JPH08124992A - 基板処理装置のキャリア搬入・搬出装置 - Google Patents
基板処理装置のキャリア搬入・搬出装置Info
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- JPH08124992A JPH08124992A JP28407894A JP28407894A JPH08124992A JP H08124992 A JPH08124992 A JP H08124992A JP 28407894 A JP28407894 A JP 28407894A JP 28407894 A JP28407894 A JP 28407894A JP H08124992 A JPH08124992 A JP H08124992A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 キャリアの搬入・搬出処理のスループットを
向上させた基板処理装置のキャリア搬入・搬出装置を提
供する。 【構成】 前工程からの、複数枚の未処理基板を収納し
た搬送用キャリア(処理前キャリアPC1、PC2)
は、載置台1a、1bで受け取られて載置され、処理前
キャリア搬送ロボット3が載置台2a、2bに搬送し、
キャリア受渡しロボット9が載置台4に受け渡し、装置
10内に搬入される。装置10での処理が終了した複数
枚の処理済基板を収納した搬送用キャリア(処理後キャ
リアEC1、EC2)は、載置台5に載置され、キャリ
ア受渡しロボット9が載置台6a、6bに受け渡し、処
理後キャリア搬送ロボット8が載置台7a、7bに搬送
し、載置台7a、7bに載置され、AGVに引き渡され
て、装置10外に搬出される。
向上させた基板処理装置のキャリア搬入・搬出装置を提
供する。 【構成】 前工程からの、複数枚の未処理基板を収納し
た搬送用キャリア(処理前キャリアPC1、PC2)
は、載置台1a、1bで受け取られて載置され、処理前
キャリア搬送ロボット3が載置台2a、2bに搬送し、
キャリア受渡しロボット9が載置台4に受け渡し、装置
10内に搬入される。装置10での処理が終了した複数
枚の処理済基板を収納した搬送用キャリア(処理後キャ
リアEC1、EC2)は、載置台5に載置され、キャリ
ア受渡しロボット9が載置台6a、6bに受け渡し、処
理後キャリア搬送ロボット8が載置台7a、7bに搬送
し、載置台7a、7bに載置され、AGVに引き渡され
て、装置10外に搬出される。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、基板処理装置の一側面
において、複数枚の未処理基板が収納された搬送用キャ
リアを装置外から装置内に搬入するとともに、複数枚の
処理済基板が収納された搬送用キャリアを装置内から装
置外に搬出する基板処理装置のキャリア搬入・搬出装置
に係り、特に、搬送用キャリアの搬入・搬出処理のスル
ープットの向上を図るための技術に関する。
において、複数枚の未処理基板が収納された搬送用キャ
リアを装置外から装置内に搬入するとともに、複数枚の
処理済基板が収納された搬送用キャリアを装置内から装
置外に搬出する基板処理装置のキャリア搬入・搬出装置
に係り、特に、搬送用キャリアの搬入・搬出処理のスル
ープットの向上を図るための技術に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種のキャリア搬入・搬出装置
として、例えば、特開平4-332128号公報や特開平4-3321
50号公報等に示すようなものがある。
として、例えば、特開平4-332128号公報や特開平4-3321
50号公報等に示すようなものがある。
【0003】これら公報に開示された従来装置は、複数
枚の未処理基板が収納された搬送用キャリア(処理前キ
ャリア)を装置外から受け取るための搬入ステージと、
複数枚の処理済基板が収納された搬送用キャリア(処理
後キャリア)を装置外に引き渡すための搬出ステージ
と、搬入ステージからの処理前キャリアの装置内への受
渡しと、装置内からの処理後キャリアの受渡しとを行う
ための受渡し部と、装置内に設けられたキャリア受取り
・引渡し部と、搬入ステージ、受渡し部、搬出ステージ
の間の処理前、処理後キャリアの搬送を行うキャリア搬
送ロボットと、受渡し部とキャリア受取り・引渡し部と
の間の処理前、処理後キャリアの受渡しを行うキャリア
受渡しロボットなどを備えて構成されている。
枚の未処理基板が収納された搬送用キャリア(処理前キ
ャリア)を装置外から受け取るための搬入ステージと、
複数枚の処理済基板が収納された搬送用キャリア(処理
後キャリア)を装置外に引き渡すための搬出ステージ
と、搬入ステージからの処理前キャリアの装置内への受
渡しと、装置内からの処理後キャリアの受渡しとを行う
ための受渡し部と、装置内に設けられたキャリア受取り
・引渡し部と、搬入ステージ、受渡し部、搬出ステージ
の間の処理前、処理後キャリアの搬送を行うキャリア搬
送ロボットと、受渡し部とキャリア受取り・引渡し部と
の間の処理前、処理後キャリアの受渡しを行うキャリア
受渡しロボットなどを備えて構成されている。
【0004】この従来装置では、キャリアの自動搬送装
置(Auto Guided Vehicle :以下「AGV」という)に
よって前工程から搬送されてきた処理前キャリアは、搬
入ステージで受け取られ、キャリア搬送ロボットによっ
て搬入ステージから受渡し部に搬送され、さらに、キャ
リア受渡しロボットによって受渡し部からキャリア受取
り・引渡し部に受け渡されて装置内に搬入される。そし
て、処理前キャリアに収納された各未処理基板に対して
装置内で所定の基板処理が施される。また、装置内での
基板処理が終了した各処理済基板が収納された処理後キ
ャリアは、キャリア受取り・引渡し部に置かれ、キャリ
ア受渡しロボットによってキャリア受取り・引渡し部か
ら受渡し部に受け渡され、さらに、キャリア搬送ロボッ
トによって受渡し部から搬出ステージに搬送されて、搬
出ステージでAGVに引き渡され、AGVによって後工
程に搬送される。
置(Auto Guided Vehicle :以下「AGV」という)に
よって前工程から搬送されてきた処理前キャリアは、搬
入ステージで受け取られ、キャリア搬送ロボットによっ
て搬入ステージから受渡し部に搬送され、さらに、キャ
リア受渡しロボットによって受渡し部からキャリア受取
り・引渡し部に受け渡されて装置内に搬入される。そし
て、処理前キャリアに収納された各未処理基板に対して
装置内で所定の基板処理が施される。また、装置内での
基板処理が終了した各処理済基板が収納された処理後キ
ャリアは、キャリア受取り・引渡し部に置かれ、キャリ
ア受渡しロボットによってキャリア受取り・引渡し部か
ら受渡し部に受け渡され、さらに、キャリア搬送ロボッ
トによって受渡し部から搬出ステージに搬送されて、搬
出ステージでAGVに引き渡され、AGVによって後工
程に搬送される。
【0005】また、従来装置の搬入ステージと受渡し部
と搬出ステージとは一直線上に配置され、受渡し部とキ
ャリア受取り・引渡し部との並びはそれに直交するよう
に配置されており、キャリアの搬送経路が、受渡し部を
交点とした「T」字型になるように、各ステージと各部
が配置されている。
と搬出ステージとは一直線上に配置され、受渡し部とキ
ャリア受取り・引渡し部との並びはそれに直交するよう
に配置されており、キャリアの搬送経路が、受渡し部を
交点とした「T」字型になるように、各ステージと各部
が配置されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。すなわち、従来装置では、受渡し部とキャリア受
取り・引渡し部とを、キャリアの搬入と搬出とで共有す
るように構成されているので、受渡し部とキャリア受取
り・引渡し部との間で処理前キャリアの受渡しが行われ
ていたり、受渡しのために受渡し部やキャリア受取り・
引渡し部に処理前キャリアが置かれている等の場合に
は、処理後キャリアの搬出が行えず、また、逆に、受渡
し部とキャリア受取り・引渡し部との間で処理後キャリ
アの受渡しが行われていたり、受渡しのために受渡し部
やキャリア受取り・引渡し部に処理後キャリアが置かれ
ている等の場合には、処理前キャリアの搬入が行えず、
搬入・搬出処理のスループットが悪いという問題があ
る。また、搬入・搬出処理のスループットが悪いと、A
GVの処理待ちが生じて、前工程や後工程の基板処理装
置にも影響を与えるという問題もある。しかも、AGV
で複数個の搬送用キャリアをまとめて搬送する場合で
は、AGVの処理待ちは一層長くなる。
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。すなわち、従来装置では、受渡し部とキャリア受
取り・引渡し部とを、キャリアの搬入と搬出とで共有す
るように構成されているので、受渡し部とキャリア受取
り・引渡し部との間で処理前キャリアの受渡しが行われ
ていたり、受渡しのために受渡し部やキャリア受取り・
引渡し部に処理前キャリアが置かれている等の場合に
は、処理後キャリアの搬出が行えず、また、逆に、受渡
し部とキャリア受取り・引渡し部との間で処理後キャリ
アの受渡しが行われていたり、受渡しのために受渡し部
やキャリア受取り・引渡し部に処理後キャリアが置かれ
ている等の場合には、処理前キャリアの搬入が行えず、
搬入・搬出処理のスループットが悪いという問題があ
る。また、搬入・搬出処理のスループットが悪いと、A
GVの処理待ちが生じて、前工程や後工程の基板処理装
置にも影響を与えるという問題もある。しかも、AGV
で複数個の搬送用キャリアをまとめて搬送する場合で
は、AGVの処理待ちは一層長くなる。
【0007】また、従来装置は、搬入ステージと受渡し
部と搬出ステージとが一直線上に配置されているが、こ
のように配置された場合、搬入ステージと受渡し部と搬
出ステージの並び方向の長さ(幅)が、それに直交する
方向の長さ(奥行き)に比べてアンバランスに長くな
り、これら各ステージ等が占有する床の面積利用効率が
悪くなるという問題もある。しかも、この種の装置で
は、一般的に複数個(従来例では2個)のキャリアを一
単位として搬入・搬出が行われる。従って、搬入ステー
ジと受渡し部と搬出ステージにはそれぞれ複数個のキャ
リアを載置しておく載置台が設けられ、これら複数個の
載置台が一直線上に並ぶことになる。たとえば、従来装
置では、2個のキャリアを一単位として搬入・搬出が行
われるので、合計6個の載置台が一直線上に並ぶことに
なる。従って、奥行きに対する幅の長さのアンバランス
が一層大きくなり、床の面積利用効率が一層悪くなる。
床の面積利用効率が悪いと、ランニングコストの高いク
リーンルームの利用率の低下を招くことになる。
部と搬出ステージとが一直線上に配置されているが、こ
のように配置された場合、搬入ステージと受渡し部と搬
出ステージの並び方向の長さ(幅)が、それに直交する
方向の長さ(奥行き)に比べてアンバランスに長くな
り、これら各ステージ等が占有する床の面積利用効率が
悪くなるという問題もある。しかも、この種の装置で
は、一般的に複数個(従来例では2個)のキャリアを一
単位として搬入・搬出が行われる。従って、搬入ステー
ジと受渡し部と搬出ステージにはそれぞれ複数個のキャ
リアを載置しておく載置台が設けられ、これら複数個の
載置台が一直線上に並ぶことになる。たとえば、従来装
置では、2個のキャリアを一単位として搬入・搬出が行
われるので、合計6個の載置台が一直線上に並ぶことに
なる。従って、奥行きに対する幅の長さのアンバランス
が一層大きくなり、床の面積利用効率が一層悪くなる。
床の面積利用効率が悪いと、ランニングコストの高いク
リーンルームの利用率の低下を招くことになる。
【0008】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、第1の目的は、キャリアの搬入・搬出
処理のスループットを向上させた基板処理装置のキャリ
ア搬入・搬出装置を提供することにある。
たものであって、第1の目的は、キャリアの搬入・搬出
処理のスループットを向上させた基板処理装置のキャリ
ア搬入・搬出装置を提供することにある。
【0009】また、本発明の第2の目的は、床の面積利
用効率を改善した基板処理装置のキャリア搬入・搬出装
置を提供することにある。
用効率を改善した基板処理装置のキャリア搬入・搬出装
置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項1に記載の発明は、基板処理装置の一側面に
おいて、複数枚の未処理基板が収納された搬送用キャリ
ア(以下、この搬送用キャリアを「処理前キャリア」と
いう)を前記装置外から前記装置内に搬入するととも
に、複数枚の処理済基板が収納された搬送用キャリア
(以下、この搬送用キャリアを「処理後キャリア」とい
う)を前記装置内から前記装置外に搬出する基板処理装
置のキャリア搬入・搬出装置において、前記処理前キャ
リアを前記装置外から受け取るための搬入ステージと、
前記搬入ステージで受け取った処理前キャリアを前記装
置内に受け渡すための処理前キャリア受渡し部と、前記
装置内に設けられ、前記処理前キャリア受渡し部の処理
前キャリアを受け取るための処理前キャリア受取り部
と、前記装置内に設けられ、前記処理後キャリアを搬出
するための処理後キャリア引渡し部と、前記処理後キャ
リア引渡し部の処理後キャリアを受け取るための処理後
キャリア受渡し部と、前記処理後キャリア受渡し部の処
理後キャリアを前記装置外に引き渡すための搬出ステー
ジと、前記処理前キャリアを、前記搬入ステージから前
記処理前キャリア受渡し部に搬送する処理前キャリア搬
送手段と、前記処理後キャリアを、前記処理後キャリア
受渡し部から前記搬出ステージに搬送する処理後キャリ
ア搬送手段と、前記処理前キャリア受渡し部と前記処理
前キャリア受取り部との間の前記処理前キャリアの受渡
しと、前記処理後キャリア引渡し部と前記処理後キャリ
ア受渡し部との間の前記処理後キャリアの受渡しとを行
うキャリア受渡し手段と、を備えたものである。
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項1に記載の発明は、基板処理装置の一側面に
おいて、複数枚の未処理基板が収納された搬送用キャリ
ア(以下、この搬送用キャリアを「処理前キャリア」と
いう)を前記装置外から前記装置内に搬入するととも
に、複数枚の処理済基板が収納された搬送用キャリア
(以下、この搬送用キャリアを「処理後キャリア」とい
う)を前記装置内から前記装置外に搬出する基板処理装
置のキャリア搬入・搬出装置において、前記処理前キャ
リアを前記装置外から受け取るための搬入ステージと、
前記搬入ステージで受け取った処理前キャリアを前記装
置内に受け渡すための処理前キャリア受渡し部と、前記
装置内に設けられ、前記処理前キャリア受渡し部の処理
前キャリアを受け取るための処理前キャリア受取り部
と、前記装置内に設けられ、前記処理後キャリアを搬出
するための処理後キャリア引渡し部と、前記処理後キャ
リア引渡し部の処理後キャリアを受け取るための処理後
キャリア受渡し部と、前記処理後キャリア受渡し部の処
理後キャリアを前記装置外に引き渡すための搬出ステー
ジと、前記処理前キャリアを、前記搬入ステージから前
記処理前キャリア受渡し部に搬送する処理前キャリア搬
送手段と、前記処理後キャリアを、前記処理後キャリア
受渡し部から前記搬出ステージに搬送する処理後キャリ
ア搬送手段と、前記処理前キャリア受渡し部と前記処理
前キャリア受取り部との間の前記処理前キャリアの受渡
しと、前記処理後キャリア引渡し部と前記処理後キャリ
ア受渡し部との間の前記処理後キャリアの受渡しとを行
うキャリア受渡し手段と、を備えたものである。
【0011】また、請求項2に記載の発明は、上記請求
項1に記載の基板処理装置のキャリア搬入・搬出装置に
おいて、前記搬入ステージから前記処理前キャリア受渡
し部への処理前キャリアの搬送方向が、前記処理前キャ
リア受渡し部と前記処理前キャリア受取り部との間の処
理前キャリアの受渡し方向に略平行になるように、前記
搬入ステージと前記処理前キャリア受渡し部とを配置
し、前記処理後キャリア受渡し部から前記搬出ステージ
への処理後キャリアの搬送方向が、前記処理後キャリア
引渡し部と前記処理後キャリア受渡し部との間の処理後
キャリアの受渡し方向に略平行になるように、前記処理
後キャリア受渡し部と前記搬出ステージとを配置すると
ともに、前記搬入ステージと前記処理前キャリア受渡し
部との並びと、前記処理後キャリア受渡し部と前記搬出
ステージとの並びとを並設させるように、前記各ステー
ジ、各部を配置したものである。
項1に記載の基板処理装置のキャリア搬入・搬出装置に
おいて、前記搬入ステージから前記処理前キャリア受渡
し部への処理前キャリアの搬送方向が、前記処理前キャ
リア受渡し部と前記処理前キャリア受取り部との間の処
理前キャリアの受渡し方向に略平行になるように、前記
搬入ステージと前記処理前キャリア受渡し部とを配置
し、前記処理後キャリア受渡し部から前記搬出ステージ
への処理後キャリアの搬送方向が、前記処理後キャリア
引渡し部と前記処理後キャリア受渡し部との間の処理後
キャリアの受渡し方向に略平行になるように、前記処理
後キャリア受渡し部と前記搬出ステージとを配置すると
ともに、前記搬入ステージと前記処理前キャリア受渡し
部との並びと、前記処理後キャリア受渡し部と前記搬出
ステージとの並びとを並設させるように、前記各ステー
ジ、各部を配置したものである。
【0012】また、請求項3に記載の発明は、上記請求
項1または2のいずれかに記載の基板処理装置のキャリ
ア搬入・搬出装置において、前記処理前キャリア受渡し
部と前記処理前キャリア受取り部との間の前記処理前キ
ャリアの受渡しを行う処理前キャリア受渡し手段と、前
記処理後キャリア引渡し部と前記処理後キャリア受渡し
部との間の前記処理後キャリアの受渡しを行う処理後キ
ャリア受渡し手段とで、前記キャリア受渡し手段を構成
したものである。
項1または2のいずれかに記載の基板処理装置のキャリ
ア搬入・搬出装置において、前記処理前キャリア受渡し
部と前記処理前キャリア受取り部との間の前記処理前キ
ャリアの受渡しを行う処理前キャリア受渡し手段と、前
記処理後キャリア引渡し部と前記処理後キャリア受渡し
部との間の前記処理後キャリアの受渡しを行う処理後キ
ャリア受渡し手段とで、前記キャリア受渡し手段を構成
したものである。
【0013】
【作用】請求項1に記載の発明の作用は次のとおりであ
る。まず、処理前キャリアの搬入は以下のように行われ
る。すなわち、装置外からの処理前キャリアは、搬入ス
テージで受け取られ、その処理前キャリアは、処理前キ
ャリア搬送手段によって搬入ステージから処理前キャリ
ア受渡し部に搬送される。そして、キャリア受渡し手段
によって、処理前キャリア受渡し部から処理前キャリア
受取り部に受け渡され、装置内に搬入される。
る。まず、処理前キャリアの搬入は以下のように行われ
る。すなわち、装置外からの処理前キャリアは、搬入ス
テージで受け取られ、その処理前キャリアは、処理前キ
ャリア搬送手段によって搬入ステージから処理前キャリ
ア受渡し部に搬送される。そして、キャリア受渡し手段
によって、処理前キャリア受渡し部から処理前キャリア
受取り部に受け渡され、装置内に搬入される。
【0014】一方、処理後キャリアの搬出は以下のよう
に行われる。すなわち、処理後キャリアが、処理前キャ
リア受取り部と別個に設けられた処理後キャリア引渡し
部に置かれ、その処理後キャリアは、キャリア受渡し手
段によって処理後キャリア引渡し部から、処理前キャリ
ア受渡し部と別個に設けられた処理後キャリア受渡し部
に受け渡される。そして、処理後キャリア搬送手段によ
って、処理後キャリア受渡し部から搬出ステージに搬送
され、搬出ステージから装置外に搬出される。
に行われる。すなわち、処理後キャリアが、処理前キャ
リア受取り部と別個に設けられた処理後キャリア引渡し
部に置かれ、その処理後キャリアは、キャリア受渡し手
段によって処理後キャリア引渡し部から、処理前キャリ
ア受渡し部と別個に設けられた処理後キャリア受渡し部
に受け渡される。そして、処理後キャリア搬送手段によ
って、処理後キャリア受渡し部から搬出ステージに搬送
され、搬出ステージから装置外に搬出される。
【0015】また、請求項2に記載の発明によれば、搬
入ステージ、処理前キャリア受渡し部、処理前キャリア
受取り部間の処理前キャリアの搬送、受渡しが略一直線
上で行われ、搬出ステージ、処理後キャリア受渡し部、
処理後キャリア引渡し部間の処理後キャリアの搬送、受
渡しが略一直線上で行われる。これら各搬入、搬出にお
けるキャリアの搬送経路が並設される。従って、搬入ス
テージ、処理前キャリア受渡し部、搬出ステージ、処理
後キャリア受渡し部の配置における幅の長さが、搬入ス
テージ、搬出ステージ(処理前キャリア受渡し部、処理
後キャリア受渡し部)の配置の長さとなり、一方、奥行
きの長さが、搬入ステージ、処理前キャリア受渡し部
(搬出ステージ、処理後キャリア受渡し部)の配置の長
さとなって、幅と奥行きの長さのアンバランスが改善さ
れる。
入ステージ、処理前キャリア受渡し部、処理前キャリア
受取り部間の処理前キャリアの搬送、受渡しが略一直線
上で行われ、搬出ステージ、処理後キャリア受渡し部、
処理後キャリア引渡し部間の処理後キャリアの搬送、受
渡しが略一直線上で行われる。これら各搬入、搬出にお
けるキャリアの搬送経路が並設される。従って、搬入ス
テージ、処理前キャリア受渡し部、搬出ステージ、処理
後キャリア受渡し部の配置における幅の長さが、搬入ス
テージ、搬出ステージ(処理前キャリア受渡し部、処理
後キャリア受渡し部)の配置の長さとなり、一方、奥行
きの長さが、搬入ステージ、処理前キャリア受渡し部
(搬出ステージ、処理後キャリア受渡し部)の配置の長
さとなって、幅と奥行きの長さのアンバランスが改善さ
れる。
【0016】また、請求項3に記載の発明によれば、処
理前キャリア受渡し部と処理前キャリア受取り部との間
の処理前キャリアの受渡しは、処理前キャリア受渡し手
段によって行われ、処理後キャリア引渡し部と処理後キ
ャリア受渡し部との間の処理後キャリアの受渡しは、処
理前キャリア受渡し手段と別個に設けられた処理後キャ
リア受渡し手段によって行われる。
理前キャリア受渡し部と処理前キャリア受取り部との間
の処理前キャリアの受渡しは、処理前キャリア受渡し手
段によって行われ、処理後キャリア引渡し部と処理後キ
ャリア受渡し部との間の処理後キャリアの受渡しは、処
理前キャリア受渡し手段と別個に設けられた処理後キャ
リア受渡し手段によって行われる。
【0017】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例を説
明する。図1は、本発明の第1実施例に係る基板処理装
置のキャリア搬入・搬出装置の概略構成を示す図であ
り、図2は、搬送用キャリアの構成を示す斜視図であ
る。本実施例では、2個の搬送用キャリアを一単位とし
て搬入・搬出する装置を例に採り説明する。
明する。図1は、本発明の第1実施例に係る基板処理装
置のキャリア搬入・搬出装置の概略構成を示す図であ
り、図2は、搬送用キャリアの構成を示す斜視図であ
る。本実施例では、2個の搬送用キャリアを一単位とし
て搬入・搬出する装置を例に採り説明する。
【0018】本実施例装置は、載置台1a、1b、2
a、2b、4、5、6a、6b、7a、7bと、処理前
キャリア搬送ロボット3と、処理後キャリア搬送ロボッ
ト8と、キャリア受渡しロボット9などを備えて構成さ
れている。
a、2b、4、5、6a、6b、7a、7bと、処理前
キャリア搬送ロボット3と、処理後キャリア搬送ロボッ
ト8と、キャリア受渡しロボット9などを備えて構成さ
れている。
【0019】載置台1a、1bと載置台2a、2bと載
置台4とは、複数枚の未処理基板が収納された搬送用キ
ャリア(処理前キャリア)を基板処理装置10外から装
置10内に搬入する搬入経路を構成する。また、載置台
5と載置台6a、6bと載置台7a、7bとは、複数枚
の処理済基板が収納された搬送用キャリア(処理後キャ
リア)を装置10内から装置10外に搬出する搬出経路
を構成する。
置台4とは、複数枚の未処理基板が収納された搬送用キ
ャリア(処理前キャリア)を基板処理装置10外から装
置10内に搬入する搬入経路を構成する。また、載置台
5と載置台6a、6bと載置台7a、7bとは、複数枚
の処理済基板が収納された搬送用キャリア(処理後キャ
リア)を装置10内から装置10外に搬出する搬出経路
を構成する。
【0020】各部の構成を以下に詳述する。まず、載置
台1a、1bは、前工程の基板処理装置から搬送されて
きた処理前キャリアを、2個を一単位として受け取り載
置するためのもので、これら載置台1a、1bが本発明
における搬入ステージを構成する。
台1a、1bは、前工程の基板処理装置から搬送されて
きた処理前キャリアを、2個を一単位として受け取り載
置するためのもので、これら載置台1a、1bが本発明
における搬入ステージを構成する。
【0021】ここで、本実施例に用いられる搬送用キャ
リアの構成を図2を参照して説明する。この搬送用キャ
リアCは、Uエンド面UとHエンド面Hとを有し、複数
枚の基板(半導体ウエハ)Wは、各処理面SPの向きが
Hエンド面H側を向くように、搬送用キャリアCに収納
されている。また、搬送用キャリアCのUエンド面U、
Hエンド面H以外の対向する二側面の上端にはツバTが
設けられている。装置10に搬入される処理前キャリア
と、装置10から搬出される処理後キャリアは図2に示
す同じ構成の搬送用キャリアCで構成される。
リアの構成を図2を参照して説明する。この搬送用キャ
リアCは、Uエンド面UとHエンド面Hとを有し、複数
枚の基板(半導体ウエハ)Wは、各処理面SPの向きが
Hエンド面H側を向くように、搬送用キャリアCに収納
されている。また、搬送用キャリアCのUエンド面U、
Hエンド面H以外の対向する二側面の上端にはツバTが
設けられている。装置10に搬入される処理前キャリア
と、装置10から搬出される処理後キャリアは図2に示
す同じ構成の搬送用キャリアCで構成される。
【0022】さて、載置台1a、1bには、AGV(ま
たは作業者)により、前工程から搬送されてきた2個の
処理前キャリアPC1、PC2がそれぞれ載置される。
このとき、AGVの搬送動作の都合上、各処理前キャリ
アPC1、PC2は、それぞれUエンド面Uが装置10
と反対側を向くように各載置台1a、1bに載置され
る。
たは作業者)により、前工程から搬送されてきた2個の
処理前キャリアPC1、PC2がそれぞれ載置される。
このとき、AGVの搬送動作の都合上、各処理前キャリ
アPC1、PC2は、それぞれUエンド面Uが装置10
と反対側を向くように各載置台1a、1bに載置され
る。
【0023】また、各載置台1a、1bの配置間隔(ピ
ッチ)P1は、処理前キャリアPC1、PC2を搬送し
てくる前記AGVの構造によって決まり、比較的広めに
採られている。
ッチ)P1は、処理前キャリアPC1、PC2を搬送し
てくる前記AGVの構造によって決まり、比較的広めに
採られている。
【0024】AGV等により各載置台1a、1bに載置
された処理前キャリアPC1、PC2は、本発明におけ
る処理前キャリア搬送手段に相当する処理前キャリア搬
送ロボット3によって、本発明における処理前キャリア
受渡し部を構成する載置台2a、2bに搬送され、そこ
に載置される。
された処理前キャリアPC1、PC2は、本発明におけ
る処理前キャリア搬送手段に相当する処理前キャリア搬
送ロボット3によって、本発明における処理前キャリア
受渡し部を構成する載置台2a、2bに搬送され、そこ
に載置される。
【0025】このとき、載置台1aに載置された処理前
キャリアPC1は載置台2aに載置され、載置台1bに
載置された処理前キャリアPC2は載置台2bに載置さ
れる。
キャリアPC1は載置台2aに載置され、載置台1bに
載置された処理前キャリアPC2は載置台2bに載置さ
れる。
【0026】また、載置台2a、2bに載置されたとき
の各処理前キャリアPC1、PC2は、装置10内での
基板処理の都合上、それぞれのUエンド面Uが外に向き
合うようになっている。従って、各処理前キャリアPC
1、PC2は、載置台1a、1bから載置台2a、2b
に搬送される際に、処理前キャリア搬送ロボット3によ
ってUエンド面Uの向きの転換(90°または−90°
の回転)が行われる。
の各処理前キャリアPC1、PC2は、装置10内での
基板処理の都合上、それぞれのUエンド面Uが外に向き
合うようになっている。従って、各処理前キャリアPC
1、PC2は、載置台1a、1bから載置台2a、2b
に搬送される際に、処理前キャリア搬送ロボット3によ
ってUエンド面Uの向きの転換(90°または−90°
の回転)が行われる。
【0027】また、載置台2a、2bのピッチP2は、
前記載置台1a、1bのピッチP1よりも狭く採られて
いる。これは、各処理前キャリアPC1、PC2のピッ
チをP1のままにして、装置10内に搬入すると、例え
ば、装置10内における各処理前キャリアPC1、PC
2の搬送路等を広く採る必要がある等、装置10の大型
化を招くことになるので、装置10の小型化を図る等の
ために、AGVに依存する処理前キャリアPC1、PC
2のピッチP1を狭めて装置10内に搬入することが好
ましいからである。従って、各処理前キャリアPC1、
PC2は、載置台1a、1bから載置台2a、2bに搬
送される際に、処理前キャリア搬送ロボット3によって
ピッチの変換(幅寄せ)が行われる。
前記載置台1a、1bのピッチP1よりも狭く採られて
いる。これは、各処理前キャリアPC1、PC2のピッ
チをP1のままにして、装置10内に搬入すると、例え
ば、装置10内における各処理前キャリアPC1、PC
2の搬送路等を広く採る必要がある等、装置10の大型
化を招くことになるので、装置10の小型化を図る等の
ために、AGVに依存する処理前キャリアPC1、PC
2のピッチP1を狭めて装置10内に搬入することが好
ましいからである。従って、各処理前キャリアPC1、
PC2は、載置台1a、1bから載置台2a、2bに搬
送される際に、処理前キャリア搬送ロボット3によって
ピッチの変換(幅寄せ)が行われる。
【0028】上記したように、処理前キャリア搬送ロボ
ット3は、各処理前キャリアPC1、PC2を載置台1
a、1bから載置台2a、2bにそれぞれ搬送するとと
もに、Uエンド面Uの向きの転換と幅寄せとを行う。こ
のような機能を有する処理前キャリア搬送ロボット3の
一例の構成を図3を参照して説明する。図3(a)は、
処理前キャリア搬送ロボットの一例の構成を示す一部省
略正面図であり、図3(b)は、その平面図である。
ット3は、各処理前キャリアPC1、PC2を載置台1
a、1bから載置台2a、2bにそれぞれ搬送するとと
もに、Uエンド面Uの向きの転換と幅寄せとを行う。こ
のような機能を有する処理前キャリア搬送ロボット3の
一例の構成を図3を参照して説明する。図3(a)は、
処理前キャリア搬送ロボットの一例の構成を示す一部省
略正面図であり、図3(b)は、その平面図である。
【0029】この処理前キャリア搬送ロボット3は、図
3に示すように、2個のキャリア支持機構31a、31
bと、各キャリア支持機構31a、31bの間隔を変位
させる(各キャリア支持機構31a、31bをX方向に
変位させる)リンク機構32と、各キャリア支持機構3
1a、31bとリンク機構32とを載置台1a、1bと
載置台2a、2bとの間で移動させる(Y方向の移動を
行う)Y方向移動機構33などで構成されている。
3に示すように、2個のキャリア支持機構31a、31
bと、各キャリア支持機構31a、31bの間隔を変位
させる(各キャリア支持機構31a、31bをX方向に
変位させる)リンク機構32と、各キャリア支持機構3
1a、31bとリンク機構32とを載置台1a、1bと
載置台2a、2bとの間で移動させる(Y方向の移動を
行う)Y方向移動機構33などで構成されている。
【0030】各キャリア支持機構31a、31bは、そ
れぞれ駆動部34と、駆動部34の上方に、Z方向に伸
縮自在で、かつ、回転自在に取り付けられた軸35と、
軸35の上部に取り付けられ、処理前キャリアPC1、
PC2の底部を支持する支持部36等で構成されてい
る。また、駆動部34は、軸35を回転させるモータ3
41と、そのモータ341が内設され、ガイドレール3
42に沿ってZ方向に昇降自在の昇降フレーム343
と、その昇降フレーム343をロッド344aの伸縮で
Z方向に昇降させて、軸35をZ方向に伸縮させるシリ
ンダ344とを備えている。なお、図では、キャリア支
持機構31bの構造を示しているが、キャリア支持機構
31aもキャリア支持機構31bと同様の構成を有す
る。
れぞれ駆動部34と、駆動部34の上方に、Z方向に伸
縮自在で、かつ、回転自在に取り付けられた軸35と、
軸35の上部に取り付けられ、処理前キャリアPC1、
PC2の底部を支持する支持部36等で構成されてい
る。また、駆動部34は、軸35を回転させるモータ3
41と、そのモータ341が内設され、ガイドレール3
42に沿ってZ方向に昇降自在の昇降フレーム343
と、その昇降フレーム343をロッド344aの伸縮で
Z方向に昇降させて、軸35をZ方向に伸縮させるシリ
ンダ344とを備えている。なお、図では、キャリア支
持機構31bの構造を示しているが、キャリア支持機構
31aもキャリア支持機構31bと同様の構成を有す
る。
【0031】また、各キャリア支持機構31a、31b
は、支持台37にX方向に沿って設けられたガイド軸3
8a、38bに摺動自在に支持されている。リンク機構
32は、各キャリア支持機構31a、31bに連結され
たリンク部材321と、一方のキャリア支持機構(図で
は、キャリア支持機構31a)をX方向に移動させるシ
リンダ322等で構成されている。すなわち、シリンダ
322のロッド322aを収縮・伸長させることによ
り、リンク部材321を介して各キャリア支持機構31
a、31bが接離し、これにより、各キャリア支持機構
31a、31bの間隔が変位される。なお、リンク部材
321やシリンダ322等は支持台37上に支持されて
いる。
は、支持台37にX方向に沿って設けられたガイド軸3
8a、38bに摺動自在に支持されている。リンク機構
32は、各キャリア支持機構31a、31bに連結され
たリンク部材321と、一方のキャリア支持機構(図で
は、キャリア支持機構31a)をX方向に移動させるシ
リンダ322等で構成されている。すなわち、シリンダ
322のロッド322aを収縮・伸長させることによ
り、リンク部材321を介して各キャリア支持機構31
a、31bが接離し、これにより、各キャリア支持機構
31a、31bの間隔が変位される。なお、リンク部材
321やシリンダ322等は支持台37上に支持されて
いる。
【0032】Y方向移動機構33は、支持台37をY方
向に移動させることにより、各キャリア支持機構31
a、31bとリンク機構32を、載置台1a、1bと載
置台2a、2bとの間で移動させる。このY方向移動機
構33は、例えば、コンベアやネジ軸駆動機構、あるい
は、Y方向に配置されたラックとピニオンとの組合わせ
からなる駆動機構などで構成されている。
向に移動させることにより、各キャリア支持機構31
a、31bとリンク機構32を、載置台1a、1bと載
置台2a、2bとの間で移動させる。このY方向移動機
構33は、例えば、コンベアやネジ軸駆動機構、あるい
は、Y方向に配置されたラックとピニオンとの組合わせ
からなる駆動機構などで構成されている。
【0033】次に、上述のような構成の処理前キャリア
搬送ロボット3の動作を説明する。まず、各キャリア支
持機構31a、31bは、間隔が広げられた状態で、載
置台1a、1bの下方に位置される。この状態で、各キ
ャリア支持機構31a、31bは軸35をZ方向に伸長
させ、載置台1a、1bに載置された各処理前キャリア
PC1、PC2を支持部36に支持させて持ち上げる。
そして、各キャリア支持機構31a、31bは軸35を
90°または−90°回転させ、支持部36に支持され
た各処理前キャリアPC1、PC2のUエンド面Uが外
に向き合うように、各処理前キャリアPC1、PC2の
Uエンド面Uの向きの転換を行う。そして、Y方向移動
機構33によって、各キャリア支持機構31a、31b
等を載置台2a、2b方向に移動させ、各キャリア支持
機構31a、31bに支持された各処理前キャリアPC
1、PC2を載置台1a、1bから載置台2a、2b方
向に移動させる。そして、リンク機構32によって、各
キャリア支持機構31a、31bの間隔を狭め、各キャ
リア支持機構31a、31bに支持された各処理前キャ
リアPC1、PC2のピッチをP1からP2に幅寄せ
し、各キャリア支持機構31a、31bは軸35をZ方
向に収縮させて、各処理前キャリアPC1、PC2を載
置台2a、2bに載置する。なお、各載置台1a、1
b、2a、2bは、図3に示すように、各キャリア支持
機構31a、31bの支持部36が通過できるような開
口が設けられている。
搬送ロボット3の動作を説明する。まず、各キャリア支
持機構31a、31bは、間隔が広げられた状態で、載
置台1a、1bの下方に位置される。この状態で、各キ
ャリア支持機構31a、31bは軸35をZ方向に伸長
させ、載置台1a、1bに載置された各処理前キャリア
PC1、PC2を支持部36に支持させて持ち上げる。
そして、各キャリア支持機構31a、31bは軸35を
90°または−90°回転させ、支持部36に支持され
た各処理前キャリアPC1、PC2のUエンド面Uが外
に向き合うように、各処理前キャリアPC1、PC2の
Uエンド面Uの向きの転換を行う。そして、Y方向移動
機構33によって、各キャリア支持機構31a、31b
等を載置台2a、2b方向に移動させ、各キャリア支持
機構31a、31bに支持された各処理前キャリアPC
1、PC2を載置台1a、1bから載置台2a、2b方
向に移動させる。そして、リンク機構32によって、各
キャリア支持機構31a、31bの間隔を狭め、各キャ
リア支持機構31a、31bに支持された各処理前キャ
リアPC1、PC2のピッチをP1からP2に幅寄せ
し、各キャリア支持機構31a、31bは軸35をZ方
向に収縮させて、各処理前キャリアPC1、PC2を載
置台2a、2bに載置する。なお、各載置台1a、1
b、2a、2bは、図3に示すように、各キャリア支持
機構31a、31bの支持部36が通過できるような開
口が設けられている。
【0034】また、各処理前キャリアPC1、PC2の
Uエンド面Uの向きの転換の際、処理前キャリアPC
1、PC2が互いに干渉する場合には、例えば、各キャ
リア支持機構31a、31bの軸35のZ方向の伸長の
ストロークを違え、一方の処理前キャリアを他方の処理
前キャリアの上方まで持ち上げて、各処理前キャリアP
C1、PC2のUエンド面Uの向きの転換を行うように
すればよい。
Uエンド面Uの向きの転換の際、処理前キャリアPC
1、PC2が互いに干渉する場合には、例えば、各キャ
リア支持機構31a、31bの軸35のZ方向の伸長の
ストロークを違え、一方の処理前キャリアを他方の処理
前キャリアの上方まで持ち上げて、各処理前キャリアP
C1、PC2のUエンド面Uの向きの転換を行うように
すればよい。
【0035】なお、図3の構成の処理前キャリア搬送ロ
ボットは、載置台1a、1b、2a、2bの下方から各
処理用キャリアPC1、PC2を持ち上げて支持するよ
うに構成したが、例えば、図4に示すように、載置台1
a、1b、2a、2bの上方から各処理用キャリアPC
1、PC2のツバTをハンガーで引っ掛けて支持し、各
処理用キャリアPC1、PC2を持ち上げて、搬送やU
エンド面Uの向きの転換、幅寄せを行うように構成され
たロボットで処理前キャリア搬送ロボット3を構成して
もよい。
ボットは、載置台1a、1b、2a、2bの下方から各
処理用キャリアPC1、PC2を持ち上げて支持するよ
うに構成したが、例えば、図4に示すように、載置台1
a、1b、2a、2bの上方から各処理用キャリアPC
1、PC2のツバTをハンガーで引っ掛けて支持し、各
処理用キャリアPC1、PC2を持ち上げて、搬送やU
エンド面Uの向きの転換、幅寄せを行うように構成され
たロボットで処理前キャリア搬送ロボット3を構成して
もよい。
【0036】図4(a)は、処理前キャリア搬送ロボッ
トの変形例の構成を示す正面図、図4(b)は、その平
面図である。図中、符号41は支持腕42をY方向に移
動させるY方向移動機構(図3のY方向移動機構33と
同様の構成)であり、符号43a、43bは支持腕42
の下方に、X方向に移動自在で、かつ、リンク機構(図
3のリンク機構32と同様の構成)44によって接離自
在に取り付けられた駆動部(図3の駆動部34と同様の
構成)、符号45a、45bは駆動部43a、43bに
Z方向に伸縮自在で、かつ、回転自在に取り付けられた
軸、符号46a、46bは軸45a、45bの先端部に
取り付けられた開閉駆動部、符号47a、47bは開閉
自在に開閉駆動部46a、46bに取り付けられたハン
ガーである。
トの変形例の構成を示す正面図、図4(b)は、その平
面図である。図中、符号41は支持腕42をY方向に移
動させるY方向移動機構(図3のY方向移動機構33と
同様の構成)であり、符号43a、43bは支持腕42
の下方に、X方向に移動自在で、かつ、リンク機構(図
3のリンク機構32と同様の構成)44によって接離自
在に取り付けられた駆動部(図3の駆動部34と同様の
構成)、符号45a、45bは駆動部43a、43bに
Z方向に伸縮自在で、かつ、回転自在に取り付けられた
軸、符号46a、46bは軸45a、45bの先端部に
取り付けられた開閉駆動部、符号47a、47bは開閉
自在に開閉駆動部46a、46bに取り付けられたハン
ガーである。
【0037】この構成のロボットでは、ハンガー47
a、47bの開閉で処理前キャリアPC1、PC2のツ
バTの支持とその解除を行い、軸45a、45bのZ方
向の伸縮により、ハンガー47a、47bで引っ掛けて
支持した処理前キャリアPC1、PC2の載置台1a、
1bからの持ち上げと載置台2a、2bへの載置を行
い、駆動部43a、43bの接離で、処理前キャリアP
C1、PC2のピッチの変更を行い、軸45a、45b
の回転で、処理前キャリアPC1、PC2のUエンド面
Uの向きの転換を行い、Y方向移動機構41による支持
腕42のY方向の移動で、処理前キャリアPC1、PC
2の載置台1a、1bから載置台2a、bへの搬送を行
う。
a、47bの開閉で処理前キャリアPC1、PC2のツ
バTの支持とその解除を行い、軸45a、45bのZ方
向の伸縮により、ハンガー47a、47bで引っ掛けて
支持した処理前キャリアPC1、PC2の載置台1a、
1bからの持ち上げと載置台2a、2bへの載置を行
い、駆動部43a、43bの接離で、処理前キャリアP
C1、PC2のピッチの変更を行い、軸45a、45b
の回転で、処理前キャリアPC1、PC2のUエンド面
Uの向きの転換を行い、Y方向移動機構41による支持
腕42のY方向の移動で、処理前キャリアPC1、PC
2の載置台1a、1bから載置台2a、bへの搬送を行
う。
【0038】また、図3、図4の処理前キャリア搬送ロ
ボット3は、2個の処理前キャリアPC1、PC2の搬
送等を同時に行うロボットで構成したが、例えば、図
5、図6に示すように、処理前キャリアPC1の搬送と
Uエンド面Uの転換と幅寄せのためのX方向の移動を行
うロボット3aと、処理前キャリアPC2の搬送とUエ
ンド面Uの転換と幅寄せのためのX方向の移動を行うロ
ボット3bを別個に設けて処理前キャリア搬送ロボット
3を構成し、各処理前キャリアPC1、PC2の搬送な
どを個別に行うようにしてもよい。
ボット3は、2個の処理前キャリアPC1、PC2の搬
送等を同時に行うロボットで構成したが、例えば、図
5、図6に示すように、処理前キャリアPC1の搬送と
Uエンド面Uの転換と幅寄せのためのX方向の移動を行
うロボット3aと、処理前キャリアPC2の搬送とUエ
ンド面Uの転換と幅寄せのためのX方向の移動を行うロ
ボット3bを別個に設けて処理前キャリア搬送ロボット
3を構成し、各処理前キャリアPC1、PC2の搬送な
どを個別に行うようにしてもよい。
【0039】なお、図5のロボット3aは図3における
キャリア支持機構31aと、キャリア支持機構31aの
みをY方向に移動させるY方向移動機構33a(図3の
Y方向移動機構33と同様の構成)と、Y方向移動機構
33aのみをX方向に移動させるX方向移動機構39a
(図3のY方向移動機構33と移動方向を違えた構成)
とで構成され、キャリア支持機構31aで処理前キャリ
アPC1を持ち上げ支持するとともに、Uエンド面Uの
向きの転換を行い、Y方向移動機構33aによるキャリ
ア支持機構31aのY方向の移動で処理前キャリアPC
1の載置台1aから載置台2aへの搬送を行い、X方向
移動機構39aによるY方向移動機構33aのX方向の
移動で幅寄せのための処理前キャリアPC1のX方向の
移動を行う。また、図5のロボット3bは、ロボット3
aと同様に、キャリア支持機構31bと、キャリア支持
機構31bのみをY方向に移動させるY方向移動機構3
3bと、Y方向移動機構33bのみをX方向に移動させ
るX方向移動機構39bとで構成され、処理前キャリア
PC2の搬送とUエンド面Uの転換と幅寄せのためのX
方向の移動を行う。
キャリア支持機構31aと、キャリア支持機構31aの
みをY方向に移動させるY方向移動機構33a(図3の
Y方向移動機構33と同様の構成)と、Y方向移動機構
33aのみをX方向に移動させるX方向移動機構39a
(図3のY方向移動機構33と移動方向を違えた構成)
とで構成され、キャリア支持機構31aで処理前キャリ
アPC1を持ち上げ支持するとともに、Uエンド面Uの
向きの転換を行い、Y方向移動機構33aによるキャリ
ア支持機構31aのY方向の移動で処理前キャリアPC
1の載置台1aから載置台2aへの搬送を行い、X方向
移動機構39aによるY方向移動機構33aのX方向の
移動で幅寄せのための処理前キャリアPC1のX方向の
移動を行う。また、図5のロボット3bは、ロボット3
aと同様に、キャリア支持機構31bと、キャリア支持
機構31bのみをY方向に移動させるY方向移動機構3
3bと、Y方向移動機構33bのみをX方向に移動させ
るX方向移動機構39bとで構成され、処理前キャリア
PC2の搬送とUエンド面Uの転換と幅寄せのためのX
方向の移動を行う。
【0040】図6では、図4のロボットを処理前キャリ
アPC1用とPC2用に分離し、また、各駆動部43
a、43bをそれぞれ支持腕42a、42bに沿ってX
方向に移動可能に構成した。各処理前キャリアPC1、
PC2の搬送とUエンド面Uの向きの転換はそれぞれ図
4のロボットと同様の動作で行われ、また、処理前キャ
リアPC1、PC2の幅寄せのための各キャリアPC
1、PC2のそれぞれのX方向の移動は、各駆動部43
a、43bのX方向の移動で行われる。
アPC1用とPC2用に分離し、また、各駆動部43
a、43bをそれぞれ支持腕42a、42bに沿ってX
方向に移動可能に構成した。各処理前キャリアPC1、
PC2の搬送とUエンド面Uの向きの転換はそれぞれ図
4のロボットと同様の動作で行われ、また、処理前キャ
リアPC1、PC2の幅寄せのための各キャリアPC
1、PC2のそれぞれのX方向の移動は、各駆動部43
a、43bのX方向の移動で行われる。
【0041】図1に戻って、載置台2a、2bに載置さ
れた各処理前キャリアPC1、PC2は、本発明におけ
るキャリア受渡し手段に相当するキャリア受渡しロボッ
ト9によって、本発明における処理前キャリア受取り部
に相当する載置台4に受け渡される。
れた各処理前キャリアPC1、PC2は、本発明におけ
るキャリア受渡し手段に相当するキャリア受渡しロボッ
ト9によって、本発明における処理前キャリア受取り部
に相当する載置台4に受け渡される。
【0042】このキャリア受渡しロボット9は、図1の
実線と二点鎖線との間でX方向に移動し、実線の位置
で、載置台2a、2bと載置台4との間の処理前キャリ
アPC1、PC2の受渡しを行うとともに、二点鎖線の
位置で、後述するように、載置台5と載置台6a、6b
との間の処理後キャリアの受渡しを行う。
実線と二点鎖線との間でX方向に移動し、実線の位置
で、載置台2a、2bと載置台4との間の処理前キャリ
アPC1、PC2の受渡しを行うとともに、二点鎖線の
位置で、後述するように、載置台5と載置台6a、6b
との間の処理後キャリアの受渡しを行う。
【0043】このキャリア受渡しロボット9の一例の構
成を図7を参照して説明する。図7(a)は、キャリア
受渡しロボットの一例の構成を示す正面図であり、図7
(b)は、その平面図である。
成を図7を参照して説明する。図7(a)は、キャリア
受渡しロボットの一例の構成を示す正面図であり、図7
(b)は、その平面図である。
【0044】このキャリア受渡しロボット9は、図7に
示すように、基台91に多関節型のアーム92を設け、
アーム92の先端に、2個の搬送用キャリアCのツバT
を同時に引っ掛けて支持する支持部材93を設けて構成
されている。また、基台91は、X方向移動機構94に
よって、図7の実線と二点鎖線で示す位置の間をX方向
に移動される。
示すように、基台91に多関節型のアーム92を設け、
アーム92の先端に、2個の搬送用キャリアCのツバT
を同時に引っ掛けて支持する支持部材93を設けて構成
されている。また、基台91は、X方向移動機構94に
よって、図7の実線と二点鎖線で示す位置の間をX方向
に移動される。
【0045】このロボットによれば、例えば、処理前キ
ャリアPC1、PC2の受渡しの際には、X方向移動機
構94によって基台91を図1の実線の位置に移動さ
せ、そこで、アーム92の伸縮動作と、アーム92の基
台91に対する揺動動作とにより、開いた状態の支持部
材93を、載置台2a、2bに載置された2個の処理前
キャリアPC1、PC2の上方より、各キャリアPC
1、PC2の側方に移動させ、各キャリアPC1、PC
2を挟む状態にして、支持部材93を閉じる。そして、
アーム92の基台91に対する揺動動作により、各キャ
リアPC1、PC2を、それぞれのツバTを支持部材9
3で引っ掛けて持ち上げ、半円を描くように各キャリア
PC1、PC2を載置台4に移動させる。そして、上述
と逆の動作で、支持部材93による各キャリアPC1、
PC2の支持を解除する。
ャリアPC1、PC2の受渡しの際には、X方向移動機
構94によって基台91を図1の実線の位置に移動さ
せ、そこで、アーム92の伸縮動作と、アーム92の基
台91に対する揺動動作とにより、開いた状態の支持部
材93を、載置台2a、2bに載置された2個の処理前
キャリアPC1、PC2の上方より、各キャリアPC
1、PC2の側方に移動させ、各キャリアPC1、PC
2を挟む状態にして、支持部材93を閉じる。そして、
アーム92の基台91に対する揺動動作により、各キャ
リアPC1、PC2を、それぞれのツバTを支持部材9
3で引っ掛けて持ち上げ、半円を描くように各キャリア
PC1、PC2を載置台4に移動させる。そして、上述
と逆の動作で、支持部材93による各キャリアPC1、
PC2の支持を解除する。
【0046】また、処理後キャリアの受渡しの際には、
X方向移動機構94によって基台91を図1の二点鎖線
の位置に移動させ、そこで、上述と同様の動作により、
載置台5と載置台6a、6bとの間の処理後キャリアの
受渡しを行う。
X方向移動機構94によって基台91を図1の二点鎖線
の位置に移動させ、そこで、上述と同様の動作により、
載置台5と載置台6a、6bとの間の処理後キャリアの
受渡しを行う。
【0047】図1に戻って、処理前キャリアPC1、P
C2が載置台4に載置された状態で、処理前キャリアP
C1、PC2の搬入は完了する。載置台4に載置された
処理前キャリアPC1、PC2は、装置10内に設けら
れた図示しない搬送機構によって、装置10内の図示し
ない基板処理部に搬送されていく。そして、各処理前キ
ャリアPC1、PC2に収納された未処理基板に対して
所定の基板処理が施された後、処理済基板を収納した処
理後キャリアが2個、装置10内の図示しない搬送機構
で、本発明における処理後キャリア引渡し部に相当する
載置台5に載置され、処理後キャリアEC1、EC2の
搬出が開始される。
C2が載置台4に載置された状態で、処理前キャリアP
C1、PC2の搬入は完了する。載置台4に載置された
処理前キャリアPC1、PC2は、装置10内に設けら
れた図示しない搬送機構によって、装置10内の図示し
ない基板処理部に搬送されていく。そして、各処理前キ
ャリアPC1、PC2に収納された未処理基板に対して
所定の基板処理が施された後、処理済基板を収納した処
理後キャリアが2個、装置10内の図示しない搬送機構
で、本発明における処理後キャリア引渡し部に相当する
載置台5に載置され、処理後キャリアEC1、EC2の
搬出が開始される。
【0048】処理後キャリアEC1、EC2の搬出は、
キャリア受渡しロボット9による載置台5から、本発明
における処理後キャリア受渡し位置を構成する載置台6
a、6bへの処理後キャリアEC1、EC2の受渡し
と、本発明における処理後キャリア搬送手段に相当する
処理後キャリア搬送ロボット8による載置台6a、6b
から、本発明における搬出ステージを構成する載置台7
a、7bへの処理後キャリアEC1、EC2の搬送によ
り行われる。
キャリア受渡しロボット9による載置台5から、本発明
における処理後キャリア受渡し位置を構成する載置台6
a、6bへの処理後キャリアEC1、EC2の受渡し
と、本発明における処理後キャリア搬送手段に相当する
処理後キャリア搬送ロボット8による載置台6a、6b
から、本発明における搬出ステージを構成する載置台7
a、7bへの処理後キャリアEC1、EC2の搬送によ
り行われる。
【0049】この搬出は、上述した搬入と逆の手順で行
われるので、その詳述は省略する。なお、処理後キャリ
ア搬送ロボット8は、上述した処理前キャリア搬送ロボ
ット3と同様の構成である。また、各処理後キャリアE
C1、EC2はピッチをP2にして載置台5に載置され
るが、これを、AGVが取り扱えるピッチP1に広げる
ために、載置台6a、6bのピッチをP2、載置台7
a、7bのピッチをP1にし、処理後キャリア搬送ロボ
ット8によって、このピッチの変換を行う。
われるので、その詳述は省略する。なお、処理後キャリ
ア搬送ロボット8は、上述した処理前キャリア搬送ロボ
ット3と同様の構成である。また、各処理後キャリアE
C1、EC2はピッチをP2にして載置台5に載置され
るが、これを、AGVが取り扱えるピッチP1に広げる
ために、載置台6a、6bのピッチをP2、載置台7
a、7bのピッチをP1にし、処理後キャリア搬送ロボ
ット8によって、このピッチの変換を行う。
【0050】さらに、互いのUエンド面Uが外に向け合
った状態で載置台5に載置された各処理後キャリアEC
1、EC2のUエンド面Uを、載置台7a、7bでは、
AGVで搬送できるように、装置10と反対側を向ける
ように、Uエンド面Uの向きの転換が行われるが、この
Uエンド面Uの向きの転換も処理後キャリア搬送ロボッ
ト8によって行われる。
った状態で載置台5に載置された各処理後キャリアEC
1、EC2のUエンド面Uを、載置台7a、7bでは、
AGVで搬送できるように、装置10と反対側を向ける
ように、Uエンド面Uの向きの転換が行われるが、この
Uエンド面Uの向きの転換も処理後キャリア搬送ロボッ
ト8によって行われる。
【0051】そして、ピッチをP1にし、Uエンド面U
を装置10と反対側に向けて載置台7a、7bに載置さ
れた処理後キャリアEC1、EC2は、AGVに引き渡
され(または、作業者により取り出され)、後工程の基
板処理装置に搬送される。
を装置10と反対側に向けて載置台7a、7bに載置さ
れた処理後キャリアEC1、EC2は、AGVに引き渡
され(または、作業者により取り出され)、後工程の基
板処理装置に搬送される。
【0052】なお、上述した実施例では、処理前キャリ
ア搬送ロボット3と処理後キャリア搬送ロボット8とを
別個に設けたが、例えば、図8、図9に示すように、処
理前キャリアPC1、PC2、処理後キャリアEC1、
EC2の各搬送とUエンド面Uの向きの転換とピッチの
変換とを、1台のロボットで行い、このロボットで処理
前キャリア搬送手段と処理後キャリア搬送手段とを構成
してもよい。
ア搬送ロボット3と処理後キャリア搬送ロボット8とを
別個に設けたが、例えば、図8、図9に示すように、処
理前キャリアPC1、PC2、処理後キャリアEC1、
EC2の各搬送とUエンド面Uの向きの転換とピッチの
変換とを、1台のロボットで行い、このロボットで処理
前キャリア搬送手段と処理後キャリア搬送手段とを構成
してもよい。
【0053】図8(a)では、図3に示すロボットのY
方向移動機構33をX方向に移動させるX方向移動機構
39を設け、処理前キャリアPC1、PC2の搬入ライ
ンINLと、処理後キャリアEC1、EC2の搬出ライ
ンOUTLとの間で、ロボットを移動させるように構成
したものである。
方向移動機構33をX方向に移動させるX方向移動機構
39を設け、処理前キャリアPC1、PC2の搬入ライ
ンINLと、処理後キャリアEC1、EC2の搬出ライ
ンOUTLとの間で、ロボットを移動させるように構成
したものである。
【0054】また、図8(b)では、図5に示す1個の
搬送用キャリア(処理前キャリア、処理後キャリア)の
搬送等を行うためのロボット3aのX方向移動機構39
aのX方向の移動範囲を、処理前キャリアPC1の搬入
ラインINL1と、処理後キャリアEC2の搬出ライン
OUTL2との間で行えるように構成したものである。
搬送用キャリア(処理前キャリア、処理後キャリア)の
搬送等を行うためのロボット3aのX方向移動機構39
aのX方向の移動範囲を、処理前キャリアPC1の搬入
ラインINL1と、処理後キャリアEC2の搬出ライン
OUTL2との間で行えるように構成したものである。
【0055】また、図9(a)では、図4に示すロボッ
トの支持腕42を長くし、その支持腕42のY方向移動
機構41と反対側の端部を、図示しない装置フレームに
固定され、Y方向に沿って配置されたガイド軸50に摺
動自在にガイドさせ、各駆動部43a、43bを、支持
腕42に沿ってX方向に移動自在に構成されたX方向移
動部材51に取り付け、前記搬入ラインINLと前記搬
出ラインOUTLとの間で、各駆動部43a、43b等
を移動させるように構成したものである。
トの支持腕42を長くし、その支持腕42のY方向移動
機構41と反対側の端部を、図示しない装置フレームに
固定され、Y方向に沿って配置されたガイド軸50に摺
動自在にガイドさせ、各駆動部43a、43bを、支持
腕42に沿ってX方向に移動自在に構成されたX方向移
動部材51に取り付け、前記搬入ラインINLと前記搬
出ラインOUTLとの間で、各駆動部43a、43b等
を移動させるように構成したものである。
【0056】また、図9(b)では、図6に示す1個の
搬送用キャリア(処理前キャリア、処理後キャリア)の
搬送等を行うためのロボットの支持腕42を長くし、そ
の支持腕42のY方向移動機構41と反対側の端部を、
図示しない装置フレームに固定されたガイド軸50に摺
動自在にガイドさせ、各駆動部43a等のX方向の移動
範囲を、前記搬入ラインINL1と前記搬出ラインOU
TL2との間で行えるように構成したものである。
搬送用キャリア(処理前キャリア、処理後キャリア)の
搬送等を行うためのロボットの支持腕42を長くし、そ
の支持腕42のY方向移動機構41と反対側の端部を、
図示しない装置フレームに固定されたガイド軸50に摺
動自在にガイドさせ、各駆動部43a等のX方向の移動
範囲を、前記搬入ラインINL1と前記搬出ラインOU
TL2との間で行えるように構成したものである。
【0057】上述したように本実施例によれば、載置台
2a、2b(処理前キャリア受渡し部)と載置台4(処
理前キャリア受取り部)と、それとは別個に載置台5
(処理後キャリア引渡し部)と載置台6a、6b(処理
後キャリア受渡し部)を設けたので、従来例のように、
処理前キャリアの搬入のための受渡しまたは、処理後キ
ャリアの搬出のための受渡し等によって、いずれかのキ
ャリアが処理前キャリアと処理後キャリアの受渡しのた
めの場所を占有することがなくなり、搬送用キャリアの
搬入・搬出がスムーズに行え、搬入・搬出処理のスルー
プットを向上させることができる。
2a、2b(処理前キャリア受渡し部)と載置台4(処
理前キャリア受取り部)と、それとは別個に載置台5
(処理後キャリア引渡し部)と載置台6a、6b(処理
後キャリア受渡し部)を設けたので、従来例のように、
処理前キャリアの搬入のための受渡しまたは、処理後キ
ャリアの搬出のための受渡し等によって、いずれかのキ
ャリアが処理前キャリアと処理後キャリアの受渡しのた
めの場所を占有することがなくなり、搬送用キャリアの
搬入・搬出がスムーズに行え、搬入・搬出処理のスルー
プットを向上させることができる。
【0058】また、上述の実施例では、処理前キャリア
の受渡しと処理後キャリアの受渡しを1台のキャリア受
渡しロボット9によって行うように構成した関係上、処
理前キャリアの受渡しと処理後キャリアの受渡しとを同
時に行えず、そのために、搬入・搬出に処理待ちが起こ
ることが考えられる。しかし、キャリア受渡しロボット
9による搬送用キャリアの受渡し処理時間はわずかであ
り、キャリア受渡しロボット9が解放されるまでの待ち
時間は、いずれかのキャリアが処理前キャリアと処理後
キャリアの受渡しのための場所を占有し、その占有が解
放されて別のキャリアの受渡しが行えるようになるまで
の待ち時間に比べると、わずかなものである。従って、
キャリア受渡しロボット9の解放の処理待ちがあって
も、搬入・搬出処理のスループットが大幅に低下するこ
とがない。
の受渡しと処理後キャリアの受渡しを1台のキャリア受
渡しロボット9によって行うように構成した関係上、処
理前キャリアの受渡しと処理後キャリアの受渡しとを同
時に行えず、そのために、搬入・搬出に処理待ちが起こ
ることが考えられる。しかし、キャリア受渡しロボット
9による搬送用キャリアの受渡し処理時間はわずかであ
り、キャリア受渡しロボット9が解放されるまでの待ち
時間は、いずれかのキャリアが処理前キャリアと処理後
キャリアの受渡しのための場所を占有し、その占有が解
放されて別のキャリアの受渡しが行えるようになるまで
の待ち時間に比べると、わずかなものである。従って、
キャリア受渡しロボット9の解放の処理待ちがあって
も、搬入・搬出処理のスループットが大幅に低下するこ
とがない。
【0059】もっとも、図10に示すように、図7に示
した基台91、多関節型のアーム92、支持部材93か
らなるロボット9a、9b(本発明における処理前キャ
リア受渡し手段と処理後キャリア受渡し手段に相当す
る)を、載置台2a、2bと載置台4の間および載置5
と載置台6a、6bの間にそれぞれ設け、載置台2a、
2bと載置台4との間の処理前キャリアPC1、PC2
の受渡しと、載置台5と載置台6a、6bとの間の処理
後キャリアEC1、EC2の受渡しとを独立して行うよ
うに構成すれば、搬入と搬出とをそれぞれ独立に行うこ
とができ、搬入・搬出処理のスループットを一層向上さ
せることができる。
した基台91、多関節型のアーム92、支持部材93か
らなるロボット9a、9b(本発明における処理前キャ
リア受渡し手段と処理後キャリア受渡し手段に相当す
る)を、載置台2a、2bと載置台4の間および載置5
と載置台6a、6bの間にそれぞれ設け、載置台2a、
2bと載置台4との間の処理前キャリアPC1、PC2
の受渡しと、載置台5と載置台6a、6bとの間の処理
後キャリアEC1、EC2の受渡しとを独立して行うよ
うに構成すれば、搬入と搬出とをそれぞれ独立に行うこ
とができ、搬入・搬出処理のスループットを一層向上さ
せることができる。
【0060】また、同様に、載置台1a、1bから載置
台2a、2bへの処理前キャリアPC1、PC2の搬送
と、載置台6a、6bから載置台7a、7bへの処理後
キャリアEC1、EC2の搬送についても、搬入・搬出
処理のスループットの点からは、上記図8、図9のよう
に1台のロボットで共用するよりは、図1(図3ないし
図6参照)のようにそれぞれ独立して行えるように構成
する方が好ましい。
台2a、2bへの処理前キャリアPC1、PC2の搬送
と、載置台6a、6bから載置台7a、7bへの処理後
キャリアEC1、EC2の搬送についても、搬入・搬出
処理のスループットの点からは、上記図8、図9のよう
に1台のロボットで共用するよりは、図1(図3ないし
図6参照)のようにそれぞれ独立して行えるように構成
する方が好ましい。
【0061】また、図1に示すように、本実施例では、
載置台1a、1b(搬入ステージ)、載置台2a、2b
(処理前キャリア受渡し部)、載置台4(処理前キャリ
ア受取り部)が一直線上に並べられ、載置台7a、7b
(搬出ステージ)、載置台6a、6b(処理後キャリア
受渡し部)、載置台5(処理後キャリア引渡し部)が一
直線上に並べられて、これらが並設されるように各載置
台が配置されるので、各載置台のレイアウトの幅Wと奥
行きDとのアンバランスが、従来装置に比べて改善さ
れ、各載置台が占有する床の面積利用効率を改善するこ
とができる。
載置台1a、1b(搬入ステージ)、載置台2a、2b
(処理前キャリア受渡し部)、載置台4(処理前キャリ
ア受取り部)が一直線上に並べられ、載置台7a、7b
(搬出ステージ)、載置台6a、6b(処理後キャリア
受渡し部)、載置台5(処理後キャリア引渡し部)が一
直線上に並べられて、これらが並設されるように各載置
台が配置されるので、各載置台のレイアウトの幅Wと奥
行きDとのアンバランスが、従来装置に比べて改善さ
れ、各載置台が占有する床の面積利用効率を改善するこ
とができる。
【0062】次に、本発明の第2実施例の構成を図11
を参照して説明する。図11は、第2実施例装置の概略
構成を示す図である。
を参照して説明する。図11は、第2実施例装置の概略
構成を示す図である。
【0063】この第2実施例装置は、そのレイアウトを
載置台1a、1b、2a、2b、6a、6b、7a、7
bを一直線上に配置したもので、それ以外は、第1実施
例と基本的には同様の構成であるので、構成の詳述は省
略する。
載置台1a、1b、2a、2b、6a、6b、7a、7
bを一直線上に配置したもので、それ以外は、第1実施
例と基本的には同様の構成であるので、構成の詳述は省
略する。
【0064】なお、処理前キャリア搬送ロボット3と処
理後キャリア搬送ロボット8は、第1実施例のロボット
(図3ないし図6参照)のY方向の移動をX方向の移動
に替えたこと以外は基本的に同じであるので、その詳述
は省略する。
理後キャリア搬送ロボット8は、第1実施例のロボット
(図3ないし図6参照)のY方向の移動をX方向の移動
に替えたこと以外は基本的に同じであるので、その詳述
は省略する。
【0065】また、本実施例においても、図8、図9の
ように、載置台1a、1bから載置台2a、2bへの処
理前キャリアPC1、PC2の搬送と、載置台6a、6
bから載置台7a、7bへの処理後キャリアEC1、E
C2の搬送を1台のロボットで行い、処理前キャリア搬
送ロボット3と処理後キャリア搬送ロボット8を兼用す
ることも可能であるが、搬入・搬出処理のスループット
の点からは、これら各搬送を別個のロボットで行うよう
に構成する方が好ましい。
ように、載置台1a、1bから載置台2a、2bへの処
理前キャリアPC1、PC2の搬送と、載置台6a、6
bから載置台7a、7bへの処理後キャリアEC1、E
C2の搬送を1台のロボットで行い、処理前キャリア搬
送ロボット3と処理後キャリア搬送ロボット8を兼用す
ることも可能であるが、搬入・搬出処理のスループット
の点からは、これら各搬送を別個のロボットで行うよう
に構成する方が好ましい。
【0066】さらに、本実施例においても、キャリア受
渡しロボット9を、図7に示すように、処理前キャリア
PC1、PC2の受渡しと処理後キャリアEC1、EC
2の受渡しとを兼用で行うように構成してもよいが、搬
入・搬出処理のスループットの点からは、図10で説明
したようにこれら各受渡しを別個のロボットで行うよう
に構成する方が好ましい。
渡しロボット9を、図7に示すように、処理前キャリア
PC1、PC2の受渡しと処理後キャリアEC1、EC
2の受渡しとを兼用で行うように構成してもよいが、搬
入・搬出処理のスループットの点からは、図10で説明
したようにこれら各受渡しを別個のロボットで行うよう
に構成する方が好ましい。
【0067】本実施例装置によれば、載置台1a、1
b、2a、2b、6a、6b、7a、7bを一直線上に
配置しているので、これら載置台1a、1b、2a、2
b、6a、6b、7a、7bが占有する床の面積利用効
率は、第1実施例装置に比べて悪くなるが、搬入・搬出
処理のスループットは従来例よりも向上させることがで
きる。
b、2a、2b、6a、6b、7a、7bを一直線上に
配置しているので、これら載置台1a、1b、2a、2
b、6a、6b、7a、7bが占有する床の面積利用効
率は、第1実施例装置に比べて悪くなるが、搬入・搬出
処理のスループットは従来例よりも向上させることがで
きる。
【0068】なお、上述の各実施例では、2個の搬送用
キャリアCを一単位として搬入・搬出する装置を例に採
り説明したが、本発明は、1個の搬送用キャリアCを一
単位として搬入・搬出する装置や3個以上の搬送用キャ
リアCを一単位として搬入・搬出する装置等にも同様に
適用することができる。
キャリアCを一単位として搬入・搬出する装置を例に採
り説明したが、本発明は、1個の搬送用キャリアCを一
単位として搬入・搬出する装置や3個以上の搬送用キャ
リアCを一単位として搬入・搬出する装置等にも同様に
適用することができる。
【0069】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
1に記載の発明によれば、キャリアの搬入専用の処理前
キャリア受渡し部と処理前キャリア受取り部、および、
キャリアの搬出専用の処理後キャリア受渡し部と処理後
キャリア引渡し部を設けたので、かかる部分でのキャリ
アの搬入と搬出とが競合しても、キャリアの搬入と搬出
とをスムーズに行うことができ、キャリアの搬入・搬出
処理のスループットを向上させることができる。
1に記載の発明によれば、キャリアの搬入専用の処理前
キャリア受渡し部と処理前キャリア受取り部、および、
キャリアの搬出専用の処理後キャリア受渡し部と処理後
キャリア引渡し部を設けたので、かかる部分でのキャリ
アの搬入と搬出とが競合しても、キャリアの搬入と搬出
とをスムーズに行うことができ、キャリアの搬入・搬出
処理のスループットを向上させることができる。
【0070】また、請求項2に記載の発明によれば、搬
入ステージ、処理前キャリア受渡し部、処理前キャリア
受取り部が略一直線上に並べられ、搬出ステージ、処理
後キャリア受渡し部、処理後キャリア引渡し部が略一直
線上に並べられて、これらが並設されるように各ステー
ジ、各部が配置されるので、各ステージ、各部のレイア
ウトの幅と奥行きとのバランスが良くなり、各ステー
ジ、各部が占有する床の面積利用効率を改善することが
でき、クリーンルームの利用率の向上を図ることができ
る。
入ステージ、処理前キャリア受渡し部、処理前キャリア
受取り部が略一直線上に並べられ、搬出ステージ、処理
後キャリア受渡し部、処理後キャリア引渡し部が略一直
線上に並べられて、これらが並設されるように各ステー
ジ、各部が配置されるので、各ステージ、各部のレイア
ウトの幅と奥行きとのバランスが良くなり、各ステー
ジ、各部が占有する床の面積利用効率を改善することが
でき、クリーンルームの利用率の向上を図ることができ
る。
【0071】また、請求項3に記載の発明によれば、処
理前キャリア受渡し部と処理前キャリア受取り部との間
の処理前キャリアの受渡しを行う処理前キャリア受渡し
手段と、処理後キャリア引渡し部と処理後キャリア受渡
し部との間の処理後キャリアの受渡しを行う処理後キャ
リア受渡し手段とを設け、搬入と搬出の各受渡しを別個
に行なえるように構成したので、キャリアの搬入と搬出
とを完全に独立して行うことができ、キャリアの搬入・
搬出処理のスループットを一層向上させることができ
る。
理前キャリア受渡し部と処理前キャリア受取り部との間
の処理前キャリアの受渡しを行う処理前キャリア受渡し
手段と、処理後キャリア引渡し部と処理後キャリア受渡
し部との間の処理後キャリアの受渡しを行う処理後キャ
リア受渡し手段とを設け、搬入と搬出の各受渡しを別個
に行なえるように構成したので、キャリアの搬入と搬出
とを完全に独立して行うことができ、キャリアの搬入・
搬出処理のスループットを一層向上させることができ
る。
【図1】本発明の第1実施例に係る基板処理装置のキャ
リア搬入・搬出装置の概略構成を示す図である。
リア搬入・搬出装置の概略構成を示す図である。
【図2】搬送用キャリアの構成を示す斜視図である。
【図3】処理前キャリア搬送ロボットの一例の構成を示
す図である。
す図である。
【図4】処理前キャリア搬送ロボットの変形例の構成を
示す図である。
示す図である。
【図5】処理前キャリア搬送ロボットの変形例の構成を
示す図である。
示す図である。
【図6】処理前キャリア搬送ロボットの変形例の構成を
示す図である。
示す図である。
【図7】キャリア受渡しロボットの一例の構成を示す図
である。
である。
【図8】処理前キャリア搬送ロボットの変形例の構成を
示す図である。
示す図である。
【図9】処理前キャリア搬送ロボットの変形例の構成を
示す図である。
示す図である。
【図10】第1実施例装置の変形例の概略構成を示す図
である。
である。
【図11】第2実施例装置の概略構成を示す図である。
1a、1b … 載置台(搬入ステージ) 2a、2b … 載置台(処理前キャリア受渡し部) 3 … 処理前キャリア搬送ロボット(処理前キャリア
搬送手段) 4 … 載置台(処理前キャリア受取り部) 5 … 載置台(処理後キャリア引渡し部) 6a、6b … 載置台(処理後キャリア受渡し部) 7a、7b … 載置台(搬出ステージ) 8 … 処理後キャリア搬送ロボット(処理後キャリア
搬送手段) 9 … キャリア受渡しロボット(キャリア受渡し手
段) 9a … 処理前キャリア受渡し用のロボット(処理前
キャリア受渡し手段) 9b … 処理後キャリア受渡し用のロボット(処理後
キャリア受渡し手段) 10 … 基板処理装置 PC1、PC2 … 処理前キャリア EC1、EC2 … 処理後キャリア
搬送手段) 4 … 載置台(処理前キャリア受取り部) 5 … 載置台(処理後キャリア引渡し部) 6a、6b … 載置台(処理後キャリア受渡し部) 7a、7b … 載置台(搬出ステージ) 8 … 処理後キャリア搬送ロボット(処理後キャリア
搬送手段) 9 … キャリア受渡しロボット(キャリア受渡し手
段) 9a … 処理前キャリア受渡し用のロボット(処理前
キャリア受渡し手段) 9b … 処理後キャリア受渡し用のロボット(処理後
キャリア受渡し手段) 10 … 基板処理装置 PC1、PC2 … 処理前キャリア EC1、EC2 … 処理後キャリア
Claims (3)
- 【請求項1】 基板処理装置の一側面において、複数枚
の未処理基板が収納された搬送用キャリア(以下、この
搬送用キャリアを「処理前キャリア」という)を前記装
置外から前記装置内に搬入するとともに、複数枚の処理
済基板が収納された搬送用キャリア(以下、この搬送用
キャリアを「処理後キャリア」という)を前記装置内か
ら前記装置外に搬出する基板処理装置のキャリア搬入・
搬出装置において、 前記処理前キャリアを前記装置外から受け取るための搬
入ステージと、 前記搬入ステージで受け取った処理前キャリアを前記装
置内に受け渡すための処理前キャリア受渡し部と、 前記装置内に設けられ、前記処理前キャリア受渡し部の
処理前キャリアを受け取るための処理前キャリア受取り
部と、 前記装置内に設けられ、前記処理後キャリアを搬出する
ための処理後キャリア引渡し部と、 前記処理後キャリア引渡し部の処理後キャリアを受け取
るための処理後キャリア受渡し部と、 前記処理後キャリア受渡し部の処理後キャリアを前記装
置外に引き渡すための搬出ステージと、 前記処理前キャリアを、前記搬入ステージから前記処理
前キャリア受渡し部に搬送する処理前キャリア搬送手段
と、 前記処理後キャリアを、前記処理後キャリア受渡し部か
ら前記搬出ステージに搬送する処理後キャリア搬送手段
と、 前記処理前キャリア受渡し部と前記処理前キャリア受取
り部との間の前記処理前キャリアの受渡しと、前記処理
後キャリア引渡し部と前記処理後キャリア受渡し部との
間の前記処理後キャリアの受渡しとを行うキャリア受渡
し手段と、 を備えたことを特徴とする基板処理装置のキャリア搬入
・搬出装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の基板処理装置のキャリ
ア搬入・搬出装置において、 前記搬入ステージから前記処理前キャリア受渡し部への
処理前キャリアの搬送方向が、前記処理前キャリア受渡
し部と前記処理前キャリア受取り部との間の処理前キャ
リアの受渡し方向に略平行になるように、前記搬入ステ
ージと前記処理前キャリア受渡し部とを配置し、 前記処理後キャリア受渡し部から前記搬出ステージへの
処理後キャリアの搬送方向が、前記処理後キャリア引渡
し部と前記処理後キャリア受渡し部との間の処理後キャ
リアの受渡し方向に略平行になるように、前記処理後キ
ャリア受渡し部と前記搬出ステージとを配置するととも
に、 前記搬入ステージと前記処理前キャリア受渡し部との並
びと、前記処理後キャリア受渡し部と前記搬出ステージ
との並びとを並設させるように、前記各ステージ、各部
を配置したことを特徴とする基板処理装置のキャリア搬
入・搬出装置。 - 【請求項3】 請求項1または2のいずれかに記載の基
板処理装置のキャリア搬入・搬出装置において、 前記処理前キャリア受渡し部と前記処理前キャリア受取
り部との間の前記処理前キャリアの受渡しを行う処理前
キャリア受渡し手段と、前記処理後キャリア引渡し部と
前記処理後キャリア受渡し部との間の前記処理後キャリ
アの受渡しを行う処理後キャリア受渡し手段とで、前記
キャリア受渡し手段を構成したことを特徴とする基板処
理装置のキャリア搬入・搬出装置。
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---|---|---|---|
JP28407894A JP3202137B2 (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | 基板処理装置のキャリア搬入・搬出装置 |
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JP2001125999A Division JP2001358200A (ja) | 2001-04-24 | 2001-04-24 | 基板処理装置のキャリア搬入・搬出装置 |
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JP28407894A Expired - Fee Related JP3202137B2 (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | 基板処理装置のキャリア搬入・搬出装置 |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001520803A (ja) * | 1997-04-14 | 2001-10-30 | アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド | 一貫生産型のベイ内バッファ・デリベリ・ストッカシステム |
JP2006080485A (ja) * | 2004-08-12 | 2006-03-23 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理システム、基板処理方法、密閉容器保管装置、プログラム、及び記憶媒体 |
WO2007004551A1 (ja) * | 2005-07-01 | 2007-01-11 | Rorze Corporation | コンテナ搬送装置及びコンテナ搬送システム |
KR101134884B1 (ko) * | 2003-04-03 | 2012-04-13 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 세정 모듈들 사이에서 반도체 기판의 수직 이송 방법 및장치 |
-
1994
- 1994-10-24 JP JP28407894A patent/JP3202137B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JPWO2007004551A1 (ja) * | 2005-07-01 | 2009-01-29 | ローツェ株式会社 | コンテナ搬送装置及びコンテナ搬送システム |
JP4615015B2 (ja) * | 2005-07-01 | 2011-01-19 | ローツェ株式会社 | コンテナ搬送システム |
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---|---|
JP3202137B2 (ja) | 2001-08-27 |
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