JPWO2006016584A1 - 光学特性計測装置及び光学特性計測方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
光学特性計測装置及び光学特性計測方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2006016584A1 JPWO2006016584A1 JP2006531656A JP2006531656A JPWO2006016584A1 JP WO2006016584 A1 JPWO2006016584 A1 JP WO2006016584A1 JP 2006531656 A JP2006531656 A JP 2006531656A JP 2006531656 A JP2006531656 A JP 2006531656A JP WO2006016584 A1 JPWO2006016584 A1 JP WO2006016584A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- optical system
- light
- illumination
- optical characteristic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/7085—Detection arrangement, e.g. detectors of apparatus alignment possibly mounted on wafers, exposure dose, photo-cleaning flux, stray light, thermal load
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
- G03F7/70133—Measurement of illumination distribution, in pupil plane or field plane
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
- G03F7/70141—Illumination system adjustment, e.g. adjustments during exposure or alignment during assembly of illumination system
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70258—Projection system adjustments, e.g. adjustments during exposure or alignment during assembly of projection system
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/7055—Exposure light control in all parts of the microlithographic apparatus, e.g. pulse length control or light interruption
- G03F7/70566—Polarisation control
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70591—Testing optical components
- G03F7/706—Aberration measurement
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
Description
Claims (26)
- 被検光学系の光学特性を計測する光学特性計測装置であって、
前記被検光学系を介した光が入射する入射光学系と;
前記被検光学系の光学特性のうち、第1の光学特性を計測するために、前記入射光学系に入射した前記光を第1計測光に変換する第1の光学系と、前記被検光学系の光学特性のうち、第2の光学特性を計測するために、前記入射光学系に入射した前記光を第2計測光に変換する第2の光学系とを有する光学ユニットと;
前記第1計測光及び前記第2計測光の少なくとも一方を受光する受光器と;を備える光学特性計測装置。 - 請求項1に記載の光学特性計測装置において、
前記被検光学系を介した光の光路上に、前記第1の光学系及び前記第2の光学系のいずれかを択一的に配置する配置装置をさらに備える光学特性計測装置。 - 請求項2に記載の光学特性計測装置において、
前記受光器は、前記配置装置によって、前記被検光学系を介した光の光路上に前記第1の光学系が配置された際には、前記第1計測光を受光し、前記配置装置によって、前記被検光学系を介した光の光路上に前記第2の光学系が配置された際には、前記第2計測光を受光することを特徴とする光学特性計測装置。 - 請求項3に記載の光学特性計測装置において、
前記受光器の受光結果に基づいて、前記被検光学系の第1の光学特性に関する情報及び前記被検光学系の第2の光学特性に関する情報のいずれかを算出する算出装置をさらに備える光学特性計測装置。 - 請求項4に記載の光学特性計測装置において、
前記算出装置は、
前記第1の光学系が前記光路上に配置されている状態では、前記受光器の受光結果に基づいて、前記被検光学系の第1の光学特性を算出し、
前記第2の光学系が前記光路上に配置されている状態では、前記受光器の受光結果に基づいて、前記被検光学系の第2の光学特性を算出することを特徴とする光学特性計測装置。 - 請求項1に記載の光学特性計測装置において、
前記入射光学系に入射した光を前記第1の光学系に導くと共に、前記第2の光学系に導く光学系をさらに備えることを特徴とする光学特性計測装置。 - 請求項6に記載の光学特性計測装置において、
前記受光器は、前記第1計測光を受光する第1の受光領域と、前記第2計測光を受光する第2の受光領域とを有することを特徴とする光学特性計測装置。 - 請求項1に記載の光学特性計測装置において、
前記第1の光学特性は、前記被検光学系を介した光の偏光状態であり、
前記第1の光学系は、前記被検光学系を介した光に含まれる任意の方向の偏光を抽出可能な光学系であることを特徴とする光学特性計測装置。 - 請求項8に記載の光学特性計測装置において、
前記算出装置は、
前記被検光学系の瞳面内の複数の異なる領域と共役な前記受光器の受光面内の領域から得られた受光結果から、その領域の前記光の偏光状態を計測することを特徴とする光学特性計測装置。 - 請求項9に記載の光学特性計測装置において、
前記第1の光学系は、
前記被検光学系を介した光の光軸を中心に互いに相対的に回転する偏光ビームスプリッタ及び1/4波長板を含むことを特徴とする光学特性計測装置。 - 請求項1に記載の光学特性計測装置において、
前記第2の光学特性は、前記被検光学系の波面収差であり、
前記第2の光学系は、前記被検光学系を介した光を波面分割する波面分割光学素子を含むことを特徴とする光学特性計測装置。 - 請求項11に記載の光学特性計測装置において、
前記第2の光学系は、
前記被検光学系の瞳面と共役な面の近傍に配置されていることを特徴とする光学特性計測装置。 - 請求項12に記載の光学特性計測装置において、
前記光学ユニットは、
前記被検光学系を介した光を透過させる透過部をさらに備え、
前記算出装置は、
前記透過部が前記光路上に配置されている状態では、前記受光器の受光結果に基づいて、前記被検光学系の光学特性のうち、第3の光学特性を算出することを特徴とする光学特性計測装置。 - 請求項13に記載の光学特性計測装置において、
前記第3の光学特性は、
前記被検光学系の瞳面に関する情報及び瞳面の共役面に関する情報の少なくとも一方であることを特徴とする光学特性計測装置。 - 請求項14に記載の光学特性計測装置において、
前記第3の光学特性は、
前記被検光学系の開口数、瞳像の形状、該瞳像の位置情報及び該瞳像の強度分布のいずれかであることを特徴とする光学特性計測装置。 - 被検光学系の光学特性を計測する光学特性計測装置であって、
前記被検光学系を介した光の偏光状態を計測する偏光計測器と;
前記被検光学系の光学特性のうち、少なくとも1つの光学特性を計測する光学特性計測器と;を備える光学特性計測装置。 - 請求項16に記載の光学特性計測装置において、
前記被検光学系の光学特性のうち、少なくとも1つの光学特性は、前記被検光学系の波面収差であることを特徴とする光学特性計測装置。 - 請求項17に記載の光学特性計測装置において、
前記被検光学系を介した光が入射する入射光学系を有し、
前記偏光計測器は、前記入射光学系に入射した前記光を第1計測光に変換する第1の光学系と、前記第1計測光を受光する受光器とを有することを特徴とする光学特性計測装置。 - 請求項18に記載の光学特性計測装置において、
前記光学特性計測器は、前記入射光学系に入射した前記光を第2計測光に変換する第2の光学系と、前記第2計測光を受光する受光器とを有することを特徴とする光学特性計測装置。 - 所定のパターンの像を感光物体上に投影する露光装置であって、
前記所定のパターンを照明光で照明する照明光学系と;
前記所定のパターンを介した前記照明光を前記感光物体上に投射する投影光学系と;
請求項1〜19のいずれか一項に記載の光学特性計測装置を備えるステージと;
前記光学特性計測装置の計測結果に基づいて、前記照明光学系及び前記投影光学系の少なくとも一方の光学特性を調整する調整機構と;を備える露光装置。 - 請求項20に記載の露光装置において、
前記ステージは、前記感光物体を保持する物体ステージであることを特徴とする露光装置。 - 被検光学系の光学特性を計測する光学特性計測方法であって、
前記被検光学系の光学特性のうち、第1の光学特性を計測する第1工程と;
前記計測の結果に基づいて、前記被検光学系の第1の光学特性を調整する第2工程と;
前記被検光学系の前記第1の光学特性を調整した後に、前記被検光学系の光学特性のうち、第2の光学特性を計測する第3工程と;を含む光学特性計測方法。 - 請求項22に記載の光学特性計測方法において、
前記計測の結果に基づいて、前記被検光学系の第2の光学特性を調整する第4工程をさらに含む光学特性計測方法。 - 請求項23に記載の光学特性計測方法において、
前記第1の光学特性を、前記被検光学系の瞳面内の異なる領域で異ならしめる場合には、
前記異なる領域とそれぞれ共役となる領域に受光器の受光面を配置し、前記受光器から得られた受光結果に基づいて、領域毎の第1の光学特性を計測する第5工程をさらに含む光学特性計測方法。 - 所定のパターンを照明光で照明する照明光学系と、前記所定のパターンを介した前記照明光を感光物体上に投射する投影光学系との少なくとも一方を被検光学系とし、請求項22〜24のいずれか一項に記載の光学特性計測方法を用いて、前記照明光学系及び前記投影光学系の少なくとも一方の光学特性を計測する計測工程と;
前記計測の結果を用いて、前記照明光学系及び前記投影光学系の少なくとも一方の光学特性を調整する調整工程と;
前記調整後に、前記所定のパターンの像で前記感光物体上を露光する露光工程と;を含む露光方法。 - 請求項25に記載の露光方法により、感光物体上にパターンを形成するリソグラフィ工程を含むデバイス製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006531656A JP5179754B2 (ja) | 2004-08-09 | 2005-08-09 | 光学特性計測装置及び光学特性計測方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004232370 | 2004-08-09 | ||
JP2004232370 | 2004-08-09 | ||
JP2006531656A JP5179754B2 (ja) | 2004-08-09 | 2005-08-09 | 光学特性計測装置及び光学特性計測方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
PCT/JP2005/014585 WO2006016584A1 (ja) | 2004-08-09 | 2005-08-09 | 光学特性計測装置及び光学特性計測方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2006016584A1 true JPWO2006016584A1 (ja) | 2008-05-01 |
JP5179754B2 JP5179754B2 (ja) | 2013-04-10 |
Family
ID=35839353
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006531656A Expired - Fee Related JP5179754B2 (ja) | 2004-08-09 | 2005-08-09 | 光学特性計測装置及び光学特性計測方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7667829B2 (ja) |
EP (1) | EP1796142A4 (ja) |
JP (1) | JP5179754B2 (ja) |
KR (1) | KR101193830B1 (ja) |
CN (1) | CN100517569C (ja) |
WO (1) | WO2006016584A1 (ja) |
Families Citing this family (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7375799B2 (en) * | 2005-02-25 | 2008-05-20 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus |
US20100045956A1 (en) * | 2005-06-13 | 2010-02-25 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic Apparatus, Method for Determining at Least One Polarization Property Thereof, Polarization Analyzer and Polarization Sensor Thereof |
JP4701030B2 (ja) * | 2005-07-22 | 2011-06-15 | キヤノン株式会社 | 露光装置、露光パラメータを設定する設定方法、露光方法、デバイス製造方法及びプログラム |
JP4976670B2 (ja) * | 2005-08-24 | 2012-07-18 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP5224667B2 (ja) * | 2005-09-29 | 2013-07-03 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2007096089A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Renesas Technology Corp | 露光装置 |
KR101459157B1 (ko) | 2005-10-04 | 2014-11-07 | 칼 짜이스 에스엠티 게엠베하 | 광학 시스템 내의, 특히 마이크로리소그래피용 투영 노광 장치 내의 편광 분포에 영향을 주기 위한 장치 및 방법 |
DE102006039655A1 (de) * | 2006-08-24 | 2008-03-20 | Carl Zeiss Smt Ag | Beleuchtungssystem für eine Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage, Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen Beleuchtungssystem, Verfahren zur Herstellung eines mikrostruktuierten Bauelements mit einer derartigen Projektionsbelichtungsanlage sowie durch dieses Verfahren hergestelltes mikrostrukturiertes Bauelement |
DE102006049169A1 (de) * | 2006-10-18 | 2008-04-30 | Punch Graphix Prepress Germany Gmbh | Beleuchtungsanordnung |
DE102007027985A1 (de) * | 2006-12-21 | 2008-06-26 | Carl Zeiss Smt Ag | Optisches System, insbesondere Beleuchtungseinrichtung oder Projektionsobjektiv einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage |
DE102008003916A1 (de) | 2007-01-23 | 2008-07-24 | Carl Zeiss Smt Ag | Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie mit Messvorrichtung sowie Verfahren zum Messen einer Bestrahlungsstärkeverteilung |
WO2008119794A1 (en) * | 2007-04-03 | 2008-10-09 | Carl Zeiss Smt Ag | Optical system, in particular illumination device or projection objective of a microlithographic projection exposure apparatus |
US7777872B2 (en) * | 2007-07-31 | 2010-08-17 | Alcon Research, Ltd. | Method of measuring diffractive lenses |
US8203596B1 (en) * | 2007-12-20 | 2012-06-19 | Lockheed Martin Corporation | Panoramic imaging system with dual imagers |
NL1036597A1 (nl) * | 2008-02-29 | 2009-09-01 | Asml Netherlands Bv | Metrology method and apparatus, lithographic apparatus, and device manufacturing method. |
US20110143287A1 (en) | 2009-09-14 | 2011-06-16 | Nikon Corporation | Catadioptric system, aberration measuring apparatus, method of adjusting optical system, exposure apparatus, and device manufacturing method |
DE102010029651A1 (de) * | 2010-06-02 | 2011-12-08 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zum Betrieb einer Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie mit Korrektur von durch rigorose Effekte der Maske induzierten Abbildungsfehlern |
CN101923001B (zh) * | 2010-08-11 | 2011-12-14 | 哈尔滨工业大学 | 基于灰度阈值分割算法的动像调制传递函数测量方法 |
CN103154818B (zh) * | 2010-09-28 | 2015-07-15 | 卡尔蔡司Smt有限责任公司 | 微光刻投射曝光设备的光学***以及降低图像位置误差的方法 |
JPWO2012115002A1 (ja) | 2011-02-22 | 2014-07-07 | 株式会社ニコン | 保持装置、露光装置、及びデバイスの製造方法 |
DE102011005826A1 (de) * | 2011-03-21 | 2012-03-29 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optische Vorrichtung |
WO2012128323A1 (ja) | 2011-03-22 | 2012-09-27 | 株式会社ニコン | 光学素子、照明装置、測定装置、フォトマスク、露光方法、及びデバイス製造方法 |
JP5721586B2 (ja) * | 2011-08-12 | 2015-05-20 | 大塚電子株式会社 | 光学特性測定装置および光学特性測定方法 |
CN102435418B (zh) * | 2011-09-15 | 2013-08-21 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | ArF激光光学薄膜元件综合偏振测量装置及测量方法 |
DE102012202536A1 (de) * | 2012-02-20 | 2013-08-22 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projektionsbelichtungsverfahren und Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie |
DE102012205181B4 (de) | 2012-03-30 | 2015-09-24 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Messvorrichtung zum Vermessen einer Beleuchtungseigenschaft |
DE102012214052A1 (de) * | 2012-08-08 | 2014-02-13 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Mikrolithographisches Belichtungsverfahren, sowie mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage |
JP2015025977A (ja) * | 2013-07-26 | 2015-02-05 | 日本精機株式会社 | 走査型投影装置 |
CN103792070B (zh) * | 2014-01-21 | 2016-05-18 | 北京工业大学 | 半导体激光阵列光学特性检测装置 |
CN111054920B (zh) | 2014-11-14 | 2022-09-16 | 株式会社尼康 | 造形装置及造形方法 |
CN111687416A (zh) * | 2014-11-14 | 2020-09-22 | 株式会社尼康 | 造型装置及造型方法 |
JP6218261B2 (ja) * | 2015-10-23 | 2017-10-25 | 株式会社カツラ・オプト・システムズ | 光学素子特性測定装置 |
CN109116668B (zh) * | 2016-01-19 | 2020-12-08 | 精工爱普生株式会社 | 光学装置、光源装置以及投影仪 |
US10558125B2 (en) * | 2016-11-17 | 2020-02-11 | Tokyo Electron Limited | Exposure apparatus, exposure apparatus adjustment method and storage medium |
JP6984228B2 (ja) * | 2016-11-17 | 2021-12-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 露光装置、露光装置の調整方法及び記憶媒体 |
CN107153000B (zh) * | 2017-06-20 | 2023-10-31 | 中国地质大学(武汉) | 一种便携式滤镜光学性能检测装置及其检测方法 |
US20190066972A1 (en) * | 2017-08-29 | 2019-02-28 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Charged particle beam device, aperture arrangement for a charged particle beam device, and method for operating a charged particle beam device |
CN110708453A (zh) * | 2019-11-12 | 2020-01-17 | Oppo广东移动通信有限公司 | 图像传感器、相机模组、终端和成像方法 |
KR20210157935A (ko) | 2020-06-22 | 2021-12-30 | 삼성디스플레이 주식회사 | 광학 검사 장치 |
CN117538026B (zh) * | 2023-11-24 | 2024-07-05 | 星慧照明工程集团有限公司 | 一种照明灯具光束轮廓测量装置及测量方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0518856A (ja) * | 1991-07-11 | 1993-01-26 | Asahi Optical Co Ltd | 偏光及び複屈折測定装置 |
JP2003133207A (ja) * | 2001-10-25 | 2003-05-09 | Nikon Corp | 光学特性測定方法及び光学特性測定装置、光学系の調整方法、並びに露光装置 |
JP2004061515A (ja) * | 2002-07-29 | 2004-02-26 | Cark Zeiss Smt Ag | 光学系による偏光状態への影響を決定する方法及び装置と、分析装置 |
JP2004165483A (ja) * | 2002-11-14 | 2004-06-10 | Nikon Corp | データ抽出方法及び装置、位置検出方法及び装置、並びに露光装置 |
JP2004163313A (ja) * | 2002-11-14 | 2004-06-10 | Nikon Corp | 輪郭検出方法及び装置、位置検出方法及び装置、並びに露光装置 |
JP2004205500A (ja) * | 2002-12-13 | 2004-07-22 | Canon Inc | 複屈折測定装置及び複屈折測定方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3246615B2 (ja) | 1992-07-27 | 2002-01-15 | 株式会社ニコン | 照明光学装置、露光装置、及び露光方法 |
KR100300618B1 (ko) * | 1992-12-25 | 2001-11-22 | 오노 시게오 | 노광방법,노광장치,및그장치를사용하는디바이스제조방법 |
JP3406944B2 (ja) * | 1994-10-19 | 2003-05-19 | キヤノン株式会社 | レンズ測定装置 |
KR970062816A (ko) * | 1996-02-13 | 1997-09-12 | 박병재 | 헤드 램프를 이용한 엔진룸 조사 장치 |
JPH09257644A (ja) * | 1996-03-26 | 1997-10-03 | Topcon Corp | レンズメーター |
JP2002372406A (ja) * | 2001-06-13 | 2002-12-26 | Nikon Corp | 位置検出装置及び方法、位置検出装置の収差測定方法及び調整方法、露光装置、並びにマイクロデバイスの製造方法 |
JP2003218013A (ja) * | 2002-01-23 | 2003-07-31 | Nikon Corp | 計測用撮像装置および計測方法、並びに露光装置および露光方法 |
TWM245449U (en) * | 2002-11-15 | 2004-10-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Polarized illumination systems and liquid crystal device |
TW200412617A (en) * | 2002-12-03 | 2004-07-16 | Nikon Corp | Optical illumination device, method for adjusting optical illumination device, exposure device and exposure method |
US7289223B2 (en) * | 2003-01-31 | 2007-10-30 | Carl Zeiss Smt Ag | Method and apparatus for spatially resolved polarimetry |
KR101441840B1 (ko) * | 2003-09-29 | 2014-11-04 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광장치, 노광방법 및 디바이스 제조방법 |
EP1681709A4 (en) * | 2003-10-16 | 2008-09-17 | Nikon Corp | DEVICE AND METHOD FOR MEASURING OPTICAL CHARACTERISTICS, EXPOSURE SYSTEM AND EXPOSURE METHOD AND COMPONENT MANUFACTURING METHOD |
-
2005
- 2005-08-09 CN CNB2005800269430A patent/CN100517569C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-08-09 EP EP05770442A patent/EP1796142A4/en not_active Withdrawn
- 2005-08-09 JP JP2006531656A patent/JP5179754B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-08-09 WO PCT/JP2005/014585 patent/WO2006016584A1/ja active Application Filing
- 2005-08-09 KR KR1020077000053A patent/KR101193830B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2005-08-09 US US11/659,571 patent/US7667829B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0518856A (ja) * | 1991-07-11 | 1993-01-26 | Asahi Optical Co Ltd | 偏光及び複屈折測定装置 |
JP2003133207A (ja) * | 2001-10-25 | 2003-05-09 | Nikon Corp | 光学特性測定方法及び光学特性測定装置、光学系の調整方法、並びに露光装置 |
JP2004061515A (ja) * | 2002-07-29 | 2004-02-26 | Cark Zeiss Smt Ag | 光学系による偏光状態への影響を決定する方法及び装置と、分析装置 |
JP2004165483A (ja) * | 2002-11-14 | 2004-06-10 | Nikon Corp | データ抽出方法及び装置、位置検出方法及び装置、並びに露光装置 |
JP2004163313A (ja) * | 2002-11-14 | 2004-06-10 | Nikon Corp | 輪郭検出方法及び装置、位置検出方法及び装置、並びに露光装置 |
JP2004205500A (ja) * | 2002-12-13 | 2004-07-22 | Canon Inc | 複屈折測定装置及び複屈折測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7667829B2 (en) | 2010-02-23 |
JP5179754B2 (ja) | 2013-04-10 |
KR101193830B1 (ko) | 2012-10-23 |
KR20070041491A (ko) | 2007-04-18 |
CN101002300A (zh) | 2007-07-18 |
CN100517569C (zh) | 2009-07-22 |
US20080043236A1 (en) | 2008-02-21 |
EP1796142A1 (en) | 2007-06-13 |
EP1796142A4 (en) | 2010-10-06 |
WO2006016584A1 (ja) | 2006-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5179754B2 (ja) | 光学特性計測装置及び光学特性計測方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 | |
US6614535B1 (en) | Exposure apparatus with interferometer | |
JP2011101056A (ja) | 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 | |
US8149385B2 (en) | Alignment unit and exposure apparatus | |
JP2007250947A (ja) | 露光装置および像面検出方法 | |
JP2006278820A (ja) | 露光方法及び装置 | |
JPWO2005038885A1 (ja) | 光学特性計測装置及び光学特性計測方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 | |
JP4798489B2 (ja) | 光学特性計測方法及び装置、並びに露光装置 | |
US9389345B2 (en) | Optical element, illumination device, measurement apparatus, photomask, exposure method, and device manufacturing method | |
JP2002170754A (ja) | 露光装置、光学特性検出方法及び露光方法 | |
JP2007173323A (ja) | 光学特性測定装置、露光装置、光学特性測定方法及びデバイスの製造方法 | |
JP2004356193A (ja) | 露光装置及び露光方法 | |
JP2004163313A (ja) | 輪郭検出方法及び装置、位置検出方法及び装置、並びに露光装置 | |
JP2001358059A (ja) | 露光装置の評価方法、及び露光装置 | |
JP2004165483A (ja) | データ抽出方法及び装置、位置検出方法及び装置、並びに露光装置 | |
JP2010123724A (ja) | 光学特性計測方法及び装置、並びに露光装置 | |
JP2005129557A (ja) | 収差測定装置、露光装置、収差測定方法及び露光方法、並びにデバイス製造方法 | |
JP2004273860A (ja) | 露光方法 | |
JP2006032807A (ja) | 露光装置及びデバイス製造方法 | |
JP2000091219A (ja) | 位置検出装置及びそれを用いた露光装置 | |
JP2005150455A (ja) | 光学特性計測装置及び露光装置 | |
JPH10261576A (ja) | 投影露光装置 | |
JP2003197505A (ja) | 露光方法及び露光装置 | |
JP2010266418A (ja) | 計測方法、計測装置、露光方法、及び露光装置 | |
JP2004079671A (ja) | 光学特性測定方法及び光学特性測定装置、光学系の調整方法、並びに露光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080619 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100203 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100401 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110909 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111207 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20111215 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20120525 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130110 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |