることなく走行させることができる。
走行用のレールが工場内を循環するように配置されていることから、工場内のレイアウト変更や増設等の場合には、レールを敷き直すことが極めて困難となる。
[0010]
さらに、従来のコンテナ搬送装置では、その配置や構成が上記の通り大きく制約されることから、処理時間の短い処理装置に待ち時間が発生したり、処理時間の長い処理装置の前でAGVが長時間待たされたりするといった事態が発生しており、生産工程の遅延が生じるといった課題もあった。
[0011]
そこで、本発明はこれらの問題を解決するためになされたものであり、処理装置の処理速度や配置構成等に応じてコンテナを好適に搬送できるコンテナ搬送システムを提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
[0012]
本発明のコンテナ搬送システムの第1の態様は、内部に基板を収納するコンテナを所定の受渡し位置と基板処理装置との間で搬送するコンテナ搬送システムであって、前記コンテナを垂直方向に昇降させる昇降手段と水平な1方向に移動させる直線移動手段とを具備した搬送ロボットと、前記コンテナを1以上載置可能な載置台と、を備えたコンテナ搬送装置を一構成単位とし、前記コンテナ搬送装置を縦方向又は横方向に隣接させて複数配列し、前記搬送ロボットのそれぞれが、少なくとも隣接する前記コンテナ搬送装置の前記載置台まで前記コンテナを搬送することができ、前記複数のコンテナ搬送装置を同期させて隣接する前記コンテナ搬送装置間で前記コンテナを順次搬送することで、前記受渡し位置と前記基板処理装置との間で前記コンテナを搬送可能に構成されていることを特徴とする。
[0013]
本発明のコンテナ搬送システムの他の態様は、前記コンテナをいずれかの前記コンテナ搬送装置の載置台上に一時留置きし、別の前記コンテナを別の前記コンテナ搬送装置を用いて搬送させることで、コンテナの搬送順序を入れ替え可能に構成されていることを特徴とする。
[0014]
本発明のコンテナ搬送システムの他の態様は、前記載置台上に前記コンテナが1以上載置された前記コンテナ搬送装置の前記搬送ロボットを用いて、別の前記コンテナを上昇及び直線移動させて前記コンテナを飛び越えさせることで、前記コンテナの搬送順序を入れ替え可能に構成されていることを特徴とする。
[0015]
本発明のコンテナ搬送システムの他の態様は、前記搬送ロボットは、前記載置台上に前記コンテナを2以上積み重ね可能な高さまで上昇できる昇降手段を具備していることを特徴とする。
[0016]
[0017]
[0018]
[0019]
[0020]
[0021]
[0022]
[0023]
発明の効果
[0024]
本発明によれば、処理装置の処理速度や配置構成等に応じてコンテナを好適に搬送できるコンテナ搬送システムを提供することができる。本発 明のコンテナ搬送システムは、垂直方向と水平方向にコンテナを搬送可能な搬送ロボッ トを備えることから、隣接する装置の載置台にコンテナを容易に搬送させることが可能となる。
[0025]
また、本発明のコンテナ搬送システムによれば、処理装置の配置構成や処理速度
等に対応してコンテナ搬送装置を柔軟に組み合わせることで、処理装置の効率を大幅に高めることが可能となる。また、生産ラインのレイアウト変更や増設にも 容易に対応することができる。
図面の簡単な説明
[0026]
[図1]本発明のコンテナ搬送システムの一実施例を示す斜視図である。
[図2]搬送ロボットの一実施例を示す断面図である。
[図3]搬送ロボットの別の実施例を示す斜視図である。
[図4]搬送ロボットの別の実施例の回動伝達手段を示す断面図である。
[図5]搬送ロボットの保持手段を示す側面図である。
[図6]本発明のコンテナ搬送システムの一実施例を示す平面図である。
[図7]本発明のコンテナ搬送システムの別の実施例を示す平面図である。
[図8]搬送ロボットの動作を示す側面図である。
[図9]積み重ねられたコンテナが搬送ロボットにより搬送される状態を示す側面図である。
[図10]本発明のコンテナ搬送システムのさらに別の実施例を示す平面図である。
[図11]従来のコンテナ搬送装置を示す側面図である。
符号の説明
[0027]
1 コンテナ搬送装置
2 搬送ロボット
3 コンテナ
4 載置台
5 基板搬送装置
7 処理装置
8 ロードポート
9 ステージ
100 コンテナ搬送システム
110 コンテナ
111 コンテナ横行搬送ベース
発明を実施するための最良の形態
[0028]
本発明のコンテナ搬送システムは、高い清浄環境下(クリー ンルーム等)で物品を移動・処理する工程に適用可能であり、以下では電子部品で あるLCDの基板を搬送する例を用いて本発明のコンテナ搬 送システムを説明する。
[0029]
図1は、本発明の好ましい実施の形態におけるコンテナ搬送システムを示す斜視図である。本実施形態のコンテナ搬送システム100は、8台のコンテナ搬送装置1(1a〜1h)を組み合わせて構成されている。各コンテナ搬送装置1は、搬送ロボット2(2a〜2h)とコンテナ3を載置するための載置台4(4a〜4h)を備えている。
[0030]
コンテナ搬送システム100の後方には、コンテナ3内に収納された基板を各種処理装置7に搬送するための基板搬送装置5(5a、5b)が配設されている。基板搬送装置5には、搬送ロボット2で運搬されたコンテナ3を載置するためのステージ9と、コンテナ3の蓋を開錠する(図示しない)機構とを有するロードポート8(8a、8b)が備えられている。本実施形態のコンテナ搬送システム100では、基板搬送装置5aの前方にコンテナ搬送装置1c〜1eが、また基板搬送装置5bの前方にコンテナ搬送装置1f〜1hが、それぞれ縦向き(基板搬送装置5の正面に対し直角の向き)に並列して置かれており、さらにコンテナ搬送装置1c〜1eの前方にコンテナ搬送装置1aが、またコンテナ搬送装置1f〜1hの前方にコンテナ搬送装置1bが、それぞれ横向きに縦列して置かれている。
[0031]
コンテナ搬送装置1a〜1hを上記のように配設することにより、搬送ロボット2a、2bはコンテナ3を載置台4a、4bの横方向(長手方向)に移動させることができ、搬送ロボット2c〜2hはコンテナ3を載置台4a、4bと基板搬送装置5との間で移動させることができる。搬送ロボット2aは、並列する搬送ロボット2b〜2eが保持できる位置までコンテナ3を移動させることができ、同様に搬送ロボット2bは、並列する搬送ロボット2f〜hが保持できる位置までコンテナ3を移動させることができる。
れおり、ロータリーアクチュエータ34の作動により、筐体33に固定された部分を支点に回動することができる。これにより、保持部材37a、37bの他方端同士が接近したり離れたりすることで、コンテナ3を保持することが可能となる。
[0040]
つぎに、コンテナ搬送装置を複数配設して構成される本発明のコンテナ搬送システムについて、コンテナ搬送装置が好適に配置された実施例を図面を用いて以下に説明する。
[0041]
図6は、コンテナ搬送装置1の配置を図1に示したコンテナ搬送システム100と同様の構成とした実施例の平面図である。すなわち、前面に縦列して配置されたコンテナ搬送装置1a、1b等で、コンテナ3を横方向(図上上下方向)に移動させることが可能となり、コンテナ搬送装置1a、1bと基板搬送装置5との間に縦方向に配置されたコンテナ搬送装置1で、コンテナ3をコンテナ搬送装置1a、1bと基板搬送装置5との間で移動させることが可能となる。
[0042]
本発明のコンテナ搬送システムの別の実施例を図7に示す。図7に示すコンテナ搬送システムでは、図6に示したコンテナ搬送装置1の載置台4 がすべて2つ以上のコンテナ3を載置できるのに対して、本実施例では1つのみ載置できるコンテナ搬送装置1kを備えている。また、コンテナ搬送装置1cに隣接して配 設されたコンテナ搬送装置1i、1jの端部付近には、AGV40が停止しており、AGV 上に載置されているコンテナ3xを保持して載置台4i、4jへと搬送することができる。
[0043]
本実施例のコンテナ搬送装置1jには3台の搬送ロボット2が備えられており、またAGV40も複数のコンテナ3を載置できる載置台を有している。これにより、3台の搬送ロボット2を用いて、AGV40とコンテナ搬送装置1i、1jとの間で、複数のコンテナ3を同時に受け渡しすることが可能となる。コンテナ搬送装置1が搬送ロボット2を備えていることから、AGV40が搬送ロボットを備える必要がなくなり、AGV40に複数のコンテナ3を載置できる載置台を備えるようにすることができる。なお、コンテナ搬送措置1の載置台4を一時貯蔵できるように内部をミニエンバイロメント(より高清浄な環境)とすることもできる。
[0044]
コンテナ搬送装置1は、昇降手段と直線移動手段を有する搬送ロボット2 を備えていることから、載置台4上に複数のコンテナ3が載置されている場合でも、並んだ順
にコンテナ3を搬送させる必要は必ずしもなく、例えば図8に示すように、コンテナ3の搬送する順番を変更することも可能である。図8に示す側面図では、載置台4上に2つのコンテナ3aと3bが載置されており、ロードポート8側のコンテナ3aよりコンテナ3bが優先してロードポートへ搬送される場合の手順を示している。
[0045]
図8(a)は、搬送ロボット2がコンテナ3bの上部を保持した状態を示している。図8(b)は、昇降手段10を作動させてコンテナ3bを持ちあげた状態を示している。図8(c)は、アーム体18を作動させて、ロードポート8のステージ9の上方にコンテナ3bを移動した状態を示している。図8(d)は、昇降手段10を作動させてコンテナ3bを降下し、ステージ9上に載置した状態を示している。
[0046]
上記のように、コンテナ3の搬送する順番を変更することが可能となることから、基板の製造工程において、後から製造ラインに投入されたコンテナ3を、先に投入されたコンテナ3を追い越して先に処理させることが可能となることから、各種処理を迅速に行えるようにすることが可能となる。
[0047]
また、コンテナ搬送装置1によれば、昇降手段と直線移動手段を用いることで、例えば図9に示すように、複数のコンテナ3を載置台4上に積み重ねて載置させることも可能である。あるいは、積み重ねて載置された複数のコンテナ3を、上部のコンテナ3から順に搬送させることも可能である。
[0048]
本発明のコンテナ搬送システムのさらに別の実施形態を図10に示す。本実施形態のコンテナ搬送システムは、搬送ロボット2と、搬送ロボット2を挟んで両側に2台の載置台4を備えている。本実施例の搬送ロボット2は、昇降手段と直線移動手段に加えて、さらにコンテナ3を水平方向に回転可能な回動手段を備えている。
[0049]
図10に示す実施例では、コンテナ搬送システムを挟んで両側に3台ずつの基板搬送装置5が配設されている。2台の載置台4はそれぞれ、3台ずつの基板搬送装置5と対向してコンテナ3を受け渡しできるだけの長さを有している。本発明のコンテナ搬送システムを図10のように構成することにより、1台の搬送ロボット2で、6台の基板搬送装置5と載置台4との間でコンテナ3を搬送させることが可能となる。
[0050]
上記説明のように、本発明のコンテナ搬送システムは、載置台と少なくとも1つの搬送ロボットとからなるコンテナ搬送装置を、クリーンルームの床上に複数併設すること
で生産ラインのレイアウト変更や増設に容易に対応でき、メンテナンス作業も容易に行うことができる。また、コンテナ内に少量の基板を収容して多量のコンテナを生産ラインに流した場合でも、AGVを待たせることなく各種処理装置にコンテナを搬送させることができる。
[0051]
なお、本発明のコンテナ搬送システムでは、可動部分をシールすることで、塵埃の発生を低減させることは容易に可能である。
[0052]
なお、本実施の形態における記述は、本発明に係るコンテ ナ搬送システムの一例を示すものであり、これに限定されるものではない。本実施の形態におけるコンテナ搬送システムの細部構成及び詳細な 動作等に関しては、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
[0053]
本明細書は、2005年7月1日出願の特願2005−193804に基づく。この内容はすべてここに含めておく。
産業上の利用可能性
[0054]
この発明は、移動及び処理が高い清浄環境の下で実施される必要がある物品のいずれにも容易に適用できる。
Claims (12)
- 内部に基板を収納するコンテナを搬送するコンテナ搬送装置であって、
前記コンテナを上下に昇降させる昇降手段と前後に移動させる直線移動手段とを有する搬送ロボットと、
前記コンテナを1つ以上載置可能な載置台と、を備える
ことを特徴とするコンテナ搬送装置。
- 前記直線移動手段は、前記コンテナを保持して垂直面内で回動するアーム体を備え、
前記アーム体を回動させることで前記コンテナを前後に移動させる
ことを特徴とする請求項1に記載のコンテナ搬送装置。 - 前記アーム体は、2本のアームと、前記2本のアームのそれぞれの一方端を連結する連結部とを備え、
前記一方のアームの他方端が固定され、前記他方のアームの他方端に前記コンテナが保持され、
前記連結部を中心に前記2本のアームを逆方向に回動させることで前記コンテナを前後に移動させる
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のコンテナ搬送装置。 - 前記2本のアームがそれぞれ2本の連結部材で構成され、前記連結部が相互に嵌合された2つの歯車を内包した回動伝達手段であって、一方の前記アームを構成するいずれか一方の前記連結部材と、他方の前記アームを構成するいずれか一方の前記連結部材とが、それぞれ前記2つの歯車のそれぞれに連結されている
ことを特徴とする請求項3に記載のコンテナ搬送装置。 - 前記歯車に連結された前記連結部材のいずれか一方を回動させるためのモータをさらに備える
ことを特徴とする請求項4に記載のコンテナ搬送装置。 - 前記昇降手段は、前記直線移動手段が固定された可動部材と、回動することで前記可動部材を上下に昇降させるネジ軸とを備え、
前記ネジ軸を回動させることで前記直線移動手段に保持された前記コンテナを上下に昇降させる
ことを特徴とする請求項1に記載のコンテナ搬送装置。 - 前記ネジ軸を回動させるためのモータをさらに備える
ことを特徴とする請求項6に記載のコンテナ搬送装置。 - 前記昇降手段は、前記コンテナの高さ以上に昇降可能に構成されている
ことを特徴とする請求項1又は請求項6又は請求項7に記載のコンテナ搬送装置。 - 前記コンテナを水平方向に回動可能な回動手段をさらに備える
ことを特徴とする請求項1に記載のコンテナ搬送装置。 - 1台の前記搬送ロボットと、2台以上の前記載置台とを備え、
前記1台の搬送ロボットが前記載置台のすべてに前記コンテナを搬送可能に構成されている
ことを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載のコンテナ搬送装置。 - 請求項1から請求項10のいずれか1項に記載のコンテナ搬送装置を直線方向、または前記直線方向に垂直な方向に、相互に隣接して複数台備え、
前記コンテナ搬送装置に備えられた前記搬送ロボットにより、少なくとも隣接する前記コンテナ搬送装置との間で前記コンテナの搬送が可能である
ことを特徴とするコンテナ搬送システム。 - 前記複数のコンテナ搬送装置は、同期して動作している
ことを特徴とする請求項11に記載のコンテナ搬送システム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005193804 | 2005-07-01 | ||
JP2005193804 | 2005-07-01 | ||
PCT/JP2006/313084 WO2007004551A1 (ja) | 2005-07-01 | 2006-06-30 | コンテナ搬送装置及びコンテナ搬送システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007004551A1 true JPWO2007004551A1 (ja) | 2009-01-29 |
JP4615015B2 JP4615015B2 (ja) | 2011-01-19 |
Family
ID=37604416
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007524021A Active JP4615015B2 (ja) | 2005-07-01 | 2006-06-30 | コンテナ搬送システム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4615015B2 (ja) |
KR (1) | KR100991609B1 (ja) |
CN (1) | CN100578750C (ja) |
WO (1) | WO2007004551A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8915692B2 (en) | 2008-02-21 | 2014-12-23 | Harvest Automation, Inc. | Adaptable container handling system |
US9147173B2 (en) | 2011-10-31 | 2015-09-29 | Harvest Automation, Inc. | Methods and systems for automated transportation of items between variable endpoints |
US8676425B2 (en) | 2011-11-02 | 2014-03-18 | Harvest Automation, Inc. | Methods and systems for maintenance and other processing of container-grown plants using autonomous mobile robots |
US8937410B2 (en) | 2012-01-17 | 2015-01-20 | Harvest Automation, Inc. | Emergency stop method and system for autonomous mobile robots |
JP5860083B2 (ja) | 2014-03-04 | 2016-02-16 | ファナック株式会社 | ロボットハンドを用いたコンテナ搬送装置 |
EP3032334B1 (en) | 2014-12-08 | 2017-10-18 | Agfa Graphics Nv | A system for reducing ablation debris |
JP2019513240A (ja) | 2016-03-16 | 2019-05-23 | アグファ・ナームローゼ・フェンノートシャップAgfa Nv | 平版印刷版の処理方法 |
US10406562B2 (en) * | 2017-07-21 | 2019-09-10 | Applied Materials, Inc. | Automation for rotary sorters |
EP3637188A1 (en) | 2018-10-08 | 2020-04-15 | Agfa Nv | An effervescent developer precursor for processing a lithographic printing plate precursor |
US10800612B2 (en) | 2018-10-12 | 2020-10-13 | Pretium Packaging, L.L.C. | Apparatus and method for transferring containers |
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- 2006-06-30 CN CN200680017729A patent/CN100578750C/zh active Active
- 2006-06-30 WO PCT/JP2006/313084 patent/WO2007004551A1/ja active Application Filing
- 2006-06-30 KR KR1020077028573A patent/KR100991609B1/ko active IP Right Grant
- 2006-06-30 JP JP2007524021A patent/JP4615015B2/ja active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN100578750C (zh) | 2010-01-06 |
KR100991609B1 (ko) | 2010-11-04 |
JP4615015B2 (ja) | 2011-01-19 |
CN101180719A (zh) | 2008-05-14 |
WO2007004551A1 (ja) | 2007-01-11 |
KR20080016614A (ko) | 2008-02-21 |
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