JP2002246439A - 被処理体の搬出入装置と処理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 被処理体のみ取り込んで、空の収容ボックス
は占有スペースに悪影響を与えないように配置したボッ
クス待機台上にて待機させるようにした被処理体の搬出
入装置を提供する。 【解決手段】 所定の熱処理を施すための被処理体を密
閉状態で収容する収容ボックス２に対して被処理体を搬
出入する搬出入装置において、被処理体の搬出入口が設
けられた筐体８８と、搬出入口に設けられて収容ボック
スを載置するロードポート台１０６と、ロードポート台
上の収容ボックスと筐体内との間で被処理体を搬送する
被処理体搬送機構１１２と、筐体の天井部の上部に設け
られて収容ボックスを載置して待機させるボックス待機
台１４２と、ロードポート台とボックス待機台との間で
収容ボックスを搬送するボックス搬送機構１４４とを備
える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ等の
被処理体を気密状態で収容する収容ボックスに対して被
処理体を搬出入させる搬出入装置と熱処理システムに関
する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ＩＣやＬＳＩ等の半導体集積回
路を製造するためには、半導体ウエハに対して各種の成
膜処理、酸化拡散処理、エッチング処理等を繰り返し行
なうが、各処理を行なうにあたって、半導体ウエハを対
応する装置間で搬送する必要がある。この場合、周知の
ように歩留り向上の上から半導体ウエハの表面にはパー
ティクルや自然酸化膜を付着形成することを避ける必要
があるので、ウエハの搬送には収容ボックスが用いられ
る場合がある。図３及び図４に示すように、この収容ボ
ックス２は、一側が開口部４として形成されて、他側が
半円状になされたボックス容器６を有しており、このボ
ックス容器６の内壁面に多段に支持突起８を設けて、こ
れに半導体ウエハＷの周縁部を載置して支持することに
より、略等ピッチで多段に半導体ウエハＷを収容できる
ようになっている。通常は、１つのボックス２内に２５
枚或いは１３枚程度のウエハを収容できる。

【０００３】このボックス容器６の開口部４には、四角
形の中空板状の開閉蓋１０が取り付けられ、ボックス容
器６内をある程度の気密状態として窒素ガス等の不活性
ガス雰囲気になされており、収容されたウエハＷが外気
にできるだけ触れないようにしている。この開閉蓋１０
には、２つのロック機構１２が設けられており、このロ
ック機構１２を解除することにより、開閉蓋１０を開口
部４から離脱し得るようになっている。このロック機構
１２は、回転可能に取り付けられたロック板１４を有し
ており、このロック板１４のカギ溝１６に、図示しない
回転キーを挿入してこれを回転することにより、出没ピ
ン１８をそれぞれ上下方向へ出没させるようになってい
る。そして、この出没ピン１８の先端は、ロック時には
上記開口部４を区画する上縁部及び下縁部のピン穴２０
（図４では下縁部のみ示す）に挿入されて係合し、開閉
蓋１０が開口部４から外れないようになっている。ま
た、このボックス容器６の天井部には、この収容ボック
ス２の全体を保持する時に把むための把手２１が設けら
れている。

【０００４】次に、上記収容ボックス２を用いた被処理
体の処理システムについて説明する。図６は従来の被処
理体の処理システムを示す概略構成図、図７は図６に示
す処理システムの概略斜視図である。図示するように、
この被処理体の処理システム２２は、全体が例えばステ
ンレス等よりなる筐体２４に囲まれており、この内部は
収容ボックス２を搬送するための収容ボックス搬送エリ
ア２６と被処理体である半導体ウエハＷを搬送するウエ
ハ搬送エリア２８とに区画壁３０により２分されてい
る。この処理システム２２は、主に収容ボックス２をシ
ステム２２内に対して搬入搬出させるための搬出入ポー
ト３２と、この収容ボックス２を一時的に貯留するため
のストッカ部３４と、この収容ボックス２と被処理体ボ
ート３６との間で半導体ウエハを移載する移載ステージ
３８と、被処理体ボート３６に移載されて保持されてい
る被処理体に対して所定の熱処理を施す処理ユニット４
０と、上記移載ステージ３８の近傍に設けられた蓋開閉
装置４２とにより主に構成される。

【０００５】上記搬出入ポート３２において、ボックス
搬出入口４６が形成されており、この搬出入口４６には
開閉ドア４８が設けられている。また、このボックス搬
出入口４６の内側には、外部より搬送されてきた収容ボ
ックス２をその上に載置するための第１載置台５０が設
置されている。また、収納ボックス搬送エリア２６内の
上方には、上記ストッカ部３４が位置されている。この
ストッカ部３４は、図示例においては２列４段に上記収
容ボックス２を一時的に載置する棚段５２が２個並設さ
れている。従って、このストッカ部３４には、全部で１
６個（＝８×２）の収容ボックス２を一時的に保管でき
ることになる。

【０００６】上記２つの棚段５２間には、昇降エレベー
タ５４が起立させて設けられており、この昇降エレベー
タ５４には、旋回及び屈伸可能になされたボックス搬送
アーム５６が昇降移動可能に設けられている。従って、
このボックス搬送アーム５６を屈伸及び昇降させること
により、収容ボックス２をボックス搬送アーム５６で保
持し、搬出入ポート３２とスットカ部３４との間で搬送
できるようになっている。また、上記移載ステージ３８
においては、収容ボックス２の開口部４（図４参照）と
略同じ大きさになされた開口５８が形成されると共に、
この開口５８の収容ボックス搬送エリア２６側には、第
２載置台６０が水平に設けられており、この上に収容ボ
ックス２を載置できるようになっている。また、この開
口５８には、これを開閉する開閉ドア６２が設けられて
いる。

【０００７】そして、この開口５８のウエハ搬送エリア
２８内側の直下には、収容ボックス２の開閉蓋１０を開
閉するための前記蓋開閉装置４２が設置されている。こ
のウエハ搬送エリア２８内には、ウエハボートの如き被
処理体ボート３６を載置する２つのボート載置台６４
（図６では１つのみ記す）が設けられている。このボー
ト載置台６４と上記移載ステージ３８との間には、旋回
及び屈伸可能になされたウエハ搬送アーム６６が設けら
れており、このウエハ搬送アーム６６は昇降エレベータ
６８により上下動可能になされている。従って、このウ
エハ搬送アーム６６を屈伸、旋回及び昇降駆動すること
により、第２載置台６０上の収容ボックス２とボート載
置台６４上の被処理体ボート３６との間でウエハＷの移
載を行なうことができるようになっている。

【０００８】この被処理体ボート３６は、例えば石英よ
りなり、例えば３６〜１５０枚程度のウエハＷを所定の
ピッチで多段に支持できるようになっている。また、こ
のウエハ搬送エリア２８の一側の上方には、石英製の円
筒体状の処理容器７０を有する縦型の熱処理炉よりなる
前記処理ユニット４０が配置されており、一度に多数枚
のウエハＷに対して成膜や酸化拡散等の所定の熱処理を
施すようになっている。この処理容器７０の下方には、
昇降エレベータ７２により昇降可能になされたキャップ
７４が配置されており、このキャップ７４上に被処理体
ボート３６を載置してこれを上昇させることにより、こ
のボート３６を処理容器７０の下端開口部よりこの処理
容器７０内へロードできるようになっている。この時、
処理容器７０の下端開口部は上記キャップ７４により気
密に閉じられるようになっている。そして、降下された
キャップ７４と上記ボート載置台６４との間には、屈伸
及び旋回可能になされたボート搬送アーム７６が設けら
れており、ボート載置台７６とキャップ７４との間で被
処理体ボート３６の移載ができるようになされている。
また、処理容器７０の下端開口部には、処理容器７０の
不使用時にこれを閉じるオートシャッタ７８が開閉可能
に設けられる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した処
理システム２２にあっては、処理システム２２内に棚段
５２を設けることによってストッカ部３４を形成し、こ
こに多数、ここでは１６個の収容ボックス２を収容して
待機状態にできることから、同品種多量生産の熱処理に
対しては非常に適した処理システムとなっている。しか
しながら、最近の半導体製造工程にあっては、多くの種
類のものを少量ずつ生産する、いわゆる多品種少量生産
へ移行する傾向にある。そのためには、処理容器７０内
にて一度に熱処理する枚数がかなり少なくなり、その
分、収容ボックス２の搬入・搬出サイクルも早くなって
上述したように１６個もの多数の収容ボックス２をスト
ッカ部３４へ収容する状況もほとんどなくなってしまっ
た。

【００１０】このため、上記処理システム２にあって
は、大面積のストッカ部３４及びこれに伴う付帯設備を
設けていることから、半導体ウエハの処理効率のわりに
は処理システム２２全体の占有スペースが過度に大きく
なってしまう、といった問題があった。特に、最近にあ
っては、半導体ウエハＷのサイズが８インチ（２０ｃ
ｍ）から１２インチ（３０ｃｍ）へ移行する過程にあ
り、そのために、上述したような多品種少量生産の傾向
が益々加速しており、上記した問題点の早期解決が望ま
れている。本発明は、以上のような問題点に着目し、こ
れを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の
目的は、被処理体のみ取り込んで、例えば空の収容ボッ
クスは占有スペースに悪影響を与えないように配置した
ボックス待機台上にて待機させるようにした被処理体の
搬出入装置及び処理システムを提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
所定の熱処理を施すための被処理体を密閉状態で収容す
る収容ボックスに対して前記被処理体を搬出入する搬出
入装置において、前記被処理体の搬出入口が設けられた
筐体と、前記搬出入口に設けられて前記収容ボックスを
載置するロードポート台と、前記ロードポート台上の前
記収容ボックスと前記筐体内との間で前記被処理体を搬
送する被処理体搬送機構と、前記筐体の天井部の上部に
設けられて前記収容ボックスを載置して待機させるボッ
クス待機台と、前記ロードポート台と前記ボックス待機
台との間で前記収容ボックスを搬送するボックス搬送機
構とを備える。これにより、ロードポート台上に載置さ
れた収容ボックスからは、被処理体搬送機構を用いて被
処理体を筐体内に取り込み、また、例えば空になった収
容ボックスをボックス搬送機構により筐体の天井板の上
部に設けたボックス待機台上に搬送し、ここで待機させ
るようにしたので、装置全体を小型化してその占有スペ
ースを大幅に削減することが可能となる。

【００１２】請求項２に規定するように、所定の熱処理
を施すための被処理体を密閉状態で収容する収容ボック
スに対して前記被処理体を搬出入する搬出入装置におい
て、前記被処理体の搬出入口が設けられた筐体と、前記
搬出入口に設けられて前記収容ボックスを載置するロー
ドポート台と、前記ロードポート台上の前記収容ボック
スと前記筐体内との間で前記被処理体を搬送する被処理
体搬送機構と、前記ロードポート台上の前記収容ボック
スを把持して前記ロードポート台から一時的に待避させ
るボックス搬送機構とを備える。これにより、ロードポ
ート台上に載置された収容ボックスからは、被処理体搬
送機構を用いて被処理体を筐体内に取り込み、また、例
えば空になった収容ボックスをボックス搬送機構により
把持してこれを一時的に待避して、いわゆる釣り下げた
状態で待機させるようにしたので、装置全体を小型化し
てその占有スペースを大幅に削減することが可能とな
る。この場合、例えば請求項３に規定するように、前記
搬出入口には、開閉ドアが設けられている。また、例え
ば請求項４に規定するように、前記搬出入口の近傍に
は、前記収容ボックスの開閉蓋を開閉する蓋開閉機構が
設けられている。

【００１３】更に、例えば請求項５に規定するように、
前記ロードポート台は、前記搬出入口に沿って並設する
ように複数の前記収容ボックスを載置し得る長さを有し
ており、前記ボックス搬送機構は前記ロードポート台の
長さ方向に沿って移動可能になされている。請求項６に
係る発明は、上記搬出入装置を用いた処理システムであ
り、すなわち、所定の熱処理を施すための被処理体を密
閉状態で収容する収容ボックスに対して前記被処理体を
搬出入する上記搬出入装置と、内部が不活性ガス雰囲気
になされた筐体に囲まれて前記被処理体を複数枚保持し
得る被処理体ボートを昇降可能に収容するロードユニッ
トと、前記被処理体ボートを収容して前記被処理体に対
して所定の熱処理を施す熱処理炉とを備えたことを特徴
とする熱処理システムである。

【００１４】これによれば、上記搬出入装置を用いてい
ることから、従来必要とされたストッカ部等をなくすこ
とが可能なことから、処理システム全体を小型化でき
て、この占有スペースを大幅に削減することが可能とな
る。この場合、例えば請求項７に規定するように、前記
ロードユニットの筐体と前記搬出入装置を区画する筐体
とを連通する搬出入部には、搬出入される被処理体を一
時的に待機させるために内部が不活性ガス雰囲気になさ
れて開閉可能になったパスボックスが設置されている。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る被処理体の
搬出入装置及び処理システムの一実施例を添付図面に基
づいて詳述する。図１は本発明の被処理体の搬出入装置
を用いた処理システムを示す概略構成図、図２は図１に
示す搬出入装置の概略正面図である。図示するように、
この被処理体の処理システム８０は、本発明の被処理体
の搬出入装置８２と、これに連設されるロードユニット
８４と、被処理体である半導体ウエハＷに所定の熱処理
を施す熱処理炉８６とにより主に構成されている。上記
搬出入装置８２とロードユニット８４は、それぞれ全体
が例えばステンレスよりなる箱状の筐体８８、９０によ
り囲まれており、両者は区画壁９２により分離区画され
ている。そして、この区画壁９２には、上記両筐体８
８、９０内を連通してウエハを通過させる搬出入部９４
が設けられており、この搬出入部９４には、搬出入され
るウエハＷを一時的に待機させる例えばステンレスより
なる箱状のパスボックス９６が設置されている。また、
上記ロードユニット８４の筐体９０の天井部には、上記
熱処理炉８６が設けられる。この熱処理炉８６は、下端
が開口された例えば石英製の縦型の処理容器９８とこの
周囲に取り囲むようにして配置された加熱ヒータ１００
とにより主に構成されており、この処理容器９８内にて
密閉状態でウエハＷに対して所定の熱処理を施すように
なっている。

【００１６】まず、搬出入装置８２について具体的に説
明する。この搬出入装置８２を区画形成する筐体８８の
前部には、収容ボックス２（図３及び図４参照）の開口
部と略同じ大きさの複数、ここでは２個の搬出入口１０
２Ａ、１０２Ｂが並んで設けられており、各搬出入口１
０２Ａ、１０２Ｂには例えば上下方向へスライド可能に
なされた開閉ドア１０４Ａ、１０４Ｂ（図２も参照）が
それぞれ開閉可能に取り付けられている。そして、この
搬出入口１０２Ａ、１０２Ｂの外側には、前工程にて処
理が完了した半導体ウエハＷが収容されている収容ボッ
クス２を載置するためのロードポート台１０６が一体的
に設けられている。そして、このロードポート台１０６
上には、上記各搬出入口１０２Ａ、１０２Ｂに対応させ
てスライド板１０８Ａ、１０８Ｂがそれぞれ上記各搬出
入口１０２Ａ、１０２Ｂに向けてスライド可能に設置さ
れており、このスライド板１０８Ａ、１０８Ｂ上に載置
した収容ボックス２を各搬出入口１０２Ａ、１０２Ｂに
臨ませ得るようになっている。

【００１７】そして、上記各搬出入口１０２Ａ、１０２
Ｂの筐体８８内側の底部には、これより起立させて蓋開
閉機構１１０がそれぞれ設けられており（図１中におい
ては１つのみ記す）、収容ボックス２の開閉蓋１０の取
り外し、及び取り付けを行い得るようになっている。こ
の蓋開閉機構１１０の構造の一例は、例えば本出願人が
先に開示した特願平１１−２０１０００号等に開示され
ており、水平方向及び上下方向へ移動可能になされた一
対のカギ部材１１０Ａを、図４に示す開閉蓋１０のカギ
溝１６に嵌装させて、これを正逆回転させることによ
り、ロック機構１２のロック及びアンロックを行うよう
になっている。そして、上記搬出入口１０２Ａ、１０２
Ｂと前記パスボックス９６との間には、屈伸及び旋回可
能になされた被処理体搬送機構としての第１のウエハ搬
送アーム１１２が設けられており、この第１のウエハ搬
送アーム１１２は、例えばボールネジ等の昇降エレベー
タ１１４に取り付けられて上下方向に移動可能になされ
ている。これにより、上記ロードポート台１０６上の２
つの収容ボックス２とパスボックス９６との間でウエハ
Ｗの移載を行い得るようになっている。

【００１８】上記パスボックス９６は、例えばアルミニ
ウム等により箱状に形成されたボックス容器１１６より
なり、これを搬出入装置８２内側から搬出入部９４に取
り付けている。そのボックス容器１１６は、両側の筐体
８８、９０側にそれぞれ開放された開口１１８、１２０
が形成されており、各開口１１８、１２０には、スライ
ド移動可能になされた開閉ドア１２２、１２４が開閉自
在に設けられている。そして、このボックス容器１１６
の内壁には、所定のピッチで多段に保持突起１２６が設
けられており、各保持突起１２６に支持させてウエハＷ
を一時的に待機させるようになっている。この保持突起
１２６は、一度に熱処理炉８６内で熱処理できるウエハ
枚数、例えば３６個程度設けられている。そして、この
ボックス容器１１６には、Ｎ_２ ガス等の不活性ガスを
導入する不活性ガス導入ポート１２８が設けられてお
り、このボックス容器１１６内を、例えばＮ_２ ガスで
常に満たすようになっている。

【００１９】また、この筐体８８の天井部１３６には、
例えばＨＥＰＡフィルタ等のフィルタ手段１３０が介設
された清浄空気入口１３２が介設されており、送風ファ
ン１３３によって筐体８８内へ清浄空気を送り込むよう
になっている。そして、筐体８８の底部には、筐体８８
内を流下した清浄空気を排気する排気口１３４が設けら
れる。また、この筐体８８内の天井部１３６には、上記
清浄空気入口１３２から上記搬出入口１０２Ａ、１０２
Ｂの天井部近傍まで延びるダクト１３８が設けられると
共に、このダクト１３８の出口には、例えばＨＥＰＡフ
ィルタ等のフィルタ手段１４０が設けられており、上記
筐体８８内へ導入した清浄空気の一部を導いて、上記搬
出入口１０２Ａ、１０２Ｂに対してその上方より清浄空
気を噴出してこの部分の清浄度（クリーン度）を常に高
く維持するようになっている。

【００２０】そして、この筐体８８の天井部１３６の上
部に、収容ボックス２を一時的に待機させるボックス待
機台１４２が設けられており、ここでは最大２個の収容
ボックス２を並べて載置し得るようになっている。そし
て、このボックス待機台１４２の前側の筐体天井部１３
６には、上記ボックス待機台１４２と前記ロードポート
台１０６との間で収容ボックス２を搬送するための本発
明の特徴とするボックス搬送機構１４４が設けられてい
る。具体的には、このボックス搬送機構１４４は、筐体
天井部１３６の上面に設けた２本の案内レール１４６に
沿って走行移動自在になされた移動基台１４８を有して
おり、この移動基台１４８上に、垂直面内において旋回
及び屈伸自在になされた第１アーム１５０及び第２アー
ム１５２を取り付けている。そして、この第２アーム１
５２の先端に、常時水平状態に維持されているアームヘ
ッド１５４を取り付け、このアームヘッド１５４の下面
に接近及び離間が可能になされた一対の爪部１５６を設
けており、この一対の爪部１５６により上記収容ボック
ス２の把手２１を把持してこれを持ち上げて上記ボック
ス保持台１４２とロードポート台１０６との間で搬送し
得るようになっている。

【００２１】一方、前記石英製の円筒体状の処理容器９
８は、例えば３０ｃｍサイズのウエハを一度に３６枚程
度処理できる大きさに設定されている。そして、この下
方のロードユニット８４内には、昇降エレベータ１６０
により昇降可能になされたキャップ１６２が配置されて
おり、このキャップ１６２上に被処理体ボート１６４を
載置してこれを上昇させることにより、このボート１６
４を処理容器９８の下端開口部よりこの処理容器９８内
へロードできるようになっている。この時、処理容器９
８の下端開口部は上記キャップ１６２により気密に閉じ
られるようになっている。この被処理体ボート１６４に
は、上記したように、例えば３０ｃｍサイズのウエハＷ
を例えば３６枚所定のピッチサイズで多段に支持できる
ようになっている。また、処理容器９８の下端開口部に
は、この処理容器９８の不使用時に閉じられる開閉可能
になされたオートシャッタ１６６が設けられる。そし
て、降下されたキャップ１６２と上記パスボックス９６
との間には、屈伸及び旋回可能になされた第２のウエハ
搬送アーム１６８が設けられると共に、この搬送アーム
１６８は、昇降エレベータ１７０により昇降可能になさ
れており、パスボックス９６とキャップ１６２上の被処
理体ボート１６４との間でウエハＷの移載ができるよう
になされている。また、このロードユニット８４の筐体
９０には、内部にＮ_２ ガス等の不活性ガスを導入する
不活性ガス導入ポート１７２が設けられている。

【００２２】次に、以上のように構成された搬出入装置
８２とこれを用いた処理システム８０の動作について説
明する。まず、ロードユニット８４内及びパスボックス
９６内は、ウエハ表面への自然酸化膜の付着を防止する
ために不活性ガス、例えばＮ_２ ガス雰囲気になされ、
また、搬出入装置８２の筐体８８内は、清浄空気の雰囲
気に維持されている。外部より搬送されてきた収容ボッ
クス２は、その開閉蓋１０を開閉ドア、例えば１０４Ａ
側に向けてロードポート台１０６上のスライド板、例え
ば１０８Ａ上に載置される。そして、スライド板１０８
Ａを搬出入口１０２Ａ側へスライド移動させて、この収
容ボックス２の開閉蓋１０を搬出入口１０２Ａに略接触
するまで接近させた状態で、この開閉ドア１０４Ａを上
方へスライドさせることにより、搬出入口１０２Ａを開
く。次に、蓋開閉装置１００を駆動することにより、上
記収容ボックス２の開閉蓋１０を取り外して収容ボック
ス２内を開放し、第１のウエハ搬送アーム１１２及び昇
降エレベータ１１４を駆動することにより、収容ボック
ス２内に収容されていたウエハＷを一枚ずつ取り出し、
これを開閉ドア１２２が開放されているパスボックス９
６内に移載する。パスボックス９６へのウエハＷの移載
が完了したならば、上記したと逆の操作を行って、収容
ボックス２に開閉蓋１０を再度装着すると共に、開閉ド
ア１０４Ａ或いは１０４Ｂをスライド移動してこの搬出
入口１０２Ａ或いは１０４Ｂを閉じる。この時点では、
収容ボックス２内は、ウエハが全て搬出されて空になっ
ている場合もあるし、或いは一部が残留している場合も
ある。

【００２３】そして、この収容ボックス２は、ボックス
搬送機構１４４を駆動して第１及び第２アーム１５０、
１５２を屈伸させ、更にこのアームヘッド１５４の爪部
１５６を拡縮させることによって、収容ボックス２の把
手２１を把持してこれを持ち上げ、この収容ボックス２
を、搬出入装置８２の天井部に設けたボックス待機台１
４２上に載置してこれを待機させる。この場合、ボック
ス搬送機構１４４の位置調整を行う場合には、ロードサ
ポート台１０６の長手方向に沿って設けた案内レール１
４６上に移動基台１４８を走行移動させれば、２つのス
ライド板１０８Ａ、１０８Ｂ上の収容ボックス２をそれ
ぞれ選択的に把持することができる。このような、上記
した一連の動作中に、例えば隣りのスライド板、例えば
１０８Ｂ上に別の収容ボックス２が載置されており、上
記した別の収容ボックス２内のウエハＷも前述したと同
様な操作を行って、上記パスボックス９６内へ移載す
る。

【００２４】ここで、例えば３６枚のウエハを一度に熱
処理する場合には、その内訳は、例えば製品ウエハが２
５枚程度、モニタ用のモニタウエハが２枚程度、ダミー
ウエハが９枚程度となるので、これらのウエハが全てパ
スボックス９６内に移載されてから実際の熱処理へ移行
する。本実施例では、収容ボックス２をロードポート台
１０６上に２つ載置でき、また、ボックス待機台１４２
上に２つ載置できることから、最大４つの収容ボックス
２をこの処理システム８０として保持することができ
る。通常、上記３種類のウエハ、すなわち製品ウエハ、
モニタウエハ、ダミーウエハを収容する収容ボックス２
は、それぞれ異なることから、これらの３つの収容ボッ
クス２の内、少なくとも１つをボックス待機台１４２上
に待機させておくようにする。

【００２５】また、ウエハを筐体８８内に取り込んでい
る時には、この搬出入口１０４Ａ及び１０４Ｂには、そ
の上方よりフィルタ手段１４０を通過した清浄空気が常
時ダウンフローの気流として流されているので、搬入途
中のウエハ表面にパーティクルが付着することを極力抑
制することが可能となる。上述のようにして、パスボッ
クス９６内に所定の枚数、例えば３６枚のウエハ（ダミ
ーウエハ、モニタウエハも含む）が移載されたならば、
搬出入装置８２側の開閉ドア１２２を閉じてこのパスボ
ックス９６内を密閉状態とすると共にこの内部を十分な
Ｎ_２ ガス雰囲気とする。そして、パスボックス９６の
ロードユニット８４側の開閉ドア１２４を開いて内部を
開放し、この状態で第２のウエハ搬送アーム１６８及び
昇降エレベータ１７０を駆動することにより、パスボッ
クス９６内に収容されていたウエハＷを一枚ずつ取り出
し、これをキャップ１６２上に設置されている被処理体
ボート１６４に移載する。この被処理体ボート１６４へ
のウエハＷの移載が完了したならば、昇降エレベータ１
６０を駆動させて、被処理体ボー１６４の載置されたキ
ャップ１６２を上昇させ、このボート１６４を熱処理炉
８６の処理容器９８の下端開口部より処理容器９８内へ
導入してロードする。そして、このキャップ１６２によ
って処理容器９８の下端開口部を密閉し、この状態で熱
処理炉８６内でウエハＷに対して所定の熱処理、例えば
成膜処理や酸化拡散処理等を行なう。

【００２６】このようにして、所定の熱処理が終了した
ならば、前述したと逆の操作を行なって、処理済みのウ
エハＷを取り出す。すなわち、被処理体ボート１６４を
処理容器９８内から降下させてアンロードし、そして、
第２のウエハ搬送アーム１６８を用いて処理済みのウエ
ハＷをボート１６４からパスボックス９６を介して、ロ
ードポート台１０６上に載置されている空の収容ボック
ス２内に移載する。これにより、処理済みのウエハを処
理システム８０外へ搬送することになる。尚、上記した
ウエハの流れは単に一例を示したに過ぎず、これに限定
されないのは勿論である。このように、本発明において
は、収容ボックス２を処理システム８０内、具体的には
搬出入装置８２の筐体８８内へ搬入せずに、ウエハのみ
を搬入させることとし、一時的に不要となった収容ボッ
クス２は筐体８８の天井部の上部の外側に設けたボック
ス待機台１４２上に載置して待機させるようにしたの
で、この搬出入装置８２全体を小型化し、この占有スペ
ースを大幅に削減することが可能となる。

【００２７】また、上記搬出入装置８２を処理システム
８０に用いているので、従来必要とされたストッカ部等
をなくすことが可能なことから、処理システム全体を小
型化できて、この占有スペースを大幅に削減することが
可能となる。更には、パスボックス９６とキャップ１６
２上に載置している被処理体ボート１６４との間で直接
ウエハの移載を行うようにしたので、従来の処理システ
ムで必要とされたボート移載用のスペースも省略でき、
この点よりも処理システム全体の占有スペースを更に削
減することが可能となる。

【００２８】また、上記した理由により、収容ボックス
２と被処理体ボート１６４との間の移載時間も短くする
ことが可能となった。上記実施例におけるボックス搬送
機構１４４の構成は、単に一例を示したに過ぎず、ロー
ドポート台１０６上とボックス待機台１４２との間で収
容ボックス２を搬送し得るならば、どのような構造とし
てもよい。また、本実施例ではボックス待機台１４２の
大きさは、収容ボックス２を２個設置できる大きさに設
定したが、これに限定されず、例えばこのボックス待機
台１４２を複数段設けるなどして、３個以上の収容ボッ
クス２を設置できるような構造としてもよい。更に、こ
こでは処理容器９８内で一度に熱処理できるウエハ枚数
は３６枚の場合を例にとって説明したが、この数値に限
定されないのは勿論である。

【００２９】また、上記実施例では、筐体８８の天井部
１３６上にボックス待機台１４２を設け、ここに例えば
空状態の収容ボックス２を待機させるようにしたが、こ
れに限定されず、このボックス待機台１４２を設けない
で、或いはボックス待機台１４２を設けた場合でも、ボ
ックス搬送機構１４４で収容ボックス２を保持した状態
でウエハの処理を行なうようにしてもよい。図５はこの
ような本発明の処理システムの変形例を示す図である。
尚、図５においてはボックス待機台１４２（図１参照）
を設けていない場合の装置例を示している。こ実施例で
は、製品ウエハ、モニタウエハ及びダミーウエハを収容
する３つの収容ボックスの内、２つの収容ボックスをロ
ードポート台１０６上に設置しておき、残り１つの収容
ボックスを上記ボックス搬送機構１４４で把持してロー
ドポート台１０６上から一時的に待避させるようにし
て、これをいわゆる釣り下げた状態で保持して待機さ
せ、この状態でウエハの処理を行なう。これによれば、
ボックス待機台を設けることなく、図１にて示した装置
例と同様な作用効果を発揮することができる。また、被
処理体としては半導体ウエハに限定されず、ＬＣＤ基
板、ガラス基板等にも本発明を適用し得る。

【００３０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の被処理体
の搬出入装置と処理システムによれば、次のように優れ
た作用効果を発揮することができる。請求項１乃至５に
規定する発明によれば、ロードポート台上に載置された
収容ボックスからは、被処理体搬送機構を用いて被処理
体を筐体内に取り込み、また、例えば空になった収容ボ
ックスをボックス搬送機構により筐体の天井板の上部に
設けたボックス待機台上に搬送し、ここで待機させるよ
うにしたので、或いは、ボックス待機台を設けていない
場合には、ボックス搬送機構により、例えば空の収容ボ
ックスを把持して一時的に待避させ、いわゆる釣り下げ
た状態で待機させるようにしたので、装置全体を小型化
してその占有スペースを大幅に削減することができる。
請求項６または７に規定する発明によれば、処理システ
ムにおいて上記搬出入装置を用いていることから、従来
必要とされたストッカ部等をなくすことが可能となっ
て、処理システム全体を小型化でき、この占有スペース
を大幅に削減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の被処理体の搬出入装置を用いた処理シ
ステムを示す概略構成図である。

【図２】図１に示す搬出入装置の概略正面図である。

【図３】収容ボックスの一例を示す斜視図である。

【図４】開閉蓋を外した状態の収容ボックスの一例を示
す斜視図である。

【図５】本発明の処理システムの変形例を示す図であ
る。

【図６】従来の被処理体の処理システムを示す概略構成
図である。

【図７】図６に示す処理システムの概略斜視図である。

【符号の説明】

２ 収容ボックス ８０ 処理システム ８２ 搬出入装置 ８４ ロードユニット ８６ 熱処理炉 ８８ 筐体 ９６ パスボックス ９８ 処理容器 １０６ ロードポート台 １１０ 蓋開閉機構 １１２ 第１のウエハ搬送アーム（被処理体搬送機構） １４２ ボックス待機台 １４４ ボックス搬送機構 １４６ 案内レール １４８ 移動基台 １５０ 第１アーム １５２ 第２アーム １５６ 爪部 １６４ 被処理体ボート Ｗ 半導体ウエハ（被処理体）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ２７Ｄ 7/06 Ｆ２７Ｄ 7/06 Ｂ Ｈ０１Ｌ 21/22 ５１１ Ｈ０１Ｌ 21/22 ５１１Ｊ 21/31 21/31 Ａ Ｆターム(参考） 4K055 AA06 GA05 GA07 4K063 AA05 AA15 BA12 DA05 DA22 5F031 CA02 CA05 CA11 DA08 DA17 EA14 FA01 FA02 FA03 FA07 FA11 FA12 FA15 GA19 GA43 GA47 GA48 GA49 HA09 HA61 LA12 MA15 MA28 NA03 NA04 NA07 NA16 5F045 BB08 DP19 EN04 EN05

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の熱処理を施すための被処理体を密
   閉状態で収容する収容ボックスに対して前記被処理体を
   搬出入する搬出入装置において、 前記被処理体の搬出入口が設けられた筐体と、 前記搬出入口に設けられて前記収容ボックスを載置する
   ロードポート台と、 前記ロードポート台上の前記収容ボックスと前記筐体内
   との間で前記被処理体を搬送する被処理体搬送機構と、 前記筐体の天井部の上部に設けられて前記収容ボックス
   を載置して待機させるボックス待機台と、 前記ロードポート台と前記ボックス待機台との間で前記
   収容ボックスを搬送するボックス搬送機構とを備えたこ
   とを特徴とする被処理体の搬出入装置。
2. 【請求項２】 所定の熱処理を施すための被処理体を密
   閉状態で収容する収容ボックスに対して前記被処理体を
   搬出入する搬出入装置において、 前記被処理体の搬出入口が設けられた筐体と、 前記搬出入口に設けられて前記収容ボックスを載置する
   ロードポート台と、 前記ロードポート台上の前記収容ボックスと前記筐体内
   との間で前記被処理体を搬送する被処理体搬送機構と、 前記ロードポート台上の前記収容ボックスを把持して前
   記ロードポート台から一時的に待避させるボックス搬送
   機構とを備えたことを特徴とする被処理体の搬出入装
   置。
3. 【請求項３】 前記搬出入口には、開閉ドアが設けられ
   ていることを特徴とする請求項または２記載の被処理体
   の搬出入装置。
4. 【請求項４】 前記搬出入口の近傍には、前記収容ボッ
   クスの開閉蓋を開閉する蓋開閉機構が設けられることを
   特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の被処理体
   の搬出入装置。
5. 【請求項５】 前記ロードポート台は、前記搬出入口に
   沿って並設するように複数の前記収容ボックスを載置し
   得る長さを有しており、前記ボックス搬送機構は前記ロ
   ードポート台の長さ方向に沿って移動可能になされてい
   ることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の
   被処理体の搬出入装置。
6. 【請求項６】 所定の熱処理を施すための被処理体を密
   閉状態で収容する収容ボックスに対して前記被処理体を
   搬出入する請求項１乃至５のいずれかに記載の被処理体
   の搬出入装置と、 内部が不活性ガス雰囲気になされた筐体に囲まれて前記
   被処理体を複数枚保持し得る被処理体ボートを昇降可能
   に収容するロードユニットと、 前記被処理体ボートを収容して前記被処理体に対して所
   定の熱処理を施す熱処理炉とを備えたことを特徴とする
   熱処理システム。
7. 【請求項７】 前記ロードユニットの筐体と前記搬出入
   装置を区画する筐体とを連通する搬出入部には、搬出入
   される被処理体を一時的に待機させるために内部が不活
   性ガス雰囲気になされて開閉可能になったパスボックス
   が設置されていることを特徴とする請求項６記載の熱処
   理システム。